KR200481934Y1 - 유해가스 자동 처리 시스템 - Google Patents

유해가스 자동 처리 시스템 Download PDF

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KR200481934Y1
KR200481934Y1 KR2020160004085U KR20160004085U KR200481934Y1 KR 200481934 Y1 KR200481934 Y1 KR 200481934Y1 KR 2020160004085 U KR2020160004085 U KR 2020160004085U KR 20160004085 U KR20160004085 U KR 20160004085U KR 200481934 Y1 KR200481934 Y1 KR 200481934Y1
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noxious gas
adsorption
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KR2020160004085U
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송운호
박성근
송승진
이춘성
이헌석
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(주)에프테크
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Abstract

본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스 자동 처리 시스템은 유해물질이 혼합된 유해가스를 이용한 공정에서 발생되는 유해가스 또는 상기 공정에 사용되기 위해 저장되는 유해물질이 혼합된 유해가스가 순환되어 흡착되도록 마련되는 흡착부; 상기 유해가스로부터 상기 유해물질이 제거된 가스가 외부로 배출되도록 마련되는 배출부; 상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되는 제1 상태 및 상기 흡착부로부터 상기 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 제2 상태에 따라 각각 다른 경로를 통해 이송되도록 마련되는 이송부; 및 상기 제1 상태 및 상기 제2 상태에 따라 상기 경로가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 밸브부;를 포함한다. 이에 의해, 복수의 경로 중 일부 경로를 통해 유해가스가 유입되되, 흡착된 유해가스를 배출됨으로써, 적은 수의 경로를 통해 유해물질이 제거된 유해가스가 외부로 배출될 수 있다. 그리고 유해가스의 종류를 판단하여 흡착제의 종류를 변경함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다. 또한, 흡착제를 통해 흡착된 유해가스의 농도를 기반으로 흡착제의 교체 시기를 판단함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다.

Description

유해가스 자동 처리 시스템{Automatic Processing system of toxic gas}
본 고안은 유해가스 자동 처리 시스템에 관한 것으로, 보다 자세하게는 유해가스를 이용하는 공정에서 발생되는 유해가스 또는 공정에 사용되기 위해 저장되는 유해가스의 유해물질을 제거하여 유해물질이 제거된 가스를 외부로 배출되도록 하는 유해가스 자동 처리 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, IT 산업의 발전에 따라 반도체 및 디스플레이 산업 또한 급격히 성장해왔으며, 이에 따른 반도체 제조용 특수 가스 소재 산업도 동반 성장해왔다. 특히, 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 특성상 독성 및 부식성 가스를 많이 사용하고 있으며, 기존 외국에서 수입하던 가스를 국내 업체에서도 많이 취급 및 저장하고 있다. 그러나 국내 독성 가스 취급 업체들은 정상 공정 상태에서의 최소한의 법적 준수 수준만을 고려한 가스 처리 시설을 갖추고 있으며, 비정상 운전, 비상 상태시의 독성 가스 다량 누출시의 위험성 평가, 처리 방안 마련이 미흡한 것이 사실이다.
그리고 독성 가스 사용량이 증가하면서 독성 가스 누출 사고 또한, 증가하고 있으며, 이러한 독성 가스 누출에 다른 인명 피해도 증가하고 있다. 대표적인 예를 들면, 2013년에 구미의 휴브 글러브 사의 불소 누출 사고, 경기도 화성의 삼성 전자사의 불소 누출 사고, 울산 삼성 정밀 화학의 염소 누출 사고 등 크고 작은 독성 가스 누출 사고가 끊임없이 발생하고 있으며, 이에 따른 인명 피해도 발생하고 있는 실정이다.
따라서, 이러한 인명 피해를 줄이기 위해 유해 가스의 발생 여부를 탐지하고, 유해가스를 흡착하여 유해가스에 혼합된 유해물질을 제거하여 유해물질이 제거된 가스를 배기시킬 수 있는 시스템의 개발이 요구된다.
