KR20050004468A - 유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 신호전극의 저항을 줄임과 아울러 모듈공정을 단순화할 수 있는 유기 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.

본 발명에 따른 유기 전계발광소자는 기판 상에 형성되는 애노드전극과, 상기 애노드전극과 유기발광층을 사이에 두고 교차하는 캐소드전극과, 상기 캐소드전극 상에 형성되며 상기 캐소드전극을 노출시키는 절연막과, 상기 노출된 캐소드전극과 접속되는 더미전극과, 상기 더미전극에서 신장되어 상기 더미전극을 통해 상기 캐소드전극에 제1 구동신호를 공급하는 제1 패드와, 상기 애노드전극에서 신장되어 상기 애노드전극에 제2 구동신호를 공급하며 상기 제1 패드와 일렬로 위치하는 제2 패드를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

유기 전계 발광 소자 및 그 제조방법{Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof}

본 발명은 유기 전계 발광소자에 관한 것으로, 특히 신호전극의 저항을 줄임과 아울러 모듈공정을 단순화할 수 있는 유기 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및일렉트로미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다. PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화 어렵고 백라잇 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있다. 또한, LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 단점이 있다. 이에 비하여, EL 표시소자는 무기 EL과 유기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 유기 EL 표시소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

도 1은 종래 유기 EL 표시소자를 나타내는 평면도이며, 도 2는 도 1에서 선 "Ⅱ-Ⅱ'"를 따라 절취한 유기 EL 표시소자를 나타내는 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 유기 EL 표시소자는 EL셀이 형성된 화상표시부(28)와, 화상표시부(28)의 구동전극들에 구동신호를 공급하는 패드부(26)를 구비한다.

화상표시부(28)는 서로 절연되게 교차하는 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12) 사이에 형성되는 절연막(6), 격벽(8) 및 유기발광층(10)을 포함한다.

애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)에는 전자(정공)을 방출시키기 위한 제1 구동신호가 공급된다.

절연막(6)은 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에 EL셀 영역마다 개구부가노출되도록 격자형태로 형성된다.

격벽(8)은 애노드전극(4)과 교차되게 형성되고 캐소드전극(12)과 소정간격을 사이에 두고 나란하게 형성되어 인접한 EL셀을 구분하게 된다. 즉, 격벽(8)은 인접한 EL셀의 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)을 분리하게 된다. 또한, 격벽(8)은 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 갖는 오버행(Overhag)구조로 형성된다.

유기발광층(10)은 절연막(6) 상에 유기화합물로 구성된다. 즉, 유기발광층(10)은 절연막(6) 상에 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되어 형성된다.

캐소드전극(12)은 유기발광층(10) 상에 소정간격으로 이격되어 애노드전극(4)과 교차되게 다수개 형성된다. 또한, 캐소드전극(12)에는 정공(전자)을 방출시키기 위한 제2 구동신호가 공급된다.

패드부(26)는 다수의 애노드전극(4)에서 신장된 다수의 제1 패드(22)와, 다수의 캐소드전극(12)에서 신장된 다수의 제2 패드(20)를 포함한다.

제1 패드(22)는 기판(2)의 하부에 위치하며, 제1 구동신호를 생성하는 제1 구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 애노드전극(4)에 제1 구동신호를 공급한다.

제2 패드(20)는 기판(2)의 하부에 다수의 제1 패드들(22)을 사이에 두고 제1 패드들(22) 양측에 형성된다. 이러한 제2 패드(20)는 제2 구동신호를 생성하는 제2 구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 캐소드전극(12)에 제2 구동신호를 공급한다.

