JP4321950B2

JP4321950B2 - Substrate housing cover

Info

Publication number: JP4321950B2
Application number: JP2000175640A
Authority: JP
Inventors: 公徳富永; 直人渡辺
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2000-06-12
Filing date: 2000-06-12
Publication date: 2009-08-26
Anticipated expiration: 2020-06-12
Also published as: JP2001354249A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶セル、記録媒体等の破損し易く汚染を嫌う精密基板を収納、保管、輸送したり、あるいは精密基板を加工・処理する加工装置に対する位置決めや加工装置間の搬送、貯蔵に使用される基板収納容器の蓋体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体部品の生産に関する半導体ウェーハ、マスクガラス等の精密基板は、半導体デバイスの厳しい価格競争に伴い、精密基板の歩留まり向上によるコストダウンを目的として精密基板の大口径化(例えば、３００ｍｍないし４００ｍｍ以上)が急ピッチで検討されている。同時に、半導体回路は益々微細化が進められ、ＤＲＡＭのデザインルール(加工最小線幅)も０．２５μｍから０．１８μｍあるいはそれ以下に移行しつつあり、精密基板の加工される工場はもとより、精密基板の運搬時等に使用される容器に関しても益々高度なクリーン度が要求されてきている。
【０００３】
このような要求を実現する手段として、精密基板の各種処理加工に必要な局所環境(ミニエンバイロメント)のみを高度にクリーンな環境(米国連邦規格(Ｆｅｄｅｒａｌｓｔａｎｄａｒｄ２０９Ｅ)のクリーン度が１以下、必要に応じて０．０１レベル)とするとともに、基板収納容器を標準化してその内部に複数枚の精密基板をクリーンな状態で気密収納し、幾つかのクリーンな局所環境間で基板収納容器を搬送し、歩留まりを向上させようという方法が提案されている。係る提案を受け、精密基板を汚染させることなく自動的に搬送することができ、しかも、加工装置に直接アクセスすることのできる基板収納容器の開発が鋭意進められている。
【０００４】
この種の基板収納容器は、図６に部分的に示すように、図示しない精密基板を収納する容器本体１と、この容器本体１の開口の内周領域をガスケット９を介し気密状態に閉鎖する着脱自在の蓋体１０とを備え、この蓋体１０が局所環境内の図示しない加工装置に開閉操作される。
【０００５】
容器本体１は、図６に示すように、各種合成樹脂を使用して略立方形に成形され、複数枚の精密基板を上下に並べて収納する。この容器本体１の底面左右両側部にはボトムレール２がそれぞれ形成され、底面の前部両側と後部中央とには、加工装置に対して位置決め手段として機能するＶグループ(図示せず)がそれぞれ突出形成されており、この複数のＶグループに図示しないボトムプレートが嵌合保持される。このボトムプレートは、基本的には平面略Ｙ字に形成され、前部両側と後部中央とには、Ｖグループの周囲に嵌合する誘導部がそれぞれ形成されており、中央部には、加工装置固定用の貫通口が穿孔形成されている。
【０００６】
容器本体１の左右両側面には同図に示すように、サイドレール３やマニュアルハンドル４がそれぞれ着脱自在に装着され、容器本体１の上面中心部には、図示しない搬送ロボットに把持されるロボティックフランジ５が着脱自在に装着されている。また、容器本体１の内部左右両側面には、棚状の支持部６が容器本体１と一体形成、又は別部品として着脱自在に装着され、この一対の支持部６間に複数枚の精密基板が所定のピッチで水平に整列支持される。容器本体１の開口正面は、段付きに傾斜形成されてフランジ７とされ、このフランジ７の内周面上下には、左右対象の位置に位置する係止穴８がそれぞれ凹み形成されている。
【０００７】
蓋体１０は、図６や図７に示すように、相互に対向嵌合する裏面プレート１１と表面プレート１４とを備え、これら裏面プレート１１と表面プレート１４の間には、外部から操作可能なラッチ機構１７が内蔵されており、このラッチ機構１７が容器本体１に蓋体１０が嵌合する際、各係止穴８に出没可能な係止爪２３を突出係合させ、基板収納容器の気密状態を確保する。蓋体１０の外周面上下には、左右に位置する係止爪２３用の出没孔１２がそれぞれ穿孔形成されている。裏面プレート１１には、棚状のリテーナ１３が着脱自在に装着され、このリテーナ１３が複数枚の精密基板の前部周縁を弾発的に支持する。また、表面プレート１４は、上下の斜め左右に位置決め凹部１５がそれぞれ凹み形成されるとともに、中央部の左右には操作口１６がそれぞれ穿孔形成されている。
【０００８】
加工装置は、外界から搬送されてきた基板収納容器と接続し、この基板収納容器から精密基板をロードしたり、基板収納容器との間で精密基板をアンロードするアクセス装置を備えている。このアクセス装置は、基板収納容器を位置決め搭載し、加工装置に対して接続操作するロードポートと、基板収納容器の蓋体１０に対向してこれを開閉する蓋体開閉装置とから構成されている。ロードポートは、先端部が丸く形成されるとともに、容器本体１の各Ｖグループに嵌入して基盤収納容器を自動求心し、これを所定の位置に高精度に位置決めする複数本の位置決めピンと、ボトムプレートの貫通口に挿入されて基板収納容器を固定するＬ字押さえとを備え、位置決めユニットを前進させて基板収納容器を並行移動させ、蓋体開閉装置に蓋体１０をシール可能に当接させるよう機能する。
【０００９】
蓋体開閉装置は、ロードポートの搭載面に対して略垂直な壁からなる接続壁と、この接続壁に形成されて外界の基板収納容器から加工装置に移し替えられる精密基板通過用の開口部と、この開口部をシールして内部環境が外界のパーティクルの侵入で汚染するのを防止する開閉可能なカバー部材とを備えている。このカバー部材は、蓋体を位置決め保持し、蓋体のラッチ機構１７を回転可能な操作キーを介して施錠、解錠操作する操作装置と、蓋体１０の各位置決め凹部１５に嵌入する一対の位置決めピンと、蓋体１０を真空吸着する吸着装置とから構成されている。
【００１０】
上記において、局所環境で精密基板を処理加工する場合には、先ず、加工装置に基板収納容器が位置決めされ、この基板収納容器が蓋体開閉装置のカバー部材に当接するまで前進し、カバー部材の一対の位置決めピンと蓋体１０の一対の位置決め凹部１５とが嵌合するとともに、カバー部材の操作装置に蓋体１０のラッチ機構１７が解錠操作され、容器本体１のフランジ７から蓋体１０が取り外し可能な状態となる。こうして蓋体１０が取り外し可能な状態となったら、カバー部材が後退、下降して容器本体１から蓋体１０が取り外され、加工装置の内部と容器本体１の基板収納領域とが連通する。この際、容器本体１のフランジ７が接続壁に押圧してシールされるので、外界のパーティクル等が内部環境に侵入することがない。そして、基板収納容器の内部から精密基板が加工装置にローディングされて取り込まれ、その後、精密基板に各種の処理加工が施される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
