KR20050104487A - System for control the removal of static electricity and method therof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고전압발생부(1), 상기 고전압발생부(1)로부터 고전압을 인가 받아 양이온과 음이온을 발생하는 방전침(2), 대전물체의 근처에 설치되어 정전기 유무 및 레벨을 감지하는 정전기감지센서(10), 상기 고전압발생부(1)에 인가되는 전력을 조정하는 전압조정부(20), 그리고 상기 정전기감지센서(10)로부터의 신호에 의해 정전기 유무 및 레벨을 판별하고 그 정전기의 레벨에 따라 전압조정부(20)를 제어하는 마이크로 프로세서를 포함하는 제어부(30)를 구비하여, 전압조정부에서 OV 출력시 대전물체의 근처에 설치되어 정전기의 레벨을 감지하는 정전기감지센서에 의하여 대전물체의 정전기 레벨을 감지하여 그 값을 마이크로 프로세서에 저장하는 0V출력시 정전기레벨감지단계(S1), 상기 0V출력시 정전기레벨감지 1초후 전압조정부를 제어하여 최대전압(12V)을 출력하여 정전기를 제거하는 정전기제거단계(S2), 상기 정전기제거단계에서의 정전기제거 1초 후 정전기감지센서에 의하여 대전물체의 정전기 레벨을 감지하여 그 현재값을 마이크로 프로세서에 저장하는 단계(S3), 상기 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 과 같거나 이상인지를 판별하는 단계(S4), 상기 단계에서 현재값이 ｜±1000V｜ 이상인 경우에 정전기레벨의 현재값과 과거값을 비교하는 단계(S5), 상기 단계에서 정전기레벨의 현재값이 과거값 보다 작은 경우에 전압조정부에서의 출력값을 그대로 유지하는 단계(S6), 정전기레벨의 현재값이 과거값보다 같거나 큰 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 최대출력으로 하는 단계(S7), 대전물체의 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 보다 작고 ｜±500V｜ 보다 같거나 큰지를 판단하는 단계(S8), 상기 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 보다 작고 ｜±500V｜ 보다 같거나 큰 경우에는 현재값이 과거값보다 작은 지를 판단하는 단계(S9), 상기 단계에서 현재값이 과거값보다 작은 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 하위단계의 전압으로 제어하는 단계(S10), 상기 단계에서 현재값이 과거값보다 작지 않은 경우에는 현재값과 과거값이 같은지를 판단하는 단계(S11), 상기 단계에서 정전기레벨의 현재값이 과거값과 같은 경우에는 현재의 출력을 그대로 유지하는 단계(S12), 상기 단계(S11)에서 현재값과 과거값을 비교하여 현재값이 과거값보다 큰 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 상위단계의 전압으로 제어하는 단계(S13), 그리고 상기 단계(S8)에서 현재값이 ｜±500V｜보다 작은 경우에 전압조정부의 출력값을 그대로 유지하는 단계(S14)를 거쳐서 대전물체 정전기제거를 제어한다. The present invention is a high voltage generator 1, a discharge needle (2) for generating positive and negative ions by receiving a high voltage from the high voltage generator (1), the electrostatic sensing to detect the presence and level of static electricity installed near the charged object The presence or absence of the static electricity and the level is determined by the signal from the sensor 10, the voltage adjusting unit 20 for adjusting the power applied to the high voltage generating unit 1, and the static electricity detection sensor 10 and the level of the static electricity And a control unit 30 including a microprocessor for controlling the voltage adjusting unit 20. The voltage adjusting unit is installed near the charging object at the time of outputting the OV so that the static electricity of the charging object is prevented by an electrostatic sensor. Detecting the level and storing the value in the microprocessor, the static electricity level detection step (S1) at 0V output, the static voltage level detection 1 second after the 0V output control the voltage adjusting unit to control the maximum voltage (1 2V) outputting the static electricity removing step (S2) to remove the static electricity, the static electricity detection step 1 second after the static electricity removal step of detecting the static electricity level of the charged object by the electrostatic sensor to store the current value in the microprocessor (S3), determining whether the present value of the static electricity level is equal to or greater than | ± 1000V | (S4), and if the present value is greater than or equal to | ± 1000V | Comparing step (S5), the step of maintaining the output value from the voltage adjuster as it is when the present value of the static electricity level is less than the past value (S6), when the present value of the static electricity level is equal to or greater than the past value Making the output value from the voltage adjusting section the maximum output (S7), determining whether the current value of the static electricity level of the charged object is less than | ± 1000V | and less than or equal to | ± 500V | (S8), If the present value of the previous level is less than | ± 1000V | and is equal to or greater than | ± 500V |, it is determined whether the present value is smaller than the past value (S9). Controlling the output value of the adjusting unit to a voltage of a lower step (S10), and if the present value is not smaller than the past value in the step, determining whether the present value and the past value are the same (S11), and in the step, the static electricity level If the present value is equal to the past value, the present output is maintained as it is (S12). In step S11, the present value is compared with the past value, and if the present value is greater than the past value, the output value from the voltage adjusting unit. Is controlled to a higher level voltage (S13), and if the current value is less than | ± 500V | in step S8, maintaining the output value of the voltage adjusting part as it is (S14). It controls the eliminator.
