KR20050067947A - Organic electroluminescent device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 전자 발광 소자(Organic Electroluminescent Device; 이하 "유기 EL 소자"라 칭함)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기 EL 소자를 형성할 때, 양전극(anode) 표면의 균일도(uniformity)를 증가시키기 위하여 양전극을 형성한 다음, 그 상부에 얇은 절연막을 형성함으로써, 유기 EL 소자의 패널(panel)의 전류밀도를 균일하게 하여 양전극과 음전극의 단락(short)을 방지하는 유기 EL 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to organic electroluminescent devices (hereinafter referred to as " organic EL devices ") and, more particularly, to increasing the uniformity of the anode surface when forming organic EL devices. The present invention relates to an organic EL device in which a positive electrode is formed, and then a thin insulating film is formed thereon to make the current density of the panel of the organic EL device uniform, thereby preventing short circuit between the positive electrode and the negative electrode.

Description

유기 EL 소자{Organic Electroluminescent Device}Organic EL device

본 발명은 유기 전자 발광 소자(Organic Electroluminescent Device; 이하 "유기 EL 소자"라 칭함)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기 EL 소자를 형성할 때, 양전극(cathode) 표면의 균일도(uniformity)를 증가시키기 위하여 양전극 상부에 얇은 절연막을 형성함으로써, 유기 EL 소자의 패널(panel)의 전류밀도를 균일하게 하여 양전극과 음전극의 단락(short)을 방지하는 유기 EL 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to organic electroluminescent devices (hereinafter referred to as " organic EL devices "), and more particularly, to increase the uniformity of the cathode surface when forming organic EL devices. In order to form a thin insulating film on the positive electrode, the present invention relates to an organic EL device which prevents short circuit between the positive electrode and the negative electrode by making the current density of the panel of the organic EL device uniform.

일반적으로 유기 EL 소자는 기판 상부에 유리 기판 위에 투명 양전극층(transparent anode), 유기 발광층(organic light emitting layer) 및 금속 음전극층(cathode)을 순차적으로 형성한 후, 양전극과 음전극 사이에 전압을 걸어 주면 주입되는 전자와 정공이 재결합하여 들뜬 상태가 되었다가 다시 바닥상태로 에너지 전이되는 과정에서 빛이 발생되는 자발광 원리를 이용한 것으로, 기존의 액정보다 빠른 응답 속도를 가지면서, 소비 전력이 작고, 무게가 가벼우며, 휘도가 매우 좋아 차세대 디스플레이(display)로 각광 받고 있다.In general, an organic EL device is formed by sequentially forming a transparent anode, an organic light emitting layer, and a metal cathode on a glass substrate on a glass substrate, and then applying a voltage between the cathode and the cathode. When the injected electrons and holes are recombined and then excited, the light is generated in the process of energy transfer to the ground state. The light emission principle is faster than conventional liquid crystals. It is light in weight and very good in brightness, making it a popular next-generation display.

일반적인 유기 EL 소자의 기본 구성에 대해 하기에 기술한다.The basic structure of a general organic EL element is described below.

석영 등의 투명 재질로 형성된 투명 기판 상에 양전극(anode)을 형성하고, 그 상부에 정공 주입층 및 정공 수송층(hole transporting layer)을 순차적으로 형성한다.An anode is formed on a transparent substrate formed of a transparent material such as quartz, and a hole injection layer and a hole transporting layer are sequentially formed thereon.

이때, 상기 양전극은 일 함수가 커서 정공 주입이 용이하고, 가시 광선 범위에서 투명한 특성을 가지는 인디움 틴 옥사이드(indium tin oxide; ITO) 및 인디움 아연 옥사이드(indium zinc oxide; IZO)등과 같은 금속 산화막을 이용하여 형성한 후, 거칠기를 감소시키는 공정을 수행한다.In this case, the positive electrode is easy to inject holes due to the large work function, and metal oxide films such as indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) having transparent characteristics in the visible light range. After forming using, a process of reducing roughness is performed.

