KR20050068199A - Liquid crystal display device and method for manufacturing using the same - Google Patents

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KR20050068199A
KR20050068199A KR1020030099363A KR20030099363A KR20050068199A KR 20050068199 A KR20050068199 A KR 20050068199A KR 1020030099363 A KR1020030099363 A KR 1020030099363A KR 20030099363 A KR20030099363 A KR 20030099363A KR 20050068199 A KR20050068199 A KR 20050068199A
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박광섭
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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    • G02F1/136286Wiring, e.g. gate line, drain line

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 액정 주입구 주위의 공통 버스 라인을 이중 배선 구조로하여 저항을 줄임으로써 크로스 토크 불량을 개선할 수 있는 액정표시장치 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 액정 주입을 위한 기판의 일측 가장자리 영역 상에 배치되어 있는 공통 버스 라인과, 상기 공통 버스 라인 상부에 오버랩되도록 배치되어 있는 보조 배선이 전기적으로 콘택되어 이중 배선 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.The present invention discloses a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which can improve crosstalk defects by reducing resistance by using a common bus line around a liquid crystal injection hole of a liquid crystal display device as a double wiring structure. The disclosed invention has a dual wiring structure in which a common bus line disposed on one edge region of a substrate for liquid crystal injection and an auxiliary wiring arranged to overlap an upper portion of the common bus line are electrically contacted. .

여기서, 상기 기판의 액정 주입구에 배치된 이중 배선은 상기 기판 상에 공통 버스 라인과 절연층을 사이에 두고 보조 배선이 오버랩되어 형성되고, 상기 어레이 기판의 액정 주입구 영역의 공통 버스 라인과 보조 배선의 선폭은 오염 발생 방지를 위하여 좁게 형성되며, 상기 보조 배선과 공통 버스 라인은 ITO 연결 메탈에 의하여 상기 보조 배선의 양측 가장자리 영역에서 전기적으로 콘택되어 있는 것을 특징으로 한다.Here, the double wiring disposed in the liquid crystal injection hole of the substrate is formed by overlapping the auxiliary wiring with the common bus line and the insulating layer interposed on the substrate, and the common bus line and the auxiliary wiring of the liquid crystal injection hole region of the array substrate. The line width is narrowly formed to prevent contamination, and the auxiliary line and the common bus line are electrically contacted at both edge regions of the auxiliary line by an ITO connecting metal.

Description

액정표시장치 및 그 제조방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING USING THE SAME}Liquid crystal display and its manufacturing method {LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING USING THE SAME}

본 발명은 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시장치의 액정 주입구 주위의 공통 버스 라인을 이중 배선 구조로하여 저항을 줄임으로써 크로스 토크(cross talk) 불량을 개선할 수 있는 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same. More specifically, cross talk defects can be improved by reducing resistance by using a common wiring line around a liquid crystal injection hole of a liquid crystal display device as a double wiring structure. The present invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.

최근 들어 급속한 발전을 거듭하고 있는 반도체 산업의 기술 개발에 의하여 액정표시장치는 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 강력해진 제품들이 생산되고 있다. 지금까지 정보 디스플레이 장치에 널리 사용되고 있는 CRT(cathode ray tube)가 성능이나 가격 측면에서 많은 장점을 갖고 있지만, 소형화 또는 휴대성의 측면에서는 많은 단점을 갖고 있었다.Recently, due to the rapid development of technology in the semiconductor industry, liquid crystal display devices are being manufactured with smaller and lighter weight and more powerful products. Cathode ray tube (CRT), which is widely used in information display devices, has many advantages in terms of performance and price, but has many disadvantages in terms of miniaturization or portability.

이에 반하여, 액정표시장치는 소형화, 경량화, 저 전력 소비화 등의 장점을 갖고 있어 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로 점차 주목받아 왔고, 현재는 디스플레이 장치를 필요로 하는 거의 모든 정보 처리 기기에 장착되고 있는 실정이다.On the other hand, liquid crystal displays have been attracting attention as an alternative means of overcoming the shortcomings of CRTs because they have advantages such as miniaturization, light weight, and low power consumption. Currently, almost all information processing devices that require display devices are required. The situation is attached to.

상기와 같은 액정표시장치는 TFT 소자와 화소 전극을 형성하는 어레이 기판과 레드, 그린, 블루의 칼라 필터층이 형성되어 있는 칼라 필터 기판이 액정층을 사이에 두고 합작된 구조를 하고 있다.The liquid crystal display device described above has a structure in which an array substrate for forming a TFT element and a pixel electrode and a color filter substrate having red, green, and blue color filter layers are formed with a liquid crystal layer interposed therebetween.

상기와 같이 두 기판이 합착되어 액정 패널이 제조되면, 상기 액정 패널 영역으로 구동 신호와 데이터 신호를 인가하여 화소 전극 상에 전계를 발생시키고, 발생된 전계에 의하여 액정 분자를 트위스트 시켜, 백라이트로부터 진행하는 광의 투과율을 조절한다. When the two substrates are bonded together as described above, a liquid crystal panel is manufactured, an electric field is generated on the pixel electrode by applying a driving signal and a data signal to the liquid crystal panel region, and the liquid crystal molecules are twisted by the generated electric field to proceed from the backlight. The transmittance of light is controlled.

