KR20050095223A - Apparatus and method for inspecting via hole of printed circuit board - Google Patents

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Abstract

본 발명은 광학적 방식을 이용하여 인쇄회로기판의 비아홀에 잔존하는 절연수지 잔사를 검출함으로써, 인쇄회로기판의 불량여부를 정밀하게 판단할 수 있는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a via hole inspection apparatus and method for a printed circuit board which can accurately determine whether a printed circuit board is defective by detecting an insulating resin residue remaining in a via hole of a printed circuit board using an optical method.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치는 인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터에 따라 상기 비아홀 상에 광선을 조사하는 발광 수단; 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지의 잔존유무를 판단하는 검출 수단; 및 상기 인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터를 상기 발광 수단으로 전송하고, 상기 검출 수단에서 전송되는 상기 절연수지의 잔존유무에 대한 데이터에 따라 상기 비아홀의 불량여부를 판단하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for inspecting a via hole of a printed circuit board according to the present invention includes light emitting means for irradiating a light beam onto the via hole according to data about a coordinate of a via hole of a printed circuit board; Detecting means for detecting a light ray emitted from the via hole to determine whether an insulating resin remains; And control means for transmitting data on the coordinates of the via hole of the printed circuit board to the light emitting means, and determining whether the via hole is defective according to the data on the presence or absence of the insulating resin transmitted from the detection means. It is characterized by.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 방법은 (A) 인쇄회로기판의 위치를 정렬하고, 상기 인쇄회로기판의 비아홀 상에 광선을 조사하는 단계; (B) 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지 잔존유무를 판단하는 단계; 및 (C) 상기 절연수지 잔존유무에 따라, 상기 인쇄회로기판의 불량여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The via hole inspection method of a printed circuit board according to the present invention comprises the steps of: (A) aligning the position of the printed circuit board, and irradiating light rays on the via hole of the printed circuit board; (B) determining the presence or absence of insulating resin by detecting light rays emitted from the via hole; And (C) determining whether the printed circuit board is defective according to the presence or absence of the insulating resin.

Description

인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법{Apparatus and method for inspecting via hole of printed circuit board}Apparatus and method for inspecting via hole of printed circuit board}

본 발명은 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광학적 방식을 이용하여 인쇄회로기판의 비아홀에 잔존하는 절연수지 잔사를 검출함으로써, 인쇄회로기판의 불량여부를 정밀하게 판단할 수 있는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for inspecting a via hole of a printed circuit board, and more particularly, by detecting an insulating resin residue remaining in a via hole of a printed circuit board using an optical method, thereby accurately determining whether the printed circuit board is defective. The present invention relates to a via hole inspection apparatus and method for a printed circuit board.

최근 전자 제품의 경박 단소화되는 추세가 가속화됨에 따라, 다층인쇄회로기판(multi-layer printed circuit board)에서 구현한 전층홀(plated through hole) 가공 방식이 아닌 필요한 회로층만 연결하여 최소의 회로층간 접합을 구현하는 빌드업(build-up) 방식을 적용한 인쇄회로기판의 생산이 증가하고 있다.As the trend of light and shortening of electronic products has recently accelerated, only the necessary circuit layers are connected by connecting the necessary circuit layers rather than the plated through hole processing method implemented in a multi-layer printed circuit board. There is an increasing production of printed circuit boards that employ a build-up method that implements bonding.

이러한 빌드업 방식을 적용한 인쇄회로기판은 다층인쇄회로기판을 일괄 적층(mass lamination)하지 않고 순차 적층(sequential lamination)을 적용하며, 회로층간 접합을 이루도록 절연층을 레이저로 가공하여 종래의 다층인쇄회로기판에서의 기계적 드릴에서 구현할 수 없었던 0.15㎜ 이하의 비아홀 구경을 형성시키므로, 미세한 BGA(Ball Grid Array)의 볼 패드의 구현이 가능하고, 층간 접속을 통한 배선 밀도가 증가하고, 전자 제품의 경박단소화 및 성능 향상에 기여를 하고 있다.The printed circuit board using the build-up method applies sequential lamination without mass lamination of the multilayer printed circuit board, and processes the insulating layer with a laser to form a junction between circuit layers. By forming a via hole diameter of 0.15 mm or less, which could not be realized in a mechanical drill in a substrate, it is possible to implement a ball pad of a fine ball grid array (BGA), increase wiring density through interlayer connection, and thin and thin end of an electronic product. Contributes to digestion and improved performance.

이 0.15㎜ 이하의 비아홀을 마이크로 비아홀(micro via hole)이라고 하는데, 이산화탄소 레이저를 이용하여 RCC(Resin Coated Copper) 등의 기판의 절연수지를 태워 구현한다. 이 이산화탄소 레이저는 발광이 되는 광원이 이산화탄소로부터 발생되며, 파장은 적외선 영역의 열선이다.The via hole of 0.15 mm or less is called a micro via hole, and is implemented by burning an insulating resin of a substrate such as Resin Coated Copper (RCC) using a carbon dioxide laser. In this carbon dioxide laser, a light source that emits light is generated from carbon dioxide, and the wavelength is a hot ray in the infrared region.