이러한 유기 EL 소자는 애노드전극(4)에 제1 패드(22)를 통해 제1 구동신호가 인가되고, 캐소드전극(12)에 제2 패드(20)를 통해 제2 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(10) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(4)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 종래 유기 EL 소자는 제1 패드(22)를 사이에 두고 양측에 제2 패드(20)가 나란하게 인접되어 위치하므로 FPC 부품수를 줄일 수 있다. 이에 따라, 비용을 절감할 수 있어 추후에 진행되는 모듈공정이 단순해진다. 그러나, 제1 및 제2 패드(22,20)가 나란하게 위치하기 위해서는 캐소드전극(12) 및 애노드전극(4) 중 어느 하나를 포함하는 구동전극이 화소영역(28)에서 스트라이프형태로, 패드영역(26)에서 "L"자 형태로 절곡되어 형성된다. 이에 따라, 상대적으로 길이가 길어진 구동전극의 라인저항이 상대적으로 증가된다. 증가된 라인저항에 의해 길어진 구동전극에 공급되는 구동신호 왜곡이 발생되어 휘도가 저하되는 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 도 3에 도시된 유기 전계 발광소자가 제안되었다.

도 3에 도시된 유기 전계 발광소자의 패드부(26)는 화상표시부(28)를 감싸도록 형성되며, 애노드전극(4)에서 신장된 제1 패드(22)와, 캐소드전극(12)에서 신장된 제2 패드(20)를 포함한다.

제1 패드(22)는 기판(2)의 하부에 위치하며, 제1 구동신호를 생성하는 제1구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 애노드전극(4)에 제1 구동신호를 공급한다.

제2 패드(20)는 기판(2)의 좌측에 위치하며, 제2 구동신호를 생성하는 제2 구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 캐소드전극(12)에 제2 구동신호를 공급한다.

이와 같이, 도 3에 도시된 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12) 각각은 제1 및 제2 패드들(22,20)과 스트라이프형태로 형성되어 연결되므로 각 구동전극의 라인저항이 상대적으로 낮아져 휘도가 향상된다. 그러나, 제1 및 제2 패드(22,20)와 연결되는 FPC를 각각 마련하여야 하므로 상대적으로 비용이 상승되며 모듈 조립공정도 복잡해지므로 수율이 낮아지는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 신호전극의 저항을 줄임과 아울러 모듈공정을 단순화할 수 있는 유기 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.

도 1은 종래 유기 전계 발광소자를 나타내는 평면도이다.

도 2는 도 1에서 선"Ⅱ-Ⅱ'"를 따라 절취한 유기 전계 발광소자를 나타내는 단면도이다.

도 3은 종래 다른 실시 예에 따른 유기 전계 발광소자를 나타내는 평면도이다.

도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 전계 발광소자를 나타내는 평면도이다.

도 5는 도 4에서 선"Ⅴ-Ⅴ'"를 따라 절취한 유기 전계 발광소자를 나타내는 단면도이다.

도 6a 내지 도 6g는 도 5에 도시된 유기 전계 발광소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.

도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 전계 발광소자를 나타내는 평면도이다.

도 8은 도 7에서 선"Ⅷ-Ⅷ'"를 따라 절취한 유기 전계 발광소자를 나타내는단면도이다.

도 9a 및 도 9b는 도 8에 도시된 유기 전계 발광소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

2,32 : 기판 4,34 : 애노드전극

6,36,60 : 절연막 8,38 : 격벽

10,40 : 유기발광층 12,42 : 캐소드 전극

62 : 더미전극 64 : 접촉홀

상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계발광소자는 기판 상에 형성되는 애노드전극과, 상기 애노드전극과 유기발광층을 사이에 두고 교차하는 캐소드전극과, 상기 캐소드전극 상에 형성되며 상기 캐소드전극을 노출시키는 절연막과, 상기 노출된 캐소드전극과 접속되는 더미전극과, 상기 더미전극에서 신장되어 상기 더미전극을 통해 상기 캐소드전극에 제1 구동신호를 공급하는 제1 패드와, 상기 애노드전극에서 신장되어 상기 애노드전극에 제2 구동신호를 공급하며상기 제1 패드와 일렬로 위치하는 제2 패드를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 절연막은 상기 캐소드전극의 일측단을 노출시키는 것을 특징으로 한다.

상기 더미전극은 "L"자 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 캐소드전극은 상기 절연막을 관통하는 접촉홀을 통해 노출되는 것을 특징으로 한다.

