KR20050036087A - Getter - Google Patents

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    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
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    • H01J61/18Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent
    • H01J61/20Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having a metallic vapour as the principal constituent mercury vapour

Abstract

본 발명은 진공펌프로 1차 진공처리된 밀폐된 용기 내의 잔류 기체를 화학적으로(화학반응에 의해) 흡수해서 고진공을 만들 수 있는 겟터(Getter)에 관한 것으로, 특히 겟터의 구성성분으로 수은을 포함시켜 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp)에 전용으로 사용할 수 있도록 한 것이다. 또한 본 발명의 겟터는 TFT-LCD CCFL 뿐 아니라, 수은이 미량 내재한 고진공 및 불활성 가스 분위기 램프에도 사용할 수 있도록 하였다.The present invention relates to a getter capable of chemically (by chemical reaction) the residual gas in a closed vessel subjected to a first vacuum treatment with a vacuum pump to create a high vacuum, and particularly includes mercury as a component of the getter. It can be used exclusively for TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) CCFL (Cold Cathode Fluorescent Lamp). In addition, the getter of the present invention can be used not only in the TFT-LCD CCFL, but also in a high vacuum and inert gas atmosphere lamp containing a small amount of mercury.

종래에는 램프를 제작할 때, 램프 내측에 진공도를 높이기 위하여 겟터를 삽치하고, 이와는 별도로 램프의 발광용으로 수은을 첨가함으로서 그 공정이 복잡하고 수은이 일정하게 주입되지 않는 등 상당한 단점이 발생하였다.Conventionally, when manufacturing a lamp, by inserting a getter to increase the degree of vacuum inside the lamp, and by adding mercury separately for the light emission of the lamp, the process is complicated and mercury is not injected constantly, a significant disadvantage has arisen.

그러나 본 발명은 본 출원인의 선등록 특허 제364595호를 응용하여 개발한 것으로, 겟터의 구성성분으로 수은을 포함시킴으로서 겟터 하나로 겟터의 역할을 수행함은 물론 램프 내측에 수은 주입도 가능토록 한 것이다. 즉 겟터를 활성화시킬 때 겟터 구성성분과 아말감(Amalgam) 상태로 포함되어 있던 수은이 기화되면서 겟터로부터 빠져나오게 되고, 빠져나온 수은이 램프 내측으로 흘러 들어가게 되어 별도의 수은 주입없이도 램프를 제작할 수 있게 한 것이다.However, the present invention was developed by applying the applicant's registered patent No. 364595, and by including mercury as a constituent of the getter to serve as a getter as one getter as well as to allow mercury injection inside the lamp. That is, when activating the getter, the mercury contained in the getter component and amalgam state is vaporized and released from the getter, and the escaped mercury flows into the lamp, allowing the lamp to be manufactured without a separate mercury injection. will be.

통상적으로 겟터는 성능이 우수하고, 용도에 적합한 겟터를 얻기 위하여 구성성분 및 구성비율 등을 달리하여 그 연구가 계속되고 있다. 따라서 본 발명은 본인의 선등록 특허 제364595호와 비교하여 게터 구성성분 및 구성비 그리고 겟터의 용기재질 등을 전혀 다르게 하여 개발함으로써, TFT-LCD CCFL 제조공정의 온도범위에서 원하는 수은의 양을 고주파에 의해 자동적으로 방출하게 하였다. 또한 사용상 편리함은 물론 특히 고주파에 의해 정량의 수은 방출을 용이하게 함과 동시에, 겟터의 활성과 수은 방출이 용이한 온도범위(450~900℃)를 고주파 작동에 의해 겟터가 열을 골고루 받도록 하였다. 그리고 선 특허 제364595호와 마찬가지로 겟터를 적용하는 공정에 있어서 환경유해의 치명적인 요인이되는 수은을 제조공정상 외부로 전혀 유출되지 않도록 하였다.In general, the getter is excellent in performance, in order to obtain a getter suitable for the purpose, the study is continued by varying the composition and composition ratio. Therefore, the present invention has been developed by completely different getter components, composition ratios, and getter container materials, compared to the prior registered patent No. 364595, so that the desired amount of mercury in the temperature range of the TFT-LCD CCFL manufacturing process at high frequency. Release automatically. In addition, it is easy to use, in particular, easy to release the quantitative mercury by the high frequency, and the getter evenly receives heat by the high frequency operation in the temperature range (450 ~ 900 ℃) easy to getter activity and mercury release. And as in Patent No. 364595, mercury, which is a fatal factor of environmental hazards in the process of applying the getter, is not allowed to leak out at all in the manufacturing process.