상기 투과율이 조절된 광은 상기 칼라 필터 기판의 칼라 필터층을 진행하면서 화상을 디스플레이 하게 된다.The light whose transmittance is adjusted will display an image while traveling through the color filter layer of the color filter substrate.

도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치의 어레이 기판을 도시한 평면도이다.1 is a plan view illustrating an array substrate of a liquid crystal display according to the related art.

도 1에 도시된 바와 같이, 어레이 기판(10)은 복수개의 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인이 수직으로 교차 배열되어 단위 화소 영역을 한정하고, 상기 단위 화소 영역 상에는 전계를 발생하는 화소 전극들이 배치되어 있다.As illustrated in FIG. 1, in the array substrate 10, a plurality of gate bus lines and data bus lines are vertically intersected to define a unit pixel area, and pixel electrodes for generating an electric field are disposed on the unit pixel area. have.

상기 화소 전극들이 배치된 영역은 화상을 디스플레이하는 디스플레이 영역(15)이고, 상기 디스플레이 영역(15)에 신호를 전달하기 위한 게이트 패드와, 데이터 패드가 상기 어레이 기판(10) 가장자리 영역에 형성된다.The region in which the pixel electrodes are arranged is a display region 15 for displaying an image. A gate pad for transmitting a signal to the display region 15 and a data pad are formed in an edge region of the array substrate 10.

또한, 상기 게이트 패드 및 데이터 패드(10a)와 디스플레이 영역(15) 사이의 실 마진(seal margin) 영역(10b)에는 복수개의 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인이 상기 게이트 패드와 데이터 패드에 연결된다.In addition, a plurality of gate bus lines and data bus lines are connected to the gate pad and the data pad in a seal margin area 10b between the gate pad and the data pad 10a and the display area 15.

그리고 상기 디스플레이 영역(15)과 패드 영역(10a) 둘레를 따라, 상부 기판 상에 배치되어 있는 공통 전극에 공통 전압을 인가하기 위한 공통 버스 라인이 형성 배치되어 있다.A common bus line is formed around the display area 15 and the pad area 10a to apply a common voltage to the common electrode disposed on the upper substrate.

상기 어레이 기판(10)의 가장자리 모서리 영역에 형성되어 있는 공통 버스 라인(21) 상에는 상부 기판의 공통 전극과 전기적 연결을 위한 은접점부(20)가 형성되어 있다.On the common bus line 21 formed at the edge corner region of the array substrate 10, a silver contact portion 20 for electrical connection with the common electrode of the upper substrate is formed.

상기 은접점부(20)에는 Ag가 도팅되어 상부 기판의 공통 전극과 전기적으로 연결된다. Ag is doped in the silver contact portion 20 to be electrically connected to the common electrode of the upper substrate.

상기 공통 버스 라인(21)은 게이트 버스 라인 형성 과정에서 형성되므로 글라스 기판 상에 형성되고, 게이트 버스 라인에 신호를 인가할 때, 게이트 전압에 대하여 기준 전압을 상기 공통 버스 라인(21)에서 공통 전압을 인가한다.The common bus line 21 is formed on a glass substrate because it is formed during a gate bus line forming process. When a signal is applied to the gate bus line, a common voltage is applied to the common bus line 21 with respect to a gate voltage. Is applied.

도 2a는 상기 도 1의 액정 주입구 영역(A 영역)을 확대한 평면도이고, 도 2b는 상기 도 2a의 I-I'의 단면도이다.FIG. 2A is an enlarged plan view of the liquid crystal injection hole region (region A) of FIG. 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2A.

도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 어레이 기판의 액정 주입구 영역에 형성되는 공통 버스 라인(21)의 폭은 다른 공통 버스 라인의 폭보다 협소한 폭을 가지고 있다.As shown in FIGS. 2A and 2B, the width of the common bus line 21 formed in the liquid crystal injection hole region of the array substrate has a narrower width than that of other common bus lines.

상기 공통 버스 라인(21)의 폭을 줄이지 않은 경우에는 상기 어레이 기판이 완성되면 칼라 필터 기판인 상부 기판이 합착되고, 상기 액정 주입구 영역을 통하여 액정이 주입될 때, 상기 어레이 기판 상에 형성되어 있는 공통 버스 라인(21)에 의하여 액정 주입시 주입구 영역에 오염이 발생하는 문제가 있었다.When the width of the common bus line 21 is not reduced, when the array substrate is completed, an upper substrate, which is a color filter substrate, is bonded, and when the liquid crystal is injected through the liquid crystal injection hole region, the upper substrate is formed on the array substrate. There was a problem that contamination occurs in the injection hole region during the liquid crystal injection by the common bus line 21.

