KR20060024875A - Station block of solder ball attaching apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록에 관한 것이다. 본 발명에 따른 스테이션 블록은 블록 몸체 내부의 진공 흡입로를 통하여 진공 흡입력이 제공되고, 블록 몸체 내부에 위치한 승강 가이드가 스프링의 탄성력과 진공 흡입력에 의하여 승강 이동하며, 승강 가이드 위쪽에 형성된 진공 빨판이 블록 몸체 위쪽으로 완전히 돌출될 수 있고 승강 이동이 가능하며 진공 흡입력에 의하여 패키지 스트립에 밀착된다. 본 발명의 스테이션 블록은 패키지 스트립을 고정할 때 패키지 휨 현상에 따른 진공 누출 현상을 방지함으로써 패키지 스트립의 평탄도를 개선하고 플럭스 도포 공정과 솔더 볼 부착 공정의 정밀성을 향상시킨다.
솔더 볼 부착 장치(solder ball attaching apparatus), 스테이션 블록(station block), 진공 빨판(vacuum sucker), 승강 가이드(elevating guide)
The present invention relates to a station block of a solder ball attaching device. The station block according to the present invention is provided with a vacuum suction force through the vacuum suction passage in the block body, the lifting guide located inside the block body is moved up and down by the elastic force and the vacuum suction force of the spring, the vacuum sucker formed on the lifting guide is It can protrude completely above the block body, move up and down and adhere to the package strip by vacuum suction. The station block of the present invention improves the flatness of the package strip and improves the precision of the flux coating process and the solder ball attaching process by preventing the vacuum leakage caused by the package warpage when fixing the package strip.
Solder Ball Attaching Apparatus, Station Block, Vacuum Sucker, Elevating Guide
Description
도 1은 종래 기술에 따른 스테이션 블록을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a station block according to the prior art.
도 2는 종래 기술에 따른 솔더 볼 부착 장치에 있어서 스테이션 블록과 관련된 문제점을 설명하기 위한 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a problem associated with a station block in the solder ball attaching apparatus according to the prior art.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 스테이션 블록을 개략적으로 도시한 평면도이다.3A is a plan view schematically illustrating a station block according to an embodiment of the present invention.
도 3b는 도 3a의 ⅢB-ⅢB선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line IIIB-IIIB of FIG. 3A.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 스테이션 블록의 구조 및 작동 상태를 도시한 단면도들로서, 도 4a는 진공 빨판이 상승한 상태를, 도 4b는 진공 빨판이 하강한 상태를 각각 나타낸다.4A and 4B are cross-sectional views illustrating a structure and an operating state of a station block according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4A shows a state where the vacuum sucker is raised and FIG. 4B shows a state where the vacuum sucker is lowered.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 솔더 볼 부착 장치에서 스테이션 블록의 작동 과정을 순서대로 도시한 단면도들이다.5A to 5C are cross-sectional views sequentially illustrating an operation process of a station block in an apparatus for attaching solder balls according to an embodiment of the present invention.
<도면에 사용된 참조 부호의 설명><Description of Reference Symbols Used in Drawings>
10, 40: 스테이션 블록(station block)10, 40: station block
11, 41: 블록 몸체(block body) 12, 42: 진공 빨판(vacuum sucker)11, 41:
13, 43: 진공 흡입로 14, 44: 진공 흡입 방향
13, 43:
20: 스트립 피커(strip picker) 21: 스트립 흡착판20: strip picker 21: strip suction plate
30: 패키지 스트립(package strip) 31: 배선 기판30: package strip 31: wiring board
32: 몰드 수지(molded resin) 45: 가이드 홈(guide groove)32: molded resin 45: guide groove
46: 승강 가이드(elevating guide) 47: 스프링(spring)46: elevating guide 47: spring
본 발명은 반도체 패키지 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 패키지의 외부접속 단자인 솔더 볼을 배선 기판에 부착하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package manufacturing apparatus, and more particularly, to an apparatus for attaching a solder ball, which is an external connection terminal of a package, to a wiring board.