Description

램프용 겟터{Getter}Getter for Lamps {Getter}

본 발명은 진공펌프로 1차 진공처리된 밀폐된 용기 내의 잔류기체를 화학적으로(화학반응에 의해) 흡수해서 고진공을 만들 수 있는 겟터(Getter)에 관한 것으로, 특히 겟터의 구성성분으로 수은을 포함시켜 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp)에 전용으로 사용될 수 있도록 하였다. 뿐만 아니라, 본 개발품은 TFT-LCD CCFL 외에 수은이 내재한 고진공 램프나 수은이 내재한 불활성 가스 분위기 램프에도 사용할 수 있도록 하였다.The present invention relates to a getter capable of chemically (by chemical reaction) of residual gas in a closed vessel subjected to a primary vacuum treatment with a vacuum pump to create a high vacuum, and particularly, includes a mercury as a constituent of the getter. It can be used exclusively for TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) CCFL (Cold Cathode Fluorescent Lamp). In addition to the TFT-LCD CCFL, this product can be used for high vacuum lamps with mercury or inert gas atmosphere lamps with mercury.

통상적으로 겟터는 제거하고자 하는 잔류기체의 성분과 사용되는 조건에 따라 여러 가지 금속성분이 합금(Alloy), 금속간 화합물(Intermetallic Compound), 혼합(Mixture) 등의 상태로 제조되어 사용될 수 있는 것으로서, 제거하고자 하는 기체들을 화학적(화학반응)으로 흡수할 수 있는 특성을 갖게끔 구성하는 것이다.In general, as a getter, various metal components may be manufactured and used in an alloy, an intermetallic compound, a mixture, and the like depending on the components of the residual gas to be removed and the conditions used. The gas to be removed has to be chemically absorbed.

따라서 겟터는 그 구성성분의 종류와 구성상태(합금, 금속간 화합물, 혼합 등)에 따라 여러 가지 많은 겟터가 제조될 수 있고, 구성성분의 종류와 구성비율 및 구성성분의 품질에 따라 그 효능도 크게 달라질 수 있는 것이다. 따라서, 우수한 겟터를 얻기 위하여 겟터의 구성성분 및 그 구성비율을 달리하여 그 연구가 계속 이루어지고 있으며, 지금도 그 개발은 계속되고 있는 것이다.Therefore, many kinds of getters can be manufactured according to the kind and composition state (alloy, intermetallic compound, mixing, etc.) of the getter, and the effectiveness of the getter according to the type and composition ratio and the quality of the ingredients. It can vary greatly. Therefore, in order to obtain an excellent getter, the research is continued by varying the components of the getter and its composition ratio, and the development is still continuing.

한편 겟터를 사용하고 있는 제품중의 하나로 TFT-LCD CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp)이 있다.One of the products using getter is TFT-LCD Cold Cathode Fluorescent Lamp (CCFL).

이 램프는 PC, Notebook PC, LCD TV, 핸드폰, 화상 전화기, Car Navigater 등에 널리 적용되는 것으로, 겟터는 램프 안의 진공도를 높이는데 사용되며, 또한 램프의 발광용도로서 수은이 들어가게 된다.This lamp is widely applied to PC, Notebook PC, LCD TV, Mobile Phone, Video Phone, Car Navigater, etc. Getter is used to increase the degree of vacuum in the lamp, and mercury is used as the lamp's light emitting purpose.

그러나 본 발명인이 개발한 제품(특허 제364595)외의 종래의 겟터는 램프를 한개 한개 제조할 때마다 그에 맞게 겟터를 낱개로 사용할 수 있도록 제조된 겟터가 없었다. 다시 말해서, 기존의 겟터는 사각 모형으로 홈(凹)이 파여진 긴 철사 형태의 모형 내측에 겟터를 압입한 제품과, 얇고 긴 시트(Sheet) 모형의 금속에 겟터를 부착하여 제조한 겟터를 사용하였기 때문에 램프를 제조할 때마다 일정한 크기로 겟터를 절단하여 사용하였다. 따라서 겟터를 절단할 때 수은이 함유된 겟터 분말이 탈리가 되어 작업환경을 매우 유해하게 할 뿐만 아니라, 탈리 정도에 따라 투입되는 겟터의 양과 수은의 양이 일정하지 않기 때문에 수은의 양과 진공도의 편차로 인해 품질이 일정치 않게 제조되는 경우가 발생한다. 또한 진공펌프로 1차 진공을 할 때, 1차 진공도를 높이기 위해 겟터가 들어 있는 램프를 약 400℃에서 가열을 시키면서 진공처리를 하는데, 이 과정에서도 수은이 방출되어 작업환경을 유해하게 만드는 원인이 되는 경우가 많았다.However, the conventional getter other than the product developed by the inventor (Patent No. 363595) does not have a getter manufactured so that the getters can be used individually according to each lamp manufactured one by one. In other words, the conventional getter uses a product in which the getter is pressed into the inside of a long wire shape in which a rectangular shape is grooved, and a getter manufactured by attaching the getter to a thin long sheet metal. Since the getter was cut to a constant size every time the lamp was manufactured. Therefore, when cutting the getter, the getter powder containing mercury is desorbed, which makes the working environment very harmful, and the amount of getter and the amount of mercury are not constant depending on the degree of desorption, so the amount of mercury and the degree of vacuum are different. This results in cases where the quality is inconsistent. In addition, when the primary vacuum is performed with a vacuum pump, a lamp containing a getter is heated at about 400 ° C. in order to increase the first vacuum degree, and mercury is released during this process, which causes harmful work environment. There were many cases.