従来における基板収納容器の蓋体は、以上のように構成されているので、以下の問題がある。先ず、基板収納容器の蓋体１０は、使用前や繰り返し使用後に容器本体１とは別に洗浄槽の洗浄液で洗浄され、再度使用される。この洗浄の際、蓋体１０は、中空構造に形成され、外周面に複数の出没孔１２が、表面プレート１４にはラッチ機構１７の操作口１６がそれぞれ穿孔形成されているので、内部に洗浄液(図７の矢印参照)が流入して洗浄されることとなる。
【００１２】
しかしながら、従来の蓋体１０は、出没孔１２等の開口領域が狭いので、洗浄液が十分に流通・循環せず、その結果、多数の部品からなるラッチ機構１７の洗浄が不充分となったり、連続使用時に汚れたままのラッチ機構１７から汚染物が蓋体１０を経由して容器本体１の内部に流出し、精密基板を汚染させるおそれがある。また、蓋体１０の内部に洗浄液やその水滴が多量に残存するおそれが少なくなく、しかも、水滴の除去が非常に困難なので、乾燥作業の著しい遅延化を招くという問題がある。さらに、ラッチ機構１７の耐久性に限界が生じたり、トラブルが発生した場合、蓋体１０の内部を確認する必要があるが、表面プレート１４が単に被覆されているだけなので、蓋体１０の内部を観察することがきわめて困難である。
【００１３】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、蓋体の内部等を十分に洗浄することができ、基板汚染のおそれを有効に解消し、蓋体内部の洗浄液やその水滴等を容易に除去することのできる基板収納容器の蓋体を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記課題を解決するため、精密基板を収納する容器本体の開口した正面に蓋体を蓋体開閉装置により着脱するものであって、
蓋体は、裏面プレートに隙間を介して嵌め合わされる表面プレートと、これら裏面プレートと表面プレートの少なくともいずれか一方の外周部に設けられる出没孔と、裏面プレートと表面プレートとの間に内蔵され、出没孔から出没可能な係止爪を突出させてこれを容器本体の正面内周部の係止穴に嵌め入れるラッチ機構と、表面プレートに設けられる流体用の流通口とを含み、裏面プレートに、容器本体に収納された精密基板の周縁を支持するリテーナを装着し、表面プレートには、蓋体開閉装置の位置決めピンに挿入される位置決め凹部を凹み形成するとともに、ラッチ機構用の操作口を形成し、流通口を、ラッチ機構用の操作口を除く箇所に位置させるとともに、ラッチ機構用の観察窓に兼用可能とし、流通口の総面積を蓋体の総面積の０．５％〜８０％としたことを特徴としている。
【００１５】
なお、表面プレートの略外周部以外の領域を流通口とすることができる。
また、裏面プレートの内面から流通口内に位置する突起を露出状態に突出させ、この突起を位置決め及び又は保持用に用いることもできる。
【００１６】
ここで、特許請求の範囲における容器本体は、透明でも非透明でも良いが、非透明の場合、容器本体の背面や側面等を透明のウインドに形成し、容器本体内の基板を観察可能とすると良い。流体は、洗浄液等の液体でも良いが、各種の気体とすることも可能である。また、流通口は、任意の面積を有する円形、矩形、小判形、三角形、台形、多角形、楕円形、菱形、口形、田字形、又はこれらを組み合わせた形状等とすることができ、しかも、単数複数いずれでも良い。この流通口には、実質的に同様の機能を有するなら、表面プレートの周縁部等に位置する各種形状の切り欠きが含まれる。
【００１７】
本発明によれば、蓋体を洗浄液やドライエアー等の流体で洗浄すると、流体は、蓋体の一部の出没孔から内部を通過し、残部の出没孔から流れ出て蓋体を洗浄する。この際、単数複数の流通口が流入口、流出口としてそれぞれ機能するので、流体を十分に流通、循環させ、蓋体の内部等を洗浄することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器の蓋体は、図１ないし図３に示すように、容器本体１の開口の内周領域を枠状のガスケット９を介しシール状態に閉鎖する着脱自在の蓋体１０を、断面略Ｕ字状で略箱形の裏面プレート１１と、この裏面プレート１１の開口表面に隙間を介して螺着被覆される表面プレート１４と、裏面プレート１１の外周部の上下左右にそれぞれ穿孔形成される複数の出没孔１２と、裏面プレート１１と表面プレート１４との間に内蔵され、各出没孔１２から出没可能な係止爪２３を突出させてこれを容器本体１の内周領域の係止穴８に係合させる一対のラッチ機構１７と、表面プレート１４の略四隅部にそれぞ穿孔形成される複数の流通口３０とから構成している。
【００１９】
容器本体１は、図１に示すように、十分な強度・剛性を有するポリカーボネートやアクリル樹脂等の各種合成樹脂を使用して透明の略立方形に成形され、円形を呈した複数枚の精密基板(図示せず)を上下に並べて収納する。この容器本体１の底面左右両側部には、前後方向に伸びるボトムレール２がそれぞれ一体的に形成され、底面の前部両側と後部中央とには、加工装置に対して位置決め手段として機能するＶグループ(図示せず)がそれぞれ突出形成されており、この複数のＶグループに図示しないボトムプレートが嵌合保持される。このボトムプレートは、基本的には平面略Ｙ字に形成され、左右に分かれた前部両側と後部中央とには、Ｖグループの周囲に嵌合する誘導部がそれぞれ形成されており、中央部には、加工装置固定用の貫通口が穿孔形成されている。
【００２０】
容器本体１の左右両側面には同図に示すように、別部品であるサイドレール３やマニュアルハンドル４がそれぞれ着脱自在に装着され、容器本体１の上面中心部には、図示しない搬送ロボットに把持されるロボティックフランジ５が着脱自在に装着されている。また、容器本体１の内部左右両側面には、相対向する棚状の支持部６がそれぞれ一体形成、あるいは着脱自在に装着され、この一対の支持部６間に複数枚の精密基板が所定のピッチで水平に整列支持される。容器本体１の全開口正面は、段付きに傾斜形成されて外側に徐々に拡開する傾斜面に形成され、この傾斜面が蓋体１０の閉鎖時にガイド機能を発揮して蓋体１０を円滑、迅速に嵌合させる。容器本体１の開口部の内周面上下には、左右に位置する係止穴８がそれぞれ凹み形成されている。
【００２１】
