KR20050061231A - 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치 - Google Patents

텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 PDP. LCD등 평판디스플레이의 기판에 필요한 패턴을 형성하는 공정에 사용되는 노광장치에 관한 것으로, 특히 포토마스크 대신에 디지털마이크로미러디바이스를 사용하여 대형기판에 패턴을 형성할 수 있으며 다수의 광원와 텔레센트릭 결상광학계를 사용하여 균일한 품질의 패턴을 형성하는 것이 가능한 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치에 관한 것이다.

Description

텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치{Digital Exposure Apparatus Using Telecentric Optical System}
본 발명은 PDP. LCD등 평판디스플레이 제품에 사용되는 기판에 필요한 패턴을 형성하는 공정에 사용되는 노광장치에 관한 것으로, 특히 포토마스크 대신에 디지털마이크로미러디바이스를 사용하여 대형기판에 패턴을 형성할 수 있으며 다수의 광원와 텔레센트릭 결상광학계를 사용하여 균일한 품질의 패턴을 형성하는 것이 가능한 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치에 관한 것이다.
종래에는 필요한 패턴이 형성된 포토마스크를 사용하여 기판에 패턴을 형성하여 왔다.
한편 최근에는 PDP등에 사용되는 기판의 생산성의 향상을 위하여 하나의 원판에서 여러 장의 기판을 만드는 공법인 다면취 공법이 개발되고 있으며 이의 적용을 위하여 대형 기판에 패턴을 노광할 수 있는 장치가 요구되고 있다. 그러나 종래의 포토마스크는 포토마스크의 제작사이즈의 한계, 마스크에서 발생하는 이물질의 관리의 곤란등으로 다면취공법에 적용하기 어려운 문제가 있다.
따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 포토마스크를 이용하지 않는 노광장치가 개발되고 있으며, LCD패널을 이용한 장치와 디지털 마이크로미러 디바이스(Digital Micromirror Device; 이하 'DMD'라 한다)를 이용한 장치가 있다.
LCD패널을 이용한 노광장치는 다수개의 단위액정으로 형성되는 LCD패널에 원하는 패턴을 형성하고 자외선이 선별적으로 LCD패널을 투과하여 기판에 노광되도록 구성된다. 그러나 LCD패널을 이용한 노광장치는 LCD패널의 자외선 투과율이 낮아 노광시간이 길어지는 문제점이 있다.
DMD를 이용한 노광장치는 DMD에 필요한 패턴을 형성하고 이에 자외선을 반사시켜 필요한 패턴이 기판에 노광되도록 함으로써 패턴을 형성하는 포토마스크가 필요 없는 노광장치이다.
상기 DMD는 소정크기의 디바이스로서 내부에 각 해상도에 따라 수십만장의 미세한 거울을 하나의 칩으로 집적하여 광원의 빛을 반사시켜 패턴을 형성하는 방식을 사용한다. 예를 들면 상기 DMD는 크기가 1.5cm인 디바이스의 표면에 16micron 크기의 미세거울 수십만장을 집속하고 각 미세거울의 설정각도를 달리함으로써 미세거울에서 특정방향으로 반사되는 빛에 의하여 패턴을 형성하게 된다.
도 1은 종래의 DMD(20)를 이용한 디지털노광장치이며, 광원인 수은램프(30)의 빛을 집속하여 평행광을 이루도록 하는 다수의 렌즈와 미러로 구성되어 자외선 평행광을 투사하는 광학계와 상기 광학계에서 전달된 자외선을 선택적으로 반사시켜 작업대상인 기판(10)에 패턴을 형성하는 DMD(20) 및 기판(10)이 고정되는 베이스를 포함하여 구성되어 있다.
그러나 종래의 DMD(20)를 이용한 디지털노광장치는 수은램프(30)를 사용함으로써 수은램프의 특성상 수명이 짧고 사용시간에 따라 파워가 저하되므로 형성된 패턴의 품질이 균일하지 않은 문제점이 있다.
