KR200487790Y1 - Thermocouple gauge controller having output characteristics of baratron gauge - Google Patents

Thermocouple gauge controller having output characteristics of baratron gauge Download PDF

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Abstract

바라트론 게이지의 출력 특성을 갖는 열전대 게이지 컨트롤러가 개시된다.
이 컨트롤러에서 OA 앰프는 진공 압력을 측정하는 TC(Thermocouple) 게이지로부터 출력되는 아날로그 출력값을 증폭하여 출력한다. AD(Analog-Digital) 변환기는 상기 OP 앰프에서 출력되는 아날로그 출력값에 대응되는 디지털 출력값으로 변환하여 출력한다. 제어기는 상기 AD 변환기에서 출력되는 디지털 출력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값을 출력한다. DA 변환기는 상기 제어기에서 출력되는 출력값을 대응되는 아날로그 출력값으로 변환하여 출력한다.A thermocouple gauge controller having a baratron gauge output characteristic is disclosed.
In this controller, the OA amplifier amplifies and outputs the analog output value output from the TC (thermocouple) gauge that measures the vacuum pressure. The AD (Analog-Digital) converter converts the analog output value into a digital output value corresponding to the analog output value output from the OP amplifier and outputs the digital output value. The controller outputs an output value of the baratron gauge matched with the digital output value output from the AD converter. The DA converter converts an output value output from the controller into a corresponding analog output value and outputs the analog output value.

Description

바라트론 게이지의 출력 특성을 갖는 열전대 게이지 컨트롤러 {THERMOCOUPLE GAUGE CONTROLLER HAVING OUTPUT CHARACTERISTICS OF BARATRON GAUGE}[0001] THERMOCOUPLE GAUGE CONTROLLER HAVING OUTPUT CHARACTERISTICS OF BARATRON GAUGE [0002]

본 고안은 바라트론 게이지의 출력 특성을 갖는 열전대 게이지 컨트롤러에 관한 것이다.The present invention relates to a thermocouple gauge controller having a baratron gauge output characteristic.

일반적으로, 대기압보다 낮은 기체의 진공 압력을 측정하기 기기를 진공 게이지라고 하며, 바라트론 게이지(Baratron Guage), 열전대 게이지(ThermoCouple Guage, TC Guage) 등이 사용되고 있다.Generally, a vacuum gauge is used to measure a vacuum pressure of a gas lower than atmospheric pressure, and Baratron Guage, ThermoCouple Guage (TC Guage) and the like are used.

이 중에서 TC Guage에서의 TC(Thermocouple)란 서로 다른 재질로 된 금속선을 한 부분에서 접합시켜 접점에서의 온도 차이 발생 시 전압이 형성되는 원리를 이용하여 온도를 측정하는 센서이다.Among them, TC (Thermocouple) in TC Guage is a sensor that measures the temperature by connecting the metal wires made of different materials at one place and using the principle that the voltage is formed when the temperature difference occurs at the contact point.

이러한 TC를 이용하여 진공 압력을 측정하는 TC 게이지(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 제어 장치(11)와 게이지 튜브(12)로 구성되며, 게이지 튜브(12) 내에는 필라멘트(13)가 존재한다. The TC gauge 10 for measuring the vacuum pressure using the TC is composed of a control device 11 and a gauge tube 12 as shown in Fig. 1, and the gauge tube 12 is provided with a filament 13 ).

TC 게이지(10)는 제어 장치(11)의 제어에 의해 가열된 필라멘트(13)를 일정한 전류와 온도를 유지하면서 TC(Thermocouple)(14)를 필라멘트(13)에 접촉하여 그 온도를 측정한다.The TC gauge 10 contacts the filament 13 with the thermocouple 14 while maintaining the filament 13 heated at a constant current and temperature under the control of the control device 11 and measures the temperature thereof.

TC 게이지(10)가 진공 용기 속에 놓이게 되면 기체 분자들이 필라멘트(13)와 충돌하면서 열을 빼앗게 된다. 이때 빼앗긴 열의 양은 진공 용기에 있는 기체의 양과 관계가 있으며, 변한 온도를 TC(14)가 감지한다. 기체의 양이 많을수록 온도가 많이 떨어지게 되므로 간접적으로 압력을 측정할 수 있다. When the TC gauge 10 is placed in the vacuum container, the gas molecules collide with the filament 13 and heat is absorbed. At this time, the amount of heat lost is related to the amount of gas in the vacuum container, and TC (14) senses the changed temperature. The greater the amount of gas, the lower the temperature, so the pressure can be measured indirectly.

TC 게이지(10)는 1×10-3 Torr ~ 760 Torr의 진공도에 따라 그 전기적인 출력 전압이 11mV ~ 0mV로서 미세한 값이다The TC gauge 10 has a fine value of 11 mV to 0 mV as its electrical output voltage in accordance with the degree of vacuum of 1 × 10 -3 Torr to 760 Torr

한편, TC 게이지 컨트롤러(Gauge Controller)는 진공 공간에 연결되어 있는 TC 게이지(10)를 통해 출력되는 미세한 전압 또는 전류를 모니터링 가능한 전기적인 아날로그 전압으로 증폭 반전 출력하는 장치이다.On the other hand, the TC gauge controller amplifies and outputs the minute voltage or current output through the TC gauge 10 connected to the vacuum space by monitoring the electric analog voltage.

현재, 정밀 진공 측정 데이터를 요구하는 설비들, 대표적으로 반도체 제조 설비들은 주로 바라트론 게이지를 사용하고 있으며, 정밀 진공도를 감지하고 게이지로부터 설비로 보내주는 출력 값(Analog Voltage)의 범위는 0 ~ 10V이며, 고가의 제품이다. At present, equipment requiring precision vacuum measurement data, typically semiconductor manufacturing equipment, uses baratron gauge, and the range of the output value (analog voltage) from the gauge to the facility is 0 to 10V And it is an expensive product.

