KR20050077358A - 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 - Google Patents

Abstract

잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은, 기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계; 잉크 피드홀이 형성될 부분의 보호층, 절연층 및 기판을 순차적으로 식각하여 기판의 표면에 프론트 트렌치를 형성하는 단계; 보호층 및 프론트 트렌치가 형성된 기판의 상부에 기판과 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계; 및 유로형성층이 형성될 부분에만 접착층이 남도록 접착층을 식각하는 단계;를 포함한다.

Description

잉크젯 프린트헤드의 제조방법{Method for manufacturing inkjet printhead}

본 발명은 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 유지하기 위하여 기판 상에 프론트 트렌치를 형성한 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 관한 것이다.

잉크젯 프린트헤드는 인쇄용 잉크의 미소한 액적(droplet)을 기록용지 상의 원하는 위치에 토출시켜서 소정 색상의 화상으로 인쇄하는 장치이다. 이러한 잉크젯 프린트헤드는 잉크 액적의 토출 메카니즘에 따라 크게 두가지 방식으로 분류될 수 있다. 그 하나는 열원을 이용하여 잉크에 버블(bubble)을 발생시켜 그 버블의 팽창력에 의해 잉크 액적을 토출시키는 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드이고, 다른 하나는 압전체를 사용하여 그 압전체의 변형으로 인해 잉크에 가해지는 압력에 의해 잉크 액적을 토출시키는 압전구동 방식의 잉크젯 프린트헤드이다.

상기 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드에서의 잉크 액적 토출 메카니즘을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 저항 발열체로 이루어진 히터에 펄스 형태의 전류가 흐르게 되면, 히터에서 열이 발생되면서 히터에 인접한 잉크는 대략 300℃로 순간 가열된다. 이에 따라 잉크가 비등하면서 버블이 생성되고, 생성된 버블은 팽창하여 잉크 챔버 내에 채워진 잉크에 압력을 가하게 된다. 이로 인해 노즐 부근에 있던 잉크가 노즐을 통해 액적의 형태로 잉크 챔버 밖으로 토출된다.

한편, 이러한 열구동 방식은 버블의 성장 방향과 잉크 액적의 토출 방향에 따라 다시 탑-슈팅(top-shooting) 방식, 사이드-슈팅(side-shooting) 방식 및 백-슈팅(back-shooting) 방식으로 분류된다. 탑-슈팅 방식은 버블의 성장 방향과 잉크 액적의 토출 방향이 동일한 방식이고, 사이드-슈팅 방식은 버블의 성장 방향과 잉크 액적의 토출 방향이 직각을 이루는 방식이고, 백-슈팅 방식은 버블의 성장 방향과 잉크 액적의 토출 방향이 서로 반대인 잉크 토출 방식을 말한다.

이와 같은 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드는 일반적으로 다음과 같은 요건들을 만족하여야 한다. 첫째, 가능한 한 그 제조가 간단하고 제조비용이 저렴하며, 대량 생산이 가능하여야 한다. 둘째, 고화질의 화상을 얻기 위해서는 인접한 노즐 사이의 간섭(cross talk)은 억제하면서도 인접한 노즐 사이의 간격은 가능한 한 좁아야 한다. 즉, DPI(Dots Per Inch)를 높이기 위해서는 다수의 노즐을 고밀도로 배치할 수 있어야 한다. 셋째, 고속 인쇄를 위해서는, 잉크 챔버로부터 잉크가 토출된 후 잉크 챔버에 잉크가 리필(refill)되는 주기가 가능한 한 짧아야 한다. 즉, 가열된 잉크와 히터의 냉각이 빨리 이루어져 구동 주파수를 높일 수 있어야 한다.

도 1a 내지 도 1h는 종래 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

먼저, 도 1a를 참조하면, 기판(10)의 표면에 절연층(12), 히터(14) 및 보호층(16)을 순차적으로 형성한다. 여기서, 상기 절연층(12)은 히터(14)로부터 기판(10) 쪽으로 열이 빠져나가는 방지하기 위한 층으로, 일반적으로 실리콘 산화물(SiO_x)로 이루어진다. 상기 보호층(16)은 히터(14)가 잉크와 직접 접촉되는 것을 방지하기 위한 것으로, 주로 실리콘 질화물(SiN_x)로 이루어진다.

다음으로, 도 1b에 도시된 바와 같이, 잉크 챔버에 잉크를 공급하기 위한 잉크 피드홀(ink feedhole)이 형성될 부분의 절연층(12) 및 보호층(16)을 제거하기 위하여 포토리소그라피(photolithography) 공정을 통하여 소정 형상의 제1 식각마스크(18)를 형성한 다음, 도 1c에 도시된 바와 같이, 보호층(16) 및 절연층(12)을 기판(10)의 표면이 노출될 때까지 순차적으로 식각한다.

