KR20050089922A - 노광 설비 스테이지 이동경 설치 방법 - Google Patents

노광 설비 스테이지 이동경 설치 방법 Download PDF

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Abstract

노광 설비의 스테이지에 이동경(bar mirror)을 설치하는 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 이동경 설치 방법에서는, 이동경과 스테이지 탑 테이블(top table) 사이에 이동경 길이와 동일한 길이의 스퀴즈 댐퍼(squeeze damper)를 설치하고, 이동경과 스퀴즈 댐퍼 사이에 일정한 간격이 유지되도록 공기를 플로우시키면서 진공으로 흡착시킨다.

Description

노광 설비 스테이지 이동경 설치 방법{Method of installing bar mirrors on stage of exposure apparatus}
본 발명은 노광 설비의 스테이지에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 스테이지의 이동량/직교도를 구하기 위해 그 스테이지 구동부에 수직이 되게 설치하는 이동경(bar mirror)의 설치 방법 개선에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 사용하는 노광 설비 중의 하나인 스테퍼는, 레티클 상에 형성되어 있는 패턴 정보를 웨이퍼 상의 포토레지스트막에 축소 투영 노광하는 장치이다. 스테퍼의 스테이지는 웨이퍼를 레티클에 정렬시키기 위한 장치로, 소정의 구동 제어 신호에 따라 상부에 장착되어 있는 웨이퍼를 X-방향 및 Y-방향에 대해서 각각 이동시킬 수 있는 스테이지 구동부와, 그 스테이지 구동부의 이동량(거리)을 검출하는 스테이지 이동량/직교도 검출부(예컨대, 레이저 간섭계를 포함하는 구성)와, 이들 각 부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다.
도 1은 종래 스테이지 구동부 중 탑 테이블 부분을 나타낸 사시도이다. 스테이지 구동부는 보통, 웨이퍼가 흡착되는 웨이퍼 척(10)과 함께 X-축과 Y-축 방향으로 각각 배치되는 이동경(bar mirror)(20, 30)이 장착된 탑 테이블(50)과, 도시하지는 않았지만, 노광원의 초점을 맞추기 위한 이동수단인 Z-슬라이더 및 Z-모터와, 웨이퍼를 X-축 방향으로 이동시키기 위한 X-테이블, X-피드 스크루 및 X-모터와, 웨이퍼를 Y-축 방향으로 이동시키기 위한 X-테이블, X-피드 스크루 및 X-모터와, 이들을 전부 탑재하기 위한 베이스(base)로 구성된다. 이러한 구성은 예컨대 대한민국 공개특허공보 제1998-028718호를 참조할 수 있다.
이동경(20, 30)은 레이저 간섭계와 함께 스테이지 구동부의 이동량 및 직교도를 측정하기 위한 광반사 미러이다. 그런데, 도 1에 도시한 바와 같이, 종래에는 이동경(20, 30)의 가운데 부분에만 스퀴즈 댐퍼(22, 32)를 설치하고, 각 이동경(20, 30)과 스퀴즈 댐퍼(22, 32) 사이는 그 단면도인 도 2에서와 같이 일정 간격(d)을 유지토록 하고 있다. 그리고, 이동경(20, 30)의 양쪽 끝부분만 탑 테이블(50)과의 사이에 진동방지판(40)을 두고 볼트(45)로 고정시키고 있다. 따라서, 스테이지가 고속 주행시 그 반동으로 인해 도 3에서와 같이 고정되어 있지 않은 이동경(20 또는 30)의 가운데 부분(A)이 주행의 반대 방향으로 휘어질 수 있다. 이렇게 이동경(20, 30)이 휘어지면 오정렬이 발생할 수 있고, 이에 따라 불량 혹은 엔지니어 작업 손실 시간이 증가되는 문제가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 이동경의 휘어짐으로 인한 오정렬 발생을 억제하기 위해, 스테이지 구동부에 이동경을 설치하는 개선된 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 이동경 설치 방법의 일 태양에서는, 이동경과 탑 테이블 사이에 상기 이동경 길이와 동일한 길이의 스퀴즈 댐퍼를 설치하고, 상기 이동경과 스퀴즈 댐퍼 사이에 일정한 간격이 유지되도록 공기를 플로우시키면서 진공으로 흡착시킨다.
본 발명에 따른 이동경 설치 방법의 다른 태양에서는, 이동경과 탑 테이블 사이 및 상기 이동경 중 웨이퍼를 향하는 면 전체를 감싸면서 상기 이동경에 부착되는 가이드를 이용하여 상기 이동경을 상기 탑 테이블에 완전 고정시킨다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 요소를 지칭한다. 그러나, 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 기술하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 사상 및 범주 내에 포함될 수 있는 대안, 변형 및 등가를 포함한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동경 설치 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4를 참조하면, 웨이퍼가 흡착되는 웨이퍼 척(10)이 장착된 탑 테이블(50)에 X-축과 Y-축 방향으로 이동경(20, 30)을 각각 배치한다. 이동경(20, 30)은 스퀴즈 댐퍼(122, 132)를 이용해 탑 테이블(50)에 설치한다. 스퀴즈 댐퍼(122, 132)는 이동경(20, 30) 길이와 동일한 길이를 가진다.
도 5는 이동경과 스퀴즈 댐퍼 부분의 단면도이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 이동경(20 또는 30)과 스퀴즈 댐퍼(122 또는 132) 사이에 공기(140)를 플로우시키면서 진공(150)으로 흡착시켜 이동경(20 또는 30)과 스퀴즈 댐퍼(122 또는 132) 사이에 일정한 간격(g)이 유지되면서 고정되도록 한다.
이와 같이, 스퀴즈 댐퍼(122, 132)를 길게 만들어 이동경(20, 30) 전체 길이가 커버되도록 하고 공기와 진공을 이용해 스퀴즈 댐퍼(122, 132)와 이동경(20, 30)이 일정한 간격을 유지하게 하므로, 이동경(20, 30)은 그 전체 길이에 걸쳐 고른 힘을 받게 된다. 따라서, 스테이지 이동시 이동경(20, 30)의 가운데 부분이 휘어지는 문제가 개선된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이동경 설치 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 6을 참조하면, 웨이퍼가 흡착되는 웨이퍼 척(10)이 장착된 탑 테이블(50)에 X-축과 Y-축 방향으로 이동경(20, 30)을 각각 배치한다. 이동경(20, 30)은 가이드(222, 232)를 이용해 탑 테이블(50)에 완전 고정시킨다. 가이드(222, 232)는 이동경(20, 30)과 탑 테이블(50) 사이 및 이동경(20, 30) 중 웨이퍼를 향하는 면 전체를 감싼다.
도 7은 이동경과 가이드 부분의 단면도이다. 도 7에 도시한 바와 같이, 가이드(222 또는 232)는 이동경(20 또는 30)과 탑 테이블(50) 사이 및 이동경(20 또는 30) 중 웨이퍼를 향하는 면 전체를 감싸면서 이동경(20 또는 30)에 긴밀히 접착된다. 가이드(222 또는 232)가 탑 테이블(50)에 고정되기 때문에, 이동경(20 또는 30) 또한 탑 테이블(50)에 완전 고정된다.
가이드(222, 232)를 이용해 이동경(20, 30)을 고정하므로, 이동경(20, 30)은 그 전체 길이에 걸쳐 고른 힘을 받게 된다. 따라서, 스테이지 이동시 이동경(20, 30)의 가운데 부분이 휘어지는 문제가 개선된다.
본 발명의 특정 실시예에 대한 이상의 설명은 예시 및 설명을 목적으로 제공되었다. 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 수정 및 변형이 가능함은 명백하다. 본 발명의 범주는 첨부된 청구범위 및 그 등가물에 의해 한정된다.
이상 상술한 본 발명에 의하면, 이동경의 가운데 부분이 휘어지는 문제가 개선된다. 따라서, 스테이지의 이동량/직교도를 구하기 위해 스테이지 구동부에 장착된 이동경이 항상 직교 상태를 유지할 수 있어 스테이지 구동부의 직진성을 확보할 수 있고, 최상의 노광 조건을 달성할 수 있어 오정렬을 예방하는 효과를 갖게 되므로, 노광 설비는 안정적인 노광 공정 조건을 달성할 수 있으며 작업 손실 시간을 감소시킬 수 있다.
도 1은 종래 스테이지 구동부 중 탑 테이블 부분을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에서 이동경과 스퀴즈 댐퍼 부분의 단면도이다.
도 3은 도 1에서 스테이지 이동시 이동경이 휘는 문제를 보이기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동경 설치 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 5는 도 4에서 이동경과 스퀴즈 댐퍼 부분의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이동경 설치 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 7은 도 6에서 이동경과 가이드(guide) 부분의 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10...웨이퍼 척 20, 30...이동경
50...탑 테이블 122, 132...스퀴즈 댐퍼
222, 232...가이드