진공 압력(Pressure) 측정에 사용되는 게이지 중 TC 게이지는 최초에는 전기적인 회로인 OP 앰프(amp)를 이용한 단순 반전 증폭 신호를 가지고 간단하게 진공도를 측정하는 영역에서 사용되다가 기존의 TC 게이지 컨트롤러와 같이 기술의 발전으로 특정 제품이 출시되어 있으나, 진공 압력 측정 범위는 0 ~ 5 Torr까지 이며, 바라트론 게이지와 같이 선형적인 특성을 갖는 출력 값(Analog Voltage)이 0 ~ 5 V로 한정되어 있어 바라트론 게이지와 같이 범용적으로 정밀성을 요구하는 영역이나 설비 등에 사용되지 못하고 독립적으로 단순 계측 용으로 사용 범위가 한정되어 있다. 예를 들어, 도 2를 참조하면, 그래프(L1)는 TC 게이지를 사용하여 측정한 출력 값을 OP 앰프를 통해 반전 및 증폭하여 출력한 값의 그래프로서 낮은 출력 값을 가지면서도 비선형적임을 알 수 있다. 다른 그래프(L2)는 TC 게이지의 출력 값을 기존의 TC 게이지 컨트롤러에 의해 처리한 후 출력되는 값의 그래프로서 선형적인 특성을 갖고 있으나 0 ~ 5V의 낮은 출력 값을 갖는다. 반면에, 그래프(L3)는 바라트론 게이지의 출력 값을 나타낸 그래프로서, 0 ~ 10V의 높은 출력값을 가지면서도 선형적인 특성을 갖는다. 이와 같이, 기존에 개발된 TC 게이지 컨트롤러의 출력 값은 5V까지만 출력되어 기존의 바라트론 게이지를 대체할 수가 없다.Among the gauges used for measuring the vacuum pressure, the TC gauge is used in the area where the vacuum degree is simply measured with the simple inverted amplification signal using the OP amplifier (amp), which is an electric circuit. The vacuum pressure measurement range is from 0 to 5 Torr, and the output voltage (analog voltage) with linear characteristics like the baratron gauge is limited to 0 to 5 V. Therefore, It can not be used in areas or facilities requiring general precision such as gauges, and the range of use is limited for simple measurement independently. For example, referring to FIG. 2, graph (L1) is a graph of output values measured by inverting and amplifying output values measured using a TC gauge using an OP amplifier, have. The other graph (L2) is a graph of output values after outputting the TC gauge output value by a conventional TC gauge controller, but has a low output value of 0 to 5V. On the other hand, the graph L3 is a graph showing the output value of the baratron gauge, and has a linear characteristic with a high output value of 0 to 10V. In this way, the output value of the previously developed TC gauge controller is output only to 5V, and it can not replace the existing Baratron gauge.

따라서, 기존의 TC 게이지 컨트롤러보다 더 정밀하고 선형적이면서 높은 출력 특성을 갖는 TC 게이지 컨트롤러가 요구된다.Therefore, a TC gauge controller that is more precise, linear, and has higher output characteristics than conventional TC gauge controllers is required.

본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 TC 게이지로부터 측정되는 값에 대해 바라트론 게이지의 출력값으로 매칭시켜서 사용할 수 있는 바라트론 게이지의 출력 특성을 갖는 열전대 게이지 컨트롤러를 제공한다.The technical object of the present invention is to provide a thermocouple gauge controller having a baratron gauge output characteristic that can be matched to the output of the baratron gauge with respect to the value measured from the TC gauge.

본 고안의 한 특징에 따른 열전대 게이지 컨트롤러는,A thermocouple gauge controller according to one aspect of the present invention,

진공 압력을 측정하는 TC(Thermocouple) 게이지로부터 출력되는 아날로그 출력값을 증폭하여 출력하는 OP(Operational Amplifier) 앰프; 상기 OP 앰프에서 출력되는 아날로그 출력값에 대응되는 디지털 출력값으로 변환하여 출력하는 AD(Analog-Digital) 변환기; 상기 AD 변환기에서 출력되는 디지털 출력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값을 출력하는 제어기; 및 상기 제어기에서 출력되는 출력값을 대응되는 아날로그 출력값으로 변환하여 출력하는 DA 변환기를 포함한다OP (Operational Amplifier) amplifier for amplifying and outputting the analog output value output from the TC (Thermocouple) gauge for measuring the vacuum pressure; An AD (Analog-Digital) converter for converting the digital output value into a digital output value corresponding to the analog output value output from the OP amp; A controller for outputting an output value of a baratron gauge matched with a digital output value output from the AD converter; And a DA converter for converting an output value output from the controller into a corresponding analog output value and outputting the converted analog output value

여기서, 상기 제어기는, 상기 AD 변환기에서 출력 가능한 디지털 출력값과, 상기 AD 변환기에서 출력가능한 디지털 출력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값을 각각 저장하는 데이터 저장소; 상기 AD 변환기로부터 출력되는 디지털 출력값을 입력값으로 수신하는 입력값 수신기; 상기 입력값 수신기에 의해 수신되는 입력값을 이용하여 상기 데이터 저장소에서 매칭되는 출력값을 찾는 매칭기; 및 상기 매칭기에 의해 찾아진 출력값을 상기 DA 변환기로 출력하는 출력기를 포함한다.Here, the controller may include: a data storage that stores a digital output value that can be output from the A / D converter and an output value of the BARRATON GAUGE that matches a digital output value that can be output from the A / D converter; An input value receiver for receiving a digital output value output from the AD converter as an input value; A matching unit for finding output values matched in the data storage using input values received by the input value receiver; And an output unit for outputting an output value found by the matching unit to the DA converter.

또한, 상기 데이터 저장소는, 상기 AD 변환기에서 출력 가능한 디지털 출력값을 저장하는 입력값 저장소; 및 상기 바라트론 게이지의 출력값을 저장하는 출력값 저장소를 포함하며, 상기 입력값 저장소에 저장된 입력값과 상기 출력값 저장소에 저장된 출력값은 각각 오름차순으로 저장되어 있고, 상기 입력값 저장소에 저장된 입력값과 상기 출력값 저장소에 저장된 출력값은 동일한 배열 오프셋에 의해 서로 매칭된다.The data storage may further include: an input value storage for storing a digital output value that can be output from the AD converter; And an output value storage for storing an output value of the baratron gauge, wherein an input value stored in the input value storage and an output value stored in the output value storage are stored in ascending order, and the input value stored in the input value storage and the output value Output values stored in the repository are matched to each other by the same array offset.

또한, 상기 매칭기는 상기 입력값 수신기에 의해 수신되는 입력값이 상기 입력값 저장소 내에 저장된 입력값 보다 큰 경우 상기 바라트론 게이지의 최대 출력값을 매칭되는 출력값으로서 상기 출력기로 출력한다.The matching unit outputs the maximum output value of the baratron gage to the output unit as a matched output value when the input value received by the input value receiver is larger than the input value stored in the input value storage.