또한 종래의 DMD(20)를 이용한 디지털노광장치는 DMD(20)에서 반사된 빛이 직접 기판(10)에 조사되므로 노광영역의 크기가 DMD(20)의 크기를 벗어날 수 없게 된다. 따라서 기판(10)에 형성되는 패턴의 단위크기가 DMD(20)의 단위크기와 같게 되고 다양한 크기의 패턴을 형성하기에 불편한 문제점이 있다.
본 발명은 PDP. LCD등 평판디스플레이 제품에 사용되는 기판에 필요한 패턴을 형성하기 위한 노광장치에 관한 것으로, 특히 포토마스크 대신에 디지털마이크로미러디바이스를 사용하여 대형기판에 패턴을 형성할 수 있으며 다수의 광원와 텔레센트릭 결상광학계를 사용하여 균일한 품질의 패턴을 형성하는 것이 가능한 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치에 관한 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치는 DMD를 이용하여 기판에 패턴을 형성하는 노광장치에 있어서, 적어도 두 개의 레이저다이오드로 형성되는 레이저다이오드부와 상기 레이저다이오드와 결합하여 상기 각 레이저다이오드에서 발진하는 레이저빔을 하나의 레이저빔으로 집속하여 전송하는 빔화이버를 포함하는 광원계, 하나 이상의 렌즈로 구성되며 상기 빔화이버와 결합하여 상기 빔화이버에서 조사되는 레이저빔의 단면에서의 강도 분포와 크기를 조정하는 조명계, 상기 조명계에서 조사된 레이저빔을 상기 DMD에 조사하고, 상기 DMD에서 반사되면서 특정패턴이 형성되어 재입사된 레이저빔을 일정방향으로 조사하는 프리즘을 포함하는 광학계, 적어도 하나의 렌즈로 구성되며 상기 광학계에서 조사된 레이저빔의 크기와 진행방향을 조정하여 상기 기판에 조사하는 텔레센트릭 결상광학계 및 상기 기판에 조사되는 레이저빔의 광량변화를 측정하여 상기 레이저다이오드의 파워를 제어하는 제어부로 전송하는 광량측정센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치에 대한 구성도를 나타낸다. 도 3은 본 발명에 따른 디지털노광장치에 사용되는 조명계의 구성을 나타낸다. 도 4a, 도 4b는 본 발명에 따른 텔레센트릭 결상광학계의 작용과 구성을 나타낸다.
본 발명에 따른 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치는 레이저빔을 발진시키는 광원계(40)와 레이저빔의 강도를 균일하게 하는 조명계(50)와 레이저빔을 DMD(20)에 조사하고, 일정한 패턴이 형성되어 재반사되는 레이저빔의 경로를 변경하는 광학계(60)와 패턴이 형성된 레이저빔의 크기를 조정하여 기판(10)에 이미지를 결상하는 텔레센트릭 결상광학계(70) 및 광량측정센서(80)를 포함하여 구성된다.
상기 광원계(40)는 적어도 두개의 레이저다이오드(43)를 가지는 레이저다이오드부(42)와 빔화이버(44) 및 커플링(48)을 포함하여 구성된다.
상기 레이저다이오드부(42)는 적어도 두개의 레이저다이오드(43)로 구성되며 각각 일정한 파워의 레이저빔을 발진하게 된다. 상기 레이저다이오드(43)는 사용 중에 어느 하나의 파워가 감소하면 다른 레이저다이오드(43)의 파워를 증가시켜 전체적인 레이저빔의 파워는 동일하게 유지할 수 있도록 한다.