이어서, 도 1d에 도시된 바와 같이, 상기 제1 식각마스크(18)를 제거한 다음, 도 1e에 도시된 바와 같이, 접착층(glue layer,20)을 소정 두께로 도포한다. 상기 접착층(20)은 기판(10)과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접합력을 증가시키기 위한 층이다. 여기서, 잉크 유로는 토출될 잉크가 채워지는 잉크 챔버 및 잉크 챔버(ink chamber)와 잉크 피드홀을 연결하는 통로인 리스트릭터(restrictor)로 구성된다.

다음으로, 도 1f에 도시된 바와 같이, 포토리소그라피 공정을 통하여 상기 첩착층(20)의 상면에 소정 형상의 제2 식각마스크(22)를 형성한다. 이어서, 도 1g에 도시된 바와 같이, 유로형성층이 될 부분의 접착층(20)만 남기고, 보호층(16) 및 기판(10)의 표면이 노출될 때까지 접착층(20)을 식각한 다음 , 도 1h에 도시된 바와 같이, 제2 식각마스크(22)를 제거한다. 그리고, 이후의 공정에서, 상기 접착층(20)의 상면에 유로형성층을 형성한 다음, 그 위에 잉크가 토출되는 노즐을 가지는 노즐층을 형성한다.

이상과 같이, 기존의 잉크젯 프린트헤드 제조방법은 잉크 피드홀이 형성될 부분의 절연층(12) 및 보호층(16)만을 제거하고 기판(10)과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층(20)을 형성하는 방법을 사용하였다. 이러한 기존의 방법에 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 잉크 이동 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치(front trench)를 가공했을 때, 기판(10) 표면의 단차에 의해 접착층(20)의 두께 균일도가 불량해진다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판 상에 기판과 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하고, 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 잉크 이동 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성할 때, 이 프론트 트렌치에 의하여 접착층의 두께가 불균일 해지는 것을 극복하여 접착층 표면의 최적화를 구현할 수 있는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여,

본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은,

기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 보호층, 절연층 및 기판을 순차적으로 식각하여 상기 기판의 표면에 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계;

상기 보호층 및 프론트 트렌치가 형성된 상기 기판의 상부에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계; 및

상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 접착층을 식각하는 단계;를 포함한다.

본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은,

기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

상기 보호층 위에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계;

잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 접착층, 보호층, 절연층 및 기판을 순차적으로 식각하여 상기 기판의 표면에 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계; 및

상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 보호층 위에 형성된 상기 접착층을 식각하는 단계;를 포함한다.

본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은,

기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

상기 보호층 위에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계;

상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 보호층 위에 형성된 상기 접착층을 식각하는 단계; 및

잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 보호층, 절연층 및 기판을 순차적으로 식각하여 상기 기판의 표면에 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계;를 포함한다.

본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은,

기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 보호층 및 절연층을 순차적으로 식각하는 단계;

상기 보호층 및 노출된 기판의 상부에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계;

상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 접착층을 식각하는 단계; 및

상기 보호층 및 절연층을 통하여 노출된 기판의 표면을 식각하여 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계;를 포함한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 아래에 예시되는 실시예는 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니며, 본 발명을 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면 상에서 각 구성요소의 크기나 두께는 설명의 명료성을 위하여 편의상 과장되어 있을 수 있다. 또한, 한 층이 기판이나 다른 층의 위에 존재한다고 설명될 때, 그 층은 기판이나 다른 층에 직접 접하면서 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 다른 제3의 층이 존재할 수도 있다.

도 2a 내지 도 2h는 본 발명에 제1 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

먼저, 도 2a를 참조하면, 기판(110)의 표면에 절연층(112), 히터(114) 및 보호층(116)을 순차적으로 형성한다. 여기서, 상기 절연층(112)은 히터(114)로부터 기판(110) 쪽으로 열이 빠져나가는 방지하기 위한 층으로, 일반적으로 실리콘 산화물(SiO_x)로 이루어진다. 상기 히터(114)는 기판(110) 상에 예컨대 탄탈륨-질화물 또는 탄탈륨-알루미늄 합금과 같은 저항발열물질을 스퍼터링(sputtering) 또는 화학기상증착법에 의해 증착한 다음, 이를 패터닝함으로써 형성될 수 있다. 상기 보호층(116)은 히터(114)가 잉크와 직접 접촉되는 것을 방지하기 위한 것으로, 주로 실리콘 질화물(SiN_x)을 플라즈마 보강 화학기상증착(PECVD; Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)법에 의하여 증착함으로써 형성된다.

