KR20050033223A - 액정표시소자 제조방법 - Google Patents

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KR20050033223A
KR20050033223A KR1020030069193A KR20030069193A KR20050033223A KR 20050033223 A KR20050033223 A KR 20050033223A KR 1020030069193 A KR1020030069193 A KR 1020030069193A KR 20030069193 A KR20030069193 A KR 20030069193A KR 20050033223 A KR20050033223 A KR 20050033223A
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고태호
김상정
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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    • B32B37/06—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the heating method

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로써 특히 합착하는 단계에서 진공의 오븐 내에서 합착을 실시함으로 오염없는 액정표시소자를 형성하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 기판 합착단계는 상기 TFT어레이 기판 및 컬러필터 기판을 정렬하는 단계, 상기 정렬된 기판을 예비 가열하는 단계, 상기 정렬된 기판을 진공의 오븐 내에서 본 가열하는 단계, 상기 가열된 기판을 냉각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시소자 제조방법{FABRICATING METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
본 발명은 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로 특히, 진공 속에서 합착공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법에 관한 것이다.
액정표시소자는 인가되는 신호에 따라 구동하는 액정을 사용하여 영상을 표현하는 장치로서 크게 상부 기판과 하부 기판으로 구성된다.
보통, 상부 기판은 영상을 컬러로 표시하기 위한 컬러필터 기판으로 구성되고 하부 기판은 단위화소가 매트릭스 형태로 배열되며 각 단위화소마다 스위칭소자로써 박막트랜지스터(Thin Film Transistor,이하 TFT)를 구비하는 TFT어레이 기판으로 구성된다.
도 1을 통하여 상부 기판(150)과 하부 기판(100)으로 구성되는 액정표시소자(Liquid Crystal Display Device, 이하 LCD) 패널의 구조를 살펴본다.
도 1에서 도시된 바와 같이, 하부 기판(100)에는 다수의 게이트라인(101)이 서로 평행하게 배열되어 있다. 또한 상기 게이트라인(101)과 서로 수직하게 배열되며 서로 평행한 다수의 데이터라인102)이 배열되어 있다. 상기의 게이트라인(101)과 데이터라인(102)의 교차에 의해 단위화소 영역이 정의되며 상기 단위화소가 기판 상에 매트릭스 배열을 하고 있다.
또한 상기 게이트라인(101)과 데이터라인(102)의 교차영역마다 단위화소를 구동하기 위한 스위칭소자(103)가 형성되어 있다.
상기 스위칭소자로써 통상 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)가 사용되는 데, 상기 TFT는 소오스,드레인 전극 및 채널층을 포함하여 구성되며 상기 게이트 라인(101) 및 데이터 라인(102)과 각각 연결되어 있다.
또한, 상기 하부 기판(100)에는 액정(110)에 전계를 인가하기 위한 화소 전극(104)이 형성되어 있고 상기 화소 전극(104)상에는 액정(110)의 초기배향을 위한 배향막(미도시)이 하부 기판(100) 전면에 형성되어 있다. 상기 배향막은 폴리이미드 계열의 유기막을 주로 사용하며 배향막을 도포한 후에 헝겊 등으로 상기 배향막을 문지르는 러빙공정을 통해 액정의 초기배향을 위한 준비를 한다.
또한, 상기 배향막 상에는 합착한 후 하부 기판(100)과 상부 기판(150) 간의 간격을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(미도시)가 분포되어 있다.
또한, 하부 기판(100)의 화소 영역 외곽으로는 상부 기판과 하부 기판을 합착하며 주입되는 액정이 유출되는 것을 방지하기 위한 실재(sealant)(미도시)가 형성되어 있다.
다음으로, 액정을 컬러로 표시하기 위한 상부 기판(150)의 구조를 살펴본다.
상부 기판(150)에는 하부 기판(100)으로부터 조사되는 빛 중 불필요한 빛을 차단하기 위한 블랙매트릭스(blackmatrix)(151)가 매트릭스 형태로 배열되어 있으며 상기 블랙매트릭스 위에 영상을 컬러로 표현하기 위한 컬러필터가 형성된다. 보통 적, 녹, 청의 서브 컬러필터층(152)이 단위화소당 일조를 이루며 형성되어 있다.