상기 빔화이버(44)는 전단의 제1빔화이버(45)와 후단의 제2빔화이버(46)로 구성되며, 상기 레이저다이오드(43)에서 출사되는 레이저빔을 일정 영역으로 전송하게 된다. 상기 제1빔화이버(45)는 상기 레이저다이오드(43)의 수와 동일한 수의 빔화이버로 구성되며, 상기 제1빔화이버(45)의 일단은 상기 레이저다이오드(43)에 결합되고 상기 제1빔화이버(45)의 타단은 상기 커플링(48)에 결합된다. 상기 제1빔화이버(45)는 상기 레이저다이오드(43)에서 출사되는 레이저빔을 상기 커플링(48)까지 전송한다. 상기 제2빔화이버(46)는 하나의 빔화이버로 구성되며, 상기 제2빔화이버(46)의 일단은 상기 커플링(48)에 연결되고 상기 제2빔화이버(46)의 타단은 상기 조명계(50)에 연결되어 상기 커플링(48)에서 집속된 레이저빔을 상기 조명계(50)로 전송한다.
상기 커플링(48)은 상기 제1빔화이버(45)와 제2빔화이버(46) 사이에서 위치하며 상기 제1빔화이버(45)의 의하여 전송되는 다수의 레이저빔을 하나의 레이저빔으로 집속하여 상기 제2빔화이버(46)로 전송한다. 따라서 상기 제2빔화이버(46)를 통하여 전송되는 레이저빔은 상기 제1빔화이버(45)에서 전송되는 다수의 레이저빔의 파워를 합친 파워와 동일한 파워를 갖게 된다.
상기 조명계(50)는 하나 이상의 렌즈로 구성되어 상기 제2빔화이버(46)를 통하여 전송되는 레이저빔을 레이저빔 단면에서의 강도분포가 균일한 특정크기의 레이저빔으로 정형하게 된다. 특히 사용하고자 하는 상기 DMD(20)의 크기와 동일한 크기의 레이저빔으로 정형한다.
도 3은 상기 조명계(50)의 렌즈의 구성에 대한 일시예로서 콜리메이션렌즈(Collimation Lens)(52)와 플라이아이렌즈(Fly-eye Lens)(54) 및 필드렌즈(56)(Field Lens)로 구성된 조명계(50)를 나타낸다.
상기 콜리메이션렌즈(52)는 하나 이상의 불록렌즈 또는 오목렌즈로 구성되며 상기 제2빔화이버(46)에서 조사되는 레이저빔을 레이저빔의 진행방향과 평행한 레이저빔으로 만든다.
상기 플라이아이렌즈(54)는 장방형의 단면을 가지는 미소렌즈로 구성되며 상기 콜리메이션렌즈(52)를 통과한 레이저빔의 단면 에너지 분포 또는 강도를 균일하게 형성하여 레이저빔의 단면에서의 에너지 차이를 최소화한다.
상기 필드렌즈(56)는 하나 이상의 불록렌즈 또는 오목렌즈로 구성되며 상기 플라이아이렌즈(54)에서 전송된 레이저빔을 일정한 크기로 정형하면서 일정한 위치의 영역으로 집광한다.
상기 광학계(60)는 반사경(62)와 프리즘(64)을 포함하여 구성된다.
상기 반사경(62)은 상기 조명계(50)의 전단에 위치하여 상기 조명계(50)에서 출사하는 레이저빔의 경로를 변경하게 된다. 상기 반사경(62)은 레이저빔의 경로를 변경할 때 레이저빔의 크기와 레이저빔의 단면에서의 강도가 균일하게 유지되도록 한다. 상기 반사경(62)은 상기 광학계(60)의 구성에 따라 사용되지 않거나, 하나 이상이 사용될 수 있음은 물론이다.
상기 프리즘(64)은 바람직하게는 단면이 직각이등변삼각형 형상으로 형성되어 상기 반사경(62)과 상기 DMD(20) 사이에 위치하며, 상기 반사경(62)에서 반사되는 레이저빔이 빗면으로 입사하여 상기 DMD(20)에 조사되도록 설치된다.
한편 상기 반사경(62)은 조명계(50)에서 조사되는 레이저빔이 프리즘(64)의 빗면으로 입사되지 않고 직접 DMD(20)로 조사될 수 있도록 구성할 수 있음은 물론이다.
