KR20050097175A - In-plane switching mode liquid crystal display device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배선 저항을 낮추고, 단선을 방지하는 구조의 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판에 관한 것이다.The present invention relates to an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device having a structure that lowers wiring resistance and prevents disconnection.

최근들어 액정표시장치가 점점 대형화되고 있음에도 불구하고, 고개구율을 위해 위해 선폭은 늘리지 않고 있다. 따라서, 대면적화로 인해 배선의 길이가 늘어남에 따라 배선 저항도 증가하는데, 이러한 배선의 저항이 증가됨에 따라 화질에 영향을 주어 화질 저하등의 문제가 발생하고 있으며, 또한 배선이 길어짐에 따라 단선의 가능성 또한 증가하고 있다.In recent years, despite the increasing size of LCDs, line widths have not been increased for high opening ratios. Therefore, the wiring resistance increases as the length of the wiring increases due to the larger area. As the resistance of the wiring increases, the quality of the wiring is affected, resulting in a problem such as deterioration of the image quality. The possibilities are also increasing.

본 발명은 선폭을 늘이지 않고 배선 저항을 낮추며, 단선이 발생하는 것을 방지할 수 있는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판을 제공한다. The present invention provides an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device capable of lowering wiring resistance without increasing line width and preventing occurrence of disconnection.

Description

횡전계형 액정표시장치{In-Plane Switching mode Liquid crystal display device} In-Plane Switching mode Liquid crystal display device

본 발명은 액정표시장치(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)에 관한 것으로, 좀더 저항을 낮추고 단선불량 방지하는 횡전계형 액정표시장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film transistor liquid crystal display, and more particularly to a transverse electric field type liquid crystal display device which lowers resistance and prevents disconnection.

최근 정보화 사회로 시대가 급진전함에 따라, 대량의 정보를 처리하고 이를 표시하는 디스플레이(display)분야가 발전하고 있다.Recently, as the information society has progressed rapidly, a display field for processing and displaying a large amount of information has been developed.

특히 최근 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 시대상에 부응하기 위해 평판 표시 장치(plate panel display)의 필요성이 대두되었고, 이에 따라 색 재현성이 우수하고 박형인 박막 트랜지스터형 액정표시장치(Thin film transistor liquid crystal display )가 개발되었다.In particular, in order to meet the times of thinning, light weight, and low power consumption, there is a need for a flat panel display, and accordingly, a thin film transistor liquid crystal device having excellent color reproducibility and thinness is developed. crystal display) has been developed.

이러한 액정표시장치의 디스플레이 방법은 액정분자의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하는데, 이는 상기 액정분자의 구조가 가늘고 길며, 그 배열에 있어서 방향성을 갖는 선 경사각(pretilt angle)을 갖고 있기 때문에, 인위적으로 액정에 전압을 인가하면 액정분자가 갖는 선 경사각을 변화시켜 상기 액정 분자의 배열 방향을 제어할 수 있으므로, 적절한 전압을 액정층에 인가함으로써 상기 액정분자의 배열 방향을 임의로 조절하여 액정의 분자배열을 변화시키고, 이러한 액정이 가지고 있는 광학적 이방성에 의하여 편광된 빛을 임의로 변조함으로써 원하는 화상정보를 표현한다. The display method of the liquid crystal display device uses optical anisotropy and polarization properties of liquid crystal molecules, which are artificially thin and long and have a pretilt angle having directionality in the arrangement thereof. When voltage is applied to the liquid crystal, the direction of alignment of the liquid crystal molecules can be controlled by changing the inclination angle of the liquid crystal molecules. Therefore, by applying an appropriate voltage to the liquid crystal layer, the alignment direction of the liquid crystal molecules is arbitrarily adjusted to adjust the molecular arrangement of the liquid crystal. The desired image information is expressed by randomly modulating the light polarized by the optical anisotropy of the liquid crystal.

현재에는 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터에 연결된 화소전극이 행렬 방식으로 배열된 능동형 액정표시장치(Active Matrix LCD)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다. Currently, an active matrix LCD in which a thin film transistor and pixel electrodes connected to the thin film transistor are arranged in a matrix manner is attracting the most attention due to its excellent resolution and ability to implement video.

일반적인 액정표시장치를 이루는 기본적인 소자인 액정 패널은 상부의 컬러필터기판과 하부의 어레이 기판이 서로 대향하여 소정의 간격을 두고 이격되어 있고, 이러한 두 개의 기판 사이에 액정분자를 포함하는 액정이 충진되어 있는 구조이다.In the liquid crystal panel, which is a basic element of a general liquid crystal display device, an upper color filter substrate and a lower array substrate face each other and are spaced apart at a predetermined interval, and a liquid crystal including liquid crystal molecules is filled between the two substrates. It is a structure.

이때, 이러한 액정에 전압을 인가하는 전극은 컬러필터 기판에 위치하는 공통전극과 어레이 기판에 위치하는 화소전극이 되고, 이러한 두개의 전극에 전압이 인가되면, 인가되는 전압의 차이에 의하여 형성되는 상하의 수직적 전기장이 그 사이에 위치하는 액정 분자의 방향을 제어하는 방식을 사용한다.At this time, the electrode for applying a voltage to the liquid crystal is a common electrode located on the color filter substrate and the pixel electrode located on the array substrate, when the voltage is applied to these two electrodes, the upper and lower sides formed by the difference of the applied voltage It uses a way to control the direction of the liquid crystal molecules between which the vertical electric field is located.

그러나, 상술한 바와 같이 공통전극과 화소전극이 수직적으로 형성되고, 여기에 발생하는 상하의 수직적 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식을 사용할 경우 투과율과 개구율 등의 특성이 우수한 장점은 있으나, 시야각 특성이 우수하지 못한 단점을 가지고 있기 때문에, 이러한 단점을 극복하기 위해 수평적 전기장을 이용하는 횡전계(IPS ; In-Plane Switching)에 의한 액정 구동방법이 제안되었다.However, as described above, the common electrode and the pixel electrode are vertically formed, and when the liquid crystal is driven by the vertical electric field generated above and below, the characteristics such as transmittance and aperture ratio are excellent, but the viewing angle characteristics are excellent. In order to overcome these disadvantages, a liquid crystal driving method using an in-plane switching (IPS) using a horizontal electric field has been proposed.

이하, 상술한 횡전계형 액정표시장치를 도 1을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the above-described transverse electric field type liquid crystal display device will be described in detail with reference to FIG. 1.

일반적인 횡전계형 액정표시장치의 액정패널은 컬러필터를 가지고 있는 컬러필터 기판(10)과 박막 트랜지스터 어레이 기판(20)이 서로 대향하고 있으며, 이러한 컬러필터 기판(10)과 박막 트랜지스터 어레이 기판(20) 사이에는 액정층(30)이 충진되어 있다.In a liquid crystal panel of a general transverse electric field type liquid crystal display device, a color filter substrate 10 having a color filter and a thin film transistor array substrate 20 face each other, and the color filter substrate 10 and the thin film transistor array substrate 20 are opposite to each other. The liquid crystal layer 30 is filled in between.

이때, 박막 트랜지스터 어레이 기판(20) 상에는 공통전극(40)과 화소전극(50)이 동일 평면상에 수평적으로 형성되어 있고, 여기에 인가되는 전압에 따라 수평적 전기장(45)을 형성하게 되고, 이때 이러한 수평적 전기장(45) 사이에 있는 액정 분자들은 이에 영향을 받아 구동하게 된다.At this time, the common electrode 40 and the pixel electrode 50 are formed horizontally on the same plane on the thin film transistor array substrate 20, and form a horizontal electric field 45 according to the voltage applied thereto. In this case, the liquid crystal molecules between the horizontal electric fields 45 are driven by the influence thereof.

즉, 일반적인 횡전계형 액정표시장치의 오프(off), 온(on)상태의 동작을 도시한 단면도인 도2a와 도 2b를 통하여 설명하면, 오프 상태의 횡전계형 액정표시장치는 도 2a와 같이, 인가되는 전압이 없으므로 공통전극(40)과 화소전극(50) 사이에 수평적 전기장이 형성되지 않고, 따라서 액정 분자(35)의 상변이가 일어나지 않는다. That is, the cross sectional view of the general transverse electric field type liquid crystal display device in the off state and the on state will be described with reference to FIGS. 2a and 2b. Since no voltage is applied, a horizontal electric field is not formed between the common electrode 40 and the pixel electrode 50, and thus no phase change of the liquid crystal molecules 35 occurs.

이때, 특히 원내의 도면은 횡전계형 액정표시장치의 간략한 평면도를 나타낸 것으로, 도시한 바와 같이 공통전극(40)과 화소전극(50) 사이에 위치하는 액정분자(35)들은 러빙 방향(R)에 따라 공통전극(40)과 화소전극(50)에 대해서 일정 각도로 경사지게 위치하고 있고, 여기에 전압이 인가되어 공통전극(40)과 화소전극(50)사이에 수평적 자기장이 형성되면, 그 사이에 위치한 액정 분자(35)가 회전력을 받아 공통전극(40)과 화소전극(50)에 대칭이 되도록 회전하게 된다. 이때, 상기 러빙 방향(R)은 공통전극(40) 및 화소전극(50)의 장축방향과 10∼20도 정도의 각을 이루고 있다.In this case, in particular, the drawing in the circle shows a simplified plan view of the transverse electric field type liquid crystal display device, and as shown, the liquid crystal molecules 35 positioned between the common electrode 40 and the pixel electrode 50 are located in the rubbing direction R. FIG. Accordingly, when the common electrode 40 and the pixel electrode 50 are inclined at a predetermined angle and a voltage is applied thereto, a horizontal magnetic field is formed between the common electrode 40 and the pixel electrode 50, therebetween. The liquid crystal molecules 35 positioned are rotated to be symmetrical with respect to the common electrode 40 and the pixel electrode 50 by the rotational force. In this case, the rubbing direction R forms an angle of about 10 to 20 degrees with the major axis direction of the common electrode 40 and the pixel electrode 50.