상술한 바와 같이, 비아홀은 적외선 광원의 이산화탄소 레이저로 기판의 절연수지를 태워서 형성시키기 때문에, 레이저 가공 후에 비아홀의 캡쳐 패드(capture pad) 상에 절연수지 잔사(residue)가 잔존하게 된다. 이러한 레이저 가공 후에 잔존하는 절연수지 잔사를 제거하기 위하여 비아홀의 동도금 공정에 앞서 통상적으로 디스미어(demear) 공정을 수행한다.As described above, since the via hole is formed by burning the insulating resin of the substrate with a carbon dioxide laser of an infrared light source, an insulating resin residue remains on the capture pad of the via hole after laser processing. In order to remove the residual insulating resin residue after the laser processing, a desmear process is usually performed prior to the copper plating process of the via hole.

디스미어 공정은 기계적 드릴 가공이나 레이저 가공 후 캡쳐 패드에 잔존하는 절연수지 잔사를 화학적으로 제거하는 방식으로서, 건식 디스미어 공정과 습식 디스미어 공정으로 분류한다.The desmear process chemically removes the insulating resin residue remaining on the capture pad after mechanical drilling or laser processing, and is classified into a dry desmear process and a wet desmear process.

건식 디스미어 공정은 플라즈마(plasma) 방식을 통하여 절연수지 잔사를 제거하는 방식으로서, 매우 우수한 품질을 가지고는 있으나, 일괄처리 생산방식이 아니기 때문에 생산성이 매우 낮으며, 초기 설비비가 매우 고가이어서 특수한 목적이외에는 적용이 되지 않고 있다.The dry desmear process removes residues of insulating resin through plasma method, but it has very good quality, but because it is not batch production method, productivity is very low and initial equipment cost is very expensive, so it is a special purpose. Other than that, it is not applied.

습식 디스미어 공정은 과망간산칼륨(KMnO4)을 이용하여 절연수지 잔사를 제거하는 방식으로서, 사용상의 용이함, 비교적 우수한 품질 및 낮은 설비비로 인해 많은 인쇄회로기판 생산업체에서 채택하고 있는 공정이다.The wet desmear process removes insulating resin residues using potassium permanganate (KMnO 4 ), which is adopted by many printed circuit board manufacturers due to its ease of use, relatively good quality and low equipment costs.

그러나, 도 1에 나타낸 바와 같이, 디스미어 공정에서 비아홀의 절연수지 잔사를 완전히 제거하지 못하고 동도금을 수행한 경우, 회로층간 오픈(open) 현상(도 1에서 원으로 표시한 부분)이 발생하는 문제점이 있었다.However, as shown in FIG. 1, when copper plating is performed without completely removing the insulating resin residue of the via hole in the desmear process, an open phenomenon between circuit layers (circled in FIG. 1) occurs. There was this.

따라서, 디스미어 공정 후의 완벽한 품질 보증을 하기 위해서 레이저 가공 후에 디스미어 처리된 비아홀을 선별적으로 검사를 하고 있으나, 인쇄회로기판의 비아홀의 개수가 수 만개가 되기 때문에 완벽한 품질 보증을 하지 못하는 문제점이 있었다.Therefore, in order to guarantee the perfect quality after the desmear process, the desmeared via holes are selectively inspected after laser processing, but the number of via holes in the printed circuit board is tens of thousands, which does not provide perfect quality assurance. there was.

도 2는 종래의 광학 현미경을 이용한 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 구성을 나타내는 개략도이다.2 is a schematic diagram showing the configuration of a via hole inspection apparatus for a printed circuit board using a conventional optical microscope.

도 2에 나타낸 바와 같이, 종래의 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(20)는 이산화탄소 레이저 가공을 하고 디스미어 공정을 수행한 인쇄회로기판(10)의 비아홀(11)을 검사원들이 광학 현미경(21)을 이용하여 검사하였다.As shown in FIG. 2, the via hole inspection apparatus 20 of the conventional printed circuit board includes an optical microscope 21 for inspecting the via hole 11 of the printed circuit board 10 subjected to carbon dioxide laser processing and performing a desmear process. It was examined using.

그러나, 인쇄회로기판(10)의 비아홀(11)의 개수가 수 만개에 이르고, 비아홀(11)의 크기가 매우 작기 때문에, 검사원이 인쇄회로기판(10)의 모든 비아홀(11)을 검사하는 것은 불가능하며, 검사의 신뢰성이 매우 낮아 완벽한 품질 보증을 할 수가 없는 문제점이 있었다.However, since the number of via holes 11 of the printed circuit board 10 reaches tens of thousands, and the size of the via holes 11 is very small, the inspector inspects all the via holes 11 of the printed circuit board 10. It is impossible, and the reliability of the inspection is very low, there is a problem that can not be guaranteed perfect quality.

또한, 검사원이 인쇄회로기판(10)의 비아홀(11)을 광학 현미경(21)으로 검사하기 때문에, 많은 인력과 시간이 소요되고, 검사원에 따라 검사 기준의 차이가 발생하는 문제점도 있었다.In addition, since the inspector inspects the via hole 11 of the printed circuit board 10 with the optical microscope 21, a lot of manpower and time are required, and there is a problem that a difference in inspection standards occurs depending on the inspector.