컬러필터 상부에는 컬러필터 층의 단차를 보상하기 위한 평탄화막(153)이 더 형성될 수도 있다.
상기 평탄화막(153) 상에 하부 기판(100)의 화소 전극(104)과 함께 액정에 전계를 인가하기 위한 공통전극(154)이 형성되고 공통전극(154) 위에 합착되는 상부기판과 하부기판 사이의 셀갭을 유지하기 위한 스페이서(211)가 형성되고 그 위에 액정의 초기배향을 위한 배향막(미도시)이 형성된다. 상기 스페이서(211)는 상부 기판(150) 또는 하부 기판(100) 중 어느 하나에 형성된다.
도 2를 통하여 상부 기판(100)과 하부 기판(150)이 합착되어 있는 LCD 패널의 개략적 단면도를 살펴보면, LCD 패널은 대향하는 두 기판 사이에 액정이 충진되어 있고 상, 하 기판의 셀 갭을 유지하기 위한 스페이서(211)이 형성되어 있다.
또한 상기 두 기판의 셀 갭을 유지하고 주입된 액정이 유출되는 것을 방지하기 위한 실런트(210)가 기판의 외곽으로 형성되어 있다.
실런트의 외곽으로는 상, 하부 기판을 전기적으로 연결하기 위한 은접점(Ag dot)(212)이 일정한 간격으로 형성되어 있다.
상기와 같이 구성되는 LCD패턴의 제조공정을 도 3을 통하여 간략히 살펴본다.
LCD 패널은 상기에서 설명한 바와 같이, 스위칭소자로써 TFT가 매트릭스 배열을 하고 있는 TFT어레이 기판과, 정보를 컬러로 표시하기 위한 컬러필터 기판으로 구성되어 있다.
따라서 상기의 두 기판으로 구성되는 LCD패널의 제조 공정은 크게 TFT어레이 기판의 제조공정, 이와 별도의 공정을 통하여 제조되는 컬러필터 제조공정, 상기 TFT어레이 기판 및 컬러필터 기판의 합착공정, 합착된 모기판을 단위 셀로 절단하는 절단공정 및 단위 셀의 액정층 내로 액정을 주입하는 액정주입 공정으로 나눌 수 있다.
특히 TFT어레이 기판 및 컬러필터 기판의 합착공정은 자외선 조사에 의해 경화되는 실런트를 사용하는 자외선 경화 방법과 고온의 환경에서 가압함으로 상, 하 기판을 합착하는 핫 프레스(hot press)방식이 있다. 상기 핫 프레스 방식에 의한 합착 공정은 대기압 하에서 이루어지며 또한 가열을 하는 동안 합착된 두 기판에 압력을 가함으로써 실런트에 의해 두 기판이 결합되게 한다.
그런데, 핫 프레스 방식에 의한 TFT어레이 기판과 컬러필터 기판의 합착공정은 대기압 하에서 고온으로 가열하는 공정으로 이루어지기 때문에 합착된 두 기판이 가열되는 중 유기막으로 구성되는 배향막 또는 실런트로부터 불순물 가스가 발생하여 기판을 오염시키는 문제가 발생한다. 상기 불순물 이온은 배향막 속에 포함된 유기 가스의 잔해이거나 실재에 포함된 에폭시 수지속의 나트륨 또는 염소이온등인데, 이들 불순물 이온은 기판에 얼룩을 만들어 화질을 저하시킨다.
합착이 이루어진 상,하기판은 단위 셀별로 절단된다. 절단 공정이 마무리된 후에 절단된 단위 셀에 액정을 주입하는 액정주입 공정을 진행한다. 액정 주입공정은 진공 속에서 액정쟁반속의 액정을 단위 셀의 액정층 공간 내로 주입하는 진공주입법과 일정한 양의 액정을 디스펜서에 의해 적하하는 적하방법에 의해 형성될 수 있다.