본 발명은 정전기제거 제어시스템 및 그 제어방법은 대전물체에 발생한 정전기를 제거함에 있어서 정전기감지센서에서 대전물체의 잔류 정전기를 감지하여 그 잔류 정전기의 레벨에 맞는 세기의 양이온 또는 음이온을 생성하여 대전물체의 정전기와 이온결합시키는 것을 반복적으로 수행하여 잔류정전기를 점점 감소시킴으로써 잔류정전기를 최소화하게 되는 효과를 발휘한다. The present invention provides a static elimination control system and a control method thereof in order to remove the static electricity generated in the charged object and to detect the residual static electricity of the charged object in the static electricity sensing sensor to generate positive or negative ions of strength corresponding to the level of the remaining static electricity. By repeatedly performing ion-combination with the static electricity of N, the residual static electricity is gradually reduced to minimize the residual static electricity.
Description
본 발명은 전자 제품 등에서 발생하는 정전기를 제거하는 제어시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체, LCD 등 고정밀 전자제품에 발생하는 정전기를 제거함에서 있어서 정전기제거후에도 잔류하는 정전기를 최소화하는 정전기제거 제어시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a control system for removing static electricity generated in electronic products and the like, and more particularly, to minimize static electricity remaining after static electricity removal in removing static electricity generated in high-precision electronic products such as semiconductors and LCDs. An electrostatic elimination control system and a control method thereof.
일반적으로 반도체, LCD 등 각종 전자부품의 생산공정에서는 전자제품에 정전기가 발생된다. 정전기로 인하여 발생하는 경우 전자부품이 고장을 일으키거나 성능에 불안정을 줄 수 있으며, 인체에도 영향을 미치기 때문에 가능한 정전기를 완벽하게 제거되어야 하는데, 대전물체에 정전기가 모두 제거되지 않고 많은 잔류 정전기 가지고 있다. Generally, in the production process of various electronic components such as semiconductors and LCDs, static electricity is generated in electronic products. If it is caused by static electricity, it may cause electronic parts failure or performance instability and affect human body. Therefore, static electricity should be removed as completely as possible. .
상기와 같이 전자제품의 정전기를 제거하기 위하여 종래에는 대전물체 근처에 방전침을 배치시키고 상기 방전침에 고압을 인가하여 양이온 및 음이온을 동시에 발생하는 이온들을 후방에서 바람을 불어주어 양이온과 음이온을 대전물체에 접촉시켜 정전기를 제거하는데 이온 블로워가 이용되고 있다. In order to remove the static electricity of the electronic products as described above, in the prior art, the discharge needle is placed near the charged object and the high pressure is applied to the discharge needle to blow the ions that simultaneously generate the positive and negative ions at the rear to charge the positive and negative ions. Ion blowers are used to remove static electricity by contacting objects.
도 1은 일반적인 정전기제거용 이온 블로워의 일부 절개 측면도이고, 도 2는 도 1의 이온 블로워의 구성요소인 방전침의 설치상태도이며, 도 3은 종래의 정전기제거용 이온 블로워의 작동회로의 개략 블록도이다. 1 is a partially cutaway side view of a general static elimination ion blower, FIG. 2 is a state diagram of a discharge needle that is a component of the ion blower of FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic block diagram of an operation circuit of a conventional static elimination ion blower. It is also.