따라서, 이와 같이 액정 주입구 영역에서 오염이 발생하는 문제를 방지하기 위하여 공통 버스 라인(21)의 배선 일부를 제거하는 패턴으로 형성하였다.Therefore, in order to prevent the problem of contamination in the liquid crystal injection hole region as described above, a portion of the wiring of the common bus line 21 is removed in a pattern.

도 2b의 I-I' 영역의 단면도는 기판(30) 상에 공통 버스 라인(21)이 형성되어 있고, 상기 공통 버스 라인(21) 상에 게이트 절연막(3)이 도포되어 있다.In the cross-sectional view of the region II ′ of FIG. 2B, a common bus line 21 is formed on the substrate 30, and a gate insulating film 3 is coated on the common bus line 21.

상기 게이트 절연막(3) 상에 보호막(5)이 도포되어 있어, 상기 실마진 영역(10b) 상에는 상기 공통 버스 라인(21)만이 형성되어 있는 구조를 하고 있다.The protective film 5 is coated on the gate insulating film 3, and only the common bus line 21 is formed on the real margin region 10b.

그러나, 상기와 같이 액정 주입구 영역에 형성된 공통 버스 라인의 선 폭을 줄임으로써, 배선 저항이 상승하는 문제가 있다. However, there is a problem that the wiring resistance increases by reducing the line width of the common bus line formed in the liquid crystal injection hole region as described above.

상기와 같이 공통 버스 라인의 배선 저항이 상승하면 공통 전압의 신호 왜곡이 발생하고, 왜곡된 공통 전압은 크로스토크(cross talk) 불량을 초래하여 결과적으로 화질 품위를 떨어뜨리는 문제가 있다.As described above, when the wiring resistance of the common bus line rises, signal distortion of the common voltage occurs, and the distorted common voltage causes cross talk defects, resulting in deterioration of image quality.

본 발명은, 액정표시장치 어레이 기판의 액정 주입구 영역에 형성되는 공통 버스 라인의 배선을 이중 배선으로 형성함으로써, 배선 폭 감소로 인하여 발생하였던 신호 왜곡에 의한 크로스토크 불량을 개선할 수 있는 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention provides a liquid crystal display device that can improve crosstalk defects due to signal distortion caused by a reduction in wiring width by forming wiring lines of a common bus line formed in a liquid crystal injection hole region of a liquid crystal display device array substrate. And to provide a method for producing the object.

상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 액정표시장치는,In order to achieve the above object, the liquid crystal display device according to the present invention,

액정 주입을 위한 기판의 일측 가장자리 영역 상에 배치되어 있는 공통 버스 라인과,A common bus line disposed on one edge region of the substrate for liquid crystal injection;

상기 공통 버스 라인 상부에 오버랩되도록 배치되어 있는 보조 배선이 전기적으로 콘택되어 이중 배선 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.The auxiliary wiring disposed to overlap the upper portion of the common bus line may be electrically contacted to have a double wiring structure.

여기서, 상기 기판의 액정 주입구에 배치된 이중 배선은 상기 기판 상에 공통 버스 라인과 절연층을 사이에 두고 보조 배선이 오버랩되어 형성되고, 상기 어레이 기판의 액정 주입구 영역의 공통 버스 라인과 보조 배선의 선폭은 오염 발생 방지를 위하여 좁게 형성되며, 상기 보조 배선과 공통 버스 라인은 ITO 연결 메탈에 의하여 상기 보조 배선의 양측 가장자리 영역에서 전기적으로 콘택되어 있는 것을 특징으로 한다. Here, the double wiring disposed in the liquid crystal injection hole of the substrate is formed by overlapping the auxiliary wiring with the common bus line and the insulating layer interposed on the substrate, and the common bus line and the auxiliary wiring of the liquid crystal injection hole region of the array substrate. The line width is narrowly formed to prevent contamination, and the auxiliary line and the common bus line are electrically contacted at both edge regions of the auxiliary line by an ITO connecting metal.

그리고 상기 보조 배선 상에 은접점부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.And a silver contact portion is formed on the auxiliary wiring.

또한, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조방법은,In addition, the liquid crystal display device manufacturing method according to the present invention,

글라스 기판 상에 게이트 전극, 게이트 버스 라인, 공통 버스 라인을 형성하는 단계;Forming a gate electrode, a gate bus line, and a common bus line on the glass substrate;

상기 게이트 버스 라인이 형성된 기판 상에 게이트 절연막, 비정질 실리콘 막, 금속막을 순차적으로 도포 및 증착한 다음, 이를 식각하여 TFT 채널층과 소오스/드레인 전극 및 액정 주입구 영역의 공통 버스 라인 상에 보조 배선을 형성하는 단계;A gate insulating film, an amorphous silicon film, and a metal film are sequentially coated and deposited on the substrate on which the gate bus line is formed, and then etched to form auxiliary wiring on the common bus line of the TFT channel layer, the source / drain electrode, and the liquid crystal injection hole region. Forming;

