KR200488076Y1 - Substrate support pedestal with heater - Google Patents

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Abstract

본 고안의 실시예들은 균일한 온도 분포를 제공하는 기판 히터에 관한 것이다. 일 실시예에서, 기판 지지 조립체는 기판 지지면을 갖는 기판 지지 페디스털과, 가열 조립체를 포함한다. 상기 가열 조립체는 상기 기판 지지면에 인접하여 상기 기판 지지 페디스털 내에 배치된다. 상기 가열 조립체는 상기 가열 조립체의 코너들에 균일한 열 분포를 제공하도록 구성된다. 다른 실시예에서, 기판 지지 조립체는 기판 지지면을 갖는 기판 지지 페디스털과, 가열 조립체를 포함한다. 상기 가열 조립체는 상기 기판 지지 페디스털 내에 배치되며, 내부 및 외부 가열 구역을 포함한다. 상기 내부 가열 구역은 상기 가열 조립체의 중앙 내에 배치되어 그 중앙으로부터 연장된다. 상기 외부 가열 구역은 상기 가열 조립체의 에지들을 둘러싼다. 상기 외부 가열 구역은 상기 가열 조립체의 코너들에 배치된 복수의 이형 가열 요소들을 갖는다. Embodiments of the present invention relate to a substrate heater that provides a uniform temperature distribution. In one embodiment, the substrate support assembly includes a substrate support pedestal having a substrate support surface, and a heating assembly. The heating assembly is disposed within the substrate support pedestal adjacent the substrate support surface. The heating assembly is configured to provide a uniform heat distribution to the corners of the heating assembly. In another embodiment, the substrate support assembly includes a substrate support pedestal having a substrate support surface, and a heating assembly. The heating assembly is disposed within the substrate support pedestal and includes inner and outer heating zones. The internal heating zone is disposed within the center of the heating assembly and extends from the center thereof. The external heating zone surrounds the edges of the heating assembly. The external heating zone has a plurality of shaped heating elements disposed at the corners of the heating assembly.

Description

히터를 구비한 기판 지지 페디스털{SUBSTRATE SUPPORT PEDESTAL WITH HEATER}[0001] SUBSTRATE SUPPORT PEDESTAL WITH HEATER [0002]

본 고안의 실시예들은 일반적으로 기판을 가로질러 균일한 프로세싱을 제공하기 위한 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 고안의 실시예들은 기판을 가로질러 균일한 온도 분포를 제공하는 히터를 구비한 기판 지지 페디스털에 관한 것이다.Embodiments of the present invention generally relate to an apparatus for providing uniform processing across a substrate. More specifically, embodiments of the present invention relate to a substrate support pedestal having a heater that provides a uniform temperature distribution across the substrate.

집적 회로들의 제조에 있어서, 하나의 기판 내에서의 일관성 있는 결과들과 아울러, 기판에서 기판으로의 재현 가능한 결과들을 달성하기 위해 다양한 프로세싱 파라미터들의 정밀한 제어가 필요하다. 반도체 디바이스들을 형성하기 위한 구조물들의 기하학적 한계들이 기술적 한계들에 대해 밀림에 따라, 엄격한 공차들과 정밀한 프로세스 제어가 제조 성공에 대해 중요하다. 그러나, 기하학적 구조들이 축소됨에 따라, 정밀한 임계 치수 및 프로세스 제어가 점점 더 어려워져 왔다.In the manufacture of integrated circuits, precise control of various processing parameters is required to achieve reproducible results from substrate to substrate, with consistent results in one substrate. Rigorous tolerances and precise process control are critical to manufacturing success as the geometric limitations of the structures for forming semiconductor devices are limited to technical limitations. However, as geometries have shrunk, precise critical dimensions and process control have become increasingly difficult.

많은 디바이스들은 플라즈마가 존재하는 상태에서 프로세싱된다. 플라즈마가 기판 위에 균일하게 배치되지 않으면, 프로세싱 결과들이 또한 불균일하게 될 수 있다. 종래의 플라즈마 프로세싱 챔버들이 보다 큰 임계 치수들에서 강력한 성능을 발휘하는 것들로 입증되었지만, 플라즈마 균일성을 제어하기 위한 기존의 기술들은 플라즈마 균일성의 개선이 대면적 기판들에 대한 성공적인 제조에 기여하게 될 하나의 영역이다. Many devices are processed in the presence of a plasma. If the plasma is not evenly placed on the substrate, the processing results may also become non-uniform. While conventional plasma processing chambers have proved to be powerful performers at larger critical dimensions, existing techniques for controlling plasma uniformity have been found to be beneficial in that improvements in plasma uniformity contribute to successful fabrication of large area substrates It is one area.

따라서, 기판을 가로질러 온도 균일성을 증대시킴으로써 균일한 프로세싱을 촉진하는 기판 지지 페디스털 히터가 필요하다. Thus, there is a need for a substrate support pedestal heater that promotes uniform processing by increasing temperature uniformity across the substrate.

본 고안의 실시예들은 기판을 가로질러 균일한 온도 분포를 제공하는 히터를 구비한 기판 지지 페디스털에 관한 것이다. 일 실시예에서, 기판 지지 조립체가 제공된다. 기판 지지 조립체는 가열 조립체 및 기판 지지면을 갖는 기판 지지 페디스털을 포함한다. 상기 가열 조립체는 상기 기판 지지면에 인접하여 상기 기판 지지 페디스털 내에 배치된다. 상기 가열 조립체는, 실질적으로 균일한 온도 분포를 보장하도록 상기 가열 조립체의 코너들을 구성함으로써, 상기 기판을 가로질러 균일한 열 분포를 제공하도록 구성된다. Embodiments of the present invention relate to a substrate support pedestal having a heater that provides a uniform temperature distribution across the substrate. In one embodiment, a substrate support assembly is provided. The substrate support assembly includes a heating assembly and a substrate support pedestal having a substrate support surface. The heating assembly is disposed within the substrate support pedestal adjacent the substrate support surface. The heating assembly is configured to provide a uniform heat distribution across the substrate by configuring the corners of the heating assembly to ensure a substantially uniform temperature distribution.