선행문헌 0001 대한민국 등록특허공보 10-0935527
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 본 고안의 목적은 유해가스를 이용하는 공정에서 발생되는 유해가스 또는 공정에 사용되기 위해 저장되는 유해가스의 유해물질을 제거하여 유해물질이 제거된 가스를 외부로 배출함으로써, 유해가스의 누출에 의한 사고를 방지할 수 있는 유해가스 자동 처리 시스템을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스 자동 처리 시스템은, 공정에서 발생되는 유해물질이 혼합된 유해가스가 순환되어 흡착되도록 마련되는 흡착부; 상기 유해가스로부터 상기 유해물질이 제거된 가스가 외부로 배출되도록 마련되는 배출부; 상기 유해가스 및 상기 가스가 이송되도록 복수의 경로로 마련되는 이송부; 및 상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되는 제1 상태 및 상기 가스가 상기 흡착부로부터 유출되는 제2 상태에 따라 상기 복수의 경로가 각각 다르게 개방 또는 폐쇄되도록 마련되는 밸브부;를 포함한다.
그리고 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스 자동 처리 시스템은, 상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부를 원격으로 제어하는 모니터링부;를 더 포함하고, 상기 모니터링부는, 상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부의 동작 상태를 감지하여 감지 정보를 생성하는 감지부; 및 상기 감지부로부터 수신된 감지 정보에 따라 상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부의 동작을 원격으로 제어하는 원격 제어부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 이송부는, 상기 유해가스가 유입되거나 상기 가스가 상기 배출부로 이송되도록 하는 제1 이송부; 상기 제1 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 제1 이송부로부터 이송된 상기 유해가스가 상기 흡착부로 이송되도록 하거나, 상기 가스가 상기 배출부로 이송되도록 하는 제2 이송부; 및 상기 제2 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 제2 이송부로부터 이송된 상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되도록 하는 제3 이송부;를 포함할 수 있다.
그리고 상기 밸브부는, 상기 가스가 상기 배출부로 이송되는 동안 상기 유해가스가 상기 제1 이송부로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제1 밸브부; 및 상기 가스가 상기 흡착부로부터 유출되어 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 따라 상기 배출부로 이송되기 위해 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제2 밸브부;를 포함하고, 상기 원격 제어부는, 상기 감지부가 상기 제1 상태라고 감지하여 감지 정보를 생성하면, 상기 제1 밸브부는 개방되되, 상기 제2 밸브부는 폐쇄되어 상기 제1 이송부로 유입된 유해가스가 상기 제2 이송부 및 상기 제3 이송부를 통해 상기 흡착부로 이송되도록 하고, 상기 감지부가 상기 제2 상태라고 감지하여 감지 정보를 생성하면, 상기 제1 밸브부 및 상기 제2 밸브부가 개방되어 상기 흡착된 유해가스가 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 통해 상기 배출부로 이송되도록 할 수 있다.
또한, 상기 감지부는, 상기 유해가스가 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 통해 상기 배출부로 이송되는 동안 상기 유해가스가 상기 제1 이송부로 유입되는 제3 상태를 감지하여 감지 정보를 생성하고, 상기 원격 제어부는, 상기 감지부로부터 상기 제3 상태에 대한 감지 정보가 수신되면, 상기 제1 밸브부가 폐쇄되되, 상기 제2 밸브부는 개방되어 상기 가스가 상기 제2 이송부를 통해서만 상기 배출부로 이송되도록 할 수 있다.
그리고 상기 이송부는, 상기 제2 이송부 및 상기 제3 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 유해가스가 상기 제3 이송부로 이송되되, 상기 제3 이송부로 이송된 유해가스가 상기 흡착부로 유입되지 않고, 상기 제2 이송부로 이송되도록 하는 제4 이송부;를 더 포함하고, 상기 밸브부는, 상기 제3 이송부로 이송된 유해가스가 상기 흡착부로 유입되거나, 상기 유해가스가 상기 제4 이송부로 이송되기 위해, 상기 제4 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제3 밸브부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 감지부는, 상기 제1 이송부로 유입되는 유해가스의 농도를 감지하되, 상기 유해가스의 농도가 기설정된 범위보다 미만인 경우에 감지 정보를 생성하고, 상기 원격 제어부는, 상기 감지부로부터 상기 감지 정보가 수신되면, 상기 제3 밸브부가 개방되어 상기 유해가스가 상기 제4 이송부를 따라 상기 제2 이송부로 이송되도록 할 수 있다.