또한, 상기 매칭기는 상기 입력값 수신기를 통해 수신되는 입력값이 상기 입력값 저장소에 저장된 입력값들 중 같은 값이거나 또는 큰 값들 중에서 가장 작은 값을 찾아서 그 값의 배열 오프셋을 산출하고, 상기 출력값 저장소에 저장된 출력값들 중에서 상기 배열 오프셋에 해당하는 출력값을 매칭값으로서 상기 출력기로 출력한다.Also, the matching unit may find an input value received through the input value receiver to find the smallest value among the input values stored in the input value storage or the largest value among the input values stored in the input value storage, calculate an array offset of the input value, And outputs the output value corresponding to the array offset as a matching value to the output unit.

또한, 상기 제어기는 통신기, 메모리 및 프로세서를 포함하며, 상기 통신기는 상기 AD 변환기 및 상기 DA 변환기와의 데이터 송수신을 수행하고, 상기 메모리는 상기 통신기가 상기 AD 변환기 및 상기 DA 변환기와의 데이터 송수신을 수행하기 위한 프로그램, 상기 프로세서가 상기 AD 변환기로부터 출력되어 입력되는 입력값에 매칭되는 출력값을 찾기 위한 프로그램을 저장하고, 그리고, 상기 TC 게이지에서 출력 가능한 값들과 상기 TC 게이지에서 출력 가능한 값들에 매칭되는 상기 바라트론 게이지에서 출력 가능한 값을 각각 저장하며, 상기 프로세서는 상기 메모리에 저장된 프로그램을 호출하여, 상기 통신기를 통해 상기 AD 변환기로부터 입력되는 입력값에 매칭되는 출력값을 상기 메모리에서 찾아서 상기 통신기를 통해서 상기 DA 변환기로 출력하는 작업을 수행한다.In addition, the controller includes a communicator, a memory, and a processor, and the communicator performs data transmission / reception with the AD converter and the DA converter, and the memory communicates data with the AD converter and the DA converter And a program for searching an output value matched to an input value outputted from the AD converter and stored in the memory, wherein the program stores a value that can be output from the TC gauge and a value that matches the values that can be output from the TC gauge Wherein the processor is operable to call a program stored in the memory to find an output value in the memory that matches an input value input from the AD converter via the communicator, And outputs it to the DA converter Perform a backup.

또한, 상기 제어기는 USART(Universal Synchronous/Asynchronous Receiver Transmitter)/SPI(Serial Peripheral Interface) 통신을 사용하기 위한 초기화 및 레지스터 값의 초기화를 포함하는, 상기 TC 게이지 컨트롤러의 구성요소를 초기화한다.In addition, the controller initializes the components of the TC gauge controller, including initialization and register value initialization to use a USART (Universal Synchronous / Asynchronous Receiver Transmitter) / SPI (Serial Peripheral Interface) communication.

또한, 상기 DA 변환기는 미리 설정된 레인지(range)를 설정하여 상기 레인지 내에서의 값으로 상기 제어기에서 출력되는 출력값을 보정하여 변환하며, 상기 미리 설정된 레인지는 상기 바라트론 게이지의 출력값의 레인지이다.In addition, the DA converter sets a preset range and corrects the output value output from the controller to a value within the range, and the preset range is a range of the output value of the Baratron gauge.

본 고안에 따르면, TC 게이지로부터 측정되는 값에 대해 바라트론 게이지의 출력값으로 매칭시켜서 사용할 수 있다.According to the present invention, the value measured from the TC gauge can be matched to the output value of the baratron gauge.

이로 인해, 저가의 누구나 손쉽게 구할 수 있는 TC 게이지의 제한적 특성을 개선한 TC 게이지 컨트롤러 기술로 정밀성과 다른 진공 측정 게이지들과의 호환성을 높여 TC 게이지의 사용 범위를 확대할 수가 있다.This allows TC gauge controller technology to improve the accuracy and ease of compatibility with other vacuum measurement gauges by extending the limited range of TC gauges available to anyone at a low cost.

도 1은 종래 TC 게이지의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 종래의 OP 앰프, TC 게이지, 및 바라트론 게이지의 출력 그래프이다.
도 3은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러의 개략적인 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 제어기의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 제어기의 다른 구성을 도시한 도면이다.
도 6은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러의 동작 방법의 흐름도이다.
도 7은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러와 종래의 바라트론 게이지의 출력 그래프이다.
도 8은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러에 의해 사용되는 제1 프로그램의 소스 코드를 도시한 도면이다.
도 9는 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러에 의해 사용되는 제2 프로그램의 소스 코드를 도시한 도면이다.
도 10은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러에 의해 사용되는 제3 프로그램의 소스 코드를 도시한 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of a conventional TC gauge.
2 is a graph of the output of a conventional OP amplifier, TC gauge, and Baratron gauge.
3 is a schematic block diagram of a TC gauge controller according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a diagram showing a schematic configuration of the controller shown in Fig. 3. Fig.
5 is a diagram showing another configuration of the controller shown in FIG.
6 is a flowchart of an operation method of the TC gauge controller according to the embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a graph of the output of a conventional baratron gauge and a TC gauge controller according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a source code of a first program used by the TC gauge controller according to the embodiment of the present invention.
9 is a view showing a source code of a second program used by the TC gauge controller according to the embodiment of the present invention.
10 is a diagram showing a source code of a third program used by the TC gauge controller according to the embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 고안의 실시예에 대하여 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 고안은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 고안을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, the same reference numerals are used throughout the specification to refer to the same or like parts.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise. Also, the terms " part, "" module," and " module ", etc. in the specification mean a unit for processing at least one function or operation and may be implemented by hardware or software or a combination of hardware and software have.

이하, 본 고안의 실시예에 따른 열전대(TC) 게이지 컨트롤러에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a thermocouple (TC) gauge controller according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 3은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러의 개략적인 구성도이다.3 is a schematic block diagram of a TC gauge controller according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)는 OP 앰프(Operational Amplifier)(110), AD 변환기(Analog-Digital Converter)(120), 제어기(130), 및 DA 변환기(Digital-Analog Converter)(140)를 포함한다.3, the TC gauge controller 100 according to an embodiment of the present invention includes an operational amplifier 110, an analog-to-digital converter 120, a controller 130, And a DA converter (Digital-Analog Converter) 140.

OP 앰프(110)는 TC 게이지(10)에 의해 출력되는 아날로그 출력값을 증폭하여 출력한다. 이러한 OA 앰프로는 잘 알려져 있는 OA 앰프가 사용되므로 여기에서는 상세한 설명을 생략한다.The OP amplifier 110 amplifies and outputs the analog output value outputted by the TC gauge 10. [ OA amplifiers are well known for these OA amplifiers, so the detailed description is omitted here.

