KR20050107674A - 평판디스플레이용 기판의 박막형성장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마를 이용한 화학기상증착장치 등 평판디스플레이 기판 박막형성에 사용되는 장치에 관한 것으로, 특히 평판디스플레이 기판과 유리기판의 상부에 안착되는 마스크에 냉각가스를 공급하여 기판과 마스크를 저온으로 유지하는 것이 가능한 평판디스플레이 기판 박막형성 장치에 관한 것이다.

Description

평판디스플레이용 기판의 박막형성장치{Apparatus for Forming Thin Film on Substrate for Flat Panel Display}

본 발명은 플라즈마를 이용한 화학기상증착장치 등 평판디스플레이 기판 박막형성에 사용되는 장치에 관한 것으로, 특히 평판디스플레이 기판과 유리기판의 상부에 안착되는 마스크에 냉각가스를 공급하여 기판과 마스크를 저온으로 유지하는 것이 가능한 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치에 관한 것이다.

최근 각광을 받고 있는 평판디스플레이는 PDP(Plasma Display Panel), 유기발광표시장치, LCD(Liquid Crystal Display)등이 있으며 특히 유기발광표시장치는, 자발광, 광 시야각, 고속 응답 특성 등의 우수한 특성을 갖고 있다. 이러한 유기 발광 표시 장치에 사용되는 유기 발광 소자( Organic Light Emitting Diode : 이하 'OLED'라 함)는 통상 유리 기판 상에 통상 아노드(anode)에 해당하는 제1 전극, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 등으로 이루어지는 유기막 및 통상 캐소드(cathode)에 해당하는 제2 전극을 구비하여 이루어진다.

아노드와 캐소드 사이에 수 볼트(V) 정도의 전압을 인가하면, 아노드에서는 정공이, 캐소드에서는 전자가 생성된다. 생성된 정공과 전자가 각각 정공 수송층 또는 전자 수송층을 경유하여 발광층에서 결합하여, 높은 에너지 상태의 여기자(exciton)를 생성하게 된다. 여기자가 기저 상태로 되돌아가면서 두 상태의 에너지 차에 해당하는 에너지를 가진 빛이 발생한다. 따라서, 유기 발광 소자에서 다른 막들과 함께 유기 발광층에 전자를 공급하는 전극막을 형성하는 것은 필수적이다.

유기막에는 전자 또는 정공의 발생 및 수송층이 별도로 형성될 수도 있고, 수송층이 별도로 형성됨이 없이 전계 발광층만 두 전극 사이에 존재하는 등 표시 장치 내에서 유기 발광 소자의 구체적인 구성은 다양하게 이루어질 수 있다.

유기 발광 소자를 화소에 이용한 유기 발광 표시 장치는 단순 매트릭스 유기 전계 발광 표시 장치와 액티브 매트릭스 유기 전계 발광 표시 장치로 분류될 수 있다. 또한, 통상의 배면 발광형 유기 발광 표시 장치에서, 빛은 ITO(Indium Tin Oxide) 등 투명전극으로 이루어진 투명한 아노드를 투과하여 기판을 통해 나오게 된다. 이때 캐소드는 알루미늄 등의 금속을 사용하게 된다. 한편, 투명 혹은 반투명의 캐소드를 통과하여 보호막을 통해 방출시키는 전면 발광형도 사용되고 있다. 이때, 캐소드는 ITO 등 투명 도전막을 사용하나 전자 공급의 역할을 할 수 있는 별도의 층이 통상 더 개재된다.

이러한 어느 경우에 있어서도, 기판에 하부 아노드 전극과 유기 발광층을 포함하는 유기막을 형성한 뒤 캐소드 전극 및 보호막을 형성할 때 유기막에 손상을 주지 않기 위해서는 입자 충돌에 의한 손상을 줄일 수 있고 저온에서 가능한 성막 공정이 필요하게 된다.

이렇게 기판상에 금속 등 도체박막을 형성하는 방법으로 DC/RF(direct current/radio frequency) 스퍼터(sputter)를 이용하는 연구를 진행해 왔다. 그러나 이러한 sputtering 방법은 플라즈마 형성시 발생되는 높은 에너지를 가진 입자의 기판 출동에 따른 OLED 유기막의 온도상승과 변성, 기판 표면의 재 스퍼터링, 계면반응, 이차 전자의 발생 등의 문제가 있다. 따라서 일반적으로 OLED를 제작하는 공정에서는 유기물의 재료적 특성으로 인하여 100℃이하의 저온공정이 바람직하다.