반도체 웨이퍼에 제조되는 집적회로 소자를 전자제품에 사용하기 위해서는 집적회로 소자를 칩 단위로 절단하여 분리한 후 패키지 조립(package assembly)을 거쳐야 한다. 반도체 패키지는 집적회로 칩을 물리적으로 지지하고 외부 환경으로부터 보호할 뿐만 아니라 집적회로 칩에 전기적인 접속 경로를 제공하기 위한 것이다. 오늘날의 패키지 기술은 반도체 제품의 가격, 성능, 신뢰성 등을 좌우할 만큼 그 중요성이 매우 커지고 있다.In order to use an integrated circuit device manufactured on a semiconductor wafer in an electronic product, the integrated circuit device must be cut and separated by a chip unit and then packaged. The semiconductor package is not only for physically supporting the integrated circuit chip and protecting it from the external environment but also for providing an electrical connection path to the integrated circuit chip. Today's packaging technologies are becoming increasingly important to determine the price, performance and reliability of semiconductor products.
반도체 패키지의 유형은 매우 다양하다. 그 중의 하나가 배선 기판의 한쪽 면에 집적회로 칩을 부착하고 반대쪽 면에 솔더 볼(solder ball)을 배치하여 패키지의 외부접속 단자로 사용하는 형태이다. 이와 같이 솔더 볼을 면 배치하는 형태는 입출력 핀 수의 확대, 패키지 실장 밀도의 증가, 전기신호 전달 경로의 단축 등의 여러 장점이 있다. 따라서, 최근 사용이 확대되고 있는 BGA(ball grid array), SIP(system in package), MCP(multi chip package) 등에서 솔더 볼의 적용이 일반화되고 있다.There are many types of semiconductor packages. One of them is to attach the integrated circuit chip to one side of the wiring board and to place solder balls on the opposite side to be used as external connection terminals of the package. As such, the surface arrangement of the solder balls has various advantages such as an increase in the number of input / output pins, an increase in package mounting density, and a shortening of an electrical signal transmission path. Accordingly, the application of solder balls is becoming common in ball grid arrays (BGAs), system in packages (SIPs), multi chip packages (MCPs), and the like, which are recently expanding in use.
배선 기판에 솔더 볼을 형성하는 방법은 몇 가지가 있는데, 그 중의 대표적인 것이 솔더 볼 부착(solder ball attach) 방법이다. 솔더 볼 부착 방법은 플럭스 핀(flux pin)을 사용하여 배선 기판의 랜드 패턴(land pattern)에 플럭스(flux)를 도포하고, 볼 부착 기구를 사용하여 플럭스 위에 솔더 볼을 부착한 다음, 리플로우(reflow)를 통해 솔더 볼을 용융시키는 방법이다.There are several methods of forming solder balls on a wiring board, a representative one of which is a solder ball attach method. The solder ball attachment method uses flux pins to apply flux to the land pattern of the wiring board, and solder balls are attached onto the flux using a ball attachment mechanism, and then reflow ( It is a method of melting solder balls through reflow.
한편, 솔더 볼의 크기가 0.3mm 이하로 작아지고, 패키지 한 개에 사용되는 솔더 볼의 수도 200개 이상으로 증가하는 추세에 있기 때문에, 플럭스 도포 공정과 솔더 볼 부착 공정은 갈수록 더 높은 정밀도를 요구하고 있다. 그러나, 패키지의 두께가 감소하고 몰드 수지(molded resin)의 면적이 증가함에 따라 패키지의 휨(warpage) 현상을 피할 수가 없다. 따라서, 플럭스 도포 및 솔더 볼 부착에 필수적인 패키지 스트립 평탄도(package strip planarity) 유지가 점점 더 어려워지고 있다.On the other hand, as the size of solder balls is smaller than 0.3 mm and the number of solder balls used in one package is increasing to 200 or more, the flux coating process and the solder ball attaching process require higher precision. Doing. However, as the thickness of the package decreases and the area of the molded resin increases, warpage of the package cannot be avoided. Thus, maintaining package strip planarity, which is essential for flux application and solder ball attachment, is becoming increasingly difficult.