그리고 상기 흡착부는, 상기 유해가스의 유해물질이 흡착되는 흡착제가 복수로 마련되고, 상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 전의 농도와 상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 후의 농도의 차이를 기반으로 상기 유해가스가 흡착되는 흡착제의 교체 시기를 판단하는 흡착제 교체 판단부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 감지부는, 상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 전의 농도의 값과 상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 후의 농도의 차이 값이 측정되되, 상기 농도의 차이 값이 기설정된 범위보다 미만인 경우에 감지 정보를 생성하고, 상기 원격 제어부는, 상기 감지부로부터 상기 감지 정보가 수신되면, 상기 유해가스의 흡착 절차를 수행하는 흡착제가 교체되도록 할 수 있다.
그리고 상기 흡착부는, 상기 유해가스의 유해물질이 흡착되도록 하는 흡착제가 복수로 마련되고, 상기 유해가스가 상기 흡착부에 유입되기 전에 상기 유해가스의 정보를 기반으로 상기 유해가스의 종류를 판단하는 유해가스 종류 판단부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 감지부는, 상기 유해가스 종류 판단부로부터 상기 유해가스의 종류가 판단되면, 상기 종류가 판단된 유해가스를 감지하여 감지 정보를 생성하고, 상기 원격 제어부는, 상기 감지부로부터 상기 감지 정보가 수신되면, 상기 복수의 흡착제 중에 상기 종류가 판단된 유해가스의 흡착 절차를 수행하는 흡착제로 교체되도록 할 수 있다.
이에 의해, 복수의 경로 중 일부 경로를 통해 유해가스가 유입되되, 흡착된 유해가스를 배출됨으로써, 적은 수의 경로를 통해 유해물질이 제거된 유해가스가 외부로 배출될 수 있다.
그리고 유해가스의 종류를 판단하여 흡착제의 종류를 변경함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다.
또한, 흡착제를 통해 흡착된 유해가스의 농도를 기반으로 흡착제의 교체 시기를 판단함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스 자동 처리 시스템을 나타낸 개념도,
도 2a 내지 2b는 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스가 흡착부로 유입되도록 하는 이송부를 설명하기 위한 도면,
도 3a 내지 3b는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착부의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부로 이송되도록 하는 이송부를 설명하기 위한 도면,
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착부로 이송되는 유해가스의 농도에 따라 유해가스를 배출부로 이송되도록 하는 이송부를 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착제의 이동을 기반으로 유해가스를 흡착하는 방법을 나타낸 개념도,
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스의 유해물질이 제거되기 전과 유해가스의 유해물질이 제거된 후의 농도를 측정하는 방법을 나타낸 개념도,
도 7은 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착부의 흡착제의 교체 시기를 판단하는 방법을 나타낸 개념도이다.
이하에서는 본 고안의 실시예들을 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이하에 소개되는 실시예들은 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 본 고안의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위한 예로서 제공되는 것이다. 본 고안은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 도 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스 자동 처리 시스템을 나타낸 개념도이다.
도 1을 참조하면, 유해가스 자동 처리 시스템은 1차 스크러버(100), 저장부(200), 흡착부(300), 배출부(400), 이송부(500) 및 모니터링부(600)를 포함한다.
1차 스크러버(100)는 PECVD(10)의 공정을 기반으로 발생되는 유해가스에 혼합된 유해물질을 1차적으로 제거하기 위해 마련된다.
여기서, 유해물질은 독성 및 가연성이 포함되는 물질일 수 있다.
그리고 1차 스크러버(100)는 PECVD(10)의 공정에서 발생되는 유해 가스의 유해물질을 1차적으로 여과하기 위한 장치로서 PECVD(10)의 공정을 거치지 않는 유해가스 또는 PECVD(10)의 제작 공정을 거치지 않고 유출되는 유해가스는 통과하지 않을 수 있다.
본 고안에서의 PECVD(10)는 반도체 제작공정인 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)를 뜻하는 것이고, 유해가스를 발생시키는 공정에 대한 하나의 예시이다.