최근 도체박막을 형성하는 다른 방법으로 화학기상층착법, 특히 플라즈마를 이용한 화학기상증착법을 이용한 박막형성 방법의 적용이 검토되고 있다. 즉 플라즈마 강화 화학기상증착법(Plasma Enhanced CVD), 유도결합 플라즈마 화학기상증착법(Inductively Coupled Plasma CVD)등의 적용이 검토되고 있다. 그러나 반도체 공정이나 LCD 제작공정에서와 마찬가지로 이러한 화학기상증착법을 사용하여 양질의 박막을 증착하기 위해서는 300℃이상의 공정온도를 요구하게 되고 있다.

특히 전면 발광 OLED용 유리 기판의 상부에 실리콘계 화합물을 이용하여 보호막을 형성하는 공정에 플라즈마를 이용한 박막형성 방법의 적용이 검토되고 있다. 이러한 보호막을 형성하기 위해서는 유기기판의 상부에 위치하는 마스크로 금속이나 세라믹 재질의 마스크 이용이 필수적이다. 그러나 이러한 마스크가 플라즈마에 노출되는 경우에는 마스크의 온도가 상승되어 마스크에 변형이 발생되어 보호막의 정확한 패터닝이 어렵게 된다. 또한 마스크의 온도가 상승되면 OLED 기판의 표면에 형성된 유기막에 영향을 초래하여 OLED의 특성에 악영향을 주는 문제점이 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 OLED와 같은 평판디스플레이 기판의 박막형성시 기판과 기판의 상부에 안착되는 마스크에 냉각가스를 공급하여 기판과 마스크를 저온으로 유지하는 것이 가능한 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은 척과 마스크와 클램프를 포함하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성장치에 있어서, 중앙에서 상하로 관통되는 중앙수직홀과 상면에서 상기 중앙수직홀과 양 단측단을 연결하는 상부홈을 구비하며, 상기 기판이 상면에 안착되는 척과, 상기 기판의 상부에 안착되며 상기 기판에 형성되는 박막패턴이 형성되는 마스크와, 상기 척 상부의 양 단측부에 설치되어 상기 마스크를 상기 기판의 상부에 고정하는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 있어서 상기 상부홈은 상기 척의 중앙에서 양 단측단으로 연장되며 소정간격을 두고 서로 평행하게 형성되는 적어도 3개의 상부좌우홈과 상기 상부좌우홈을 서로 연결하는 상부전후홈을 포함하여 형성될 수 있다.

또한 본 발명에 있어서 상기 상부홈은 상기 중앙수직홀에서 상기 척의 각 측단까지 방사상으로 형성될 수 있다.

또한 본 발명에 있어서 상기 척은 양측단에서 안쪽영역으로 소정거리 떨어진 위치에서 상기 상부홈과 연결되도록 수직으로 관통되어 형성되는 외곽수직홀을 더 포함하여 형성될 수 있다.

또한 본 발명에 있어서 상기 마스크는 패턴이 형성되는 마스크본체와 상기 마스크본체의 양측단에 형성되는 마스크프레임을 구비하여 형성될 수 있다.

또한 본 발명에 있어서 상기 클램프는 상기 클램프의 전단에서 상기 척의 중심방향으로 돌출되어 형성되며 상기 마스크의 상면에 접촉되어 상기 마스크를 고정하는 전단고정부와, 상기 클램프의 하부에 형성되며 상기 마스크프레임과 결합되어 상기 마스크를 지지하는 고정홈을 포함하여 형성될 수 있다.

또한 본 발명에 있어서 상기 클램프는 상기 고정홈 내의 상부에 고정되며 상기 마스크프레임의 상면과 접촉되어 상기 마스크를 지지하는 고정스프링을 더 포함하여 형성될 수 있다.

또한 본 발명에 있어서 상기 고정스프링은 판스프링 또는 코일스프링로 형성될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 1a는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 단면도를 나타낸다. 도 1b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 단면도를 나타낸다. 도 2는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 평면도를 나타낸다. 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 평면도를 나타낸다.

도 4는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 기판 박막형성장치에 사용되는 척의 평면도를 나타낸다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 척의 평면도를 나타낸다. 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 척의 평면도를 나타낸다.

본 발명에 따른 평판디스플레이용 기판의 박막형성장치는, 도 1a 내지 도 3을 참조하여 보면, 박막패턴이 형성되는 유리기판(10)이 안착되는 척(20)과 상기 유리기판(10)의 상부에 안착되는 마스크(30)와 상기 마스크(30)를 척(20)에 고정하는 클램프(40)를 포함하여 형성된다. 또한 상기 기판 박막형성장치는 상기 클램프(40)내에 설치되어 마스크(30)와 유리기판(10)의 밀착을 보조하는 고정스프링(46)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 여기서 평판디스플레이 특히 OLED에 사용되는 기판으로 유리기판을 개시하고 있으나 유리기판 외에 다른 기판의 박막 형성에도 사용될 수 있음은 물론이다.