상기 소오스/드레인 전극 및 보조 배선이 형성된 기판 상에 보호막을 도포한 다음, 상기 보조 배선의 양측 가장자리 영역을 식각하여 콘택홀을 형성하는 단계; 및Applying a protective film on the substrate on which the source / drain electrodes and the auxiliary wirings are formed, and then forming contact holes by etching both edge regions of the auxiliary wirings; And

상기 콘택홀이 형성된 기판 상에 ITO 금속막을 증착한 다음, 이를 식각하여 화소 전극과 상기 보조 배선 영역에 ITO 연결 메탈을 형성하여 상기 공통 버스 라인과 보조 배선을 콘택시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.Depositing an ITO metal film on the substrate on which the contact hole is formed, and etching the same to form an ITO connection metal on the pixel electrode and the auxiliary wiring region to contact the common bus line and the auxiliary wiring; do.

그리고 상기 보조 배선의 양측 가장자리에 형성된 콘택홀은 상기 공통 버스 라인 상부에 존재하는 게이트 절연막과 보호막을 식각하여 콘택홀을 형성하고, 상기 보조 배선 상의 보호막을 식각하여 콘택홀을 형성하고, 상기 보조 배선의 양측 가장자리는 하부에 형성된 공통 버스 라인과 상기 ITO 연결 메탈에 의하여 콘택되어 있는 것을 특징으로 한다.And contact holes formed at both edges of the auxiliary line to form a contact hole by etching a gate insulating layer and a protective layer on the common bus line, and forming a contact hole by etching the protective layer on the auxiliary line. Both sides of the edge is characterized in that the contact with the common bus line formed in the lower portion and the ITO connecting metal.

아울러, 상기 액정 주입구 영역에 형성된 공통 버스 라인과 보조 배선은 선폭이 좁은 형태인 것을 특징으로 한다.In addition, the common bus line and the auxiliary line formed in the liquid crystal injection hole region may have a narrow line width.

본 발명에 의하면, 액정표시장치 어레이 기판의 액정 주입구 영역에 형성되는 공통 버스 라인의 배선을 이중 배선으로 형성함으로써, 배선 폭 감소로 인하여 발생하였던 신호 왜곡에 의한 크로스토크 불량을 개선할 수 있다.According to the present invention, by forming the wiring of the common bus line formed in the liquid crystal injection hole region of the liquid crystal display array substrate as the double wiring, it is possible to improve the crosstalk defect due to the signal distortion caused by the reduction in the wiring width.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치 어레이 기판을 도시한 평면도이다.3 is a plan view showing a liquid crystal display array substrate according to the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 어레이 기판은 복수개의 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인이 수직으로 교차 배열되어 단위 화소 영역을 한정하고, 상기 단위 화소 영역 상에는 전계를 발생하는 화소 전극들이 형성되어 있는 디스플레이 영역(115)과, 상기 디스플레이 영역(115) 외곽으로 상기 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인에 구동 신호와 데이터 신호를 인가하기 위한 패드 영역(100a)에는 게이트 패드 및 데이터 패드가 형성되어 있다.As shown in FIG. 3, an array substrate includes a display area in which a plurality of gate bus lines and data bus lines are vertically intersected to define a unit pixel area, and pixel electrodes for generating an electric field are formed on the unit pixel area. Gate pads and data pads are formed in the pad area 100a for applying a driving signal and a data signal to the gate bus line and the data bus line outside the display area 115.

상기 게이트 패드 및 데이터 패드와 상기 디스플레이 영역(115) 사이에는 복수개의 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인 및 공통 버스 라인(121)이 형성되어 있다.A plurality of gate bus lines, data bus lines, and common bus lines 121 are formed between the gate pad and the data pad and the display area 115.

상기 공통 버스 라인(121)은 상기 디스플레이 영역(115) 외곽 둘레를 따라 형성되어 있고, 상기 게이트 버스 라인과 함께 글라스 기판 상에 형성된다.The common bus line 121 is formed along the periphery of the display area 115 and is formed on the glass substrate together with the gate bus line.

또한, 상기 게이트 패드 및 데이터 패드와 디스플레이 영역(115) 사이에는 복수개의 게이트 버스 라인과 데이터 버스 라인이 상기 게이트 패드와 데이터 패드에 연결된다.In addition, a plurality of gate bus lines and data bus lines are connected to the gate pad and the data pad between the gate pad and the data pad and the display area 115.

상기 어레이 기판(100)의 가장자리 모서리 영역에 형성되어 있는 공통 버스 라인(121) 상에는 상부 기판의 공통 전극과 전기적 연결을 위한 은접점부(120)가 형성되어 있고, 상기 은접점부(120)에는 Ag가 도팅되어 상부 기판의 공통 전극과 전기적으로 연결된다.On the common bus line 121 formed at the edge edge region of the array substrate 100, a silver contact portion 120 for electrical connection with the common electrode of the upper substrate is formed, and the silver contact portion 120 is formed on the common bus line 121. Ag is doped and electrically connected to the common electrode of the upper substrate.

