KR20060009138A - 에어 실린더 및 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법 - Google Patents

에어 실린더 및 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 에어 실린더 및 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법에 관한 것이다. 실린더 하우징에 연결된 공기 유출관들 각각에 공기의 배출 압력을 측정하는 감지부를 설치하여 실린더 하우징의 내부로 유입되는 공기의 압력과 실린더 하우징의 외부로 배출되는 공기의 압력이 서로 동일한지의 여부를 확인함으로써 에어 실린더의 내부에서 공기가 누출되는지의 여부를 감지한다.
그러면, 패킹이 마모되어 공기가 누설되는 시점을 정확히 알 수 있어 패킹의 교체시점을 용이하게 판단할 수 있고, 이송 중이던 이송물체가 에어 실린더로부터 이탈되어 파손되는 것을 미연에 방지할 수 있다.
에어 실린더, 공기 누출 감지, 감지부

Description

에어 실린더 및 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법{AIR CYLINDER AND METHOD OF DETECTING AIR LEAKING FROM THE AIR CYLINDER}
도 1은 본 발명에 의한 에어 실린더를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 에어 실린더 내부에서 공기가 누출되는 지의 여부를 감지하는 과정을 나타낸 순서도이다.
본 발명은 에어 실린더 및 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에어 실린더의 내부로부터 공기가 누출되는 시점을 정확히 검출하여 이송물체의 이탈에 의한 대형사고를 미연에 방지하기 위한 에어 실린더 및 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법에 관한 것이다.
일반적으로 에어 실린더는 공기의 유입 방향에 따라 상승 및 하강하거나 회전하면서 소정의 물체, 예를 들어 웨이퍼 또는 카세트를 이송시킨다.
공기의 유입 방향에 따라 상승 또는 하강하는 에어 실린더는 실린더 하우징,피스톤부, 피스톤 로드 및 공기 유출관들을 포함한다. 실린더 하우징의 내부에는 소정깊이의 가이드 홈이 형성되어 가이드 홈에는 피스톤이 설치되며, 피스톤에는 피스톤의 이동에 따라 움직이는 피스톤 로드가 설치된다. 한편, 피스톤에는 가이드 홈 내에서 공기가 누출되는 것을 방지하기 위한 패킹이 설치된다.
그리고, 공기 유출관들은 실린더 하우징의 상단부와 하단부에 각각 하나씩 설치되고 가이드 홈과 연결된다. 여기서, 실린더 하우징의 하단부에 연결된 공기 유출관을 통해 공기가 유입되면 피스톤부 및 피스톤 로드가 상승된다. 그리고, 실린더 하우징의 상단부 쪽에 연결된 공기 유출관을 통해 공기가 유입되면 피스톤부 및 피스톤 로드가 하강하게 된다.
그러나, 공기의 유입 방향에 따라 피스톤이 계속적으로 움직이면 피스톤에 설치된 패킹이 마모되어 실린더 하우징의 내부에서 공기가 누출된다. 이로 인해 공기가 배기되는 쪽의 압력이 저하되어 피스톤의 속도가 급속히 빨라져 실린더 상에 놓여진 카세트 및 웨이퍼가 실린더로부터 이탈되어 파손되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 패킹의 마모로 인해 공기가 누출되는 것을 감지하여 이송 물체가 에어 실린더로부터 이탈되어 파손되는 것을 미연에 방지하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 이송될 소정의 물체가 놓여지는 플레이트, 공기의 누출을 방지하기 위한 패킹이 설치되고 공기의 주입 방향에 의해 직선 왕복운동을 하는 피스톤, 플레이트와 피스톤을 연결시키며 피스톤의 이동방향에 따라 플레이트를 상승 및 하강시키는 피스톤 로드, 피스톤이 직선으로 왕 복운동 하도록 플레이트와 마주보는 제 1 면으로부터 제 1 면과 대향되는 제 2 면 쪽으로 소정 깊이를 갖는 가이드 홈이 형성되고 피스톤 및 피스톤 로드를 감싸는 실린더 하우징, 가이드 홈과 연통되어 가이드 홈에 상기 공기를 주입하고 가이드 홈에 채워진 공기를 배기시키는 공기 유출관들 및 공기 유출관들에 설치되어 배기되는 공기의 압력으로부터 실린더 하우징의 내부에서 공기가 누출되는 지의 여부를 감지하는 감지부를 포함한다.
또한, 본 발명은 이송물체가 놓여진 플레이트를 상승 및 하강시키기 위해서 실린더 하우징의 내부로 공기를 주입하고 실린더 하우징의 내부에 채워진 공기를 외부로 배출시키는 단계, 공기의 배기 압력이 상기 공기의 주입 압력과 동일한지를 판단하는 단계 및 공기의 주입 압력과 상기 공기의 배기 압력이 서로 다르면 설비에 인터락 신호를 발생시켜 이송물체의 이송을 중단시키고, 알람신호를 발생시키는 단계를 포함하는 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법을 제공한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 의한 에어 실린더의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명에 의한 에어 실린더를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 에어 실린더(100)는 크게 피스톤(110), 피스톤 로드(120), 플레이트(130), 실린더 하우징(140), 공기 유출관(150), 감지부(160, 165), 제어부(170) 및 알람 발생 장치(180)를 포함한다.
피스톤(110)은 원통 형상으로, 공기의 주입 방향에 따라 수직으로 왕복운동을 한다.
피스톤 로드(120)의 일측 단부는 피스톤(110)에 고정되고, 피스톤 로드(120)의 타측 단부는 이송할 물체가 놓여지는 플레이트(130)에 고정된다. 따라서, 피스톤 로드(120)는 피스톤(110)과 함께 움직이면서 피스톤(110)이 이동하는 방향에 따라 플레이트(130)를 상승시키거나 하강시킨다.