종래의 이온 블로워 작동회로는 대략 낮은 DC전압(12V)을 승압하여 각각의 높은 DC전압(6KV,-6KV)으로 출력하는 고전압발생부(1), 그리고 상기 고전압발생부(1)로부터 고전압을 인가 받아 코로나방전을 일으켜 양이온과 음이온을 발생하는 방전침(2)으로 구성되어 있다. DC전압 6KV를 인가 받은 방전침(2)에서는 양이온을 발생하고 DC전압 -6KV를 인가 받은 방전침(2)에서는 음이온을 발생한다. The conventional ion blower operation circuit applies a high voltage from the high voltage generator 1 and a high voltage generator 1 for boosting the low DC voltage 12V and outputting the respective high DC voltages 6KV and 6KV. It consists of a discharge needle 2 which generates a corona discharge and generates positive and negative ions. The discharge needle 2 applied with the DC voltage 6KV generates positive ions, and the discharge needle 2 applied with the DC voltage -6KV generates negative ions.
방전침(2)은 환형의 침 설치부(4)에 일정간격으로 설치되어 있으며, 방전침(2)에서 발생된 양이온과 음이온은 그 후방에서 설치된 블로워(3)의 휀(3a)의 작동에 의하여 전방의 대전물체로 이동하여 대전물체에 발생한 정전기와 반응하여 정전기를 제거한다. 대전물체에 정전기의 특성에 따라 양전기가 대전되어 있는 경우에는 음이온이 반응하고 음전기가 대전되어 있는 경우에는 양이온이 반응한다.The discharge needle (2) is installed in the annular needle installation portion (4) at regular intervals, the positive and negative ions generated in the discharge needle (2) to the operation of the fan (3a) of the blower (3) installed behind the By moving to the front of the charging object by reacting with the static electricity generated in the charging object to remove the static electricity. According to the characteristics of the static electricity in the charged object, the anion reacts when the positive electric charge is charged, and the cation reacts when the negative electric charge is charged.
그러나 대전물체에 발생한 정전기에 양이온과 음이온을 동시에 걸어 주어 이온 결합을 시켜 주는데, 결합하는 도중에 정전기와 이온들이 완전히 결합되지 않고 대전물체 주위에 남아 대전물체에 새롭게 대전된다. 따라서 종래의 이온 블로워의 작동회로는 대전물체에 새롭게 대전되어 형성된 잔류 정전기를 까지 완전히 제거하지 못하는 문제점이 있었다. However, positive and negative ions are applied simultaneously to the static electricity generated in the charged object to perform ionic bonds. During the bonding, the static electricity and ions are not completely bonded and remain around the charged object and are newly charged by the charged object. Therefore, the operation circuit of the conventional ion blower has a problem that it is not possible to completely remove the residual static electricity formed by newly charged to the charging object.
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 대전물체에 발생한 정전기를 제거함에 있어서 잔류 정전기를 감지하여 그 잔류 정전기의 레벨에 맞는 세기의 양이온 또는 음이온을 생성하여 대전물체의 정전기와 이온결합시키는 것을 반복적으로 수행함으로써 잔류정전기를 최소화하는 정전기제거 제어시스템을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and by detecting the residual static electricity in removing the static electricity generated in the charging object to generate a positive or negative ion of the intensity corresponding to the level of the residual static electricity of the charged object It is an object of the present invention to provide an electrostatic elimination control system that minimizes residual static electricity by repeatedly performing ion coupling with and.
본 발명의 다른 목적은 대전물체에 발생한 정전기를 제거함에 있어서 잔류 정전기를 감지하여 그 잔류 정전기의 레벨에 맞는 세기의 양이온 또는 음이온을 생성하여 대전물체의 정전기와 이온결합시키는 것을 반복적으로 수행함으로써 잔류정전기를 최소화하는 정전기제거 제어방법을 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to remove the static electricity generated in the charged object by detecting residual static electricity to generate positive or negative ions of the strength corresponding to the level of the residual static electricity by repeatedly performing the ion coupling with the static electricity of the charged object The present invention provides a control method for eliminating static electricity.