다음으로, 도 2b를 참조하면, 상기 보호층(116)의 상면에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제1 식각마스크(118)를 형성한다. 이어서, 상기 제1 식각마스크(118)를 통하여 보호층(116), 절연층(112) 및 기판(110)을 순차적으로 건식 식각하면, 도 2c에 도시된 바와 같이, 잉크 공급을 위한 잉크 피드홀(미도시)이 형성될 부분의 기판(110) 표면에 프론트 트렌치(front trench,150)가 형성된다. 여기서, 상기 프론트 트렌치(150)는 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 유지하기 위한 것이다.

다음으로, 도 2d에 도시된 바와 같이, 상기 제1 식각마스크(118)를 제거한 후, 도 2e에 도시된 바와 같이 보호층(116) 및 프론트 트렌치(150)가 형성된 기판(110)의 상부에 접착층(120)을 소정 두께로 형성한다. 여기서, 상기 접착층(120)은 이후의 공정에서 기판(110)과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층(미도시) 사이의 접착력을 증대시키기 위한 것이다.

이어서, 도 2f에 도시된 바와 같이, 상기 접착층(120)의 상면에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제2 식각마스크(122)를 형성한다. 다음으로, 도 2g에 도시된 바와 같이, 상기 제2 식각마스크(122)에 의하여 노출된 접착층(120)을 건식 식각하여 제거하면, 유로형성층이 형성된 부분에만 접착증(120)이 남게 된다. 그리고, 도 2h에 도시된 바와 같이 제2 식각마스크(122)를 제거하게 된다. 그리고, 상기 접착층(120)의 상면에 유로형성층을 형성하고, 그 위에 노즐을 가지는 노즐층을 형성한다.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

먼저, 도 3a를 참조하면, 기판(210)의 표면에 절연층(212), 히터(214) 및 보호층(216)을 순차적으로 형성한다. 다음으로, 도 3b에 도시된 바와 같이, 보호층(216)의 상면에 기판(210)과 유로형성층(미도시) 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층(220)을 소정 두께로 형성한다. 이어서, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 접착층(220)의 상면에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제1 식각마스크(222)를 형성한다.

다음으로, 도 3d에 도시된 바와 같이, 상기 제1 식각마스크(222)를 통하여 접착층(220), 보호층(216), 절연층(212) 및 기판(210)을 순차적으로 건식 식각하면, 기판(210) 표면에 프론트 트렌치(250)가 소정 깊이로 형성된다. 여기서, 상기 프론트 트렌치(250)는 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 유지하기 위한 것이다. 이어서, 도 3e에 도시된 바와 같이, 상기 제1 식각마스크(222)를 제거한 다음, 도 3f에 도시된 바와 같이, 접착층(220)의 상면에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제2 식각마스크(224)를 형성한다.

다음으로, 도 3g에 도시된 바와 같이, 상기 제2 식각마스크(224)를 통하여 노출된 접착층(220)을 건식 식각하여 제거하면, 유로형성층이 형성될 부분에만 접착증이 남게 된다. 그리고, 도 3h에 도시된 바와 같이 제2 식각마스크(224)를 제거하게 된다. 그리고, 상기 접착층(220)의 상면에 유로형성층을 형성하고, 그 위에 노즐을 가지는 노즐층을 형성한다.

도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

먼저, 도 4a를 참조하면, 기판(310)의 표면에 절연층(312), 히터(314) 및 보호층(316)을 순차적으로 형성한다. 다음으로, 도 4b에 도시된 바와 같이, 보호층(316)의 상면에 기판(310)과 유로형성층(미도시) 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층(320)을 소정 두께로 형성한다. 이어서, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 접착층(320)의 상면에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제1 식각마스크(322)를 형성한다.

다음으로, 도 4d에 도시된 바와 같이, 제1 식각마스크(322)를 통하여 노출된 접착층(320)을 건식 식각하여 제거하면, 유로형성층이 형성될 부분에만 접착증(320)이 남게 된다. 이어서, 도 4e에 도시된 바와 같이, 제1 식각마스크(322)를 제거한 다음, 도 4f에 도시된 바와 같이, 상기 접착층(320) 및 기판(310)의 상부에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제2 식각마스크(324)를 형성한다.

다음으로, 도 4g에 도시된 바와 같이, 상기 제2 식각마스크(324)를 통하여 보호층(316), 절연층(312) 및 기판(310)을 순차적으로 건식 식각하면, 기판(310)의 표면에 프론트 트렌치(350)가 소정 깊이로 형성된다. 그리고, 도 4h에 도시된 바와 같이, 제2 식각마스크(324)를 제거하게 된다. 그리고, 상기 접착층(220)의 상면에 유로형성층을 형성하고, 그 위에 노즐을 가지는 노즐층을 형성한다.