다른 실시예에서, 기판 지지 조립체는 가열 조립체 및 기판 지지면을 갖는 기판 지지 페디스털을 포함한다. 상기 가열 조립체는 상기 기판 지지면에 인접하여 상기 기판 지지 페디스털 내에 배치된다. 상기 가열 조립체는 내부 가열 구역과 외부 가열 구역을 포함한다. 상기 내부 가열 구역은 상기 가열 조립체의 중앙 내에 배치되어 그 중앙으로부터 연장된다. 상기 외부 가열 구역은 상기 가열 조립체의 에지들을 둘러싼다. 상기 외부 가열 구역은 상기 가열 조립체의 코너들에 배치된 복수의 이형(耳形)(ear-shaped) 가열 요소들을 갖는다. In another embodiment, the substrate support assembly includes a heating assembly and a substrate support pedestal having a substrate support surface. The heating assembly is disposed within the substrate support pedestal adjacent the substrate support surface. The heating assembly includes an inner heating zone and an outer heating zone. The internal heating zone is disposed within the center of the heating assembly and extends from the center thereof. The external heating zone surrounds the edges of the heating assembly. The external heating zone has a plurality of ear-shaped heating elements disposed at the corners of the heating assembly.

또 다른 실시예에서, 프로세싱 챔버 내에서 기판의 표면을 가열하기 위한 방법이 제공된다. 상기 방법은 기판이 위에 배치된 기판 지지 조립체의 기판 지지면의 에지들에 균일한 열 분포를 제공하는 단계를 포함한다. 상기 에지들에는 복수의 이형 가열 요소들이 배치된다. In yet another embodiment, a method for heating a surface of a substrate in a processing chamber is provided. The method includes providing a uniform heat distribution to the edges of a substrate support surface of a substrate support assembly over which the substrate is disposed. A plurality of shaped heating elements are disposed at the edges.

본 고안의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로 앞서 간략히 요약된 본 고안의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있는데, 이러한 실시예들의 일부는 첨부된 도면들에 예시되어 있다. 그러나, 첨부도면들은 본 고안의 단지 전형적인 실시예들을 도시하는 것이므로 본 고안의 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않아야 한다는 것이 주목되어야 하는데, 이는 본 고안이 다른 균등하게 유효한 실시예들을 허용할 수 있기 때문이다.
도 1은 플라즈마 강화 화학 기상 증착 챔버의 일 실시예의 개략적인 단면도이다.
도 2는 가열 조립체의 평면도이다.
도 3은 도 2의 단면선 3--3을 따라 취한 도 2의 가열 조립체의 단면도이다.
도 4는 도 2의 단면선 4--4를 따라 취한 도 2의 가열 조립체의 단면도이다.
이해를 용이하게 하기 위하여, 도면들에서 공통되는 동일한 요소들은 가능한 한 동일한 참조번호들을 사용하여 표시하였다. 일 실시예에 개시된 요소들은 구체적인 언급 없이 다른 실시예들에 유리하게 활용될 수 있을 것으로 생각된다. A more particular description of the invention, briefly summarized above, in such a manner that the recited features of the present invention can be understood in detail, may be made with reference to the embodiments, some of which are illustrated in the accompanying drawings . It should be understood, however, that the appended drawings illustrate only typical embodiments of this invention and are therefore not to be considered limiting of its scope, for the invention may allow other equally effective embodiments .
1 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of a plasma enhanced chemical vapor deposition chamber.
2 is a top view of the heating assembly.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the heating assembly of FIG. 2 taken along section line 3--3 of FIG. 2;
4 is a cross-sectional view of the heating assembly of FIG. 2 taken along section line 4--4 of FIG. 2;
To facilitate understanding, the same elements that are common to the figures have been represented using the same reference numerals whenever possible. It is contemplated that the elements described in one embodiment may be advantageously utilized in other embodiments without specific recitation.

도 1은 PECVD 챔버(110)의 개략적인 단면도를 나타낸다. 본 고안을 실시하기 위해 사용될 수 있는 적당한 PECVD 챔버는 Applied Materials, Inc.의 자회사인, 캘리포니아주 산타 클라라에 소재한 AKT America, Inc.로부터 구입할 수 있다. 본원에 기술된 실시예들은 다른 제조사들에 의해 판매되고 있는 것들을 포함하여 다른 챔버들에서도 실시될 수 있음을 이해하여야 한다. Figure 1 shows a schematic cross-sectional view of a PECVD chamber 110. Suitable PECVD chambers that can be used to carry out the present design are available from AKT America, Inc. of Santa Clara, Calif., A subsidiary of Applied Materials, Inc. It should be understood that the embodiments described herein may be practiced in other chambers, including those sold by other manufacturers.

PECVD 챔버(110)는 상부 벽체(114)를 관통하여 형성된 개구와 개구 내에 배치된 가스 유입 매니폴드(116)를 갖는 챔버 본체(112)를 포함한다. 대안적으로, 상부 벽체(114)는 고체일 수 있으며, 가스 유입 매니폴드(116)는 그 내면에 인접하여 배치된다. 가스 유입 매니폴드(116)는 전극으로서 기능할 수 있으며, 일 실시예에서는, 정합 네트워크(미도시)를 통해 RF 전원과 같은 전원(136)에 접속된다.The PECVD chamber 110 includes a chamber body 112 having an opening formed through the top wall 114 and a gas inlet manifold 116 disposed within the opening. Alternatively, the top wall 114 may be a solid and the gas inlet manifold 116 is disposed adjacent to the inner surface thereof. The gas inlet manifold 116 may function as an electrode and, in one embodiment, is connected to a power source 136, such as an RF power source, via a matching network (not shown).

