KR20050095932A - Wafer transferring apparatus - Google Patents
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Abstract
웨이퍼의 이송시 돌출된 웨이퍼를 감지할 수 있는 웨이퍼 이송장치에 대해 개시한다. 개시된 장치는 블레이드의 상면 전단부에 설치되어 상방에 위치하는 웨이퍼를 감지하는 센서 및 센서에 의하여 상방에 위치하는 웨이퍼를 감지하면 블레이드에 의한 웨이퍼의 이송작업을 중단시키는 제어부를 포함한다. Disclosed is a wafer transfer apparatus capable of detecting a protruding wafer during transfer of a wafer. The disclosed apparatus includes a sensor installed at the front end of the blade and detecting a wafer positioned upward by the sensor, and a controller for stopping the wafer transfer operation by the blade when the wafer is positioned upward by the sensor.
Description
본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 이송시 돌출된 웨이퍼를 감지할 수 있는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a wafer transfer apparatus capable of sensing a protruding wafer during transfer of a wafer.
일반적으로, 웨이퍼에 막을 형성하기 위한 반도체 제조공정에서 보다 많은 수의 웨이퍼를 적재하기 위하여 웨이퍼 보트(boat)를 이용한다. 즉, 보트에 적재된 웨이퍼는 블레이드(blade)를 이용하여 이송한다. Generally, a wafer boat is used to load a larger number of wafers in a semiconductor manufacturing process for forming a film on the wafer. In other words, the wafer loaded on the boat is transferred using a blade.
한편, 웨이퍼를 이송하기 이전에 블레이드의 양 측면에 장착된 위치감지센서를 이용하여 보트에 웨이퍼가 놓여져 있는 지를 확인한다. 먼저, 블레이드를 웨이퍼와 소정의 거리만큼 이격되도록 보트의 하단에 위치한다. 이어서, 블레이드를 상방향으로 이동하면서 위치감지센서에 의해 보트내의 웨이퍼를 감지한다. Meanwhile, before transferring the wafer, it is checked whether the wafer is placed on the boat by using the position sensor mounted on both sides of the blade. First, the blade is positioned at the bottom of the boat so as to be spaced apart from the wafer by a predetermined distance. The wafer in the boat is then sensed by the position sensor while moving the blade upwards.
만일, 보트 내의 임의의 웨이퍼가 보트 밖으로 돌출된 경우, 종래의 위치감지센서는 이를 감지할 수 없다. 왜냐하면 상방향으로 이동하는 블레이드의 상부에 돌출된 웨이퍼를 감지할 수 있는 장치가 없기 때문이다. 따라서, 돌출된 웨이퍼가 존재하는 경우에 상승하는 블레이드와 충돌하게 된다. 이러한 충돌로 인해 파손된 웨이퍼로부터 파티클 등이 발생하여 다른 정상적인 웨이퍼를 손상시키거나 심지어 보크가 넘어지거나 파손되는 문제점이 있다. If any wafer in the boat protrudes out of the boat, the conventional position sensor cannot detect it. This is because there is no device capable of detecting the protruding wafer on top of the blade moving upward. Thus, if there is a protruding wafer, it will collide with the rising blade. Due to such a collision, particles, etc., are generated from the broken wafers, thereby damaging other normal wafers, or even falling or breaking of the baux.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 보트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지할 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a wafer transfer apparatus capable of sensing a wafer protruding from a boat.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼가 놓여지는 블레이드와, 상기 블레이드의 상면 전단부에 설치되어 상기 블레이드의 상방에 돌출된 웨이퍼를 감지하는 센서 및 상기 돌출된 웨이퍼를 감지하면 상기 블레이드에 의한 웨이퍼의 이송작업을 중단시키는 제어부를 포함한다. In order to achieve the above technical problem, the wafer transfer apparatus according to the present invention comprises a blade on which a wafer is placed, a sensor installed at a front end of the blade and detecting a wafer protruding above the blade, and the protruding wafer. And a control unit for stopping the transfer operation of the wafer by the blade when sensing.