도 5a 내지 도 5k는 본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

먼저, 도 5a를 참조하면, 기판(410)의 표면에 절연층(412), 히터(414) 및 보호층(416)을 순차적으로 형성한다. 다음으로, 도 5b를 참조하면, 상기 보호층(416)의 상면에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제1 식각마스크(418)를 형성한다. 이어서, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 제1 식각마스크(418)를 통하여 보호층(416) 및 절연층(412)을 순차적으로 건식 식각하여, 잉크 피드홀이 형성될 부분의 기판(410) 표면을 노출시킨다.

다음으로, 도 5d에 도시된 바와 같이, 상기 제1 식각마스크(418)를 제거한 다음, 도 5e에 도시된 바와 같이, 보호층(416) 및 노출된 기판(410)의 상부에 접착층(420)을 소정 두께로 형성한다. 이어서, 도 5f에 도시된 바와 같이, 상기 접착층(420)의 상면에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제2 식각마스크(422)를 형성한다.

다음으로, 도 5g에 도시된 바와 같이, 상기 제2 식각마스크(422)를 통하여 노출된 접착층(420)을 건식 식각하여 제거하면, 유로형성층이 형성될 부분에만 접착증(420)이 남게 된다. 이어서, 도 5h에 도시된 바와 같이, 제2 식각마스크(422)를 제거한 다음, 도 5i에 도시된 바와 같이, 상기 접착층(420) 및 보호층(416)의 상부에 포토레지스트를 도포하고, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 소정 형상으로 패터닝하여 제3 식각마스크(424)를 형성한다.

다음으로, 도 5j에 도시된 바와 같이, 상기 제3 식각마스크(424)를 통하여 보호층(416), 절연층(412) 및 기판(410)을 순차적으로 건식 식각하면, 기판(410)의 표면에 프론트 트렌치(450)가 형성된다. 그리고, 도 5k에 도시된 바와 같이, 제3 식각마스크(424)를 제거하게 된다. 그리고, 상기 접착층(420)의 상면에 유로형성층을 형성하고, 그 위에 노즐을 가지는 노즐층을 형성한다.

이상과 같은 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서, 절연층 및 보호층을 건식 식각하여 패터닝할 때 플라즈마의 영향으로 포토레지스트로 이루어진 식각마스크가 손상을 받아 습식으로 제거할 수 없게 된다. 따라서, 절연층 및 보호층의 패터닝 후에 접착층을 코팅한 다음 패터닝하는 것이 바람직하다. 또한, 프론트 트렌치의 가공 후에 접착층을 코팅하게 되면 기판 표면의 단차에 의해 프론트 트렌치 벽면의 접착층이 잘 식각되지 못하고 잔류할 수 있으며, 코팅시에도 단차에 의해 코팅 상태가 불량하게 된다. 따라서, 본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 의한 순서로 프론트 트렌치와 접착층을 가공하는 것이 효과적이다.

이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트헤드에 의하면 기판과 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 건식 식각할 때 접착층이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 유지하기 위하여 기판의 표면에 형성된 프론트 트렌치에 의한 두께 불균일성을 극복하여 접착층의 표면을 최적화할 수 있다.

도 1a 내지 도 1h는 종래 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

도 2a 내지 도 2h는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

도 5a 내지 도 5k는 본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

110,210,310,410... 기판 112,212,312,412... 절연층

114,214,314,414... 히터 116,216,316,416... 보호층

120,220,320,420... 접착층 150,250,350,450... 프론트 트렌치

Claims (4)

1. 기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

   잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 보호층, 절연층 및 기판을 순차적으로 식각하여 상기 기판의 표면에 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계;

   상기 보호층 및 프론트 트렌치가 형성된 상기 기판의 상부에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계; 및

   상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 접착층을 식각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
2. 기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

   상기 보호층 위에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계;

   잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 접착층, 보호층, 절연층 및 기판을 순차적으로 식각하여 상기 기판의 표면에 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계; 및

   상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 보호층 위에 형성된 상기 접착층을 식각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
3. 기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

   상기 보호층 위에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계;

   상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 보호층 위에 형성된 상기 접착층을 식각하는 단계; 및

   잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 보호층, 절연층 및 기판을 순차적으로 식각하여 상기 기판의 표면에 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
4. 기판 위에 절연층, 히터 및 보호층을 순차적으로 형성하는 단계;

   잉크 피드홀이 형성될 부분의 상기 보호층 및 절연층을 순차적으로 식각하는 단계;

   상기 보호층 및 노출된 기판의 상부에 상기 기판과 잉크 유로를 한정하는 유로형성층 사이의 접착력을 증대시키기 위한 접착층을 형성하는 단계;

   상기 유로형성층이 형성될 부분에만 상기 접착층이 남도록 상기 접착층을 식각하는 단계; 및

   상기 보호층 및 절연층을 통하여 노출된 기판의 표면을 식각하여 상기 잉크 피드홀로부터 잉크 챔버까지의 거리를 일정하게 하기 위한 프론트 트렌치를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.