KR20050066408A - Tension adjusting apparatus for a driving belt - Google Patents

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Abstract

본 발명은 구동벨트 장력조절장치(tensioner)에 관한 것이다.The present invention relates to a drive belt tensioner.

본 발명은, 구동벨트의 장력을 조절하기 위한 구동벨트 장력조절장치에 있어서, 외경상에 길이방향으로 나사산부를 구비하고, 내설된 스프링에 의해 실린더로드의 후단측이 탄지되며, 외경상의 특정위치에 피감지부를 구비하는 실린더와, 상기 실린더로드의 선단에 결합되어 그 선단에 상기 구동벨트의 측면에 접하여 회전되는 회전체를 구비하는 푸쉬부재와, 상기 실린더의 내부압력을 측정하는 압력센서와, 상기 실린더의 외부에 구비된 피감지부를 특정위치에서 감지하도록 구비되는 감지부와, 상기 실린더에 구비된 나사산부에 치합되는 기어부를 회전시키는 모터와, 상기 압력센서, 감지부 및 모터에 연결되어 제어를 실시하고 상기 구동벨트의 상태정보신호를 외부에 나타내는 제어부를 포함한다.The present invention, in the drive belt tension control device for adjusting the tension of the drive belt, provided with a threaded portion in the longitudinal direction on the outer diameter, the rear end side of the cylinder rod is supported by a built-in spring, the specific position on the outer diameter A push member having a cylinder having a sensing part, a rotating body coupled to the front end of the cylinder rod and rotating at the front end thereof in contact with the side of the driving belt, a pressure sensor for measuring an internal pressure of the cylinder, A sensing unit provided to detect a sensing unit provided at an outside of the cylinder at a specific position, a motor for rotating a gear unit engaged with a threaded unit provided at the cylinder, and connected to the pressure sensor, sensing unit, and motor for control. And a control unit configured to externally display the state information signal of the driving belt.

따라서, 구동벨트의 장력이 실시간적으로 자동조절되어 항상 적절한 장력을 유지할 수 있어, 장비의 정상가동으로 생산성을 향상시키는 효과가 있다.Therefore, the tension of the drive belt is automatically adjusted in real time to maintain the appropriate tension at all times, there is an effect of improving the productivity in the normal operation of the equipment.

Description

구동벨트 장력조절장치{TENSION ADJUSTING APPARATUS FOR A DRIVING BELT}Driving belt tensioning device {TENSION ADJUSTING APPARATUS FOR A DRIVING BELT}

본 발명은 구동벨트 장력조절장치(tensioner)에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 구동벨트의 장력을 실시간적으로 자동조정할 수 있는 구동벨트 장력조절장치에 관한 것이다.The present invention relates to a drive belt tensioner, and more particularly to a drive belt tensioner that can automatically adjust the tension of the drive belt in real time.

일반적으로, 반도체소자 제조는 여러 물리적, 화학적 가공공정을 거쳐 이루어지므로, 반도체 웨이퍼는 각 단위공정으로 이송되는 수많은 과정을 거치게 된다.In general, since semiconductor device manufacturing is performed through various physical and chemical processing processes, the semiconductor wafer is subjected to numerous processes transferred to each unit process.

이러한 이송을 위해 이송로봇이 이용되며, 이송로봇에는 각종 모터(스텝모터), 구동벨트(타이밍벨트)와 같은 동력전달수단이 구비되나, 이송로봇은 그 사용시간이 많아 구동벨트의 장력(tension)이 빨리 약화되어 작동위치를 벗어나거나 웨이퍼를 떨어뜨리는 경우를 종종 발생시킨다.The transfer robot is used for such transfer, and the transfer robot is provided with power transmission means such as various motors (step motors) and drive belts (timing belts), but the transfer robots have a lot of use time, so the tension of the drive belts This quickly weakens and often causes the wafer to run out of position or drop the wafer.

상기한 동력전달수단은 반도체라인의 이송로봇 뿐만 아니라 전산업분야에서 통상적으로 이용되는 것으로서, 도 1에 도시된 바와 같이 구동모터의 회전축에 설치된 구동풀리(10)와 종동축에 설치된 종동풀리(20) 사이가 구동벨트(30)로 연결되어, 구동모터의 회전력이 구동벨트(30)에 의해 종동축으로 전달된다.The power transmission means is not only a transfer robot of a semiconductor line, but also commonly used in all industrial fields, as shown in FIG. 1, a drive pulley 10 installed on a rotating shaft of a drive motor and a driven pulley 20 installed on a driven shaft. ) Is connected to the drive belt 30, the rotational force of the drive motor is transmitted to the driven shaft by the drive belt (30).