상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 인쇄회로기판의 모든 비아홀에 잔존하는 절연수지 잔사를 검출할 수 있는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide a via hole inspection apparatus and method for a printed circuit board capable of detecting residues of insulating resin remaining in all via holes of a printed circuit board.

본 발명의 다른 기술적 과제는 광학적 방법을 이용한 AOI(Automatic Optical Inspection) 장치의 인쇄회로기판의 바아홀 검사 장치 및 그 검사 방법을 제공하는 것이다.Another technical problem of the present invention is to provide a bar hole inspection apparatus of a printed circuit board of an AOI (Automatic Optical Inspection) apparatus using an optical method and an inspection method thereof.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치는 인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터에 따라 상기 비아홀 상에 광선을 조사하는 발광 수단; 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지의 잔존유무를 판단하는 검출 수단; 및 상기 인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터를 상기 발광 수단으로 전송하고, 상기 검출 수단에서 전송되는 상기 절연수지의 잔존유무에 대한 데이터에 따라 상기 비아홀의 불량여부를 판단하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, a via hole inspection apparatus of a printed circuit board according to the present invention comprises a light emitting means for irradiating a light beam on the via hole according to the data on the coordinates of the via hole of the printed circuit board; Detecting means for detecting a light ray emitted from the via hole to determine whether an insulating resin remains; And control means for transmitting data on the coordinates of the via hole of the printed circuit board to the light emitting means, and determining whether the via hole is defective according to the data on the presence or absence of the insulating resin transmitted from the detection means. It is characterized by.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 상기 발광 수단은 중수소 램프 및 수은 램프를 포함하는 자외선 광원인 것이 바람직하다.Preferably, the light emitting means of the via hole inspection apparatus for a printed circuit board according to the present invention is an ultraviolet light source including a deuterium lamp and a mercury lamp.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 상기 검출 수단은, 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하고, 상기 광선에 대한 신호의 크기를 증폭시키는 광전자 증배관; 및 상기 광전자 증배관에 연결되어 있으며, 상기 광전자 증배관에서 증폭되어 전송되는 상기 광선에 대한 신호를 기초로 절연수지의 잔존유무를 판단하는 광검출기를 포함하는 것이 바람직하다.The detection means of the via-hole inspection apparatus of the printed circuit board according to the present invention, the photoelectric multiplier tube for detecting the light rays emitted from the via hole, and amplifies the magnitude of the signal for the light beam; And a photodetector connected to the photomultiplier and determining the presence or absence of an insulating resin based on a signal for the light beam amplified and transmitted from the photomultiplier.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치는 상기 발광 수단에서 방출되는 광선을 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키고, 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 상기 검출 수단에 집광시키는 집광 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The via hole inspection apparatus of the printed circuit board according to the present invention further comprises condensing means for condensing the light rays emitted from the light emitting means to the via holes of the printed circuit board and condensing the light rays emitted from the via holes to the detection means. It features.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 상기 집광 수단은, 상기 발광 수단에서 방출되는 광선을 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키는 대물 렌즈; 및 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 반사시켜 상기 검출 수단에 집광시키는 반사 거울을 포함하는 것이 바람직하다.The light collecting means of the via hole inspection apparatus of the printed circuit board according to the present invention comprises: an objective lens for condensing light rays emitted from the light emitting means to the via hole of the printed circuit board; And a reflecting mirror reflecting light rays emitted from the via holes and condensing them on the detection means.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 상기 반사 거울은 상기 발광 수단에서 방출되는 광선이 상기 대물렌즈를 통하여 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키는 소정의 개구부를 포함하고, 상기 검출 수단 방향으로 소정의 오목한 형태로 형성되는 것이 바람직하다.The reflective mirror of the via hole inspection apparatus of the printed circuit board according to the present invention includes a predetermined opening for condensing the light rays emitted from the light emitting means to the via hole of the printed circuit board through the objective lens, and toward the detection means. It is preferable that it is formed in a predetermined concave shape.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 상기 집광 수단은, 상기 발광 수단에서 방출되는 광선을 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키는 대물 렌즈; 및 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 상기 검출 수단에 집광시키는 수광 렌즈를 포함하는 것이 바람직하다.The light collecting means of the via hole inspection apparatus of the printed circuit board according to the present invention comprises: an objective lens for condensing light rays emitted from the light emitting means to the via hole of the printed circuit board; And a light receiving lens for condensing the light rays emitted from the via holes to the detection means.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 방법은 (A) 인쇄회로기판의 위치를 정렬하고, 상기 인쇄회로기판의 비아홀 상에 광선을 조사하는 단계; (B) 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지 잔존유무를 판단하는 단계; 및 (C) 상기 절연수지 잔존유무에 따라, 상기 인쇄회로기판의 불량여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, a method of inspecting a via hole of a printed circuit board according to the present invention includes: (A) aligning a position of a printed circuit board and irradiating light rays onto the via hole of the printed circuit board; (B) determining the presence or absence of insulating resin by detecting light rays emitted from the via hole; And (C) determining whether the printed circuit board is defective according to the presence or absence of the insulating resin.

