KR20050091222A - Box for photo mask - Google Patents
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Abstract
본 발명은 포토 마스크 보관 상자에 관한 것으로, 포토 마스크를 지지하고 고정하는 고정부를 상면에 구비하는 케이스와, 상기 케이스와는 완전 분리 개폐가 가능한 덮개와, 상기 덮개의 상면을 따라 수평 이동 할 수 있는 두 개의 손잡이와, 상기 두개의 손잡이 외측면 양단에서 각각 그 케이스와 덮개의 측면으로 연장되어 위치하는 연결봉과, 상기 연결봉에 의해 회전하여 상기 덮개의 저면에 위치하거나 이탈되어 그 저면의 외측에 위치하여 케이스와 덮개를 개폐시키는 개폐 조정부로 구성된다. 이와 같이 구성된 본 발명은 다른 장치와의 호환이 가능한 보관 상자의 개폐 구조를 개선하여 보다 개폐가 용이한 효과가 있다. 또한 본 발명은 포토 마스크 보관 상자의 내부를 질소가스의 유입과 순환 및 배기가 가능한 구조로 하여, 포토 마스크를 별도의 장치로 이송하여 세정하지 않고, 보관 상태에서 세정함이 가능하게 되어 외부의 오염원에 의해 포토 마스크가 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a photo mask storage box, comprising a case having a fixing portion for supporting and fixing a photo mask on an upper surface thereof, a cover that can be completely opened and closed with the case, and capable of horizontally moving along an upper surface of the cover. Two handles, a connecting rod positioned on both sides of the outer side of the two handles, respectively, and extending from the side of the case and the cover, and rotated by the connecting rod to be located on the bottom of the cover or separated from the bottom of the cover. It consists of an opening and closing adjustment unit for opening and closing the case and the cover. The present invention configured as described above has an effect of opening and closing more easily by improving the opening and closing structure of the storage box compatible with other devices. In addition, the present invention has a structure in which the inside of the photo mask storage box is capable of inflow, circulation and exhaust of nitrogen gas, it is possible to clean in the storage state without transferring the photo mask to a separate device to clean the external pollutant source As a result, the photo mask can be prevented from being contaminated.
Description
본 발명은 포토 마스크 보관 상자에 관한 것으로, 특히 제작된 포토 마스크를 외부 오염원으로부터 보호하며, 사진식각공정과의 호환성을 고려한 포토 마스크 보관 상자에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photo mask storage box, and more particularly to a photo mask storage box that protects the manufactured photo mask from external pollution sources and considers compatibility with a photo etching process.
일반적으로, 포토 마스크를 제작한 후, 그 포토 마스크를 스캔장비를 이용하여 검사한다.Generally, after manufacturing a photo mask, the photo mask is inspected using a scanning device.
이와 같은 검사는 제작된 포토 마스크가 결함 없이 제작되었는지 판단하는 것이나, 포토 마스크의 제작과정에서는 결함이 없었으나 제작 후 검사까지의 보관 상태에 따라 외부 오염원에 의해 결함이 발생하는 경우가 빈번히 발생한다.Such inspection is to determine whether the manufactured photomask is manufactured without defects, but there are no defects in the manufacturing process of the photomask, but defects are frequently caused by external pollutants according to storage conditions until inspection after fabrication.
상기 포토 마스크를 보관하는 종래의 보관 상자를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, a conventional storage box for storing the photo mask will be described in detail as follows.
도 1a는 종래 포토 마스크 보관 상자의 일실시 예의 평면 투시도이고, 도 1b는 측면도, 도 1c는 오픈된 상태도로서, 이에 도시한 바와 같이 중공 사각의 케이스(10)와 덮개(20)로 분할되며, 그 케이스(10)와 덮개(20)의 일측면에는 케이스(10)와 덮개(20)를 회전 개폐가 가능한 상태로 연결하는 경첩(30)이 마련되어 있으며, 그 경첩(30)의 반대 측면에는 걸림 고정부(40)를 구비한다.FIG. 1A is a plan perspective view of an embodiment of a conventional photo mask storage box, FIG. 1B is a side view, and FIG. 1C is an open state diagram, and is divided into a hollow rectangular case 10 and a cover 20 as shown in FIG. One side surface of the case 10 and the cover 20 is provided with a hinge 30 for connecting the case 10 and the cover 20 in a state capable of rotating opening and closing, the locking side on the opposite side of the hinge 30 The fixing part 40 is provided.
