KR200489068Y1 - Transportation equipment for loading and unloading accessories of semiconductor equipment - Google Patents

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KR200489068Y1 KR2020190000388U KR20190000388U KR200489068Y1 KR 200489068 Y1 KR200489068 Y1 KR 200489068Y1 KR 2020190000388 U KR2020190000388 U KR 2020190000388U KR 20190000388 U KR20190000388 U KR 20190000388U KR 200489068 Y1 KR200489068 Y1 KR 200489068Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차에 관한 것으로, 하부 모서리에 캐스터가 구비되는 사각 형상의 하부 플레이트와; 상기 하부 플레이트의 상부 일측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제1수직바와 상기 제1수직바를 연결하는 제1수평바로 이루어진 제1지지부와; 상기 하부 플레이트의 상부 타측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제2수직바와 상기 제2수직바를 연결하는 제2수평바로 이루어진 제2지지부를 포함하여 형성하되 상기 제1지지부와 제2지지부는 상호 단차지게 형성되고, 상기 하부 플레이트의 상부 양단에서 각각 소정간격 이격되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구조에 의하면 반도체 장비의 부속품을 일시에 복수개를 안정적으로 적재 이송하여 불량률을 낮추고 생산성을 높이는 효과가 있다.
또한, 부속품의 적재 및 이송 중 부속품의 파손을 방지하고 안전사고를 방지하는 효과가 있다.The present invention relates to a moving truck for carrying and transporting accessories of semiconductor equipment, comprising: a rectangular lower plate having a caster at a lower edge thereof; A first support portion formed on one side of the upper portion of the lower plate, the first support portion being composed of a plurality of first vertical bars and a first horizontal bar connecting the first vertical bars and the first vertical bars; And a second support portion formed on the other side of the upper portion of the lower plate, the second support portion being composed of a plurality of second vertical bars and second horizontal bars connecting the second vertical bars, the first support portion and the second support portion And are spaced apart from each other at both ends of the upper portion of the lower plate.
According to this structure, it is possible to stably load and transfer a plurality of the accessories of the semiconductor equipment at once to lower the defect rate and increase the productivity.
In addition, there is an effect of preventing damage of the accessories during loading and transportation of the accessories and preventing safety accidents.

Description

반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차 {Transportation equipment for loading and unloading accessories of semiconductor equipment}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transportation equipment for loading and unloading accessories of semiconductor equipment,

본 고안은 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차에 관한 것으로, 특히 판상의 일측이 외팔보 형태로 돌출된 형태의 부속품을 안정적으로 적재할 수 있음은 물론 적재 및 이동 중 부속품의 일부가 파손되거나 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있는 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차에 관한 것이다.The present invention relates to a moving truck for loading and transporting accessories of semiconductor equipment, in particular, it is possible to stably load an accessory in the form of a cantilever-shaped protrusion on one side of a plate, as well as a part of the accessory is broken or scratched To a mobile truck for loading and carrying accessories of semiconductor equipment.

일반적으로 무거운 장비나 연속적으로 조립되는 부품는 대차에 적재하여 계속적으로 이동하도록 하여 이송 및 조립 시간을 줄일 수 있도록 한다.In general, heavy equipment or consecutively assembled parts can be loaded on a bogie and moved continuously to reduce transport and assembly time.

즉, 종래 등록실용신안 제20-0319005호 '반도체 웨이퍼 운반용 수동대차'와 같이 반도체 분야에서도 웨이퍼 제조 공정의 효율을 높이기 위해 수동대차가 개발되어 사용되었다.That is, passive trucks have been developed and used in the semiconductor field to increase the efficiency of the wafer manufacturing process, such as the conventional registered utility model No. 20-0319005 'Manual passenger truck for semiconductor wafer transportation'.

한편, 일반적인 대차의 경우 등록실용신안 제20-0463603호 '접이식 운반대차의 손잡이 브래킷 장치 및 그를 구비하는 접이식 운반대차'와 같이 물품을 적재하는 적재판과 접이가 가능하고 고정된 상태에서 손으로 용이하게 운반대차를 끌 수 있도록 형성되어 있다.On the other hand, in the case of a common lorry, the lorry can be folded and folded, such as the registered utility model No. 20-0463603 'Handle bracket device of a folding lorry and a folding lorry equipped with the lorry, So that the truck can be pulled out.