도 2b는 상술한 두 개의 전극에 각각 전압이 인가된, 온(on) 상태인 횡전계형 액정표시장치의 액정의 상변이를 도시한 도면으로, 공통전극(40) 및 화소전극(50)과 대응하는 위치의 액정분자(35a)의 상변이는 없지만, 공통전극(40)과 화소전극(50)의 사이 구간에 위치한 액정분자(35b)는 공통전극(40)과 화소전극(50)사이에 전압이 인가됨으로써 형성되는 수평적 자기장(45)에 인해, 이러한 수평적 자기장(45)과 같은 방향으로 상변이가 이루어진다.FIG. 2B illustrates a phase shift of a liquid crystal of a transverse electric field type liquid crystal display device in which an voltage is applied to each of the two electrodes described above, and corresponds to the common electrode 40 and the pixel electrode 50. Although there is no phase change of the liquid crystal molecules 35a at the position, the liquid crystal molecules 35b positioned in the section between the common electrode 40 and the pixel electrode 50 have a voltage between the common electrode 40 and the pixel electrode 50. Due to the horizontal magnetic field 45 formed by the application, the phase change occurs in the same direction as the horizontal magnetic field 45.

이러한 횡전계형 액정표시장치는 상술한 바와 같이, 액정이 수평적 자기장에 의해 구동하므로 횡전계형 액정표시장치를 통하여 표시된 화면을 사용자가 정면에서 보았을 때, 상하좌우 방향으로 각각 약 80~85ㅀ방향까지 가시할 수 있는 시야각 특성을 가지고 있다.Since the liquid crystal is driven by a horizontal magnetic field as described above, when the user views the screen displayed through the transverse field type liquid crystal display from the front, the transverse field type liquid crystal display device is in the up, down, left, and right directions about 80 to 85 degrees respectively. It has a visible angle characteristic.

이러한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다.Such an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device will be described with reference to FIG. 3.

도 3은 종래의 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 화소영영 일부를 도시한 평면도이다. 3 is a plan view showing a portion of pixel areas of a conventional array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 가로 방향의 게이트 배선(60)과 세로 방향의 데이터 배선(70)이 교차하여 화소 영역을 정의하고, 게이트 배선(60)과 데이터 배선(70)의 교차 부분에는 게이트 배선(60) 및 데이터 배선(70)과 연결된 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(65)가 형성되어 있다. 화소영역에는 상기 게이트 배선에서 일정간격 이격하여 가로방향으로 연장된 공통배선(80)이 형성되어 있으며, 상기 공통배선(80)과 연결된 다수의 공통전극(85)이 세로 방향으로 연장되어 있다. 또한, 화소영역에는 세로방향을 가지며 공통전극(85)과 일정간격을 가지고 서로 엇갈리게 배치된 다수의 화소전극(95)이 형성되어 있는데, 상기 화소전극(95)은 박막 트랜지스터(65)와 연결되어 있다.As shown in the figure, the horizontal gate wiring 60 and the vertical data wiring 70 cross each other to define a pixel region, and the gate wiring 60 is formed at the intersection of the gate wiring 60 and the data wiring 70. And a thin film transistor 65 which is a switching element connected to the data line 70 is formed. The common region 80 extending in the horizontal direction is spaced apart from the gate wiring at a predetermined interval, and the plurality of common electrodes 85 connected to the common interconnection 80 extend in the vertical direction. In addition, in the pixel region, a plurality of pixel electrodes 95 having a vertical direction and interposed with the common electrode 85 at predetermined intervals are formed. The pixel electrodes 95 are connected to the thin film transistor 65. have.

도 4와 도 5는 도 3을 A-A, B-B에 따라 절단한 단면도이다.4 and 5 are cross-sectional views taken along the lines A-A and B-B of FIG. 3.

도시한 바와 같이, 기판 상에 게이트 전극(61)을 포함한 게이트 배선(60)과 공통배선(80) 및 공통전극(85)은 동일한 층에 형성되어 있다. 이때 상기 공통전극(85) 각각은 일정한 간격을 유지하며 형성되어 있는 것이 특징이다. As shown, the gate wiring 60 including the gate electrode 61, the common wiring 80 and the common electrode 85 are formed on the same layer on the substrate. At this time, each of the common electrodes 85 is characterized by being formed at a constant interval.

다음, 상기 게이트 전극(61)을 포함하는 게이트 배선(60)과 공통배선(80) 및 공통전극(85) 상부에 게이트 절연막(62)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(62) 상부로 박막 트랜지스터 형성 부분(Tr)에는 비정질 실리콘 및 불순물이 도핑된 비정질 실리콘이 순차적으로 증착되고 패터닝 된 액티브층(64a)과 오믹콘택층(64b)으로 이루어진 반도체층(64)이 형성되어 있으며, 상기 반도체층(64) 위로 상기 오믹콘택층(640b)과 접촉하며 금속물질로 이루어진 소스 및 드레인 전극(66, 68)이 형성되어 있다. 또한, 화소영역(P)에는 상기 게이트 절연막(62) 위로 일정간격 이격하며 데이터 배선(70)이 형성되어 있으며, 동일한 층에 상기 드레인 전극(68)과 연결된 화소전극(95)이 일정간격 이격하며 형성되어 있다. 이때, 상기 데이터 배선(70) 양측에는 상기 게이트 절연막(62) 하부로 공통전극(85)이 형성되어 있으며, 상기 이격되어 위치한 공통전극(85) 사이에 화소전극(95)이 형성되어 있다. 다음, 상기 소스 및 드레인 전극(66, 68)과 화소전극(95) 위로 무기절연물질인 질화실리콘(SiNx)이나 산화실리콘(SiO2)이 기판(57) 전면에 증착되어 보호층(76)을 형성하고 있다.Next, a gate insulating layer 62 is formed on the gate wiring 60 including the gate electrode 61, the common wiring 80, and the common electrode 85, and the thin film transistor is formed on the gate insulating layer 62. In the forming portion Tr, a semiconductor layer 64 including an active layer 64a and an ohmic contact layer 64b in which amorphous silicon and amorphous silicon doped with impurities are sequentially deposited and patterned is formed, and the semiconductor layer ( 64) source and drain electrodes 66 and 68 made of a metallic material are formed in contact with the ohmic contact layer 640b. In the pixel region P, the data line 70 is formed to be spaced apart from the gate insulating layer 62, and the pixel electrode 95 connected to the drain electrode 68 is spaced a predetermined distance from the gate layer 62. Formed. At this time, the common electrode 85 is formed under the gate insulating layer 62 on both sides of the data line 70, and the pixel electrode 95 is formed between the spaced common electrode 85. Next, silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2 ), which is an inorganic insulating material, is deposited on the source and drain electrodes 66 and 68 and the pixel electrode 95 to form a protective layer 76. Forming.

따라서, 이러한 어레이 기판을 이용한 횡전계형 액정표시장치에서는 동일한 기판에 형성되어 화소전극(95)과 공통전극(85)이 형성되어 있으며, 상기 두 전극 사이에 수평 전계가 생성되어 액정 분자를 구동시켜 화상을 표시한다. Accordingly, in the transverse electric field type liquid crystal display device using the array substrate, the pixel electrode 95 and the common electrode 85 are formed on the same substrate, and a horizontal electric field is generated between the two electrodes to drive the liquid crystal molecules, thereby causing an image. Is displayed.

최근 액정표시장치를 포함하는 평면표시장치는 점점 대형화되고 있는 추세이다. 액정표시장치가 대형화 될수록 전극들의 저항이 화질에 영향을 미치게 된다. 일례로써 15인치 액정표시장치 패널 내 하나의 화소영역에 있어, 공통전극 또는 화소전극의 길이가 250㎛정도인데 반해, 상기 15인치 액정표시장치와 동일한 해상도를 갖는 60인치 액정표시장치의 패널에 있어서는 상기 전극의 길이가 1mm정도가 되고 있다. 이는 화소영역이 커지더라도 개구율 등의 문제로 인해 배선의 폭은 늘리지 않기 때문이다. Recently, flat panel display devices including liquid crystal displays are becoming larger. As the LCD becomes larger, the resistance of the electrodes affects the image quality. For example, in a pixel area of a 15-inch liquid crystal display panel, a common electrode or a pixel electrode has a length of about 250 μm, whereas in a panel of a 60-inch liquid crystal display device having the same resolution as that of the 15-inch liquid crystal display device The length of the electrode is about 1 mm. This is because the width of the wiring does not increase even if the pixel area becomes large due to problems such as aperture ratio.

따라서, 액정표시장치의 크기가 4배가 되면 같은 구조에 있어서 전극의 저항은 1/4이하가 되어야 한다. Therefore, when the size of the liquid crystal display device is four times, the resistance of the electrode should be 1/4 or less in the same structure.

하지만, 전극의 재질을 바꾸거나, 기존 설계에서 구조를 조금 바꾸는 것으로 1/4이상으로 낮추는 것은 어렵다. 또한, 화소영역은 증가시키고 선폭은 거의 동일한 선폭으로 형성하게 됨으로써 배선 형성 길이가 길어짐에 따라 단선 불량의 가능성이 증가하는 문제도 발생한다. However, changing the material of the electrode, or changing the structure slightly in the existing design, is difficult to reduce to more than 1/4. In addition, since the pixel area is increased and the line width is formed to have almost the same line width, there is a problem that the possibility of disconnection failure increases as the wiring formation length becomes longer.

본 발명은 상기 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 대면적의 액정표시장치에 있어서, 개구율 저하없이 즉, 배선폭을 늘리지 않으며, 저항을 낮추며, 동시에 단선 불량을 방지할 수 있는 횡전계형 액정표시장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. In the large-area liquid crystal display device, the width of the liquid crystal display device can be reduced without reducing the aperture ratio, that is, the wiring width can be increased, the resistance can be reduced, and the disconnection defect can be prevented. It is an object of the present invention to provide an electric field type liquid crystal display device.

