KR20050077067A - Apparatus for detecting state of arrangement of device under test in a handler - Google Patents

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Abstract

본 발명은 핸들러에서 트레이에 놓인 부품을 픽킹할 때에 픽킹의 정상 여부를 확인하기 위한 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus under test for placing a device under test for checking whether the picking is normal when picking a part placed in a tray in the handler.

본 발명은 핸들러의 다수의 픽 앤드 플레이스 기구의 상단에 각각 장착되며, 그 상단에 슬롯(slot)이 형성된 다수의 슬롯편; 상기 다수의 슬롯편에 각각 형성된 슬롯을 관통하였는지 여부에 따라 피시험 소자의 불완전상태를 감지하기 위해 기준면의 일측과 타측에 각각 설치되어 발광 및 수광하는 발광 소자 및 수광 소자; 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하는 카메라; 상기 카메라의 촬영에 필요한 빛을 조사하는 조명; 픽 앤드 플레이스 기구가 트레이의 피시험 소자를 픽킹하면, 상기 발광 소자를 발광시켜서 다수의 슬롯편에 형성된 슬롯을 통한 빛을 상기 수광 소자로 감지하여 상기 픽 앤드 플레이스 기구에 의한 피시험 소자의 정상 픽킹 여부를 확인하고, 상기 발광 소자에서 발광된 빛이 상기 수광 소자에 감지되지 않으면 상기 조명을 조사하고 상기 카메라로 상기 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하여 촬영된 영상을 분석하여 비정상 픽 앤드 플레이스 기구를 판별하는 제어부로 구성된다.The present invention includes a plurality of slot pieces each mounted on top of a plurality of pick and place mechanisms of a handler, the slots having slots formed thereon; A light emitting element and a light receiving element installed at one side and the other side of the reference plane to emit and receive light, respectively, in order to detect an incomplete state of the device under test depending on whether the slots are formed in the plurality of slot pieces, respectively; A camera for photographing the plurality of pick and place mechanisms and slot pieces; Illumination for irradiating light necessary for photographing the camera; When the pick and place mechanism picks the device under test of the tray, the light emitting device emits light to sense light through the slots formed in the plurality of slot pieces with the light receiving element, thereby normal picking of the device under test by the pick and place mechanism. Check whether the light emitted from the light emitting device is not detected by the light receiving device, and irradiate the illumination and analyze the captured image by photographing the pick and place device and the slot piece with the camera to detect an abnormal pick and place device. It is composed of a control unit for determining.

Description

핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치{Apparatus for Detecting State of Arrangement of Device Under Test in a Handler}Apparatus for Detecting State of Arrangement of Device Under Test in a Handler}

본 발명은 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 핸들러에서 트레이(tray)에 놓인 부품을 픽킹(picking)할 때에 픽킹의 정상 여부를 확인하여 피시험 소자(Device Under Test)가 정상적으로 배치되어 있는지 여부를 검사하기 위한 피시험 소자 배치 상태 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus under test for placing a device under test, and more particularly, a device under test by checking whether the picking is normal when picking a part placed on a tray in the handler. ) Relates to a device under test state inspection device for inspecting whether or not) is disposed normally.

전자부품(이하 피시험 소자로 칭함)의 온도에 따른 전기적인 특성을 테스트(test)하기 위해 핸들러가 사용되며, 이러한 핸들러의 테스트 위치로 피시험 소자를 이송시키기 위해 픽 앤드 플레이스(pick and place) 기구가 사용된다. 픽 앤드 플레이스 기구는 트레이에 장착된 다량의 피시험 소자를 핸들러의 테스트 위치로 이동되는 테스트 트레이(test tray)로 옮기기 위해 핸들러에 다수개가 설치된다.A handler is used to test the electrical characteristics of the electronic component (hereinafter referred to as the device under test) and the pick and place to transfer the device under test to the test location of this handler. The instrument is used. Pick and place mechanisms are installed in a plurality of handlers to transfer a large number of devices under test to a test tray that is moved to a test position of the handler.