상기 더미전극은 스트라이프 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 및 제2 패드는 교번되게 위치하는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자의 제조방법은 기판 상에 애노드전극을 형성하는 단계와, 상기 애노드전극과 유기발광층을 사이에 두고 교차하는 캐소드전극을 형성하는 단계와, 상기 캐소드전극 상에 상기 캐소드전극을 노출시키는 절연막을 형성하는 단계와, 상기 노출된 캐소드전극과 접속되는 더미전극을 형성하는 단계와, 상기 더미전극에서 신장되어 상기 더미전극을 통해 상기 캐소드전극에 제1 구동신호를 공급하는 제1 패드를 형성하는 단계와, 상기 애노드전극에서 신장되어 상기 애노드전극에 제2 구동신호를 공급하며 상기 제1 패드와 일렬로 위치하는 제2 패드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 절연막을 형성하는 단계는 상기 캐소드전극의 일측단이 노출되도록 상기 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 더미전극은 "L"자 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 캐소드전극은 상기 절연막을 관통하는 접촉홀을 통해 노출되는 것을 특징으로 한다.

상기 더미전극은 스트라이프 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 및 제2 패드는 교번되게 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 4 내지 도 9b를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.

도 4는 본 발명에 따른 유기 전계 발광소자를 나타내는 평면도이며, 도 5는 도 4에서 선 "Ⅴ-Ⅴ'"를 따라 절취한 유기 전계 발광소자를 나타내는 단면도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 유기 EL 표시소자는 화상표시부와, 화상표시부의 구동전극들에 구동신호를 공급하는 패드부를 구비한다.

화상표시부는 서로 절연되게 교차하는 애노드전극(34) 및 캐소드전극(42) 사이에 형성되는 제1 절연막(36), 격벽(38) 및 유기발광층(40)을 포함한다. 또한, 화상표시부는 캐소드전극(42)과 제2 절연막(60)을 사이에 두고 절연되게 교차하는 더미전극(62)을 추가로 포함한다.

애노드전극(34)은 기판(32) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(34)에는 전자(정공)을 방출시키기 위한 제1 구동신호가 공급된다.

제1 절연막(36)은 애노드전극(34)이 형성된 기판(32) 상에 EL셀 영역마다 개구부가 노출되도록 격자형태로 형성된다.

격벽(38)은 애노드전극(34)과 교차되게 형성되고 캐소드전극(42)과 소정간격을 사이에 두고 나란하게 형성되어 인접한 EL셀을 구분하게 된다. 즉, 격벽(38)은 인접한 EL셀의 유기발광층(40) 및 캐소드전극(42)을 분리하게 된다. 또한, 격벽(38)은 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 갖는 오버행(Overhag)구조로 형성된다.

유기발광층(40)은 절연막(36) 상에 유기화합물로 구성된다. 즉, 유기발광층(40)은 절연막(36) 상에 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되어 형성된다.

캐소드전극(42)은 유기발광층(40) 상에 소정간격으로 이격되어 애노드전극(34)과 교차되게 스트라이프형태로 다수개 형성되며, 캐소드전극(62)의 적어도 일측단은 캐소드전극(42) 상에 형성되는 제2 절연막(60)에 의해 노출되도록 형성된다. 노출된 캐소드전극(42)의 일측단은 제2 절연막(60) 상에 형성되는 더미전극(62)과 접속된다. 각 더미전극(62)은 각 캐소드전극(42)과 접속되도록 "L"자 형태로 형성된다. 이 더미전극(62)에서 신장된 제2 패드(50)는 제1 패드들(52) 사이에 위치하게 된다. 또한, 캐소드전극(42)은 그 캐소드전극(42)과 연결된 더미전극(62)에서 신장된 제2 패드(50)를 통해 구동 IC에서 생성된 정공(전자)을 방출시키기 위한 제2 구동신호가 공급된다.

패드부는 다수의 애노드전극(34)에서 신장된 다수의 제1 패드(52)와, 다수의 캐소드전극(42)과 연결된 더미전극(62)에서 신장된 다수의 제2 패드(50)를 포함한다.