상기 한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 정전기제거 제어시스템은 낮은 DC전압을 승압하여 각각의 높은 DC전압으로 출력하는 고전압발생부, 그리고 상기 고전압발생부로부터 고전압을 인가 받아 코로나방전을 일으켜 양이온과 음이온을 발생하는 방전침을 포함하는 정전기제거장치에 있어서, 대전물체의 근처에 설치되어 정전기 유무 및 레벨을 감지하는 정전기감지센서, 상기 고전압발생부에 인가되는 전력을 조정하는 전압조정부, 그리고 상기 정전기감지센서로부터의 신호에 의해 정전기 유무 및 레벨을 판별하고 그 정전기의 레벨에 따라 전압조정부를 제어하는 마이크로 프로세서를 포함하는 제어부를 포함한다. Electrostatic elimination control system of the present invention for achieving the above object is a high voltage generator for boosting a low DC voltage to output a high DC voltage, and a high voltage is applied from the high voltage generator to generate a corona discharge to generate positive and negative ions In the static eliminating device comprising a discharge needle for generating a, an electrostatic sensing sensor installed near the charging object to detect the presence and level of static electricity, a voltage adjusting unit for adjusting the power applied to the high voltage generator, and the static electricity detection It includes a control unit including a microprocessor for determining the presence and absence of the static electricity by the signal from the sensor and for controlling the voltage adjusting unit in accordance with the level of the static electricity.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 정전기제거 제어방법은 전압조정부에서 OV 출력시 대전물체의 근처에 설치되어 정전기의 레벨을 감지하는 정전기감지센서에 의하여 대전물체의 정전기 레벨을 감지하여 그 값을 마이크로 프로세서에 저장하는 0V출력시 정전기레벨감지단계(S1), 상기 0V출력시 정전기레벨감지 1초후 전압조정부를 제어하여 최대전압(12V)을 출력하여 정전기를 제거하는 정전기제거단계(S2), 상기 정전기제거단계에서의 정전기제거 1초 후 정전기감지센서에 의하여 대전물체의 정전기 레벨을 감지하여 그 현재값을 마이크로 프로세서에 저장하는 단계(S3), 상기 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 과 같거나 이상인지를 판별하는 단계(S4), 상기 단계에서 현재값이 ｜±1000V｜ 이상인 경우에 정전기레벨의 현재값과 과거값을 비교하는 단계(S5), 상기 단계에서 정전기레벨의 현재값이 과거값 보다 작은 경우에 전압조정부에서의 출력값을 그대로 유지하는 단계(S6), 정전기레벨의 현재값이 과거값보다 같거나 큰 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 최대출력으로 하는 단계(S7), 대전물체의 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 보다 작고 ｜±500V｜ 보다 같거나 큰지를 판단하는 단계(S8), 상기 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 보다 작고 ｜±500V｜ 보다 같거나 큰 경우에는 현재값이 과거값보다 작은 지를 판단하는 단계(S9), 상기 단계에서 현재값이 과거값보다 작은 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 하위단계의 전압으로 제어하는 단계(S10), 상기 단계에서 현재값이 과거값보다 작지 않은 경우에는 현재값과 과거값이 같은지를 판단하는 단계(S11), 상기 단계에서 정전기레벨의 현재값이 과거값과 같은 경우에는 현재의 출력을 그대로 유지하는 단계(S12), 상기 단계(S11)에서 현재값과 과거값을 비교하여 현재값이 과거값보다 큰 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 상위단계의 전압으로 제어하는 단계(S13), 상기 단계(S8)에서 현재값이 ｜±500V｜보다 작은 경우에 전압조정부의 출력값을 그대로 유지하는 단계(S14)를 포함하는 것을 특징으로 한다. Electrostatic elimination control method of the present invention for achieving the above another object is installed in the vicinity of the charging object when the OV output from the voltage adjusting unit detects the static electricity level of the charging object by the electrostatic detection sensor for detecting the level of static electricity, the value Electrostatic level detection step (S1) when the 0V output stored in the microprocessor (S1), the static electricity removal step (S2) to remove the static electricity by outputting the maximum voltage (12V) by controlling the voltage adjusting unit 1 second after the static electricity level detection at 0V output, After 1 second of static electricity removal in the static electricity removing step, the static electricity sensor detects the static electricity level of the charged object and stores the current value in the microprocessor (S3). The current value of the static electricity level is equal to | ± 1000V | Step S4 of determining whether or not the present value is | ± 1000V | Step S5, maintaining the output value from the voltage adjusting unit when the current value of the static electricity level is smaller than the past value in the step (S6), and if the current value of the static electricity level is the same or larger than the past value, the voltage adjusting unit. In step S7 of making the output value at the maximum output, determining whether the current value of the static electricity level of the charged object is less than | ± 1000V | and equal to or greater than | ± 500V | (S8), and the current value of the static electricity level If the value is less than | ± 1000V | and is equal to or greater than | ± 500V |, it is determined whether the present value is smaller than the past value (S9). If the present value is smaller than the past value in this step, the output value from the voltage adjusting unit is determined. Controlling the voltage to a lower step (S10), if the present value is not less than the past value in the step, determining whether the present value and the past value are the same (S11), and the present value of the static electricity level in the step If the same as the past value, the present output is maintained as it is (S12). In the step S11, the present value is compared with the past value. Controlling to a voltage of (S13), and maintaining the output value of the voltage adjusting unit as it is (S14) when the present value is less than | ± 500V | in the step (S8).