핸들러에 구비되어 설치된 다수개의 픽 앤드 플레이스는 피시험 소자들을 트레이에서 테스트 트레이로 이송시킬 때, 트레이에 장착된 피시험 소자를 픽킹(picking)한 후 이를 테스트 트레이로 플레이싱(placing)하게 된다. 이러한 연속적인 과정을 통해 다량의 피시험 소자들을 핸들러에서 시험하게 된다.When the plurality of pick and place provided in the handler is transferred from the tray to the test tray, the pick and place picking the device under test mounted on the tray and then placing it on the test tray. This continuous process involves testing a large number of devices under test in a handler.

이와 같이 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구를 이용하여 다량의 피시험 소자를 트레이에서 테스트 트레이로 이송할 때 픽킹이 올바르게 되었는지 여부를 확인하게 된다. 따라서, 픽 앤드 플레이스 기구에 픽킹된 전자 부품이 제대로 픽킹되었는 지를 반드시 확인할 필요가 있다.As described above, when a large number of devices under test are transferred from the tray to the test tray using a plurality of pick and place mechanisms, it is checked whether the picking is correct. Therefore, it is necessary to confirm whether the electronic component picked into the pick and place mechanism is correctly picked.

이를 위해 종래에는 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구의 각각의 상단에 슬롯(slot)을 형성한 후 발광 및 수광 소자를 이용하여 피시험 소자의 불완전한 상태를 점검하였다. 즉, 일직선상에 배치되어 있는 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구가 피시험 소자를 픽킹시에 발광소자에서 발광된 빛이 각각의 슬롯의 통과하여 수광소자에 수신되는 경우에 피시험 소자의 배치상태가 올바르게 정렬된 것으로 확인하게 된다.To this end, conventionally, after forming slots on each of the plurality of pick and place mechanisms, an incomplete state of the device under test is checked by using a light emitting and a light receiving element. That is, when a plurality of pick and place mechanisms arranged in a straight line pick up the device under test, when the light emitted from the light emitting device passes through each slot and is received by the light receiving device, the arrangement of the device under test is correctly corrected. Will be sorted.

피시험 소자가 올바르게 배치되지 않으면 발광소자에서 발생된 빛이 발광소자의 반대편에 설치된 수광소자에 도달되지 않게 되며, 이 경우에 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구 중 어느 픽 앤드 플레이스 기구에 위치한 피시험 소자가 불완전하게 배치되어 픽 앤드 플레이스 기구의 상단에 형성된 슬롯을 통해 빛이 통과되지 않게 되어 수광소자에 빛이 도달되지 않게 된다. If the device under test is not placed correctly, the light generated by the light emitting device does not reach the light receiving device provided on the opposite side of the light emitting device. In this case, the device under test located in any of the pick and place devices is Incompletely disposed, the light does not pass through the slot formed at the top of the pick and place mechanism so that the light does not reach the light receiving element.

이와 같이 발광소자와 수광소자를 이용하여 피시험 소자의 배치상태를 검사하는 경우에 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구 중에서 어느 한 개만 불완전한 상태이면 상기 발광 및 수광 소자에 의하여 그 것이 감지되지만, 적어도 두개 이상이 불완전한 상태에 있는 경우에는 몇 개가 불완전한 상태인지를 확인할 수 없으며, 정확하게 어느 픽 앤드 플레이스에 위치한 피시험 소자가 불완전 상태인지 여부를 확인할 수 없는 문제점이 있다.In the case of inspecting the arrangement of the device under test by using the light emitting device and the light receiving device, if only one of a plurality of pick-and-place mechanisms is incomplete, the light-emitting and light-receiving device detects it. In the incomplete state, it is not possible to determine how many are incomplete, and there is a problem in that it is not possible to determine exactly which pick and place device under test is incomplete.