종래에는 램프를 제작할 때, 램프 내측에 진공도를 높이기 위하여 겟터를 삽치하고, 이와는 별도로 램프의 발광용으로 수은을 첨가함으로서 그 공정이 복잡하고 수은이 일정하게 주입되지 않는 등 상당한 단점이 발생하였다.Conventionally, when manufacturing a lamp, by inserting a getter to increase the degree of vacuum inside the lamp, and by adding mercury separately for the light emission of the lamp, the process is complicated and mercury is not injected constantly, a significant disadvantage has arisen.

따라서 본 발명의 겟터가 발명된 것으로 본 발명의 겟터는, 겟터에 수은을 첨가함으로서, 낱개 겟터 하나로 겟터의 역할을 수행함은 물론 램프 내측에 정확한 양의 수은 주입도 가능토록 하여 램프의 제조공정을 훨씬 더 용이하게 하였으며, 또한 램프의 제조비용을 절감할 수 있도록 하였다.Therefore, the getter of the present invention has been invented, the getter of the present invention, by adding the mercury to the getter, not only serves as a single getter, but also allows the injection of the correct amount of mercury inside the lamp, so that the manufacturing process of the lamp much more It was made easier and also reduced the manufacturing cost of the lamp.

한편 본 발명의 겟터는 본 출원인의 선등록 특허 제364595호를 응용하여 개발한 것으로, 진공도를 높이는 기능과, 동시에 별도의 공정변화를 주지않고, 고주파를 작동시켜 원하는 양의 수은을 정확하게, 자동적으로 램프 내에 투입할 수 있도록 겟터의 구성성분과 용기 재질을 맞추어 개발한 것이다. 특히 겟터의 조성을 달리하여 고주파에 의해 겟터가 열을 골고루 발하게 하였을 뿐만 아니라, 이 제품이 쓰여지는 원하는 온도범위(450~900℃)에서만 수은이 방출되게끔 하였다. 뿐만 아니라, 방출되는 수은의 양을 일정하게 하여 불량률을 현저하게 감소시켰음은 물론, 수은의 방출 온도범위와 겟터가 기체를 흡수하는 활성온도를 맞추어 고주파 하나로 수은방출과 진공도를 높이는 기능을 동시에 할 수 있게 하였다.On the other hand, the getter of the present invention was developed by applying the applicant's pre-registered patent No. 364595, and the function of increasing the degree of vacuum and at the same time without a separate process change, by operating a high frequency to accurately and automatically the desired amount of mercury It was developed in accordance with the composition of the getter and the container material so that it can be put into the lamp. In particular, the composition of the getter was changed not only to get the heat evenly by the high frequency, but also to release mercury only in the desired temperature range (450 ~ 900 ℃). In addition, the amount of mercury released is kept constant, which significantly reduces the defective rate, and at the same time, it can increase the mercury emission and vacuum at one high frequency by matching the emission temperature range of the mercury with the active temperature at which the getter absorbs gas. It was.

이상과 같은 본 발명의 겟터는 Iron(Fe)과 Titanium(Ti) 분말을 (10~60):(90~40) 무게비로 혼합하여 이들의 융점온도 이상에서 전자빔을 이용하여 Fe-Ti 합금(Alloy)이나 금속간 화합물을 만들고, 이 분말과 Titanium(Ti) 분말을 무게비로 (0~96):(100~4) 혼합하여 Fe-Ti+Ti 혼합분말을 만든다. 이 혼합분말을 다시 수은과 (30~90):(70~10)의 무게비로 혼합하여 350~1900℃ 온도에서 반응시켜 (Fe-Ti+Ti)-Hg 형태의 아말감(Amalgam) 화합물로 구성토록 한 겟터이다.The getter of the present invention as described above is a mixture of Iron (Fe) and Titanium (Ti) powder in a weight ratio of (10 ~ 60): (90 ~ 40) by using an electron beam above their melting point temperature using a Fe-Ti alloy (Alloy ) And an intermetallic compound, and the powder and Titanium (Ti) powder are mixed in a weight ratio of (0 to 96): (100 to 4) to form a Fe-Ti + Ti mixed powder. The mixed powder is mixed with mercury at a weight ratio of (30 ~ 90) :( 70 ~ 10) and reacted at a temperature of 350 ~ 1900 ℃ to form a (Fe-Ti + Ti) -Hg amalgam compound. One getter.