이하 본 발명의 실시예의 구성 및 작용에 대하여 첨부한 도면을 참조하면서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the configuration and operation of embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명의 정전기제거 제어시스템의 블록이고, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 정전기제거 제어방법을 나타내는 플로우챠트이다.4 is a block of the static elimination control system of the present invention, Figures 5a and 5b is a flow chart showing a static elimination control method of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 정전기제거 제어시스템은 낮은 DC전압을 승압하여 각각의 높은 DC전압으로 출력하는 고전압발생부(1), 그리고 상기 고전압발생부(1)로부터 고전압을 인가 받아 코로나방전을 일으켜 양이온과 음이온을 발생하는 방전침(2)을 포함하고 있다. 본 발명의 정전기제거 제어시스템은 대전물체의 근처에 설치되어 정전기 유무 및 레벨을 감지하는 정전기감지센서(10), 상기 고전압발생부(1)에 인가되는 전력을 조정하는 전압조정부(20), 그리고 상기 정전기감지센서(10)로부터의 신호에 의해 정전기 유무 및 레벨을 판별하고 그 정전기의 레벨에 따라 전압조정부(20)를 제어하는 마이크로 프로세서를 포함하는 제어부(30)를 포함한다. 그리고 상기 제어부(30)의 제어에 의해 대전물체의 정전기의 레벨을 표시하는 디스플레이(40)가 구성되어 있다.As shown in FIG. 4, the electrostatic elimination control system of the present invention boosts a low DC voltage and outputs a high DC voltage to each of the high voltage generators 1 and the corona receiving high voltages from the high voltage generators 1. The discharge needle 2 which generate | occur | produces a discharge and generate | occur | produces a cation and an anion is included. Electrostatic elimination control system of the present invention is installed in the vicinity of the charging object, the static electricity sensor 10 for detecting the presence and level of static electricity, the voltage adjusting unit 20 for adjusting the power applied to the high voltage generator 1, and The controller 30 includes a microprocessor for determining the presence or absence of the static electricity by the signal from the static electricity detection sensor 10 and controlling the voltage adjusting unit 20 according to the level of the static electricity. And the display 40 which displays the level of the static electricity of the charged object by control of the said control part 30 is comprised.
상기 정전기감지센서(10)는 정전기의 유무를 감지할 뿐 아니라 정전기 세기의 레벨을 판별하는 기능을 한다. 상기 전압조정부(20)는 제어부(30)의 제어에 의해 고압발생부(1)에 공급하는 전력을 0V 에서 12V까지 조정하는 기능을 한다. 상기 제어부(30)는 마이크로 프로세서를 포함하며 정전기감지센서(10)로부터의 신호에 따라 전압조정부(20)를 제어하여 고전압발생부(1)에 인가되는 전압을 제어하고 디스플레이(40)를 제어하는 대전물체의 정전기 레벨을 표시하는 기능을 한다.The static electricity detection sensor 10 not only detects the presence of static electricity but also functions to determine the level of static electricity intensity. The voltage adjusting unit 20 functions to adjust the power supplied to the high voltage generator 1 from 0V to 12V under the control of the controller 30. The control unit 30 includes a microprocessor and controls the voltage adjusting unit 20 according to a signal from the static electricity detection sensor 10 to control the voltage applied to the high voltage generating unit 1 and to control the display 40. This function displays the static electricity level of the charged object.
상기와 같은 정전기제거 제어시스템을 이용하는 대전물체의 정전기제거 제어방법을 도 5a 및 도 5b를 참조하여 상세히 설명한다.An electrostatic elimination control method for a charged object using the electrostatic elimination control system as described above will be described in detail with reference to FIGS. 5A and 5B.