따라서, 본 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 핸들러에서 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구를 카메라로 촬영하여 촬영된 영상을 분석하여 어느 픽 앤드 플레이스 기구에 위치한 피시험 소자가 불완전한 상태인지를 정확하게 검사할 수 있는 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object thereof is to analyze a photographed image of a plurality of pick and place mechanisms by a camera in a handler, so that a device under test is located in a certain pick and place mechanism. The present invention provides an apparatus for inspecting device arrangement state of a handler capable of accurately inspecting an incomplete state.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 전자 부품을 테스트하는 핸들러에서 피시험 소자를 픽킹(picking)하고 플레이싱(placing)하는 픽 앤드 플레이스 기구에 픽킹된 피시험 소자의 픽킹 상태를 검사하는 장치에 있어서, 핸들러의 다수의 픽 앤드 플레이스 기구의 상단에 각각 장착되며, 그 상단에 슬롯(slot)이 형성된 다수의 슬롯편; 상기 다수의 슬롯편에 각각 형성된 슬롯을 관통하였는지 여부에 따라 피시험 소자의 불완전 상태를 감지하기 위해 핸들러 본체의 일측과 타측에 각각 설치되어 발광 및 수광하는 발광 소자 및 수광 소자; 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하는 카메라; 상기 카메라의 촬영에 필요한 빛을 조사하는 조명; 픽 앤드 플레이스 기구가 트레이의 피시험 소자를 픽킹하면, 상기 발광 소자를 발광시켜서 다수의 슬롯편에 형성된 슬롯을 통한 빛을 상기 수광 소자로 감지하여 상기 픽 앤드 플레이스 기구에 의한 피시험 소자의 정상 픽킹 여부를 확인하고, 상기 발광 소자에서 발광된 빛이 상기 수광 소자에 감지되지 않으면 상기 조명을 조사하고 상기 카메라로 상기 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하여 촬영된 영상을 분석하여 비정상 픽 앤드 플레이스 기구를 판별하는 제어부로 구성되는 것을 특징으로 하는 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an apparatus for inspecting the picking state of a device under test picked on a pick and place mechanism for picking and placing the device under test in a handler for testing an electronic component. A plurality of slot pieces, each of which is mounted on top of a plurality of pick and place mechanisms of a handler, and has slots formed thereon; A light emitting element and a light receiving element which are respectively installed on one side and the other side of the handler main body to detect an incomplete state of the element under test according to whether or not it has passed through slots formed in the plurality of slot pieces, respectively; A camera for photographing the plurality of pick and place mechanisms and slot pieces; Illumination for irradiating light necessary for photographing the camera; When the pick and place mechanism picks the device under test of the tray, the light emitting device emits light to sense light through the slots formed in the plurality of slot pieces with the light receiving element, thereby normal picking of the device under test by the pick and place mechanism. Check whether the light emitted from the light emitting device is not detected by the light receiving device, and irradiate the illumination and analyze the photographed image by photographing the pick and place device and the slot piece with the camera to detect an abnormal pick and place device. It is provided with a device under test state arrangement device of the handler, characterized in that it comprises a control unit for determining.

상기한 바와 같이 본 발명은 핸들러에서 피시험 소자가 픽킹된 픽 앤드 플레이스 기구의 상태를 카메라를 통하여 영상 분석함으로써 정확한 상태를 판별할 수 있다.As described above, the present invention can determine the correct state by analyzing the state of the pick and place mechanism picked by the device under test in the handler through a camera.

(실시예)(Example)

이하에 상기한 본 발명에 따른 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치를 바람직한 실시예가 도시된 첨부 도면을 참고하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, an apparatus for inspecting an arrangement of devices under test according to the present invention described above will be described in more detail with reference to the accompanying drawings in which preferred embodiments are shown.

첨부한 도면, 도 1은 본 발명에 따른 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a configuration diagram for explaining the configuration of an apparatus under test for placing a device under test according to the invention.

본 발명에 따른 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치는 다음과 같이 구성된다.An apparatus under test for placing a device under test according to the present invention is configured as follows.