또한 (Fe-Ti+Ti)-Hg 형태의 아말감(Amalgam) 화합물 30~100%(30% 이상)와 Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, ZrMn 10가지 분말 중, 각각 혹은 일부 또는 10가지 전체 분말을 0~70%(70% 이하)를 균일하게 혼합하여 제조한 혼합분말을 직경 1~3mm, 높이 1~10mm의 용기(니켈, 스테인레스 스틸, 스테인레스 스틸에 니켈 도금, 철, 철에 니켈 도금, 철과 니켈의 Clad, 구리, 구리에 니켈 도금, 몰리브덴, 티타늄)에 가압 추진하여 제조하거나, 용기가 없는 분말 자체만의 Pellet Type 형태(직경 1~3mm, 높이 1~10mm의 원통형 형상)로 성형하여 수은 방출용 겟터로 제조토록 한 것이다. In addition, 30 to 100% (more than 30%) of (Fe-Ti + Ti) -Hg form amalgam compounds and 10 kinds of Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, ZrMn Among powders, each or some or all 10 kinds of powders are made by mixing uniformly 0 ~ 70% (70% or less), and then mix the powder with 1 ~ 3mm diameter and 1 ~ 10mm height container (nickel, stainless steel, stainless steel) Manufactured by pressurizing to nickel plating, iron plating, nickel plating on iron, clad of iron and nickel, nickel plating on copper, copper, molybdenum, titanium, or Pellet type form of powder itself without container (diameter 1 ~ 3mm) Molded into a cylindrical shape with a height of 1 to 10 mm) to produce a getter for mercury release.

이와 같은 구성성분으로 제조되는 본 발명의 겟터를 램프 내측에 삽치하고, 450~900℃로 고주파로 가열하면, 겟터와 아말감 형태로 되어 있던 수은이 겟터로부터 Vapor 형태로 방출되어 램프 내측에 저절로 주입되게 된다. 동시에 겟터는 이 온도범위에서 활성화가 되어 화학반응에 의해 램프 내측에 남아있는 잔류공기를 흡수하여 고진공을 형성시킨다.When the getter of the present invention made of such a component is placed inside the lamp and heated at a high frequency at 450-900 ° C., the mercury, which was in the form of a getter and amalgam, is released in the form of Vapor from the getter to be injected into the lamp by itself. do. At the same time, the getter is activated in this temperature range and absorbs the remaining air remaining inside the lamp by chemical reaction to form a high vacuum.

본 발명의 겟터는 Iron(Fe)과 Titanium(Ti) 분말을 (10~60):(90~40) 무게비로 혼합하여 이들의 융점온도 이상에서 전자빔을 이용하여 Fe-Ti 합금(Alloy)이나 금속간 화합물을 만들고, 이 분말과 Titanium(Ti) 분말을 무게비로 (0~96):(100~4) 혼합하여 Fe-Ti+Ti 혼합분말을 만든 다음, 이 혼합분말을 다시 수은과 (30~90):(70~10)의 무게비로 혼합하여 350~1900℃ 온도에서 반응시켜 (Fe-Ti+Ti)-Hg 형태의 아말감(Amalgam) 화합물 형태로 구성한 겟터(1)이다.The getter of the present invention mixes Iron (Fe) and Titanium (Ti) powder in a weight ratio of (10 to 60) :( 90 to 40) and uses Fe-Ti alloy (Alloy) or metal by using an electron beam above their melting point temperature. Make a liver compound, mix this powder with Titanium (Ti) powder by weight ratio (0 ~ 96) :( 100 ~ 4) to make Fe-Ti + Ti mixed powder, and then mix this powder with mercury (30 ~ 90): It is a getter (1) composed of an amalgam compound in the form of (Fe-Ti + Ti) -Hg by mixing at a weight ratio of (70 to 10) and reacting at a temperature of 350 to 1900 ° C.

상기에 있어 (Fe-Ti+Ti)-Hg 형태의 화합물(2)로 구성된 본 발명의 겟터는 직경 1~3mm, 높이 1~10mm의 Pipe 형상의 원통형 용기[도1]와 바닥이 막힌 Cup 형상의 원통형의 용기[도2]로 이루어지거나, 상기 규격(직경, 길이)과 같은 모양, 같은 규격이되, 이들 용기 옆면에 폭 0.01~3.0mm를 용기의 길이만큼 용기의 일부를 제거시켜 옆면의 일부가 터진 형상의 용기[도3,4]에 가압 충진하여 제조할 수도 있고, 분말 자체만의 Pellet Type 형태(직경 1~3mm, 높이 1~10mm의 원통형 형상)로 가압 성형[도5]하여 제조할 수도 있다. 상기의 용기(3) 재질로는 니켈, 스테인레스 스틸, 스테인레스 스틸에 니켈 도금, 철, 철에 니켈을 도금, 철과 니켈의 Clad, 구리, 구리에 니켈 도금, 몰리브덴, 티타늄 등을 사용할 수 있다.In the above, the getter of the present invention composed of the compound (2) in the form of (Fe-Ti + Ti) -Hg has a pipe-shaped cylindrical container having a diameter of 1 to 3 mm and a height of 1 to 10 mm [FIG. It consists of a cylindrical container [Fig. 2], or the same shape as the standard (diameter, length), the same standard, the width of the side of the container by removing the portion of the container by the length of the container 0.01 ~ 3.0mm It can also be produced by press-filling a portion of the bursting container [Figs. 3 and 4], or by press-molding into a pellet type form (cylindrical shape having a diameter of 1 to 3 mm and a height of 1 to 10 mm) of the powder itself [Fig. 5]. It can also manufacture. As the material of the container 3, nickel, stainless steel, nickel plating on stainless steel, nickel plating on iron, iron, nickel plating on iron and nickel, copper plating, nickel plating on copper, molybdenum, titanium and the like can be used.