그리고, 공개특허 10-1998-076529호 '냉장고 도어 운반용 대차'는 하측모서리에 각각 바퀴가 부착된 사각형의 수평프레임과, 상기 수평프레임의 일측단에 수직으로 입설된 수직프레임과, 상기 수평프레임의 타측단에 일정각도를 두고 경사설치된 경사프레임과, 상기 수직프레임과 경사프레임사이에 일정간격으로 그 하단양측이 상기 수평프레임에 회동가능하게 고정되며 하나 또는 두개의 도어안치대가 횡으로 부설되고 상기 도어안치대 상측에 하나 또는 두개의 받침판이 횡으로 부설되며 그 상단 후측에 일정길이의 간격봉이 2~3개 부착된 다수의 가동프레임으로 구성되어 판상의 냉장고 도어를 안정적으로 세워서 적재 이송할 수 있게 된다.The 'refrigerator door carrying car' is a rectangular horizontal frame having wheels at its lower corners, a vertical frame vertically installed at one side of the horizontal frame, One or both of the door stands are laterally laid down and fixed to the horizontal frame so that both lower ends of the lower ends thereof are spaced apart from each other at regular intervals between the vertical frame and the inclined frame, One or two bed plates are laid laterally on the upper side of the bed, and a plurality of movable frames having two or three spacing bars of a predetermined length attached to the upper rear side of the bed, so that the plate-like refrigerator door can be stably mounted and transported .

그러나, 반도체 장비의 부속품 중 판상으로 형성된 본체에서 외팔보 형태로 일부가 일체로 돌출된 형태의 부속품은 파레트 등에 적재하기가 매우 불편하고 적재나 이송중 상호 마찰에 의해 일부가 파손되거나 표면에 흠집이 생기는 등 불량률이 높아지는 문제점이 있었다.However, it is very inconvenient to load parts of the semiconductor equipment in the form of a cantilevered body partly protruding from a plate-shaped body integrally with a pallet or the like, and it is very inconvenient that parts are broken or scratched on the surface due to mutual friction during loading or transportation. And so on.

따라서 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 반도체 장비의 부속품을 안정적으로 복수개 적재하여 이송에 소요되는 시간을 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to reduce the time required for transferring a plurality of accessories of semiconductor equipment stably.

또한, 부속품의 적재 및 이송 중 진동 등 외력에 의해 부속품이 흔들리거나 이탈되는 것을 방지하여 부속품의 파손 및 안전사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The object of the present invention is to prevent an accessory from being shaken or detached by an external force such as vibration during loading and transportation of the accessory, thereby preventing the accessory from being damaged and a safety accident in advance.

이와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 본 고안은;In order to solve such a technical problem,

반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차에 관한 것으로, 하부 모서리에 캐스터가 구비되는 사각 형상의 하부 플레이트와; 상기 하부 플레이트의 상부 일측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제1수직바와 상기 제1수직바를 연결하는 제1수평바로 이루어진 제1지지부와; 상기 하부 플레이트의 상부 타측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제2수직바와 상기 제2수직바를 연결하는 제2수평바로 이루어진 제2지지부를 포함하여 형성하되 상기 제1지지부와 제2지지부는 상호 단차지게 형성되고, 상기 하부 플레이트의 상부 양단에서 각각 소정간격 이격되어 형성되는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a moving truck for loading and transporting accessories of semiconductor equipment, comprising: a rectangular lower plate having a caster at a lower corner; A first support portion formed on one side of the upper portion of the lower plate, the first support portion being composed of a plurality of first vertical bars and a first horizontal bar connecting the first vertical bars and the first vertical bars; And a second support portion formed on the other side of the upper portion of the lower plate, the second support portion being composed of a plurality of second vertical bars and second horizontal bars connecting the second vertical bars, the first support portion and the second support portion And are spaced apart from each other at both ends of the upper portion of the lower plate.