상기 프리즘(64)의 빗면을 통하여 입사된 레이저빔은 상기 DMD(20)에 수직으로 조사되며 상기 DMD(20)에서 다시 반사된다. 상기 DMD(20)에서 재반사된 후 상기 프리즘(64)의 수직면을 통하여 상기 프리즘(64)에 재입사된 레이저빔은 상기 프리즘(64)의 빗면에서 반사되어 수평면을 통과하여 하방방향으로 진행하게 한다.
한편 상기 광학계(60)는 상기 프리즘(64)대신에 여러 개의 반사경으로 구성되어 상기 DMD(20)에서 반사되는 레이저빔을 하방방향으로 진행하도록 할 수 있음은 물론이다.
상기 DMD(20)는 미세거울을 패턴형성에 필요한 미세거울과 필요없는 미세거울로 구분하여 그 각도를 다르게 설정함으로 패턴의 형성에 필요한 레이저빔만이 일정방향으로 반사되도록 형성되며, 상기 DMD(20)에서 반사되는 레이저빔이 상기 프리즘에 재입사되도록 상기 프리즘(64)의 수직면에서 소정 거리 이격되어 설치된다. 따라서 상기 DMD(20)는 패턴을 형성하는데 필요한 레이저빔만을 상기 프리즘(64)의 수직면을 통하여 재입사시키고 패턴의 형성에 필요하지 않은 레이저빔은 상기 프리즘(64)으로 입사되지 않도록 다른 방향으로 반사시킨다.
상기 DMD(20)는 상기 DMD(20)의 미세거울 후면에 설치되는 구동수단(도면에 표시하지 않음)과 제어수단(도면에 표시하지 않음)을 통하여 각 미세거울의 각도를 설정하게 된다.
상기 텔레센트릭 결상광학계(70)는 도 4a에서 보는 바와 같이 상기 프리즘(64)과 상기 기판(10) 사이에 위치하며, 상기 프리즘(64)에서 입사된 레이저빔을 진행방향과 크기 등을 조정하여 상기 기판(10)에 조사한다.
상기 텔레센트릭 결상광학계(70)는 입사되는 레이저빔의 진행방향이 레이저빔의 축과 평행하도록 조정하여 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)와 기판(10)사이의 거리가 초점심도내에서 동일한 크기의 이미지를 기판에 형성하도록 하여 준다. 즉 도 4a에서 보는 바와 같이 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)는 기판(10)이 10a에 위치하거나 10b에 위치하거나 관계없이 기판에는 동일한 크기의 이미지가 형성되도록 한다. 따라서 다이나믹 포커싱에 의하여 기판(10)에 패턴을 형성할 때 상기 기판(10)과 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)의 거리에 민감하지 않고 상기 기판(10)에 동일한 크기의 이미지를 형성할 수 있게 된다.
상기 텔레센트릭 결상광학계(70)는 사용되는 렌즈의 배율을 조정하여 기판(10)에 형성되는 패턴의 해상력과 크기를 변경할 수 있다. 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)에 의하여 기판(10)에 형성되는 패턴의 해상력이 향상되면 패턴의 모서리에서도 뚜렷한 이미지가 형성된다.
도 4b는 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)의 구성에 대한 실시예를 나타낸다. 도 4b에서 보는 바와 같이 다수의 오목렌즈와 볼록렌즈 및 비구면 렌즈로 구성된다. 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)의 렌즈 구성은 상기 도 4b외에도 다양하게 변경할 수 있음은 물론이다.
상기 광량측정센서(80)는 상기 기판(10)의 소정의 위치에 설치되어 기판(10)에 조사되는 레이저빔의 광량을 측정하게 된다. 상기 광량측정센서(80)에서 측정한 레이저빔의 광량은 상기 레이저다이오드 제어부(도면에 표시하지 않음)로 전송된다. 상기 레이저다이오드 제어부는 레이저빔의 광량이 일정이상으로 변화하게되면 상기 레이저다이오드(43)의 출력을 제어하여 상기 기판(10)에는 항상 일정한 광량의 레이저빔이 조사되도록 한다.