다음으로 진공주입 방법에서는 액정 주입구를 봉지하는 공정을 거치면서 LCD패널이 완성된다. 적하방법에서는 액정주입구를 통한 액정주입이 이루어지지 않기 때문에 봉지방법이 별도로 필요치 않다.
그런데 상기에서 언급한 바와 같이, 가온 상황에서 이루어지는 합착공정에서 유기막으로 구성되는 배향막 또는 실런트로부터 나트륨 또는 염소 이온등의 불순물 가스가 발생하여 액정 패널 전체를 오염시키는 문제가 발생하고, 그 결과 화면에 얼룩 무늬를 발생시키게 된다. 그 결과, 화질 불량을 초래하는 불량 액정패널이 만들어질 수 있다.
본 발명은 컬러필터 기판과 TFT어레이 기판을 합착하는 단계가 대기압 환경과 고온의 오븐에서 이루어짐으로 배향막 또는 실런트에 함유된 염소 또는 나트륨의 불순물 이온 가스가 발생하여 기판을 오염시키는 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다. 또한 상기 불순물 가스로 말이암아 발생하는 화면얼룩을 제거하여 양질의 액정패널을 형성하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 진공속에서 합착공정을 수행함으로 액정패널에 얼룩을 발생시키는 배향막 또는 실런트에 포함된 이온들을 효과적으로 배출할 수 있게 한다. 그러므로 두 기판을 합착하는 단계에서 발생하는 불순물 가스를 효과적으로 배출시키기 위하여 본 발명은 상부 기판을 준비하는 단계; 하부 기판을 준비하는 단계; 상기 상부 기판과 하부 기판을 진공 속에서 합착하는 단계; 상기 합착된 기판을 단위 셀로 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 합착단계는 상기 TFT어레이 기판 및 컬러필터 기판을 정렬하는 단계; 상기 정렬된 기판을 제 1 가열하는 단계; 상기 정렬된 기판을 진공의 챔버 내에서 제 2 가열하는 단계; 상기 가열된 기판을 냉각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 합착단계는 상기 TFT어레이 기판 및 컬러필터 기판을 정렬하는 단계; 상기 정렬된 기판을 진공 속에서 제 1 가열하는 단계; 상기 정렬된 기판을 진공의 챔버 내에서 제 2 가열하는 단계; 상기 가열된 기판을 냉각하는 단계를 포함하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정을 나타내는 것으로써 특히, 상부기판과 하부기판이 진공의 오븐(oven)속에서 합착되는 합착되는 것을 나타낸다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 액정표시소자 제조방법은 하부기판으로써 TFT어레이 기판을 형성하는 단계(450)와, 상부기판으로써 컬러필터 기판을 형성하는 단계(460)와, 상부기판과 하부기판을 합착하는 단계(470)와 상기 합착된 기판을 단위 셀별로 절단하는 단계(480)와 상기 절단된 단위 셀에 액정을 주입하는 단계(490)로 구성된다.
먼저 TFT어레이 기판을 형성하는 단계(401)를 살펴보면, TFT어레이 기판은 다수의 단위 셀이 형성될 수 있는 투명한 모기판을 준비하는 단계, 상기 기판 상에 서로 평행한 다수의 게이트 라인을 형성하는 단계, 상기 게이트 라인이 형성된 기판 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계, 상기 게이트 절연막 상에 반도체 층을 형성하는 단계, 상기 반도체 층상에 데이터 라인, 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계, 상기 데이터 라인, 소오스 전극 및 드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막을 형성하는 단계, 상기 보호막 상에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하여 형성된다.
또한 상기 공정을 통하여 형성된 TFT어레이 기판 상에 액정의 초기배향을 위한 배향막 형성공정(402)을 진행한다.
배향막 형성공정은 크게 배향막 도포공정, 러빙공정, 세정공정으로 구분될 수 있다. 배향막의 도포는 스핀코팅 방법 또는 인쇄방법에 의해 형성된다. 상기 방법에 의해 배향막이 형성되면 배향막을 러빙포 등으로 문질러 배향막에 일정한 방향성을 가지도록 하는 러빙공정을 진행한다. 다음으로 상기 배향막을 세정함으로써 배향막 형성공정을 마친다.