상기 척(20)은, 도 4에서 보는 바와 같이, 소정 크기의 판상블럭으로 형성되며 바람직하게는 안착되는 유리기판(10)의 형상과 동일하게 사각블럭형상으로 형성되며, 플라즈마 장치의 진공챔버 내에 설치되는 척지지대(15)에 설치된다. 상기 척(20)은 중앙의 중앙수직홀(21)과 외곽수직홀(22) 및 상부홈(23)을 포함하여 형성될 수 있다.

상기 중앙수직홀(21)은 척(20)의 중앙에 상부에서 하부로 수직으로 관통되어 형성되며, 하부에 별도의 가스공급관(도면에 표시하지 않음)이 연결되어 냉각가스를 상부로 공급하게 된다.

상기 외곽수직홀(22)은 척(20)의 양 단측단(28)에서 안쪽영역으로 소정거리 떨어진 위치에서 척(20)을 상부에서 수직으로 관통되어 형성된다. 외곽수직홀(22)은 바람직하게는 상기 도 1a와 도 4에서 보는 바와 같이, 척(20)의 상부에 고정되는 상기 클램프의 하부에 형성되도록 한다.

한편 상기 외곽수직홀(22)은 냉각효과가 충분한 경우에는, 도 5에서 보는 바와 같이, 척(20)의 양단측단(28)의 중앙에 형성된 외곽수직홀(22)은 형성되지 않을 수 있음은 물론이다.

또한 상기 외곽수직홀(22)은 상기 중앙수직홀(21)의 냉각가스 공급에 의하여 유리기판(10) 및 마스크(30)의 냉각효과가 충분한 경우에는 형성되지 않을 수 있음은 물론이다.

상기 상부홈(23)은 상기 척(20)의 상면에서 수평으로 소정깊이의 홈으로 형성되며, 양 단측단(28)이 서로 연결되도록 좌우 방향으로 형성되는 상부좌우홈(24)과 상기 상부좌우홈(24)을 서로 연결하는 상부전후홈(25)을 포함하여 형성된다. 상기 상부좌우홈(24)은 적어도 3개가 서로 소정간격을 두고 평행하게 형성되며, 필요한 경우에는 그 수를 증가시킬 수 있음은 물론이다. 또한 상기 상부좌우홈(24)과 상기 상부전후홈(25)은 중앙수직홀(21)의 상부를 관통하여 중앙수직홀(21)과 서로 연결된다. 따라서 상부홈(23)은 전체적으로 중앙수직홀(21)과 연결되어 중앙수직홀(21)에서 공급되는 냉각가스는 상부홈(23)에 전체적으로 공급되어 흐르게 된다. 또한 외곽수직홀(22)이 형성되는 경우에는 상기 외곽수직홀(22)은 상기 상부좌우홈(24)의 양 측단부에 형성되어 서로 연결된다.

따라서, 상기 상부홈(23)의 상부에 유리기판(11)이 안착되면 상부홈(23)과 유리기판은 수평홀을 형성하게 되므로 중앙수직홀(21)과 외곽수직홀(22)에서 공급되는 냉각가스가 척(20)의 상부홈(23)을 따라 척(20)의 상면 전체적으로 흐르면서 유리기판(10)과 접촉되면서 유리기판(10) 및 마스크(30)를 냉각하게 된다.

상기 상부홈(23)은, 도 4의 형상 외에도 도 6에서 보는 바와 같이, 상기 중앙수직홀(21)에서 방사상으로 척(20)의 각 측단(28, 29)까지 연장되어 형성될 수 있다. 이렇게 방사형으로 상부홈(23)을 형성하는 경우에는 각 상부홈(23)으로 균등하게 냉각가스를 공급할 수 있는 장점이 있다.

상기 마스크(30)는 유리기판(10)에 형성되어야 하는 패턴이 형성된 마스크본체(32)와 상기 마스크본체(32)의 양측단에 형성되는 마스크 프레임(34)을 포함하여 형성된다.

상기 마스크본체(32)는 척(20)의 상부에 안착되어 패턴이 형성되는 유리기판(10)의 상면 전체를 커버하면서 접촉되도록 소정크기의 금속 또는 세라믹의 판상으로 형성된다. 상기에서 설명된 바와 같이 마스크본체(32)에는 유리기판(10)에 형성되어야 하는 미세한 패턴 형상이 동일하게 형성되어 있다.