우선, 전압조정부(20)에서 아무런 전압을 출력하지 않는 OV 출력상태에서, 대전물체의 근처에 설치된 정전기감지센서(10)에 의하여 대전물체의 정전기 레벨을 감지하여 그 값을 제어부(30)의 마이크로 프로세서에 저장한다(S1). 상기 단계(S1)의 0V출력시 정전기레벨감지 1초후 전압조정부(20)를 제어하여 최대전압(12V)을 출력하여 방전침(2)에서 양이온과 음이온을 발생하게 하여 정전기를 제거한다(S2). 상기와 같이 최대전압(12V)을 출력하여 정전기를 제거한 후 1초 후 정전기감지센서(10)에 의하여 대전물체의 정전기 레벨을 감지하여 그 현재값을 제어부(30)의 마이크로 프로세서에 저장한다(S3).First, in the OV output state in which no voltage is output from the voltage adjusting unit 20, the static electricity level of the charged object is sensed by the electrostatic sensing sensor 10 installed near the charged object, and the value thereof is determined by the microcontroller 30. Stored in the processor (S1). 1 second after detecting the static electricity level at the 0V output of the step (S1) by controlling the voltage adjusting unit 20 to output the maximum voltage (12V) to generate the positive and negative ions in the discharge needle (2) to remove the static electricity (S2) . After 1 second after outputting the maximum voltage (12V) to remove the static electricity, the static electricity sensor 10 detects the static electricity level of the charged object and stores the current value in the microprocessor of the controller 30 (S3). ).
그리고 상기 단계(S3)에서 감지한 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜과 같거나 이상인지를 판별한다(S4). 여기서 ｜±1000V｜는 ±1000V의 절대값을 나타내는 표시로서 +1000V는 (+) 정전기를 제어할 때의 정전기의 값이고, -1000V는 (-) 정전기를 제어할 때의 정전기 값이다. (+) 정전기를 제어할 경우는 현재값이 +1000V 이상인지의 여부를 판단하고 (-) 정전기를 제어할 경우는 현재값이 -1000V 이하인지의 여부를 판단한다. Then, it is determined whether the current value of the static electricity level sensed in the step S3 is equal to or greater than | ± 1000V | (S4). Here, | ± 1000V | is an indication of the absolute value of ± 1000V, where + 1000V is the value of static electricity when controlling positive static electricity, and -1000V is the value of static electricity when controlling negative static electricity. In the case of controlling positive static electricity, it is determined whether the present value is more than + 1000V. In case of controlling positive static electricity, it is determined whether the present value is -1000V or less.
상기 단계(S4)에서 대전물체의 정전기 레벨의 현재값이 (+) 정전기를 제어하는 경우 +1000V 이상이거나 (-)정전기를 제어하는 경우 -1000V 이하인 경우에 정전기레벨의 현재값과 과거값을 비교하여(S5), 상기 단계에서 정전기레벨의 현재값이 과거값 보다 작은 경우에 전압조정부(20)에서의 출력값을 그대로 유지하도록 제어한다(S6). 이는 전압조정부(20)의 출력값이 대전물체의 정전기레벨을 감소시키고 있으므로 그 상태를 그대로 유지하는 것이다. When the present value of the static electricity level of the charged object in the step (S4) is + 1000V or more in the case of controlling (+) static electricity or -1000V or less in the case of controlling the (-) static electricity, the present value and the past value of the static electricity level are compared. (S5), if the present value of the static electricity level is smaller than the past value in the step, it is controlled to maintain the output value from the voltage adjusting unit 20 (S6). This is because the output value of the voltage adjusting unit 20 reduces the static electricity level of the charged object, so that the state is maintained as it is.
그리고 상기 단계(S5)에서 정전기레벨의 현재값이 과거값보다 같거나 큰 경우에는 전압조정부(20)에서의 출력값을 최대출력(±12V)으로 제어한다(S7). (+)정전기를 제어하는 경우는 +12V를 출력하고 (-)정전기를 제어하는 경우는 -12V를 출력한다. 이는 대전물체의 정전기 레벨이 상승하고 있으므로 최대전압을 출력하여 정전기레벨을 감소시키고자 하는 것이다. When the present value of the static electricity level is equal to or greater than the past value in step S5, the output value from the voltage adjusting unit 20 is controlled to the maximum output (± 12V) (S7). Outputs + 12V when controlling positive static electricity and -12V when controlling positive static electricity. This is to reduce the static electricity level by outputting the maximum voltage because the static electricity level of the charging object is rising.