제1 패드(52)는 기판(32)의 하부에 위치하며, 제1 구동신호를 생성하는 제1구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 애노드전극(34)에 제1 구동신호를 공급한다.

제2 패드(50)는 기판(32)의 하부에 제1 패드(52)와 교번되게 위치한다. 이러한 제2 패드(50)는 제2 구동신호를 생성하는 제2 구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 더미전극(62)을 통해 캐소드전극(42)에 제2 구동신호를 공급한다.

이러한 유기 EL 소자는 애노드전극(34)에 제1 패드(52)를 통해 제1 구동신호가 인가되고, 캐소드전극(42)에 제2 패드(50) 및 더미전극(62)을 통해 제2 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(34) 및 캐소드전극(42)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(40) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(34)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.

이와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 소자는 캐소드전극(42)과 연결되는 더미전극(62)에서 신장된 제2 패드(50)를 애노드전극(34)에서 신장된 제1 패드들(52) 사이에 위치하게 된다. 즉, 제1 및 제2 패드(52,50)가 일측변에 나란하게 위치하게 되므로 FPC의 부품수를 줄일 수 있어 비용이 절감되며 모듈 조립 공정이 단순해진다. 또한, 캐소드전극(42)의 길이는 종래 도 1에 도시된 캐소드전극의 길이와 동일하므로 종래 도 3에 도시된 캐소드전극의 길이보다 상대적으로 짧아 캐소드전극의 저항을 상대적으로 낮출 수 있어 신호지연 등의 왜곡현상을 방지할 수 있다.

도 6a 내지 도 6g는 도 5에 도시된 유기 EL 소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.

소다라임(sodalime) 또는 경화유리로 된 기판(32) 상에 투명전도성물질, 예를 들어 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 등이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 애노드전극(34)이 형성된다. 애노드전극(34)의 저항성분을 감소시키기 위해 애노드전극(34)의 가장자리에 상대적으로 도전율이 좋은 버스전극이 형성될 수도 있다.

애노드전극(34)이 형성된 기판(32) 상에 제1 감광성 절연물질이 전면 도포된 후 노광 및 현상공정에 의해 패터닝됨으로써 도 6b에 도시된 바와 같이 발광영역을 제외한 비발광영역에 제1 절연막(36)이 형성된다.

절연막(36)이 형성된 기판(42) 상에 제2 감광성 절연물질이 전면 도포된 후 노광 및 현상공정에 의해 제2 감광성 절연물질이 패터닝됨으로써 도 6c에 도시된 바와 같이 격벽(38)이 형성된다. 격벽(38)은 애노드전극(34)과 교차되는 방향으로 소정 간격을 사이에 두고 비발광영역에 형성된다.

격벽(38)이 형성된 기판(32) 상에 정공 수송층(Hole transport layer), 발광층(Emmiting layer) 및 전자 수송층(electron transport layer)이 적층됨으로써 도 6d에 도시된 바와 같이 유기발광층(40)이 형성된다.

유기발광층(40)이 형성된 기판(32) 상에 알루미늄 계열의 금속이 전면 증착됨으로써 도 6e에 도시된 바와 같이 격벽(38)에 의해 화소별로 분리되는 캐소드전극(42)이 형성된다.

캐소드전극(42)이 형성된 기판(32) 상에 SiO₂,SiNx 등을 포함하는 절연물질이 PECVD 방법을 통해 전면 증착됨으로써 제2 절연막(60)이 형성된다. 여기서, PECVD 증착방법은 상대적으로 낮은 약 400℃이하에의 공정온도에서 증착공정이 이루어지므로 유기발광층(40)에 영향을 주지 않게 된다. 또한, PECVD 증착방법은 스퍼터링 증착방법과 달리 상대적으로 낮은 에너지를 가진 입자로 증착공정이 이루어지므로 캐소드전극에 줄 수 있는 손상을 최소화할 수 있다. 이러한 PECVD 증착방법은 유기발광층 증착용 챔버와 제2 절연막 증착용 챔버를 인라인으로 장비를 구성하여 진공중에서 모든 공정이 이루어질 수 있도록 하여 유기발광층과 제2 절연막 사이의 계면이 받을 수 있는 가스와 파티클 등에 의한 오염을 최소화할 수 있다.