이때, 상기 하부 플레이트의 상부 일단에는 지지바가 더 구비되고, 상기 지지바의 일측에는 제1지지판이 형성되며, 하부 플레이트의 타단에는 제2지지판이 형성된다.At this time, a support bar is further provided on one end of the upper plate, a first support plate is formed on one side of the support bar, and a second support plate is formed on the other end of the lower plate.

또한, 상기 하부 플레이트에는 십자형태의 제1연결바가 구비되고, 상기 제1연결바의 교차부에 수직연결바가 돌출되며, 상기 수직연결바의 상부에는 십자형태의 제2연결바가 더 구비되고, 상기 제1수직바와 제2수직바에는 'ㄷ'형태의 체결구가 각각 구비되며, 상기 체결구에는 반도체 장비의 부속품을 고정하는 고정띠가 결합된다.In addition, the lower plate may have a cross-shaped first connecting bar, a vertical connecting bar may protrude from the intersecting portion of the first connecting bar, a second connecting bar may be formed on the upper portion of the vertical connecting bar, The first vertical bar and the second vertical bar are each provided with a fastening member having a 'C' shape, and a fastening band for fixing the accessories of the semiconductor equipment is coupled to the fastening hole.

이와 더불어, 상기 제1수평바 및 제2수평바의 상부면에는 반도체 장비의 부속품의 파손을 방지하도록 연질의 마찰방지판이 더 구비된다.In addition, a soft friction plate is further provided on the upper surfaces of the first horizontal bar and the second horizontal bar to prevent breakage of the accessories of the semiconductor equipment.

본 고안에 따른 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차는 반도체 장비의 부속품을 일시에 복수개를 안정적으로 적재 이송하여 불량률을 낮추고 생산성을 높이는 효과가 있다.According to the present invention, the moving luggage for loading and unloading semiconductor equipment has the effect of reducing the defect rate and increasing the productivity by stably loading and transferring a plurality of the accessories of the semiconductor equipment at a time.

또한, 부속품의 적재 및 이송 중 부속품의 파손을 방지하고 안전사고를 방지하는 효과가 있다.In addition, there is an effect of preventing damage of the accessories during loading and transportation of the accessories and preventing safety accidents.

도 1은 본 고안에 따른 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차의 사시도.
도 2는 본 고안에 따른 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차의 측면도.
도 3 및 도 4는 본 고안에 따른 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차의 사용상태도.
도 5는 본 고안에 따른 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차의 요부 확대도.
도 6은 본 고안에 따른 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차의 다른 실시예.1 is a perspective view of a moving lorry for carrying and loading accessories of semiconductor equipment according to the present invention;
Fig. 2 is a side view of a moving lorry for carrying the accessories of the semiconductor equipment according to the present invention. Fig.
FIGS. 3 and 4 are views showing the state of use of a mobile truck for carrying and carrying accessories of semiconductor equipment according to the present invention. FIG.
Fig. 5 is an enlarged view of the main part of a moving truck for carrying and transporting accessories of semiconductor equipment according to the present invention. Fig.
Fig. 6 is another embodiment of a moving truck for loading and carrying accessories of semiconductor equipment according to the present invention. Fig.

이하 본 고안에 따른 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차(이하 '이동 대차'라함)를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 기술되는 실시 예들에 의해 그 특징들을 이해할 수 있을 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, in which: FIG. 1 is a perspective view of a moving vehicle according to an embodiment of the present invention;

본 고안은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 실시 예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 고안을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 고안의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention can be variously modified in various forms, and the embodiments are described in detail in the following description. It should be understood, however, that this invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

먼저 본 고안에 따른 이동 대차(1)는 도 1과 같이 판상으로 된 몸체(11)의 일측면에서 외팔보 형태로 돌출된 돌출부(12)가 형성된 반도체 장비의 부속품(10)(이하 '부속품'이라함)을 복수개 적재함은 물론 적재와 이송중 흔들림을 방지할 수 있는 이동 대차(1)에 관한 것이다.First, the moving carriage 1 according to the present invention comprises an accessory 10 (hereinafter referred to as 'accessory') of a semiconductor equipment having a protruding portion 12 protruding in a cantilever shape from one side of a plate body 11 as shown in FIG. The present invention relates to a moving truck 1 capable of loading a plurality of trucks, as well as preventing shaking during loading and transportation.