상기 공정은 기판 상부에 ITO를 1500Å두께로 형성한 후, 연마 공정 및 산소 플라즈마 식각 공정을 수행하여 증착 두께의 약 10% 정도를 제거하는 것으로, 예를 들면 연마 공정으로 약 80Å 두께를 제거한 다음, 산소 플라즈마 식각 공정으로 약 50Å 두께를 제거하여 거칠음(roughness) 정도를 개선하는 것이 바람직하다.After the ITO is formed on the substrate to a thickness of 1500 kPa, the polishing process and the oxygen plasma etching process are performed to remove about 10% of the deposition thickness. For example, the polishing process removes about 80 kPa of the thickness. It is desirable to improve the roughness by removing the thickness of about 50 μs by an oxygen plasma etching process.

상기 정공 주입층은 소자 내에 정공 주입을 원활하도록 하면서, 양전극으로 사용하고 있는 ITO의 일함수(work function)와 최고 점유 분자궤도함수(highest occupied molecular orbital; HOMO)가 비슷한 값을 가지고 있는 쿠퍼 프탈로시아나인(copper phthalocyanine; CuPC) 또는 페닐 아민계 화합물, 예를 들면 4,4,4-트리(3-메틸페닐-페닐아미노)트리페닐아민(4,4',4"-Tris(3-methylphenyl-phenylamino)-triphenylamine; m-MTDATA)등을 이용한다.The hole injection layer is a cooper phthalate which has a similar value between the work function of the ITO used as the positive electrode and the highest occupied molecular orbital (HOMO) while facilitating hole injection in the device. Cyanine (copper phthalocyanine (CuPC) or phenyl amine compounds such as 4,4,4-tri (3-methylphenyl-phenylamino) triphenylamine (4,4 ', 4 "-Tris (3-methylphenyl- phenylamino) -triphenylamine; m-MTDATA).

정공 수송층은 양전극으로부터 주입된 정공을 발광층을 수송하기 위해 α-NPD 또는 N,N'-디페닐-N,N'-비스(3-메틸페닐)-1,1'-디페닐-4,4'-디아민(N,N'-dipheny-N,N'-bis(3-methyl phenyl)-1,1'-diphenyl-4,4'-diamine; TPD)등을 사용한다. The hole transporting layer is α-NPD or N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1'-diphenyl-4,4 'to transport holes injected from the positive electrode to the light emitting layer. -Diamine (N, N'-dipheny-N, N'-bis (3-methyl phenyl) -1,1'-diphenyl-4,4'-diamine; TPD) is used.

정공 수송층 상부에 유기 발광층(emitting layer)을 형성한다.An organic emitting layer is formed on the hole transport layer.

상기 유기 발광층에서는 양전극으로부터 주입된 정공과 음전극으로부터 주입된 전자에 의해 여기자(exciton)가 형성되는데, 이때 발광층에 적용되는 유기 물질의 고유 파장 및 호스트(host)와 주입물(dopant)의 구성비를 조절하여 여기자로부터 여러 가지 특정한 파장의 발광색을 구현할 수 있다.In the organic light emitting layer, excitons are formed by holes injected from a positive electrode and electrons injected from a negative electrode, and in this case, an intrinsic wavelength of an organic material applied to the light emitting layer and a composition ratio of a host and a dopant are controlled. Thus, emission colors of various specific wavelengths can be realized from excitons.

상기 유기 발광층 형성 물질로는 적색(red)의 경우 디씨제이티비(4-dicyanomethylene-6-cp-julolidinostyryl-2-tert-butyl-4H-pyran; DCJTB)를 이용하고, 녹색(green)의 경우 폴리(페닐렌 비닐렌)(poly(phenylene vinylene); PPV) 및 알루미늄키노리놀(aluminum tris(8-hydroxyquinoline; Alq3)을 이용하며, 청색 (blue)의 경우 PPP, PF, PFV 및 스피로-PF(spiro-PF) 등으로 형성한다.The organic light-emitting layer forming material is used in the case of red (4-dicyanomethylene-6-cp-julolidinostyryl-2-tert-butyl-4H-pyran; DCJTB), and in the green (poly) (Phenylene vinylene) (PPV) and aluminum trinorol (8-hydroxyquinoline; Alq 3 ); PPP, PF, PFV and Spiro-PF (blue) spiro-PF) and the like.