다음은 본 발명에 따른 텔레센트릭 결상광학계(70)를 이용한 디지털노광장치의 작용에 대하여 설명한다.
먼저 상기 DMD(20)는 기판(10)에 형성하고자 하는 패턴에 해당하는 레이저빔의 패턴이 반사되도록 미세거울을 조정하여 설치한다.
상기 다수의 레이저다이오드(43)에서 출사되는 특정 파장의 레이저빔은 상기 제1빔화이버(45)와 제2빔화이버(46)를 통하여 하나의 레이저빔으로 집속되어 상기 조명계(50)로 전송된다. 상기 조명계(50)는 전송된 레이저빔을 상기 DMD(20)의 크기와 동일한 크기를 갖는 레이저빔으로 정형하여 전송하게되며 이때 레이저빔의 단면에서의 강도분포도 균일하게 조정된다.
상기 조명계(50)에서 전송된 레이저빔은 상기 조명계(50)의 하부에 위치한 상기 광학계(60)의 반사경(62)에 의하여 진행경로가 변경되어 상기 프리즘(64)의 빗면으로 입사된다. 상기 프리즘(64)으로 입사된 레이저빔은 상기 DMD(20)로 조사되며 다시 반사된다. 상기 DMD(20)에서 반사되는 레이저빔 중 패턴의 형성에 필요한 레이저빔은 상기 프리즘(64)으로 재입사되나 패턴의 형성에 필요하지 않은 레이저빔은 상기 프리즘(64)으로 입사되지 않는다.
상기 프리즘(64)으로 재입사된 레이저빔은 상기 프리즘(64)의 빗면에 반사되어 하방방향으로 진행하여 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)로 전송된다. 상기 텔레센트릭 결상광학계(70)는 레이저빔의 크기와 진행방향을 조정하여 기판(10)에 조사하며 패턴을 형성한다
상기 기판(10)에 패턴을 형성하는 과정에서 상기 기판(10)을 일정간격으로 이동하면서 상기 레이저빔을 반복적으로 조사하게 되면 기판(10) 전체적으로 원하는 패턴을 형성할 수 있게 된다.
한편 상기 광량측정센서(80)는 상기 레이저다이오드(43)에서 출사되어 상기 기판(10)에 조사되는 레이저빔의 광량을 측정하여 상기 레이저다이오드 제어부(도면에 표시하지 않음)로 전송하게 된다. 상기 레이저다이오드 제어부는 상기 레이저빔의 광량에 변화가 있으면 상기 레이저다이오드(43)의 어느 하나의 파워를 증가시켜 레이저빔의 강도를 조정하게 된다. 따라서 상기 기판(10)에는 항상 일정한 강도의 레이저빔이 조사된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 특허청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
본 발명에 의한 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치에 의하면 다수의 레이저다이오드가 광원으로 동시에 사용되므로 각 레이저다이오드의 파워를 조정하여 동일한 강도의 레이저빔이 장시간 출사되도록 하는 것이 가능하며 기판에 형성되는 패턴의 품질이 일정하게 유지되도록 하는 효과가 있다.
본 발명에 의하면 텔레센트릭 결상광학계를 사용함으로 기판과 텔레센트릭 결상광학계의 거리에 관계없이 기판에 일정한 크기의 이미지를 결상하여 패턴을 형성하는 것이 가능하게 되어 다이나믹 포커싱에 의하여 기판에 패턴을 형성할 때 용이하게 동일한 패턴을 기판에 형성할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 의하면 텔레센트릭 결상광학계를 사용함으로 결상렌즈의 배율을 조정하여 패턴의 해상력과 크기를 용이하게 조정할 수 있으며, 모서리의 형상이 뚜렷한 패턴을 형성하는 것이 가능하게 된다. 따라서 기판에 일정패턴을 반복적으로 연속하여 형성하는 경우에 각 단위 패턴간의 경계에서도 형상이 뚜렷하여 연속적인 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 DMD를 이용한 디지털 노광장치에 대한 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치의 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 디지털노광장치에 사용되는 조명계의 구성도.