상기 케이스(10)의 내측에는 원형의 포토 마스크를 고정하는 고정부(50)가 마련된다. Inside the case 10, a fixing part 50 for fixing a circular photo mask is provided.
이와 같은 보관 상자는 장치간의 호환성이 없으며, 공정의 대기 상태에서의 보관과 운반을 위한 상자로 사용된다.Such storage boxes are not compatible between devices and are used as boxes for storage and transportation in the process's standby state.
또한 도 2a는 종래 포토 마스크 보관 상자의 다른 실시예 평면도이고, 도 2b는 측면 개방도, 도 2c는 저면도로서, 이에 도시한 바와 같이 케이스(10)와 덮개(20)는 분리형으로 도 1a 및 도 1c에 보여 지는 경첩(30)의 구성을 갖지 않는 것이며, 저면에 4개의 오프너(60)를 구비하여, 케이스(10)와 덮개(20)를 결합하거나 분리할 수 있는 구성을 가진다.In addition, Figure 2a is a plan view of another embodiment of a conventional photo mask storage box, Figure 2b is a side view, Figure 2c is a bottom view, as shown in the case 10 and the cover 20 is detachable as shown in Figures 1a and It does not have the configuration of the hinge 30 shown in Figure 1c, and has four openers 60 on the bottom, it has a configuration that can combine or detach the case 10 and the cover 20.
상기 덮개(20)의 상면에는 손잡이(70)가 구비되며, 케이스(10)의 상면에는 고정부(50)를 구비한다.A handle 70 is provided on an upper surface of the cover 20, and a fixing part 50 is provided on an upper surface of the case 10.
상기 도 2a 내지 도 2c에 도시한 포토 마스크 보관 상자는 스캔 장비와 호환이 가능하기는 하지만 그 덮개(20)를 분리하기 위해 다수의 오프너(60) 각각을 제어하여 덮개(20)를 분리해야 하는 것으로 그 사용이 용이하지 않은 문제점이 있었다.Although the photo mask storage box shown in FIGS. 2A to 2C is compatible with the scanning equipment, the cover 20 needs to be removed by controlling each of the plurality of openers 60 to separate the cover 20. There was a problem that its not easy to use.
또한, 상기 도 1a 내지 도 1c에 도시한 상자와 도 2a 내지 도 2c에 도시한 상자의 개폐구조가 서로 상이함에 따라 마스크를 공정장비에 로딩하기 위해서는 서로 다른 구조의 지그가 필요하다.In addition, since the opening and closing structures of the boxes shown in FIGS. 1A to 1C and the boxes shown in FIGS. 2A to 2C are different from each other, jig having different structures is required to load the mask into the process equipment.
즉, 종래 포토 마스크 보관 상자는 공정장비와의 호환성이 없거나, 호환성이 있는 경우에도 오프너 각각을 조작해서 개폐해야 하는 사용상의 불편함이 있는 문제점이 있었다. That is, the conventional photo mask storage box is incompatible with the process equipment, or there is a problem in use inconvenience that must be opened and closed by operating each of the opener even if the compatibility.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 포토 마스크를 사용하는 공정장비와의 호환이 가능한 포토 마스크 보관 상자를 제공함에 그 목적이 있다.In view of the above problems, the present invention has an object to provide a photo mask storage box compatible with the process equipment using the photo mask.
본 발명의 다른 목적은 개폐가 용이한 포토 마스크 보관 상자를 제공함에 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a photo mask storage box that is easy to open and close.