본 발명의 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 센서는 광센서 또는 근접센서일 수 있고 접촉식 센서일 수 있다. In the wafer transfer apparatus of the present invention, the sensor may be an optical sensor or a proximity sensor and may be a contact sensor.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예들은 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 웨이퍼 이송장치를 설명하기 위해 도시한 개략도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 블레이드를 나타낸 평면도이다.1 is a schematic diagram illustrating a wafer transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. 2 is a plan view showing a blade according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼를 이송하는 장치(10)는 이송기(11)와 이송기(11)의 상면에서 전후 이동(18a) 및 회전(18b)하는 슬라이더(13)와 슬라이더의 전단부에 설치된 블레이드(15)를 구비한다. 웨이퍼(22)를 이송하기 이전에 블레이드(15)의 양 측면에 장착된 위치감지센서(19)를 이용하여 보트(20)에 웨이퍼(22)가 놓여져 있는 지를 확인한다. 먼저, 블레이드(15)를 웨이퍼(22)와 소정의 거리만큼 이격되도록 슬라이더(13)에 의해 보트(20)의 하단에 위치하도록 한다. 이어서, 블레이드(15)를 상방향으로 이동하면서 위치감지센서(19)에 의해 보트(20)내의 웨이퍼(22)가 정상적으로 탑재되었는 지를 감지한다. As shown in FIGS. 1 and 2, the apparatus 10 for transferring wafers includes a slider 13 for moving forward and backward 18a and rotating 18b on the conveyor 11 and the upper surface of the conveyor 11. A blade 15 provided at the front end of the slider is provided. Before transferring the wafer 22, the position sensor 19 mounted on both sides of the blade 15 is used to check whether the wafer 22 is placed on the boat 20. First, the blade 15 is positioned at the bottom of the boat 20 by the slider 13 so as to be spaced apart from the wafer 22 by a predetermined distance. Subsequently, the blade 15 is moved upward to detect whether the wafer 22 in the boat 20 is normally mounted by the position sensor 19.
한편, 본 발명의 실시예에 의한 블레이드(15)는 웨이퍼(22)가 놓여지는 블레이드(15)의 상면 전단부에 설치되어 상방에 돌출된 웨이퍼를 감지하는 센서(30)를 구비한다. 이때, 돌출된 웨이퍼 감지센서(30)는 접촉식과 비접촉식 모두 가능하다. 비접촉식 센서, 예를 들어 광센서나 근접센서는 광신호이나 전자기파신호를 발생하여 돌출된 웨이퍼(24)에 의해 반사되어 오는 신호를 감지한다. 접촉식 센서는 돌출된 웨이퍼(24)와 접촉하면 웨이퍼가 돌출된 상태로 인식된다. On the other hand, the blade 15 according to the embodiment of the present invention is provided with a sensor 30 is installed on the front end of the blade 15 on which the wafer 22 is placed to detect the wafer protruding upward. In this case, the protruding wafer sensor 30 may be both contact and non-contact. Non-contact sensors, such as optical sensors or proximity sensors, generate optical signals or electromagnetic wave signals to detect signals reflected by the protruding wafer 24. When the contact sensor contacts the protruding wafer 24, the contact sensor is recognized as the protruding state.
돌출된 웨이퍼 감지센서(30)에 의하여 상방에 돌출된 웨이퍼(24)를 확인하면 제어부(17)는 블레이드(15)에 의한 웨이퍼의 이송작업을 중단한다. 웨이퍼 이송작업을 중단함으로써 블레이드와 충돌을 방지하게 된다. 즉, 충돌로 인해 파손된 웨이퍼로부터 파티클 등이 발생하여 다른 정상적인 웨이퍼를 손상시키거나 심지어 보크가 넘어지거나 파손되는 문제점을 해결할 수 있다. When the wafer 24 protrudes upward by the protruding wafer sensor 30, the controller 17 stops the wafer transfer operation by the blade 15. Interrupting the wafer transfer operation prevents collision with the blades. That is, it is possible to solve the problem that particles, etc., are generated from the broken wafer due to the collision, thereby damaging other normal wafers or even falling or breaking the baux.
이상, 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다. As mentioned above, although the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. Do.
상술한 본 발명에 의한 웨이퍼 이송장치에 따르면, 보트 밖으로 돌출된 웨이퍼를 감지하는 센서를 구비함으로써, 웨이퍼의 파손으로 인한 다른 웨이퍼나 보트의 손상을 방지할 수 있다.According to the wafer transfer apparatus according to the present invention described above, by providing a sensor for detecting a wafer protruding out of the boat, it is possible to prevent damage to other wafers or boats due to wafer breakage.
도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 이송장치를 설명하기 위해 도시한 개략도이다. 1 is a schematic view illustrating a wafer transfer apparatus according to the present invention.
도 2는 본 발명에 의한 블레이드를 나타낸 평면도이다.2 is a plan view showing a blade according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for the main parts of the drawings *
10; 웨이퍼 이송장치 11; 이송기10; A wafer transfer device 11; Conveyor
13; 슬라이더 15; 블레이드13; Slider 15; blade
17; 제어부 19; 위치감지센서17; Control unit 19; Position sensor
30; 돌출된 웨이퍼 감지센서30; Protruding Wafer Detection Sensor
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040021148A KR20050095932A (en) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | Wafer transferring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040021148A KR20050095932A (en) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | Wafer transferring apparatus |
Publications (1)
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|---|---|
| KR20050095932A true KR20050095932A (en) | 2005-10-05 |
Family
ID=37276178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020040021148A KR20050095932A (en) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | Wafer transferring apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR20050095932A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20070070846A (en) * | 2005-12-29 | 2007-07-04 | 주식회사 케이씨텍 | Wafer array apparatus and its control method |
-
2004
- 2004-03-29 KR KR1020040021148A patent/KR20050095932A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20070070846A (en) * | 2005-12-29 | 2007-07-04 | 주식회사 케이씨텍 | Wafer array apparatus and its control method |
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