그리고 본 발명에서는 상기 어레이 기판(100)의 액정 주입구 영역에서 공통 버스 라인(121)의 선폭이 줄어들기 때문에 보조 배선(도4에서 200)을 형성하고, 상기 보조 배선(도 4의 200)과 공통 버스 라인(121)을 연결하는 연결부(130)가 상기 데이터 패드 영역과 상기 데이터 패드 영역의 맞은편에 형성되어 있다.In the present invention, since the line width of the common bus line 121 is reduced in the liquid crystal injection hole region of the array substrate 100, an auxiliary wiring (200 in FIG. 4) is formed and is common with the auxiliary wiring (200 in FIG. 4). A connection unit 130 connecting the bus line 121 is formed opposite the data pad area and the data pad area.

상기 보조 배선은 소오스/드레인 전극을 형성할 때, 상기 공통 버스 라인(121)의 선폭이 줄어드는 영역에 오버랩되도록 형성한다.The auxiliary line is formed to overlap an area where the line width of the common bus line 121 decreases when forming the source / drain electrodes.

따라서, 상기 액정 주입구 영역에 존재하는 공통 버스 라인(121)은 이중 배선 구조를 하고 있는데, 글라스 기판 상에 형성된 공통 버스 라인(121)과 상기 공통 버스 라인(121) 상부에 형성된 보조 배선(도 4의 200)이 상기 연결부(130)로 연결되는데, 상기 연결부(130)는 ITO 금속으로 되어 있다.Accordingly, the common bus line 121 existing in the liquid crystal injection hole region has a double wiring structure, and the common bus line 121 formed on the glass substrate and the auxiliary wiring formed on the common bus line 121 (FIG. 4). 200 is connected to the connecting portion 130, and the connecting portion 130 is made of ITO metal.

즉, 상기 보조 배선과 공통 버스 라인이 이중 구조를 하고 있기 때문에 선폭 및 두께가 증가하여 저항이 감소 효과를 가져와 종래 기술에서 발생하였던 크로스토크 불량이 발생하지 않는다.That is, since the auxiliary wiring and the common bus line have a double structure, the line width and thickness are increased, so that the resistance is reduced, so that the crosstalk failure that has occurred in the prior art does not occur.

도 4a는 상기 도 3의 액정 주입구 영역(B 영역)을 확대한 단면도이고, 도 4b는 상기 도 4a의 K-K'의 단면도이다. 4A is an enlarged cross-sectional view of the liquid crystal injection hole region (region B) of FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view of K-K ′ of FIG. 4A.

도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 어레이 기판의 액정 주입구 영역에 형성되는 공통 버스 라인(121) 상부에 오버랩 되도록 보조 배선(200)이 형성되어 있다.4A and 4B, in the present invention, the auxiliary line 200 is formed to overlap the upper portion of the common bus line 121 formed in the liquid crystal injection hole region of the array substrate.

상기 보조 배선(200)은 소오스/드레인 전극을 형성하는 금속으로 게이트 절연막과 엑티브 층을 사이에 두고 상기 공통 버스 라인(121)과 오버랩되도록 형성되어 있다.The auxiliary line 200 is a metal forming a source / drain electrode and overlaps the common bus line 121 with a gate insulating layer and an active layer therebetween.

도 4b의 K-K' 영역의 단면도는, 기판(300) 상에 공통 버스 라인(121)이 형성되어 있고, 상기 공통 버스 라인(121) 상에 게이트 절연막(150)이 도포되어 있다. 상기 게이트 절연막(150) 상에는 엑티브층(160)이 형성되어 있고, 상기 엑티브 층(160) 상에 보조 배선(200)이 형성되어 있다.In the cross-sectional view of the region K-K 'of FIG. 4B, a common bus line 121 is formed on the substrate 300, and a gate insulating layer 150 is coated on the common bus line 121. The active layer 160 is formed on the gate insulating layer 150, and the auxiliary line 200 is formed on the active layer 160.

상기 보조 배선(200) 상에는 보호막(190)이 형성되어 있는 구조를 하고 있다.A protective film 190 is formed on the auxiliary line 200.

상기 액정 주입구 영역에서 상기 공통 버스 라인(121)의 배선 폭이 줄어드는 영역에서는 상기 보조 배선(200)의 폭도 줄여서 형성하였지만, 상하 두 개의 배선이 존재하기 때문에 선폭의 증가로 저항이 증가하는 것을 방지할 수 있다. In the region where the width of the wiring line of the common bus line 121 is reduced in the liquid crystal injection hole region, the width of the auxiliary wiring 200 is also reduced. However, since there are two upper and lower wiring lines, the resistance can be prevented from increasing by increasing the line width. Can be.

따라서, 본 발명은 종래 액정 주입구에서 발생하는 오염 발생을 방지하면서 공통 버스 라인(121)의 저항 증가를 방지하여 공통 전압의 왜곡 현상을 방지하도록 하였다.Therefore, the present invention prevents the distortion of the common voltage by preventing the increase in resistance of the common bus line 121 while preventing the occurrence of contamination occurring in the conventional liquid crystal injection hole.