또한 본 발명은 포토 마스크를 보관하면서 외부의 오염원에 의해 포토 마스크에 결함이 발생하는 것을 방지할 수 있는 포토 마스크 보관 상자를 제공함에 다른 목적이 있다. In addition, another object of the present invention is to provide a photo mask storage box capable of preventing a defect in the photo mask caused by an external pollution source while storing the photo mask.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 포토 마스크를 지지하고 고정하는 고정부를 상면에 구비하는 케이스와, 상기 케이스와는 완전 분리 개폐가 가능한 덮개와, 상기 덮개의 상면을 따라 수평 이동 할 수 있는 두 개의 손잡이와, 상기 두개의 손잡이 외측면 양단에서 각각 그 케이스와 덮개의 측면으로 연장되어 위치하는 연결봉과, 상기 연결봉에 의해 회전하여 상기 덮개의 저면에 위치하거나 이탈되어 그 저면의 외측에 위치하여 케이스와 덮개를 개폐시키는 개폐 조정부로 구성함에 그 특징이 있다. The present invention for achieving the above object is provided with a case having a fixing portion for supporting and fixing the photo mask on the upper surface, a cover that can be completely opened and closed with the case, and can move horizontally along the upper surface of the cover Two handles, a connecting rod positioned on both sides of the outer side of the two handles, respectively, and extending from the side of the case and the cover, and rotated by the connecting rod to be located on the bottom of the cover or separated from the bottom of the cover. It is characterized in that it consists of opening and closing adjustment unit for opening and closing the case and the cover.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. An embodiment of the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3a는 본 발명에 따르는 포토 마스크 보관 상자의 평면도이고, 도 3b는 그 측면도, 도 3c는 그 저면도이다.3A is a plan view of a photo mask storage box according to the present invention, FIG. 3B is a side view thereof, and FIG. 3C is a bottom view thereof.
본 발명에 따르는 포토 마스크 보관 상자는 덮개(20)와 케이스(10)가 완전 분리 개폐되는 구조이며, 상면에는 상호 반대방향으로 수평 이동 가능한 손잡이(70)가 구비되어 있으며, 그 손잡이(70) 각각의 양단에는 연결봉(71)이 그 덮개(20)의 측면측으로 연장되어 있다.The photo mask storage box according to the present invention has a structure in which the cover 20 and the case 10 are completely separated and opened, and an upper surface is provided with handles 70 which are horizontally movable in opposite directions, respectively. At both ends of the connecting rod 71 is extended to the side of the cover 20.
상기 연결봉(71)은 덮개(20)의 측면부에 위치하는 슬라이딩 가이드(73)에 의해 상기 손잡이(70)의 조작에 따라 직선운동을 할 수 있도록 고정된다.The connecting rod 71 is fixed to the linear guide according to the operation of the handle 70 by the sliding guide 73 is located on the side of the cover 20.
즉, 상기 손잡이(70)와 연결봉(71)은 상기 슬라이딩 가이드(73)에 의해 덮개(20)에서 이탈되지 않는 상태로 그 덮개(20)의 상면에서 직선 운동이 가능하게 된다.That is, the handle 70 and the connecting rod 71 may be linearly moved on the upper surface of the cover 20 without being separated from the cover 20 by the sliding guide 73.
또한 그 연결봉(71)은 각각 케이스(10)와 덮개(20)의 측면에 위치하는 측면 연결봉(72)에 연결되며, 그 측면 연결봉(72)의 끝단은 오프너(60)에 연결되어, 상기 손잡이(70)의 위치에 따라 오프너(60)의 상태를 결정하게 된다.In addition, the connecting rod 71 is connected to the side connecting rod 72 located on the side of the case 10 and the cover 20, respectively, the end of the side connecting rod 72 is connected to the opener 60, the handle The state of the opener 60 is determined according to the position of 70.
즉, 사용자가 두 손잡이(70)의 사이 거리를 좁게 조작하면 그 오프너(60)가 케이스(10)의 저면에서 이탈되어 케이스(10)와 덮개(20)를 분리할 수 있으며, 두 손잡이(70)의 거리를 넓게 하면 오프너(60)가 케이스(10)의 저면으로 이동하여 케이스(10)와 덮개(20)를 닫아 고정시킨다.That is, when the user manipulates the distance between the two handles 70, the opener 60 is separated from the bottom of the case 10 to separate the case 10 and the cover 20, the two handles 70 By increasing the distance of the opener 60 moves to the bottom of the case 10 to close the case 10 and the cover 20 to be fixed.
손잡이 사이에 스프링을 달아 자동으로 닫히게 구성할 수도 있다.It can also be configured to close automatically by a spring between the handles.