도 4a, 도 4b는 본 발명에 텔레센트릭 결상광학계의 작용과 구성을 나타내는 구성도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
기판 - 10 DMD - 20
광원계 - 40 조명계 - 50
광학계 - 60 텔레센트릭 결상광학계 - 70

Claims (5)

  1. DMD를 이용하여 기판에 패턴을 형성하는 노광장치에 있어서,
    적어도 두 개의 레이저다이오드로 형성되는 레이저다이오드부와
    상기 레이저다이오드와 결합하여 상기 각 레이저다이오드에서 발진하는 레이저빔을 하나의 레이저빔으로 집속하여 전송하는 빔화이버를 포함하는 광원계;
    하나 이상의 렌즈로 구성되며 상기 빔화이버와 결합하여 상기 빔화이버에서 조사되는 레이저빔의 단면에서의 강도 분포와 크기를 조정하는 조명계;
    상기 조명계에서 조사된 레이저빔을 상기 DMD에 조사하고, 상기 DMD에서 반사되면서 특정패턴이 형성되어 재입사된 레이저빔을 일정방향으로 조사하는 프리즘을 포함하는 광학계;
    적어도 하나의 렌즈로 구성되며 상기 광학계에서 조사된 레이저빔의 크기와 진행방향을 조정하여 상기 기판에 조사하는 텔레센트릭 결상광학계; 및
    상기 기판에 조사되는 레이저빔의 광량변화를 측정하여 상기 레이저다이오드의 파워를 제어하는 제어부로 전송하는 광량측정센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 빔화이버는
    상기 레이저다이오드의 수와 동일한 수의 빔화이버로 구성되며 일단이 상기 레이저다이오드에 결합되는 제1빔화이버와
    상기 제1빔화이버의 타단에 결합되어 상기 제1빔화이버에서 전송되는 다수의 레이저빔을 하나의 레이저빔으로 집속하는 커플링과
    하나의 빔화이버로 구성되며 일단은 상기 커플링에 접속되고 타단은 상기 조명계에 결합되어 집속된 레이저빔을 전송하는 제2빔화이버를 포함하는 것을 특징으로 하는 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 조명계는
    상기 빔화이버에서 전송되는 레이저빔을 레이저빔의 진행방향에 대하여 평행한 레이저빔으로 형성하는 콜리메이션렌즈와
    적어도 하나의 미소렌즈로 구성되며 상기 콜리메이션렌즈를 통과한 레이저빔의 단면에서의 강도를 균일하게 형성하는 플라이아이렌즈와
    상기 플라이아이렌즈에서 전송된 레이저빔을 일정한 크기의 레이저빔으로 정형하는 필드렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 프리즘은
    단면이 직각이등변삼각형인 삼각기둥의 형상으로 형성되며,
    상기 조명계에서 조사되어 빗면으로 입사된 레이저빔을 상기 DMD에 전송하고 상기 DMD에서 반사되어 재입사된 레이저빔을 상기 빗면에서 반사시켜 상기 텔레센트릭 결상광학계에 조사되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 광학계는
    상기 조명계의 전단에 위치하여 전송된 레이저빔을 일정각도로 반사시켜 상기 프리즘으로 조사되도록 하는 반사경을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 텔레센트릭 결상광학계를 이용한 디지털노광장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100863071B1 (ko) * 2007-05-01 2008-10-10 (주)하드램 405나노미터 레이저다이오드를 이용한 멀티노광장치
KR101585966B1 (ko) 2015-06-10 2016-01-15 유니램 주식회사 롱 아크 유브이 램프를 이용한 경사 노광 및 경화장치에 사용되는 광학 부품

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