KR20050109262A

KR20050109262A - Box for transporting wafer carrier

Info

Publication number: KR20050109262A
Application number: KR1020040034337A
Authority: KR
Inventors: 이석균
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-05-14
Filing date: 2004-05-14
Publication date: 2005-11-17

Abstract

본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 웨이퍼 캐리어 박스에 관한 것으로, 그의 박스는 다수의 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 캐리어를 이송시키기 위한 반도체 웨이퍼 캐리어 박스에 있어서; 웨이퍼를 적재한 웨이퍼 캐리어를 수납하는 공간이 형성된 박스 본체; 박스 본체의 상부에 형성된 덮개; 및 상기 박스 본체의 측면 또는 상기 덮개의 상부에 설치되고, 상기 웨이퍼 캐리어 박스 내부의 웨이퍼 The present invention relates to a wafer carrier box capable of increasing or maximizing productivity, the box comprising: a semiconductor wafer carrier box for transferring a wafer carrier for loading a plurality of wafers; A box body having a space for storing a wafer carrier on which wafers are loaded; A cover formed on an upper portion of the box body; And a wafer provided on a side of the box body or on an upper portion of the lid, and a wafer inside the wafer carrier box.

상태 또는 상기 웨이퍼 단위공정의 내역의 데이터를 입력, 저장 및 표시하는 표시 장치를 포함하여 이루어진다. And a display device for inputting, storing and displaying data of status or details of the wafer unit process.

Description

Wafer Carrier Box {Box for transporting wafer carrier}

본 발명은 반도체 웨이퍼 캐리어박스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 종래의 런시트(run sheet)를 대신하여 표시 장치가 장착된 반도체 웨이퍼 캐리어박스에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor wafer carrier box, and more particularly, to a semiconductor wafer carrier box having a display device instead of a conventional run sheet.

일반적으로 반도체소자는 상기 반도체소자로 제조할 수 있는 반도체기판 즉, 웨이퍼(Wafer)를 대상으로 하여 사진 공정, 식각 공정, 확산 공정, 증착 공정 및 금속 등 다양하게 이루어지는 단위공정 등을 수행함으로써 제조된다.In general, a semiconductor device is manufactured by performing a unit process including a photo process, an etching process, a diffusion process, a deposition process, and a metal, on a semiconductor substrate, that is, a wafer, which can be manufactured using the semiconductor device. .

여기서 상기 반도체소자의 제조를 위한 다양한 단위공정 등의 수행에서는 상기 다수개의 웨이퍼를 적재시킨 웨이퍼 캐리어(wafer carrier)가 주로 사용된다. 상기와 같이 웨이퍼 캐리어를 이용한 웨이퍼의 취급 즉, 다수의 웨이퍼를 적재시킨 웨이퍼 캐리어의 보관 및 이송 등은 상기 캐리어를 안전하게 적재시킬 수 있는 웨이퍼 캐리어 박스(Carrier Box)를 이용한다. 동일한 단위 공정의 적용을 받는 상태에서의 웨이퍼를 통상 런(run)이라 하므로, 상기 웨이퍼 캐리어 박스는 공정 중의 런을 담은 박스라 하여 런박스(run box)라 지칭되기도 한다.Here, in performing various unit processes for manufacturing the semiconductor device, a wafer carrier on which the plurality of wafers are loaded is mainly used. As described above, the handling of the wafer using the wafer carrier, that is, the storage and transport of the wafer carrier on which the plurality of wafers are stacked, uses a wafer carrier box capable of safely loading the carrier. Since the wafer in a state subjected to the same unit process is generally called a run, the wafer carrier box is also referred to as a run box, which is a box containing a run during the process.

이때, 웨이퍼는 상기 이송에 따라 수행되는 공정의 조건 등이 작업자 또는 사용자에 의해 기재된 런시트(run sheet)를 상기 웨이퍼 캐리어 박스에 직접 부착하거나, 투명재질의 비닐 봉투에 삽입하여 상기 웨이퍼 캐리어 박스와 함께 동봉시킨다.At this time, the wafer is attached to the wafer carrier box directly or the run sheet (run sheet) described by the operator or the user of the process performed according to the transfer or inserted into a transparent plastic bag and the wafer carrier box and Enclose together.

하지만, 종래 기술에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the wafer carrier box according to the prior art has the following problems.