なお、ボトムプレート、サイドレール３、及びマニュアルハンドル４は、容器本体１同様、ポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂、これら熱可塑性樹脂をベースとした導電性樹脂とのアロイ化技術、炭素繊維や金属繊維等の導電性添加物の添加により帯電防止性が付与された熱可塑性樹脂を用いて形成される。また、熱可塑性樹脂に導電性ポリマーの皮膜を塗布したり、コーティングして導電性を付与することも可能である。また、ボトムプレートは、複数のＶグループに嵌合保持されるものでも良いが、容器本体１の底面に一体形成され、容器本体１の底面を形成するものでも良い。
【００２２】
蓋体１０は、図１ないし図３に示すように、相互に対向嵌合する裏面プレート１１と表面プレート１４とを備え、これら略矩形の裏面プレート１１と表面プレート１４の間の中空部には、外部から操作可能な一対のラッチ機構１７が内蔵されており、この一対のラッチ機構１７が容器本体１に蓋体１０が嵌合する際、各係止穴８に出没可能な係止爪２３を突出係合させ、基板収納容器の気密状態を確保する。蓋体１０を形成する裏面プレート１１と表面プレート１４とは、容器本体１同様、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂、あるいは熱可塑性樹脂に帯電防止性の付与された材料を使用して形成されている。また、蓋体１０、換言すれば、裏面プレート１１の外周面上下には、左右に位置する係止爪２３用の出没孔１２がそれぞれ長方形状に穿孔形成されている。
【００２３】
裏面プレート１１の中央部には、棚状のリテーナ１３が着脱自在に装着され、このリテーナ１３が複数枚の精密基板の前部周縁を弾発的に支持する。また、表面プレート１４は、上下斜め左右の対角線上に位置決め凹部１５がそれぞれ凹み形成され、この一対の位置決め凹部１５にカバー部材の位置決めピンがそれぞれ挿入される。表面プレート１４の中央部左右には、図示しない操作装置の操作キーに貫通される操作口１６がそれぞれ穿孔形成されている。
【００２４】
各ラッチ機構１７は、図３に部分的に示すように、裏面プレート１１の内面側方に軸支され、操作キーに係合される回転プレート１８と、この回転プレート１８に連結されて上下方向にスライドする一対の連結プレート２１と、各連結プレート２１の先端部に軸着されて出没孔１２から出没する揺動可能な係止爪２３とから構成されている。各回転プレート１８は、基本的には断面略凸字に形成され、中心の突部表面には、表面プレート１４の操作口１６に対向するキー溝１９が凹み形成されており、このキー溝１９に操作キーが嵌挿されて正逆方向に９０°回転する。この回転プレート１８の表面外周には、一対の係合ピン２０が１８０°ずれてそれぞれ突出形成されている。
【００２５】
各連結プレート２１は、基本的には蓋体１０の上下方向に伸びる板状に形成され、裏面プレート１１の内面に複数のガイドピン２２を介しスライド可能に支持されている。この連結プレート２１の末端部は、湾曲形成され、円弧状の連結溝が切り欠き形成されており、この連結溝に回転プレート１８の係合ピン２０が貫通して連結されている。
なお、回転プレート１８と連結プレート２１とは、回転プレート１８に略円周状の溝を形成するとともに、連結プレート２１に突起を設け、これら溝と突起とを係合させて連結しても良い。
【００２６】
各係止爪２３は、断面略Ｔ字状に形成され、一端部が表面プレート１４の内面外周に軸支されている。この係止爪２３は、上下方向の端部が連結プレート２１の先端部に軸着され、他の他端部には、容器本体１の係止穴８に嵌入するローラ２４が回転可能に軸支されており、連結プレート２１の上下方向へのスライドに伴い、弧を描きながら出没孔１２から突出して蓋体１０をロックしたり、出没孔１２内に退没して蓋体１０を取り外し可能な状態とする。
【００２７】
複数の流通口３０は、図２や図３に示すように、基板収納容器の機能を損なわない箇所、換言すれば、表面プレート１４の略四隅部にそれぞれ丸く穿孔形成され、洗浄液の流入口、流出口として機能するとともに、各ラッチ機構１７を構成する連結プレート２１やガイドピン２２を外部から把握可能な観察窓として機能する。複数の流通口３０を表面プレート１４の略四隅部にそれぞれ穿孔形成するのは、標準化された基板収納容器に使用される蓋体１０の表面には、蓋体開閉装置との間にシールゾーンが必要とされ、ＳＥＭＩ規格では蓋体１０表面における四辺の周端部内側にそれぞれ９ｍｍ幅の蓋体形状に沿う枠状のシールゾーンが必要とされるからである。また、蓋体１０の位置決め凹部１５、操作口１６、パージポート部付近に、流通口３０を穿孔形成すると、蓋体１０の機能を害するおそれが少なくないからである。
【００２８】
複数の流通口３０の総面積は、蓋体１０の総面積の０．５％〜８０％以下、より好ましくは、４％〜５０％以下とされる。これは、複数の流通口３０の総面積が蓋体１０の総面積の０．５％未満では、サイクルの短縮に必要な洗浄性と乾燥性を得られなくなるおそれがあるからである。逆に８０％を超えると、蓋体１０の強度低下を招くからである。複数の流通口３０の総面積が好ましくは４％以上なのは、自然放置した状態の乾燥に好適であるという理由に基づく。また、複数の流通口３０の総面積が好ましくは５０％以下なのは、表面プレート１４の固定、補強リブの存在等を考慮したものである。
なお、流通口３０は、流入口、流出口として洗浄液等の循環性を向上させる機能を有するので、少なくとも２個存在するのが好ましい。
【００２９】
以下、具体的な数値をあげて流通口３０を説明すると、口径３００ｍｍの精密基板を整列収納する基板収納容器の蓋体１０の場合には、蓋体１０の表面積は３６６ｍｍ×３０８ｍｍとして計算される。このとき、直径約２０ｍｍの大きさ(蓋体１０の表面積の０．５％)の流通口３０が２個必要となる。このように流通口３０が比較的小さい場合、洗浄液やドライエアーが効率良く循環するよう、２個の流通口３０を流入口、流出口としてそれぞれホース等を接続し、液体や気体を給排気するのが有効である。但し、この場合には、２個の流通口３０に接続するための専用設備が必要である。好ましい例としては、表面プレート１４の略四隅部に、直径４０ｍｍ程度の流通口３０をそれぞれ丸く穿孔形成する例があげられる。その他の部分については、従来例と同様であるので説明を省略する。
【００３０】
上記構成において、使用前や繰り返し使用後の蓋体１０を洗浄槽の洗浄液で洗浄すると、洗浄液は、蓋体１０の一部の出没孔１２から内部を通過し、残部の出没孔１２から外部に流出して蓋体１０を洗浄する。この際、一部の流通口３０が流入口として、残部の流通口３０が流出口としてそれぞれ機能し、比較的多量の洗浄液(図２の矢印参照)を十分に流通、循環させ、蓋体１０内部の洗浄に資する。
【００３１】
上記構成によれば、蓋体１０に小さい出没孔１２の他に、複数の流通口３０を穿孔形成しているので、洗浄液を十分に流通・循環させることができる。したがって、多数の部品からなるラッチ機構１７を十分に洗浄することができ、連続使用時に汚れたままのラッチ機構１７から汚染物が蓋体１０を経由して容器本体１の内部に流出し、精密基板を汚染させるおそれがない。また、蓋体１０の内部に洗浄液やその水滴が多量に残存するおそれが実に少なく、しかも、水滴の除去が比較的簡単なので、乾燥作業の著しい円滑化、短縮化、迅速化、容易化を図ることができる。具体的には、乾燥時間を従来の１／４以下に短縮でき、繰り返し使用時の作業性の大幅な向上が大いに期待できる。さらに、ラッチ機構１７の耐久性に限界が生じたり、トラブルが発生した場合でも、蓋体１０の内部を確認することが可能なので、きわめて容易にメンテナンスすることができる。