챔버(110)는 챔버 본체(112)를 통해 연장하는 가스 배출구(130)를 더 포함한다. 가스 배출구(130)는 챔버 본체(112)로부터 가스들을 배기하기 위해 펌프(미도시)에 접속된다. 가스 유입 도관(142)은 가스 유입 매니폴드(116)와 유체 소통하며, 여러가지 가스들의 공급원들(미도시)을 포함하고 있는 가스 패널(미도시)에 연결된다. 프로세싱 가스들은 유입 도관(142)을 경유하여 샤워헤드(144)를 통해 챔버 본체(112) 속으로 흐른다. 샤워헤드(144)는, 아래에서 프로세싱될 기판(125)의 표면을 가로질러 가스들을 균일하게 분배하기 위해, 관통하여 형성된 복수의 통공(140)들을 포함한다.The chamber 110 further includes a gas outlet 130 extending through the chamber body 112. A gas outlet 130 is connected to a pump (not shown) to evacuate gases from the chamber body 112. The gas inlet conduit 142 is in fluid communication with the gas inlet manifold 116 and is connected to a gas panel (not shown) containing sources of various gases (not shown). The processing gases flow through the showerhead 144 via the inlet conduit 142 into the chamber body 112. The showerhead 144 includes a plurality of through holes 140 formed therethrough for uniformly distributing gases across the surface of the substrate 125 to be processed below.

챔버 본체(112) 내부에는 기판(125)을 지지하도록 구성된 기판 지지 페디스털(118)이 배치된다. 기판 지지 페디스털(118)은 챔버 본체(112)의 하부 벽체(122)를 통하여 수직으로 연장하는 샤프트(120)의 단부에 장착된다. 샤프트(120)는 챔버 본체(112) 내부에서 기판 지지 페디스털(118)의 수직 상하로의 운동을 허용하도록 하기 위해 이동가능하다. 일 실시예에서, PECVD 챔버(110)는 기판 지지 페디스털(118)에 대한 기판(125)의 반송과 반출을 용이하게 하기 위해 리프트 조립체(미도시)를 또한 가질 수도 있다. Inside the chamber body 112 is disposed a substrate support pedestal 118 configured to support a substrate 125. The substrate support pedestal 118 is mounted to the end of the shaft 120 that extends vertically through the lower wall 122 of the chamber body 112. The shaft 120 is movable to allow vertical up-and-down motion of the substrate support pedestal 118 within the chamber body 112. In one embodiment, the PECVD chamber 110 may also have a lift assembly (not shown) to facilitate transport and removal of the substrate 125 relative to the substrate support pedestal 118.

기판 지지 페디스털(118)은 판 형태를 가지고 있으며, 가스 유입 매니폴드(116)에 대해 평행하게 연장된다. 기판 지지 페디스털(118)은 통상적으로 알루미늄으로 제조되며, 알루미늄 산화물 층으로 코팅된다. 기판 지지 페디스털(118)은 접지되도록 연결되며, 가스 유입 매니폴드(116)와 기판 지지 페디스털(118)을 가로질러 전원(136)을 접속하도록 제 2 전극으로서 기능한다. 기판 지지 페디스털(118)은 기판 지지면(152)에 인접하여 기판 지지 페디스털(118) 내에 배치된 판형 형태를 갖는 가열 조립체(128)를 포함한다. 가열 조립체는 기판 지지면(152) 상에 기판이 배치될 때 기판(125)에 열을 제공하도록 구성된다. 샤프트(120)는 가열 조립체(128)의 리드 하우징(150)을 수용한다.The substrate support pedestal 118 has a plate shape and extends parallel to the gas inlet manifold 116. The substrate support pedestal 118 is typically made of aluminum and coated with an aluminum oxide layer. The substrate support pedestal 118 is connected to be grounded and serves as a second electrode to connect the power supply 136 across the gas inlet manifold 116 and the substrate support pedestal 118. The substrate support pedestal 118 includes a heating assembly 128 having a plate shape disposed within the substrate support pedestal 118 adjacent the substrate support surface 152. The heating assembly is configured to provide heat to the substrate 125 when the substrate is placed on the substrate support surface 152. Shaft 120 receives lead housing 150 of heating assembly 128.

도 2는 가열 조립체(128)의 평면도이고, 도 3은 도 2의 단면선 3--3을 따라 취한 가열 조립체(128)의 단면도이다. 본 고안의 하나 또는 그 초과의 실시예들은 가열 조립체(128) 내에서 가열 요소의 사용을 제공한다. 다수의 가열 요소 섹션들(예컨대, 둘 또는 그 초과의 가열 요소 섹션들)은 가열 조립체(128) 내의 다수의 구역들의 온도를 제어하기 위해 서로 다른 기하학적 구조, 패턴들, 형상들, 크기들, 또는 물질들로 구성되며, 이에 따라, 가열 조립체(128)의 다양한 내부 및/또는 외부 부분들 사이에 원하는 온도 프로파일을 제공한다. FIG. 2 is a top view of the heating assembly 128, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the heating assembly 128 taken along section line 3--3 of FIG. One or more embodiments of the present invention provide for the use of a heating element within a heating assembly 128. A plurality of heating element sections (e.g., two or more heating element sections) may have different geometries, patterns, shapes, sizes, or dimensions to control the temperature of a plurality of zones within the heating assembly 128 Thus providing a desired temperature profile between the various interior and / or exterior portions of the heating assembly 128. [0035]