도 5는 본 발명에 따른 이중 배선 구조를 도시한 평면도이다.5 is a plan view showing a double wiring structure according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 공통 버스 라인(121)과 보조 배선(200)이 연결부(130)에 의하여 연결되는데, 상기 연결부(130)는 ITO 금속으로되어 전기적으로 연결되어 있다.As shown in FIG. 5, the common bus line 121 and the auxiliary line 200 are connected by the connection unit 130, and the connection unit 130 is made of ITO metal and electrically connected thereto.

상기 공통 버스 라인(121) 상에 오버랩되게 형성된 보조 배선(200)은 주입구를 따라 Vcom 패드와 연결되는 영역까지 형성되어 있으므로, 종래 공통 버스 라인(121) 상에 형성하였던 은접점부(120)를 상기 보조 배선(200) 상에 형성하였다.Since the auxiliary line 200 overlapping the common bus line 121 is formed to be connected to the Vcom pad along the injection hole, the silver contact part 120 formed on the common bus line 121 is formed. It was formed on the auxiliary line 200.

상기 공통 버스 라인(121)은 글라스 기판 상에 형성되어 있고, 상기 보조 배선(200)은 엑티브층 상에 형성되어 있으므로, 보호막 상에 콘택홀을 형성할 때, 상기 공통 버스 라인(121) 상에 도포되어 있는 게이트 절연막과 보호막을 오픈시키고, 상기 보조 배선(200) 상의 보호막을 오픈시키는 콘택홀(140)을 형성한다.Since the common bus line 121 is formed on the glass substrate, and the auxiliary line 200 is formed on the active layer, when the contact hole is formed on the passivation layer, the common bus line 121 is formed on the common bus line 121. A contact hole 140 is formed to open the coated gate insulating layer and the passivation layer, and to open the passivation layer on the auxiliary line 200.

상기 콘택홀(140)이 형성된 영역 상에는 ITO 화소 전극을 형성하는 공정에서 ITO 금속을 사용하여 상기 공통 버스 라인(121)과 보조 배선(200)을 전기적으로 연결시킨다.In the process of forming the ITO pixel electrode on the region where the contact hole 140 is formed, the common bus line 121 and the auxiliary line 200 are electrically connected using ITO metal.

본 도면에서는 데이터 패드 영역에서 상기 공통 버스 라인(121)과 보조 배선(200)을 전기적으로 연결시킨 부분이지만, 상기 데이터 패드 영역 타측 영역에서의 공통 버스 라인(121)과 보조 배선(200)의 전기적 연결도 동일한 구조를 갖는다.In the drawing, the common bus line 121 and the auxiliary line 200 are electrically connected to each other in the data pad area, but the common bus line 121 and the auxiliary line 200 in the other area of the data pad area are electrically connected. The connection also has the same structure.

다만, 상기 데이터 패드 타측 영역에는 Vcom 패드가 존재하지 않으므로 상기 공통 버스 라인(121) 상에서 상기 보조 배선(200)을 전기적으로 연결한다.However, since the Vcom pad does not exist in the other region of the data pad, the auxiliary line 200 is electrically connected to the common bus line 121.

도 6은 상기 도 5의 X-X' 영역의 단면도이다. 6 is a cross-sectional view taken along the line X-X 'of FIG.

도 6에 도시된 바와 같이, 글라스 기판(300) 상에 게이트 버스 라인과 게이트 전극을 형성할 때, 디스플레이 영역 외곽 둘레를 따라 상기 공통 버스 라인(121)을 형성한다.As illustrated in FIG. 6, when the gate bus line and the gate electrode are formed on the glass substrate 300, the common bus line 121 is formed along the periphery of the display area.

따라서, 상기 공통 버스 라인(121)은 글라스 기판(300) 상에 존재하고 TFT 형성 과정에서 상기 공통 버스 라인(121) 상에는 게이트 절연막(150)이 도포되지만, 4마스크 공정을 기준으로할 때, 도시된 바와 같이 보조 배선(200)은 게이트 절연막(150)과 엑티브층(160)을 사이에 두고 상기 공통 버스 라인(121) 상부에 형성된다.Therefore, although the common bus line 121 is present on the glass substrate 300 and the gate insulating film 150 is coated on the common bus line 121 in the TFT forming process, it is illustrated based on a four mask process. As described above, the auxiliary line 200 is formed on the common bus line 121 with the gate insulating layer 150 and the active layer 160 interposed therebetween.

왜냐하면, 4마스크 공정에서는 상기 엑티브층(160)과 소오스/드레인 전극이 동시에 형성되기 때문에 데이터 버스 라인과 보조 배선(200) 하부에는 상기 엑티브층(160)이 그대로 존재하기 때문이다.This is because the active layer 160 remains under the data bus line and the auxiliary line 200 because the active layer 160 and the source / drain electrodes are formed at the same time in the four mask process.