실린더 하우징(140)은 피스톤(110) 및 피스톤 로드(120)를 외부환경으로부터 보호하고, 피스톤(110)이 수직으로 왕복 운동할 수 있도록 이동 경로를 제공한다. 즉, 실린더 하우징(140)은 피스톤 로드(120)의 소정 부분과 피스톤(110)을 감싸고 있어 피스톤(110) 및 피스톤 로드(120)를 보호한다. 또한, 실린더 하우징(140)의 내부에는 피스톤(110)의 이동 경로를 제공하기 위한 가이드 홈(143)이 형성된다. 가이드 홈(143)은 플레이트(130)와 마주보는 실린더 하우징(140)의 제 1 면(141)으로부터 제 1 면(141)과 반대되는 쪽에 위치한 제 2 면(142) 쪽으로 소정 깊이만큼 형성된다. 가이드 홈(143)의 내부에 피스톤(110)이 위치하며, 가이드 홈(143)은 피스톤(110)에 의해 제 1 공간 (144)및 제 2 공간(145)으로 분할된다. 한편, 피스톤(110)의 표면에는 제 1 공간(144) 및 제 2 공간(145)에 채워진 공기가 제 1 공간 (144)및 제 2 공간(145)으로 상호 누출되는 것을 방지하기 위한 패킹(115)이 한 개 이상 설치된다.
공기 유출관(150)은 가이드 홈(143)의 내부로 공기를 유입시킴과 아울러 가이드 홈(143)의 내부에 있던 공기를 실린더 하우징(140)의 외부로 배기시켜 피스톤(110)을 수직으로 왕복 운동시킨다. 이러한 공기 유출관(150)은 제 1 공기 유출관(154) 및 제 2 공기 유출관(155)으로 구성된다. 제 1 공기 유출관(154)은 제 1 공 간(144)과 연결되며, 도 1에 도시된 바와 같이 피스톤(110)이 하강할 때 제 1 공간(144)으로 공기를 유입시킨다. 그리고, 피스톤(110)이 상승할 때는 제 1 공간(144)에 채워져 있던 공기를 실린더 하우징(140)의 외부로 배출시킨다. 한편, 제 2 공기 유출관(155)은 제 2 공간(145)과 연결되며, 피스톤(110)이 상승할 때 제 2 공간(145)으로 공기를 유입시킨다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이 피스톤(110)이 하강할 때는 제 2 공간(145)에 채워져 있던 공기를 실린더 하우징(140)의 외부로 배출시킨다.
감지부(160, 165)는 실린더 하우징(140)의 내부에서 공기가 누설되는지를 감지한다. 실린더 하우징(140)의 내부에서 공기의 누설은 피스톤(110)에 설치된 패킹(115)의 마모로 인해 발생된다. 감지부(160, 165)는 압력센서로 제 1 공기 유출관(154) 및 제 2 공기 유출관(155)에 각각 설치되며, 제 1 공기 유출관(154) 및 제 2 공기 유출관(155) 중 공기가 배출되는 쪽의 공기 배출 압력을 측정한다.
제어부(170)는 제 1 공기 유출관(154) 및 제 2 공기 유출관(155)의 각각에 설치된 2개의 감지부(160, 165)와 전기적으로 연결되어 공기의 누출 여부를 감지하는 한편 에어 실린더(100)를 전반적으로 제어한다.
마지막으로, 알람 발생장치(180)는 제어부(170)와 전기적으로 연결되며, 제어부(170)의 전기적 신호를 입력 받아 실린더 하우징(140)의 내부에서 공기가 누출되고 있을 때 알람신호를 발생시켜 작업자에게 이를 알린다.
이하, 도 2를 참조하여 에어 실린더의 내부에서 공기가 누출되고 있는지의 여부를 감지하는 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 2는 도 1에 도시된 에어 실린더의 내부에서 공기가 누출되는 지의 여부를 감지하는 과정을 나타낸 순서도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 에어 실린더(100)의 하강동작을 진행하기 위해서 실린더 하우징(110)에 연결된 제 1 공기 유출관(154)을 통해 실린더 하우징(110)의 내부로 항상 일정한 압력을 유지한 채로 공기를 유입시킨다. 그러면, 제 1 공기 유출관(154)을 통해 가이드 홈(143)의 제 1 공간(144)으로 공기가 유입되고, 가이드 홈(143)의 제 2 공간(145)에 채워져 있던 공기는 제 2 공간(145)과 연통된 제 2 공기 유출관(155)을 통해 외부로 배출된다(S200).
이때, 제 2 공기 유출관(155) 쪽에 설치된 감지부(165)는 공기의 배출압력을 측정하고,공기가 배출된 압력을 전기적 신호로 변환시켜 제어부(170)에 전달한다.
제어부(170)는 상기 감지부(165)에서 전달된 제 2 공기 유출관(155)으로 배출되는 공기의 배출 압력이 제 1 공기 유출관(154)을 통해 유입된 공기의 유입압력과 동일한지를 확인함으로써, 실린더 하우징(110)의 내부에서 공기가 누설되고 있는 지의 여부를 판단한다(S210).
판단결과 제 1 공기 유출관(154)으로 유입되는 공기의 압력과 제 2 공기 유출관(155)을 통해 배출되는 공기의 압력이 서로 다르면, 에어 실린더(100) 쪽으로 인터락 신호를 전달하고, 알람 발생 장치(180) 쪽으로는 알람 발생 신호를 전달한다 (S230). 에어 실린더(100)에 인터락 신호가 전달되면, 에어 실린더(100)의 구동이 중단되어 플레이트(130) 상에 놓여진 이송물체, 예를 들어 카세트 및 웨이퍼가 플레이트(130)로부터 이탈되어 파손되는 것을 방지한다. 그리고, 제어부(170)로부 터 알람 발생신호를 전달 받은 알람 발생 장치(180)는 알람을 발생시켜 패킹의 마모로 인해 실린더 하우징(110)의 내부에서 공기가 누설되고 있음을 작업자에게 알린다.
한편, 제 1 공기 유출관(154)으로 유입되는 공기의 압력과 제 2 공기 유출관(155)을 통해 배출되는 공기의 압력이 동일하면, 에어 실린더(100)를 계속적으로 구동시켜 웨이퍼 및 카세트를 계속적으로 이송시킨다(S240).
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 공기가 유입되고 배출되는 공기 유출관들 각각에 감지부를 설치하고, 공기의 배출 압력을 측정하여 에어 실린더의 내부에서 공기가 누설되는지의 여부를 확인하면, 패킹이 마모되어 공기가 누설되는 시점을 정확히 알 수 있어 패킹의 교체시점을 용이하게 판단할 수 있다. 또한 이송 중이던 이송물체가 에어 실린더로부터 이탈되어 파손되는 것을 미연에 방지할 수 있다.