도 2 및 도 3을 참조하면, 가열 조립체(128)는 본체(200)를 가지며, 본체(200)는 내부 가열 구역(202), 외부 가열 구역(204), 및 본체(200)의 상면(208)과 하면(302) 사이의 열전대(206)를 갖는다. 도 3이 내부 가열 구역(202)을 나타내고 있지만, 도 3에 대한 설명은 또한 외부 가열 구역(204)의 요소들에도 적용된다. 일 실시예에서, 본체(200)는 알루미늄 또는 다른 적당한 물질들로 제조될 수 있다.2 and 3, the heating assembly 128 has a body 200 that includes an inner heating zone 202, an outer heating zone 204, and an upper surface 208 of the body 200 ) And the lower surface 302 of the heat exchanger. Although FIG. 3 shows the inner heating zone 202, the description of FIG. 3 also applies to the elements of the outer heating zone 204. In one embodiment, the body 200 can be made of aluminum or other suitable materials.

내부 및 외부 가열 구역(202, 204)들은 기판 지지 페디스털 내에서 사용되는 임의의 적당한 히터들일 수 있다. 내부 및 외부 가열 구역(202, 204)들의 프로파일은 이하에서 구체적으로 설명될 것이다. 일 실시예에서, 내부 및 외부 가열 구역(202, 204)들은 가열 요소(304)를 포함한다. 가열 요소(304)는, 이에 한정되는 것은 아니지만, 특히, 니켈, 크롬, 철, 알루미늄, 구리, 몰리브덴, 백금 실리콘 탄화물, 이들의 금속 합금들, 이들의 질화물 물질들, 이들의 규화물 물질들, 또는 이들의 조합들을 포함하는 저항 물질로 제조된 와이어, 리본 또는 스트립으로 이루어진 중앙 부분을 포함할 수 있다. 저항 물질은 상이한 금속 물질들의 합금들일 수 있으며, 금속 도펀트들 또는 다른 도펀트 물질들로 도핑될 수 있다. 저항 가열 와이어들, 리본들 또는 스트립들은 직선 형상이거나 코일 형상일 수 있다. The inner and outer heating zones 202 and 204 may be any suitable heater used in the substrate support pedestal. The profiles of the inner and outer heating zones 202 and 204 will be described in detail below. In one embodiment, the inner and outer heating zones 202, 204 include a heating element 304. The heating element 304 may be made of any suitable material, including but not limited to nickel, chromium, iron, aluminum, copper, molybdenum, platinum silicon carbide, metal alloys thereof, nitride materials thereof, And a central portion of a wire, ribbon or strip made of a resistive material including combinations thereof. The resistive material can be alloys of different metal materials and can be doped with metal dopants or other dopant materials. The resistance heating wires, ribbons or strips may be linear or coil shaped.

예컨대, 저항 가열 와이어들 또는 리본들은 니크롬 80/20(니켈 80% 및 크롬 20%) 물질로 제조될 수 있다. 니크롬 80/20은 비교적 높은 저항을 갖고 있고 제 1 시간 동안 가열될 때 크롬 산화물로 된 접착층을 형성하기 때문에 유리한 물질이다. 크롬 산화물 층 아래의 물질은 산화되지 않을 것이어서, 와이어가 단선되거나 소손(burning-out)되는 것을 방지할 것이다.For example, resistance heating wires or ribbons may be made of nichrome 80/20 (80% nickel and 20% chromium) materials. Nichrome 80/20 is a favorable material because it has a relatively high resistance and forms an adhesive layer of chromium oxide when heated for the first time. The material under the chromium oxide layer will not be oxidized, preventing the wires from burning out or burning-out.

일 실시예에서, 가열 요소(304)는 세라믹들, 산화물 물질들, 또는 절연을 제공하고 전기 누설을 방지하는 다른 적당한 충진재 물질들로 제조된 절연체(306)에 의해 절연될 수 있다. 일 실시예에서, 가열 요소(304)를 긴밀하게 밀봉하기 위해, 외피(308)가 가열 요소(304)를 둘러싼다. 외피(308)는 석영, 금속들, 세라믹들 또는 다른 적당한 물질들로 제조될 수 있다.In one embodiment, the heating element 304 may be insulated by ceramics, oxide materials, or an insulator 306 made from other suitable filler materials that provide insulation and prevent electrical leakage. In one embodiment, to tightly seal the heating element 304, a shell 308 surrounds the heating element 304. The envelope 308 can be made of quartz, metals, ceramics or other suitable materials.

가열 요소(304)는 가열 요소(304)에 전력을 제공하기 위해 리드 하우징(150)을 통해 리드(310)와 같은 하나 또는 그 초과의 도전선들(conductive lines)에 커플링된다. 리드(310)는 프로세싱 챔버(110)의 외부에 배치된 전력 공급 장치(미도시)에 내부 및 외부 가열 구역(202, 204)들을 커플링하도록 구성된다.The heating element 304 is coupled to one or more conductive lines, such as the leads 310, through the lead housing 150 to provide power to the heating element 304. The leads 310 are configured to couple the inner and outer heating zones 202, 204 to a power supply (not shown) disposed outside of the processing chamber 110.