【００３２】
次に、図４や図５は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、表面プレート１４の略外周部以外の領域、すなわち略中央部に単一の流通口３０を大きく区画形成し、裏面プレート１１の内面の上下左右等から流通口３０内に位置する複数の突起３１を表面プレート１４側に向けて露出状態に突出させ、この複数の突起３１を位置決め凹部１５として用いたり、蓋体吸着用やガスパージ用等の保持部３２として用いるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、表面プレート１４を枠状に形成して大きな流通口３０を区画形成するので、洗浄性や乾燥作業の作業性の著しい向上が大いに期待できる。さらに、流通口３０の開口領域が実に広いので、連結プレート２１の磨耗状況等を簡単に把握することができ、メンテナンスや部品交換がますます容易となり、これを通じ、精密基板の汚染防止にも大いに資することが可能になる。
【００３４】
なお、上記実施形態では枠状のガスケット９を単に示したが、このガスケット９は耐熱性、耐薬品性等に優れるフッ素ゴム等で形成すると良い。また、裏面プレート１１を断面略Ｕ字状の略箱形に形成し、この裏面プレート１１の開口表面に表面プレート１４を隙間を介して螺着被覆したが、表面プレート１４を断面略Ｕ字状の略箱形に形成することも可能である。また、ラッチ機構１７の構成は、同様の機能を期待できるのであれば、適宜変更することが可能である。例えば、回転プレート１８の外周部に複数の連結溝をそれぞれ形成するとともに、各連結プレート２１の末端部に係合ピン２０を突出形成し、これらを実質的に連結し、回転プレート１８の回転に基づいて各連結プレート２１を上下方向にスライドさせることもできる。さらに、突起３１は、単数でも良いし、形状を適宜変更することも可能である。
【００３５】
【実施例】
以下、本発明に係る基板収納容器の蓋体の実施例を比較例と共に説明する。
蓋体の乾燥時間の確認試験
実施例の蓋体１０と比較例の蓋体１０を用意し、これらについて乾燥時間の確認試験を実施し、その結果を表１にまとめて検討・評価した。確認試験は、先ず、純水中に蓋体１０を浸漬して取り出し、この蓋体１０を保持して複数の出没孔１２を図３のように上下方向に向けた。そして、蓋体１０内部の純水が蓋体１０の流通口３０から連続して滴下しなくなったら、６０℃に保温された乾燥機中に蓋体１０を表面プレート１４が上方向を向くよう水平にセットし、蓋体１０内部の乾燥時間を測定した。
【００３６】
なお、蓋体１０内部の乾燥状態は、５分毎に乾燥機から蓋体１０を取り出し、表面プレート１４をその都度取り外し、蓋体１０内部の乾燥状態、すなわち、水滴の有無を把握することにより確認した。水滴が残存している場合には、表面プレート１４を再度取り付け、水滴を除去できるまで試験を続行し、水滴が見られなくなった時間を乾燥時間とした。ここで乾燥時間とは、乾燥機にセットした時間の累計をいい、乾燥状態の確認時間を含まない。
【００３７】
実施例１の蓋体１０
表面プレート１４の略四隅部に直径４０ｍｍの流通口３０をそれぞれ丸く穿孔形成し、この複数の流通口３０の面積を蓋体１０表面の面積の約５％とした(図２参照)。
実施例２の蓋体１０
表面プレート１４の略外周部以外の領域、すなわち略中央部に単一の流通口３０を大きく区画形成し、この流通口３０の面積を蓋体１０表面の面積の約４７％とした(図４参照)。
比較例の蓋体１０
表面プレート１４に流通口３０を有しない従来の蓋体１０を使用した(図７参照)。
なお、ラッチ機構１７については、実施例、比較例共に図３の構造のものを用いた。
【００３８】
【表１】

【００３９】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、蓋体の内部等を十分に洗浄することができ、基板汚染のおそれを有効に解消することができるという効果がある。すなわち、蓋体に出没孔の他に、流通口を形成しているので、洗浄液を十分に流通・循環させることができる。したがって、多数の部品からなるラッチ機構を十分に洗浄することができ、連続使用時に汚れたままのラッチ機構から汚染物が蓋体を経由して容器本体の内部に流出し、精密基板を汚染させるおそれが少ない。また、流体が洗浄液の場合には、蓋体内部の洗浄液やその水滴を容易に除去することができ、しかも、流通口を大きく形成する場合、蓋体内部を簡易に把握することが可能になる。また、流通口の総面積が蓋体の総面積の０．５％未満ではないので、サイクルの短縮に必要な洗浄性と乾燥性を得られなくなるおそれが少ない。さらに、８０％を超えることもないので、蓋体の強度低下を招くことも少ない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板収納容器の蓋体の実施形態を示す分解斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の蓋体の実施形態における蓋体を示す正面図である。
【図３】図１のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の蓋体の第２の実施形態における蓋体を示す正面図である。
【図５】図４のＶ‐Ｖ線断面図である。
【図６】従来の基板収納容器を示す分解斜視説明図である。
【図７】図６のＶＩＩ‐ＶＩＩ線断面図である。
【符号の説明】
１容器本体
７フランジ(開口面)
８係止穴
１０蓋体
１１裏面プレート
１２出没孔
１４表面プレート
１５位置決め凹部
１７ラッチ機構
１８回転プレート
１９キー溝
２１連結プレート
２３係止爪
３０流通口
３１突起
３２保持部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention stores, stores and transports precision substrates that are susceptible to damage, such as semiconductor wafers, mask glass, liquid crystal cells, and recording media, or is positioned between processing devices for processing and processing precision substrates. It is related with the cover body of the substrate storage container used for conveyance of this, and storage.