상기 유기 발광층 상부에 전자 수송층(electron transporting layer) 및 전자 주입층(electron injection layer)을 순차적으로 형성한다.An electron transporting layer and an electron injection layer are sequentially formed on the organic emission layer.

상기 전자 수송층은 음전극으로부터 공급되는 전자를 원활하게 수송하기 위하여 1,2,3-트리아졸(1,2,4-triazole) 또는 전자 수송체로서의 특성을 가지는 알루미늄키노리놀을 사용한다. The electron transport layer uses 1,2,3-triazole (1,2,4-triazole) or aluminum kinolinol having characteristics as an electron transporter to smoothly transport electrons supplied from the negative electrode.

또한, 이온 절연막 상부에 일 함수가 낮은 금속 예를 들면, 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca) 이나, 일 함수는 높지만 공정 시 안정되고 증착이 용이한 금속, 예를 들면 알루미늄 (Al) 등을 사용하여 금속 음전극(cathode)을 형성한다.In addition, a metal having a low work function, such as magnesium (Mg) or calcium (Ca), or a metal having a high work function but stable in the process and easy to deposit, such as aluminum (Al), is used on the ion insulating layer. To form a metal cathode.

전술한 바와 같이, 유기 EL 소자를 제조하는 경우에 양전극인 ITO 패턴을 형성한 다음, 정공 주입층을 형성하기 전에 연마 공정과 산소 플라즈마 식각 공정을 수행하여 ITO 전극의 표면 균일도를 향상시키고자 하는 것은 ITO 표면의 거칠음 정도가 낮을수록 소자 내부의 전류밀도가 어느 한쪽으로 몰리지 않고, 고르게 나타날 수 있도록 하기 위한 것이다.As described above, in the manufacture of the organic EL device, to improve the surface uniformity of the ITO electrode by forming an ITO pattern, which is a positive electrode, and then performing a polishing process and an oxygen plasma etching process before forming the hole injection layer. The lower the roughness of the surface of the ITO, the more the current density inside the device does not rush to either side, so as to appear evenly.

그러나, 상기와 같은 산소 플라즈마 식각 공정으로는 양전극 표면의 균일도를 좋게 하는데 한계가 있으므로, 양전극 상부에 일정 부분 고르지 못한 부분이 생길 수가 있는데, 이러한 문제점은 국부적으로 전류밀도가 차이를 가져오고, 이 차이에 따라서 전극 물질이 반대편 음전극 쪽으로 이동(migration) 하게 되어 궁극적으로는 양전극과 음전극간에 단락이 발생된다. However, in the oxygen plasma etching process as described above, there is a limit to improving the uniformity of the surface of the positive electrode, so that a certain uneven portion may be formed on the upper portion of the positive electrode. This problem causes a local current density difference, and this difference As a result, the electrode material migrates toward the opposite negative electrode, resulting in a short circuit between the positive electrode and the negative electrode.

본 발명은 상기와 같은 간략한 문제를 해결하기 위한 연구를 하던 중 양전극을 형성한 후, 그 상부에 얇은 절연막을 형성함으로써, 양전극 표면의 균일도를 가져와 양전극과 음전극간의 단락을 방지할 수 있는 유기 EL 소자를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is an organic EL device capable of preventing the short circuit between the positive electrode and the negative electrode by bringing uniformity of the surface of the positive electrode by forming a thin insulating film on top of the positive electrode after forming a positive electrode during the study to solve the above-mentioned brief problem The purpose is to provide.

또한, 본 발명에서는 상기 유기 EL 소자를 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the method of manufacturing the said organic electroluminescent element.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 전류밀도가 균일하도록 양전극 상부에 얇은 절연막이 형성된 유기 EL 소자를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an organic EL device having a thin insulating film formed on the positive electrode so that the current density is uniform.