다음에 상기 단계(S4)에서 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 이하인 경우에는 대전물체의 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 보다 작고 ｜±500V｜ 보다 같거나 큰지를 판단한다(S8). 상기 단계(S8)에서 정전기 레벨의 현재값이 ｜±1000V｜ 보다 작고 ｜±500V｜ 보다 같거나 큰 경우에는 현재값이 과거값보다 작은 지를 판단한다(S9). 상기 단계(S9)에서 현재값이 과거값보다 작은 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 하위단계의 전압으로 제어한다(S10). (+) 정전기를 제어하는 경우에는 전압조정부(20)의 출력전압을 +1V 감소시킨다. 예를 들어 전압조정부(20)에서 +10V 출력하고 있다면 +9V 로 감소하여 출력한다. 그리고 (-) 정전기를 제어하는 경우에는 +1V 상승시킨다. 예를 들어 전압조정부(20)에서 -10V 출력하고 있다면 -9V로 상승하여 출력한다. 이는 현재 대전물체의 정전기 레벨이 감소하고 있으므로 점점 출력전압을 감소시키는 것이다. Next, in the step S4, when the current value of the static electricity level is less than or equal to | 1000 V, it is determined whether the current value of the static electricity level of the charged object is less than or equal to or less than or equal to or less than or equal to ± 500 V or not (S8). . If the present value of the static electricity level is less than | ± 1000V | and equal to or greater than | ± 500V |, in step S8, it is determined whether the present value is smaller than the past value (S9). When the present value is smaller than the past value in the step S9, the output value from the voltage adjusting unit is controlled to the voltage of the lower step (S10). In the case of controlling positive static electricity, the output voltage of the voltage adjusting unit 20 is reduced by + 1V. For example, if the voltage adjusting unit 20 is outputting + 10V, the output is reduced to + 9V. In case of controlling the negative static electricity, it increases by + 1V. For example, if the voltage adjusting unit 20 outputs -10V, the voltage adjusting unit 20 rises to -9V and outputs it. This is to reduce the output voltage gradually because the static electricity level of the current charging object is decreasing.
그리고 상기 단계(S9)에서 현재값이 과거값보다 작지 않은 경우에는 현재값과 과거값이 같은지를 판단한다(S11). 상기 단계(S11)에서 정전기레벨의 현재값이 과거값과 같은 경우에는 현재의 출력을 그대로 유지한다(S12). 이 상태는 대전물체의 정전기 레벨이 변화되지 않으므로 출력값을 그대로 유지하여 정전기 레벨을 감소시킨다. When the present value is not smaller than the past value in step S9, it is determined whether the present value and the past value are the same (S11). If the present value of the static electricity level is the same as the past value in the step S11, the current output is maintained as it is (S12). In this state, since the static electricity level of the charged object is not changed, the output value is maintained as it is, thereby reducing the static electricity level.
상기 단계(S11)에서 현재값과 과거값을 비교하여 현재값이 과거값보다 큰 경우에는 전압조정부에서의 출력값을 상위단계의 전압으로 제어한다(S13). 이 단계에서는 (+)정전기를 제어하는 경우에는 전압조정부(20)의 출력전압을 +1V 상승시키다. 예를 들어 전압조정부(20)에서 +10V 출력하고 있다면 +11V 로 상승하여 출력한다. (-) 정전기를 제어하는 경우에는 전압조정부(20)의 출력전압을 -1V 감소시킨다. 예를 들어 전압조정부(20)에서 -10V 출력하고 있다면 -11V 로 감소하여 출력한다. 이는 대전물체의 정전기레벨이 상승하고 있으므로 큰 전압을 출력하여 정전기 레벨을 감소시키기 위한 것이다.When the present value is greater than the past value by comparing the present value with the past value in the step S11, the output value from the voltage adjusting unit is controlled to the voltage of the upper level (S13). In this step, in the case of controlling the positive static electricity, the output voltage of the voltage adjusting unit 20 is increased by + 1V. For example, if + 10V is output from the voltage adjusting unit 20, the voltage is increased to + 11V and output. In the case of controlling the negative static electricity, the output voltage of the voltage adjusting unit 20 is reduced by -1V. For example, if the voltage adjusting unit 20 outputs -10V, the voltage adjusting unit 20 decreases the output voltage to -11V and outputs it. This is to reduce the static electricity level by outputting a large voltage because the static electricity level of the charging object is rising.