일 실시예에서, 복수의 열전대(206)들이 제공된다. 도 2에 도시된 실시예에서, 열전대(206)들은 와이어 하우징(150)으로부터 내부 및 외부 가열 구역(202, 204)들에 인접하도록 연장된다. 또한, 열전대(206)들은 가열 조립체(128)의 중앙으로부터 근접하여 연장될 수 있다. 열전대(206)들은 복수의 위치들에서 가열 조립체(128)의 온도를 측정하도록 구성된다. 열전대(206)들은 가열 조립체(128)의 가열 요소(304)에 인가되는 전류를 제어하기 위해 피드백 루프에서 사용될 수 있다. 일 실시예에서, 열전대(206)들은 열전대(206)들에 전력을 제공하기 위해 리드 하우징(150)을 통해 리드(314)와 같은 하나 또는 그 초과의 도전선들에 커플링된다. 가열 조립체(128)의 제조는, 본체(200) 내에서 열전대(206)들과 가열 요소(304)들 아래에 형성되는 개구 또는 공간을 초래할 수 있다. 이에 따라, 추가적인 본체 물질(310), 예컨대, 알루미늄이 균일한 하면(302)을 위해 아래에 형성된 공간 내에 충진될 수 있다. In one embodiment, a plurality of thermocouples 206 are provided. In the embodiment shown in FIG. 2, thermocouples 206 extend from wire housing 150 adjacent inner and outer heating zones 202, 204. In addition, thermocouples 206 may extend proximally from the center of heating assembly 128. The thermocouples 206 are configured to measure the temperature of the heating assembly 128 at a plurality of locations. The thermocouples 206 may be used in a feedback loop to control the current applied to the heating element 304 of the heating assembly 128. In one embodiment, thermocouples 206 are coupled to one or more of the conductive lines, such as leads 314, through lead housing 150 to provide power to thermocouples 206. The fabrication of the heating assembly 128 may result in openings or spaces formed in the body 200 below the thermocouples 206 and the heating elements 304. Thus, additional body material 310, e.g., aluminum, can be filled into the space formed below for a uniform lower surface 302.

도 4는 도 2의 단면선 4--4를 따라 취한 가열 조립체(128)의 단면도이다. 일 실시예에서, 도 2 및 도 4를 참조하면, 가열 조립체(128)는 본체(200) 내에 형성된 복수의 보어(210)들을 포함한다. 보어(210)들은 하나 또는 그 초과의 리프트 핀(402)들을 수용하도록 구성된다. 리프트 핀(402)들은, 기판(125)이 지지 페디스털(118)로부터 이격되도록, 기판 지지 페디스털(118)의 하면을 통해 (도 1에 도시된) 기판 지지면(152)까지 연장된다. 이는, 기판 지지 페디스털(118)이나 기판(125)에 대한 손상을 초래하지 않고, 로봇 블레이드와 같은 반송 기구가 기판(125)의 배면 아래로 활주하여 기판 지지 페디스털(118)로부터 기판(125)을 리프팅할 수 있도록 한다. 4 is a cross-sectional view of the heating assembly 128 taken along section line 4--4 of FIG. 2 and 4, the heating assembly 128 includes a plurality of bores 210 formed in the body 200. In one embodiment, The bores 210 are configured to receive one or more lift pins 402. The lift pins 402 extend through the lower surface of the substrate support pedestal 118 to the substrate support surface 152 (shown in Figure 1) such that the substrate 125 is spaced from the support pedestal 118 do. This allows a transport mechanism, such as a robotic blade, to slide below the backside of the substrate 125 without causing damage to the substrate support pedestal 118 or the substrate 125, Thereby allowing the lifter 125 to be lifted.

도 2를 다시 참조하면, 내부 및 외부 가열 구역(202, 204)들의 프로파일들은 가열 조립체(128)를 가로질러 균일한 온도 분포를 유리하게 제공한다. 내부 가열 구역(202)은 다수의 부분들로 구성된다(즉, 도 2에는 적어도 2개의 내부 가열 구역 섹션(202A 및 202B)들이 도시되어 있음). 일 실시예에서, 각각의 가열 섹션(202A, 202B)들에 대해 단일의 가열 요소(304)가 제공된다. 그러나, 가열 섹션(202A, 202B)들 모두에 대해 단일의 가열 요소(304)가 제공될 수 있는 것으로 생각된다. 각각의 가열 섹션(202A 및 202B)들은 2개의 외피(308) 섹션들, 또는 가열 조립체(128)의 중앙에 배치된 리드 하우징(150)의 개구로부터 돌출되어 가열 요소(304)를 둘러싸고 있는 다른 보호 튜브를 포함한다. 외피(308)는 가열 조립체 본체(200) 속으로 리드 하우징(150)의 개구를 빠져나가면서 만곡부(212)를 형성한다. 가열 요소(304)는 만곡부(212)로부터 약 1 내지 약 2인치, 예컨대, 약 1.5인치 떨어진 거리("D")에 있는 위치(214)에서 리드(310)에 커플링된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 가열 조립체(128)의 중앙에 대한 내부 가열 구역(202)의 가열 요소(304)들의 긴밀한 근접성은 내부 가열 구역(202)을 위해 보다 조밀한 가열 요소(304) 환경을 유리하게 제공한다. 내부 가열 구역(202)의 가열 요소(304)들은 가열 조립체(128)의 중앙으로부터 연장되어, 내부 가열 구역(202)을 가열하도록 구성된 복수의 라인(216)들을 갖는 프로파일을 형성한다. Referring again to FIG. 2, the profiles of the inner and outer heating zones 202, 204 advantageously provide a uniform temperature distribution across the heating assembly 128. The inner heating zone 202 is comprised of a plurality of parts (i.e., at least two inner heating zone sections 202A and 202B are shown in FIG. 2). In one embodiment, a single heating element 304 is provided for each heating section 202A, 202B. However, it is contemplated that a single heating element 304 may be provided for all of the heating sections 202A, 202B. Each of the heating sections 202A and 202B includes two enclosure 308 sections or other protections surrounding the heating element 304 that protrude from the openings in the lead housing 150 disposed in the center of the heating assembly 128, Tube. The sheath 308 forms the curved portion 212 through the opening of the lead housing 150 into the heating assembly body 200. The heating element 304 is coupled to the lid 310 at a location 214 at a distance ("D") of about 1 to about 2 inches, for example, about 1.5 inches from the curved portion 212. 2, the close proximity of the heating elements 304 of the internal heating zone 202 to the center of the heating assembly 128 provides a more compact heating element 304 environment for the internal heating zone 202, Lt; / RTI > The heating elements 304 of the internal heating zone 202 extend from the center of the heating assembly 128 to form a profile having a plurality of lines 216 configured to heat the internal heating zone 202.