이러한 이동 대차(1)는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차에 관한 것으로, 하부 모서리에 캐스터(21)가 구비되는 사각 형상의 하부 플레이트(20)와; 상기 하부 플레이트(20)의 상부 일측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제1수직바(31)와 상기 제1수직바(31)를 연결하는 제1수평바(32)로 이루어진 제1지지부(30)와; 상기 하부 플레이트(20)의 상부 타측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제2수직바(41)와 상기 제2수직바(41)를 연결하는 제2수평바(42)로 이루어진 제2지지부(40)를 포함하여 형성하되 상기 제1지지부(30)와 제2지지부(40)는 상호 단차지게 형성되고, 상기 하부 플레이트(20)의 상부 양단에서 각각 소정간격 이격되어 형성되는 것을 특징으로 한다.As shown in FIGS. 1 to 3, the moving carriage 1 includes a rectangular lower plate 20 having a caster 21 at a lower edge thereof, A plurality of first vertical bars 31 formed at one side of the upper plate 20 and spaced from each other and a first horizontal bar 32 connecting the first vertical bars 31, A support 30; And a second horizontal bar (42) formed on the other side of the upper portion of the lower plate (20) and connecting a plurality of second vertical bars (41) separated from each other to the second vertical bars (41) The first support part 30 and the second support part 40 are formed so as to be stepped on each other and are spaced apart from each other at both ends of the upper part of the lower plate 20 by a predetermined distance do.

이때, 상기 하부 플레이트(20)는 대략 직사각형태로 형성되고, 상기 제1수직바(31)와 제1수평바(32) 및 제2수직바(41)와 제2수평바(42)는 금속재의 사각바로 형성되며, 상기 제1수직바(31)와 제2수직바(41)는 상호 대향되는 방향으로 상기 하부 플레이트(20)의 양단에서 각각 소정간격 이격되어 하부 플레이트(20)의 길이 방향으로 복수개 등간격으로 형성되며 상기 제1수평바(32)는 제1수직바(31)의 상부와 하부를 연결하여 직사각형태로 고정된다.In this case, the lower plate 20 is formed in a substantially rectangular shape, and the first vertical bar 31, the first horizontal bar 32, the second vertical bar 41, And the first vertical bar 31 and the second vertical bar 41 are spaced from each other at both ends of the lower plate 20 in a direction opposite to each other, And the first horizontal bar 32 is fixed in a rectangular shape by connecting the upper and lower portions of the first vertical bar 31.

그리고 상기 제1수평바(32)의 양단에서 'ㄱ'형태의 제1보조바(33)가 더 구비된다.The first horizontal bar 32 is further provided with first auxiliary bars 33 at both ends thereof.

한편, 상기 제2수평바(42)는 제1수평바(32)와 대향되는 하부 플레이트(20)의 타단에서 소정간격 이격되어 제1수평바(32)와 같은 개수로 형성되며, 제2수평바(42) 역시 제2수직바(41)의 상부와 하부를 연결하여 직사각형태로 고정된다.The second horizontal bar 42 is spaced a predetermined distance from the other end of the lower plate 20 facing the first horizontal bar 32 and is formed in the same number as the first horizontal bar 32, The bar 42 is also fixed in a rectangular shape by connecting the upper portion and the lower portion of the second vertical bar 41.

그리고, 상기 제2수평바(42)의 양단에서 상기 제1보조바(33)와 연결되는 제2보조바(43)가 돌출되어 제1지지부(30)와 제2지지부(40)가 상호 연결되게 된다.A second support bar 43 connected to the first support bar 33 protrudes from both ends of the second horizontal bar 42 so that the first support part 30 and the second support part 40 are connected to each other .