상기 마스크프레임(34)은 바(bar) 형상으로 상기 마스크본체(32)의 양측단을 따라 상향으로 돌출되어 형성되며, 상기 클램프(40)에 결합되어 마스크본체(32)를 상기 유리기판(10)에 밀착시켜 고정하게 된다. 상기 마스크프레임(34)은, 도 1a에서 보는 바와 같이, 단면이 사각인 막대형상으로 형성될 수 있으며, 단면이 반원 또는 다각형인 막대형상으로 형성될 수 있음은 물론이다. 마스크프레임(34)의 길이는 상기 클램프(40)의 형상에 따라 다르게 형성될 수 있다.

상기 클램프(40)는, 도 1a와 도 2에서 보는 바와 같이, 블록 형상의 일반적인 클램프로 형성되며, 전단고정부(42)와 고정홈(44) 및 고정스프링(46)을 포함하여 형성된다. 상기 클램프(40)는 상기 척(20) 또는 척지지대(15)의 상부에 결합되어 상기 마스크(30)를 상기 유리기판(10)의 상부에 고정하게 된다. 이때 상기 고정스프링(46)은, 도 1b에서 보는 바와 같이, 상기 마스크프레임(34)과 고정홈(44)의 결합정밀도가 요구되지 않는 경우 등 고정스프링(46)이 필요없는 경우에는 설치되지 않을 수 있음은 물론이다.

상기 클램프(40)는 바람직하게는 사용되는 마스크(30)의 길이와 동일하게 형성된다. 따라서 도 2에서 보는 바와 같이 마스크본체(32)의 측단을 전체적으로 고정할 수 있도록 길게 형성될 수 있으며, 도 3에서 보는 바와 같이 마스크본체(32)의 측단의 일부만 고정할 수 있도록 짧게 형성될 수 있음은 물론이다.

또한 상기 클램프(40)는 표면에 알루미늄 아노다이징(Al Anodizing)처리를 하여 열전도를 향상시킬 수 있다. 즉 마스크(30)에서 전달되는 열을 표면을 통하여 빨리 방출시킴으로써 마스크(30)의 냉각효과를 증가시킬 수 있게 된다.

상기 전단고정부(42)는 상기 클램프(40)의 전단에서 소정폭으로 돌출되어 수평면을 갖도록 형성되며, 하부의 수평면이 상기 마스크본체(32)의 상면에 접촉되도록 형성된다.

상기 고정홈(44)은 클램프(40)의 하부에서 상기 마스크프레임(34)의 형성위치에 대응하는 위치에 상향으로 소정 형상을 갖도록 형성된다. 상기 고정홈(44)은, 바람직하게는 상기 마스크프레임(34)의 상부 형상에 대응되는 형상으로 형성된다. 즉 마스크프레임(34)의 단면이 사각형상이면 고정홈(44)도 사각형으로 형성하여, 마스크프레임(34)과 고정홈(44)의 결합에 의한 마스크(30)의 고정이 유리하도록 한다.

상기 고정스프링(46)은, 도 1a에서 보는 바와 같이, 판상스프링으로 형성되며, 상기 클램프(40)의 고정홈(44)내의 상부에 볼트와 같은 별도의 고정수단(도면에 표시하지 않음)에 의하여 고정된다. 따라서 상기 고정스프링(46)은 고정홈(44)에 결합되는 마스크프레임(34)의 상부에 접촉되어 마스크프레임(34)에 일정한 힘을 가하여 마스크(30)를 고정하게된다. 따라서 상기 고정스프링(46)은 마스크프레임(34)의 높이가 일정하지 않은 경우에도 보다 용이하게 마스크(30)를 고정할 수 있게된다.

또한 상기 고정스프링(46)은 판상스프링 외에, 코일스프링 또는 내열고무등 탄성체를 사용하여 형성될 수 있음은 물론이다.

다음은 본 발명에 따른 평판디스플레이용 기판의 박막형성장치의 작용에 대하여 설명한다.

기판의 박막형성장치의 내부에 설치된 상기 척((20)의 상면에 유리기판(10)을 안착시킨 후 마스크(30)를 다시 유리기판(10)의 상부에 안착시킨다. 상기 마스크(30)의 마스크프레임(34)을 클램프(40)의 고정홈(44)에 결합시키면서 클램프(40)를 척(20)의 상부에 고정시킨다. 상기 클램프(40)의 고정홈(44)에 고정스프링(46)이 형성된 경우에는 마스크프레임(34)의 높이와 고정홈(44)의 깊이를 정확하게 일치시켜 형성할 필요가 없으므로 마스크(30)의 고정이 용이하게 된다.