외부 가열 구역(204)은 또한 다수의 부분들로 구성된다(즉, 도 2에는 적어도 2개의 외부 가열 섹션(204A 및 204B)들이 도시되어 있음). 일 실시예에서, 각각의 가열 섹션(204A, 204B)들에 대해 하나의 단일 가열 요소(304)가 제공된다. 그러나, 가열 섹션(204A, 204B)들 모두에 대해 하나의 단일 가열 요소(304)가 제공될 수 있을 것으로 생각된다. 가열 섹션(204A, 204B)들은 가열 조립체(128)의 중앙으로부터 형성되며, 기판 가열 조립체(128)의 에지들을 둘러싸도록 측방향으로 연장된다. 가열 섹션(204A, 204B)들은 기판 가열 조립체(128)의 적어도 2개의 코너(218)들을 각각 둘러싼다. 도 2에 도시된 바와 같이, 가열 섹션(204A, 204B)들은 이형 프로파일(220)을 갖는다. 이형 프로파일(220)은 기존에 사용된 것보다 가열 요소(304)를 더 많이 유리하게 활용하여 코너(218)의 표면적을 덮는다. 일 실시예에서, 외부 가열 구역(204)은, 가열 조립체(128)의 중앙 또는 주변 에지에서 발견되는 열 전달(heat transfer)의 양 보다, 코너들(218)에서 더 많은 양의 열 전달을 전달하도록 구성된다. PECVD 프로세스에 대해, 기판(125)과 가열 조립체 사이의 온도 차이는 약 10℃ 내지 약 60℃, 예를 들어 약 20℃ 내지 약 50℃ 일 수 있다. 당업자라면 이해하는 바와 같이, 기판(125)과 가열 조립체(128) 사이의 온도 차이는, 사용되고 있는 프로세싱 가스들에 따른 프로세싱 챔버 온도 및 프로세싱 챔버 압력 레벨들의 함수이다. 더 많은 가열 요소(304)를 제공함으로써, 이형 프로파일(220)은, 이를 테면 가열 조립체의 중앙 또는 에지들의 중앙과 같은, 가열 조립체(128) 상의 다른 위치들에서보다, 더 많은 양의 열 전달을 유리하게 제공하며 그리고 코너(218)의 표면적에서 통상적으로 겪는 더 큰 열 손실을 보상한다. 가열 조립체 위의 기판은 동일한 열 전달 특성들을 유사하게 나타낸다. 따라서, 일 실시예에서, 외부 가열 구역(204)은 내부 가열 구역(202)보다 더 많은 양의 열 전달을 기판에 전달하도록 구성된다. 예를 들어, 일 실시예에서, 내부 가열 구역(202)은, 내부 가열 구역(202)이 외부 가열 구역(204)보다, 약 5℃ 내지 약 20℃, 예를 들어 약 10℃ 내지 약 15℃ 더 차가워지게(cooler) 한다. 그러므로, 차가운 내부 가열 구역(202) 및 외부 가열 구역(204)의 이형 프로파일(220)이 주어지면, 가열 조립체(128)는 (상기 설명한) 가열 조립체 상의 다양한 위치들에서의 열 손실의 차이들을 능동적으로 보상하며, 그리고 기판(125)에 대한 보다 전체적인 균일한 온도 및 기판(125) 상에서의 균일한 프로세싱(이를 테면, 필름 증착)을 제공한다. The external heating zone 204 is also comprised of a plurality of parts (i.e., at least two external heating sections 204A and 204B are shown in FIG. 2). In one embodiment, a single heating element 304 is provided for each heating section 204A, 204B. However, it is contemplated that one single heating element 304 may be provided for all of the heating sections 204A, 204B. The heating sections 204A and 204B are formed from the center of the heating assembly 128 and extend laterally to surround the edges of the substrate heating assembly 128. The heating sections 204A and 204B surround at least two corners 218 of the substrate heating assembly 128, respectively. As shown in FIG. 2, the heating sections 204A and 204B have a mold release profile 220. The mold profile 220 more advantageously utilizes the heating element 304 than previously used to cover the surface area of the corner 218. The outer heating zone 204 may deliver a greater amount of heat transfer at the corners 218 than the amount of heat transfer found at the center or peripheral edge of the heating assembly 128. In one embodiment, . For a PECVD process, the temperature difference between the substrate 125 and the heating assembly may be between about 10 캜 and about 60 캜, such as between about 20 캜 and about 50 캜. As will be appreciated by those skilled in the art, the temperature difference between the substrate 125 and the heating assembly 128 is a function of the processing chamber temperature and the processing chamber pressure levels in accordance with the processing gases being used. By providing more heating elements 304, the forming profile 220 can provide a greater amount of heat transfer than other locations on the heating assembly 128, such as the center of the heating assembly or the center of the edges And compensates for the greater heat loss typically experienced in the surface area of the corner 218. [ The substrate on the heating assembly exhibits similar heat transfer characteristics similarly. Thus, in one embodiment, the external heating zone 204 is configured to deliver a greater amount of heat transfer to the substrate than the internal heating zone 202. For example, in one embodiment, the inner heating zone 202 is configured such that the inner heating zone 202 is heated to a temperature of about 5 ° C to about 20 ° C, for example, from about 10 ° C to about 15 ° C Cooler. Given the cold internal heating zone 202 and the exfoliation profile 220 of the external heating zone 204, the heating assembly 128 may then provide the heat loss differences at various locations on the heating assembly (discussed above) And provides a more uniform overall temperature for the substrate 125 and uniform processing on the substrate 125 (such as film deposition).