상기의 목적을 이루기 위한 본 발명의 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판은 기판과; 상기 기판 상에 가로 방향으로 형성된 다수의 게이트 배선과; 상기 게이트 배선과 교차하며 세로방향을 형성된 다수의 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 상기 데이터 배선이 교차하여 정의되는 화소영역과; 상기 화소영역의 상기 게이트 및 데이터 배선의 교차지점에 형성되는 스위칭 소자와; 상기 게이트 배선과 평행하게 형성되는 공통배선과; 상기 공통배선에서 상기 화소영역 내부로 분기한 다수의 공통전극과; 상기 공통전극 사이에 형성되며, 상기 스위칭 소자와 연결된 다수의 화소전극과; 상기 화소영역 내에서 상기 화소전극과 중첩하며, 양끝이 상기 화소전극과 접촉하며 형성되는 보조 화소전극을 포함한다. An array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device of the present invention for achieving the above object is a substrate; A plurality of gate wirings formed in the horizontal direction on the substrate; A plurality of data lines crossing the gate lines and having a vertical direction; A pixel region defined by crossing the gate wiring and the data wiring; A switching element formed at an intersection point of the gate and the data line of the pixel region; A common wiring formed in parallel with the gate wiring; A plurality of common electrodes branched into the pixel area from the common wiring; A plurality of pixel electrodes formed between the common electrodes and connected to the switching elements; And an auxiliary pixel electrode overlapping the pixel electrode in the pixel area, and formed at both ends thereof in contact with the pixel electrode.

이때, 상기 화소영역 내에는 상기 게이터 배선과 중첩되는 보조 게이트 배선이 더욱 포함하며, 더욱이 상기 보조 게이트 배선은 양끝이 상기 게이트 배선과 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징이다. In this case, an auxiliary gate line overlapping the gate line is further included in the pixel area, and both ends of the auxiliary gate line contact the gate line through the contact hole.

또한, 상기 화소영역 내에는 상기 데이터 배선과 중첩되는 보조 데이터 배선이 더욱 포함되며, 이때 상기 보조 데이터 배선은 양끝이 상기 데이터 배선과 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징이다. Further, an auxiliary data line overlapping the data line is further included in the pixel area, wherein both ends of the auxiliary data line are in contact with the data line through a contact hole.

또한, 상기 화소영역 내에는 상기 공통전극과 중첩되는 보조 공통전극이 더욱 포함되며, 상기 보조 공통전극은 양끝이 상기 공통전극과 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징이다. In addition, an auxiliary common electrode overlapping the common electrode is further included in the pixel area, and both ends of the auxiliary common electrode are in contact with the common electrode through a contact hole.

본 발명에 의한 또 다른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판은 게이트 배선과 데이터 배선과 상기 두 배선이 교차하여 정의되는 화소영역과 상기 화소영역 내에 구비된 스위칭 소자와 공통전극과 화소전극으로 구성되는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판에 있어서, 기판과; 상기 기판 상에 형성된 게이트 배선과; 상기 게이트 배선과 평행하게 형성되는 공통배선과; 상기 공통배선에서 분기한 다수의 공통전극과; 상기 게이트 배선과 공통배선 상부로 전면에 형성된 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막 상부에 형성된 반도체층과; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선과; 상기 데이터 배선에서 분기하며 상기 반도체층과 일부 중첩한 소스 전극과; 상기 반도체층과 일부 중첩하며 상기 소스 전극과 일정간격 이격한 드레인 전극과; 상기 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극 상부로 전면에 형성된 보호층과; 상기 보호층 상부에 상기 드레인 전극과 접촉하며 상기 공통전극 사이영역에 구비되는 화소전극과; 상기 화소전극 하부로 상기 화소전극과 중첩하며 아일랜드 형상으로 기판 또는 게이트 절연막 상부에 플로팅되어 구비되는 보조 화소전극을 포함한다. According to another aspect of the present invention, an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device includes a pixel region in which a gate wiring, a data wiring, and the two wirings intersect, a switching element provided in the pixel region, a common electrode, and a pixel electrode. An array substrate for an electric field type liquid crystal display device, comprising: a substrate; A gate wiring formed on the substrate; A common wiring formed in parallel with the gate wiring; A plurality of common electrodes branched from the common wiring; A gate insulating film formed on an entire surface of the gate wiring and the common wiring; A semiconductor layer formed on the gate insulating layer; A data line crossing the gate line over the gate insulating film; A source electrode branching from the data line and partially overlapping the semiconductor layer; A drain electrode partially overlapping the semiconductor layer and spaced apart from the source electrode by a predetermined distance; A protective layer formed on an entire surface of the data line and the source and drain electrodes; A pixel electrode on the protective layer and in contact with the drain electrode and disposed in a region between the common electrodes; And an auxiliary pixel electrode disposed below the pixel electrode and floating on the substrate or the gate insulating layer in an island shape.

이때, 상기 기판 또는 게이트 절연막 상부에 플로팅되어 형성된 아일랜드 형상의 보조 화소전극은 상기 화소전극과 양끝이 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징이다. In this case, the island-shaped auxiliary pixel electrode formed by being floated on the substrate or the gate insulating layer is in contact with the pixel electrode through the contact hole.

또한, 상기 공통전극 상부의 게이트 절연막 또는 보호층 위로 상기 공통전극과 중첩하며, 아일랜드 형상의 보조 공통전극을 더욱 구비한 것이 특징이다.In addition, the common electrode overlaps the common electrode on the gate insulating layer or the protective layer on the common electrode, and further includes an island-shaped auxiliary common electrode.

이때, 상기 게이트 절연막 또는 보호층 상부에 아일랜드 형상으로 형성된 보조 공통전극은 양끝이 하부의 공통전극과 접촉하는 것을 특징으로 한다.In this case, the auxiliary common electrode formed in an island shape on the gate insulating layer or the protective layer may have both ends contacting the lower common electrode.

또한, 상기 데이터 배선의 하부로 기판 상부 또는 상기 데이터 배선의 상부로 보호층 상부에 상기 데이터 배선과 중첩하며, 아일랜드 형상으로 형성된 보조 데이터 배선이 더욱 구비되며, 이때, 상기 보조 데이터 배선은 양끝이 상기 데이터 배선과 접촉하는 것을 특징으로 한다. In addition, an auxiliary data line overlapping the data line is formed in an upper portion of the substrate below the data line or an upper portion of the data line and above the protective layer, and has an island shape. It is characterized by contact with the data wiring.

또한, 상기 게이트 배선 상부의 게이트 절연막 또는 보호층 위로 상기 게이트 배선과 중첩하며, 아일랜드 형상으로 형성된 보조 게이트 배선이 더욱 구비되며, 이때 상기 보조 게이트 배선은 양끝이 상기 게이트 배선과 접촉하는 것을 특징으로 한다.In addition, an auxiliary gate line overlapping the gate line over the gate insulating layer or the protective layer on the gate line and formed in an island shape is further provided, wherein the auxiliary gate lines are in contact with the gate line. .

본 발명에 의한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법은 기판 상에 가로방향으로 다수의 게이트 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 평행하게 다수의 공통배선을 형성하고, 동시에 상기 공통배선에서 분기한 다수의 공통전극을 형성하는 단계와; 상기 공통전극 사이에 다수의 보조 화소전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 공통전극과 보조 화소전극 위로 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 위로 게이트 배선과 교차하는 다수의 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 데이터 배선과 게이트 배선의 교차지점에 스위칭 소자를 형성하는 단계와; 상기 스위칭 소자와 데이터 배선 위로 전면에 보호층을 형성하는 단계와; 상기 보호층 위로 공통전극 사이에 상기 스위칭 소자와 연결되며, 하부의 보조 화소전극과 중첩하며, 상기 보조 화소전극의 양끝과 접촉하는 다수의 화소전극을 형성하는 단계를 포함한다. A method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention includes the steps of forming a plurality of gate wirings in a horizontal direction on a substrate; Forming a plurality of common wirings in parallel with the gate wirings, and simultaneously forming a plurality of common electrodes branched from the common wirings; Forming a plurality of auxiliary pixel electrodes between the common electrodes; Forming a gate insulating film over the gate line, the common electrode, and the auxiliary pixel electrode; Forming a plurality of data lines crossing the gate lines over the gate insulating layer; Forming a switching element at an intersection point of the data line and the gate line; Forming a protective layer on a front surface of the switching element and the data line; And forming a plurality of pixel electrodes connected to the switching element between the common electrodes on the passivation layer, overlapping the auxiliary pixel electrodes below, and contacting both ends of the auxiliary pixel electrodes.

이때, 상기 게이트 절연막을 형성하는 단계 이전에 상기 데이터 배선에 중첩하는 위치에 보조 데이터 배선을 형성하는 단계를 더욱 포함한다. In this case, the method may further include forming an auxiliary data line at a position overlapping the data line before the forming the gate insulating layer.

또한, 상기 게이트 절연막을 형성하는 단계는 상기 보조 데이터 배선의 양끝 일부를 노출시키는 단계를 더욱 포함한다. The forming of the gate insulating layer may further include exposing portions of both ends of the auxiliary data line.

또한, 상기 화소전극을 형성하는 단계는 상기 공통전극과 중첩하며 상기 공통전극과 양 끝이 접촉하는 보조 공통전극을 형성하는 단계를 더욱 포함한다. The forming of the pixel electrode may further include forming an auxiliary common electrode overlapping the common electrode and having both ends in contact with the common electrode.

또한, 상기 보조 공통전극을 형성하는 단계는 게이트 배선과 중첩하며 상기 게이트 배선과 양끝이 접촉하는 보조 게이트 배선을 형성하는 단계를 더욱 포함한다. The forming of the auxiliary common electrode may further include forming an auxiliary gate line overlapping with the gate line and in contact with both ends of the gate line.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 상세히 설명한다. Hereinafter will be described in detail through a preferred embodiment of the present invention.

<제 1 실시예><First Embodiment>

도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도이다. 6 is a plan view of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 가로방향으로 게이트 배선(105)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(105)과 교차하며 데이터 배선(140)이 세로방향으로 형성되어 있으며, 상기 두 배선이 교차하여 화소영역(P)을 정의하고 있다. 또한, 상기 데이터 배선(140)과 데이터 배선(140) 사이에는 상기 게이트 배선(105)과 일정간격 이격하여 동일한 방향으로 형성된 공통배선(110)으로부터 분기한 다수의 공통전극(112)이 일정간격 이격하여 형성되어 있으며, 상기 공통전극(112)과 공통전극(112) 사이에 상기 데이터 배선(140)에서 분기한 소스 전극(143)과 마주보며 일정간격 이격하여 형성된 드레인(147)과 연결된 화소전극(160)이 상기 공통전극(112)과 엇갈려 형성되어 있다.As illustrated, the gate wiring 105 is formed in the horizontal direction, intersects with the gate wiring 105, and the data wiring 140 is formed in the vertical direction. ) Is defined. In addition, a plurality of common electrodes 112 branching from the common wiring 110 formed in the same direction are spaced apart from the gate wiring 105 by a predetermined distance between the data wiring 140 and the data wiring 140. And a pixel electrode connected between the common electrode 112 and the common electrode 112 and the drain 147 formed to face the source electrode 143 branched from the data line 140 at a predetermined interval. 160 is alternately formed with the common electrode 112.