본 발명에 따른 검사 장치는 피시험소자를 테스트하는 핸들러에서 트레이(6)에 적재된 피시험 소자(1)를 픽킹(picking)하고 플레이싱(placing)하는 픽 앤드 플레이스 기구(2)를 이용하여 피시험 소자(1)의 불완전한 상태를 검출하기 위해 상단에 슬롯(slot; 3a)이 형성된 슬롯편(3)이 각각 설치된 다수의 픽 앤드 플레이스 기구(2)와, 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 상단에 각각 장착된 슬롯편(3)에 각각 형성된 슬롯(3a)을 관통하였는지 여부에 따라 피시험 소자(1)의 불완전 상태를 감지하기 위해 핸들러 본체(5)의 일측과 타측에 각각 설치된 발광 소자(4a) 및 수광 소자(4b)와, 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구(2)를 전체적으로 촬영하기 위해 소정의 높이에 설치되어 핸들러 본체(5)에 마주 대하게 설치되어 상기 발광 소자(4a)에서 발광된 빛이 상기 수광 소자(4b)에서 검출되지 않으면 조명(12)을 조사한 후 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구(2)를 촬영하는 카메라(11)와, 상기 발광 소자(4a)가 연속적으로 점등되도록 제어하며 상기 발광 소자(4a)로부터 조사된 광이 상기 다수의 슬롯(3a)을 통과하여 수광 소자(4b)에 도달되지 않으면 상기 조명(12)을 제어하여 점등시킨 후에 상기 카메라(11)로 촬영하여 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지가 수신되면 이를 분석하여 어느 위치에 있는 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 불완전한 상태인지를 제어하는 제어부(14)로 구성된다.The inspection apparatus according to the present invention utilizes a pick and place mechanism 2 for picking and placing the device under test 1 loaded on the tray 6 in a handler for testing the device under test. In order to detect an incomplete state of the device under test 1, a plurality of pick and place mechanisms 2 each provided with a slot piece 3 having a slot 3a formed thereon, and the plurality of pick and place mechanisms ( On one side and the other side of the handler main body 5 to detect the incomplete state of the device under test 1 depending on whether or not it has passed through the slots 3a respectively formed in the slot pieces 3 respectively mounted on the upper ends of 2). The light emitting element 4a and the light receiving element 4b and the plurality of pick and place mechanisms 2 are provided at a predetermined height so as to face the handler main body 5 so as to take a picture as a whole. Light emitted from the light receiving element If not detected at 4b, the camera 11 for photographing the plurality of pick and place mechanisms 2 after irradiating the illumination 12 and the light emitting element 4a are controlled to be turned on continuously and the light emitting element ( If the light irradiated from 4a does not reach the light receiving element 4b after passing through the plurality of slots 3a, the illumination 12 is controlled to be turned on and then photographed with the camera 11 to pick up the plurality of pick-and-drops. When the image of the place mechanism 2 is received, it is composed of a control unit 14 which controls the pick and place mechanism 2 at which position it is analyzed.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치는 다음과 같이 동작한다.An apparatus under test for placing a device under test according to the present invention configured as described above operates as follows.

제어부(14)는 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)를 제어하여 트레이(6) 내에 안착된 피시험 소자(1)를 픽킹하도록 픽 앤드 플레이스 기구(2)를 수직 아래방향으로 이송시킨다. 이 상태에서 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 상단에 위치한 슬롯(3a)의 수직 높이가 일치되도록 슬롯편(3)이 각각의 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)에 설치한다. The control unit 14 controls the plurality of pick and place mechanisms 2 to transfer the pick and place mechanisms 2 vertically downward to pick the elements under test 1 seated in the tray 6. In this state, the slot pieces 3 are provided in the plurality of pick and place mechanisms 2 so that the vertical heights of the slots 3a located at the upper ends of the plurality of pick and place mechanisms 2 are coincident with each other.

다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 수직방향으로 이동하여 트레이(2)에 안착된 피시험 소자들을 픽킹함과 동시에 제어부(14)는 발광소자(4a)를 구동하여 발광소자(4a)를 통해 빛을 발생하게 된다. 발광소자(4a)에서 발생된 빛은 수광소자(4b)에서 수광하게 된다. 발광소자(4a)에서 발생된 광을 수광하는 수광소자(4b)는 핸들러 본체(5)의 지지부재(4)의 일측과 타측에 각각 설치되며, 그 내측에 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)에 설치된 슬롯편(3)을 위치시켜 발광소자(4a)에서 발생된 빛이 슬롯편(3)에 형성된 슬롯(3a)을 통해 수광소자(4b)에서 수광되도록 한다. A plurality of pick and place mechanisms 2 move in the vertical direction to pick the elements under test seated on the tray 2, and at the same time, the controller 14 drives the light emitting elements 4a through the light emitting elements 4a. Will generate light. Light generated by the light emitting element 4a is received by the light receiving element 4b. The light receiving element 4b for receiving the light generated by the light emitting element 4a is provided on one side and the other side of the support member 4 of the handler body 5, respectively, and a plurality of pick and place mechanisms 2 are provided therein. Positioning the slot piece 3 is installed in the light emitting element (4a) so that the light received from the light receiving element (4b) through the slot (3a) formed in the slot piece (3).