즉, 다른 다양한 유해가스를 발생시키는 공정 절차에 본 고안이 적용될 수 있고, 이러한 실시예 또한 본 고안의 권리 범위에 포함된다.
또한, PECVD(10)는 유해가스(SiH₄, NH₄, NF₃)를 이용한 반도체 제작 공정일 수 있다.
저장부(200)는 PECVD(10)의 공정에 필요한 유해가스가 저장되기 위해 마련된다.
본 고안의 저장부(200)에는 PECVD(10)의 공정을 위한 유해가스(SiH₄, NH₄, NF₃)가 저장될 수 있다.
흡착부(300)는 1차 스크러버(100)로부터 유해물질이 1차적으로 여과 처리된 유해가스 또는 저장부(200)로부터 유출되는 유해가스가 유입되면, 흡착 절차를 통해 유해가스의 유해물질을 제거하기 위해 마련된다.
여기서, 흡착부(300)는 PECVD(10)의 공정에서 사용되는 유해가스와 저장부(200)에 저장된 유해가스의 종류가 복수이기 때문에, 흡착부(300)의 내부에 유해가스의 흡착 절차를 수행하는 흡착제의 종류도 복수로 마련될 수 있다.
또한, 흡착부(300)는 PECVD(10)의 공정에서 사용되는 유해가스의 종류가 복수이기 때문에, PECVD(10)의 공정에서 사용되는 복수의 유해가스가 각각 다른 공간에 유입되어 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거되도록 하기 위해 내부의 공간이 복수로 마련될 수 있다.
배출부(400)는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 외부로 배출되도록 하기 위해 마련된다.
여기서, 배출부(400)의 내부에는 배기팬이 마련되어 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유입된 후에 외부로 배출될 수 있다.
이송부(500)는 1차 스크러버(100)로부터 유해물질이 1차적으로 여과 처리된 유해가스 또는 저장부(200)로부터 유출되는 유해가스가 흡착부(300)로 이송되도록 하고, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송되도록 하기 위해 마련된다.
여기서, 이송부(500)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 이송되도록 하고, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송되도록 하기 위해 복수의 경로로 마련될 수 있다.
이때, 이송부(500)의 복수의 경로 중 일부 경로를 통해 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입될 뿐만 아니라, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송됨으로써, 적은 수의 경로를 통해서 유해물질이 혼합된 유해가스를 처리할 수 있는 장점이 있다.
이송부(500)에 대한 더욱 구체적인 설명은 도 2를 참조하여 후술하기로 한다.
모니터링부(600)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 유해물질이 제거되도록 하는 흡착부(300) 및 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 외부로 배출되도록 하는 배출부(400)를 제어하기 위해 구현될 수 있다.
그리고 모니터링부(600)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 이송되도록 하고, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송되도록 하는 이송부(500)를 제어하기 위해 구현될 수 있다.
도 2a 내지 2b는 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스가 흡착부로 유입되도록 하는 이송부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 이송부(500)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 이송되도록 하고, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송되도록 하기 위한 것으로, 제1 이송부(510), 제2 이송부(520) 및 제3 이송부(530)를 포함한다.
제1 이송부(510)는 1차 스크러버(100)에서 유해물질이 1차 여과 처리된 유해가스 또는 저장부(200)에 저장되는 유해가스가 유입되기 위해 마련된다.
여기서, 제1 이송부(510)에 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되면, 제1 이송부(510)와 일부 경로가 공유된 제2 이송부(510)로 유해가스가 이송될 수 있다.
제2 이송부(520)는 제1 이송부(510)와 일부 경로가 공유되어 제1 이송부(510)로부터 이송된 유해가스가 유입되기 위해 마련된다.
여기서, 제1 이송부(510)로부터 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 제2 이송부(520)로 유입되면, 제2 이송부(520)와 일부 경로가 공유된 제3 이송부(530)로 유해가스가 이송될 수 있다.
제3 이송부(530)는 제2 이송부(520)와 일부 경로가 공유되어 제2 이송부(520)로부터 이송된 유해가스가 흡착부(300)의 내부로 이송되도록 하기 위해 마련된다.