또한, 상기 데이터 배선(140)과 게이트 배선(105)과 공통전극(112)과 화소전극(160)은 각각 콘택홀((172a, 172b), (170a, 170b), (174a, 174b), (176a, 176b)) 로써 연결되는 상기 각 배선(140, 105) 또는 전극(112, 160)의 상부 또는 하부에 상기 각 배선(140, 105) 또는 전극(112, 160)과 중첩하며 각각 보조 게이트 배선(gate redundant line, 150) 과 보조 데이터 배선(data redundant line, 120)과 보조 공통전극(common redundant electrode, 163)과 보조 화소전극(pixel redundant electrode, 122)이 형성되어 있는 것이 특징이다. In addition, the data line 140, the gate line 105, the common electrode 112, and the pixel electrode 160 each have contact holes 172a, 172b, 170a, 170b, 174a, 174b, and ( 176a, 176b)) overlaps the respective wirings 140, 105 or the electrodes 112, 160 on the upper or lower portions of the wirings 140, 105 or the electrodes 112, 160, respectively, and is connected to the auxiliary gate wirings, respectively. gate redundant line 150, auxiliary data line 120, common redundant electrode 163, and pixel redundant electrode 122 are formed.

도 7 내지 9는 도 6을 각각 C-C, D-D, E-E를 따라 절단한 단면도이다. 이때, 도 7은 데이터 배선과 연결된 스위칭 소자 형성 영역을 절단한 단면도이며, 도 8은 화소영역의 중앙을 가로지르며 절단한 단면도이며, 도 9는 각 배선 및 전극의 보조 배선 또는 보조 전극을 연결하는 콘택홀 영역을 포함하여 화소영역을 가로지르며 절단한 단면도이다.7 to 9 are cross-sectional views taken along line C-C, D-D, and E-E, respectively. In this case, FIG. 7 is a cross-sectional view of the switching element formation region connected to the data line, FIG. 8 is a cross-sectional view of the switching element crossing the center of the pixel area, and FIG. The cross-sectional view is cut along the pixel area including the contact hole area.

도시한 바와 같이, 스위칭 소자 형성부(Tr)에는 기판(100) 상에 게이트 배선(105)으로부터 분기한 게이트 전극(106)이 형성되어 있으며, 화소영역(P)에 있어서는, 데이터 보조배선(120)이 화소영역(P) 양 끝에 형성되어 있으며, 상기 데이터 보조배선(120) 내측으로 다수의 공통전극(112)이 일정간격 이격하여 형성되어 있으며, 상기 공통전극(112) 사이마다, 보조 화소전극(122)이 형성되어 있다.As illustrated, the gate electrode 106 branched from the gate wiring 105 is formed on the substrate 100 in the switching element forming portion Tr. In the pixel region P, the data auxiliary wiring 120 is formed. Are formed at both ends of the pixel region P, and a plurality of common electrodes 112 are formed in the data auxiliary line 120 to be spaced apart from each other by a predetermined interval. 122 is formed.

다음, 상기 게이트 전극과 공통전극(112)과 데이터 보조배선(120) 및 보조 화소전극(122) 위로 기판(100) 전면에 무기절연물질인 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)이 증착되어 게이트 절연막(130)이 형성되어 있다. 이때, 도 9를 참조하면, 상기 게이트 절연막(130)은 패터닝되어 하부의 데이터 보조배선(120)을 노출시키는 데이터 배선 콘택홀(172b)이 구비되어 있다.Next, silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiO 2 ), which is an inorganic insulating material, is deposited on the entire surface of the substrate 100 over the gate electrode, the common electrode 112, the data auxiliary line 120, and the auxiliary pixel electrode 122. Thus, the gate insulating film 130 is formed. In this case, referring to FIG. 9, the gate insulating layer 130 is patterned to include a data wiring contact hole 172b exposing the lower data auxiliary wiring 120.

다음, 상기 게이트 절연막(130) 위로 스위칭 소자 형성부(Tr)에 있어서, 비정질 실리콘과 불순물 비정질 실리콘으로 이루어진 반도체층(133)이 형성되어 있으며, 그 외 화소영역(P)에는 상기 반도체층(133)이 패터닝되어 게이트 절연막(130)이 노출되어 있다.Next, in the switching element forming unit Tr, a semiconductor layer 133 made of amorphous silicon and impurity amorphous silicon is formed on the gate insulating layer 130, and the semiconductor layer 133 is formed in the other pixel region P. ) Is patterned to expose the gate insulating layer 130.

다음, 상기 반도체층(133)과 노출된 게이트 절연막(130) 위로 스위칭 소자 형성부(Tr)에는 상기 서로 일정간격 이격한 소스 및 드레인 전극(143, 147)이 형성되어 있으며, 화소영역(P)에 있어서는 상기 데이터 보조배선(120)과 중첩되며 데이터 배선(140)이 형성되어 있다. 이때, 상기 데이터 배선(140)은 하부의 데이터 보조배선(120)과 데이터 배선 콘택홀(172b)을 통해 연결되고 있는 것이 특징이다.Next, the source and drain electrodes 143 and 147 spaced apart from each other are formed in the switching element forming part Tr on the semiconductor layer 133 and the exposed gate insulating layer 130, and the pixel region P In the present embodiment, the data auxiliary line 120 overlaps the data auxiliary line 120. In this case, the data line 140 is connected to the lower data auxiliary line 120 and the data line contact hole 172b.

다음, 상기 데이터 배선(140)과 소스 및 드레인 전극(143, 147)과 노출된 게이트 절연막(130) 위로 보호층(155)이 형성되어 있다. 이때, 상기 보호층(155)과 그 하부의 게이트 절연막(130)은 그 일부가 패터닝되어 하부의 공통전극(112)과 보조 화소전극(122) 일부를 노출시키는 공통전극 콘택홀(174b)과 화소전극 콘택홀(176b)을 형성하고 있다. 이때, 상기 보호층(155)은 데이터 배선(140) 일부도 노출시키는 제 2 데이터 배선 콘택홀(미도시)이 형성될 수도 있다. 또한, 상기 보호층(155)은 드레인 전극(147) 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀(178)을 포함하고 있다. Next, a passivation layer 155 is formed on the data line 140, the source and drain electrodes 143 and 147, and the exposed gate insulating layer 130. In this case, a portion of the passivation layer 155 and the gate insulating layer 130 below is patterned to expose a portion of the common electrode contact hole 174b and a pixel exposing a portion of the common electrode 112 and the auxiliary pixel electrode 122 below. The electrode contact hole 176b is formed. In this case, a second data wire contact hole (not shown) may be formed in the passivation layer 155 to expose a portion of the data wire 140. In addition, the passivation layer 155 includes a drain contact hole 178 exposing a part of the drain electrode 147.

다음, 상기 콘택홀(174b, 176b, 178)을 갖는 보호층(155) 위로 투명도전성물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)가 증착되고 패터닝되어 상기 드레인 전극(147)과 드레인 콘택홀(178)을 통해 연결되며, 보조 화소전극(122)과 중첩되며, 그 일부가 화소전극 콘택홀(176b)을 통해 상기 보조 화소전극(122)과 연결되며 화소전극(160)이 형성되어 있다. 또한, 공통전극(112) 상부에도 상기 공통전극(112)과 중첩되며 그 일부가 공통전극 콘택홀(174b)을 통해 상기 공통전극(112)과 연결되는 보조 공통전극(163)이 형성되어 있다. Next, an indium tin oxide (ITO) or an indium zinc oxide (IZO), which is a transparent conductive material, is deposited and patterned on the passivation layer 155 having the contact holes 174b, 176b, and 178. 147 and a drain contact hole 178, overlapping the auxiliary pixel electrode 122, and a part of the pixel electrode 160 connected to the auxiliary pixel electrode 122 through the pixel electrode contact hole 176b. ) Is formed. In addition, an auxiliary common electrode 163 is formed on the common electrode 112 to overlap the common electrode 112 and a part of which is connected to the common electrode 112 through the common electrode contact hole 174b.

이때, 데이터 배선(140) 상부로는 제 2 데이터 보조배선(120b)이 상기 데이터 배선(140)과 중첩되며, 그 일부가 데이터 배선 콘택홀(172b)을 통해 연결되며 형성될 수 도 있다. 이 경우 상기 데이터 배선(140) 하부로는 제 1 보조 데이터 배선(120a)과, 상기 데이터 배선(140) 상부로 제 2 보조 데이터 배선(120)이 형성되는 3중 배선구조가 되며, 도면에서는 3중 배선구조로 나타내었지만, 도 10a와 10b에 도시한 바와 같이, 상기 제 1, 2 보조 데이터 배선(120a, 120b) 중 어느 하나만이 구성될 수 있다.In this case, the second data auxiliary line 120b may overlap the data line 140, and a part of the second data auxiliary line 120b may be connected to the data line 140 through the data line contact hole 172b. In this case, the first auxiliary data line 120a and the second auxiliary data line 120 are formed above the data line 140 to form a triple wiring structure. Although shown as a wiring structure, as shown in FIGS. 10A and 10B, only one of the first and second auxiliary data wires 120a and 120b may be configured.

전술한 제 1 실시예의 변형예로써 평면도는 상기 제 1 실시예의 평면도인 도 6과 동일하며, 그 적층 구조를 달리하는 변형예에 대해 도 11을 참조하여 설명한다. As a modified example of the above-described first embodiment, the plan view is the same as that of FIG. 6 which is the plan view of the first embodiment, and a modified example of different lamination structure will be described with reference to FIG.

도 11은 제 1 실시예의 변형예로써 도 6을 E-E를 따라 절단한 단면을 도시한 것이다. 도면부호는 제 1 실시예와 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 사용하였다.FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line E-E of FIG. 6 as a modification of the first embodiment. The same reference numerals are used for the same parts as in the first embodiment.