전술한 바는 본 고안의 실시예들에 관한 것이나, 본 고안의 기본적인 범위를 벗어나지 않고 본 고안의 다른 그리고 추가적인 실시예들이 안출될 수 있으며, 그 범위는 하기된 청구항들에 의해 결정된다. While the foregoing is directed to embodiments of the present invention, other and further embodiments of the present invention may be devised without departing from the basic scope thereof, and the scope thereof is determined by the claims that follow.

Claims (20)

기판 지지 조립체로서,
기판 지지면을 갖는 기판 지지 페디스털(118); 및
상기 기판 지지면에 인접하여 상기 기판 지지 페디스털 내에 배치된 가열 조립체(128);를 포함하며,
상기 가열 조립체는:
상기 가열 조립체의 중앙 내에 배치되어 그 중앙으로부터 연장하며, 가열 요소를 포함하는 내부 가열 구역(202); 및
상기 가열 조립체의 에지들 내에 배치되어 그 에지들을 둘러싸며, 복수의 주름진 가열 요소(220)를 포함하는 외부 가열 구역(204);을 포함하고,
상기 가열 조립체의 중앙 또는 주변 에지에서보다 코너(218)에서 더 많은 양의 열 전달(heat transfer)을 전달하도록, 각각의 주름진 가열 요소가 상기 가열 조립체의 코너 각각에 배치되는,
기판 지지 조립체. A substrate support assembly,
A substrate support pedestal (118) having a substrate support surface; And
And a heating assembly (128) disposed within the substrate support pedestal adjacent the substrate support surface,
The heating assembly comprises:
An inner heating zone (202) disposed within the center of the heating assembly and extending from a center thereof, the heating zone including a heating element; And
An outer heating zone (204) disposed within and surrounding the edges of the heating assembly and including a plurality of corrugated heating elements (220)
Wherein each corrugated heating element is disposed in each of the corners of the heating assembly to transmit a greater amount of heat transfer at the corners 218 than at the center or peripheral edge of the heating assembly.
A substrate support assembly. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 가열 요소는 저항 물질로 제조된,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
The heating element is made of a resistive material,
A substrate support assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 가열 요소는 니크롬, 니켈, 크롬, 철, 알루미늄, 구리, 몰리브덴, 백금 실리콘 탄화물, 이들의 금속 합금들, 이들의 질화물 물질들, 이들의 규화물 물질들, 또는 이들의 조합들로 제조된,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
Wherein the heating element is made of nichrome, nickel, chromium, iron, aluminum, copper, molybdenum, platinum silicon carbide, metal alloys thereof, nitride materials thereof, silicide materials thereof,
A substrate support assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 가열 요소를 둘러싸는 외피를 더 포함하며, 상기 외피는 상기 가열 요소를 긴밀하게 밀봉하도록 구성된,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
Further comprising an enclosure surrounding the heating element, the enclosure being configured to tightly seal the heating element,
A substrate support assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 내부 가열 구역은 2개의 가열 섹션들을 포함하며, 각각의 가열 섹션은 상기 가열 요소를 둘러싸는 외피를 포함하고, 상기 외피는 상기 가열 요소를 긴밀하게 밀봉하도록 구성된,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
The inner heating zone comprising two heating sections, each heating section comprising a shell surrounding the heating element, the shell being configured to tightly seal the heating element,
A substrate support assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 가열 요소는 도전선에 커플링되며, 상기 도전선은 상기 내부 및 외부 가열 구역들을 전력 공급 장치에 커플링하도록 구성된,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
Wherein the heating element is coupled to a conductive line, the conductive line configured to couple the inner and outer heating zones to a power supply,
A substrate support assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 가열 조립체는, 상기 내부 및 외부 가열 구역들에 인접하여 배치되어 복수의 위치들에서 상기 가열 조립체의 온도를 측정하도록 구성되는 복수의 열전대들을 포함하는,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
Wherein the heating assembly includes a plurality of thermocouples disposed adjacent the inner and outer heating zones and configured to measure the temperature of the heating assembly at a plurality of locations,
A substrate support assembly. 제 8 항에 있어서,
상기 복수의 열전대들은 하나 또는 둘 이상의 도전선들에 커플링되며, 상기 도전선들은 상기 열전대들에 대해 전력을 제공하도록 구성되는,
기판 지지 조립체. 9. The method of claim 8,
The plurality of thermocouples being coupled to one or more of the conductive lines, the conductive lines being configured to provide power to the thermocouples,
A substrate support assembly. 제 6 항에 있어서,
상기 외피는 상기 가열 조립체의 중앙을 빠져나가면서 만곡부를 형성하며, 상기 가열 요소는 상기 만곡부로부터 1 내지 2인치 떨어진 위치에서 도전선에 커플링되는,
기판 지지 조립체. The method according to claim 6,
Said heating element being coupled to a conductive line at a location one to two inches away from said curved portion,
A substrate support assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 주름진 가열 요소는 상기 가열 조립체의 코너들에서 표면적을 최대화하도록 구성되는,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
Wherein the corrugated heating element is configured to maximize surface area at the corners of the heating assembly,
A substrate support assembly. 기판 지지 조립체로서,
기판 지지면을 갖는 기판 지지 페디스털(118); 및
상기 기판 지지면에 인접하여 상기 기판 지지 페디스털 내에 배치된 가열 조립체(128);를 포함하며,