구동벨트(30)의 회전력 전달이 정확하게 이루어지기 위해서는 구동벨트(30)의 장력이 항상 적정한 상태를 유지해야 하며, 이를 위해 구동벨트(30)의 장력을 조절하기 위한 장치가 이용된다.In order to accurately transmit the rotational force of the driving belt 30, the tension of the driving belt 30 must always be maintained in an appropriate state, and an apparatus for adjusting the tension of the driving belt 30 is used for this purpose.

종래의 장력조절장치중 반도체라인의 이송로봇 분야에 적용되는 형태는 도 1에 나타낸 바와 같이, 구동모터가 설치된 모터서포트(40)를 베이스플레이트(50)측으로 잡아당겨 줌으로써 장력을 조절하는 방식으로, 문제가 발생된 후 조치하는 식이어서 조치전까지는 생산차질을 발생시키는 문제점이 있었다.As shown in FIG. 1, the conventional tension control device is applied to the field of the transfer robot of the semiconductor line in such a manner as to adjust the tension by pulling the motor support 40 provided with the driving motor toward the base plate 50. There was a problem that caused the production disruption until after the problem occurred to take action.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로써, 구동벨트의 장력이 실시간으로 자동조절되도록 하는 구동벨트 장력조절장치를 제공하는데 그 목적이 있다. An object of the present invention is to provide a driving belt tension adjusting device which is designed to solve the above problems, and to automatically adjust the tension of the driving belt in real time.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 구동벨트의 장력을 조절하기 위한 구동벨트 장력조절장치에 있어서, 외경상에 길이방향으로 나사산부를 구비하고, 내설된 스프링에 의해 실린더로드의 후단측이 탄지되며, 외경상의 특정위치에 피감지부를 구비하는 실린더와, 상기 실린더로드의 선단에 결합되어 그 선단에 상기 구동벨트의 측면에 접하여 회전되는 회전체를 구비하는 푸쉬부재와, 상기 실린더의 내부압력을 측정하는 압력센서와, 상기 실린더의 외부에 구비된 피감지부를 특정위치에서 감지하도록 구비되는 감지부와, 상기 실린더에 구비된 나사산부에 치합되는 기어부를 회전시키는 모터와, 상기 압력센서, 감지부 및 모터에 연결되어 제어를 실시하고 상기 구동벨트의 상태정보신호를 외부에 나타내는 제어부를 포함하는 구동벨트 장력조절장치를 제공한다.The present invention for achieving the above object, in the drive belt tension control device for adjusting the tension of the drive belt, having a threaded portion in the longitudinal direction on the outer diameter, the rear end side of the cylinder rod by the built-in spring And a push member having a cylinder having a sensing portion at a specific position on an outer diameter, a rotating body coupled to a distal end of the cylinder rod and rotating at a distal end thereof in contact with a side of the driving belt, and an internal pressure of the cylinder. A pressure sensor to be measured, a sensing unit provided to sense a sensing unit provided on the outside of the cylinder at a specific position, a motor for rotating a gear unit engaged with the threaded unit provided in the cylinder, and the pressure sensor and sensing unit And a control unit connected to the motor to perform control and to display the state information signal of the drive belt to the outside. It provides an apparatus.

본 발명의 상기 목적과 여러가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 구동벨트 장력조절장치를 개략 도시한 도면이다. 2 is a view schematically showing a drive belt tensioning device according to the present invention.