수광소자(4b)에서 빛이 수신되면 수광소자(4b)는 이를 전기신호로 변환시켜 제어부(14)로 전송하고, 제어부(14)는 수광소자(4b)에서 전기신호가 수신되면 현재 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 정상적으로 피시험 소자(1)를 픽킹하는 것으로 판단한다. 즉, 제어부(14)는 트레이(6)에 안착된 피시험 소자(1)가 바르게 배치된 것으로 판단하게 되고 이 상태에서 연속적으로 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)는 피시험 소자(1)를 이송시켜 플레이싱한 후 다음 피시험 소자(1)를 픽킹하게 된다. When light is received from the light receiving element 4b, the light receiving element 4b converts the signal into an electric signal and transmits it to the control unit 14. The control unit 14 receives a plurality of picks when an electric signal is received from the light receiving element 4b. It is determined that the end place mechanism 2 picks the element under test 1 normally. That is, the control unit 14 determines that the device under test 1 seated on the tray 6 is correctly disposed, and in this state, the plurality of pick and place mechanisms 2 continuously operate the device under test 1. After transfer and placement, the next device under test 1 is picked.

픽 앤드 플레이스 기구(2)가 피시험 소자(1)를 픽킹하는 동안 발광소자(4a)에서 발생된 빛이 수광소자(4b)에서 수광되지 않는 경우에 제어부(14)는 카메라(11)와 조명(12)을 제어하여 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지를 수신받게 된다. 제어부(14)에서 수신되는 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지는 카메라(11)에 의해서 촬영되며, 카메라(11)는 핸들러 본체(5)에 설치된 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 전체를 촬영할 수 있도록 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 상측에 설치되며, 카메라(11)의 인접된 위치에 다수개의 조명(12)이 설치된다. When the light generated by the light emitting element 4a is not received by the light receiving element 4b while the pick and place mechanism 2 picks the element under test 1, the control unit 14 controls the camera 11 and the illumination. (12) is controlled to receive images of the plurality of pick and place mechanism (2). The image of the pick and place mechanism 2 received by the control unit 14 is photographed by the camera 11, and the camera 11 controls the entirety of the plurality of pick and place mechanisms 2 installed in the handler body 5. It is provided above the pick-and-place mechanism 2 so that imaging can be carried out, and the several illumination 12 is installed in the adjoining position of the camera 11.

발광소자(4a)에서 발광된 빛이 수광소자(4b)에서 수광되지 않는 경우에 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지를 수신받는 제어부(14)는 이미지를 수신받기 위해 조명(12)을 구동시켜 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)로 조명한다. 이 상태에서 제어부(14)는 카메라(11)를 제어하여 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지를 촬영하게 된다. 여기서 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지는 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)를 수직 방향에서 위쪽에서 바라본 이미지를 촬영하게 된다.   When the light emitted from the light emitting device 4a is not received by the light receiving device 4b, the controller 14 receiving the image of the pick and place mechanism 2 drives the illumination 12 to receive the image. Illuminated by a plurality of pick and place mechanisms (2). In this state, the controller 14 controls the camera 11 to capture images of the plurality of pick and place mechanisms 2. Here, the images of the plurality of pick and place mechanisms 2 capture images of the plurality of pick and place mechanisms 2 viewed from above in the vertical direction.