물론, 상기 제1수직바(31)와 제1수평바(32)는 일체로 형성될 수 있고, 상기 제2수직바(41)와 제2수평바(42) 또한 일체로 형성될 수 있다.Of course, the first vertical bar 31 and the first horizontal bar 32 may be integrally formed, and the second vertical bar 41 and the second horizontal bar 42 may be integrally formed.

또한, 상기 제1수직바(31)는 제2수직바(41) 보다 길게 형성되어 제1지지부(30)와 제2지지부(40)가 단차지게 형성된다.The first vertical bar 31 is formed longer than the second vertical bar 41 so that the first and second support portions 30 and 40 are stepped.

이와 같은 구조에서 이동 대차(1)는 도 3에 도시한 바와 같이 4개의 부속품(10)을 지지할 수 있으며 길이를 가변하여 2개 또는 4개 이상의 부속품(10)을 지지할 수 있도록 할 수 있다.In such a structure, the moving carriage 1 can support four pieces of accessories 10 as shown in FIG. 3, and can be made to be capable of supporting two or more pieces of accessories 10 by varying the length .

한편, 상기 복수개의 제1 및 제2수직바(31,41) 중 양단의 제1 및 제2수직바(31,41)를 제외한 제1 및 제2수직바(31,41)에는 부속품(10)이 상호 마찰되는 것을 방지하도록 격벽역할을 하는 벽체(34,44)가 더 구비될 수 있다.The first and second vertical bars 31 and 41 except for the first and second vertical bars 31 and 41 at both ends of the plurality of first and second vertical bars 31 and 41 are provided with accessories 10 May be further provided with walls (34, 44) serving as barrier ribs to prevent rubbing against each other.

그리고, 상기 하부 플레이트(20)의 상부 일단에는 지지바(22)가 더 구비되고, 상기 지지바(22)의 일측에는 제1지지판(23)이 형성되며, 하부 플레이트(20)의 타단에는 제2지지판(24)이 형성되는 것을 특징으로 한다.A support bar 22 is further provided at one end of the upper plate 20 and a first support plate 23 is formed on one side of the support bar 22 and a second support plate 23 is provided on the other end of the lower plate 20. 2 supporting plate 24 is formed.

상기와 같은 구조는 상술한 바와 같이 하부 플레이트(20)의 양단에서 소정간격 이격되어 설치되는 제1지지부(30)와 제2지지부(40)의 일측에 하부 플레이트(20)에 판상으로 형성되는 부속품(10)의 몸체(11)를 세워서 지지할 수 있도록 하되 제1지지부(30)의 일측에 형성되는 지지바(22)는 단차를 갖는 제1지지부(30)와 제2지지부(40)에 안착되는 부속품(10)이 상호 높이차를 갖고 지지되어 부속품(10)의 돌출부(12)가 간섭되지 않고 포개져 안착되도록 한다.As described above, the first and second supporting portions 30 and 40 are spaced apart from each other at both ends of the lower plate 20 by a predetermined distance. The supporting bar 22 formed on one side of the first supporting part 30 is supported by the first supporting part 30 having a step and the second supporting part 40 So that the protrusions 12 of the accessories 10 are superposed without being interfered with each other.

물론, 상기 제1지지판(23)과 제2지지판(24)은 상기 몸체(11)의 일측을 지지하여 안정적으로 부속품(10)을 지지할 수 있도록 한다.Of course, the first support plate 23 and the second support plate 24 support one side of the body 11 to support the accessory 10 stably.

이와 더불어, 상기 하부 플레이트(20)에는 십자형태의 제1연결바(25)가 구비되고, 상기 제1연결바(25)의 교차부에 수직연결바(26)가 돌출되며, 상기 수직연결바(26)의 상부에는 십자형태의 제2연결바(27)가 더 구비된다.In addition, the lower plate 20 is provided with a first connecting bar 25 in the form of a cross, a vertical connecting bar 26 is protruded at an intersection of the first connecting bar 25, And a second connecting bar 27 in the form of a cross is further provided on the upper portion of the second connecting member 26.