첫째, 종래 기술에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는 내부에 탑재된 웨이퍼의 상태 또는 단위 공정의 내역을 기록하는 런시트와 함께 이동됨으로 상기 런시트에서 유발되는 미세 먼지와 같은 오염물질이 상기 웨이퍼 캐리어 박스의 이동시 요구되는 청정 시스템을 오염시켜 생산불량을 야기 할 수 있기 때문에 생산 신뢰성을 떨어뜨리는 문제점이 있었다.First, the wafer carrier box according to the prior art is moved along with the run sheet that records the state of the wafer or the state of the unit mounted therein, so that contaminants such as fine dust caused by the run sheet are moved when the wafer carrier box is moved. There was a problem of lowering the reliability of production because it can lead to poor production by polluting the required clean system.

둘째, 종래 기술에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는, 반도체 생산 공정이 길어질 경우, 상기 웨이퍼의 상태 또는 단위공정의 내역을 기록하는 상기 런시트의 분량이 늘어나기 때문에 원가 절감에 따른 생산성이 떨어지는 단점이 있었다.Second, the wafer carrier box according to the related art has a disadvantage in that productivity increases due to cost reduction because the run sheet for recording the state of the wafer or the details of the unit process increases when the semiconductor production process is lengthened.

셋째, 종래 기술에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는, 수많은 단위 공정마다 상기 작업자 또는 사용자가 직접 수기로 웨이퍼의 상태 또는 단위 공정의 내역을 상기 런시트에 기록해야하는 불편과, 상기 런시트 작성에 소요되는 상기 작업자 또는 사용자의 시간 손실이 유발되기 때문에 생산성이 떨어지는 단점이 있었다.Third, the wafer carrier box according to the prior art has the inconvenience that the operator or the user must manually record the state of the wafer or the details of the unit process in the run sheet for every unit process, and the worker required for preparing the run sheet. Or there is a disadvantage in that productivity is reduced because of the loss of time of the user.

넷째, 종래 기술에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는, 해당 단위공정에서 작업자 또는 사용자가 런시트를 오기, 미기 또는 분실하였을 경우, 또 다른 작업자 또는 사용자에 의해 해당 단위 공정이 반복 수행되거나, 해당 단위 공정이 수행되지 않고 다음 단위 공정이 수행되는 공정 사고가 발생할 수 있기 때문에 생산 신뢰성이 떨어지는 단점이 있었다. Fourth, in the wafer carrier box according to the related art, when an operator or a user comes to a run sheet, loses or loses a run sheet, the unit process is repeatedly performed by another operator or user, or the unit process is performed. Because of this, a process accident in which the next unit process is performed may occur, resulting in inferior production reliability.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 청정 시스템의 오염에 따른 생산불량을 방지하여 생산 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 웨이퍼 캐리어 박스를 제공하는 데 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a wafer carrier box that can increase or maximize the production reliability by preventing production defects due to contamination of the clean system.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 웨이퍼의 상태 또는 단위공정의 내역 증가에 따른 생산 원가를 절감하여 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 웨이퍼 캐리어 박스를 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a wafer carrier box that can increase or maximize productivity by reducing the production cost according to the increase of the state of the wafer or the unit process.

그리고, 본 발명의 또 다른 목적은, 다수의 단위 공정마다 웨이퍼의 상태 또는 상기 단위 공정의 내역을 수작업으로 기록하는 작업자의 불편과, 시간 손실을 방지하여 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 웨이퍼 캐리어 박스를 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention is a wafer carrier box that can increase or maximize productivity by preventing inconvenience and time loss of an operator who manually records the state of the wafer or the details of the unit process for each unit process. To provide.