도시한 바와 같이, 기판(100) 상에 화소영역(P)에 보조 데이터 배선(120)이 양 끝에 형성되어 있으며, 상기 보조 데이터 배선(120)과 보조 데이터 배선(120) 사이에 다수의 공통전극(112)이 서로 일정간격 이격하여 형성되어 있다. 상기 보조 데이터 배선(120)과 공통전극(112) 상부로 상기 보조 데이터 배선(120) 및 공통전극(112) 일부를 노출시키는 데이터 배선 콘택홀(172b) 및 공통전극 콘택홀(175b)을 구비한 게이트 절연막(130)이 형성되어 있다.As illustrated, auxiliary data lines 120 are formed at both ends of the pixel area P on the substrate 100, and a plurality of common electrodes are disposed between the auxiliary data lines 120 and the auxiliary data lines 120. 112 is formed spaced apart from each other at regular intervals. And a data wiring contact hole 172b and a common electrode contact hole 175b exposing the auxiliary data wire 120 and a part of the common electrode 112 over the auxiliary data wire 120 and the common electrode 112. The gate insulating layer 130 is formed.

다음, 상기 게이트 절연막(130) 위로 알루미늄 합금(AlNd), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 구리합금 중 하나 또는 둘 이상으로 단일층 또는 이중층을 갖는 데이터 배선(140) 및 보조 공통전극(164)이 하부의 보조 데이터 배선(120) 및 공통전극(112)과 중첩하며, 상기 보조 데이터 배선(120)과 공통전극(112)과 각각 데이터 배선 콘택홀(172b)과 공통전극 콘택홀(175b)을 통해 연결되는 데이터 배선(140)과 보조 공통전극(164)이 형성되어 있다. 또한, 상기 보조 공통전극(164)과 전극(164) 사이마다 보조 화소전극(123)이 형성되어 있다.Next, the data line 140 having a single layer or a double layer of at least one of aluminum alloy (AlNd), aluminum (Al), molybdenum (Mo), copper (Cu), and copper alloy on the gate insulating layer 130. The auxiliary common electrode 164 overlaps the lower auxiliary data line 120 and the common electrode 112, and the auxiliary data line 120, the common electrode 112, and the data line contact hole 172b and the common electrode, respectively. The data line 140 and the auxiliary common electrode 164 connected through the contact hole 175b are formed. In addition, an auxiliary pixel electrode 123 is formed between the auxiliary common electrode 164 and the electrode 164.

다음, 상기 데이터 배선(140)과 보조 공통전극(164)과 보조 화소전극(123) 상부로 상기 보조 화소전극(123) 일부를 노출시키는 화소전극 콘택홀(177b)을 갖는 보호층(155)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(155) 위로 상기 화소전극 콘택홀(177b)을 통해 하부의 보조 화소전극(123)과 연결되며, 상기 보조 화소전극(123)과 중첩되며 투명도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어진 화소전극(160)이 형성되어 있다. 이때, 상기 화소전극(160)은 도면에 나타나지 않았지만, 스위칭 소자(미도시)의 드레인 전극(미도시)과 연결되어 있다. Next, a passivation layer 155 having a pixel electrode contact hole 177b exposing a part of the auxiliary pixel electrode 123 over the data line 140, the auxiliary common electrode 164, and the auxiliary pixel electrode 123. An indium tin that is formed on the passivation layer 155 and is connected to the auxiliary subpixel electrode 123 through the pixel electrode contact hole 177b and overlaps the subpixel electrode 123 and is a transparent conductive material. A pixel electrode 160 made of oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO) is formed. In this case, although not shown in the drawing, the pixel electrode 160 is connected to the drain electrode (not shown) of the switching element (not shown).

다음, 도 12a 내지 12b를 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에 의한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a manufacturing method of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 12A to 12B.

도 12a 내지 도 12b는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 단계에 따른 공정 평면도이다. 12A to 12B are plan views illustrating manufacturing steps of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

우선, 도 12a에 도시한 바와 같이, 기판(100)에 금속물질 예를들면, 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 구리합극 중 하나의 물질을 전면에 증착하고, 패터닝하여 가로방향의 게이트 배선(105)과 상기 게이트 배선(105)에서 돌출한 게이트 전극(106)과, 상기 게이트 배선(105)에서 하측으로 일정간격 이격하여 상기 게이트 배선(105)에 평행한 공통배선(110)과, 상기 공통배선(110)으로부터 분기한 다수의 공통전극(112)을 형성한다. 동시에, 상기 공통전극(112)과 공통전극(112) 사이에 상기 세로방향으로 아일랜드 형상의 플로팅된 보조 화소전극(122) 및 보조 데이터 배선(120)을 각각 형성한다. First, as shown in FIG. 12A, a metal material, for example, aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), chromium (Cr), molybdenum (Mo), copper (Cu), or a copper electrode may be formed on the substrate 100. A material is deposited on the entire surface, and patterned to form a horizontal gate line 105, a gate electrode 106 protruding from the gate line 105, and a predetermined distance downward from the gate line 105. The common wiring 110 parallel to the gate wiring 105 and the plurality of common electrodes 112 branching from the common wiring 110 are formed. At the same time, an island-shaped floating auxiliary pixel electrode 122 and an auxiliary data line 120 are formed between the common electrode 112 and the common electrode 112 in the longitudinal direction.

다음, 도 12b에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 배선(105)과 공통배선(110) 및 플로팅된 보조 화소전극(122)과 보조 데이터 배선(120) 상부로 전면에 무기절연물질인 질화시리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiO2)을 증착하여 게이트 절연막(미도시)을 형성한다. 이후, 상기 게이트 절연막(미도시)을 패터닝하여 상기 플로팅된 아일랜드 형상의 보조 데이터 배선(120) 양 끝에 데이터 배선 콘택홀(172a, 172b)과 상기 보조 데이터 배선(120) 사이 영역 즉, 추후 데이터 배선(도 12c의 140 참조)이 형성됨으로써 이미 형성된 게이트 배선(105)과 교차하여 정의되는 화소영역(P) 내측으로 위치한 게이트 배선(105) 양끝단에 상기 게이트 배선(105)을 노출시키는 게이트 배선 콘택홀(170a, 170b)을 형성한다. 이후, 상기 게이트 절연막(미도시) 위로 비정질 실리콘과 불순물 비정질 실리콘을 연속증착하고, 패터닝함으로써 스위칭 소자 형성부(Tr)에 상기 게이트 전극(106) 일부를 덮는 반도체층(133)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 12B, silicon nitride, an inorganic insulating material, is formed on the entire surface of the gate wiring 105, the common wiring 110, the floating auxiliary pixel electrode 122, and the auxiliary data wiring 120. SiNx or silicon oxide (SiO 2 ) is deposited to form a gate insulating film (not shown). Subsequently, the gate insulating layer (not shown) is patterned to form an area between the data wiring contact holes 172a and 172b and the auxiliary data wiring 120 at both ends of the floating island-shaped auxiliary data wiring 120. A gate wiring contact for exposing the gate wiring 105 to both ends of the gate wiring 105 positioned inside the pixel region P defined by crossing the gate wiring 105 formed by forming (see 140 of FIG. 12C) is formed. The holes 170a and 170b are formed. Thereafter, by depositing and patterning amorphous silicon and impurity amorphous silicon on the gate insulating layer (not shown), a semiconductor layer 133 is formed on the switching element forming portion Tr to cover a portion of the gate electrode 106.

다음, 도 12c에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 절연막(미도시) 및 반도체층(133) 위로 상기 게이트 배선(105)과 교차하는 다수의 데이터 배선(140)을 형성한다. 상기 데이터 배선(140)은 게이트 배선(105) 형성 시 동시에 형성된 보조 데이터 배선(120)과 게이트 절연막(미도시)을 사이에 두고 중첩되며 형성되며, 데이터 배선 콘택홀(172a, 172b)을 통해 하부의 보조 데이터 배선(120)과 접촉하며 형성되는 것이 특징이다. 동시에 상기 데이터 배선(140)에서 돌출하여 반도체층(133) 위로 소스 전극(143)과 상기 소스 전극(143)에서 일정간격 이격한 드레인 전극(147)을 형성한다. 동시에 상기 게이트 절연막(130) 위로 상기 게이트 배선(105)과 중첩하여 게이트 배선 콘택홀(170a, 170b)을 통해 상기 게이트 배선(105)과 접촉하는 아일랜드 형상으로 플로팅된 보조 게이트 배선(150)을 형성한다. Next, as illustrated in FIG. 12C, a plurality of data lines 140 are formed on the gate insulating layer (not shown) and the semiconductor layer 133 to cross the gate lines 105. The data line 140 overlaps with the auxiliary data line 120 and the gate insulating layer (not shown) formed at the same time when the gate line 105 is formed, and is lowered through the data line contact holes 172a and 172b. It is characterized in that it is formed in contact with the auxiliary data line 120. At the same time, the data line 140 protrudes to form a source electrode 143 and a drain electrode 147 spaced apart from the source electrode 143 over the semiconductor layer 133. At the same time, the auxiliary gate line 150 is formed to overlap the gate line 105 on the gate insulating layer 130 and to float in an island shape contacting the gate line 105 through the gate line contact holes 170a and 170b. do.

다음, 상기 데이터 배선(140)과 소스 및 드레인 전극(143, 147)과 보조 게이트 배선(150) 상부로 유기절연물질인 벤조사이클로부텐(BCB) 또는 포토아크릴(photo acryl) 중 하나 또는 무기절연물질인 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx) 중 하나를 도포 또는 증착하여 보호층(미도시)을 형성한다. 이후 상기 보호층(미도시) 및 하부의 게이트 절연막(미도시)을 패터닝하여 드레인 전극(147)과 공통전극(112) 일부와 아일랜드 형상의 보조 화소전극(122) 양끝단 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀(178)과 공통전극 콘택홀(174a, 174b)과 화소전극 콘택홀(176a, 176b)을 형성한다.Next, one of an organic insulating material, benzocyclobutene (BCB) or photo acryl, or an inorganic insulating material is disposed on the data line 140, the source and drain electrodes 143 and 147, and the auxiliary gate line 150. A protective layer (not shown) is formed by coating or depositing one of silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx). Thereafter, the protective layer (not shown) and the lower gate insulating layer (not shown) are patterned to expose a drain electrode 147, a portion of the common electrode 112, and a portion of both ends of the island-shaped auxiliary pixel electrode 122. The holes 178, the common electrode contact holes 174a and 174b, and the pixel electrode contact holes 176a and 176b are formed.