그리고, 도 6에 도시한 바와 같이 상기 제1수직바(31)와 제2수직바(41)에는 'ㄷ'형태의 체결구(31a,41a)가 각각 구비되며, 상기 체결구(31a,41a)에는 부속품(10)을 고정하는 고정띠(50)가 결합된다.As shown in FIG. 6, the first vertical bar 31 and the second vertical bar 41 are provided with 'C' type fasteners 31a and 41a, respectively. The fasteners 31a and 41a A fixed band 50 for fixing the accessory 10 is coupled.

이와 같은 고정띠(50)의 일예로 버클(51)로 고정하는 방식이 사용될 수 있으며 개수와 형태는 공지의 고정띠(50)는 어떠한 방식이든 적용할 수 있다.As the fixing belt 50, for example, a method of fixing the fixing belt 50 with the buckle 51 may be used, and the known fixing belt 50 may be applied in any manner.

이때, 상기 체결구(31a,41a)는 제1 및 제2수직바(31,41)의 상,하부에 두쌍이 형성되어 부속품(10)의 몸체(11)를 견고히 감싸 이동중 흔들림을 방지하여 부속품(10)의 파손이나 이탈로 인한 인사사고을 방지할 수 있게 된다.At this time, the pair of fasteners 31a and 41a are formed on the upper and lower sides of the first and second vertical bars 31 and 41 so as to firmly cover the body 11 of the accessory 10, It is possible to prevent personnel accidents caused by breakage or departure of the vehicle 10.

한편, 도 5와 같이 상기 제1수평바(32) 및 제2수평바(42)의 상부면에는 부속품(10)의 파손을 방지하도록 연질의 마찰방지판(60)이 더 구비된다.As shown in FIG. 5, the upper surface of the first horizontal bar 32 and the second horizontal bar 42 are further provided with a soft friction plate 60 to prevent the accessory 10 from being damaged.

물론, 상기 벽체(34,44) 및 하부 플레이트(20) 등 부속품(10)이 지지되는 면에는 모두 마찰방지판(60)을 구비할 수 있으며, 접착제 등으로 고정되고, 연질의 합성수지로 형성되어 진동에 의한 소음을 방지할 수 있음은 물론 부속품(10)의 고정력을 높이고 부속품(10)과 이동 대차(1)와의 마찰로 인한 도장면이 벗겨지는 등의 파손을 방지할 수 있게 된다.Of course, the friction plates 60 may be provided on the surfaces of the components 34, 44, and the lower plate 20 to which the accessories 10 are supported. The friction plates 60 may be fixed with an adhesive or the like, It is possible to prevent the noise caused by the vibration and also to increase the fixing force of the accessory 10 and to prevent breakage such as peeling of the coating surface due to friction between the accessory 10 and the moving carriage 1. [

상술한 바와 같이 본 고안의 이동 대차(1)는 적재가 곤란한 복수개의 부속품(10)을 안정적으로 고정 지지할 수 있으며, 이로인해 이송 시간을 단축시키고 불량률을 낮춰 생산성을 높이는 효과가 있다.As described above, the moving carriage 1 according to the present invention can stably and securely support a plurality of accessories 10, which are difficult to load, thereby shortening the transporting time and reducing the defective rate, thereby improving the productivity.

이상과 같이 본 고안의 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 고안의 권리범위는 이에 한정되지 않으며, 본 고안의 실시 예와 실질적으로 균등의 범위에 있는 것까지 본 고안의 권리범위가 미친다.As described above, the embodiments of the present invention have been described in detail. However, the scope of rights of the present invention is not limited to these embodiments, and the range of the present invention is limited to the range substantially equivalent to the embodiments of the present invention.