[0002]
[Prior art]
Precision substrates such as semiconductor wafers and mask glass related to the production of conventional semiconductor components have a large diameter (for example, 300 mm to 400 mm) for the purpose of cost reduction by improving yield of precision substrates due to severe price competition of semiconductor devices. The above is being studied at a rapid pitch. At the same time, semiconductor circuits are becoming increasingly finer and DRAM design rules (minimum processing line width) are shifting from 0.25 μm to 0.18 μm or less. A higher degree of cleanliness is also required for containers used for transporting substrates.
[0003]
As a means to realize such a requirement, only a local environment (mini-environment) required for various processing of precision substrates is required to have a cleanness of a highly clean environment (Federal standard 209E) of 1 or less. (Standard level is 0.01), and the substrate storage container is standardized, and a plurality of precision substrates are stored in an airtight state in a clean state, and the substrate storage container is transported between several clean local environments. However, a method for improving the yield has been proposed. In response to such a proposal, development of a substrate storage container that can automatically convey a precision substrate without contaminating it and that can directly access a processing apparatus has been intensively advanced.
[0004]
As shown in part in FIG. 6, this type of substrate storage container closes the container main body 1 for storing a precision substrate (not shown) and the inner peripheral region of the opening of the container main body 1 in an airtight state via a gasket 9. The lid 10 is detachable, and the lid 10 is opened and closed by a processing apparatus (not shown) in the local environment.
[0005]
As shown in FIG. 6, the container body 1 is formed into a substantially cubic shape using various synthetic resins, and stores a plurality of precision substrates side by side. Bottom rails 2 are respectively formed on the left and right sides of the bottom surface of the container body 1, and V groups (not shown) that function as positioning means for the processing device are respectively provided on the front sides and the rear center of the bottom surface. A bottom plate (not shown) is fitted and held in the plurality of V groups. This bottom plate is basically formed in a substantially Y-shaped plane, and guide portions that fit around the V group are formed on both sides of the front portion and the center of the rear portion. A through-hole for fixing the device is formed by perforation.
[0006]
As shown in the figure, side rails 3 and manual handles 4 are detachably mounted on the left and right side surfaces of the container body 1, and a robot gripped by a transport robot (not shown) is provided at the center of the top surface of the container body 1. A tick flange 5 is detachably mounted. Further, shelf-like support portions 6 are integrally formed with the container body 1 or detachably mounted as separate parts on both the left and right sides of the inside of the container body 1, and a plurality of precision substrates are interposed between the pair of support portions 6. Are horizontally aligned and supported at a predetermined pitch. The front of the opening of the container body 1 is formed into a stepped and sloped flange 7, and a locking hole 8 positioned at the left and right target positions is formed on the upper and lower sides of the inner peripheral surface of the flange 7.
[0007]
As shown in FIGS. 6 and 7, the lid body 10 includes a back plate 11 and a front plate 14 that face each other and can be operated from the outside between the back plate 11 and the front plate 14. A latch mechanism 17 is built in, and when the lid body 10 is fitted to the container body 1, the latching claw 23 that can be projected and retracted is projected and engaged in each of the locking holes 8, thereby Ensure airtightness. On the top and bottom of the outer peripheral surface of the lid body 10, the intrusion holes 12 for the locking claws 23 positioned on the left and right are respectively formed. A shelf-like retainer 13 is detachably attached to the back plate 11, and the retainer 13 elastically supports the front peripheral edges of a plurality of precision substrates. Further, the surface plate 14 has positioning recesses 15 formed on the upper and lower sides thereof, and operation ports 16 are formed on the left and right sides of the central portion.
[0008]
The processing apparatus is connected to a substrate storage container transported from the outside world, and includes an access device for loading a precision substrate from the substrate storage container and unloading the precision substrate with the substrate storage container. This access device includes a load port that positions and mounts a substrate storage container and performs connection operation with respect to a processing apparatus, and a lid opening / closing device that opens and closes the lid 10 of the substrate storage container. . The load port has a round tip, and is fitted into each V group of the container body 1 to automatically center the base storage container and position the pin in a predetermined position with high accuracy, and a bottom And an L-shaped presser that is inserted into the through-hole of the plate and fixes the substrate storage container. The positioning unit is advanced to move the substrate storage container in parallel, and the lid body 10 is brought into contact with the lid body opening / closing device in a sealable manner. It works as follows.
[0009]
The lid opening / closing device includes a connection wall composed of a wall substantially perpendicular to the mounting surface of the load port, and an opening for passing a precision substrate formed on the connection wall and transferred from the substrate storage container in the outside world to the processing device. And an openable / closable cover member that seals the opening and prevents the internal environment from being contaminated by the intrusion of particles from the outside. The cover member positions and holds the lid, and an operation device that locks and unlocks the lid latch mechanism 17 via a rotatable operation key, and a pair of fittings fitted into the positioning recesses 15 of the lid 10. It is comprised from the positioning pin and the adsorption | suction apparatus which vacuum-sucks the cover body 10. As shown in FIG.
[0010]
In the above, when processing and processing a precision substrate in a local environment, first, the substrate storage container is positioned in the processing apparatus and moved forward until the substrate storage container contacts the cover member of the lid opening / closing device. The pair of positioning pins and the pair of positioning recesses 15 of the lid body 10 are fitted together, and the latch mechanism 17 of the lid body 10 is unlocked by the operating device for the cover member, so that the lid body 10 is moved from the flange 7 of the container body 1. It will be in a removable state. When the lid 10 is in a detachable state in this way, the cover member is retracted and lowered to remove the lid 10 from the container body 1, and the inside of the processing apparatus and the substrate storage area of the container body 1 communicate with each other. At this time, since the flange 7 of the container body 1 is pressed against the connection wall and sealed, external particles or the like do not enter the internal environment. Then, the precision substrate is loaded and taken into the processing apparatus from the inside of the substrate storage container, and thereafter various processings are performed on the precision substrate.
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
Since the conventional lid of the substrate storage container is configured as described above, it has the following problems. First, the lid 10 of the substrate storage container is cleaned with a cleaning solution in a cleaning tank separately from the container main body 1 before use or after repeated use, and is used again. At the time of this cleaning, the lid 10 is formed in a hollow structure, and a plurality of holes 12 are formed on the outer peripheral surface, and the operation port 16 of the latch mechanism 17 is formed on the surface plate 14. (Refer to the arrow in FIG. 7) flows in and is washed.