다음, 도 12d에 도시한 바와 같이, 상기 보호층(미도시) 위로 투명도전성물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 전면에 증착하고, 패터닝함으로써 상기 드레인 전극(147)과 연결되며 화소전극 콘택홀(176a, 176b)을 통해 보조 화소전극(122)과 접촉하며, 상기 보조 화소전극(122)과 중첩하는 화소전극(160)을 형성하고, 상기 공통전극 콘택홀(174a, 174b)을 통해 공통전극(112)과 접촉하며 상기 공통전극(112)과 중첩하며, 아일랜드 형상으로 상기 보호층(155)에 플로팅된 보조 공통전극(163)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 12D, the drain electrode is deposited on the protective layer (not shown) by depositing an indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), which is a transparent conductive material, on the entire surface of the protective layer (not shown). A pixel electrode 160 connected to the reference pixel 147, contacting the auxiliary pixel electrode 122 through the pixel electrode contact holes 176a and 176b, and overlapping the auxiliary pixel electrode 122, and forming the common electrode contact. The auxiliary common electrode 163 is formed in contact with the common electrode 112 through holes 174a and 174b and overlaps with the common electrode 112, and is floating in the protective layer 155 in an island shape.

이때, 게이트 배선(105) 상의 보호층(155) 상부에도 상기 투명도전성 물질로써 하부의 데이터 배선(140)과 접촉하는 아일랜드 형상의 플로팅된 제 2 보조 데이터 배선(미도시)을 형성할 수 도 있으며, 게이트 배선(105) 형성 시 형성된 제 1 보조 데이터 배선(120)을 생략하고, 전술한 바와 같은 제 2 보조 데이터 배선(미도시)만을 형성할 수도 있다.In this case, an island-shaped floating second auxiliary data wire (not shown) may be formed on the passivation layer 155 on the gate wire 105 to contact the lower data wire 140 with the transparent conductive material. In addition, the first auxiliary data line 120 formed when the gate line 105 is formed may be omitted, and only the second auxiliary data line (not shown) as described above may be formed.

제 1 실시예의 변형예는 전술한 제조 방법과 거의 동일하며 단지 보조 공통전극을 게이트 절연막 상부에 데이터 배선을 형성한 물질로써 상기 데이터 배선 형성시 형성되며, 보조 화소전극을 상기 보조 공통전극을 형성한 게이트 절연막상에 형성하는 것만이 차이가 있고, 나머지 제조방법은 동일하므로 따로 도면을 제시하여 설명하지 않는다.The modified example of the first embodiment is almost the same as the above-described manufacturing method, and is formed only when the data line is formed by forming the auxiliary common electrode on the gate insulating layer, and the auxiliary pixel electrode is formed on the auxiliary common electrode. Only the formation on the gate insulating film is different, and the remaining manufacturing methods are the same, and thus, the drawings are not described separately.

전술한 제 1 실시예 및 그 변형예에 의한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 구조 및 제조방법에 있어서, 보조 게이트 배선과 보조 데이터 배선은 생략될 수 있다.In the structure and manufacturing method of the array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the first embodiment and its modifications described above, the auxiliary gate wiring and the auxiliary data wiring can be omitted.

본 발명의 제 1 실시예에서는 각 배선과 전극에 중첩하여 보조 배선 및 보조 전극을 형성함하고 이들 각각을 콘택홀로써 연결함으로써 배선의 저항을 낮추었으며, 상기 배선 또는 전극이 단선될 경우에도 이중으로 형성되었으므로 자동적으로 보조 배선 또는 보조 전극이 리페어 배선의 역할을 하므로 배선이 대형화된 액정표시장치에 있어서 배선이 길어짐에 따른 단선 불량을 효과적으로 방지할 수 있다. In the first embodiment of the present invention, the wiring resistance is reduced by overlapping each wiring and the electrode to form the auxiliary wiring and the auxiliary electrode and connecting each of them as a contact hole, even when the wiring or the electrode is disconnected. Since the auxiliary wiring or the auxiliary electrode automatically plays the role of the repair wiring, the disconnection failure due to the length of the wiring can be effectively prevented in the liquid crystal display device having a large wiring.

<제 2 실시예>Second Embodiment

본 발명의 제 2 실시예는 알루미늄 또는 알루미늄합금 또는 몰리브덴 등의 금속으로 형성되는 게이트 배선 또는 데이터 배선 대비 그 저항이 상대적으로 큰 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)의 투명도전물질로 형성되는 화소전극에 대해서만 상기 화소전극에 중첩하며 전기적으로 연결된 보조 화소전극을 형성한 것이다. The second embodiment of the present invention is made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) having a relatively high resistance compared to gate wiring or data wiring formed of a metal such as aluminum, aluminum alloy, or molybdenum. Only the pixel electrode formed of the transparent conductive material overlaps the pixel electrode to form an auxiliary pixel electrode electrically connected thereto.

도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도이며, 도 14a 와 14b는 도 13을 F-F를 따라 절단한 단면도이다. FIG. 13 is a plan view of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 14A and 14B are cross-sectional views taken along the line F-F of FIG. 13.

도시한 바와 같이, 가로방향으로 게이트 배선(205)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(205)과 교차하며 데이터 배선(240)이 세로방향으로 형성되어 있으며, 상기 두 배선이 교차하여 화소영역(P)을 정의하고 있다. 또한, 상기 데이터 배선(240)과 데이터 배선(240) 사이에는 상기 게이트 배선(205)과 일정간격 이격하여 동일한 방향으로 형성된 공통배선(210)으로부터 분기한 다수의 공통전극(212)이 일정간격 이격하여 형성되어 있으며, 상기 공통전극(212)과 공통전극(212) 사이에 상기 데이터 배선(240)에서 분기한 소스 전극(243)과 마주보며 일정간격 이격하여 형성된 드레인(247)과 연결된 화소전극(260)이 상기 공통전극(212)과 엇갈려 형성되어 있다.As shown, a gate wiring 205 is formed in a horizontal direction, intersects with the gate wiring 205, and a data wiring 240 is formed in a vertical direction. ) Is defined. In addition, a plurality of common electrodes 212 branched from the common line 210 formed in the same direction are spaced apart from the gate line 205 by a predetermined distance between the data line 240 and the data line 240. And a pixel electrode connected between the common electrode 212 and the common electrode 212 and the drain 247 formed to face the source electrode 243 branched from the data line 240 at a predetermined interval. 260 is alternately formed with the common electrode 212.

또한, 상기 화소전극(260)은 화소전극 콘택홀(276a, 276b)로써 연결되는 상기 화소전극(260)의 하부에 상기 화소전극(260)과 중첩하며 플로팅된 아일랜드 형태로 보조 화소전극(pixel redundant electrode, 222)이 형성되어 있는 것이 특징이다. In addition, the pixel electrode 260 overlaps the pixel electrode 260 at a lower portion of the pixel electrode 260 connected through the pixel electrode contact holes 276a and 276b, and is an auxiliary pixel electrode in a floating island form. an electrode 222 is formed.

도 14a를 통해 그 단면 구조에 대해 설명한다.The cross-sectional structure is demonstrated through FIG. 14A.

스위칭 소자 형성부는 제 1 실시예와 동일한 구조이므로 그 설명을 생략하며, 데이터 배선과 배선 사이의 화소영역의 적층구조에 대해서만 설명한다.Since the switching element forming portion has the same structure as that of the first embodiment, description thereof is omitted, and only the stacked structure of the pixel region between the data wiring and the wiring will be described.

도시한 바와 같이, 기판(200) 상에 다수의 공통전극(212)이 일정간격 이격하여 형성되어 있으며, 상기 공통전극(212) 사이마다, 상기 공통전극(212)과 동일물질로 이루어진 다수의 보조 화소전극(222)이 형성되어 있다. 이때 도면에는 나타나지 않았지만, 상기 공통전극(212)과 보조 화소전극(222)이 형성된 층에 게이트 배선(미도시)과 게이트 전극(미도시)도 형성되어 있다.As illustrated, a plurality of common electrodes 212 are formed on the substrate 200 at regular intervals, and each auxiliary electrode 212 includes a plurality of auxiliary electrodes made of the same material as the common electrode 212. The pixel electrode 222 is formed. Although not shown in the drawing, a gate wiring (not shown) and a gate electrode (not shown) are also formed on the layer in which the common electrode 212 and the auxiliary pixel electrode 222 are formed.

다음, 상기 공통전극(212) 및 보조 화소전극(222)을 포함한 게이터 배선(미도시) 및 게이트 전극(미도시) 상부로 게이트 절연막(230)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(230) 상부로 데이터 배선(240)이 형성되어 있다.Next, a gate insulating layer 230 is formed on the gate line (not shown) and the gate electrode (not shown) including the common electrode 212 and the auxiliary pixel electrode 222, and the gate insulating layer 230 is formed on the gate insulating layer 230. The data line 240 is formed.

다음, 상기 데이터 배선(240) 및 게이트 절연막(230) 상부로 하부의 보조 화소전극(222)을 노출시키는 화소전극 콘택홀(276b)을 갖는 보호층(255)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(255) 상부로 상기 화소전극 콘택홀(276b)을 통해 하부의 보조 화소전극(222)과 접촉하며, 동시에 상기 보조 화소전극(222)과 중첩하며 화소전극(260)이 형성되어 있다. 이때, 도면에 나타나지 않았지만 상기 화소전극(260)은 스위칭 소자의 드레인 전극(미도시)과도 드레인 콘택홀(미도시)을 통해 접촉하고 있다. Next, a passivation layer 255 having a pixel electrode contact hole 276b exposing a lower auxiliary pixel electrode 222 is formed on the data line 240 and the gate insulating layer 230. The pixel electrode 260 is formed on the upper portion of the pixel electrode contact hole 276b through the pixel electrode contact hole 276b and overlaps the auxiliary pixel electrode 222 at the same time. In this case, although not shown, the pixel electrode 260 is also in contact with the drain electrode (not shown) of the switching element through the drain contact hole (not shown).