AD 변환기(120)는 OA 앰프(110)에서 출력되는 아날로그 출력값을 대응되는 디지털 출력값으로 변환하여 출력한다. 이러한 AD 변환기(120)로는 잘 알려져 있는 AD 변환기가 사용되므로 여기에서는 상세한 설명을 생략한다.The AD converter 120 converts the analog output value output from the OA amplifier 110 into a corresponding digital output value and outputs the digital output value. Since a well-known AD converter is used as the AD converter 120, a detailed description thereof will be omitted.

제어기(130)는 AD 변환기(120)에서 출력되는 디지털 출력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값을 찾아서 출력한다. 이를 위해, 제어기(130)는 TC 게이지의 출력값, 구체적으로는 TC 게이지(10)의 출력값을 OP 앰프(110)에 의해 증폭하고, AD 변환기(120)에 의해 AD 변환한 후에 얻어질 수 있는 값과 이에 대응되는 바라트론 게이지의 값을 서로 매칭되도록 저장하고 있다.The controller 130 finds and outputs an output value of the baratron gauge matched with the digital output value output from the AD converter 120. To this end, the controller 130 amplifies the output value of the TC gauge, specifically, the output value of the TC gauge 10 by the operational amplifier 110, and obtains a value that can be obtained after AD conversion by the AD converter 120 And the value of the baratron gauge corresponding thereto are stored so as to match each other.

DA 변환기(140)는 제어기(130)에서 출력되는 출력값을 아날로그 출력값으로 변환하여 외부로 출력한다. 이 때, 외부로 출력되는 값은 디스플레이 등을 통해 표시되거나 또는 다른 애플리케이션의 입력값으로 사용될 수 있다.The DA converter 140 converts an output value output from the controller 130 into an analog output value and outputs it to the outside. In this case, the value output to the outside may be displayed through a display or the like or may be used as an input value of another application.

이하, 상기한 제어기(130)에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the controller 130 will be described in detail.

도 4는 도 3에 도시된 제어기(130)의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of the controller 130 shown in FIG.

도 4에 도시된 바와 같이, 제어기(130)는 데이터 저장소(131), 입력값 수신기(132), 매칭기(133) 및 출력기(134)를 포함한다.As shown in FIG. 4, the controller 130 includes a data store 131, an input value receiver 132, a matching unit 133, and an output unit 134.

데이터 저장소(131)는 TC 게이지(10)의 출력값에 대응되는 값, 즉 AD 변환기(120)에서 출력 가능한 값들의 목록을 저장하는 입력값 저장소(1311)와, 바라트론 게이지에서 출력 가능한 값들의 목록을 저장하는 출력값 저장소(1312)를 포함한다. 이 때, 입력값 저장소(1311)에 저장된 값들과 출력값 저장소(1312)에 저장된 값들은 서로 매칭되도록 저장된다. 예를 들어, 입력값 저장소(1311)에 저장된 입력값들이 작은 값들부터 큰 값으로 오름차순으로 저장되어 있고, 이러한 입력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값들이 출력값 저장소(1311)에 역시 작은 값들로부터 큰 값으로 오름차순으로 저장되어 있어서, 각 저장소(1311, 1312)의 동일한 배열 오프셋에 의해 각 저장소(1311, 1312)에 저장된 입력값과 출력값이 서로 매칭될 수 있다. 한편, 입력값 저장소(1311)에 저장된 입력값과 출력값 저장소(1311)에 저장된 바라트론 게이지에서 출력 가능한 값의 매칭은, 예를 들어, 도 2에서 그래프(L1)의 OP 앰프의 출력값과 그래프(L3)의 바라트론 게이지의 출력값의 매칭 형태로 이루어 질수 있다. 즉, 이러한 형태에서는 입력값 저장소(1311)에 그래프(L1)의 값이 저장되고, 출력값 저장소(1312)에는 그래프(L2)의 값이 매칭되도록 저장된다.The data storage 131 includes an input value storage 1311 that stores a value corresponding to the output value of the TC gauge 10, that is, a list of values that can be output from the AD converter 120, And an output value storage 1312 for storing the output value. In this case, the values stored in the input value storage 1311 and the values stored in the output value storage 1312 are stored so as to be matched with each other. For example, when the input values stored in the input value storage 1311 are stored in ascending order from small values to large values, and the output values of the baratron gage matching the input values are also stored in the output value storage 1311 from small values to large values Values so that the input values and the output values stored in the respective depots 1311 and 1312 can be matched to each other by the same arrangement offset of each depot 1311 and 1312. [ The matching of the input value stored in the input value storage 1311 and the output value of the baratron gauge stored in the output value storage 1311 can be performed by comparing the output value of the OP amplifier of the graph L1 in FIG. L3) of the output of the baratron gauge. That is, in this form, the value of the graph L1 is stored in the input value storage 1311 and the value of the graph L2 is stored in the output value storage 1312.

입력값 수신기(132)는 AD 변환기(120)로부터 출력되는 디지털 출력값을 입력값으로 수신하여 매칭기(133)에게 출력한다.The input value receiver 132 receives the digital output value output from the AD converter 120 as an input value and outputs the digital output value to the matching unit 133.

매칭기(133)는 입력값 수신기(132)로부터 입력값을 수신한 후, 데이터 저장소(131)의 입력값 저장소(1131)와 출력값 저장소(1132)를 사용하여, 해당 입력값에 매칭되는 출력값을 찾아서 출력기(134)로 출력한다. 예를 들어, 매칭기(133)는 입력값 저장소(1131)에서 입력값 수신기(132)로부터 입력되는 입력값에 해당되는 배열 오프셋을 찾은 후, 출력값 저장소(1132)에 저장된 출력값들 중에서 해당 배열 오프셋에 해당되는 출력값을 입력값에 매칭되는 출력값으로 찾아서 출력할 수 있다. 이 때, 매칭기(133)는 입력값 저장소(1131) 내에 입력값 수신기(132)로부터 입력되는 입력값과 동일한 입력값이 저장되어 있지 않을 수 있으므로, 입력값 수신기(132)로부터 입력되는 입력값보다 큰 값들 중에서 가장 작은 값을 해당 입력값으로 사용할 수 있다. 또한, 매칭기(133)는 입력값 저장소(1131) 내에 입력값 수신기(132)로부터 입력되는 입력값과 같거나 큰 값이 없는 경우 바라트론 게이지의 최고 출력값을 매칭되는 출력값으로 결정한다.The matching unit 133 receives an input value from the input value receiver 132 and then uses the input value storage 1131 and the output value storage 1132 of the data storage 131 to calculate an output value matching the input value And outputs it to the output unit 134. For example, the matching unit 133 finds an array offset corresponding to an input value input from the input value receiver 132 in the input value storage 1131, and then calculates an array offset of the output value stored in the output value storage 1132 Can be found and output as an output value that matches the input value. In this case, the matching unit 133 may not store the same input value as the input value input from the input value receiver 132 in the input value storage 1131, so that the input value received from the input value receiver 132 The smallest value among the larger values can be used as the corresponding input value. In addition, the matching unit 133 determines the maximum output value of the baratron gauge as a matched output value when there is no value equal to or greater than the input value input from the input value receiver 132 in the input value storage 1131.