다음으로, 배향막이 형성된 TFT어레이 기판의 화소 영역 외곽으로 실 라인을 형성한다. 실 라인은 상부 기판과 하부 기판이 합착할 때 셀 갭을 유지하고 합착된 상부기판과 하부기판 사이의 공간에 주입되는 액정이 유출되는 것을 방지하기 위하여 형성된다.
실런트는 실 패턴(seal pattern)이 형성된 마스크를 이용하여 실런트를 인쇄하는 스크린 인쇄법 또는 디스펜서(dispenser)를 이용하여 실런트를 소정의 위치에 그리는 디스펜스 방법에 의해 형성될 수 있다.
스크린 인쇄법은 실런트를 마스크를 통하여 기판 상에 인쇄하는 공정과 레벨링(leveling)을 위하여 실런트에 함유되어 있는 용매를 증발시키는 건조 공정으로 구성된다.
디스펜스 법은 실재를 함유하는 디스펜서에 의해 원하는 곳에만 실재를 압출할 수 있어 대형의 기판을 형성하는데 적합하고 실재를 절약할 수 있는 장점이 있다.
실재는 에폭시 계열의 폴리머 접착제로서 나트륨 이온 또는 염소 이온이 함유되어 있고 가열에 의해 상기 이온들이 배출되는 문제점이 있다.
액정표시소자의 화소 영역 외곽으로 실 라인이 형성된 후에, 별도의 공정을 통행 형성된 컬러필터 기판과 합착하는 공정을 진행한다.
먼저 합착을 위하여 상부기판과 하부기판을 서로 정렬하는 어셈블링 공정을 진행한다. 어셈블링 공정은 하부 기판 상에 형성된 소자들과 상부 기판 상에 형성된 컬러필터 층을 정확히 배열하는 공정으로써 미세한 오차만 있더라도 빛샘현상이 발생함으로 매우 중요하고 정밀도를 요하는 공정이다. 수 ㎛이내의 얼라인 오차 내에서 정렬이 이루어져야한다.
상기 얼라인은 상부 기판 또는 하부 기판의 가장자리에 형성된 얼라인 마크에 의해 기판의 위치를 판독하고 수 ㎛이내에서 상부 기판과 하부 기판을 정렬시킨다.
실런트에 의해 상부 기판과 하부 기판이 기판의 가장자리에서 결합된 기판이 기판 운송 시스템(auto guided vehicle)의해 기판 합착기 내로 운반되어 오면 기판 운송 시스템 상에 적재된 기판은 한 묶음씩 기판 합착기 내로 진입된다.
이때, 합착된 각각의 기판은 기판과 기판 사이에 열 전달 및 기판의 상호충돌을 방지할 수 있는 완충재를 구비하면서 다수매 적층되어 합착기 내로 진입한다.
도 5를 통하여 기판 합착기의 개략적 구성을 살펴보면, 기판 합착기는 운송되어 오는 기판을 대기시키는 기판 적재부, 기판을 제 1 가열단계로써 예비 가열하는 제 1 예비가열부(501), 기판을 제 2 가열온도까지 가열하는 제 2 예비가열부(510), 고온으로 기판을 가열하여 실재에 의해 상부 기판과 하부 기판을 결합되게 하는 오븐부(520), 실재에 의해 결합된 기판을 냉각하는 냉각부 및 합착된 기판을 다시 기판 운송 시스템으로 적재하는 로딩부(미도시)로 이루어져 있다.
기판 적재부로 운송되어 온 기판은 기판 합착기의 소정의 위치에 형성된 로봇 암(미도시)에 의해 기판 제 1예비가열부(501)로 이송된다. 기판 예비가열부에 예열된 기판(502)은 로봇 암에 의해 다음 단계인 제 2예비가열부(510)로 이송되게 된다. 기판 예비가열부는 기판을 가열할 수 있는 플레이트(503)를 구비한 것으로 기판을 약 55℃에서 약 30분간 가열한다.