상기 제 2 실시예의 변형예를 도시한 도 14b에 나타낸 것과 같이, 상기 보조 화소전극(222)이 공통전극(212)이 형성되는 층에 형성되지 않고, 데이터 배선(미도시)이 형성되는 게이트 절연막(230) 상에 형성될 수도 있다. As shown in FIG. 14B showing a modification of the second embodiment, the auxiliary pixel electrode 222 is not formed in the layer in which the common electrode 212 is formed, and the gate insulating film in which the data wiring (not shown) is formed. 230 may be formed on.

전술한 제 2 실시예의 의한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판은 특히 저항이 높은 투명도전성 물질로 형성되는 화소전극에만 보조 화소전극을 형성하여 그 화면의 대형화로 인한 저항을 줄일 수 있는 효과를 갖는다. 상기 화소전극은 통상적으로 500Å 내지 1500Å의 얇은 두께로 배선을 형성하게 되는데 대면적화로 인해 상기 화소전극이 길어지게 되면 얇은 두께로 인해 단선불량이 발생할 가능성이 게이트 배선이나 데이터 배선 등에 비해 높아지게 된다. The array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the second embodiment described above has an effect of reducing resistance due to the enlargement of the screen by forming an auxiliary pixel electrode only on a pixel electrode formed of a transparent conductive material having high resistance. In general, the pixel electrode is formed to have a thin thickness of 500 mW to 1500 mW. When the pixel electrode is lengthened due to the large area, the disconnection defect is more likely to occur due to the thin thickness than the gate line or the data line.

따라서, 이를 해결하기 위해 전술한 바와 같이 상기 화소전극 하부로 상기 화소전극과 전기적으로 연결되며 그 저항값이 투명도전성 물질보다 낮은 금속물질로써 보조 화소전극을 형성함으로서 전극 전항을 낮추고, 단선 불량을 줄일 수 있다. Therefore, in order to solve this problem, as described above, an auxiliary pixel electrode is formed of a metal material which is electrically connected to the pixel electrode under the pixel electrode and whose resistance is lower than that of the transparent conductive material, thereby lowering the electrode propagation and reducing disconnection defects. Can be.

< 제 3 실시예 >Third Embodiment

본 발명의 제 3 실시예는 대형화로 인한 단선불량을 방지하는 구조에 중점을 두고 있다. 더욱 정확히는 각 배선 또는 전극에 보조 배선 또는 보조 전극을 형성함으로써 단선 발생 시 상기 보조 배선 또는 보조 전극을 리페어 패턴으로 이용하여 레이저를 이용하여 상기 단선된 배선 또는 전극과 상기 보조 배선 전극을 연결시킴으로써 단선불량을 제거할 수 있는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판을 제공하는 것이다. The third embodiment of the present invention focuses on a structure for preventing disconnection defects due to enlargement. More precisely, by forming an auxiliary wiring or an auxiliary electrode in each wiring or electrode, when disconnection occurs, the disconnected wiring or electrode is connected to the auxiliary wiring electrode using a laser by using the auxiliary wiring or auxiliary electrode as a repair pattern. It is to provide an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device that can remove the.

도 15는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도이며, 도 16은 상기 도 15를 G-G를 따라 절단한 단면도이다.FIG. 15 is a plan view of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a third exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 16 is a cross-sectional view taken along the line G-G of FIG.

평면구조는 제 1 실시예의 도면인 도 6과 동일하므로 상기 도 6과 차이가 있는 점에 대해서만 설명한다.Since the planar structure is the same as that of Fig. 6 of the first embodiment, only the differences from Fig. 6 will be described.

도 6과 비교하여 차이가 있는 점은 화소전극(360)을 제외한 게이트 배선(305)과 데이터 배선(340)과 공통전극(312)에 각각 중첩되며 형성된 보조 게이트 배선(350)과 보조 데이터 배선(320)과 보조 공통전극(363)이 상기 게이트 배선(305)과 데이터 배선(340)과 공통전극(363)과 전기적으로 연결되지 않는 점이다. 즉, 게이트 배선(305)과 보조 게이트 배선(350), 데이터 배선(340)과 보조 데이터 배선(320), 공통전극(312)과 보조 공통전극(363) 사이의 게이트 절연막(미도시)과 보호층(미도시)에 콘택홀이 형성되지 않고, 단지 중첩되어 있을 뿐 서로 접촉 연결되지 않는 것이 특징이다. 단, 투명도전성 물질로 형성된 화소전극(360)은 중첩 형성된 보조 화소전극(322)과 화소전극 콘택홀(376a, 376b)을 통해 전기적으로 연결되어 있다. 이는 상기 화소전극(360)은 그 두께가 타 배선이나 전극 대비 얇게 형성됨으로써 대면적화로 전극의 길이가 길어진 경우 단선 가능성이 타 배선 또는 전극 대비 높음으로 이중배선 구조로 상기 화소전극(360)을 형성함으로써 하나의 전극이 단선되어도 단선불량이 발생하지 않도록 하였다. Compared with FIG. 6, the difference is that the auxiliary gate line 350 and the auxiliary data line are formed to overlap the gate line 305, the data line 340, and the common electrode 312 except for the pixel electrode 360. 320 and the auxiliary common electrode 363 are not electrically connected to the gate line 305, the data line 340, and the common electrode 363. That is, a gate insulating film (not shown) and protection between the gate wiring 305 and the auxiliary gate wiring 350, the data wiring 340 and the auxiliary data wiring 320, and the common electrode 312 and the auxiliary common electrode 363 are provided. The contact hole is not formed in the layer (not shown), and only overlaps with each other. However, the pixel electrode 360 formed of the transparent conductive material is electrically connected to the auxiliary pixel electrode 322 overlapped with the pixel electrode contact holes 376a and 376b. This is because the pixel electrode 360 is thinner than other wirings or electrodes, so that when the length of the electrode is increased due to large area, the possibility of disconnection is higher than that of other wirings or electrodes. Thus, the pixel electrode 360 is formed in a double wiring structure. This prevents disconnection failure even when one electrode is disconnected.

도 16은 공통전극 콘택홀 부분을 제외하고는 제 1 실시예의 동일 부분에 대한 단면도인 도 7도와 동일하므로 그 설명은 생략한다. FIG. 16 is the same as FIG. 7, which is a cross-sectional view of the same part of the first embodiment except for the common electrode contact hole, and thus description thereof is omitted.

제 3 실시예의 변형예로써 게이트 배선과 데이터 배선을 제외한 공통전극과 화소전극을 전기적으로 각각 전기적으로 연결된 구조로 형성할 수 있으며, 이러한 방식으로 확대 적용하여 데이터 배선만을 제외하고 연결시키는 등 여러 가지 변형예가 가능하다. As a modified example of the third embodiment, the common electrode and the pixel electrode except for the gate wiring and the data wiring may be formed in an electrically connected structure, respectively. Yes it is possible.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다. The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치는 선폭의 늘리지 않고, 배선 또는 전극의 상부 또는 하부에 중첩하여 보조배선 또는 보조전극을 형성하고, 이들을 각각 배선과 보조배선, 전극과 보조전극을 전기적으로 연결함으로써 배선저항을 낮추고, 상기 보조배선 또는 보조전극 자체를 리페어 배선으로 형성함으로써 대형화로 인한 단선을 방지하는 효과가 있다. The transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention forms an auxiliary wiring or an auxiliary electrode by overlapping an upper or lower portion of a wiring or an electrode without increasing the line width, and electrically connecting the wiring, the auxiliary wiring, the electrode, and the auxiliary electrode, respectively. By reducing the wiring resistance and forming the auxiliary wiring or the auxiliary electrode itself as a repair wiring, there is an effect of preventing the disconnection due to the enlargement.

도 1은 일반적인 횡전계형 액정 표시 장치의 일부분의 단면을 도시한 단면도1 is a cross-sectional view showing a cross section of a part of a general transverse electric field type liquid crystal display device;

도 2a, 2b는 일반적인 횡전계형 액정표시장치의 오프(off), 온(on)상태의 동작을 도시한 단면도.2A and 2B are cross-sectional views showing operations in off and on states of a general transverse electric field type liquid crystal display device.

도 3은 일반적인 횡전계형 액정표시장치의 화소부 일부를 도시한 평면도.3 is a plan view showing a part of a pixel portion of a general transverse electric field type liquid crystal display device;

도 4는 도 3을 A-A를 따라 절단한 단면도.4 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 5는 도 3을 B-B를 따라 절단한 단면도.5 is a cross-sectional view taken along the line B-B of FIG. 3.

도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도.6 is a plan view of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도 7은 도 6을 C-C를 따라 절단한 단면도. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line C-C of FIG. 6; FIG.

도 8은 도 6을 D-D를 따라 절단한 단면도. 8 is a cross-sectional view taken along the line D-D of FIG. 6.

도 9는 도 6을 E-E를 따라 절단한 단면도. 9 is a cross-sectional view taken along the line E-E of FIG. 6.

도 11은 제 1 실시예의 변형예를 도시한 것으로, 도 8과 같이 도 6을 E-E를 따라 절단한 단면도. FIG. 11 is a cross-sectional view of a modification of the first embodiment, taken along the line E-E of FIG.

도 12a 내지 12d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 단계별 공정 평면도.12A to 12D are plan views illustrating manufacturing steps of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도.13 is a plan view of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

도 14a는 도 13을 F-F를 따라 절단한 단면도. 14A is a cross-sectional view taken along the line F-F of FIG. 13;

도 14b는 본 발명의 제 2 실시예의 변형예를 도시한 단면도. Fig. 14B is a sectional view showing a modification of the second embodiment of the present invention.

도 15는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도.15 is a plan view of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention.