출력기(134)는 매칭기(133)에서 출력되는 출력값을 DA 변환기(140)로 출력한다.The output unit 134 outputs the output value output from the matching unit 133 to the DA converter 140.

다음, 상기한 제어기(130)의 다른 실시예에 대해 설명한다.Next, another embodiment of the above-described controller 130 will be described.

도 5는 도 3에 도시된 제어기(130)의 다른 구성을 도시한 도면이다.5 is a diagram showing another configuration of the controller 130 shown in FIG.

도 5에 도시된 바와 같이, 제어기(130)는 통신기(135), 메모리(136) 및 프로세서(137)를 포함한다.As shown in FIG. 5, the controller 130 includes a communicator 135, a memory 136, and a processor 137.

통신기(135)는 AD 변환기(120) 및 DA 변환기(140)와의 데이터 송수신을 수행한다. 즉, 통신기(135)는 AD 변환기(120)로부터 출력되는 출력값을 입력값으로 수신하고, 프로세서(137)에 의해 출력되는 출력값을 DA 변환기(140)로 송신한다.The communicator 135 performs data transmission / reception with the AD converter 120 and the DA converter 140. That is, the communicator 135 receives the output value output from the AD converter 120 as an input value, and transmits the output value output by the processor 137 to the DA converter 140. [

메모리(136)는 통신부(135)가 AD 변환기(120) 및 DA 변환기(140)와의 데이터 송수신을 수행하기 위한 프로그램, 프로세서(137)가 입력값에 매칭되는 출력값을 찾기 위한 프로그램 등을 저장하고, 또한, TC 게이지(10)의 출력값에 대응되는 값, 즉 AD 변환기(120)에서 출력 가능한 값들과 바라트론 게이지에서 출력 가능한 값들을 매칭하여 저장한다. 여기서, AD 변환기(120)에서 출력 가능한 값들과 바라트론 게이지에서 출력 가능한 값들 매칭하여 저장하는 내용에 대해서는 상기한 데이터 저장소(131)에서의 저장 방식이 사용될 수 있으므로, 여기에서는 구체적인 설명을 생략한다.The memory 136 stores a program for performing data transmission and reception with the AD converter 120 and the DA converter 140 by the communication unit 135, a program for searching an output value matched to the input value by the processor 137, In addition, a value corresponding to the output value of the TC gauge 10, that is, values that can be output from the AD converter 120 and values that can be output from the baratone gauge are matched and stored. Here, the contents stored in the data storage 131 may be used to store the values that can be output from the AD converter 120 and the values that can be output from the barrage gauge, so that detailed description thereof will be omitted.

프로세서(137)는 메모리(136)에 저장된 프로그램을 호출하여, 통신기(135)를 통해 AD 변환기(120)로부터 입력되는 입력값에 매칭되는 출력값을 메모리(136)에서 찾아서 통신기(135)를 통해 DA 변환기(140)로 출력하는 작업을 수행한다.The processor 137 calls the program stored in the memory 136 to find in the memory 136 an output value that matches the input value input from the AD converter 120 via the communicator 135, And outputs it to the converter 140.

이러한 프로세서(137)는 컨트롤러(controller), 마이크로컨트롤러(microcontroller), 마이크로프로세서(microprocessor), 마이크로컴퓨터(microcomputer) 등으로도 호칭될 수 있다. 또한, 프로세서(630)는 하드웨어(hardware) 또는 펌웨어(firmware), 소프트웨어, 또는 이들의 결합에 의해 구현될 수 있다.The processor 137 may also be referred to as a controller, a microcontroller, a microprocessor, a microcomputer, or the like. The processor 630 may also be implemented by hardware or firmware, software, or a combination thereof.

이하, 본 고안의 실시예에 따른 바라트론 게이지의 출력 특성을 갖는 TC 게이지 컨트롤러의 동작 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, an operation method of the TC gauge controller having the output characteristics of the baratron gauge according to the embodiment of the present invention will be described.

도 6은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러의 동작 방법의 흐름도이다. 6 is a flowchart of an operation method of the TC gauge controller according to the embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)가 작동되면, 예를 들어 전원이 인가되면, 초기화를 수행한다(S100). Referring to FIG. 6, when the TC gauge controller 100 according to the embodiment of the present invention is activated, for example, power is applied, initialization is performed (S100).

이러한 초기화로는 USART(Universal Synchronous/Asynchronous Receiver Transmitter)/SPI(Serial Peripheral Interface) 통신을 사용하기 위한 초기화, 레지스터 값의 초기화 등이 있다.Such initialization includes initialization for use of USART (Universal Synchronous / Asynchronous Receiver Transmitter) / SPI (Serial Peripheral Interface) communication, and initialization of a register value.

먼저, USART/SPI 통신을 사용하기 위한 초기화의 경우, TC 게이지 컨트롤러(100)을 구성하는 모든 장치의 클록을 초기화 설정하고, USART/SPI 인터페이스의 핀 모드, 클록 속도, 데이터 크기, 보 레이트(baud rate), 포트 번호, 패리티(parity), 흐름 제어(flow control) 값 등을 초기화 진행한다. 여기서, 클록 속도는 예를 들어, 50 MHz로, 보 레이트는 9600 Bps로 설정할 수 있다. First, in the case of initialization for using the USART / SPI communication, the clocks of all the devices constituting the TC gauge controller 100 are initialized, and the pin mode, clock speed, data size, baud rate rate, port number, parity, and flow control value. Here, the clock rate can be set to, for example, 50 MHz, and the baud rate to 9600 Bps.

다음, 레지스터 값의 초기화의 경우, 특히 제어기(130) 내부에서 사용되는 레지스터의 값들에 대한 초기화가 그 대상일 것이다.Next, in the case of the initialization of the register value, in particular, the initialization of the values of the register used in the controller 130 will be the target.