카메라(11)에서 촬영된 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지는 제어부(14)에서 전송받아 어느 곳에 위치한 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 불완전 상태에 있는지 여부를 확인하게 된다. 즉, 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 트레이(6)에 안착된 피시험 소자(1)를 픽킹하기 위해 수직방향으로 이동한 상태에서 발광소자(4a)에서 발광된 빛이 수광소자(4b)에 도달되지 않는 상태에서 어느 곳에 위치한 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 불완전한 상태인지를 수신된 이미지를 영상처리하여 판별하게 된다. Images of the plurality of pick and place mechanisms 2 photographed by the camera 11 are received by the controller 14 to check whether the pick and place mechanism 2 located in the incomplete state. That is, the light emitted from the light emitting element 4a is received by the light receiving element 4b while the plurality of pick and place mechanisms 2 are moved in the vertical direction to pick the element under test 1 seated on the tray 6. ), It is determined by picking up the received image whether the pick and place mechanism 2 located in an incomplete state is imaged.

예를 들어, 도 1에 도시된 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2) 중 첫번째의 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 불완전하여 부품을 정확하게 파지하지 않는 경우에 첫번째 픽 앤드 플레이스 기구(2) 외에 나머지 정상적으로 피시험 소자(1)를 픽킹한 픽 앤드 플레이스 기구(2)와 수직 높이가 달라 촬영된 이미지의 명암이 다르게된다. 이 점을 이용하여 제어부(14)는 수신된 이미지와 미리 저장된 정상적인 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지의 명암을 비교하여 첫번째 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 불완전한 상태를 감지하여 피시험 소자(1)의 불완전 배치 상태를 판별하게 된다. For example, in the case where the first pick-and-place mechanism 2 of the plurality of pick-and-place mechanisms 2 shown in FIG. 1 is incomplete and does not correctly grasp the part, the rest of the pick and place mechanisms 2 are normally Since the vertical height is different from the pick and place mechanism 2 that picked the device under test 1, the contrast of the captured image is different. Using this point, the controller 14 compares the contrast of the received image with the image of the pre-stored normal pick-and-place mechanism 2 to detect the incomplete state of the first pick-and-place mechanism 2 to detect the element under test 1. Incomplete deployment status of) is determined.

또한, 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구(2) 중 적어도 두개이상의 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 불완전하게 피시험 소자(1)를 픽킹하는 경우에도 이를 카메라(11)를 이용하여 이미지를 촬영한 후 이를 수신받아 미리 저장된 정상적인 때 촬영된 픽 앤드 플레이스 기구(2)의 이미지와 비교하여 어느 곳에 위치한 픽 앤드 플레이스 기구(2)가 불완전한지를 정확하게 판별할 수 있게 된다.In addition, even when at least two or more pick and place mechanisms 2 of the plurality of pick and place mechanisms 2 incompletely pick the device under test 1, they are photographed using the camera 11 and then photographed. It is possible to accurately determine where the pick and place mechanism 2 is incomplete by comparing with the image of the pick and place mechanism 2 which has been received and stored in advance.

이와 같이 핸들러에서 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구 중 피시험 소자가 불완전한 상태인지를 카메라에 의한 영상 분석을 통하여 불완전한 상태의 픽 앤드 플레이스 기구의 위치를 정확하게 판별하여 트레이에 위치한 피시험 소자의 배치상태를 정확하게 검사할 수 있게 된다. In this way, the imager analyzes whether the device under test is incomplete among the plurality of pick-and-place mechanisms in the handler to accurately determine the position of the pick-and-place mechanism in the incomplete state so that the arrangement of the device under test in the tray can be accurately determined. You can inspect it.

이상과 같이 이루어진 본 발명은 핸들러에서 다수개의 픽 앤드 플레이스 기구 중 피시험 소자가 불완전한 상태인지를 카메라에 의한 영상 분석을 통하여 불완전한 상태의 픽 앤드 플레이스 기구의 위치를 정확하게 판별하여 트레이에 위치한 피시험 소자의 배치상태를 정확하게 검사할 수 있는 효과를 제공한다. According to the present invention made as described above, a device under test is located on a tray by accurately determining the position of an incomplete pick and place device through image analysis by a camera to determine whether the device under test is in an incomplete state among a plurality of pick and place devices in a handler. Provides the effect of accurately checking the placement of

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.In the above, the present invention has been illustrated and described with reference to specific preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and the general knowledge in the technical field to which the present invention pertains without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be made by those who possess.