상기 가열 조립체는 본체를 갖고,
상기 본체는,
상기 가열 조립체의 중앙 내에 배치되어 그 중앙으로부터 연장하며, 가열 요소를 포함하는 내부 가열 구역(202);
상기 가열 조립체의 에지들 내에 배치되어 그 에지들을 둘러싸며, 복수의 주름진 가열 요소(220)를 포함하는 외부 가열 구역(204); 및
본체 내부에 형성되며, 하나 또는 둘 이상의 리프트 핀들을 수용하도록 구성되는 복수의 보어 홀(210)들;을 가지고,
상기 가열 조립체의 중앙 또는 주변 에지에서보다 코너에서 더 많은 양의 열 전달을 전달하도록, 상기 복수의 주름진 가열 요소가 상기 가열 조립체의 코너(218)들에 배치되는,
기판 지지 조립체. A substrate support assembly,
A substrate support pedestal (118) having a substrate support surface; And
And a heating assembly (128) disposed within the substrate support pedestal adjacent the substrate support surface,
The heating assembly has a body,
The main body includes:
An inner heating zone (202) disposed within the center of the heating assembly and extending from a center thereof, the heating zone including a heating element;
An outer heating zone (204) disposed within and surrounding the edges of the heating assembly and including a plurality of corrugated heating elements (220); And
A plurality of boreholes (210) formed in the main body and configured to receive one or two or more lift pins,
Wherein the plurality of corrugated heating elements are disposed at the corners (218) of the heating assembly to deliver a greater amount of heat transfer at the corners than at the center or peripheral edge of the heating assembly.
A substrate support assembly. 제 12 항에 있어서,
상기 본체는 알루미늄으로 제조되는,
기판 지지 조립체. 13. The method of claim 12,
The body is made of aluminum,
A substrate support assembly. 제 12 항에 있어서,
상기 본체의 상면과 하면 사이에 배치되는 열전대를 더 포함하는,
기판 지지 조립체. 13. The method of claim 12,
Further comprising a thermocouple disposed between an upper surface and a lower surface of the body,
A substrate support assembly. 제 12 항에 있어서,
상기 가열 요소를 둘러싸는 외피를 더 포함하며, 상기 외피는 상기 가열 요소를 긴밀하게 밀봉하도록 구성되는,
기판 지지 조립체. 13. The method of claim 12,
Further comprising an enclosure surrounding the heating element, the enclosure being configured to tightly seal the heating element,
A substrate support assembly. 제 15 항에 있어서,
상기 외피와 상기 가열 요소 사이에 배치되는 절연체를 더 포함하며, 상기 절연체는 상기 가열 요소로부터 전기 누설을 방지하도록 구성되는,
기판 지지 조립체. 16. The method of claim 15,
Further comprising an insulator disposed between the shell and the heating element, the insulator configured to prevent electrical leakage from the heating element,
A substrate support assembly. 제 15 항에 있어서,
상기 내부 가열 구역은 2개의 가열 섹션들을 포함하며, 각각의 가열 섹션은 외피를 포함하고, 상기 외피는 상기 가열 조립체의 중앙을 빠져나가면서 만곡부를 형성하는,
기판 지지 조립체. 16. The method of claim 15,
Wherein the inner heating zone includes two heating sections, each heating section including an outer shell, the outer shell forming a curved portion exiting a center of the heating assembly,
A substrate support assembly. 제 17 항에 있어서,
상기 가열 요소는 상기 만곡부로부터 1 내지 2인치 떨어진 위치에서 도전선에 커플링되며, 상기 도전선은 상기 내부 가열 구역을 전력 공급 장치에 커플링하도록 구성되는,
기판 지지 조립체. 18. The method of claim 17,
Wherein the heating element is coupled to a conductive line at a location one to two inches from the curvature and the conductive line is configured to couple the internal heating zone to a power supply,
A substrate support assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 외부 가열 구역은 상기 내부 가열 구역보다 더 많은 양의 열을 전달하도록 구성되는,
기판 지지 조립체. The method according to claim 1,
Wherein the outer heating zone is configured to deliver a greater amount of heat than the inner heating zone,
A substrate support assembly. 제 12 항에 있어서,
상기 외부 가열 구역은 상기 내부 가열 구역보다 더 많은 양의 열을 전달하도록 구성되는,
기판 지지 조립체. 13. The method of claim 12,
Wherein the outer heating zone is configured to deliver a greater amount of heat than the inner heating zone,
A substrate support assembly.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102428432B1 (en) * 2015-09-18 2022-08-03 엘지디스플레이 주식회사 Manufacturing Apparatus of Liquid Crystal Display
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CN110241403A (en) * 2019-07-23 2019-09-17 芜湖通潮精密机械股份有限公司 A kind of heater and preparation method thereof reducing the temperature difference and application

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009091660A (en) * 1996-04-19 2009-04-30 Akt Kk Heated-type substrate support structure

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101111042B1 (en) * 2005-08-02 2012-02-21 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Heating and cooling of substrate support
JP5183058B2 (en) * 2006-07-20 2013-04-17 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Substrate processing with rapid temperature gradient control
US8608852B2 (en) * 2010-06-11 2013-12-17 Applied Materials, Inc. Temperature controlled plasma processing chamber component with zone dependent thermal efficiencies

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009091660A (en) * 1996-04-19 2009-04-30 Akt Kk Heated-type substrate support structure

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