그 후, TC 게이지(10)에 의해 진공 압력이 측정되어 대응되는 아날로그 데이터가 OA 앰프(110)를 통해 증폭 출력되면 AD 변환기(120)가 그 데이터를 읽어 들여서(S110), 대응되는 디지털 데이터로 출력한다(S120). 여기서, AD 변환기(120)가 OA 앰프(110)를 통해 증폭된 아날로그 출력값들을 읽어 들이는 과정 중에 압력 조정(pressure regulation)이 감지되면 초기화 과정(S100)부터 재시작될 수 있다. 또한, AD 변환기(120)는 예를 들어, 입력되는 아날로그 데이터를 16 비트 디지털 데이터로 변환하는 AD 변환기일 수 있다.Thereafter, when the vacuum pressure is measured by the TC gauge 10 and the corresponding analog data is amplified and output through the OA amplifier 110, the AD converter 120 reads the data (S110) (S120). Here, if the AD converter 120 detects pressure regulation during the process of reading the amplified analog output values through the OA amplifier 110, the AD converter 120 may be restarted from the initialization step S100. The AD converter 120 may be, for example, an AD converter for converting input analog data into 16-bit digital data.

다음, 제어기(130)는 AD 변환기(120)에 의해 변환된 디지털 데이터를 입력값으로 사용하여 이에 매칭되는 출력값, 즉 바라트론 게이지의 출력값을 출력 데이터로서 출력한다(S130). Next, the controller 130 uses the digital data converted by the AD converter 120 as an input value, and outputs an output value matched thereto, that is, an output value of the baratron gauge as output data (S130).

계속해서, DA 변환기(140)는 제어기(130)에서 출력되는 매칭된 출력 데이터를 아날로그 데이터로 변환하여 외부의 디시플레이나 애플리케이션으로 출력한다(S140). 이 때, DA 변환기(140)에 레인지(range)를 설정하여 해당 레인지 내에서의 값으로 보정되어 변환된다. 여기서, 설정되는 레인지는 예를 들어, 바라트론 게이지의 출력값인 0 ~ 10V일 수 있다.Next, the DA converter 140 converts the matched output data output from the controller 130 into analog data, and outputs the data to an external decoder or application (S140). At this time, a range is set in the DA converter 140, and the value is converted into a value within the range and converted. Here, the set range may be 0 to 10 V, which is an output value of the Baratron gauge, for example.

이와 같이, 본 고안의 실시예에 따르면, TC 게이지(10)로부터 측정되는 값에 대해 바라트론 게이지의 출력값으로 매칭시켜서 사용함으로서, 저가의 누구나 손쉽게 구할 수 있는 TC 게이지의 제한적 특성을 개선한 TC 게이지 컨트롤러 기술로 정밀성과 다른 진공 측정 게이지들과의 호환성을 높여 TC 게이지의 사용 범위를 확대할 수가 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the TC gauge 10 is used by matching the measured value of the baratron gauge to the value measured by the TC gauge 10, thereby improving the limited characteristic of the TC gauge, The controller technology allows for greater accuracy and compatibility with other vacuum measurement gauges, extending the TC gauge range of use.

예로서, 도 7에 도시된 바와 같이, 1×10-3 Torr ~ 10 Torr의 범위에서 0.2 mTorr 단위로 진공 압력 증가시키며 출력 값을 확인하는 그래프에서, 그래프(L11)는 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)의 출력 값을 나타내며, 이는 목표 출력 값인 그래프(L12)의 바라트론 게이지의 출력 특성과 같은 것을 확인할 수 있다. 또한, 바라트론 게이지의 출력 그래프(L12)의 특성과 같이 그래프의 선형성을 이루어 그래프상 동일한 형태를 확인할 수 있다. 그러므로, 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)가 저변화되어 있는 바라트론 게이지의 출력 특성을 가져서 TC 게이지의 사용 범위를 확대할 수가 있는 것이다.For example, as shown in Fig. 7, in the graph for confirming the output value by increasing the vacuum pressure in the range of 1 占10-3 Torr to 10 Torr in the unit of 0.2 mTorr, the graph L11 corresponds to the embodiment of the present invention The output value of the TC gauge controller 100 is the same as the output characteristic of the Baratron gauge of the graph L12 which is the target output value. In addition, the linearity of the graph can be confirmed in the same graph as the characteristic of the output graph L12 of the baratron gauge. Therefore, the TC gauge controller 100 according to the embodiment of the present invention has the output characteristic of the Baratron gauge with a low change, and the use range of the TC gauge can be expanded.

또한, 기존의 TC 게이지 컨트롤러와 같이 특정 제품이 출시된 것들은 PLD(Programmable Logic Device) 칩을 사용하여 +5V 입력 전압까지 사용할 수 밖에 없어서 바라트론 게이지와 같이 선형적인 특성을 갖는 출력값(Analog Voltage)이 0 ~ 5V로 한정되어 있었다. In addition, since some products such as the existing TC gauge controller can only use a PLD (Programmable Logic Device) chip up to a + 5V input voltage, the output voltage (analog voltage) having a linear characteristic like the baratone gauge It was limited to 0 to 5V.

그러나, 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)의 경우, 특정 PLD 칩을 사용하지 않고, 마이크로프로세서(Microprocessor)와 아날로그 디바이스 칩(AD/DA 변환기(120, 140))을 사용하여 입력 전압을 15V까지 광범위하게 사용함으로써 1×10-3 Torr ~ 10 Torr 범위의 진공 압력을 측정할 수 있으며, 이는 0.001 ~ 10.000V 범위의 세밀한 아날로그 전압 값으로 변환되어 출력함으로써 정밀하게 진공 압력을 측정할 수 있다. 또한, 마이크로프로세서를 사용함으로서 이전에 비해 더 세밀한 출력을 프로그래밍으로 얻을 수도 있다. However, in the case of the TC gauge controller 100 according to the embodiment of the present invention, the microprocessor and the analog device chip (AD / DA converters 120 and 140) are used to input Vacuum pressure in the range of 1 × 10 -3 Torr to 10 Torr can be measured by using a wide range of voltage up to 15 V. This is converted to a fine analog voltage value in the range of 0.001 to 10.000 V and output, . In addition, by using a microprocessor, more detailed output can be obtained by programming than before.

이하, 마이크로프로세서를 사용하는 경우의 프로그램의 예에 대해 설명한다.An example of a program when a microprocessor is used will be described below.