장력조절장치(100)는 구동벨트(30)에 대해 직각방향으로 설치되며, 그 구성은, 외경상에 길이방향으로 나사산부(112)를 구비하고, 내설된 스프링(114)에 의해 실린더로드(116)의 후단측이 탄지되며, 외경상의 특정위치에 피감지부(118)를 구비하는 실린더(110)와, 실린더로드(116)의 선단에 결합되며 그 선단에는 구동벨트(30)의 측면에 접하여 회전되는 구슬, 롤러와 같은 회전체(122)를 구비하는 푸쉬부재(120)와, 실린더(110)의 내부압력을 측정하는 압력센서(130)와, 실린더(110)의 피감지부(118)를 감지하는 감지부(140)와, 실린더(110)의 외부 나사산부(112)에 치합되는 기어부(152)를 회전시키는 모터(150)와, 상기한 압력센서(130), 감지부(140) 및 모터(150)에 연결되어 제어를 실시하고, 교체시점과 같은 구동벨트(30)의 상태정보신호를 외부에 나타내는 제어부(160)를 포함하여 구성된다.Tension adjusting device 100 is installed in a direction perpendicular to the drive belt 30, the configuration is provided with a threaded portion 112 in the longitudinal direction on the outer diameter, the cylinder rod ( The rear end side of the 116 is touched, and is coupled to the front end of the cylinder 110 having a sensing unit 118 at a specific position on the outer diameter, and the cylinder rod 116, the front end of the drive belt 30 Push member 120 having a rotating body 122 such as a ball, a roller that rotates in contact with the pressure, the pressure sensor 130 for measuring the internal pressure of the cylinder 110, and the sensing unit 118 of the cylinder 110 ), A sensing unit 140 for sensing, a motor 150 for rotating the gear unit 152 engaged with the external threaded portion 112 of the cylinder 110, the pressure sensor 130, the sensing unit ( 140 is connected to the motor 150 to control, including a control unit 160 to externally display the status information signal of the drive belt 30, such as when the replacement It is composed.

이상과 같은 구성을 갖는 구동벨트 장력조절장치(100)는 다음과 같이 작동된다.The drive belt tension control device 100 having the above configuration is operated as follows.

먼저, 장력조절장치(100)는 구동풀리(10)와 종동풀리(20)의 사이에 그 푸쉬부재(120)의 회전체(122)가 구동벨트(30)의 측면에 직각방향으로 접하도록 설치되어, 구동벨트(30)가 회전시 푸쉬부재(120)의 회전체(122)가 밀착되어 함께 회전된다.First, the tension adjusting device 100 is installed between the driving pulley 10 and the driven pulley 20 so that the rotating body 122 of the push member 120 contacts the side surface of the driving belt 30 at right angles. When the driving belt 30 rotates, the rotating body 122 of the push member 120 comes into close contact with and rotates together.

이 상태에서 구동벨트(30)의 사용에 따라 구동벨트(30)가 이완되면, 실시간으로 실린더(110)에 내설된 스프링(114)의 탄성력에 의해 실린더로드(116)가 전진하여 푸쉬부재(120)가 구동벨트(30)를 밀어 그 궤적을 늘림으로써 이완된 것을 보상하여 다시 구동벨트(30)가 팽팽한 상태를 유지하도록 한다.When the driving belt 30 is relaxed in accordance with the use of the driving belt 30 in this state, the cylinder rod 116 is advanced by the elastic force of the spring 114 installed in the cylinder 110 in real time to push the member 120. ) To compensate for the relaxation by pushing the drive belt 30 to increase its trajectory so that the drive belt 30 is kept taut again.

이와 같이, 실린더로드(116)가 전진되면, 실린더로드(116)의 후방측 실린더(110) 내부의 압력은 저하되게 되며, 압력센서(130)는 그 변화를 측정하여 결과데이터를 제어부(160)로 송출한다.As such, when the cylinder rod 116 is advanced, the pressure inside the cylinder 110 at the rear side of the cylinder rod 116 is reduced, and the pressure sensor 130 measures the change to control the result data. Send it out.

제어부(160)는 수신된 데이터를 기반으로 모터(150)에 신호를 송출하여 모터(150)를 구동시킴으로써 모터(150)에 연결된 기어부(152)가 회전되어 기어부(152)에 치합된 나사산부(112)를 갖는 실린더(110)가 위에서 실린더로드(116)가 전진한 길이만큼 전방측으로 전진되게 된다.The controller 160 transmits a signal to the motor 150 based on the received data to drive the motor 150 to rotate the gear part 152 connected to the motor 150 to be engaged with the gear part 152. The cylinder 110 having the portion 112 is advanced forward by the length of the cylinder rod 116 advanced from above.

이때, 실린더로드(116)는 상대적으로 실린더(110)에 내설된 스프링(114)을 원상태로 압축시키고, 실린더(110) 내부의 압력은 초기상태로 복귀된다.At this time, the cylinder rod 116 relatively compresses the spring 114 in the cylinder 110 to its original state, and the pressure inside the cylinder 110 is returned to the initial state.