한편 본 발명의 겟터 구성성분으로 (Fe-Ti+Ti)-Hg 형태의 화합물 30~100%(30% 이상)와 Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, ZrMn 10가지 분말 중, 각각 혹은 일부 또는 10가지 전체 분말 0~70%(70% 이하)를 혼합하여 제조할 수도 있다.Meanwhile, as a getter component of the present invention, a compound of (Fe-Ti + Ti) -Hg form 30-100% (more than 30%) and Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, Among 10 powders of ZrMn, 0 to 70% (70% or less) of each or some or 10 of the whole powders may be mixed.

이하 본 발명의 겟터가 사용되는 TFT-LCD CCFL을 기준으로 본 발명을 설명하는 바이다. 상기 램프(4)는 PC, Notebook PC, LCD TV, 핸드폰, 화상 전화기, Car Navigater 등에 널리 사용되고 있는 것으로서, 상기 램프 안에는 진공도를 높이기 위하여 겟터가 삽치되며, 또한 램프의 발광용도로서 수은이 주입되어진다. Hereinafter, the present invention will be described based on the TFT-LCD CCFL in which the getter of the present invention is used. The lamp 4 is widely used in a PC, a notebook PC, an LCD TV, a mobile phone, a video phone, a car navigator, and the like. A getter is inserted into the lamp to increase the degree of vacuum, and mercury is injected as a light emitting lamp. .

일반적인 램프 제조공정에 있어 종래의 방법은 사각 모형으로 홈(凹)이 파여진 긴 철사 형태의 모형 내측에 겟터를 압입한 제품과, 얇고, 긴 시트(Sheet) 모형의 금속에 겟터를 부착하여 제조한 겟터를 사용하였기 때문에 램프를 제조할 때마다 일정한 크기로 겟터를 절단하여 사용하였다. 따라서 겟터를 절단할 때 수은이 함유된 겟터 분말이 탈리가 되어 작업환경을 매우 유해하게 할 뿐만 아니라, 탈리 정도에 따라 투입되는 겟터의 양이 일정하지 않기 때문에 수은의 양과 진공도의 편차로 인해 품질이 일정치 않게 제조되는 경우가 발생한다.In the general lamp manufacturing process, a conventional method is manufactured by injecting a getter inside a long wire model in which a square is grooved, and attaching the getter to a thin, sheet metal. Since one getter was used, the getter was cut to a constant size every time the lamp was manufactured. Therefore, when cutting the getter, the getter powder containing mercury is desorbed, which makes the working environment very harmful, and the amount of getter is not constant according to the degree of desorption. Inconsistencies in production occur.

그러나 본 발명의 겟터를 사용하게 되면 낱개 겟터 하나로 겟터의 역할을 수행하기 때문에 상기와 같은 문제점을 해결하였음은 물론, 램프 내측에 진공도를 높이는 기능과, 동시에 별도의 공정변화를 주지않고, 고주파를 작동시켜 원하는 양의 수은을 정확하게, 자동적으로 램프 내에 투입할 수가 있는 것이다. 특히 겟터의 조성을 달리하여 고주파에 의해 겟터가 열을 골고루 발하게 용기 재질을 달리 하였을 뿐만 아니라, 이 제품이 쓰여지는 원하는 온도범위(450~900℃)에서만 수은이 방출되게끔 하였다. 또한, 방출되는 수은의 양을 일정하게 하여 불량률을 현저하게 감소시켰음은 물론, 수은의 방출 온도범위와 겟터가 기체를 흡수하는 활성온도를 맞추어 고주파 하나로 수은방출과 진공도를 높이는 기능을 동시에 할 수 있게 하였다.However, the use of the getter of the present invention solves the above problems because each of the getters serves as a single getter, as well as the function of increasing the degree of vacuum inside the lamp, and at the same time operating a high frequency without a separate process change. So that the desired amount of mercury can be injected into the lamp accurately and automatically. In particular, by varying the composition of the getter, not only the container material was changed evenly by the high frequency to get heat evenly, but also the mercury was released only at the desired temperature range (450 ~ 900 ℃). In addition, the amount of mercury released is kept constant, which significantly reduces the defective rate, and at the same time, it is possible to increase the mercury emission and vacuum at one high frequency by matching the emission temperature range of the mercury with the active temperature at which the getter absorbs gas. It was.

이하 본 발명의 겟터가 사용되는 램프의 제조공정에 대하여 살펴보는 바이다.Hereinafter, a description will be given of a manufacturing process of a lamp using the getter of the present invention.

1) 먼저 진공펌프로 약 400℃에서 램프(4) 내의 공기를 빨아내어 1차 진공을 형성한다.1) A first vacuum is formed by sucking the air in the lamp 4 at about 400 ° C. with a vacuum pump.

2) 램프의 상단부 (5)를 봉하여 밀폐시킨다.2) Seal and seal the upper end (5) of the lamp.