본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 방법의 상기 (A) 단계의 상기 인쇄회로기판의 비아홀 상에 광선을 조사하는 과정은 상기 인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터에 따라 상기 인쇄회로기판의 비아홀 상에 광선을 조사하는 것이 바람직하다.The step of irradiating a light beam on the via hole of the printed circuit board in the step (A) of the method for inspecting the via hole of the printed circuit board according to the present invention is performed according to the data of the coordinates of the via hole of the printed circuit board. It is preferable to irradiate light rays on the via holes.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an apparatus and a method for inspecting a via hole of a printed circuit board according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 구성을 나타내는 개략도이고, 도 4는 인쇄회로기판의 절연수지 내에 발색단의 에너지 상태에 따라 빛이 발광하는 원리를 나타내는 에너지 상태의 개략도이며, 도 5는 인쇄회로기판의 비아홀의 단면도 및 평면도이다.Figure 3 is a schematic diagram showing the configuration of the via hole inspection apparatus of the printed circuit board according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is an energy state showing the principle that light is emitted in accordance with the energy state of the chromophore in the insulating resin of the printed circuit board 5 is a cross-sectional view and a plan view of a via hole of a printed circuit board.

도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(200)는 발광 수단(210), 집광 수단(220), 검출 수단(230) 및 제어 수단(240)을 포함한다.As shown in FIG. 3, the via hole inspection apparatus 200 according to the present invention includes a light emitting unit 210, a light collecting unit 220, a detection unit 230, and a control unit 240.

발광 수단(210)은 중수소 램프 또는 수은 램프와 같은 자외선 광원으로서, 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 잔존하는 절연수지의 잔사를 검출하기 위하여, 제어 수단(240)에서 전송되는 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)의 좌표에 대한 데이터를 기초로 광선을 조사하는 역할을 한다.The light emitting means 210 is an ultraviolet light source such as a deuterium lamp or a mercury lamp, and is a printed circuit transmitted from the control means 240 to detect the residue of the insulating resin remaining in the via hole 110 of the printed circuit board 100. It serves to irradiate light rays based on data on the coordinates of the via hole 110 of the substrate 100.

집광 수단(220)은 대물 렌즈(221) 및 반사 거울(222)을 포함하고, 발광 수단(210)에서 방출된 광선을 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 집광시키고, 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 잔존하는 절연수지에서 방출되는 광선을 검출 수단(230)에 집광시키는 역할을 한다.The light collecting means 220 includes an objective lens 221 and a reflecting mirror 222, condenses the light emitted from the light emitting means 210 to the via hole 110 of the printed circuit board 100, and prints the printed circuit board ( The light beam emitted from the insulating resin remaining in the via hole 110 of the 100 is focused on the detection means 230.

대물 렌즈(221)는 발광 수단(210)에서 방출된 광선을 반사 거울(222)의 소정의 개구부(222a)를 통하여 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 집광시키는 역할을 한다.The objective lens 221 condenses the light emitted from the light emitting means 210 to the via hole 110 of the printed circuit board 100 through a predetermined opening 222a of the reflective mirror 222.

반사 거울(222)은 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 잔존하는 절연수지에서 방출되는 광선을 검출 수단(230)으로 집광시키는 역할을 한다. 이러한 반사 거울(222)은 많은 양의 광선이 검출 수단(230)에 집광되도록 검출 수단(230) 방향으로 소정의 오목한 형태로 형성되고, 발광 수단(210)에서 방출된 광선이 대물렌즈를 통하여 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 집광되도록 소정의 개구부(222a)가 형성된다.The reflective mirror 222 collects light rays emitted from the insulating resin remaining in the via hole 110 of the printed circuit board 100 by the detection means 230. The reflective mirror 222 is formed in a predetermined concave shape in the direction of the detection means 230 so that a large amount of light rays are collected by the detection means 230, and the light emitted from the light emitting means 210 is printed through the objective lens. A predetermined opening 222a is formed to condense in the via hole 110 of the circuit board 100.

검출 수단(230)은 광전자 증배관(photo-multiplier tube; 231) 및 광검출기(232)를 포함하고, 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 잔존하는 절연수지에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지 잔사의 잔존유무를 판단하는 역할을 한다.The detection means 230 includes a photo-multiplier tube 231 and a photodetector 232, and detects light rays emitted from the insulating resin remaining in the via hole 110 of the printed circuit board 100. It plays a role of judging whether residue of insulation resin remains.

광전자 증배관(231)은 이산화탄소 레이저 가공 시에 비아홀(110)에 절연수지가 산화로 인하여 발색단이 제거되어 발광 신호가 미약한 경우 보다 요구되며, 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 잔존하는 절연수지에서 방출되는 광선을 검출하고, 광선에 대한 신호의 크기를 증폭시킨 후 광검출기(232)에 전송하는 역할을 한다.The photomultiplier tube 231 is required when the chromophore is removed due to oxidation of the insulating resin in the via hole 110 during carbon dioxide laser processing, and the light emission signal is weak, and remains in the via hole 110 of the printed circuit board 100. It detects the light rays emitted from the insulating resin, and amplifies the magnitude of the signal for the light beams and transmits them to the photodetector 232.