패키지의 휨 현상은 몰드 수지, 배선 기판, 집적회로 칩, 칩 접착제 등과 같은 패키지 구성요소 간의 열팽창계수 차이로 인하여 온도 변화에 따라 패키지가 상하로 휘어지는 것을 말한다. 이러한 휨 현상은 특히 패키지의 두께가 얇아지고 몰드 수지의 면적이 넓어짐에 따라 더욱더 증가하고 있으며, 이로 인하여 플럭스 도포 공정과 솔더 볼 부착 공정에서 문제가 발생하고 있다.The warpage of the package refers to the package being bent up and down due to temperature change due to the difference in thermal expansion coefficient between the package components such as mold resin, wiring board, integrated circuit chip, chip adhesive, and the like. Such warpage phenomenon is particularly increased as the thickness of the package becomes thinner and the area of the mold resin becomes wider, which causes problems in the flux coating process and the solder ball attaching process.
솔더 볼 부착 장치는 스트립(strip) 형태의 패키지를 흡착하여 공정 위치로 이송하는 스트립 피커(strip picker)와, 공정을 진행하기 전에 패키지 스트립을 고정시키고 평탄하게 만들어 주는 스테이션 블록(station block)을 갖추고 있다. 이 중에서 패키지 휨에 의한 공정상의 문제는 특히 스테이션 블록에 의하여 초래되고 있다.The solder ball attaching device is equipped with a strip picker for absorbing strip-shaped packages and transporting them to the process position, and a station block for fixing and flattening the package strip before proceeding. have. Among these, process problems caused by package warping are particularly caused by station blocks.
도 1은 종래 기술에 따른 스테이션 블록(10)을 도시한 단면도이다. 도 1을 참조하면, 스테이션 블록(10)은 블록 몸체(11)와 진공 빨판(12, vacuum sucker)으로 구성된다. 블록 몸체(11)의 내부에는 진공 흡입로(13)가 형성되어 있고 진공 펌프(도시되지 않음)와 연결되어 있다. 진공 빨판(12)은 가운데가 뚫려 있으며 진공 흡입로(13)와 통해 있다. 참조 부호 14번은 진공 흡입 방향을 나타낸다.1 is a cross-sectional view of a
이러한 구성을 가지는 스테이션 블록(10)은 패키지 스트립을 고정시키는 과정에서 문제가 발생한다. 도 2는 종래 기술에 따른 솔더 볼 부착 장치에 있어서 스테이션 블록(10)과 관련된 문제점을 설명하기 위한 단면도이다.The
도 2를 참조하면, 스트립 피커(20)가 스트립 흡착판(21)을 통하여 패키지 스트립(30)을 흡착하여 공정 위치로 이송한다. 패키지 스트립(30)은 배선 기판(31)의 한쪽 면에 몰드 수지(32)가 형성되어 있다. 배선 기판(31)의 반대쪽 면에 솔더 볼을 형성하기 위하여 스테이션 블록(10)은 진공 빨판(12)을 통하여 패키지 스트립(30)의 몰드 수지(32)를 흡착, 고정한다.Referring to FIG. 2, the
그런데 전술한 바와 같이 패키지 스트립(30)에 휨 현상이 발생하면, 진공 빨판(12)과 몰드 수지(32)가 완전히 밀착하지 못하여 진공 누출(vacuum leakage) 현상이 나타난다(참조 부호 A가 가리키는 부분). 이러한 진공 누출 현상은 패키지 스 트립(30)에 대한 고정력 약화를 초래할 뿐만 아니라, 패키지 스트립(30)을 평탄하게 만들어 주는 기능도 제대로 수행할 수 없게 만든다. 따라서, 플럭스 도포 공정이나 솔더 볼 부착 공정에 문제를 일으키는 원인으로 작용한다.However, as described above, when the bending phenomenon occurs in the
본 발명은 상기한 종래 기술에서의 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 패키지 스트립을 고정할 때 패키지 휨 현상에 따른 진공 누출 현상을 방지함으로써 패키지 스트립의 평탄도를 개선하고 플럭스 도포 공정과 솔더 볼 부착 공정의 정밀성을 향상시킬 수 있는 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록을 제공하기 위한 것이다.The present invention has been made to solve the above problems in the prior art, an object of the present invention is to improve the flatness of the package strip and flux coating by preventing vacuum leakage due to the package bending phenomenon when fixing the package strip It is to provide a station block of a solder ball attachment device that can improve the precision of the process and the solder ball attachment process.