3) 램프 내측에 삽치된 겟터(1)를 450~900℃로 고주파로 가열하여 겟터를 활성화시키면 화학반응에 의하여 램프 내측에 남아있는 잔류공기를 흡수하여 고진공을 형성시킨다. 한편 겟터를 가열시키면, 겟터 내측에 아말감 상태로 포함되어 있던 수은이 기화되면서 겟터로부터 수은이 방출되게 되며, 방출된 수은은 온도가 낮은 쪽으로 이동하게 되므로 자동적으로 램프 내측 방향으로 이동하게 된다.3) When the getter 1 inserted inside the lamp is heated at a high frequency at 450 to 900 ° C. to activate the getter, a high vacuum is generated by absorbing the remaining air remaining inside the lamp by a chemical reaction. On the other hand, when the getter is heated, mercury contained in the amalgam state inside the getter is vaporized and mercury is released from the getter, and the released mercury is moved to a lower temperature, thereby automatically moving toward the inner side of the lamp.

4) 수은이 전극(8)이 삽치된 램프 내(7)로 이동하게 되면, 전극이 삽치된 오목부위(6)를 밀봉시키므로써 램프는 완성되어지게 된다.4) When mercury moves into the lamp 7 in which the electrode 8 is inserted, the lamp is completed by sealing the recess 6 in which the electrode is inserted.

이와 같이 본 발명은 아말감 상태의 겟터를 낱개로 사용하게 제조하여 기존 겟터를 절단할 때 분말 탈리로 인해 발생되는 작업환경의 유해와 품질 편차를 없앴고, 특히 한번의 고주파 작동으로 겟터의 활성과 수은 방출이 동시에 용이하게 일어나게끔 겟터의 조성과 용기재질을 맞추어 개발함으로써, 사용상 편리하게 하였음은 물론, 방출되는 수은의 양도 일정하게 하였다. 뿐만 아니라, 겟터의 기체 흡수 성능을 높여 불량률을 감소시키고, 품질향상과 제조단가를 낮추었다.As described above, the present invention eliminates the harmfulness and quality deviation of the work environment caused by powder detachment when cutting the existing getters by using the getters of the amalgam state individually, and especially the activity of the getters and the mercury by one high frequency operation. By developing the composition of the getter and the material of the container so that the release occurs easily at the same time, it was not only convenient for use, but also the amount of mercury released. In addition, the gas absorption performance of the getter is reduced to reduce the defect rate, and the quality and manufacturing cost are lowered.

한편, 본 발명의 겟터는 분말을 금속 재질의 용기에 가압 충진시킨 상태로 제조할 수도 있고, 분말 자체만을 가압 성형하여 Pellet Type 형태로 제조할 수도 있다. Meanwhile, the getter of the present invention may be manufactured in a state in which the powder is pressurized and filled into a metal container, or may be manufactured in a pellet type form by press molding only the powder itself.

상기에 있어 용기 타입의 겟터는 용기(3)의 재질로서 니켈, 스테인레스 스틸, 스테인레스 스틸에 니켈 도금, 철, 철에 니켈 도금, 철과 니켈의 Clad, 구리, 구리에 니켈 도금, 몰리브덴, 티타늄의 재질을 사용하며, 용기의 통상적인 크기 및 형태는 직경 0.5~6mm, 높이 0.5~10mm 정도의 Cup 형상의 원통형 용기로, 이 용기는 램프 양측에 부착되는 전극으로도 그대로 사용될 수 있도록 하여 더욱 더 큰 경제적인 효과를 가져올 수 있게 하였다.In the above, the container type getter is made of nickel, stainless steel, nickel plated steel, nickel plated iron, iron plated iron, nickel plated iron and nickel, copper plated, nickel plated copper, molybdenum and titanium. It is made of a material, and the typical size and shape of the container is a cup-shaped cylindrical container with a diameter of 0.5 to 6 mm and a height of 0.5 to 10 mm. The container can be used as an electrode attached to both sides of the lamp, thereby making it even larger. It could have an economic effect.

본 발명의 겟터는 수은의 발광 용도로 사용되는 모든 램프에 사용이 가능한 것이며, 특히 TFT-LCD CCFL에서는 더욱 더 전용으로 사용될 수 있는 것이다. 상기 TFT-LCD CCFL은 PC, Notebook PC, LCD TV, 해드폰, 화상 전화기, Car Navigater 등에 널리 사용되고 있는 것으로, 상기 램프 안에는 진공도를 높이기 위하여 겟터가 삽치되며, 또한 램프의 방전 용도로서 수은이 주입되어지게 된다. The getter of the present invention can be used for all lamps used for the light emission of mercury, and in particular, it can be used more and more exclusively in the TFT-LCD CCFL. The TFT-LCD CCFL is widely used in PCs, notebook PCs, LCD TVs, headphones, video phones, and car navigation systems. A getter is inserted into the lamp to increase the degree of vacuum, and mercury is injected as a lamp discharge. do.