이하 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명에서는 투명 기판 상부에 양전극, 양전극 표면을 평탄화시키는 절연막, 유기발광층 및 음전극이 순차적으로 형성된 유기 EL 소자를 제공한다.The present invention provides an organic EL device in which a positive electrode, an insulating film for planarizing a positive electrode surface, an organic light emitting layer, and a negative electrode are sequentially formed on a transparent substrate.

이때, 상기 절연막은 양전극의 표면을 좀 더 균일하게 하기 위한 것으로, 파릴렌(parylene)계 화합물을 사용하는데, 예를 들면, 폴리(2-클로로-1,4-디메틸 벤젠) (poly(2-chloro-1,4-dimethyl benzene)), 폴리(1,4-디클로로-2,5-디메틸벤젠) (poly(1,4-dichloro-2,5-dimethylbenzene)) 및 폴리(2-플루오로-1,4-디메틸벤젠) (poly(2-fluoro-1,4-dimethylbenzene), 바람직하게는 폴리(파라-자일렌) (poly(para-xylene))을 이용한다. In this case, the insulating film is to make the surface of the positive electrode more uniform, and uses a parylene-based compound, for example, poly (2-chloro-1,4-dimethyl benzene) (poly (2- chloro-1,4-dimethyl benzene)), poly (1,4-dichloro-2,5-dimethylbenzene) (poly (1,4-dichloro-2,5-dimethylbenzene)) and poly (2-fluoro- 1,4-dimethylbenzene) (poly (2-fluoro-1,4-dimethylbenzene), preferably poly (para-xylene) (poly (para-xylene)) is used.

또한, 상기 절연막은 이량체(dimer)로 사용되는 물질이 단량체(monomer)로 분해되는 온도 조건의 화학기상증착(chemical vapored deposition; CVD) 방법을 이용하여 1∼50Å, 바람직하게는 1∼30Å의 두께로 증착 된다.The insulating film may be formed using a chemical vapor deposition (CVD) method at a temperature condition in which a substance used as a dimer is decomposed into a monomer, and is preferably 1 to 50 kPa, preferably 1 to 30 kPa. It is deposited to a thickness.

이때, 상기 파릴렌은 진공 중에서 CVD 공정에 의해 형성되는 고분자를 말하며, 이와 같은 파릴렌계 화합물은 저유전상수 및 전기적 절연 특성을 가지고 있을 뿐만 아니라, 높은 광투과도와 고신뢰성 및 모체의 형상에 관계없이 균일한 두께의 코팅막을 형성할 수 있는 물질로써, 전지 전자, 반도체 및 의료용 광학 기기 등 현존하는 모든 물체에 코팅이 가능한 물질이다. In this case, the parylene refers to a polymer formed by a CVD process in a vacuum, such a parylene-based compound not only has a low dielectric constant and electrical insulating properties, but also high light transmittance, high reliability and uniformity regardless of the shape of the mother As a material capable of forming a coating film of one thickness, it is a material capable of coating all existing objects such as battery electronics, semiconductors, and medical optical devices.

이러한 파릴렌의 증착 공정(process)은 온도상승에 의해 승화부내에 잠입한 다이머가 기체상태의 이량체로 승화되고, 승화된 이량체가 고온의 열 분해 영역을 통과하며 기체상태의 단량체로 분해되고, 다시 단량체들은 증착부로 이동하여 증착하고자 하는 모체 표면에 고분자를 형성하면서 증착된다.The process of deposition of parylene is such that the dimer submerged in the sublimation unit by the temperature rise sublimes into gaseous dimer, and the sublimed dimer passes through the high temperature thermal decomposition zone and decomposes into gaseous monomers. The monomers are transferred to the deposition unit and are deposited while forming a polymer on the mother surface to be deposited.