광검출기(232)는 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에 잔존하는 절연수지에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지 잔사의 잔존유무를 판단하는 역할을 하며, 그 광선에 대한 신호 크기가 작은 경우 광전자 증배관(231)을 통하여 증폭된 후, 절연수지 잔사의 잔존유무를 판단할 수 있다.The photodetector 232 detects the light rays emitted from the insulating resin remaining in the via hole 110 of the printed circuit board 100 and determines the presence or absence of residues of the insulating resin. In this case, after being amplified through the photomultiplier tube 231, it is possible to determine whether the insulation resin residue remains.

제어 수단(240)은 발광 수단(210) 및 검출 수단(230)에 연결되어 있으며, 인쇄회로기판(100) 상에 형성된 비아홀(110)의 좌표에 대한 데이터를 발광 수단(210)에 전송하여 검사가 필요한 비아홀(110)에만 광선을 조사할 수 있게 하고, 검출 수단(230)에서 판단된 절연수지 잔사의 잔존유무에 대한 데이터에 따라 인쇄회로기판(100) 상에 형성된 각각의 비아홀(110)의 불량여부를 판단하는 역할을 한다.The control means 240 is connected to the light emitting means 210 and the detecting means 230, and transmits data about the coordinates of the via hole 110 formed on the printed circuit board 100 to the light emitting means 210 for inspection. Can be irradiated only to the via holes 110 that need to be applied, and each of the via holes 110 formed on the printed circuit board 100 according to the data on the residual resin residues determined by the detection means 230 It is used to judge the defect.

한편, 인쇄회로기판(100)의 절연수지는 BT 수지, 고 유리전이온도의 다관능성 에폭시(high Tg multifunctional epoxy), 폴리프로필렌 옥사이드(polypropylene oxide), 폴리이미드(polyimide) 등이 사용된다. 이 다양한 절연수지의 공통점은 콘주게이티드(conjugated) 이중결합을 갖고 있는 벤젠 고리(benzene ring)와 같은 자외선을 흡수하여 발광을 하는 발색단(chromophore)을 포함하고 있는 것이다.On the other hand, the insulation resin of the printed circuit board 100 is a BT resin, a high Tg multifunctional epoxy (polypropylene oxide), polyimide (polyimide) and the like glass transition temperature is used. Common to these various insulating resins is the inclusion of chromophores that absorb and emit ultraviolet light, such as the benzene ring, which has conjugated double bonds.

도 4를 참조하면, 발광 수단(210)에서 방출된 에너지 E0=hν0(여기서 h는 플랑크 상수이고, ν0은 발광 수단(210)에서 방출된 광자의 주파수)의 광자는 절연수지 잔사의 발색단의 전자를 기저상태(ground state)에서 제 1 여기상태(first excited state)로 전이시키는데, 제 1 여기상태로 전이된 전자의 에너지 상태는 불안한 상태이기 때문에 본래의 기저상태로 전이되어 에너지 E0=hν0의 광자를 방출한다. 이러한 제 1 여기상태에서 기저상태로 전이한 광자는 발광 수단(210)에서 방출된 광자와 동일한 에너지를 가지기 때문에, 데이터 분석 시에 서로 중첩되므로, 절연수지 잔사의 잔존여부를 판단하기 어렵다.Referring to FIG. 4, photons of the energy E 0 = hν 0 emitted from the light emitting means 210 (where h is Planck's constant and ν 0 is the frequency of photons emitted from the light emitting means 210) are the residues of the insulating resin residue. The electrons of the chromophore are transferred from the ground state to the first excited state. Since the energy state of the electrons transitioned to the first excited state is an unstable state, the electrons of the chromophore are transferred to the original ground state and energy E 0. Emits a photon of = hν 0 . Since the photons transitioned from the first excited state to the ground state have the same energy as the photons emitted from the light emitting unit 210, the photons overlap each other during data analysis, and thus it is difficult to determine whether the insulating resin residue remains.

그러나, 제 1 여기상태로 전이된 전자가 여러 요인에 의하여 발색단의 제 2 여기상태(second excited state)로 전이한 후 기저상태로 전이되면, 에너지 E1=hν1(여기서 ν1은 절연수지 발색단에서 방출된 광자의 주파수)의 광자를 방출한다. 이러한 제 2 여기상태에서 기저상태로 전이한 광자는 절연 수지에 따라 고유의 에너지를 가지며, 발광 수단(210)에서 방출된 광자와 서로 다른 에너지를 가지기 때문에, 데이터 분석 시에 서로 분리된 신호로 발생하므로, 절연수지 잔사의 잔존여부를 용이하게 판단할 수 있다.However, when electrons transferred to the first excited state are transferred to the second excited state of the chromophore by various factors and then to the ground state, the energy E 1 = hν 1 (where ν 1 is an insulating resin chromophore). Emit photons of the photon's frequency). Since the photons transitioned from the second excited state to the ground state have inherent energy according to the insulating resin, and have different energy from photons emitted from the light emitting means 210, they are generated as signals separated from each other during data analysis. Therefore, it is possible to easily determine whether the insulation resin residue remains.