그러나 종래의 일반 램프는 겟터와 수은을 램프 내에 따로 따로 투입하기 때문에 전체적인 램프 제조공정이 복잡하여 생산공정이 번거롭고, 제조비용이 높은 단점이 발생하였던 것이다. 또한 TFT-LCD CCFL에서 사용되고 있는 기존의 겟터는 램프를 제조할 때마다 일정한 크기로 겟터를 절단하여 사용하여야 하기 때문에 겟터를 절단할 때마다 수은이 함유된 겟터 분말이 탈리가 되어 작업환경을 매우 유해하게 할 뿐만 아니라, 탈리 정도에 따라 투입되는 겟터의 양과 수은의 양이 일정하지 않기 때문에, 수은의 양과 진공도의 편차로 인해 품질이 일정치 않게 제조되는 경우가 발생하였다.However, the conventional general lamp has a disadvantage that the production process is cumbersome and the manufacturing cost is high because the overall lamp manufacturing process is complicated because the getter and mercury are separately put in the lamp. In addition, the conventional getters used in the TFT-LCD CCFL must be used to cut the getters to a certain size every time the lamp is manufactured. Therefore, the getter powder containing mercury desorbs every time the getters are cut. In addition, since the amount of the getter and the amount of mercury introduced according to the degree of desorption are not constant, the quality is produced unevenly due to the variation in the amount of mercury and the degree of vacuum.

또한 기존의 수은 주입방식은 액체 상태로 주입이 되기 때문에 비중이 높은 수은을 소량(mg 단위)으로 정확하게 주입하는 것은 아주 어려운 일이다.In addition, since the conventional mercury injection method is injected in a liquid state, it is very difficult to accurately inject a small amount (highly in mg) of high specific gravity.

그러나 본 발명의 겟터는 아말감 상태의 겟터를 통하여 수은을 램프 내측에 주입시키도록 함으로서, 수은의 양을 언제나 일정하게 주입시킬 수 있어 수은을 별도로 주입시키던 종래의 방법에 비하여 더욱 더 효과를 높일 수 있게 되는 것이다.However, the getter of the present invention allows the mercury to be injected into the inside of the lamp through the getter in the amalgam state, so that the amount of mercury can be continuously injected at all times, thereby increasing the effect even more than the conventional method of injecting mercury separately. Will be.

또한 세계적으로 환경유해 문제로 수은의 양을 최소로 사용하여 제조한 램프를 절대적으로 선호하기 때문에 수은을 기화시켜 Vapor 상태로 주입하는 본 발명의 겟터가 아주 이상적인 것이다.In addition, the getter of the present invention which vaporizes mercury and injects it into a vapor state is very ideal because lamps manufactured using a minimum amount of mercury are absolutely preferred due to environmental problems around the world.

더욱이 본 발명의 겟터는 본출원인의 선등록 특허 제364595호를 개선 발전시킨 것으로, 기 출원된 특허와 비교하여 고주파에 의해 겟터가 열을 골고루 발하게 용기 재질을 달리 하였을 뿐만 아니라, 이에 맞게 겟터의 수은 방출 성능을 개선하였다. 또한 겟터가 적용되는 기존의 공정을 변화시키지 않고, 이 제품을 사용할 수 있도록 하여, 기존 적용온도 범위(450~900℃)에서 겟터의 활성과 원하는 양의 수은을 정확하게 방출할 수 있도록 하였다. 또한, 방출되는 수은의 양을 일정하게 하여 불량률을 더 현저하게 감소시켰음은 물론, 고주파 하나로 수은방출과 진공도를 높이는 기능을 동시에 그리고 용이하게 할 수 있게 하였다.Furthermore, the getter of the present invention is an improvement and development of the applicant's registered patent No. 364595, and compared to the previously applied patent, the getter not only varied heat in the container material evenly by the high frequency, and the mercury of the getter accordingly. The release performance was improved. In addition, this product can be used without changing the existing process to which the getter is applied, so that the getter's activity and the desired amount of mercury can be accurately released in the existing application temperature range (450 to 900 ° C). In addition, the amount of mercury released was made constant to reduce the defect rate more remarkably, and to simultaneously and easily increase the mercury emission and vacuum degree with one high frequency.

도1은 본 발명의 겟터로서 Pipe 형상의 용기 사시도.1 is a perspective view of a pipe-shaped container as a getter of the present invention.

도2는 본 발명의 타실시예 겟터로서 Cup 형상의 용기 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view of a cup-shaped container as another embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 타실시예 겟터로서 옆면의 일측이 절개된 Pipe 형상의 용기 사시도.Figure 3 is a perspective view of a pipe-shaped container cut one side of the side as another embodiment of the getter of the present invention.

도4는 본 발명의 타실시예 겟터로서 옆면의 일측이 절개된 Cup 형상의 용기 사시도Figure 4 is a perspective view of a cup-shaped container cut one side of the side as another embodiment of the getter of the present invention

도5는 본 발명의 타실시예 겟터로서 Pellet 형상의 사시도.5 is a perspective view of a pellet shape as another embodiment of the present invention.

도6은 본 발명의 겟터가 사용되는 램프의 제작과정 개략도Figure 6 is a schematic view of the manufacturing process of the lamp using the getter of the present invention

도7은 본 발명의 겟터가 사용된 램프의 최종적인 형태의 개략도Fig. 7 is a schematic diagram of the final form of the lamp in which the getter of the present invention is used.