이때, 흡착부(300)가 각각 다른 흡착제로 사용되는 복수의 흡착부(300)로 마련되는 경우, 제1 이송부(510), 제2 이송부(520) 및 제3 이송부(530)도 각각의 흡착부(300)에 연결되도록 복수로 마련될 수 있다.
본 고안의 일 실시예에서는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 공기보다 가벼운 성질을 가진 유해가스로써, 유해가스가 제1 이송부(510)로 유입되어 제2 이송부(520)와 제3 이송부(530)를 따라 흡착부(300)로 유입되면, 점차 흡착부(300)의 상측으로 순환될 수 있다.
여기서, 제3 이송부(530)는 흡착부(300)의 흡착제보다 하단에 위치할 수 있고, 제1 이송부(510)와 제2 이송부(520)는 흡착부(300)의 흡착제보다 상단에 위치할 수 있다.
만약, 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 공기보다 무거운 성질을 가진 유해가스라면, 제3 이송부(530)는 흡착부(300)의 흡착제보다 상단에 위치할 수 있고, 제1 이송부(510) 및 제2 이송부(520)는 흡착부(300)의 흡착제보다 하단에 위치할 수 있다.
예를 들어, 복수의 흡착부(300) 중 어느 하나의 흡착부(300)는 공기보다 가벼운 성질을 가진 유해가스가 유입되고, 다른 하나의 흡착부(300)는 공기보다 무거운 성질을 가진 유해가스가 유입된다고 가정하면, 어느 하나의 흡착부(300)에 연결된 제3 이송부(530)는 어느 하나의 흡착부(300)의 흡착제보다 하단에 위치할 수 있고, 어느 하나의 흡착부(300)와 연결된 제1 이송부(510)와 제2 이송부(520)는 흡착부(300)의 흡착제보다 상단에 위치할 수 있다.
또한, 다른 하나의 흡착부(300)에 연결된 제3 이송부(530)는 흡착부(300)의 흡착제보다 상단에 위치할 수 있고, 다른 하나의 흡착부(300)와 연결된 제1 이송부(510) 및 제2 이송부(520)는 흡착부(300)의 흡착제보다 하단에 위치할 수 있다.
본 고안의 일 실시예의 유해가스 자동 처리 시스템은 밸브부(700) 및 배기 조절부(800)를 더 포함할 수 있다.
밸브부(700)는 이송부(500)의 일부 경로에 마련되어 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 이송되도록 하거나, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송되도록 하기 위한 것으로 제1 밸브부(710) 및 제2 밸브부(720)를 포함한다.
제1 밸브부(710) 및 제2 밸브부(720)에 대한 더욱 구체적인 설명은 도 3a 내지 3b를 참조하여 후술하기로 한다.
배기 조절부(800)는 이송부(500)의 일부 경로에 마련되어 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 이송되는 속도 및 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송되는 속도가 조절되도록 개방 또는 폐쇄되는 제1 배기 조절부(810) 및 제2 배기 조절부(820)를 포함한다.
제1 배기 조절부(810) 및 제2 배기 조절부(820)에 대한 더욱 구체적인 설명은 도 3a 내지 3b를 참조하여 후술하기로 한다.
모니터링부(600)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되는 상태 및 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 상태에 따라 흡착부(300), 배출부(400), 이송부(500), 밸브부(700) 및 배기 조절부(800)를 제어하기 위한 것으로, 감지부(610) 및 원격 제어부(620)를 포함한다.
감지부(610)는 제1 상태 및 제2 상태에 따라 흡착부(300), 배출부(400), 이송부(500), 밸브부(700) 및 배기 조절부(800)의 동작 상태를 감지하여 감지 정보를 생성하기 위해 마련된다.
여기서, 제1 상태는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 유입되는 상태를 의미할 수 있다.
제2 상태는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 흡착부(300)로부터 유출되는 상태를 의미할 수 있다.
그리고 감지부(610)는 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
원격 제어부(620)는 감지부(610)로부터 수신되는 감지 정보를 기반으로 흡착부(300), 배출부(400), 이송부(500), 밸브부(700) 및 배기 조절부(800)의 동작을 원격으로 제어하기 위해 마련된다.