이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 블록 몸체의 위쪽으로 완전히 돌출될 수 있고 승강 이동이 가능한 진공 빨판을 구비하는 스테이션 블록을 제공한다.In order to achieve this object, the present invention provides a station block having a vacuum sucker capable of fully protruding upward of the block body and capable of lifting and lowering.
본 발명에 따른 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록은, 진공 흡입력을 제공하는 진공 흡입로가 내부에 형성된 블록 몸체와; 상기 블록 몸체의 내부에 위치하며, 상하로 일정 변위 만큼 승강 이동이 가능한 승강 가이드와; 상기 승강 가이드의 위쪽에 형성되며, 상기 승강 가이드에 의하여 상기 블록 몸체의 위쪽으로 완전히 돌출될 수 있고 상하로 일정 변위 만큼 승강 이동이 가능한 진공 빨판을 포함하며, 상기 진공 빨판은 상기 진공 흡입로에서 제공되는 진공 흡입력에 의하여 소정의 대상물에 밀착하는 것이 특징이다. The station block of the solder ball attachment device according to the present invention comprises a block body having a vacuum suction path provided therein that provides a vacuum suction force; An elevating guide positioned in the block body and capable of elevating movement up and down by a predetermined displacement; A vacuum sucker is formed above the lifting guide and includes a vacuum sucker that can completely protrude upward of the block body by the lifting guide and is capable of lifting up and down by a predetermined displacement. The vacuum sucker is provided in the vacuum suction path. It is characterized by being in close contact with a predetermined object by the vacuum suction force.
본 발명에 따른 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록에 있어서, 상기 블록 몸체는 내벽에 형성된 가이드 홈을 포함할 수 있으며, 상기 승강 가이드는 상기 가이드 홈 사이에 끼워지고 상기 가이드 홈을 따라 승강 이동이 가능한 것을 특징으로 한다.In the station block of the solder ball attachment device according to the present invention, the block body may include a guide groove formed on the inner wall, the lifting guide is sandwiched between the guide groove and the lifting movement is possible along the guide groove It features.
또한, 본 발명에 따른 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록은 상기 가이드 홈 안에 설치된 스프링을 더 포함할 수 있으며, 상기 승강 가이드는 상기 스프링 위에 놓여지고 상기 스프링의 탄성력과 상기 진공 흡입력에 의하여 승강 이동이 가능한 것을 특징으로 한다.In addition, the station block of the solder ball attachment device according to the invention may further comprise a spring installed in the guide groove, the lifting guide is placed on the spring and the lifting movement is possible by the elastic force and the vacuum suction force of the spring It is characterized by.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 보다 명확히 전달하기 위함이다.In describing the embodiments, descriptions of technical contents which are well known in the technical field to which the present invention belongs and are not directly related to the present invention will be omitted. This is to more clearly communicate without obscure the subject matter of the present invention by omitting unnecessary description.
마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.For the same reason, some components in the accompanying drawings are exaggerated, omitted, or schematically illustrated, and the size of each component does not entirely reflect the actual size. The same or corresponding components in each drawing are given the same reference numerals.