도 8은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)에 의해 사용되는 제1 프로그램의 소스 코드를 도시한 도면이고, 도 9는 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)에 의해 사용되는 제2 프로그램의 소스 코드를 도시한 도면이며, 도 10은 본 고안의 실시예에 따른 TC 게이지 컨트롤러(100)에 의해 사용되는 제3 프로그램의 소스 코드를 도시한 도면이다. 본 예에서는 본 고안의 실시예에서 주요하게 사용되는 프로그램의 예에 대해서만 설명하며, 나머지 일반적인 내용의 프로그램에 대해서는 생략하였다.FIG. 8 is a view showing the source code of the first program used by the TC gauge controller 100 according to the embodiment of the present invention. FIG. 9 is a diagram showing the source code of the TC gauge controller 100 according to the embodiment of the present invention FIG. 10 is a diagram showing a source code of a third program used by the TC gauge controller 100 according to the embodiment of the present invention. FIG. In this example, only the examples of the programs mainly used in the embodiment of the present invention are described, and the remaining programs of the general contents are omitted.

도 8에 도시된 제1 프로그램의 소스 코드는, 각종 변수를 선언하고, 마이크로프로세서가 매칭값으로 사용할 TC 게이지(10)에 의해 측정되어 OA 앰프(110)에 의해 증폭된 값을 배열로서 선언하고 있다.The source code of the first program shown in Fig. 8 declares various variables, declares the value amplified by the OA amplifier 110 as an array, measured by the TC gauge 10, which the microprocessor will use as a matching value have.

도 8에서, dwInputVoltage는 OP 앰프(110)로부터 입력되는 입력값이 저장되는 변수이고, OutVoltageValue는 dwInputVoltage의 입력값에 매칭되어 찾아진 바라트론 게이지의 출력값을 저장하기 위한 변수이다.In FIG. 8, dwInputVoltage is a variable for storing an input value input from the OP amp 110, and OutVoltageValue is a variable for storing an output value of the baratron gauge matched with an input value of dwInputVoltage.

dwVoltage는 OP 앰프(110)로부터 입력 가능한 전체 입력값을 저장하는 배열 변수이다. 여기서, 배열 변수 dwVoltage의 인수인 MAXVOLTAGE는 배열 변수로 저장된 값들의 개수를 나타낸다.dwVoltage is an array variable for storing the entire input value that can be input from the OP amp 110. [ Here, MAXVOLTAGE, which is an argument of the array variable dwVoltage, indicates the number of values stored in the array variable.

도 9에 도시된 제2 프로그램의 소스 코드는, 마이크로프로세서가 입력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값을 배열 변수로서 선언하고 있다. 이러한 배열 변수 dwVoltageValue는 바라트론 게이지에서 출력될 수 있는 전체 출력값을 저장하는 배열 변수이다. 이 때, 배열 변수 dwVoltageValue에 저장된 값들은 배열 변수 dwVoltage에 저장된 값들의 순서에 맞도록 서로 매칭되어 저장된다.The source code of the second program shown in Fig. 9 declares the output value of the barratone gauge in which the microprocessor matches the input value as an array variable. This array variable dwVoltageValue is an array variable that stores the total output value that can be output from the baratron gauge. At this time, the values stored in the array variable dwVoltageValue are matched to each other to match the order of the values stored in the array variable dwVoltage.

도 10에 도시된 제3 프로그램의 소스 코드는, OP 앰프(110)로부터 입력되는 입력값에 매칭되는 출력값을 찾는 과정에 대한 것으로, OP 앰프(110)로부터 입력되는 입력값, 즉 dwInputVoltage에 저장된 값에 대해 전체 입력값이 저장된 배열 변수 dwVoltage 중에서 dwInputVoltage와 같은 값이거나 또는 큰 값들 중에서 가장 작은 값을 찾아서 그 값의 배열 위치를 확인하고, 출력값, 즉 dwVoltageValue에서그 확인된 배열 위치에 해당하는 출력값을 매칭되는 값으로 찾아서 OutVoltageValue에 저장하는 것이다. 따라서, OutVoltageValue에 저장된 값이 결국 입력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값이 된다. 소스 코드 중에서 for 구문이 dwInputVoltage에 저장된 값에 대응되는 입력값을 dwVoltage에서 찾기 위한 부분을 나타낸다.The source code of the third program shown in FIG. 10 relates to a process of finding an output value matched with an input value input from the OP amplifier 110, and the input value input from the OP amplifier 110, that is, the value stored in dwInputVoltage And the output value, that is, the output value corresponding to the identified array position in the dwVoltageValue, is matched with the output value of dwValtage And stores it in the OutVoltageValue. Therefore, the value stored in the OutVoltageValue becomes the output value of the Barrtone gauge which is eventually matched to the input value. In the source code, the for statement indicates the part to find in dwVoltage the input value corresponding to the value stored in dwInputVoltage.

이 때, 입력값, 즉 dwInputVoltage에 저장된 값이 배열 변수 dwVoltage 내에 있는 어떤 값들보다 큰 경우에는 출력값, 즉 dWVoltageValue에 저장된 값들에서도 매칭되는 값이 없으므로 가장 큰 값인 10.0, 즉 10V를 나타내는 출력값을 OutVoltageValue로 저장하여 매칭되는 값으로 한다.In this case, when the input value, that is, the value stored in dwInputVoltage is larger than any value in the array variable dwVoltage, there is no matching value in the output value, that is, the value stored in dWVoltageValue. Therefore, the output value indicating 10.0, To be a matching value.

이상에서 설명한 본 고안의 실시예는 장치 및 방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 본 고안의 실시예의 구성에 대응하는 기능을 실현하는 프로그램 또는 그 프로그램이 기록된 기록 매체를 통해 구현될 수도 있다.The embodiments of the present invention described above are not necessarily implemented only by an apparatus and a method, but may be implemented through a program that realizes a function corresponding to the configuration of the embodiment of the present invention or a recording medium on which the program is recorded.

이상에서 본 고안의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 고안의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 고안의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 고안의 권리범위에 속하는 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of the person skilled in the art using the basic concept of the present invention, which is defined in the following claims, It belongs to the scope of right.