도 3a 내지 3b는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착부의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부로 이송되도록 하는 이송부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 제1 밸브부(710)는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 제1 이송부(510) 및 제2 이송부(520)로 이송되는 동안 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 제1 이송부(510)로 이송되는 것을 방지하기 위해 마련된다.
제2 밸브부(720)는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 것을 방지하거나, 제1 이송부(510) 및 제2 이송부(520)를 통해 배출부(400)로 이송되도록 하기 위해 마련된다.
여기서, 제1 밸브부(710)는 제1 이송부(510)의 일부 경로에 마련될 수 있고, 제2 밸브부(720)는 제2 이송부(520)의 일부 경로에 마련될 수 있다.
제1 배기 조절부(810)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 유입되는 속도를 조절하기 위해 마련된다.
여기서, 제1 배기 조절부(810)는 제3 이송부(530)의 일부 경로에 마련되었으나, 제2 이송부(510)의 일부 경로에 마련되어 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 이송 속도를 제어할 수 있다.
제2 배기 조절부(820)는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 유입되는 일부 경로에 마련되어 유해물질이 제거된 가스가 유입되는 속도를 조절하기 위해 마련된다.
첨언하면, 흡착부(300)가 각각 다른 흡착제가 사용되는 복수의 흡착부(300)로 마련되는 경우, 제1 밸브부(710), 제2 밸브부(720), 제1 배기 조절부(810) 및 제2 배기 조절부(820)는 복수로 마련될 수 있다.
그리고 제1 밸브부(710) 및 제2 밸브부(720)는 원격 제어부(620)에 의해 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
또한, 제1 배기 조절부(810) 및 제2 배기 조절부(820)는 원격 제어부(620)에 의해 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
예를 들어, 감지부(610)가 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되는 제1 상태를 감지하여 제1 상태에 대한 감지 정보를 생성하고, 제1 상태에 대한 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
감지부(610)가 제1 상태에 대한 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신하면, 상술한 도 2와 같이, 원격 제어부(620)는 제1 상태에 대한 감지 정보를 수신하여 제1 밸브부(710)가 개방되되, 제2 밸브부(720)는 폐쇄되도록 하고, 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 제2 이송부(520) 및 제3 이송부(530)를 따라 흡착부(300)로 이송되도록 할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 이송되는 속도가 조절되도록 제1 배기 조절부(810)를 제어할 수 있다.
예를 들어, 감지부(610)가 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 제2 상태를 감지하여 제2 상태에 대한 감지 정보를 생성하고, 제2 상태에 대한 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 제2 상태에 대한 감지 정보를 수신하여 제1 밸브부(710) 및 제2 밸브부(720)가 모두 개방되도록 하고, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 제1 이송부(510) 및 제2 이송부(520)를 따라 배출부(400)로 이송되도록 할 수 있다.
또한, 감지부(610)가 제2 상태를 감지하여 제2 상태에 대한 감지 정보를 생성하면, 원격 제어부(620)는 제1 밸브부(710) 및 제2 밸브부(720)가 모두 개방되는 동시에 제1 배기 조절부(810)가 폐쇄되도록 하여 제2 이송부(520)를 따라 이송되는 유해물질이 제거된 가스가 제2 이송부(520)와 일부 경로가 공유된 제3 이송부(530)로 유입되지 않고 배출부(400)로 이송되도록 할 수 있다.
원격 제어부(620)는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 제1 이송부(510) 및 제2 이송부(520)를 따라 배출부(400)로 이송되는 속도가 조절되도록 제2 배기 조절부(820)가 개방 또는 폐쇄되도록 할 수 있다.
본 고안의 일 실시예의 감지부(610)는 제3 상태를 추가적으로 감지할 수 있고, 제3 상태에 따라 흡착부(300), 배출부(400), 이송부(500), 밸브부(700) 및 배기 조절부(800)의 동작 상태를 감지하여 제3 상태에 대한 감지 정보를 생성할 수 있다.
여기서, 제3 상태는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 동안 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되는 상태를 의미할 수 있다.