실시예Example
잘 알려진 바와 같이, 패키지의 제조 과정은 개별 패키지 단위로 진행되기보 다는 여러 개의 패키지가 스트립(strip) 또는 매트릭스(matrix) 형태로 배치된 상태에서 일괄적으로 진행된다. 따라서, 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록 역시 패키지 스트립의 형태에 따른 배치 형태를 가지는 것이 바람직하다.As is well known, the manufacturing process of packages is carried out in batches with several packages arranged in strips or matrices, rather than individual packages. Therefore, it is preferable that the station block of the solder ball attaching device also has an arrangement form according to the shape of the package strip.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 스테이션 블록(40)을 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 3b는 도 3a의 ⅢB-ⅢB선을 따라 절단한 단면도이다. 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 스테이션 블록(40)의 진공 빨판(42)은 패키지 스트립 형태에 맞게 배치된 형태를 갖는다.3A is a plan view schematically illustrating a
도 3에 도시된 각각의 스테이션 블록(40)은 도 4에 도시된 것과 같은 구조를 가진다. 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 스테이션 블록(40)의 구조 및 작동 상태를 도시한 단면도들로서, 도 4a는 진공 빨판(42)이 상승한 상태를, 도 4b는 진공 빨판(42)이 하강한 상태를 각각 나타낸다.Each
도 4a와 도 4b를 참조하면, 스테이션 블록(40)은 블록 몸체(41, block body)와, 블록 몸체(41) 내부에 삽입된 승강 가이드(46, elevating guide)와, 승강 가이드(46) 위쪽에 형성된 진공 빨판(42, vacuum sucker)으로 구성된다.4A and 4B, the
블록 몸체(41)는 합금과 같은 소재를 이용하여 성형할 수 있으며, 블록 몸체(41)의 내부에는 진공 흡입로(43)가 형성된다. 진공 흡입로(43)는 진공 펌프(도시되지 않음)와 연결되어 있어서 진공에 의한 흡입력을 제공한다. 참조 번호 44번은 진공 흡입 방향을 가리킨다.The
블록 몸체(41)의 내벽 일부에는 가이드 홈(45, guide groove)이 형성되며, 가이드 홈(45) 안에는 스프링(47, spring)이 설치된다. 블록 몸체(41)의 내부(즉, 진공 흡입로(43))에 위치하는 승강 가이드(46)는 양쪽 끝부분이 가이드 홈(45) 사이에 끼워짐과 동시에 스프링(47) 위쪽에 놓여진다. 따라서, 다른 외력이 가해지지 않을 때, 승강 가이드(46)는 도 4a에 도시된 바와 같이 스프링(47)의 탄성력에 의하여 가이드 홈(45)의 맨 위쪽으로 밀려 올라간다.A
진공 빨판(42)은 승강 가이드(46)의 위쪽에 형성된다. 진공 빨판(42)과 승강 가이드(46)의 가운데는 상하 방향으로 뚫려 있으며 진공 흡입로(43)와 통해 있다. 따라서, 진공 흡입로(43)를 통하여 제공되는 진공 흡입력이 진공 빨판(42)에 밀착되는 대상물(즉, 패키지 스트립)에까지 전달될 수 있다. 진공 빨판(42)은 밀착 대상물에 손상을 입히지 않기 위하여 고무와 같이 탄성이 있는 소재로 성형되는 것이 바람직하다.The
진공 빨판(42)은 다른 외력이 가해지지 않을 때, 도 4a에 도시된 바와 같이 스프링(47)의 탄성력에 의하여 블록 몸체(41)의 위쪽으로 돌출된다. 그러나, 진공 빨판(42)에 대상물이 밀착하게 되면 진공 흡입력이 작용하기 때문에, 도 4b에 도시된 바와 같이 승강 가이드(46)와 진공 빨판(42)이 스프링(47)을 압축시키면서 가이드 홈(45)을 따라 하강하게 된다.When no external force is applied, the
휨 현상이 발생한 패키지 스트립에 스테이션 블록(40)이 어떻게 작용하는지 도 5a 내지 도 5c에 자세히 묘사되었다. 도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예에 따른 솔더 볼 부착 장치에서 스테이션 블록(40)의 작동 과정을 순서대로 도시한 단면도들이다.5A to 5C are described in detail how the
도 5a를 참조하면, 배선 기판(31)에 몰드 수지(32)가 형성된 패키지 스트립 (30)은 스트립 흡착판(21)에 고정된 채 스트립 피커(20)에 의하여 공정 위치로 이송된다. 그리고 패키지 스트립(30)의 몰드 수지(32)는 스테이션 블록(40)의 진공 빨판(42) 위에 얹혀진다. 이 때 진공 빨판(42)은 블록 몸체(41)의 위쪽으로 완전히 돌출되어 있으므로 진공 빨판(42)과 몰드 수지(32) 사이의 밀착이 가능해지며, 그에 따라 진공 누출 현상이 방지된다. 이를 종래 기술과 비교하자면, 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 종래의 진공 빨판(12)은 블록 몸체(11)에 고정된 상태이기 때문에, 진공 빨판(12)과 몰드 수지(32) 사이의 밀착에 한계가 있고, 그에 따라 진공 누출 현상이 발생한다.Referring to FIG. 5A, the
이어서 도 5b를 참조하면, 진공 빨판(42)을 통하여 패키지 스트립(30)의 하부에 진공 흡입력이 작용함과 동시에 스트립 피커(20)가 하강하면서 패키지 스트립(30)의 상부에 압력을 가한다. 따라서, 진공 빨판(42)과 승강 가이드(46)가 스프링(47)을 압축시키면서 가이드 홈(45)을 따라 하강하게 된다. 이러한 동작을 통하여 진공 빨판(42)과 몰드 수지(32) 사이의 밀착력은 더욱 더 좋아지고, 패키지 스트립(30)의 평탄도는 점차 개선된다.Subsequently, referring to FIG. 5B, a vacuum suction force is applied to the lower portion of the
도 5c에 도시된 바와 같이 진공 빨판(42)과 승강 가이드(46)가 스프링(47)을 최대한 압축시킨 상태까지 하강하게 되면, 패키지 스트립(30)의 평탄도는 더욱 더 좋아진다. 따라서, 배선 기판(31)의 상부면 쪽에 행해지는 플럭스 도포 공정과 솔더 볼 부착 공정의 정밀성을 크게 향상시킬 수 있다.As shown in FIG. 5C, when the