[0012]
However, since the conventional lid 10 has a narrow opening area such as the entrance / exit hole 12, the cleaning liquid does not flow and circulate sufficiently, and as a result, the cleaning of the latch mechanism 17 composed of a large number of parts becomes insufficient. Contaminants may flow out from the latch mechanism 17 that remains dirty during continuous use to the inside of the container body 1 via the lid 10 and contaminate the precision substrate. In addition, there is a high possibility that a large amount of the cleaning liquid and its water droplets remain inside the lid body 10, and it is very difficult to remove the water droplets, so that there is a problem that the drying operation is significantly delayed. Further, when the durability of the latch mechanism 17 is limited or trouble occurs, it is necessary to check the inside of the lid body 10, but the inside of the lid body 10 is simply covered with the surface plate 14. Is extremely difficult to observe.
[0013]
The present invention has been made in view of the above, and can sufficiently clean the inside of the lid body, effectively eliminates the possibility of substrate contamination, and easily removes the cleaning liquid inside the lid body and its water droplets. An object of the present invention is to provide a lid for a substrate storage container.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
  In the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, the container main body for storing the precision substrate is provided.Open frontThe lid is attached to and detached from the lid opening / closing device,
  The lid is built in between the back plate and the front plate, the front plate fitted into the back plate through a gap, the intrusion hole provided in the outer periphery of at least one of the back plate and the front plate. The locking claw that can be retracted and protruded from the intrusion hole is projected onto the container body.Front inner peripheryA retainer that supports the peripheral edge of the precision substrate housed in the container body is attached to the back plate. Forms a positioning recess to be inserted into the positioning pin of the lid opening / closing device and forms an operation port for the latch mechanism,The distribution port is positioned at a place other than the operation port for the latch mechanism and can be used as an observation window for the latch mechanism, and the total area of the distribution port is 0.5% to 80% of the total area of the lid.It is characterized by that.
[0015]
  The surface plateOther than the outer periphery ofDistribution portIt can be.
  Also,Back plateFrom the insideDistribution portIt is also possible to project the protrusion located at the exposed position and to use this protrusion for positioning and / or holding.
[0016]
  Here, the container body in the claims may be transparent or non-transparent, but in the case of non-transparency, the back and side surfaces of the container body are formed in a transparent window,It is preferable that the substrate in the container body can be observed. The fluid isA liquid such as a cleaning liquid may be used, but various gases may be used. In addition, the distribution port can be a circle, rectangle, oval, triangle, trapezoid, polygon, ellipse, rhombus, mouth shape, square shape, or a combination of these having an arbitrary area, Any of singular and plural may be used. If this distribution port has substantially the same function, it includes notches of various shapes located at the periphery of the surface plate and the like.
[0017]
According to the present invention, when the lid is washed with a fluid such as a cleaning liquid or dry air, the fluid passes through the inside of the part of the cover body and flows out of the remaining part of the cover and cleans the cover body. At this time, the plurality of flow ports function as an inlet and an outlet, respectively, so that the fluid can be sufficiently circulated and circulated to clean the inside of the lid.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 3, a lid body of a substrate storage container according to the present embodiment frames an inner peripheral region of an opening of a container body 1. A detachable lid body 10 which is closed in a sealed state via a gasket 9 is screw-coated on a substantially box-shaped back plate 11 having a substantially U-shaped cross section and an opening surface of the back plate 11 via a gap. A front surface plate 14, a plurality of in / out holes 12 formed in the top / bottom / left / right sides of the outer peripheral portion of the back surface plate 11, and a built-in portion between the back surface plate 11 and the front surface plate 14. A pair of latch mechanisms 17 that project the locking claws 23 and engage the locking claws 23 with the locking holes 8 in the inner peripheral region of the container main body 1, and a plurality of flow holes that are formed in the substantially four corners of the surface plate 14. Consists of mouth 30 There.
[0019]
As shown in FIG. 1, the container body 1 is formed into a transparent substantially cubic shape using various synthetic resins such as polycarbonate and acrylic resin having sufficient strength and rigidity, and a plurality of precision substrates having a circular shape. (Not shown) are stored one above the other. Bottom rails 2 extending in the front-rear direction are integrally formed on both the left and right sides of the bottom surface of the container body 1, and V functions as positioning means for the processing apparatus at both the front and both sides of the bottom surface. Each group (not shown) is formed so as to protrude, and a bottom plate (not shown) is fitted and held in the plurality of V groups. This bottom plate is basically formed in a substantially Y-shaped plane, and a guide portion that fits around the V group is formed on both sides of the front part and the center of the rear part. A through-hole for fixing the processing device is formed by perforation.
[0020]
As shown in the figure, side rails 3 and manual handles 4, which are separate parts, are detachably mounted on the left and right side surfaces of the container body 1, and a transport robot (not shown) is attached to the center of the upper surface of the container body 1. A robotic flange 5 to be gripped is detachably mounted. In addition, shelf-like support portions 6 facing each other are integrally formed or detachably mounted on both left and right side surfaces of the container body 1, and a plurality of precision substrates are provided between the pair of support portions 6. Aligned and supported horizontally at the pitch. The front surface of the entire opening of the container body 1 is formed as an inclined surface that is inclined to form a step and gradually expands outward. The inclined surface exhibits a guide function when the lid body 10 is closed, thereby smoothing the lid body 10. Mate quickly. On the upper and lower sides of the inner peripheral surface of the opening of the container body 1, left and right engaging holes 8 are respectively formed in a recessed manner.
[0021]
The bottom plate, the side rail 3 and the manual handle 4 are made of a thermoplastic resin such as polycarbonate, acrylic resin, polyetheretherketone, polybutylene terephthalate, etc., as well as the container body 1, and conductive resin based on these thermoplastic resins. And a thermoplastic resin imparted with antistatic properties by the addition of conductive additives such as carbon fibers and metal fibers. In addition, a conductive polymer film may be applied to the thermoplastic resin or coated to impart conductivity. The bottom plate may be fitted and held in a plurality of V groups, but may be integrally formed on the bottom surface of the container body 1 to form the bottom surface of the container body 1.
[0022]
As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the lid 10 includes a back plate 11 and a surface plate 14 that are opposed to each other, and a hollow portion between the substantially rectangular back plate 11 and the surface plate 14 is provided in the hollow portion. A pair of latch mechanisms 17 that can be operated from the outside are built in, and when the lid body 10 is fitted to the container body 1, the pair of latch mechanisms 17 can be brought into and out of the respective locking holes 8. To project and engage to secure the airtight state of the substrate storage container. The back plate 11 and the front plate 14 forming the lid body 10 are made of a thermoplastic resin such as polycarbonate, polyetheretherketone, polybutylene terephthalate or the like, or a material imparted with antistatic properties to the thermoplastic resin, like the container body 1. Is formed using. In addition, on the top and bottom of the outer peripheral surface of the back plate 11, in other words, on the upper and lower sides of the back plate 11, the protruding / retracting holes 12 for the locking claws 23 are formed in a rectangular shape.