Claims (8)

진공 압력을 측정하는 TC(Thermocouple) 게이지로부터 출력되는 아날로그 출력값을 증폭하여 출력하는 OP(Operational Amplifier) 앰프;
상기 OP 앰프에서 출력되는 아날로그 출력값에 대응되는 디지털 출력값으로 변환하여 출력하는 AD(Analog-Digital) 변환기;
상기 AD 변환기에서 출력되는 디지털 출력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값을 출력하는 제어기; 및
상기 제어기에서 출력되는 출력값을 대응되는 아날로그 출력값으로 변환하여 출력하는 DA 변환기
를 포함하는 열전대 게이지 컨트롤러.OP (Operational Amplifier) amplifier for amplifying and outputting the analog output value output from the TC (Thermocouple) gauge for measuring the vacuum pressure;
An AD (Analog-Digital) converter for converting the digital output value into a digital output value corresponding to the analog output value output from the OP amp;
A controller for outputting an output value of a baratron gauge matched with a digital output value output from the AD converter; And
A DA converter for converting the output value output from the controller into a corresponding analog output value and outputting the converted analog output value;
A thermocouple gauge controller. 제1항에 있어서,
상기 제어기는,
상기 AD 변환기에서 출력 가능한 디지털 출력값과, 상기 AD 변환기에서 출력가능한 디지털 출력값에 매칭되는 바라트론 게이지의 출력값을 각각 저장하는 데이터 저장소;
상기 AD 변환기로부터 출력되는 디지털 출력값을 입력값으로 수신하는 입력값 수신기;
상기 입력값 수신기에 의해 수신되는 입력값을 이용하여 상기 데이터 저장소에서 매칭되는 출력값을 찾는 매칭기; 및
상기 매칭기에 의해 찾아진 출력값을 상기 DA 변환기로 출력하는 출력기
를 포함하는, 열전대 게이지 컨트롤러.The method according to claim 1,
The controller comprising:
A data storage for storing a digital output value that can be output from the AD converter and an output value of a baratron gauge matched with a digital output value that can be output from the AD converter;
An input value receiver for receiving a digital output value output from the AD converter as an input value;
A matching unit for finding output values matched in the data storage using input values received by the input value receiver; And
An output unit for outputting an output value found by the matching unit to the DA converter;
And a thermocouple gauge controller. 제2항에 있어서,
상기 데이터 저장소는,
상기 AD 변환기에서 출력 가능한 디지털 출력값을 저장하는 입력값 저장소; 및
상기 바라트론 게이지의 출력값을 저장하는 출력값 저장소
를 포함하며,
상기 입력값 저장소에 저장된 입력값과 상기 출력값 저장소에 저장된 출력값은 각각 오름차순으로 저장되어 있고,
상기 입력값 저장소에 저장된 입력값과 상기 출력값 저장소에 저장된 출력값은 동일한 배열 오프셋에 의해 서로 매칭되는,
열전대 게이지 컨트롤러.3. The method of claim 2,
The data store comprises:
An input value storage for storing a digital output value that can be output from the AD converter; And
An output value storage for storing an output value of the baratron gauge;
/ RTI >
Wherein the input value stored in the input value storage and the output value stored in the output value storage are stored in ascending order,
Wherein an input value stored in the input value storage and an output value stored in the output value storage are matched with each other by the same array offset,
Thermocouple gauge controller. 제3항에 있어서,
상기 매칭기는 상기 입력값 수신기에 의해 수신되는 입력값이 상기 입력값 저장소 내에 저장된 입력값 보다 큰 경우 상기 바라트론 게이지의 최대 출력값을 매칭되는 출력값으로서 상기 출력기로 출력하는,
열전대 게이지 컨트롤러.The method of claim 3,
Wherein the matching unit outputs the maximum output value of the baratron gauge as a matched output value to the output unit when the input value received by the input value receiver is larger than the input value stored in the input value storage,
Thermocouple gauge controller. 제3항에 있어서,
상기 매칭기는 상기 입력값 수신기를 통해 수신되는 입력값이 상기 입력값 저장소에 저장된 입력값들 중 같은 값이거나 또는 큰 값들 중에서 가장 작은 값을 찾아서 그 값의 배열 오프셋을 산출하고, 상기 출력값 저장소에 저장된 출력값들 중에서 상기 배열 오프셋에 해당하는 출력값을 매칭값으로서 상기 출력기로 출력하는,
열전대 게이지 컨트롤러.The method of claim 3,
Wherein the matching unit calculates an array offset of the input value received through the input value receiver by finding the smallest value among the input values stored in the input value storage or the largest value among the input values stored in the input value storage, And outputting, as a matching value, an output value corresponding to the array offset among the output values to the output device.
Thermocouple gauge controller. 제1항에 있어서,
상기 제어기는 통신기, 메모리 및 프로세서를 포함하며,
상기 통신기는 상기 AD 변환기 및 상기 DA 변환기와의 데이터 송수신을 수행하고,
상기 메모리는 상기 통신기가 상기 AD 변환기 및 상기 DA 변환기와의 데이터 송수신을 수행하기 위한 프로그램, 상기 프로세서가 상기 AD 변환기로부터 출력되어 입력되는 입력값에 매칭되는 출력값을 찾기 위한 프로그램을 저장하고, 그리고, 상기 TC 게이지에서 출력 가능한 값들과 상기 TC 게이지에서 출력 가능한 값들에 매칭되는 상기 바라트론 게이지에서 출력 가능한 값을 각각 저장하며,
상기 프로세서는 상기 메모리에 저장된 프로그램을 호출하여, 상기 통신기를 통해 상기 AD 변환기로부터 입력되는 입력값에 매칭되는 출력값을 상기 메모리에서 찾아서 상기 통신기를 통해서 상기 DA 변환기로 출력하는 작업을 수행하는,
열전대 게이지 컨트롤러.The method according to claim 1,
The controller comprises a communicator, a memory and a processor,
Wherein the communicator performs data transmission / reception with the AD converter and the DA converter,
Wherein the memory stores a program for causing the communicator to perform data transmission and reception with the AD converter and the DA converter, a program for searching an output value matching the input value output from the AD converter and input to the processor, Storing values outputable from the TC gauge and values outputable from the baratron gauge matched with values outputable from the TC gauge,
Wherein the processor performs a task of calling a program stored in the memory to search for an output value matching the input value input from the AD converter through the communicator and output to the DA converter through the communicator,
Thermocouple gauge controller. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어기는 USART(Universal Synchronous/Asynchronous Receiver Transmitter)/SPI(Serial Peripheral Interface) 통신을 사용하기 위한 초기화 및 레지스터 값의 초기화를 포함하는, 상기 TC 게이지 컨트롤러의 구성요소를 초기화하는,
열전대 게이지 컨트롤러.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
The controller initializes the components of the TC gauge controller, including initialization and register value initialization to use a Universal Synchronous / Asynchronous Receiver Transmitter (USART) / SPI (Serial Peripheral Interface)
Thermocouple gauge controller. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 DA 변환기는 미리 설정된 레인지(range)를 설정하여 상기 레인지 내에서의 값으로 상기 제어기에서 출력되는 출력값을 보정하여 변환하며, 상기 미리 설정된 레인지는 상기 바라트론 게이지의 출력값의 레인지인,
열전대 게이지 컨트롤러.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein the DA converter corrects and converts an output value output from the controller by setting a predetermined range to convert the output value of the controller into a value within the range, and the predetermined range is a range of the output value of the Baratron gauge,
Thermocouple gauge controller.
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