이러한 비아홀(110)의 절연수지에서 방출되는 에너지 E1의 광자는 광전자 증배관(231)에서 증폭된 후, 광검출기(232)에 전송된다. 전송된 에너지 E1의 광자의 신호의 크기에 따라, 광검출기(232)는 절연수지 잔사의 잔존유무를 판단하고, 그 데이터를 제어 수단(240)에 전송하며, 제어 수단(240)은 전송된 절연수지 잔사유무에 대한 데이터를 바탕으로 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)의 불량여부를 판단할 수 있다.Photons of the energy E 1 emitted from the insulating resin of the via hole 110 are amplified in the photomultiplier 231 and then transmitted to the photodetector 232. According to the magnitude of the signal of the photons of the transmitted energy E 1 , the photodetector 232 determines whether residual insulating resin residues remain, transmits the data to the control means 240, and the control means 240 transmits the It may be determined whether the via hole 110 of the printed circuit board 100 is defective based on the data on the presence or absence of the insulation resin.

한편, 도 5에 나타낸 바와 같이, 이산화탄소 레이저 가공된 비아홀(110)은 인쇄회로기판(100)의 상부층에서는 폭이 넓고 캡쳐 패드(capture pad; 112)에서는 폭이 좁은 테이퍼(taper) 형태로 가공된다. 비아홀(110)이 가공된 인쇄회로기판(100)을 상면을 보면, 테이퍼형 비아홀(110)의 측벽(111)이 노출되기 때문에, 발광 수단(210)에서 방출된 광선과 절연수지층이 상호작용하여 검출 수단(230)에 검출된 광선에 대한 신호에 오류가 발생할 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(200)는 비아홀(110)의 노출된 캡쳐 패드(112)에만 조사하도록 발광 수단(210) 및 집광 수단(220)을 조절함으로써, 이러한 오류를 방지할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 5, the CO 2 laser processed via hole 110 is processed to have a wider taper in the upper layer of the printed circuit board 100 and a narrower taper in the capture pad 112. . When the top surface of the printed circuit board 100 having the via holes 110 is processed, the sidewalls 111 of the tapered via holes 110 are exposed, so that the light emitted from the light emitting unit 210 interacts with the insulating resin layer. Therefore, an error may occur in the signal for the light beam detected by the detection means 230. However, the via hole inspection apparatus 200 of the printed circuit board according to the present invention adjusts the light emitting means 210 and the light collecting means 220 to irradiate only the exposed capture pad 112 of the via hole 110, thereby preventing such an error. You can prevent it.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 방법을 나타내는 흐름도이다.6 is a flowchart illustrating a method of inspecting a via hole of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6에 나타낸 바와 같이, 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(200)의 제어 수단(240)은 이산화탄소 레이저에 의해 가공되는 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)의 좌표를 입력받는다(S110). 이 비아홀(110)의 좌표를 기초로 하여 검사하고자 하는 비아홀(110)만 스캔하여 검사할 수 있다.As shown in FIG. 6, the control means 240 of the via hole inspection apparatus 200 of the printed circuit board receives the coordinates of the via hole 110 of the printed circuit board 100 processed by the carbon dioxide laser (S110). Only via holes 110 to be inspected may be inspected based on the coordinates of the via holes 110.

한편으로, 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(200)와 비아홀(110)이 형성된 인쇄회로기판(100)을 정렬시킨다(S120).On the other hand, the via hole inspection apparatus 200 of the printed circuit board and the printed circuit board 100 on which the via holes 110 are formed are aligned (S120).

제어 수단(240)으로부터 전송된 비아홀(110)의 좌표를 기초로 하여, 발광 수단(210)은 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110) 상에 광선을 조사한다(S130). 여기서 발광 수단(210)에서 방출된 광선은 집광 수단(220)에 의하여 비아홀(110)에 집광된다.Based on the coordinates of the via hole 110 transmitted from the control means 240, the light emitting means 210 irradiates a light beam onto the via hole 110 of the printed circuit board 100 (S130). In this case, the light rays emitted from the light emitting means 210 are collected in the via hole 110 by the light collecting means 220.

검출 수단(230)은 인쇄회로기판(100)의 비아홀(110)에서 방출된 광선을 검출하고(S140), 검출된 광선을 분석(예를 들면, 양품인 경우의 데이터와 비교)하여 절연수지의 잔존유무를 판단한다(S150).The detection means 230 detects the light rays emitted from the via hole 110 of the printed circuit board 100 (S140), and analyzes the detected light rays (for example, comparing them with data of good quality products) of the insulating resin. It is determined whether there is a residual (S150).

절연수지가 잔존하는 경우, 제어 수단(240)은 불량 정도가 경미하면 인쇄회로기판(100)을 이산화탄소 레이저 공정 또는 디스미어 공정 등의 재처리 공정으로 전송하고, 불량 정도가 심각하면 폐기 처리 공정으로 전송한다(S160).When the insulating resin remains, the control means 240 transmits the printed circuit board 100 to a reprocessing process such as a carbon dioxide laser process or a desmear process if the degree of defect is minor, and to a waste disposal process if the degree of defect is severe. It transmits (S160).

한편, 절연수지가 잔존하지 않는 경우, 제어 수단(240)은 동도금 등의 이후 공정으로 인쇄회로기판(100)을 전송한다(S170).On the other hand, if the insulating resin does not remain, the control means 240 transmits the printed circuit board 100 in a subsequent process such as copper plating (S170).