상기 척(20)의 상면에 유리기판(10)과 마스크(30)가 완벽하게 고정된 후에 외부의 냉각가스 공급장치(도면에 표시하지 않음)를 가동하여 상기 중앙수직홀(21)의 하부를 통하여 척(20)의 상면에 냉각가스를 공급한다. 이때 냉각가스로는 바람직하게는 헬륨가스를 사용한다. 척(20)의 상면에 공급된 냉각가스는 척(20)의 상면에 형성된 상부홈(23)을 따라 척(20)의 상면에서 각 측단으로 흐르면서 유리기판(10)과 마스크(30)를 냉각하게 된다.

한편 상기 중앙수직홀(21)과 함께 외곽수직홀(22)이 형성된 경우에는 중앙수직홀(21)과 별도로 외곽수직홀(23)에도 냉각가스가 공급된다. 따라서 외곽수직홀(23)에서 공급되는 냉각가스는 일부는 척(20)의 상면에서 측단으로 흐르지만, 일부는 척(20)의 상면에서 중심방향으로 흐르면서 중앙수직홀(21)에서 공급되는 냉각가스와 만나 냉각가스를 마스크프레임(34)과 고정홈(44)을 따라 클램프(40)의 상부로 냉각가스가 흐르도록 유도한다. 따라서 마스크프레임(34)과 클램프(40)도 효과적으로 냉각시키는 것이 가능하게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 특허청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

본 발명에 의한 평판디스플레이용 기판의 박막형성장치에 의하면 특히 OLED용 유리기판에 박막을 형성하는 공정에서 별도의 냉각가스를 사용하여 유리기판과 마스크를 저온으로 유지하는 것이 가능하므로 유리기판에 형성된 유기막의 손상을 방지하고 마스크의 변형을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명에 의하면 척 상면의 외곽에서도 냉각가스를 공급하여 마스크프레임과 클램프에 냉각가스가 직접 접촉하도록 하고 클램프의 표면을 알미늄 아노다아징 처리함으로써 마스크의 냉각효과를 증가시키는 효과가 있다.

또한 본 발명에 의하면 클램프에 고정스프링을 포함시킴으로써 마스크프레임의 고정시 마스크프레임과 클램프의 고정홈의 형상을 일치시키지 않고도 용이하게 마스크를 고정시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1a는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 단면도.

도 1b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 단면도.

도 2는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 평면도.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 박막형성장치의 평면도.

도 4는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 기판 박막형성장치에 사용되는 척의 평면도.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 척의 평면도.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 척의 평면도.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 - 기판 20 - 척

21 - 중앙수직홀 22 - 외곽수직홀

23 - 상부홈 30 - 마스크

32 - 마스크본체 34 - 마스크프레임

40 - 클램프 42 - 전단고정부

44 - 고정홈 46 - 고정스프링

Claims (8)

1. 척과 마스크와 클램프를 포함하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성장치에 있어서,

   중앙에서 상하로 관통되는 중앙수직홀과 상면에서 상기 중앙수직홀과 양 단측단을 연결하는 상부홈을 구비하며, 상기 기판이 상면에 안착되는 척과,

   상기 기판의 상부에 안착되며 상기 기판에 형성되는 박막패턴이 형성되는 마스크와,

   상기 척 상부의 양 단측부에 설치되어 상기 마스크를 상기 기판의 상부에 고정하는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 상부홈은 상기 척의 중앙에서 양 단측단으로 연장되며 소정간격을 두고 서로 평행하게 형성되는 적어도 3개의 상부좌우홈과 상기 상부좌우홈을 서로 연결하는 상부전후홈을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 상부홈은 상기 중앙수직홀에서 상기 척의 각 측단까지 방사상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.
4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 척은 양측단에서 안쪽영역으로 소정거리 떨어진 위치에서 상기 상부홈과 연결되도록 수직으로 관통되어 형성되는 외곽수직홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 마스크는 패턴이 형성되는 마스크본체와 상기 마스크본체의 양측단에 형성되는 마스크프레임을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 클램프는 상기 클램프의 전단에서 상기 척의 중심방향으로 돌출되어 형성되며 상기 마스크의 상면에 접촉되어 상기 마스크를 고정하는 전단고정부와

   상기 클램프의 하부에 형성되며 상기 마스크프레임과 결합되어 상기 마스크를 지지하는 고정홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 클램프는 상기 고정홈 내의 상부에 고정되며 상기 마스크프레임의 상면과 접촉되어 상기 마스크를 지지하는 고정스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 고정스프링은 판스프링 또는 코일스프링인 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 기판의 박막형성 장치.