마지막으로 상기 단계(S8)에서 현재값이 ｜±500V｜보다 작은 경우에 전압조정부(20)의 출력값을 그대로 유지한다(S14). (+) 정전기제거를 제어하는 경우에는 현재값이 +500V 보다 작은 경우이고 (-)정전기제거를 제어하는 경우에는 현재값이 -500V 보다 큰 경우이다. 이 경우에는 잔류정전기의 레벨이 기대치 이하로 감소하였다는 것을 의미하므로 전압조정부(20)의 출력값을 그대로 유지시킨다.Finally, in the step S8, when the current value is less than | ± 500V |, the output value of the voltage adjusting unit 20 is kept as it is (S14). In case of controlling (+) static elimination, the present value is less than + 500V. In case of controlling (+) electrostatic elimination, the present value is greater than -500V. In this case, since the level of the residual static electricity is reduced to less than the expected value, the output value of the voltage adjusting unit 20 is maintained as it is.
상기 단계(S3)부터 단계(14)의 과정은 반복적으로 수행하여 점차로 잔류정전기를 최소화시킨다. From step S3 to step 14, the process of step 14 is repeatedly performed to gradually minimize residual static electricity.
이와 같이 본 발명의 정전기제거 제어방법은 현재 대전물체의 정전기 레벨을 감지하여 그 정전기 레벨에 맞는 세기의 음이온 또는 양이온을 생성하여 대전물체의 정전기와 이온결합시킴으로써 잔류정전기를 많아도 500V 이하로 최소화 할 수 있다.As described above, the method for controlling static electricity elimination of the present invention detects the static electricity level of the current charged object and generates anion or cation of strength corresponding to the static electricity level to ionize the static electricity of the charged object to minimize residual static electricity to 500 V or less. have.
전술한 설명에서 1000V, 500V의 기준값은 일예를 나타내는 것에 불과한 것이고 대전물체에 따라 이 기준값은 달라질 수 있다. In the above description, the reference values of 1000 V and 500 V are merely examples, and the reference values may vary depending on the charging object.
본 발명은 특히 반도체와 LCD 등 고정밀 전자제품의 정전기제거에 적합하다.The present invention is particularly suitable for removing static electricity of high precision electronic products such as semiconductors and LCDs.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 정전기제거 제어시스템 및 그 제어방법은 대전물체에 발생한 정전기를 제거함에 있어서 정전기감지센서에서 대전물체의 잔류 정전기를 감지하여 그 잔류 정전기의 레벨에 맞는 세기의 양이온 또는 음이온을 생성하여 대전물체의 정전기와 이온결합시키는 것을 반복적으로 수행하여 잔류정전기를 점점 감소시킴으로써 잔류정전기를 최소화하는 효과를 발휘한다. As described above, the present invention provides a static elimination control system and a control method thereof according to the present invention. By generating negative ions and repeatedly performing ion coupling with the static electricity of the charged object, the residual static electricity is gradually reduced to minimize the residual static electricity.
본 발명은 기재된 구체예 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 사상과 범위내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 첨부한 특허청구범위에 속한다 할 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that modifications and variations can be made within the spirit and scope of the invention, and such modifications and variations will fall within the scope of the appended claims.
도 1은 일반적인 정전기제거용 이온 블로워의 일부 절개 측면도,1 is a partial cutaway side view of a general static ion removing blower,
도 2는 도 1의 이온 블로워의 구성요소인 방전침의 설치상태도,FIG. 2 is an installation state of a discharge needle that is a component of the ion blower of FIG. 1;
도 3은 종래의 정전기제거용 이온 블로워의 작동회로의 개략 블록도,3 is a schematic block diagram of an operation circuit of a conventional static blower ion blower,
도 4는 본 발명의 정전기제거 제어시스템의 블록도, 4 is a block diagram of the static elimination control system of the present invention;
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 정전기제거 제어방법을 나타내는 플로우챠트이다. 5A and 5B are flowcharts illustrating the static elimination control method of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
1 : 고전압발생부 2 : 방전침1: high voltage generator 2: discharge needle
3 : 블로워 3a : 휀 3: blower 3a: bang
4 : 침설치부 4: needle installation unit
10: 정전기감지센서 20: 전압조정부10: static electricity detection sensor 20: voltage adjusting unit
30: 제어부 40: 디스플레이30: control unit 40: display
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