1: 이동 대차 10: 부속품
11: 몸체 12: 돌출부
20: 하부 플레이트 21: 캐스터
22: 지지바 23: 제1지지판
24: 제2지지판 25: 제1연결바
26: 수직연결바 27: 제2연결바
30: 제1지지부 31: 제1수직바
32: 제1수평바 33: 제1보조바
34: 벽체 40: 제2지지부
41: 제2수직바 42: 제2수평바
43: 제2보조바 44: 벽체
50: 고정띠 51: 버클
60: 마찰방지판1: Moving truck 10: Accessory
11: body 12:
20: Lower plate 21: Caster
22: support bar 23: first support plate
24: second supporting plate 25: first connecting bar
26: vertical connection bar 27: second connection bar
30: first supporting part 31: first vertical bar
32: first horizontal bar 33: first auxiliary bar
34: wall 40: second support
41: second vertical bar 42: second horizontal bar
43: second auxiliary bar 44: wall
50: fixed band 51: buckle
60: friction plate

Claims (5)

반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차에 관한 것으로,
하부 모서리에 캐스터(21)가 구비되는 사각 형상의 하부 플레이트(20)와;
상기 하부 플레이트(20)의 상부 일측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제1수직바(31)와 상기 제1수직바(31)를 연결하는 제1수평바(32)로 이루어진 제1지지부(30)와;
상기 하부 플레이트(20)의 상부 타측에 형성되며, 상호 이격되어 구비되는 복수개의 제2수직바(41)와 상기 제2수직바(41)를 연결하는 제2수평바(42)로 이루어진 제2지지부(40)를 포함하여 형성하되 상기 제1지지부(30)와 제2지지부(40)는 상호 단차지게 형성되고, 상기 하부 플레이트(20)의 상부 양단에서 각각 소정간격 이격되어 형성되며, 상기 하부 플레이트(20)의 상부 일단에는 지지바(22)가 더 구비되고, 상기 지지바(22)의 일측에는 제1지지판(23)이 형성되며, 하부 플레이트(20)의 타단에는 제2지지판(24)이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving truck for loading and carrying accessories of semiconductor equipment,
A rectangular lower plate 20 having a castor 21 at a lower edge thereof;
A plurality of first vertical bars 31 formed at one side of the upper plate 20 and spaced from each other and a first horizontal bar 32 connecting the first vertical bars 31, A support 30;
And a second horizontal bar (42) formed on the other side of the upper portion of the lower plate (20) and connecting a plurality of second vertical bars (41) separated from each other to the second vertical bars (41) The first support portion 30 and the second support portion 40 are formed so as to be stepped on each other and are spaced apart from each other at both ends of the upper portion of the lower plate 20, A first support plate 23 is formed on one side of the support bar 22 and a second support plate 24 is formed on the other end of the lower plate 20, ) Is formed on the surface of the movable carrier. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 하부 플레이트(20)에는 십자형태의 제1연결바(25)가 구비되고, 상기 제1연결바(25)의 교차부에 수직연결바(26)가 돌출되며, 상기 수직연결바(26)의 상부에는 십자형태의 제2연결바(27)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차.The method according to claim 1,
A vertical connecting bar 26 protrudes from an intersection of the first connecting bar 25 and a vertical connecting bar 26 extends from the vertical connecting bar 26, Characterized in that a second connecting bar (27) in the form of a cross is further provided on the upper part of the second connecting bar (27). 제 1항에 있어서,
상기 제1수직바(31)와 제2수직바(41)에는 'ㄷ'형태의 체결구(31a,41a)가 각각 구비되며, 상기 체결구(31a,41a)에는 반도체 장비의 부속품(10)을 고정하는 고정띠(50)가 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차.The method according to claim 1,
The first vertical bar 31 and the second vertical bar 41 are respectively provided with fastening holes 31a and 41a and fasteners 31a and 41a are provided with accessories 10 for semiconductor equipment, And a fixed band (50) for fixing the semiconductor device. 제 1항에 있어서,
상기 제1수평바(32) 및 제2수평바(42)의 상부면에는 반도체 장비의 부속품(10)의 파손을 방지하도록 연질의 마찰방지판(60)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 부속품 적재 운반용 이동 대차.The method according to claim 1,
Wherein a soft friction plate (60) is further provided on the upper surface of the first horizontal bar (32) and the second horizontal bar (42) to prevent breakage of the accessory (10) Of moving goods for carrying goods.
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KR200319005Y1 (en) * 2003-04-22 2003-07-04 성진세미텍주식회사 hand cart for carrying semiconduct wafer
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