마지막으로, 본 발명의 또 다른 목적은, 런시트의 오기, 미기 또는 분실에 따른 공정 사고를 방지하여 생산 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 웨이퍼 캐리어 박스를 제공하는 데 있다.Lastly, another object of the present invention is to provide a wafer carrier box that can increase or maximize production reliability by preventing process accidents caused by erroneous, microscopic or lost run sheets.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 양태에 따라, 웨이퍼 캐리어 박스는, 다수의 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 캐리어를 이송시키기 위한 반도체 웨이퍼 캐리어 박스에 있어서; 웨이퍼를 적재한 웨이퍼 캐리어를 수납하는 공간이 형성된 박스 본체; 박스 본체의 상부에 형성된 덮개; 및 상기 박스 본체의 측면 또는 상기 덮개의 상부에 설치되고, 상기 웨이퍼 캐리어 박스 내부의 웨이퍼 상태 또는 상기 웨이퍼 단위공정의 내역의 데이터를 입력, 저장 및 표시하는 표시 장치를 포함함을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a wafer carrier box is a semiconductor wafer carrier box for transferring a wafer carrier for loading a plurality of wafers; A box body having a space for storing a wafer carrier on which wafers are loaded; A cover formed on an upper portion of the box body; And a display device installed on a side surface of the box body or on an upper portion of the lid, and configured to input, store, and display data of a wafer state in the wafer carrier box or the details of the wafer unit process.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 박스를 설명하기 위한 도면이다. 1 is a view for explaining a wafer carrier box according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는, 크게, 웨이퍼를 적재한 웨이퍼 캐리어를 수납하기 위한 공간이 형성된 박스 본체(100)와, 상기 박스 본체(100)의 상부에 형성된 덮개(200)를 포함하여 이루어진다. 또한, 상기 박스 본체(100) 또는 상기 덮개(200)의 상부에 설치되어 상기 웨이퍼 캐리어 박스 내부의 웨이퍼 상태 또는 상기 웨이퍼 단위공정의 내역의 데이터를 입력, 저장 및 표시하는 표시 장치(300)를 포함하여 이루어진다. As shown in FIG. 1, a wafer carrier box according to the present invention includes a box main body 100 having a space for accommodating a wafer carrier on which a wafer is loaded, and a lid formed on an upper portion of the box main body 100. 200 is made. The display apparatus 300 may include a display device 300 installed on the box body 100 or the lid 200 to input, store, and display data of the state of the wafer inside the wafer carrier box or the details of the wafer unit process. It is done by

여기서, 상기 표시 장치(300)는 예컨대, 액정표시장치와 같은 공지된 표시 장치(300)를 따를 수 있으며, 상기 웨이퍼 캐리어 박스 내부의 상기 웨이퍼 상태 또는 단위 공정의 내역을 표시하여 작업자 또는 사용자로 하여금 해당 단위 공정에서의 유용한 정보를 제공할 수 있다. Here, the display device 300 may follow a known display device 300 such as, for example, a liquid crystal display device, and displays the details of the wafer state or unit process inside the wafer carrier box to allow an operator or user to display the details. Useful information on the unit process can be provided.

도시하지는 않았지만, 상기 웨이퍼 캐리어 박스는 상기 표시 장치(300)를 구동시킬 배터리와 같은 별도의 전원을 구비하여 이동성을 용이하도록 할 수도 있다. Although not shown, the wafer carrier box may be provided with a separate power source such as a battery for driving the display device 300 to facilitate mobility.

또한, 상기 표시 장치(300)는 반도체 제조설비 시스템, 중간 처리 장치 또는 사용자 인터페이스(interface)와 유선 또는 무선으로 상기 데이터를 입출력할 수 있다. In addition, the display device 300 may input and output the data to a semiconductor manufacturing facility system, an intermediate processing apparatus, or a user interface by wire or wirelessly.

도 2는 본 발명에 따른 표시 장치(300)를 개략적으로 나타낸 블록도이다. 2 is a block diagram schematically illustrating a display device 300 according to the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 표시 장치(300)는, 작업자 또는 사용자가 상기 웨이퍼 캐리어 내부의 웨이퍼에 대한 정보를 손쉽게 파악할 수 있도록 상기 웨이퍼 공정의 수행 시 상기 공정의 조건 또는 내역 등의 데이터를 표시하는 표시 패널(310)과, 상기 표시 패널(310)에 표시되는 상기 공정의 조건 또는 내역의 데이터를 일시 또는 영구적으로 저장하는 메모리부(320)와, 상기 메모리부(320)에 상기 공정의 조건 또는 내역의 데이터를 입출력하고, 상기 표시 장치(300)에 제어신호를 출력하는 제어부(330)와, 상기 제어부(330)에 상기 공정 조건 또는 내역의 데이터를 유선 또는 무선으로 입출력하는 데이터 입출력부(340)를 포함하여 이루어진다.As illustrated in FIG. 2, the display device 300 according to the present invention may allow a worker or a user to easily grasp information on a wafer inside the wafer carrier. A display panel 310 for displaying data of the data, a memory unit 320 for temporarily or permanently storing data of conditions or details of the process displayed on the display panel 310, and the memory unit 320. A control unit 330 for inputting and outputting data of the condition or details of the process and outputting a control signal to the display device 300, and inputting / outputting data of the process condition or details to the control unit 330 by wire or wirelessly. It includes a data input and output unit 340.