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(300)의 구성을 나타내는 개략도이며, 발광 수단(310), 집광 수단(320), 검출 수단(330) 및 제어 수단(340)을 포함한다. 7 is a schematic view showing the configuration of a via hole inspection apparatus 300 of a printed circuit board according to another embodiment of the present invention, and includes a light emitting unit 310, a light collecting unit 320, a detection unit 330, and a control unit 340. ).

도 7의 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(300)와 도 3의 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(200)를 비교하여 보면, 도 7의 검사 장치는 집광 수단(320)이 대물 렌즈(321) 및 수광 렌즈(322)로 구성되어 있고, 도 3의 검사 장치는 집광 수단(220)이 대물 렌즈(221)와 반사 거울(222)로 구성되어 있는 차이점이 있다.When the via hole inspection apparatus 300 of the printed circuit board of FIG. 7 is compared with the via hole inspection apparatus 200 of the printed circuit board of FIG. 3, the inspection apparatus of FIG. 7 includes the objective lens 321 and the light collecting means 320. 3, the inspection apparatus of FIG. 3 differs in that the light collecting means 220 is composed of the objective lens 221 and the reflecting mirror 222.

이러한 도 7의 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치(300)는 비아홀(110)의 절연수지의 잔사에서 방출되는 광선을 검출 수단(330)으로 집광하는 수광 렌즈(322)의 위치와 이에 따른 검출 수단(330)의 위치를 자유로이 조절할 수 있는 장점이 있다.The via hole inspection apparatus 300 of the printed circuit board of FIG. 7 includes a position of the light receiving lens 322 that condenses the light emitted from the residue of the insulating resin of the via hole 110 to the detection means 330, and thus the detection means ( 330 has the advantage of being able to freely adjust the position.

이상에서 본 발명에 대하여 설명하였으나 이는 일실시예에 지나지 않는 바, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 얼마든지 다양한 변화 및 변형이 가능함은 당업자에게는 자명한 사실일 것이다. 하지만, 이들은 본 발명의 범위 내에 속한다는 것은 이하의 청구범위를 통해서 확연해 질 것이다.Although the present invention has been described above, this is only one embodiment, and it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. However, it will be apparent from the following claims that they fall within the scope of the invention.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법은 광학적 방식을 이용하여 인쇄회로기판의 비아홀에 잔존하는 절연수지 잔사를 검출할 수 있는 AOI(Automatic Optical Inspection) 장치 및 그 검사 방법을 제공한다.As described above, an apparatus and method for inspecting a via hole of a printed circuit board according to the present invention is an AOI (Automatic Optical Inspection) apparatus capable of detecting residues of insulating resin remaining in a via hole of a printed circuit board using an optical method, and an inspection thereof. Provide a method.

따라서, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법은 인쇄회로기판의 불량여부를 객관적으로 판단할 수 있으므로, 제품의 신뢰도를 향상시키는 효과가 있다.Therefore, the via hole inspection apparatus and method of the printed circuit board according to the present invention can objectively determine whether the printed circuit board is defective, thereby improving the reliability of the product.

또한, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치 및 방법은 인쇄회로기판의 모든 비아홀을 검사할 수 있고, 비아홀을 검사하는데 소요되는 인력과 시간을 절감하는 효과도 있다.In addition, the via hole inspection apparatus and method of the printed circuit board according to the present invention can inspect all the via holes of the printed circuit board, and also has the effect of reducing the manpower and time required to inspect the via holes.

도 1은 인쇄회로기판의 회로층간에 오픈 현상이 발생한 비아홀의 단면을 나타내는 현미경사진.1 is a micrograph showing a cross section of a via hole in which an open phenomenon occurs between circuit layers of a printed circuit board.

도 2는 종래의 광학 현미경을 이용한 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 구성을 나타내는 개략도.Figure 2 is a schematic diagram showing the configuration of a via hole inspection apparatus for a printed circuit board using a conventional optical microscope.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 구성을 나타내는 개략도.Figure 3 is a schematic diagram showing the configuration of a via hole inspection apparatus of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

도 4는 인쇄회로기판의 절연수지 내에 발색단의 에너지 상태에 따라 빛이 발광하는 원리를 나타내는 에너지 상태의 개략도.Figure 4 is a schematic diagram of the energy state showing the principle that light is emitted in accordance with the energy state of the chromophore in the insulating resin of the printed circuit board.

도 5는 인쇄회로기판의 비아홀의 단면도 및 평면도.5 is a cross-sectional view and a plan view of a via hole of a printed circuit board.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 방법을 나타내는 흐름도.6 is a flowchart illustrating a method of inspecting a via hole of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치의 구성을 나타내는 개략도.7 is a schematic view showing the configuration of a via-hole inspection apparatus of a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 인쇄회로기판 110 : 비아홀100: printed circuit board 110: via hole

111 : 비아홀의 측벽 112 : 캡쳐 패드111: sidewall of the via hole 112: capture pad

200, 300 : 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치200, 300: Via hole inspection device of the printed circuit board

210, 310 : 발광 수단 220, 320 : 집광 수단210, 310: light emitting means 220, 320: light collecting means

221, 321 : 대물렌즈 222 : 반사 거울221, 321: objective lens 222: reflective mirror

222a : 반사 거울의 개구부 230, 330 : 검출 수단222a: opening 230 of reflective mirror 230, detection means

231, 331 : 광전자 증배관 232, 332 : 광검출기231, 331: photomultiplier tube 232, 332: photodetector