예비가열부의 기판 플레이트(503)는 합착기 내로 진입하여 온 한 묶음의 기판을 상하에서 압력을 가하며 가열한다. 기판 플레이트(503)는 열선이 내장되어 있어 기판을 소정의 온도로 가열할 수 있다.
예비가열은 기판을 상온 상태의 합착된 기판을 갑작스럽게 본 가열의 고온으로 가열할 경우 발생할 수 있는 손상을 방지하기 위하여 이루어진다. 합착된 기판은 대형의 기판인데, 유리제질로 구성되어 있어 급격한 온도변화에 취약하다. 급격히 온도를 올리면 기판은 크랙이 발생하여 파손되거나 파손되지 않더라고 위치에 따른 열팽창율의 차이로 인해 셀갭 불량을 발생 시킬 수 있다.
기판의 예비가열이 끝난 후, 기판은 로봇 암에 의해 다음 단계인 제 2 가열부(510)로 이송된다.
제 2예비가열부(520)는 상기 제 1예비가열부(501)와 같이, 기판을 가열할 수 있는 가열 플레이트(503)를 구비한 것으로 예비 가열된 기판을 오븐에서 가열하기 전에 오븐의 가열 환경과 유사한 환경을 기판에 만들어 주기 위하여 진행된다. 제 2예비가열부(510)에서는 150℃로 30분간 기판을 가열한다. 제 2 예비가열부(510)의 구성은 제 1예비가열부(501)와 동일하다. 즉, 기판에 압력과 열을 가하는 기판 플레이트(503)가 구비되어 기판을 가열한다.
제 2예비가열부(510)에서는 제 1예비가열부(501)에서보다 높은 압력을 가함으로써 제 1예비가열부(501)보다 높은 온도로 기판을 가열한다.
제 2예비가열 공정이 끝난 후, 기판은 상부 기판과 하부 기판을 본격적으로 결합하는 오븐부(520)에 이송된다.
본 발명의 오븐부(520)는 기판을 고온으로 가열하면서 합착되는 기판에 가압하는 방식을 택하는 핫 프레스(hot press) 방식의 합착공정을 진행한다.
핫 프레스 방식은 고온환경에서 오랜 시간 공정이 진행되므로 다수의 기판을 동시에 가열할 수 있도록 상기 오븐부에는 다수의 기판이 적재된다. 상기 오븐부의 벽면에는 기판을 홀딩할 수 있는 홀딩 핸드(521)가 형성되어 있다.
본 가열이 끝난 기판을 로봇암에 의해 상기 오븐부(520)로 이송하고 고온 가압 공정을 진행한다.
오븐부(520)에서는 170℃에서 4시간 가열하여 공정을 진행하는데, 핫 프레스 방식에서는 고온에서 기판이 가열됨으로 기판의 변형 가능성이 있어 가열온도 및 가열 시간등의 공정 조건이 매우 중요하다.
오븐부(520)의 가열방식은 상기 기판 적재부에 열선을 내장시킴으로써 기판을 가열하거나 오븐부의 일 측에 오븐 가열부(523)를 별도로 형성할 수 있다.
또한 상기 오븐부는 오븐부를 진공의 환경으로 만들어 주기 위하여 오븐부의 바닥 면에 배기구(524)가 설치되어 있다. 상기 배기구(524)는 장방형의 오븐부 바닥의 각 모서리에 대칭으로 배열되어 있고, 각 배기구(524)는 외부의 진공 펌프(525)에 의해서 배기된다.
상기 오븐부(520)를 진공으로 만드는 것은 고온으로 가열함으로 기판을 합착하는 공정에서 기판에 형성된 배향막 또는 실런트로부터 나트륨 또는 염소 이온의불순물가스가 배출되어 기판을 오염시키기 때문인데, 상기 오븐부(520)를 진공으로 만들어 줌으로써 배출되는 상기 불순물 가스를 효과적으로 제거시킬 수 있다.
오븐부(520)에서 합착이 이루어진 후, 가열된 상기의 기판을 냉각부에서 냉각시키고 다시 기판 이송 시스템으로 로딩하여 다음 공정을 준비한다.