여기서, 상기 표시 패널(310)은 외부로부터 오염을 방지하거나, 외부에 어떠한 영향을 미치지 않도록 밀봉 보호되어 있고, 상기 메모리부(320), 제어부(330) 및 데이터 입출력부(340)는 각 구성요소를 이루는 각각의 팩키지 또는 하우징을 구비하거나, 전자회로로 구성되어 있기 때문에 외부에 미세 먼지와 같은 오염물질을 유발시키지 않는다.In this case, the display panel 310 is sealed and protected to prevent contamination from outside or to affect the outside, and the memory unit 320, the controller 330, and the data input / output unit 340 are each component. Each package or housing constituting the electronic circuit, or because it consists of an electronic circuit does not cause contaminants such as fine dust to the outside.

따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는 표시 장치(300)를 구비하여 청정 시스템의 오염에 따른 생산불량을 방지하여 생산 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있다.Accordingly, the wafer carrier box according to the present invention may include the display device 300 to prevent production defects due to contamination of the clean system, thereby increasing or maximizing production reliability.

또한, 웨이퍼의 상태 또는 단위공정의 내역이 증가하더라도, 상기 웨이퍼 상태 또는 단위공정의 내역 데이터를 상기 표시 패널(310)에 나타내거나, 상기 표시 패널(310)에 나타내지 못하는 상기 데이터를 상기 메모리부(320)에 일시적 또는 반영구적으로 저장하여 작업자 또는 사용자의 선택에 의해 상기 데이터를 상기 표시 패널(310)에 나타낼 수 있기 때문에 다량으로 증가되는 종래 런시트의 분량에 비해 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.Further, even if the state of the wafer or the unit process is increased, the data of the wafer state or the unit process is displayed on the display panel 310 or the data that is not displayed on the display panel 310 is stored in the memory unit ( Since the data may be displayed on the display panel 310 by temporarily or semi-permanently stored in 320, the productivity may be increased or maximized compared to the amount of the conventional run sheet that is increased in a large amount.

그리고, 상기 표시 장치(300)는 상기 작업자 또는 사용자가 직접 상기 표시 패널(310)에 나타나는 상기 데이터를 검색 또는 입출력하도록 도 3과 같이 방향키(341), 입력키 포트(342) 및 USB 포트(343)와 같은 데이터 입출력부(340)를 구비한다.In addition, the display device 300 includes a direction key 341, an input key port 342, and a USB port 343 such that an operator or a user directly searches or inputs and outputs the data displayed on the display panel 310. Data input and output unit 340, such as).

또한, 상기 데이터 입출력부(340)는 반도체 제조설비 시스템, 관리용 컴퓨터가 연결되어 직렬 데이터를 입력하기 위한 USB 포트(343)와, 병렬 데이터를 입력하기 위한 입력키 포트(342)를 구비하여 이루어진다. 도시되지는 않았지만, 상기 반도체 제조설비 시스템, 관리용 컴퓨터에서 상기 제어부(330)에 무선으로 상기 데이터를 입출력할 수 있도록 구성될 수도 있다. In addition, the data input / output unit 340 includes a USB port 343 for inputting serial data by connecting a semiconductor manufacturing system and a management computer, and an input key port 342 for inputting parallel data. . Although not shown, the semiconductor manufacturing system and the management computer may be configured to wirelessly input and output the data to the controller 330.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 표시장치(300)는 다음과 같이 동작될 수 있다. 먼저, 상기 표시장치에 전원이 인가되면, 상기 제어부(330)에 의해 상기 표시패널(310)에 메인 화면이 표시되도록 제어된다. 이후, 상기 제어부(330)는 상기 반도체 제조설비 시스템, 관리용 컴퓨터에 의해 다수의 단위 공정마다 웨이퍼의 상태 또는 상기 단위 공정의 내역을 자동으로 기록 또는 체크하여 작업자로 하여금 상기 웨이퍼 캐리어 박스에 탑재된 캐리어 박스 또는 웨이퍼의 공정 내역을 손쉽게 확인토록할 수 있다. 이때, 상기 작업자는 방향키(341)를 조작하거나, 또는 상기 입력키 포트(342)에 연결되는 상기 입력키를 조작하여 상기 표시 패널(310)에 표시되는 메인 화면에 각종 데이터를 표시할 수 있다. The display device 300 according to the present invention configured as described above may be operated as follows. First, when power is applied to the display device, the controller 330 is controlled to display the main screen on the display panel 310. Thereafter, the controller 330 automatically records or checks the state of the wafer or the details of the unit process by a plurality of unit processes by the semiconductor manufacturing system and the management computer, thereby allowing the operator to mount the wafer carrier box. You can easily check the process history of the carrier box or wafer. In this case, the operator may display various data on the main screen displayed on the display panel 310 by manipulating the direction key 341 or the input key connected to the input key port 342.