다음으로, 구동벨트(30)가 계속적으로 사용되어 다시 이완되면, 상기한 과정을 되풀이 하게 된다.Next, when the drive belt 30 is continuously used and relaxed again, the above process is repeated.

이로써, 실린더(110)는 조금씩 전방으로 이동하게 되며, 실린더(110)가 전방의 소정위치까지 도달하면, 그 외부에 부설된 피감지부(118)가 감지부(140)에 감지되며, 감지부(140)는 그 사실을 제어부(160)로 송출한다.As a result, the cylinder 110 moves forward little by little. When the cylinder 110 reaches a predetermined position in front of the cylinder 110, the sensing unit 118 attached to the outside is sensed by the sensing unit 140, and the sensing unit 140 transmits the fact to the control unit 160.

그러면, 제어부(160)는 구동벨트(30)의 교체주기가 되었음을 외부에 나타내게 된다.Then, the controller 160 indicates to the outside that the replacement cycle of the drive belt 30 has been made.

이로써, 구동벨트(30)는 교체되게 된다.As a result, the drive belt 30 is to be replaced.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.In the foregoing description, it should be understood that those skilled in the art can make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention as merely illustrative of a preferred embodiment of the present invention.

본 발명에 따르면, 구동벨트의 장력이 실시간적으로 자동조절되어 항상 적절한 장력을 유지할 수 있어, 장비의 정상가동으로 생산성을 향상시키는 효과가 달성될 수 있다.According to the present invention, the tension of the drive belt is automatically adjusted in real time to maintain the appropriate tension at all times, the effect of improving productivity in the normal operation of the equipment can be achieved.

도 1은 종래의 구동벨트 장력조절장치를 개략 도시한 도면,1 is a view schematically showing a conventional drive belt tensioning device,

도 2는 본 발명에 따른 구동벨트 장력조절장치를 개략 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a drive belt tensioning device according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 구동풀리 20 : 종동풀리10: driving pulley 20: driven pulley

30 : 구동벨트 40 : 모터서포트30: drive belt 40: motor support

50 : 베이스플레이트 100 : 장력조절장치50: base plate 100: tension control device

110 : 실린더 112 : 나사산부110: cylinder 112: threaded portion

114 : 스프링 116 : 실린더로드114: spring 116: cylinder rod

118 : 피감지부 120 : 푸쉬부재118: to be detected 120: push member

122 : 회전체 130 : 압력센서122: rotating body 130: pressure sensor

140 : 감지부 150 : 모터140: detection unit 150: motor

152 : 기어부 160 : 제어부152: gear unit 160: control unit

Claims (1)

구동벨트의 장력을 조절하기 위한 구동벨트 장력조절장치에 있어서,In the drive belt tension control device for adjusting the tension of the drive belt, 외경상에 길이방향으로 나사산부를 구비하고, 내설된 스프링에 의해 실린더로드의 후단측이 탄지되며, 외경상의 특정위치에 피감지부를 구비하는 실린더와,A cylinder having a threaded portion in the longitudinal direction on the outer diameter, the rear end side of the cylinder rod being held by a built-in spring, and having a sensing portion at a specific position on the outer diameter; 상기 실린더로드의 선단에 결합되어 그 선단에 상기 구동벨트의 측면에 접하여 회전되는 회전체를 구비하는 푸쉬부재와,A push member coupled to the front end of the cylinder rod, the push member having a rotating body which is rotated in contact with a side surface of the driving belt; 상기 실린더의 내부압력을 측정하는 압력센서와,A pressure sensor for measuring the internal pressure of the cylinder, 상기 실린더의 외부에 구비된 피감지부를 특정위치에서 감지하도록 구비되는 감지부와,A sensing unit provided to sense a sensing unit provided at an outside of the cylinder at a specific position; 상기 실린더에 구비된 나사산부에 치합되는 기어부를 회전시키는 모터와,A motor for rotating the gear part engaged with the threaded part provided in the cylinder; 상기 압력센서, 감지부 및 모터에 연결되어 제어를 실시하고 상기 구동벨트의 상태정보신호를 외부에 나타내는 제어부를 포함하는 구동벨트 장력조절장치.And a control unit connected to the pressure sensor, the sensing unit, and the motor to control and display the state information signal of the driving belt to the outside.
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