도 16은 도 15를 F-F를 따라 절단한 단면도. FIG. 16 is a cross-sectional view taken along the line F-F of FIG. 15; FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 기판 105 : 게이트 배선100: substrate 105: gate wiring

106 : 게이트 전극 110 : 공통배선106: gate electrode 110: common wiring

112 : 공통전극 120 : 데이터 보조배선112: common electrode 120: data auxiliary wiring

122 : 보조 화소전극 133 : 반도체층122: auxiliary pixel electrode 133: semiconductor layer

140 : 데이터 배선 143 : 소스 전극140: data wiring 143: source electrode

147 : 드레인 전극 160 : 화소전극 147: drain electrode 160: pixel electrode

163 : 보조 공통배선 170a, 170b : 보조 게이트 배선163: auxiliary common wiring 170a, 170b: auxiliary gate wiring

172a, 172b : 데이터 보조배선 174a, 174b : 보조 공통전극172a and 172b: data auxiliary wiring 174a and 174b: auxiliary common electrode

176a, 176b : 보조 화소전극 178 : 드레인 전극 176a and 176b auxiliary pixel electrode 178 drain electrode

Claims (21)

기판과;A substrate; 상기 기판 상에 가로 방향으로 형성된 다수의 게이트 배선과;A plurality of gate wirings formed in the horizontal direction on the substrate; 상기 게이트 배선과 교차하며 세로방향을 형성된 다수의 데이터 배선과;A plurality of data lines crossing the gate lines and having a vertical direction; 상기 게이트 배선과 상기 데이터 배선이 교차하여 정의되는 화소영역과;A pixel region defined by crossing the gate wiring and the data wiring; 상기 화소영역의 상기 게이트 및 데이터 배선의 교차지점에 형성되는 스위칭 소자와;A switching element formed at an intersection point of the gate and the data line of the pixel region; 상기 게이트 배선과 평행하게 형성되는 공통배선과;A common wiring formed in parallel with the gate wiring; 상기 공통배선에서 상기 화소영역 내부로 분기한 다수의 공통전극과;A plurality of common electrodes branched into the pixel area from the common wiring; 상기 공통전극 사이에 형성되며, 상기 스위칭 소자와 연결된 다수의 화소전극과;A plurality of pixel electrodes formed between the common electrodes and connected to the switching elements; 상기 화소영역 내에서 상기 화소전극과 중첩하며, 양끝이 상기 화소전극과 접촉하며 형성되는 보조 화소전극An auxiliary pixel electrode overlapping the pixel electrode in the pixel region and having both ends in contact with the pixel electrode; 을 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.Array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화소영역 내에는 상기 게이터 배선과 중첩되는 보조 게이트 배선이 더욱 포함되는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판. And an auxiliary gate line overlapping the gate line in the pixel area. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 보조 게이트 배선은 양끝이 상기 게이트 배선과 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판. And both ends of the auxiliary gate line are in contact with the gate line through a contact hole. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 화소영역 내에는 상기 데이터 배선과 중첩되는 보조 데이터 배선이 더욱 포함되는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판. And an auxiliary data line overlapping the data line in the pixel area. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 보조 데이터 배선은 양끝이 상기 데이터 배선과 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판. And both ends of the auxiliary data line are in contact with the data line through a contact hole. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화소영역 내에는 상기 공통전극과 중첩되는 보조 공통전극이 더욱 포함되는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판. And an auxiliary common electrode overlapping the common electrode in the pixel area. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 화소영역 내에는 상기 공통전극과 중첩되는 보조 공통전극이 더욱 포함되는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판. And an auxiliary common electrode overlapping the common electrode in the pixel area. 제 6 항 또는 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 6 to 7, 상기 보조 공통전극은 양끝이 상기 공통전극과 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판. And the both ends of the auxiliary common electrode contact the common electrode through the contact hole. 게이트 배선과 데이터 배선과 상기 두 배선이 교차하여 정의되는 화소영역과 상기 화소영역 내에 구비된 스위칭 소자와 공통전극과 화소전극으로 구성되는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판에 있어서,In an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a pixel region defined by crossing a gate wiring, a data wiring, and the two wirings, a switching element provided in the pixel region, a common electrode, and a pixel electrode, 기판과;A substrate; 상기 기판 상에 형성된 게이트 배선과;A gate wiring formed on the substrate; 상기 게이트 배선과 평행하게 형성되는 공통배선과;A common wiring formed in parallel with the gate wiring; 상기 공통배선에서 분기한 다수의 공통전극과;A plurality of common electrodes branched from the common wiring; 상기 게이트 배선과 공통배선 상부로 전면에 형성된 게이트 절연막과;A gate insulating film formed on an entire surface of the gate wiring and the common wiring; 상기 게이트 절연막 상부에 형성된 반도체층과;A semiconductor layer formed on the gate insulating layer; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선과; A data line crossing the gate line over the gate insulating film; 상기 데이터 배선에서 분기하며 상기 반도체층과 일부 중첩한 소스 전극과;A source electrode branching from the data line and partially overlapping the semiconductor layer; 상기 반도체층과 일부 중첩하며 상기 소스 전극과 일정간격 이격한 드레인 전극과;A drain electrode partially overlapping the semiconductor layer and spaced apart from the source electrode by a predetermined distance; 상기 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극 상부로 전면에 형성된 보호층과;A protective layer formed on an entire surface of the data line and the source and drain electrodes; 상기 보호층 상부에 상기 드레인 전극과 접촉하며 상기 공통전극 사이영역에 구비되는 화소전극과;A pixel electrode on the protective layer and in contact with the drain electrode and disposed in a region between the common electrodes; 상기 화소전극 하부로 상기 화소전극과 중첩하며 아일랜드 형상으로 기판 또는 게이트 절연막 상부에 플로팅되어 구비되는 보조 화소전극An auxiliary pixel electrode disposed under the pixel electrode and floating on the substrate or the gate insulating layer in an island shape; 을 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.Array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 기판 또는 게이트 절연막 상부에 플로팅되어 형성된 아일랜드 형상의 보조 화소전극은 상기 화소전극과 양끝이 콘택홀을 통해 접촉하는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.And an island-shaped auxiliary pixel electrode formed by being floated on the substrate or the gate insulating layer, wherein both ends of the island-shaped auxiliary pixel electrode are in contact with each other through a contact hole. 제 9 항 또는 제 10 항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 9 to 10, 상기 공통전극 상부의 게이트 절연막 또는 보호층 위로 상기 공통전극과 중첩하며, 아일랜드 형상의 보조 공통전극을 더욱 구비한 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.And an island-shaped auxiliary common electrode overlapping the common electrode on the gate insulating layer or the protective layer on the common electrode. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 게이트 절연막 또는 보호층 상부에 아일랜드 형상으로 형성된 보조 공통전극은 양끝이 하부의 공통전극과 접촉하는 것을 특징으로 하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.The auxiliary common electrode formed in an island shape on the gate insulating layer or the protective layer has both ends in contact with a lower common electrode. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 데이터 배선의 하부로 기판 상부 또는 상기 데이터 배선의 상부로 보호층 상부에 상기 데이터 배선과 중첩하며, 아일랜드 형상으로 형성된 보조 데이터 배선이 더욱 구비된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.And an auxiliary data line formed in an island shape and overlapping with the data line above the substrate below the data line or above the protective layer above the data line. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 보조 데이터 배선은 양끝이 상기 데이터 배선과 접촉하는 것을 특징으로 하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.And both ends of the auxiliary data line are in contact with the data line. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,The method according to claim 13 or 14, 상기 게이트 배선 상부의 게이트 절연막 또는 보호층 위로 상기 게이트 배선과 중첩하며, 아일랜드 형상으로 형성된 보조 게이트 배선이 더욱 구비된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.And an auxiliary gate wiring formed in an island shape and overlapping with the gate wiring over a gate insulating layer or a protective layer on the gate wiring. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 보조 게이트 배선은 양끝이 상기 게이트 배선과 접촉하는 것을 특징으로 하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.And both ends of the auxiliary gate line are in contact with the gate line. 기판 상에 가로방향으로 다수의 게이트 배선을 형성하는 단계와;Forming a plurality of gate wirings in a horizontal direction on the substrate; 상기 게이트 배선과 평행하게 다수의 공통배선을 형성하고, 동시에 상기 공통배선에서 분기한 다수의 공통전극을 형성하는 단계와;Forming a plurality of common wirings in parallel with the gate wirings, and simultaneously forming a plurality of common electrodes branched from the common wirings; 상기 공통전극 사이에 다수의 보조 화소전극을 형성하는 단계와;Forming a plurality of auxiliary pixel electrodes between the common electrodes; 상기 게이트 배선과 공통전극과 보조 화소전극 위로 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;Forming a gate insulating film over the gate line, the common electrode, and the auxiliary pixel electrode; 상기 게이트 절연막 위로 게이트 배선과 교차하는 다수의 데이터 배선을 형성하는 단계와;Forming a plurality of data lines crossing the gate lines over the gate insulating layer; 상기 데이터 배선과 게이트 배선의 교차지점에 스위칭 소자를 형성하는 단계와;Forming a switching element at an intersection point of the data line and the gate line; 상기 스위칭 소자와 데이터 배선 위로 전면에 보호층을 형성하는 단계와;Forming a protective layer on a front surface of the switching element and the data line; 상기 보호층 위로 공통전극 사이에 상기 스위칭 소자와 연결되며, 하부의 보조 화소전극과 중첩하며, 상기 보조 화소전극의 양끝과 접촉하는 다수의 화소전극을 형성하는 단계Forming a plurality of pixel electrodes connected to the switching element between the common electrodes on the passivation layer, overlapping the auxiliary pixel electrodes below, and contacting both ends of the auxiliary pixel electrodes; 를 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.Method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 게이트 절연막을 형성하는 단계 이전에 상기 데이터 배선에 중첩하는 위치에 보조 데이터 배선을 형성하는 단계Forming an auxiliary data line at a position overlapping the data line before forming the gate insulating layer; 를 더욱 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.Method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device further comprising. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 게이트 절연막을 형성하는 단계는 상기 보조 데이터 배선의 양끝 일부를 노출시키는 단계The forming of the gate insulating layer may include exposing portions of both ends of the auxiliary data line. 를 더욱 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.Method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device further comprising. 제 18 항 또는 제 19 항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 18 or 19, 상기 화소전극을 형성하는 단계는 상기 공통전극과 중첩하며 상기 공통전극과 양 끝이 접촉하는 보조 공통전극을 형성하는 단계The forming of the pixel electrode may include forming an auxiliary common electrode overlapping the common electrode and having both ends in contact with the common electrode. 를 더욱 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.Method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device further comprising. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 보조 공통전극을 형성하는 단계는 게이트 배선과 중첩하며 상기 게이트 배선과 양끝이 접촉하는 보조 게이트 배선을 형성하는 단계The forming of the auxiliary common electrode may include forming an auxiliary gate line overlapping the gate line and having both ends in contact with the gate line. 를 더욱 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.Method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device further comprising.
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