상기 소오스/드레인 전극을 형성할 때, 상기 공통 버스 라인(121)과 오버랩되는 상부에는 보조 배선(200)을 형성하기 때문에, 상기 보조 배선(200)과 공통 버스 라인(121) 사이에는 게이트 절연막(150), 엑티브층(160)이 존재한다.When the source / drain electrodes are formed, an auxiliary line 200 is formed at an upper portion overlapping with the common bus line 121, so that a gate insulating layer may be formed between the auxiliary line 200 and the common bus line 121. 150, an active layer 160 is present.

상기 TFT의 소오스/드레인 전극이 형성되면 기판(300)의 전영역에 보호막(190)을 도포하고 콘택홀을 형성하는 공정을 진행하는데, 상기 콘택홀 형성 공정은 드레인 전극 상의 보호막(190)을 오픈하고, 게이트 패드와 데이터 패드를 오픈시키는 공정인데, 이때 보조 배선(200)과 공통 버스 라인(121)이 연결되는 영역을 오픈 시킨다.When the source / drain electrodes of the TFT are formed, the passivation layer 190 is applied to the entire area of the substrate 300 and a contact hole is formed. The contact hole forming process opens the passivation layer 190 on the drain electrode. In addition, the gate pad and the data pad are opened. At this time, an area where the auxiliary line 200 and the common bus line 121 are connected is opened.

따라서, 상기 보조 배선(200)과 오버랩 되지 않지만, 상기 보조 배선(200)과 연결될 영역은 보호막(190)과 게이트 절연막(150)을 식각하여 콘택홀을 형성하고, 상기 보조 배선(200) 영역에서는 보호막(190)을 식각하여 콘택홀을 형성한다.Accordingly, the region to be connected to the auxiliary line 200 is not overlapped with the auxiliary line 200, but the contact layer is formed by etching the passivation layer 190 and the gate insulating layer 150, and in the region of the auxiliary line 200. The protective layer 190 is etched to form contact holes.

상기와 같이 콘택홀 공정을 진행한 다음 화소 전극을 형성하기 위하여 기판의 전 영역 상에 ITO 금속 막을 증착하고 식각하여 화소 전극을 형성하고, 상기 보호막의 콘택홀 공정에서 오픈 시킨 게이트 패드와 데이터 패드 영역에 ITO 콘택 패드를 형성한다.After performing the contact hole process as described above, in order to form the pixel electrode, an ITO metal film is deposited and etched on the entire region of the substrate to form the pixel electrode, and the gate pad and data pad regions opened in the contact hole process of the passivation layer. Form an ITO contact pad on.

상기와 같이 화소 전극을 형성할 때, 상기 보조 배선(200)과 공통 버스 라인(121) 상에 형성된 콘택홀 영역에도 ITO 금속으로된 연결부(130)를 형성하여 상기 공통 버스 라인(121)과 보조 배선(200)을 전기적으로 콘택시킨다.When forming the pixel electrode as described above, the connection portion 130 made of ITO metal is also formed in the contact hole region formed on the auxiliary line 200 and the common bus line 121 to assist the common bus line 121. The wiring 200 is electrically contacted.

따라서, 본 발명에서는 어레이 기판의 액정 주입구 영역에서는 공통 버스 라인의 구조가 상부에 소오스/드레인 전극 금속으로된 보조 배선과 전기적으로 연결된 이중 배선으로 되어 있다.Therefore, in the present invention, in the liquid crystal injection hole region of the array substrate, the structure of the common bus line is a double wiring electrically connected to an auxiliary wiring made of a source / drain electrode metal thereon.

그러므로 액정 주입구 영역에서의 오염 발생 방지를 위하여 공통 버스 라인 선폭을 감소하였지만, 이중 배선 구조에 의하여 저항 증가를 방지할 수 있는 장점이 있다.Therefore, although the common bus line line width is reduced to prevent contamination in the liquid crystal injection hole region, the double wiring structure has an advantage of preventing the increase in resistance.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 액정표시장치 어레이 기판의 액정 주입구 영역에 형성되는 공통 버스 라인의 배선을 이중 배선으로 형성함으로써, 배선 폭 감소로 인하여 발생하였던 신호 왜곡에 의한 크로스토크 불량을 개선할 수 있는 효과가 있다. As described in detail above, the present invention forms a common bus line wiring formed in the liquid crystal injection hole region of the liquid crystal display array substrate by double wiring, thereby preventing crosstalk defects due to signal distortion caused by the reduction in wiring width. There is an effect that can be improved.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims.

도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치의 어레이 기판을 도시한 평면도.1 is a plan view showing an array substrate of a liquid crystal display according to the prior art.

도 2a는 상기 도 1의 액정 주입구 영역(A 영역)을 확대한 평면도.FIG. 2A is an enlarged plan view of the liquid crystal injection hole region (Area A) of FIG.

도 2b는 상기 도 2a의 I-I'의 단면도.FIG. 2B is a sectional view taken along line II ′ of FIG. 2A;

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치 어레이 기판을 도시한 평면도.3 is a plan view showing a liquid crystal display array substrate according to the present invention.