Claims (7)

Iron(Fe)과 Titanium(Ti)이 각각 합금, 금속간 화합물, 혼합 상태이거나 그리고 일부 또는 전체가 합금, 금속간 화합물, 혼합 상태에서 무게비가 (0~96%):(100~4%)으로 구성된 램프용 겟터Iron (Fe) and Titanium (Ti) are alloys, intermetallics, and mixed states, respectively, and some or all of the alloys, intermetallics, and mixed states have a weight ratio of (0 to 96%): (100 to 4%). Getter for configured lamp Iron(Fe)과 Titanium(Ti)이 각각 합금, 금속간 화합물, 혼합 상태이거나 그리고 일부 또는 전체가 합금, 금속간 화합물, 혼합 상태에서 무게비가 (0~96%):(100~4%)으로 구성된 것과 수은을 (30~90%):(70~10%)의 무게비로 반응시켜 제조된 아말감(Amalgam) 화합물 형태로 구성된 램프용 겟터Iron (Fe) and Titanium (Ti) are alloys, intermetallics, and mixed states, respectively, and some or all of the alloys, intermetallics, and mixed states have a weight ratio of (0 to 96%): (100 to 4%). Getters for lamps in the form of Amalgam compounds prepared by reacting the composition and mercury at a weight ratio of (30-90%) :( 70-10%) 제 2항과 Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, ZrMn 10가지 소재 중, 각각 혹은 일부 또는 10가지 전체가 (45~100%):(55~0%)의 무게비로 균일하게 혼합된 형태로 구성된 램프용 겟터Claim 2 and Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, ZrMn 10, each or some or all 10 (45-100%): (55 ~ 0% Getter for lamps that are uniformly mixed in a weight ratio of 제 1항과 Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, ZrMn 10가지 소재 중, 각각 혹은 일부 또는 10가지 전체가 (45~100%):(55~0%)의 무게비로 균일하게 혼합된 상태에서 수은과 (30~100%):(70~0%)의 무게비로 반응시킨 아말감 형태의 화합물로 구성된 램프용 겟터Claim 1 and Zr, ZrFe, Ti, Ni, Co, Al, V, Fe, V-Al, ZrMn 10, each or some or all 10 (45 ~ 100%): (55 ~ 0% Lamp getter consisting of amalgam-type compounds reacted with mercury and (30 ~ 100%) :( 70 ~ 0%) in a weight ratio evenly mixed at the weight ratio 제1항, 제2항, 제3항, 제4항이 각각 그리고 일부 또는 전체로 용기에 가압충진시켜 구성하되, 용기는 직경 0.5~6mm, 높이 0.5~10mm의 원통형 형상(Pipe 형상)과 바닥이 막힌 원통형 형상의 용기(Cup 형상)로 이루어지거나, 상기 규격과 같은 모양 같은 규격이되 이들 옆면에 0.01~3.0mm 폭으로 이들의 길이만큼 용기 재질을 제거시켜 옆면의 일부가 터진 형상이며, 그 재질은 니켈, 스테인레스 스틸, 스테인레스 스틸에 니켈 도금, 철, 철에 니켈 도금, 철과 니켈의 Clad, 구리, 구리에 니켈 도금, 몰리브덴, 티타늄 재질로 이루어지도록 구성된 램프용 겟터Claims 1, 2, 3, and 4 are configured by press-filling the container individually and in part or in whole, wherein the container has a cylindrical shape (Pipe shape) with a diameter of 0.5 to 6 mm and a height of 0.5 to 10 mm. It is made of a clogged cylindrical container (Cup shape), or the same shape as the above standard, but by removing the container material by their length with a width of 0.01 to 3.0 mm on these side surfaces, a part of the side surface is broken. Getters for lamps constructed of silver nickel, stainless steel, nickel plated on stainless steel, nickel plated on iron, iron, clad on iron and nickel, nickel plated on copper, copper, molybdenum and titanium 제1항, 제2항, 제3항, 제4항이 각각 그리고 일부 또는 전체 분말이 직경 0.5~6mm, 높이 0.5~10mm의 Pellet 형태로 이루어지도록 형성된 램프용 겟터.The lamp getter of claim 1, 2, 3, and 4, wherein each and some or all of the powders are formed in a pellet form having a diameter of 0.5 to 6 mm and a height of 0.5 to 10 mm. 제5항의 바닥이 막힌 용기(Cup 형상)의 바닥 외부 중앙에 직경 0.1~2.5mm, 길이 3~45mm의 니켈이나 구리 또는 구리선에 니켈이 도금된 선 한쪽 끝이 봉착된 형태의 용기에 제1항, 제2항, 제3항, 제4항이 각각 그리고 일부 또는 전체 분말이 충진된 형태의 램프용 겟터.Claim 1 is placed in a container in which one end of a wire plated with nickel is coated with nickel or copper or copper wire having a diameter of 0.1 to 2.5 mm and a length of 3 to 45 mm in the bottom outer center of the bottom-closed container (Cup shape). Claims 2, 3 and 4, respectively, and the getter for the lamp of the form of some or all powders.
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