따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는 웨이퍼의 상태 또는 상기 웨이퍼 단위공정의 내역을 전기적으로 저장 또는 표시하는 표시 장치(300)를 구비하여 종래 런시트의 오기, 미기 또는 분실에 따른 공정 사고를 방지할 수 있기 때문에 생산 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있다. Accordingly, the wafer carrier box according to the present invention includes a display device 300 that electrically stores or displays the state of the wafer or the details of the wafer unit process, thereby preventing a process accident due to the coming, missing or missing of the conventional run sheet. As a result, production reliability can be increased or maximized.

또한, 상기한 실시예의 설명은 본 발명의 더욱 철저한 이해를 제공하기 위하여 도면을 참조로 예를 든 것에 불과하므로, 본 발명을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론이다. In addition, the description of the above embodiment is merely given by way of example with reference to the drawings in order to provide a more thorough understanding of the present invention, it should not be construed as limiting the present invention. In addition, various changes and modifications are possible to those skilled in the art without departing from the basic principles of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 웨이퍼 캐리어 박스는 표시 장치를 구비하여 청정 시스템의 오염에 따른 생산불량을 방지하여 생산 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, the wafer carrier box is provided with a display device, thereby preventing production defects due to contamination of the clean system, thereby increasing or maximizing production reliability.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는 상기 웨이퍼 상태 또는 단위공정의 내역 데이터를 입력 저장 및 표시하는 표시 장치를 구비하여 웨이퍼의 상태 또는 단위공정의 내역이 증가하더라도 종래 런시트의 분량에 비해 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.In addition, the wafer carrier box according to the present invention includes a display device for inputting and storing and displaying the wafer state or the unit data of the process history, so that even if the state of the wafer or the process process is increased, the wafer carrier box is more productive than the conventional run sheet. Can be increased or maximized.

그리고, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는, 상기 반도체 제조설비 시스템, 중간 처리 장치 또는 사용자 인터페이스에 의해 다수의 단위 공정마다 웨이퍼의 상태 또는 상기 단위 공정의 내역을 자동으로 기록 또는 체크하여 작업자의 불편 또는 시간 손실에 다른 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.In addition, the wafer carrier box according to the present invention automatically records or checks the state of the wafer or the details of the unit process by a plurality of unit processes by the semiconductor manufacturing system, the intermediate processing apparatus, or the user interface. Time loss can increase or maximize other productivity.

마지막으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 박스는 웨이퍼의 상태 또는 상기 웨이퍼 단위공정의 내역을 전기적으로 저장 또는 표시하는 표시 장치를 구비하여 종래 런시트의 오기, 미기 또는 분실에 따른 공정 사고를 방지할 수 있기 때문에 생산 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있다. Finally, the wafer carrier box according to the present invention is provided with a display device for electrically storing or displaying the state of the wafer or the details of the wafer unit process, thereby preventing a process accident due to the coming, missing or missing of the conventional run sheet. As a result, production reliability can be increased or maximized.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 박스를 설명하기 위한 도면.1 is a view for explaining a wafer carrier box according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 블록도.2 is a block diagram schematically illustrating a display device according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 표시장치를 나타낸 평면도.3 is a plan view showing a display device according to the present invention;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on main parts of drawing

100 : 박스 본체 200 : 덮개100: box body 200: cover

300 : 표시 장치 310 : 표시 패널300: display device 310: display panel

320 : 메모리부 330 : 제어부320: memory unit 330: control unit

340 : 데이터 입출력부 341 : 방향키340: data input and output unit 341: direction key

342 : 입력키 포트 343 : USB 포트 342: input key port 343: USB port

Claims

A semiconductor wafer carrier box for transferring a wafer carrier for loading a plurality of wafers, comprising: a semiconductor wafer carrier box;

A box body having a space for storing a wafer carrier on which wafers are loaded;

A cover formed on an upper portion of the box body; And

And a display device installed on a side surface of the box body or on an upper portion of the lid, and configured to input, store, and display data of the state of the wafer in the wafer carrier box or the details of the wafer unit process. .

The method of claim 1,

And the display device comprises a liquid crystal display device.

The method of claim 1,

And a power supply for supplying power to the display device.

The method of claim 1,

The display device,

A display panel for displaying the data for viewing by a user or an operator;

A memory unit for storing the data displayed on the display panel;

A control unit which inputs and outputs the data to the memory unit and outputs a control signal to the display device to display the data;

And a data input / output unit configured to input and output data of the process conditions or details to the controller in a wired or wireless manner.

The method of claim 4, wherein

The data input / output unit has a wafer carrier box having a port for inserting a cable or a connection line to be connected from the outside