240, 340 : 제어 수단 322 : 수광 렌즈240, 340: control means 322: light receiving lens

Claims (9)

인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터에 따라 상기 비아홀 상에 광선을 조사하는 발광 수단;Light emitting means for irradiating light rays onto the via holes according to data on the coordinates of the via holes of the printed circuit board; 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지의 잔존유무를 판단하는 검출 수단; 및Detecting means for detecting a light ray emitted from the via hole to determine whether an insulating resin remains; And 상기 인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터를 상기 발광 수단으로 전송하고, 상기 검출 수단에서 전송되는 상기 절연수지의 잔존유무에 대한 데이터에 따라 상기 비아홀의 불량여부를 판단하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치.And control means for transmitting data on the coordinates of the via hole of the printed circuit board to the light emitting means, and determining whether the via hole is defective according to the data on the presence or absence of the insulating resin transmitted from the detection means. A via hole inspection apparatus for a printed circuit board. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 발광 수단은 중수소 램프 및 수은 램프를 포함하는 자외선 광원인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치.The light emitting means is a via hole inspection apparatus for a printed circuit board, characterized in that the ultraviolet light source including a deuterium lamp and a mercury lamp. 제 1 항에 있어서, 상기 검출 수단은,The method of claim 1, wherein the detection means, 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하고, 상기 광선에 대한 신호의 크기를 증폭시키는 광전자 증배관; 및An photomultiplier tube for detecting light rays emitted from the via holes and amplifying the magnitude of the signal with respect to the light rays; And 상기 광전자 증배관에 연결되어 있으며, 상기 광전자 증배관에서 증폭되어 전송되는 상기 광선에 대한 신호를 기초로 절연수지의 잔존유무를 판단하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치.A photodetector connected to the photomultiplier and including a photo detector to determine whether an insulating resin remains on the basis of a signal for the light beam amplified and transmitted by the photomultiplier; . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 발광 수단에서 방출되는 광선을 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키고, 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 상기 검출 수단에 집광시키는 집광 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치.And a light collecting means for condensing the light rays emitted from the light emitting means to the via holes of the printed circuit board and condensing the light rays emitted from the via holes to the detection means. 제 4 항에 있어서, 상기 집광 수단은,The method of claim 4, wherein the light collecting means, 상기 발광 수단에서 방출되는 광선을 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키는 대물 렌즈; 및An objective lens for condensing the light rays emitted from the light emitting means to the via holes of the printed circuit board; And 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 반사시켜 상기 검출 수단에 집광시키는 반사 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치.And a reflecting mirror reflecting light rays emitted from the via holes and condensing them on the detecting means. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 반사 거울은 상기 발광 수단에서 방출되는 광선이 상기 대물렌즈를 통하여 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키는 소정의 개구부를 포함하고, 상기 검출 수단 방향으로 소정의 오목한 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치.The reflective mirror includes a predetermined opening for condensing light rays emitted from the light emitting means into the via hole of the printed circuit board through the objective lens, and is formed in a predetermined concave shape in the direction of the detection means. Via hole inspection device on the circuit board. 제 4 항에 있어서, 상기 집광 수단은,The method of claim 4, wherein the light collecting means, 상기 발광 수단에서 방출되는 광선을 상기 인쇄회로기판의 비아홀에 집광시키는 대물 렌즈; 및An objective lens for condensing the light rays emitted from the light emitting means to the via holes of the printed circuit board; And 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 상기 검출 수단에 집광시키는 수광 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 장치.And a light receiving lens for condensing the light rays emitted from the via hole to the detection means. (A) 인쇄회로기판의 위치를 정렬하고, 상기 인쇄회로기판의 비아홀 상에 광선을 조사하는 단계;(A) aligning the position of the printed circuit board, and irradiating light rays onto the via holes of the printed circuit board; (B) 상기 비아홀에서 방출되는 광선을 검출하여 절연수지 잔존유무를 판단하는 단계; 및(B) determining the presence or absence of insulating resin by detecting light rays emitted from the via hole; And (C) 상기 절연수지 잔존유무에 따라, 상기 인쇄회로기판의 불량여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 방법.(C) a method of inspecting a via hole of a printed circuit board, the method comprising determining whether the printed circuit board is defective according to the presence or absence of the insulating resin. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 (A) 단계의 상기 인쇄회로기판의 비아홀 상에 광선을 조사하는 과정은 상기 인쇄회로기판의 비아홀의 좌표에 대한 데이터에 따라 상기 인쇄회로기판의 비아홀 상에 광선을 조사하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 비아홀 검사 방법.The irradiating light beam on the via hole of the printed circuit board in the step (A) is characterized in that for irradiating the light beam on the via hole of the printed circuit board according to the data about the coordinates of the via hole of the printed circuit board How to inspect the via holes on the circuit board.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102170352B1 (en) * 2020-05-07 2020-10-27 이태희 Device and method for detecting holes of printed circuit board
CN114076773A (en) * 2020-08-21 2022-02-22 得力富企业股份有限公司 Borehole detection method, borehole detection system and detection device
CN114076773B (en) * 2020-08-21 2024-05-10 得力富企业股份有限公司 Drilling detection method, drilling detection system and detection device

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