KR20050011803A - 반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에서 포토레지스트를 도포하기 위해 웨이퍼를 회전시키는 스핀모터의 진동을 검출하여 제어하는 스핀모터 진동 검출 제어장치에 관한 것이다.

반도체 제조설비에서 포토레지스트 도포를 위한 스핀모터의 진동을 검출하여 진동에 의해 포토레지스트가 불균일하게 도포되는 것을 방지하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치는, 웨이퍼 상에 포토레지스트가 균일하게 도포되도록 회전동작을 하는 스핀모터와, 상기 스핀모터의 일측에 설치되어 상기 스핀모터 진동 상태를 검출하는 진동센서와, 상기 진동센서로부터 검출된 진동 검출데이터를 받아 미리 설정되어 있는 기준 값과 비교하여 기준 값 이상의 진동데이터가 검출될 시 인터록신호를 발생하는 동시에 알람을 발생하도록 제어하는 진동검출 콘트롤러를 구비한다.

Description

반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치{DEVICE FOR CONTROLLING SHOCK DETECTION OF SPIN MOTOR IN SEMICONDUCTOR PRODUCT DEVICE}

본 발명은 반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치에 관한 것으로, 특히 스피너설비에서 포토레지스트를 도포하기 위해 웨이퍼를 회전시키는 스핀모터의진동을 검출하여 제어하는 스핀모터 진동 검출 제어장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 이온주입 공정, 막 증착 공정, 확산공정, 사진공정, 식각공정 등과 같은 다수의 공정들을 거쳐 제조된다. 이러한 공정들 중에서, 원하는 패턴을 형성하기 위한 사진공정은 반도체 소자 제조에 필수적으로 요구되는 공정이다.

사진공정은 식각이나 이온주입이 될 부위와 보호될 부위를 선택적으로 정의하기 위해 마스크나 레티클의 패턴을 웨이퍼위에 만드는 것으로 크게, 웨이퍼 상에 포토레지스트를 떨어뜨린 후 고속으로 회전시켜 웨이퍼 위에 원하는 두께로 입히는 도포공정, 포토레지스트가 도포된 웨이퍼와 정해진 마스크를 서로 정렬시킨 후 자외선과 같은 빛이 상기 마스크를 통하여 웨이퍼 상의 포토레지스트에 조사되도록 하여 마스크 또는 레티클의 패턴을 웨이퍼에 옮기는 노광공정 및 상기 노광공정이 완료된 웨이퍼의 포토레지스트를 현상하여 원하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 현상공정으로 이루어진다.

이렇게 여러 제조 공정을 거쳐 제작되는 웨이퍼는 각각의 공정마다 패턴을 형성하기 위해 포토레지스트가 도포된다. 웨이퍼 상에 포토레지스트를 도포 하는데 여러 가지 방법이 사용되는 바, 액체의 경우에는 보통 담그거나 뿌리거나 굴리거나 해서 포토레지스트가 도포된다. 액체에 담그는 것은 웨이퍼의 양면에 묻기 때문에 반도체에서는 부적합하다. 뿌리는 방법은 웨이퍼 뒷면에도 묻을 우려가 있어서 부적합하다. 또한 굴려서 도포하는 방법은 인쇄회로기판 등에 포토레지스트를 칠할 때 사용되는 방법으로써 두께 조절이 어려워 반도체에는 부적합하다. 따라서 이러한 여러 가지 방법의 단점을 해결하기 위해 채택된 것이 스핀 코팅 방법이다. 일반적으로 스핀 코팅은 포토레지스트 막의 엄격한 두께 조절에 가장 적합한 기술로 웨이퍼상에 포토레지스트가 스핀 코팅되는 과정을 잠시 살펴보면, 먼저 선행 공정을 마친 웨이퍼는 이송 로봇암에 의해 진공척 상에 로딩되어 진공 흡착된다. 이어서, 보울(bowl)이 상승하면서 웨이퍼의 테두리를 감싼다. 이는 포토레지스트 공급구로부터 웨이퍼 상에 소정 량의 포토레지스트가 투입된 후, 스핀코팅이 이루어질 때, 포토레지스트가 웨이퍼에서 벗어나 외측으로 튕겨 분산되는 것을 방지하기 위함이다. 이후, 웨이퍼를 진공흡착하고 있는 진공척은 소정 속도로 회전하여 포토레지스트를 웨이퍼 상에 스핀코팅하게 된다. 이때 진공척을 회전시키기 위해서 일반적으로 진공척과 관련하여 스핀모터가 설치된다. 스핀모터는 회전에 의해 웨이퍼 상에 노즐을 통해 포토레지스트를 떨어뜨려 도포하게 된다.