도 1은 본 발명에 따른 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치의 구성을 설명하기 위한 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram for demonstrating the structure of the device under test | positioning state of the handler under test which concerns on this invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 피시험 소자 2 : 픽 앤드 플레이스 기구1: element under test 2: pick and place mechanism

2a : 노즐 3 : 슬롯편2a: nozzle 3: slot section

3a : 슬롯 4 : 브래킷3a: slot 4: bracket

4a : 발광 소자 4b : 수광 소자4a: light emitting element 4b: light receiving element

5 : 기준면 6 : 트레이5: reference plane 6: tray

11 : 카메라 12 : 조명11: camera 12: lighting

14 : 제어부14: control unit

Claims (1)

전자 부품을 테스트하는 핸들러에서 피시험 소자를 픽킹(picking)하고 플레이싱(placing)하는 픽 앤드 플레이스 기구에 픽킹된 피시험 소자의 픽킹 상태를 검사하는 장치에 있어서,An apparatus for inspecting a picking state of a device under test picked by a pick and place mechanism that picks and places a device under test in a handler for testing an electronic component, the apparatus comprising: 상기 핸들러의 다수의 픽 앤드 플레이스 기구의 상단에 각각 장착되며, 그 상단에 슬롯(slot)이 형성된 다수의 슬롯편;A plurality of slot pieces each mounted on top of the plurality of pick and place mechanisms of the handler, the slots having slots formed thereon; 상기 다수의 슬롯편에 각각 형성된 슬롯을 관통하였는지 여부에 따라 피시험 소자의 불완전 상태를 감지하기 위해 본체의 일측과 타측에 각각 설치되어 발광 및 수광하는 발광 소자 및 수광 소자;A light emitting element and a light receiving element which are respectively installed on one side and the other side of the main body to detect an incomplete state of the device under test depending on whether the slots are formed in the plurality of slot pieces, respectively; 상기 다수의 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하는 카메라;A camera for photographing the plurality of pick and place mechanisms and slot pieces; 상기 카메라의 촬영에 필요한 빛을 조사하는 조명;Illumination for irradiating light necessary for photographing the camera; 상기 픽 앤드 플레이스 기구가 트레이의 피시험 소자를 픽킹하면, 상기 발광 소자를 발광시켜서 다수의 슬롯편에 형성된 슬롯을 통한 빛을 상기 수광 소자로 감지하여 상기 픽 앤드 플레이스 기구에 의한 피시험 소자의 정상 픽킹 여부를 확인하고, 상기 발광 소자에서 발광된 빛이 상기 수광 소자에 감지되지 않으면 상기 조명을 조사하고 상기 카메라로 상기 픽 앤드 플레이스 기구 및 슬롯편을 촬영하여 촬영된 영상을 분석하여 비정상 픽 앤드 플레이스 기구를 판별하는 제어부로 구성되는 것을 특징으로 하는 핸들러의 피시험 소자 배치 상태 검사 장치.When the pick-and-place mechanism picks the device under test of the tray, the light-emitting element emits light to sense light through the slots formed in the plurality of slot pieces with the light-receiving element so that the device under test by the pick-and-place mechanism is normal. If the light emitted from the light emitting device is not detected by the light-receiving device is checked, the light is irradiated and the pick-and-place device and the slot piece are photographed by the camera to analyze the captured image, thereby making abnormal pick and place. An apparatus under test for placing a device under test, characterized in that it comprises a control unit for discriminating the mechanism.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100802436B1 (en) * 2006-01-16 2008-02-13 미래산업 주식회사 Apparatus for contacting devices to test sockets in semiconductor test handler
KR20210021502A (en) * 2015-02-11 2021-02-26 (주)테크윙 Apparatus for checking mounting status of electronic component
KR20210127672A (en) * 2021-02-10 2021-10-22 (주)테크윙 Apparatus for checking mounting status of electronic component

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