합착 공정이 끝난 기판은 각 단위 셀별로 절단하는 절단 공정이 진행된다. 절단공정은 다수의 단위 셀이 모 기판 상에 동시에 형성되어 있으므로 단위 셀별로 나누는 공정으로 스크라이브 휠에 의해 기판을 절단한다.
절단 공정이 완료된 후, 상부 기판과 하부 기판 사이에 형성되는 단위 셀의 액정층 내로 액정을 주입하는 공정을 진행한다.
액정은 진공주입방법에 의해서 주입된다. 즉, 액정 쟁반을 구비하는 진공의 챔버 내에서 단위 셀의 일 모서리에 형성된 액정 주입구를 액정 쟁반 내로 침잠 시키고 챔버에 가압하므로 액정쟁반내의 액정이 기판 내로 주입되게 하는 방법이다.
액정의 주입이 완료된 후, 액정 주입구를 광 경화성 수지를 봉지하고 자외선 으로 조사시켜 경화함으로 액정주입구를 밀봉하고 액정패널을 완성한다.
본 발명의 다른 실시 예로서 기판을 합착하는 합착단계는 예비가열부, 본 가열부 및 오븐부전체를 진공 속에서 진행할 수도 있다.
즉, 제 1 가열부와 제 2 가열부로 구성되는 제 1가열단계 및 오븐부 전체를진공의 환경으로 만들어 합착공정을 진행할 수 있다.
본 발명은 핫 프레스 방법에 의해서 기판을 합착하는 방법에 있어서, 진공 속에서 액정표시소자의 상, 하부 기판을 합착함으로써 기판합착 공정에서 발생하는 불순물 가스의 배출을 용이하게 함으로 불순물 가스에 의한 기판이 오염되는 것을 방지하고 또한 불순물 가스에 의한 얼룩무늬가 발생하는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 종래의 액정표시소자의 상부 기판과 하부 기판의 개략적 구성도.
도 2는 종래의 상부 기판과 하부 기판이 합착된 액정표시소자의 단면도.
도 3은 종래의 액정표시소자 제조방법의 순서도
도 4는 본 발명의 액정표시소자 제조방법의 순서도
도 5는 본 발명의 합착공정의 개략적 장치도
***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****
100:하부 기판, 150:상부 기판
101:게이트 라인 102:데이터 라인
103:TFT 104:화소 전극
110:액정 151:블랙매트릭스
152:컬러필터 153:평탄화막
154:공통전극 211:스페이서
210:실런트 212:Ag 도트
501:제 1 예비가열부 510:제 2 예비가열부
520:오븐부 502:기판
503:가열플레이트 521:기판 홀더
523:가열부 524:배기구
525:펌프

Claims (6)

  1. 상부 기판을 준비하는 단계;
    하부 기판을 준비하는 단계;
    상기 상부 기판과 하부 기판을 진공 속에서 합착하는 단계;
    상기 합착된 기판을 단위 셀로 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 합착단계는 상기 TFT어레이 기판 및 컬러필터 기판을 정렬하는 단계;
    상기 정렬된 기판을 제 1 가열하는 단계;
    상기 정렬된 기판을 진공의 오븐 내에서 제 2 가열하는 단계;
    상기 가열된 기판을 냉각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 제 1 가열 단계는 상기 정렬된 기판을 55℃의 온도에서 30분간 가열하는 제 1 단계와 150℃에서 30분간 가열하는 제 2 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 제 2 가열 단계는 170℃에서 4시간 가열되는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  5. 제 2항에 있어서, 상기 제 1 가열 단계는 대기압 하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 제 2 가열단계는 가열되는 상부 기판과 하부 기판을 가압하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조방법.
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CN103698907A (zh) * 2013-09-18 2014-04-02 北京京东方光电科技有限公司 一种提取液晶面板中异物的方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101140241B1 (ko) * 2005-06-27 2012-04-26 엘지디스플레이 주식회사 얼라인 마크를 포함한 액정표시소자
CN103698907A (zh) * 2013-09-18 2014-04-02 北京京东方光电科技有限公司 一种提取液晶面板中异物的方法
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