또한, 본 발명에서는 In the present invention,

유기 기판 상부에 양전극을 형성하는 단계;Forming a positive electrode on the organic substrate;

상기 양전극 상부에 절연막을 형성하는 단계;Forming an insulating film on the positive electrode;

상기 절연막 상부에 정공 주입층 및 정공 수송층을 순차적으로 형성하는 단계;Sequentially forming a hole injection layer and a hole transport layer on the insulating film;

상기 전자 수송층 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계; Forming an organic emission layer on the electron transport layer;

상기 유기 발광층 상부에 전자 수송층 및 전자 주입층을 순차적으로 형성하는 단계; 및 Sequentially forming an electron transporting layer and an electron injection layer on the organic emission layer; And

상기 전자 주입층 상부에 음전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기 EL 소자의 제조 방법을 제공한다. It provides a method for manufacturing an organic EL device comprising the step of forming a negative electrode on the electron injection layer.

이때, 상기 양전극 형성 단계 후에, 양전극 표면을 폴리셔를 사용하여 연마하는 단계를 더 포함할 수 있다.In this case, after the positive electrode forming step, the positive electrode surface may further comprise the step of polishing using a polisher.

이하 본 발명을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하되, 유기 EL 소자의 구성을 설명하기 위한 계략도이다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which is a schematic view for explaining the configuration of an organic EL element.

도 3을 참조하면, 기판(30) 상부에 1500Å의 두께로 양전극(31)을 형성하고, 연마 공정을 수행한 다음, 그 상부에 얇은 절연막(32)을 약 15Å의 두께로 형성한다. 이때, 상기 양전극은 ITO 및 IZO 등과 같은 금속 산화막을 이용하여 형성한다음, 상기 연마 공정으로 형성된 양전극의 약 80Å 두께를 제거하는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 3, a positive electrode 31 is formed on the substrate 30 to a thickness of 1500 μs, a polishing process is performed, and a thin insulating layer 32 is formed on the upper portion thereof to a thickness of about 15 μs. At this time, the positive electrode is formed using a metal oxide film such as ITO and IZO, and then, it is preferable to remove the thickness of about 80 kHz of the positive electrode formed by the polishing process.

또한, 상기 절연막은 이량체를 단량체로의 열분해방법을 이용하여 CVD 방법으로 형성한다.In addition, the insulating film is formed by a CVD method using a thermal decomposition method of a dimer into monomers.

그 후, 절연막(32) 상부에 정공 주입층(33) 및 정공 수송층(35) 및 유기 발광층(37)을 순차적으로 형성한 다음, 그 상부에 전자 수송층(38), 전자 주입층(39) 및 음전극(131)을 형성한다.Thereafter, the hole injection layer 33, the hole transport layer 35, and the organic light emitting layer 37 are sequentially formed on the insulating film 32, and then the electron transport layer 38, the electron injection layer 39, The negative electrode 131 is formed.

이때, 상기 본 발명의 유기 EL 소자를 구성하는 정공 주입층/정공 수송층, 발광층, 전자 수송층/주입층 및 음전극 등은 일반적인 것을 이용하여 형성한다.At this time, the hole injection layer / hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer / injection layer, and the negative electrode, which constitute the organic EL device of the present invention, are formed using a common one.

본 발명에서는 상기와 같은 파릴렌계 화합물을 이용하여 양전극 표면에 얇은 절연막을 형성하는 경우, 표면이 균일한 양전극을 형성하여 양전극의 일함수(work function)도 낮출 수 있으므로, 정공 주입 효과를 크게 하면서 유기 EL 소자의 전류 밀도를 균일하게 할 수 있다. In the present invention, when the thin insulating film is formed on the surface of the positive electrode using the parylene-based compound as described above, since the positive electrode has a uniform surface, the work function of the positive electrode can be lowered. The current density of the EL element can be made uniform.