도 4a는 상기 도 2의 액정 주입구 영역(B 영역)을 확대한 단면도.4A is an enlarged cross-sectional view of the liquid crystal injection hole region (region B) of FIG. 2.

도 4b는 상기 도 4a의 K-K'의 단면도.4B is a cross-sectional view taken along the line K-K 'of FIG. 4A.

도 5는 본 발명에 따른 이중 배선 구조를 도시한 평면도.5 is a plan view showing a double wiring structure according to the present invention.

도 6은 상기 도 5의 X-X' 영역의 단면도.FIG. 6 is a sectional view taken along the line X-X 'of FIG. 5; FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings

121: 공통 버스 라인 200: 보조 배선121: common bus line 200: auxiliary wiring

300: 글라스 기판 150: 게이트 절연막300: glass substrate 150: gate insulating film

190: 보호막 130: 연결부190: protective film 130: connection portion

Claims (9)

액정 주입을 위한 기판의 일측 가장자리 영역 상에 배치되어 있는 공통 버스 라인과,A common bus line disposed on one edge region of the substrate for liquid crystal injection; 상기 공통 버스 라인 상부에 오버랩되도록 배치되어 있는 보조 배선이 전기적으로 콘택되어 이중 배선 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And an auxiliary line arranged to overlap the upper portion of the common bus line to be electrically contacted to have a double line structure. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판의 액정 주입구에 배치된 이중 배선은 상기 기판 상에 공통 버스 라인과 절연층을 사이에 두고 보조 배선이 오버랩되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치. And the dual wirings disposed in the liquid crystal injection hole of the substrate are formed by overlapping auxiliary wirings with a common bus line and an insulating layer interposed therebetween. 제 1 항에 잇어서,According to claim 1, 상기 어레이 기판의 액정 주입구 영역의 공통 버스 라인과 보조 배선의 선폭은 오염 발생 방지를 위하여 좁게 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And a line width of the common bus line and the auxiliary line in the liquid crystal injection hole region of the array substrate is narrow to prevent contamination. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보조 배선과 공통 버스 라인은 ITO 연결 메탈에 의하여 상기 보조 배선의 양측 가장자리 영역에서 전기적으로 콘택되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the auxiliary line and the common bus line are electrically contacted at both edge regions of the auxiliary line by an ITO connecting metal. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보조 배선 상에 은접점부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And a silver contact portion is formed on the auxiliary line. 글라스 기판 상에 게이트 전극, 게이트 버스 라인, 공통 버스 라인을 형성하는 단계;Forming a gate electrode, a gate bus line, and a common bus line on the glass substrate; 상기 게이트 버스 라인이 형성된 기판 상에 게이트 절연막, 비정질 실리콘 막, 금속막을 순차적으로 도포 및 증착한 다음, 이를 식각하여 TFT 채널층과 소오스/드레인 전극 및 액정 주입구 영역의 공통 버스 라인 상에 보조 배선을 형성하는 단계;A gate insulating film, an amorphous silicon film, and a metal film are sequentially coated and deposited on the substrate on which the gate bus line is formed, and then etched to form auxiliary wiring on the common bus line of the TFT channel layer, the source / drain electrode, and the liquid crystal injection hole region. Forming; 상기 소오스/드레인 전극 및 보조 배선이 형성된 기판 상에 보호막을 도포한 다음, 상기 보조 배선의 양측 가장자리 영역을 식각하여 콘택홀을 형성하는 단계; 및Applying a protective film on the substrate on which the source / drain electrodes and the auxiliary wirings are formed, and then forming contact holes by etching both edge regions of the auxiliary wirings; And 상기 콘택홀이 형성된 기판 상에 ITO 금속막을 증착한 다음, 이를 식각하여 화소 전극과 상기 보조 배선 영역에 ITO 연결 메탈을 형성하여 상기 공통 버스 라인과 보조 배선을 콘택시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.Depositing an ITO metal film on the substrate on which the contact hole is formed, and etching the same to form an ITO connection metal on the pixel electrode and the auxiliary wiring region to contact the common bus line and the auxiliary wiring; Liquid crystal display device manufacturing method. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 보조 배선의 양측 가장자리에 형성된 콘택홀은 상기 공통 버스 라인 상부에 존재하는 게이트 절연막과 보호막을 식각하여 콘택홀을 형성하고, 상기 보조 배선 상의 보호막을 식각하여 콘택홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.The contact holes formed at both edges of the auxiliary line may form a contact hole by etching a gate insulating layer and a protective layer on the common bus line, and form a contact hole by etching the protective layer on the auxiliary line. Display device manufacturing method. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 보조 배선의 양측 가장자리는 하부에 형성된 공통 버스 라인과 상기 ITO 연결 메탈에 의하여 콘택되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.And both edges of the auxiliary line are contacted by a common bus line formed below and the ITO connecting metal. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 액정 주입구 영역에 형성된 공통 버스 라인과 보조 배선은 선폭이 좁은 형태인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.The common bus line and the auxiliary line formed in the liquid crystal injection hole region have a narrow line width.
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