이 후, 절연막(60)이 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 6f에 도시된 바와 같이 캐소드전극(42)의 적어도 일측단이 노출된다.

제2 절연막(60)이 형성된 기판(32) 상에 도전성물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 6g에 도시된 바와 같이 캐소드전극(42)과 접촉되는 더미전극(60)이 형성된다.

도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 소자를 나타내는 평면도이며, 도 8은 도 7에서 선 "Ⅷ-Ⅷ'"를 따라 절취한 유기 EL 소자를 나타내는 단면도이다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 소자는 도 4 및 도 5에 도시된 유기 EL 소자와 비교하여 제2 절연막을 노출시키는 접촉홀을 통해 캐소드전극과 더미전극이 접촉하게 되는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다.

캐소드전극(42)은 유기발광층(40) 상에 소정간격으로 이격되어애노드전극(34)과 교차되게 스트라이프형태로 다수개 형성된다. 이 캐소드전극(42)은 제2 절연막(60)을 관통하는 접촉홀(64)을 통해 노출된다. 노출된 캐소드전극(42)은 제2 절연막(60) 상에 스트라이프 형태로 형성되는 더미전극(62)과 접속된다. 각 더미전극(62)에서 신장된 제2 패드(50)는 제1 패드들(52) 사이에 위치하게 된다. 또한, 캐소드전극(42)은 더미전극(62)에서 신장된 제2 패드(50)를 통해 구동 IC에서 생성된 정공(전자)을 방출시키기 위한 제2 구동신호가 공급된다.

패드부는 다수의 애노드전극(34)에서 신장된 다수의 제1 패드(52)와, 다수의 캐소드전극(42)과 연결된 더미전극(62)에서 신장된 다수의 제2 패드(50)를 포함한다.

제1 패드(52)는 기판(32)의 하부에 위치하며, 제1 구동신호를 생성하는 제1 구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 애노드전극(34)에 제1 구동신호를 공급한다.

제2 패드(50)는 기판(32)의 하부에 제1 패드(52)와 교번되게 위치한다. 이러한 제2 패드(50)는 제2 구동신호를 생성하는 제2 구동회로가 실장된 TCP와 접속되어 각 더미전극(62)을 통해 캐소드전극(42)에 제2 구동신호를 공급한다.

이러한 유기 EL 소자는 애노드전극(34)에 제1 패드(52)를 통해 제1 구동신호가 인가되고, 캐소드전극(42)에 제2 패드(50)를 통해 제2 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(34) 및 캐소드전극(42)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(40) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(34)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을표시하게 된다.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 소자는 캐소드전극과 접촉홀을 통해 연결되는 더미전극에서 신장된 제1 패드를 애노드전극에서 신장된 제2 패드들 사이에 위치하게 된다. 즉, 제1 및 제2 패드가 동일 변에 나란하게 위치하게 되므로 FPC의 부품수를 줄일 수 있어 비용이 절감되며 모듈 조립 공정이 단순해진다. 또한, 캐소드전극(42)의 길이는 종래 도 1에 도시된 캐소드전극의 길이와 동일하므로 종래 도 3에 도시된 캐소드전극의 길이보다 상대적으로 짧아 캐소드전극의 저항을 상대적으로 낮출 수 있어 신호지연 등의 왜곡현상을 방지할 수 있다.

도 9a 및 도 9b는 도 8에 도시된 유기 EL 소자의 제조방법을 나타내는 단면도이다.