상기와 같이 전류 밀도가 균일하게 형성되면 전류 밀도가 국부적으로 크게 되는 것이 방지되므로, 열발생이 증가되는 것을 막을 수 있다. 즉, 유기 EL 소자의 열발생이 클 경우 전극 물질의 이동도가 증가되지만, 본 발명에서처럼 양전극 표면을 균일하게 하여 열발생을 감소시키면 전극 물질의 이동을 막을 수 있으므로, 양전극과 음전극간의 단락을 방지할 수 있고, 금속의 발광층으로의 이동을 막아 발광 시의 효율이 향상시킬 수 있다. If the current density is uniformly formed as described above, since the current density is prevented from being locally increased, heat generation can be prevented from increasing. That is, when the heat generation of the organic EL device is large, the mobility of the electrode material is increased, but as the present invention uniformly reduces the heat generation by uniformizing the surface of the positive electrode, thus preventing the movement of the electrode material, thereby preventing a short circuit between the positive electrode and the negative electrode. The efficiency at the time of light emission can be improved by preventing the metal from moving to the light emitting layer.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 양전극 표면의 균일도를 향상시키므로, 전자 주입 효과를 높일 뿐만 아니라, 전류 밀도를 균일하게 하여 양전극과 음전극간의 전극 물질의 이동을 막아 유기 EL 소자의 단락을 방지할 수 있고, 금속의 발광층으로의 이동을 막아 발광 시의 효율이 향상시킬 수 있다. As described above, the present invention improves the uniformity of the surface of the positive electrode, thereby increasing the electron injection effect, and uniformizing the current density to prevent the movement of the electrode material between the positive electrode and the negative electrode, thereby preventing short circuit of the organic EL element. The efficiency at the time of light emission can be improved by preventing the metal from moving to the light emitting layer.

도 1은 종래 유기 EL 소자의 양전극 형성 후의 표면을 나타낸 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure which shows the surface after formation of the positive electrode of the conventional organic electroluminescent element.

도 2는 본 발명의 유기 EL 소자의 절연막이 형성된 양전극 형성 후의 표면을 나타낸 도면.Fig. 2 is a view showing the surface after formation of the positive electrode on which the insulating film of the organic EL device of the present invention is formed.

도 3은 본 발명의 유기 EL 소자의 기본 구성을 설명하기 위한 계략도.3 is a schematic view for explaining the basic configuration of an organic EL device of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명 ><Brief description of the main parts of the drawing>

10, 20, 30 : 기판 11, 21, 31 : 양전극10, 20, 30: substrate 11, 21, 31: positive electrode

32, 23 : 절연막 33 : 정공 주입층32, 23 insulating film 33: hole injection layer

35 : 정공 수송층 37 : 유기 발광층35 hole transport layer 37 organic light emitting layer

38 : 전자 주입층 39 : 전자 수송층38: electron injection layer 39: electron transport layer

131 : 음전극 131: negative electrode

Claims (4)

투명 기판 상부에 양전극, 양전극 표면을 평탄화시키는 절연막, 유기발광층 및 음전극이 순차적으로 형성되어 있는 유기 EL 소자.An organic EL device in which a positive electrode, an insulating film for planarizing a positive electrode surface, an organic light emitting layer, and a negative electrode are sequentially formed on a transparent substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연막은 파릴렌(parylene)계 화합물을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.The insulating film is an organic EL device, characterized in that formed using a parylene-based compound. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 파릴렌계 화합물은 폴리(2-클로로-1,4-디메틸 벤젠)(poly(2-chloro-1,4-dimethyl benzene)), 폴리)1,4-디클로로-2,5-디메틸벤젠)(poly(1,4-dichloro-2,5-dimethylbenzene)), 폴리(2-플루오로-1,4-디메틸벤젠)(poly(2-fluoro-1,4-dimethylbenzene) 및 폴리(파라-자일렌)(poly(para-xylene))으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나의 화합물을 이용하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.The parylene-based compound is poly (2-chloro-1,4-dimethyl benzene) (poly (2-chloro-1,4-dimethyl benzene)), poly) 1,4-dichloro-2,5-dimethylbenzene) ( poly (1,4-dichloro-2,5-dimethylbenzene)), poly (2-fluoro-1,4-dimethylbenzene) (poly (2-fluoro-1,4-dimethylbenzene) and poly (para-xylene An organic EL device using one compound selected from the group consisting of (poly (para-xylene)). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연막은 1∼50Å두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.And the insulating film is formed at a thickness of 1 to 50 GPa.
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