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록 은 블록 몸체 위쪽으로 완전히 돌출될 수 있고 상하로 일정 변위 만큼 승강 이동이 가능한 구조의 진공 빨판을 구비하고 있다. 따라서, 진공 빨판과 패키지 스트립 사이의 밀착을 가능하게 하며 진공 누출 현상을 효율적으로 방지할 수 있다. 또한, 패키지 스트립의 평탄도를 개선하여 플럭스 도포 공정과 솔더 볼 부착 공정의 정밀성을 향상시킬 수 있다.As described above, the station block of the solder ball attachment device according to the present invention is provided with a vacuum sucker having a structure that can be completely protruded above the block body and can be moved up and down by a certain displacement up and down. Thus, close contact between the vacuum sucker and the package strip is enabled and the vacuum leakage phenomenon can be effectively prevented. In addition, the flatness of the package strip can be improved to improve the precision of the flux coating process and the solder ball attaching process.
본 발명에 따른 솔더 볼 부착 장치의 스테이션 블록은 특히 휨 현상이 발생하기 쉬운 박형 패키지, 어레이 몰드형 패키지 등의 제조 공정 불량에 효과적으로 대응할 수 있고 패키지 생산 효율을 크게 높일 수 있다.The station block of the solder ball attachment device according to the present invention can effectively cope with manufacturing process defects, such as a thin package, an array mold package, and the like, which are particularly prone to warpage, and can greatly increase package production efficiency.
본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.In the present specification and drawings, preferred embodiments of the present invention have been disclosed, and although specific terms have been used, these are merely used in a general sense to easily explain the technical contents of the present invention and to help the understanding of the present invention. It is not intended to limit the scope. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention can be carried out in addition to the embodiments disclosed herein.
예를 들어, 본 발명에 따른 스테이션 블록의 크기, 형태, 진공 빨판의 형태, 형성 위치, 개수 등은 본 명세서와 도면에 예시된 것에 한정되지 않으며, 나아가 본 발명은 진공 압력을 이용하여 패키지 스트립을 이송, 고정시키는데 사용되는 모든 수단에 적용될 수 있다.For example, the size, shape of the station block, the shape of the vacuum sucker, the position of formation and the number of vacuum suckers according to the present invention are not limited to those illustrated in the specification and the drawings, and the present invention further provides a package strip using vacuum pressure. Applicable to all means used to transport, fasten.
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040073726A KR20060024875A (en) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | Station block of solder ball attaching apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1020040073726A KR20060024875A (en) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | Station block of solder ball attaching apparatus |
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Family Applications (1)
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KR1020040073726A KR20060024875A (en) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | Station block of solder ball attaching apparatus |
Country Status (1)
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KR (1) | KR20060024875A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101355860B1 (en) * | 2013-02-22 | 2014-01-28 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Sucker |
-
2004
- 2004-09-15 KR KR1020040073726A patent/KR20060024875A/en not_active Application Discontinuation
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