Claims (3)

  1. 상부에 장착된 웨이퍼를 X-축 방향 및 Y-축 방향으로 이동시키는 노광 설비 스테이지 구동부의 탑 테이블에 이동경을 설치하는 방법에 있어서,
    상기 이동경과 상기 탑 테이블 사이에 상기 이동경 길이와 동일한 길이의 스퀴즈 댐퍼를 설치하고, 상기 이동경과 스퀴즈 댐퍼 사이에 일정한 간격이 유지되도록 공기를 플로우시키면서 진공으로 흡착시키는 것을 특징으로 하는 이동경 설치 방법.
  2. 상부에 장착된 웨이퍼를 X-축 방향 및 Y-축 방향으로 이동시키는 노광 설비 스테이지 구동부의 탑 테이블에 이동경을 설치하는 방법에 있어서,
    상기 이동경과 상기 탑 테이블 사이 및 상기 이동경 중 웨이퍼를 향하는 면 전체를 감싸면서 상기 이동경에 부착되는 가이드를 이용하여 상기 이동경을 상기 탑 테이블에 완전 고정시키는 것을 특징으로 하는 이동경 설치 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 이동경과 상기 가이드를 긴밀히 접착시키는 것을 특징으로 하는 이동경 설치 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8959930B2 (en) 2007-06-15 2015-02-24 Daewoo Shipbuilding & Marine Engineering Co., Ltd. Method and apparatus for treating boil-off gas in an LNG carrier having a reliquefaction plant, and LNG carrier having said apparatus for treating boil-off gas

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8959930B2 (en) 2007-06-15 2015-02-24 Daewoo Shipbuilding & Marine Engineering Co., Ltd. Method and apparatus for treating boil-off gas in an LNG carrier having a reliquefaction plant, and LNG carrier having said apparatus for treating boil-off gas

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