Claims (4)

  1. 이송될 소정의 물체가 놓여지는 플레이트;
    공기의 누출을 방지하기 위한 패킹이 설치되고, 상기 공기의 주입 방향에 의해 직선 왕복운동을 하는 피스톤;
    상기 플레이트와 상기 피스톤을 연결시키며 상기 피스톤의 이동방향에 따라 상기 플레이트를 상승 및 하강시키는 피스톤 로드;
    상기 피스톤이 직선으로 왕복운동 하도록 상기 플레이트와 마주보는 제 1 면으로부터 상기 제 1 면과 대향되는 제 2 면 쪽으로 소정 깊이를 갖는 가이드 홈이 형성되고 상기 피스톤 및 상기 피스톤 로드를 감싸는 실린더 하우징;
    상기 가이드 홈과 연통되어 상기 가이드 홈에 상기 공기를 주입하고 상기 가이드 홈에 채워진 공기를 배기시키는 공기 유출관들; 및
    상기 공기 유출관들에 설치되어 배기되는 공기의 압력으로부터 상기 실린더 하우징의 내부에서 상기 공기가 누출되는 지의 여부를 감지하는 감지부를 포함하는 에어 실린더.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 감지부는 공기의 배기 압력을 검출하는 압력 센서인 것을 특징으로 하는 에어 실린더.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 실린더 하우징의 내부에서 상기 공기가 누출될 때 알람을 발생시키는 알람 발생 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어 실린더.
  4. 이송물체가 놓여진 플레이트를 상승 및 하강시키기 위해서 실린더 하우징의 내부로 공기를 주입하고 상기 실린더 하우징의 내부에 채워진 공기를 외부로 배출시키는 단계;
    상기 공기의 배기 압력이 상기 공기의 주입 압력과 동일한지를 판단하는 단계;
    상기 공기의 주입 압력과 상기 공기의 배기 압력이 서로 다르면 설비에 인터락 신호를 발생시켜 이송물체의 이송을 중단시키고, 알람신호를 발생시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어 실린더의 공기 누출 감지 방법.
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