먼저, 캐소드전극(42)이 형성된 기판(32) 상에 SiO₂,SiNx 등을 포함하는 절연물질이 PECVD 방법을 통해 전면 증착됨으로써 제2 절연막(60)이 형성된다. 여기서, PECVD 증착방법은 상대적으로 낮은 약 400℃이하에의 공정온도에서 증착공정이 이루어지므로 유기발광층에 영향을 주지 않게 된다. 또한, PECVD 증착방법은 스퍼터링 증착방법과 달리 상대적으로 낮은 에너지를 가진 입자로 증착공정이 이루어지므로 캐소드전극(42)에 줄 수 있는 손상을 최소화할 수 있다. 이러한 PECVD 증착방법은 유기발광층 증착용 챔버와 제2 절연막 증착용 챔버를 인라인으로 장비를 구성하여 진공중에서 모든 공정이 이루어질 수 있도록 하여 유기발광층(40)과 제2 절연막(60) 사이의 계면이 받을 수 있는 가스와 파티클 등에 의한 오염을 최소화할수 있다.

이 후, 제2 절연막(60)이 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 9a에 도시된 바와 같이 접촉홀(64)이 형성된다. 접촉홀(64)은 제2 절연막(60)을 관통하여 캐소드전극(42)을 노출시키게 된다.

그런 다음, 제2 절연막(60)이 형성된 기판(32) 상에 도전성물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 9b에 도시된 바와 같이 더미전극(62)이 형성된다. 각 더미전극(62)은 접촉홀(64)을 통해 각 캐소드전극(42)과 전기적으로 접촉된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계발광소자 및 그 제조방법은 캐소드전극과 접촉홀을 통해 연결되는 더미전극에서 신장된 제1 패드를 애노드전극에서 신장된 제2 패드들 사이에 위치하게 된다. 즉, 제1 및 제2 패드가 동일 변에 나란하게 위치하게 되므로 FPC의 부품수를 줄일 수 있어 비용이 절감되며 모듈 조립 공정이 단순해진다. 또한, 캐소드전극의 저항을 상대적으로 낮출 수 있어 신호지연 등의 왜곡현상을 방지할 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (12)

1. 기판 상에 형성되는 애노드전극과,

   상기 애노드전극과 유기발광층을 사이에 두고 교차하는 캐소드전극과,

   상기 캐소드전극 상에 형성되며 상기 캐소드전극을 노출시키는 절연막과,

   상기 노출된 캐소드전극과 접속되는 더미전극과,

   상기 더미전극에서 신장되어 상기 더미전극을 통해 상기 캐소드전극에 제1 구동신호를 공급하는 제1 패드와,

   상기 애노드전극에서 신장되어 상기 애노드전극에 제2 구동신호를 공급하며 상기 제1 패드와 일렬로 위치하는 제2 패드를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 절연막은 상기 캐소드전극의 일측단을 노출시키는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 더미전극은 "L"자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 캐소드전극은 상기 절연막을 관통하는 접촉홀을 통해 노출되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 더미전극은 스트라이프 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 패드는 교번되게 위치하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자.
7. 기판 상에 애노드전극을 형성하는 단계와,

   상기 애노드전극과 유기발광층을 사이에 두고 교차하는 캐소드전극을 형성하는 단계와,

   상기 캐소드전극 상에 상기 캐소드전극을 노출시키는 절연막을 형성하는 단계와,

   상기 노출된 캐소드전극과 접속되는 더미전극을 형성하는 단계와,

   상기 더미전극에서 신장되어 상기 더미전극을 통해 상기 캐소드전극에 제1 구동신호를 공급하는 제1 패드를 형성하는 단계와,

   상기 애노드전극에서 신장되어 상기 애노드전극에 제2 구동신호를 공급하며 상기 제1 패드와 일렬로 위치하는 제2 패드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 절연막을 형성하는 단계는

   상기 캐소드전극의 일측단이 노출되도록 상기 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 더미전극은 "L"자 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조방법.
10. 제 7 항에 있어서,

    상기 캐소드전극은 상기 절연막을 관통하는 접촉홀을 통해 노출되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 더미전극은 스트라이프 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조방법.
12. 제 7 항에 있어서,

    상기 제1 및 제2 패드는 교번되게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광소자의 제조방법.