[0023]
A shelf-like retainer 13 is detachably attached to the central portion of the back plate 11, and the retainer 13 elastically supports the front peripheral edges of a plurality of precision substrates. Further, the surface plate 14 is formed with positioning recesses 15 formed on diagonal lines on the upper, lower, left and right sides, and the positioning pins of the cover member are inserted into the pair of positioning recesses 15, respectively. On the left and right of the central portion of the surface plate 14, operation ports 16 that are penetrated by operation keys of an operation device (not shown) are respectively formed.
[0024]
As shown in part in FIG. 3, each latch mechanism 17 is pivotally supported on the inner surface side of the back plate 11 and engaged with the operation key, and is connected to the rotary plate 18 in the vertical direction. A pair of connection plates 21 that slide in the direction of the movement, and a swingable locking claw 23 that is pivotally attached to the front end of each connection plate 21 and protrudes and retracts from the retracting hole 12. Each rotary plate 18 is basically formed in a substantially convex shape in cross section, and a key groove 19 facing the operation port 16 of the surface plate 14 is formed in a concave shape on the surface of the central protrusion. An operation key is inserted into and rotated 90 ° in the forward and reverse directions. On the outer periphery of the surface of the rotating plate 18, a pair of engaging pins 20 are formed so as to protrude by 180 °.
[0025]
Each connecting plate 21 is basically formed in a plate shape extending in the vertical direction of the lid body 10 and is slidably supported on the inner surface of the back plate 11 via a plurality of guide pins 22. A distal end portion of the connecting plate 21 is formed in a curved shape, and an arc-shaped connecting groove is cut out, and the engaging pin 20 of the rotating plate 18 is connected to the connecting groove through the connecting groove 21.
The rotating plate 18 and the connecting plate 21 may be formed by forming a substantially circumferential groove in the rotating plate 18 and providing protrusions on the connecting plate 21 and engaging these grooves with the protrusions. .
[0026]
Each locking claw 23 is formed in a substantially T-shaped cross section, and one end is pivotally supported on the inner periphery of the surface plate 14. As for this latching claw 23, the edge part of an up-down direction is axially attached to the front-end | tip part of the connection plate 21, and the roller 24 which fits in the latching hole 8 of the container main body 1 can be rotated in the other other end part. As the connecting plate 21 slides in the vertical direction, the lid 10 can be locked by locking the lid 10 by projecting from the lug hole 12 while drawing an arc, or can be removed by retracting into the lug hole 12 State.
[0027]
As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the plurality of flow ports 30 are formed so as to be perforated roundly at locations that do not impair the function of the substrate storage container, in other words, at substantially four corners of the surface plate 14, respectively. In addition to functioning as an outlet, the connecting plate 21 and the guide pin 22 constituting each latch mechanism 17 function as an observation window that can be grasped from the outside. The plurality of flow ports 30 are formed in the substantially four corners of the surface plate 14, respectively, because the surface of the lid 10 used for the standardized substrate storage container has a seal zone between the lid opening and closing device. This is because the SEMI standard requires a frame-like seal zone along the shape of the lid with a width of 9 mm on the inner side of the peripheral edges of the four sides on the surface of the lid 10. Further, if the circulation port 30 is formed in the vicinity of the positioning recess 15, the operation port 16, and the purge port portion of the lid body 10, the function of the lid body 10 is likely to be impaired.
[0028]
The total area of the plurality of circulation ports 30 is 0.5% to 80% or less, more preferably 4% to 50% or less of the total area of the lid body 10. This is because if the total area of the plurality of flow ports 30 is less than 0.5% of the total area of the lid body 10, there is a possibility that the cleaning properties and drying properties required for shortening the cycle cannot be obtained. On the other hand, if it exceeds 80%, the strength of the lid 10 is reduced. The total area of the plurality of circulation ports 30 is preferably 4% or more based on the reason that it is suitable for drying in a natural state. The total area of the plurality of flow ports 30 is preferably 50% or less in consideration of fixing the surface plate 14 and the presence of reinforcing ribs.
In addition, since the circulation port 30 has a function of improving the circulation of a cleaning liquid or the like as an inflow port and an outflow port, it is preferable that at least two flow ports 30 exist.
[0029]
Hereinafter, the flow port 30 will be described with specific numerical values. In the case of the lid 10 of the substrate storage container that aligns and stores precision substrates having a diameter of 300 mm, the surface area of the lid 10 is calculated as 366 mm × 308 mm. . At this time, two flow ports 30 having a diameter of about 20 mm (0.5% of the surface area of the lid 10) are required. In this way, when the circulation port 30 is relatively small, a hose or the like is connected to each of the two circulation ports 30 as an inflow port and an outflow port to supply and exhaust liquid and gas so that the cleaning liquid and dry air circulate efficiently. Is effective. However, in this case, a dedicated facility for connecting to the two distribution ports 30 is necessary. As a preferable example, there is an example in which the circulation port 30 having a diameter of about 40 mm is formed in a round shape at approximately four corners of the surface plate 14. The other parts are the same as those in the conventional example, so the description thereof is omitted.
[0030]
In the above configuration, when the lid 10 before use or after repeated use is washed with the washing liquid of the washing tank, the washing liquid passes through the inside of the part of the cover hole 12 and passes through the remaining part of the hole 12 to the outside. The lid 10 is washed out. At this time, some of the circulation ports 30 function as inflow ports, and the remaining circulation ports 30 function as outflow ports, respectively, and a relatively large amount of cleaning liquid (see the arrow in FIG. 2) is sufficiently circulated and circulated. Contributes to internal cleaning.
[0031]
According to the above configuration, since the plurality of circulation ports 30 are formed in the lid body 10 in addition to the small intrusion holes 12, the cleaning liquid can be sufficiently circulated and circulated. Therefore, the latch mechanism 17 composed of a large number of parts can be sufficiently cleaned, and contaminants can flow out from the latch mechanism 17 that remains dirty during continuous use into the container body 1 through the lid body 10, There is no risk of contaminating the board. In addition, there is very little possibility that a large amount of cleaning liquid and its water droplets remain inside the lid body 10 and the removal of the water droplets is relatively simple, so that the drying operation is significantly smoothed, shortened, speeded up, and facilitated. be able to. Specifically, the drying time can be shortened to ¼ or less of the conventional one, and a great improvement in workability during repeated use can be greatly expected. Further, even when the durability of the latch mechanism 17 is limited or trouble occurs, the inside of the lid 10 can be confirmed, so that maintenance can be performed very easily.