이와 같이 본 발명에 따르는 포토 마스크 보관 상자는 그 개폐가 용이하게 되며, 케이스(10)와 덮개(20)를 분리할 수 있도록 하여 다른 장치와의 호환이 가능하도록 하였다.As described above, the photo mask storage box according to the present invention can be easily opened and closed, and the case 10 and the cover 20 can be separated from each other so as to be compatible with other devices.
그리고 상기 덮개(20)의 상면에는 질소가스를 주입할 수 있는 가스 유입구(21)를 구비하며, 케이스(10)의 저면에는 질소가스를 유출시키는 가스 유출구(11)를 구비한다.And the upper surface of the cover 20 is provided with a gas inlet 21 for injecting nitrogen gas, the bottom of the case 10 is provided with a gas outlet 11 for flowing out nitrogen gas.
이와 같이 질소가스를 포토 마스크 보관 박스 내에 주입할 수 있게 됨에 따라 별도의 세정장치를 사용하지 않고도 포토 마스크 또는 포토 마스크 보관 박스 내부를 세정할 수 있게 된다.As the nitrogen gas can be injected into the photo mask storage box as described above, the inside of the photo mask or the photo mask storage box can be cleaned without using a separate cleaning device.
이에 따라 보관 중인 포토 마스크에 외부 오염물질에 의한 결함의 발생을 방지할 수 있게 된다. Accordingly, it is possible to prevent the generation of defects caused by external contaminants in the photo mask being stored.
상기한 바와 같이 본 발명은 다른 장치와의 호환이 가능한 보관 상자의 개폐 구조를 개선하여 보다 개폐가 용이한 효과가 있다.As described above, the present invention improves the opening and closing structure of the storage box that is compatible with other devices, thereby making it easier to open and close.
또한 본 발명은 포토 마스크 보관 상자의 내부를 질소가스의 유입과 순환 및 배기가 가능한 구조로 하여, 포토 마스크를 별도의 장치로 이송하여 세정하지 않고, 보관 상태에서 세정함이 가능하게 되어 외부의 오염원에 의해 포토 마스크가 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has a structure in which the inside of the photo mask storage box is capable of inflow, circulation and exhaust of nitrogen gas, it is possible to clean in the storage state without transferring the photo mask to a separate device to clean the external pollutant source As a result, the photo mask can be prevented from being contaminated.
도 1a 내지 도 1c는 각각 종래 포토 마스크 보관 상자 일실시 예의 평면도, 측면도, 사용상태도.1A to 1C are a plan view, side view, and use state diagram of one embodiment of a conventional photo mask storage box, respectively.
도 2a 내지 도 2c는 각각 종래 포토 마스크 보관 상자 일실시 예의 평면도, 측면도, 저면도.2A to 2C are a plan view, a side view, and a bottom view of one embodiment of a conventional photo mask storage box, respectively.
도 3a 내지 도 3c는 각각 본 발명에 따르는 포토 마스크 보관 상자의 평면, 측면, 저면도. 3A to 3C are top, side and bottom views, respectively, of a photo mask storage box according to the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10:케이스 11:가스 유출구10: Case 11: gas outlet
20:덮개 21:가스 유입구20: cover 21: gas inlet
60:오프너 70:손잡이60: Opener 70: Handle
71:연결봉 72:측면 연결봉71: connecting rod 72: side connecting rod
73:슬라이딩 가이드 73: sliding guide
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040016548A KR20050091222A (en) | 2004-03-11 | 2004-03-11 | Box for photo mask |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020040016548A KR20050091222A (en) | 2004-03-11 | 2004-03-11 | Box for photo mask |
Publications (1)
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| KR20050091222A true KR20050091222A (en) | 2005-09-15 |
Family
ID=37272950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020040016548A KR20050091222A (en) | 2004-03-11 | 2004-03-11 | Box for photo mask |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20050091222A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104071464A (en) * | 2013-03-26 | 2014-10-01 | 家登精密工业股份有限公司 | Light shield box with gas guiding device |
-
2004
- 2004-03-11 KR KR1020040016548A patent/KR20050091222A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104071464A (en) * | 2013-03-26 | 2014-10-01 | 家登精密工业股份有限公司 | Light shield box with gas guiding device |
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