이러한 포토공정 중에 포토레지스트를 도포하기 위해 회전하는 스핀모터는 웨이퍼의 틀러짐이나 모터간섭 및 노후로 인하여 진동이 발생할 경우 도 1과 같이 웨이퍼 상에 도포된 포토레지스트의 두께가 불균일하게 되어 공정불량이 발생하는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 반도체 제조설비에서 포토레지스트 도포를 위한 스핀모터의 진동을 검출하여 진동에 의해 포토레지스트가 불균일하게 도포되는 것을 방지할 수 있는 스핀모터의 진동검출 제어장치를 제공함에 있다.

도 1은 웨이퍼에 진동이 발생되어 각 포인트별로 포토레지스트의 두께를 나타낸 도면

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스핀모터 진동검출 제어장치의 구성도

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 스핀모터 진동상태에 따라 인터록을 발생하기 위한 제어흐름도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10: 웨이퍼 12: 스핀모터

14: 진동센서 16: 진동 콘트롤러

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치는, 웨이퍼 상에 포토레지스트가 균일하게 도포되도록 회전동작을 하는 스핀모터와, 상기 스핀모터의 일측에 설치되어 상기 스핀모터 진동 상태를 검출하는 진동센서와, 상기 진동센서로부터 검출된 진동 검출데이터를 받아 미리 설정되어 있는 기준 값과 비교하여 기준 값 이상의 진동데이터가 검출될 시 인터록신호를 발생하는 동시에 알람을 발생하도록 제어하는 진동검출 콘트롤러를 구비함을 특징으로 한다.

상기 진동데이터의 설정 기준값은 6으로 하는 것이 바람직하다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스핀모터 진동검출 제어장치의 구성도이다.

웨이퍼(10)와, 상기 웨이퍼(10) 상에 포토레지스트가 균일하게 도포되도록 회전동작을 하는 스핀모터(12)와, 상기 스핀모터(12)의 일측에 설치되어 상기 스핀모터(12)의 진동 상태를 검출하는 진동센서(14)와, 상기 진동센서(14)로부터 검출된 진동 검출데이터를 받아 미리 설정되어 있는 기준값과 비교하여 기준값이상의 진동데이터가 검출될 시 인터록신호를 발생하는 동시에 알람을 발생하도록 제어하는 진동검출 콘트롤러(16)로 구성되어 있다.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 스핀모터 진동상태에 따라 인터록을 발생하기 위한 제어흐름도이다.

상술한 도 2 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.

먼저 101단계에서 도시하지 않은 시스템 콘트롤러는 스핀모터(12)를 회전시켜 웨이퍼(12)를 회전시킨 후 웨이퍼(10) 상에 포토레지스트를 분사하여 코팅고정을 진행한다. 그런 후 102단계에서 진동검출 콘트롤러(16)는 진동센서(14)로부터 진동검출 데이터가 입력되는지 검사하여 진동검출 데이터가 입력되면 103단계로 진행한다. 상기 103단계에서 진동검출 콘트롤러(16)는 상기 입력된 진동검출 데이터를 미리 설정되어 있는 기준 값과 비교하여 진동검출 데이터가 설정 기준 값 이상인지 검사한다. 상기 진동검출 데이터가 설정 기준 값 이상이면 104단계로 진행하여 진동검출 콘트롤러(16)는 인터록신호와 알람 신호를 발생하여 시스템 콘트롤러로 보내어 공정진행이 중지되도록 하는 동시에 작업자에게 알람으로 불량이 발생하였음을 통보하여 조치하도록 한다. 그러나 진동검출 데이터가 설정 기준 값 이하이면 105단계로 진행하여 스핀공정을 계속해서 진행하도록 한다. 상기 설정 기준 값은 예를 들어 6.0으로 설정되어 있다.

상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조설비의 포토레지스트를 도포할 때 스핀모터의 구동 시 스핀모터의 진동을 검출하여 설정된 기준값 이상의 진동이 발생할 때 인터록을 발생하여 공정진행을 중지하도록 하여 웨이퍼의 공정불량 발생을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

1. 반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치에 있어서,

   웨이퍼 상에 포토레지스트가 균일하게 도포되도록 회전동작을 하는 스핀모터와,

   상기 스핀모터의 일측에 설치되어 상기 스핀모터 진동 상태를 검출하는 진동센서와,

   상기 진동센서로부터 검출된 진동 검출데이터를 받아 미리 설정되어 있는 기준 값과 비교하여 기준 값 이상의 진동데이터가 검출될 시 인터록신호를 발생하는 동시에 알람을 발생하도록 제어하는 진동검출 콘트롤러를 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 진동데이터의 설정 기준값은 6임을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 스핀모터 진동검출 제어장치.