[0032]
Next, FIGS. 4 and 5 show a second embodiment of the present invention. In this case, a single circulation port 30 is provided in a region other than the substantially outer peripheral portion of the surface plate 14, that is, in a substantially central portion. A large partition is formed, and a plurality of protrusions 31 located in the flow port 30 are exposed from the top, bottom, left, and right of the inner surface of the back plate 11 toward the surface plate 14, and the plurality of protrusions 31 serve as positioning recesses 15. It is used as a holding part 32 for use, for lid adsorption or for gas purging. The other parts are the same as those in the above embodiment, and the description thereof is omitted.
[0033]
Also in this embodiment, the same effect as the above embodiment can be expected, and the surface plate 14 is formed in a frame shape and the large flow port 30 is partitioned, so that the cleaning performance and the workability of the drying operation are remarkably improved. Can be greatly expected. Furthermore, since the opening area of the distribution port 30 is very wide, it is possible to easily grasp the wear state of the connecting plate 21, etc., and maintenance and replacement of parts become easier, which greatly prevents contamination of precision substrates. It becomes possible to contribute.
[0034]
In the above-described embodiment, the frame-like gasket 9 is simply shown. However, the gasket 9 may be formed of fluororubber or the like having excellent heat resistance and chemical resistance. Further, the back plate 11 is formed in a substantially box shape with a substantially U-shaped cross section, and the surface plate 14 is screwed onto the opening surface of the back plate 11 via a gap. The front plate 14 is substantially U-shaped in cross section. It is also possible to form a substantially box shape. The configuration of the latch mechanism 17 can be changed as appropriate as long as the same function can be expected. For example, a plurality of connecting grooves are formed on the outer peripheral portion of the rotating plate 18, and engaging pins 20 are formed to protrude from the end portions of the connecting plates 21. Based on this, each connecting plate 21 can be slid in the vertical direction. Furthermore, the protrusion 31 may be single or the shape can be changed as appropriate.
[0035]
【Example】
Examples of the lid of the substrate storage container according to the present invention will be described below together with comparative examples.
Confirmation test of lid drying time
The lid body 10 of the example and the lid body 10 of the comparative example were prepared, the confirmation test of the drying time was performed on these, and the results were summarized and evaluated in Table 1. In the confirmation test, first, the lid body 10 was dipped and taken out in pure water, and the lid body 10 was held, and the plurality of intrusion holes 12 were directed vertically as shown in FIG. When the pure water inside the lid body 10 is not continuously dripped from the flow port 30 of the lid body 10, the lid body 10 is placed horizontally in the drier kept at 60 ° C. so that the surface plate 14 faces upward. And the drying time inside the lid 10 was measured.
[0036]
In addition, the dry state inside the lid body 10 is obtained by taking out the lid body 10 from the dryer every 5 minutes, removing the surface plate 14 each time, and grasping the dry state inside the lid body 10, that is, the presence or absence of water droplets. confirmed. When water droplets remained, the surface plate 14 was attached again, and the test was continued until the water droplets could be removed, and the time when no water droplets were observed was defined as the drying time. Here, the drying time means the total time set in the dryer, and does not include the confirmation time of the dry state.
[0037]
Lid 10 of Example 1
Circulating ports 30 having a diameter of 40 mm were formed in a round shape at substantially four corners of the surface plate 14, and the area of the plurality of circulating ports 30 was set to about 5% of the surface area of the lid 10 (see FIG. 2).
Lid 10 of Example 2
A single circulation port 30 is formed in a large area in a region other than the substantially outer peripheral portion of the surface plate 14, that is, in a substantially central portion, and the area of the circulation port 30 is about 47% of the surface area of the lid 10 (FIG. 4). reference).
Comparative example lid 10
A conventional lid 10 having no flow port 30 in the surface plate 14 was used (see FIG. 7).
As the latch mechanism 17, the structure of FIG. 3 was used for both the example and the comparative example.
[0038]
[Table 1]

[0039]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to sufficiently clean the inside of the lid body and the like, which can effectively eliminate the possibility of substrate contamination.That is, since the circulation port is formed in addition to the hole in the lid, the cleaning liquid can be sufficiently circulated and circulated. Therefore, the latch mechanism composed of a large number of parts can be sufficiently cleaned, and contaminants can flow out from the latch mechanism that remains dirty during continuous use through the lid to the inside of the container body to contaminate the precision substrate. There is little fear.In addition, when the fluid is a cleaning liquid, the cleaning liquid and water droplets inside the lid can be easily removed, and when the flow port is formed large, the inside of the lid can be easily grasped. .In addition, since the total area of the circulation port is not less than 0.5% of the total area of the lid, there is little possibility that the cleaning property and drying property necessary for shortening the cycle cannot be obtained. In addition, since it does not exceed 80%, the strength of the lid is hardly lowered.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a lid of a substrate storage container according to the present invention.
FIG. 2 is a front view showing the lid in the embodiment of the lid of the substrate storage container according to the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
FIG. 4 is a front view showing a lid in a second embodiment of a lid of a substrate storage container according to the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG.
FIG. 6 is an exploded perspective view showing a conventional substrate storage container.
7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII in FIG.
[Explanation of symbols]
1 Container body
7 Flange (opening surface)
8 Locking hole
10 Lid
11 Back plate
12 Intrusion hole
14 Surface plate
15 Positioning recess
17 Latch mechanism
18 Rotating plate
19 Keyway
21 Connecting plate
23 Claw
30 Distribution port
31 protrusion
32 Holding part

Claims

A lid of a substrate storage container in which a lid is attached to and detached from a front surface of a container body that stores a precision substrate by a lid opening and closing device,
The lid is built in between the back plate and the front plate, the front plate fitted into the back plate through a gap, the intrusion hole provided in the outer periphery of at least one of the back plate and the front plate. The rear plate includes a latch mechanism for projecting a latching claw that can be projected and retracted from the projection hole and fitting the latching claw into a locking hole in the front inner periphery of the container body, and a fluid circulation port provided in the front plate. In addition, a retainer for supporting the peripheral edge of the precision substrate housed in the container body is mounted, and a positioning recess to be inserted into the positioning pin of the lid opening / closing device is formed in the surface plate, and an operation port for the latch mechanism is formed. forming a total area of the flow port, with is located in a region other than the operation hole of the latch mechanism, to allow also used as an observation window for the latch mechanism, the lid of the total area of the flow port Lid substrate storage container, characterized in that it has 0.5% to 80%.

The lid of the substrate storage container according to claim 1, wherein a region other than the substantially outer peripheral portion of the surface plate is a circulation port .

3. A lid for a substrate storage container according to claim 2, wherein a protrusion located in the flow opening is protruded from the inner surface of the back plate in an exposed state, and the protrusion is used for positioning and / or holding.