따라서, 본 고안의 일 실시예의 감지부(610)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되는 제1 상태와 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 제2 상태뿐만 아니라, 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 동안 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되는 제3 상태를 감지할 수 있다.
감지부(610)가 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 유출되는 동안 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되는 제3 상태를 감지하여 제3 상태에 대한 감지 정보를 생성하고, 제3 상태에 대한 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 제3 상태에 대한 감지 정보를 수신하여 제1 밸브부(710)가 폐쇄되되, 제2 밸브부(720)가 개방되도록 하고, 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 제1 이송부(510)로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 원격 제어부(620)는 흡착부(300)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스가 제2 이송부(520)를 통해서만 배출부(400)로 이송되도록 할 수 있다.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착부로 이송되는 유해가스의 농도에 따라 유해가스를 배출부로 이송되도록 하는 이송부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 이송부(500)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 제1 이송부(510)를 따라 유입될 때, 유해가스의 농도가 기설정된 범위 미만인 경우에 흡착부(300)를 거치지 않고 배출부(400)로 이송되도록 하기 위한 제4 이송부(540)가 마련될 수 있다.
여기서, 제4 이송부(540)는 제1 이송부(510)로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도에 따라 개방 또는 폐쇄될 수 있다.
밸브부(700)는 제1 이송부(510)로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도에 따라 제4 이송부(540)를 개방 또는 폐쇄하기 위한 제3 밸브부(730)가 마련될 수 있다.
예를 들어, 감지부(610)가 제1 이송부(510)로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도가 기설정된 범위 미만으로 측정된 것을 감지하여 감지 정보를 생성하고, 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
감지부(610)가 농도가 기설정된 범위 미만인 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신하면, 원격 제어부(620)는 수신된 감지 정보를 기반으로 제3 밸브부(730)가 개방되도록 하여 제2 이송부(520)와 제3 이송부(530)를 따라 이송된 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)를 거치지 않고 제4 이송부(540)로 유입되도록 할 수 있다.
이때, 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스는 제4 이송부(520)로 이송되면, 제1 이송부(510) 또는 제2 이송부(520)를 따라 배출부(400)로 이송될 수 있다.
예를 들어, 감지부(610)가 제1 이송부(510)로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도가 기설정된 범위 이상으로 측정된 것을 감지하여 감지 정보를 생성하고, 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
생성부(610)가 농도가 기설정된 범위 이상인 감지 정보를 송신하면, 원격 제어부(620)는 수신된 감지 정보를 기반으로 제3 밸브부(730)가 폐쇄되도록 하여 제2 이송부(520)와 제3 이송부(530)를 따라 이송된 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 유입되도록 할 수 있다.
이때, 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도가 측정되는 구간은 제1 이송부(510), 제2 이송부(520), 제3 이송부(530) 중에 어느 하나의 구간에서 측정될 수 있다.
단, 감지부(610)가 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도를 제3 이송부(530)에서 측정되는 경우에는 제4 이송부(540)와 경로가 공유되기 전의 제3 이송부(530)의 일부의 경로에서 측정될 수 있다.
도 5는 본 고안의 일 실시예의 흡착제의 이동을 기반으로 유해가스를 흡착하는 방법을 나타낸 개념도이다.
도 5를 참조하면, 흡착부(300)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 종류에 따라 흡착제의 종류가 변경되도록 하기 위해 흡착 수행부(310), 흡착제 이동부(320), 흡착제 보관부(330) 및 유해가스 종류 판단부(340)를 포함한다.
흡착 수행부(310)는 흡착 절차를 통해 제3 이송부(530)를 따라 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스로부터 유해물질을 제거하기 위해 마련된다.
이때, 흡착 수행부(310)는 흡착제 보관부(330)에 보관되는 복수의 흡착제 중 어느 하나의 흡착제가 설치될 수 있다.
흡착제 이동부(320)는 흡착제 보관부(330)에 보관되는 복수의 흡착제 중에 제3 이송부(530)를 따라 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 유해물질을 제거할 수 있는 흡착제가 흡착 수행부(310)에 설치되도록 하기 위해 마련된다.
이때, 흡착제 이동부(320)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 종류에 따라 흡착 수행부(310)에 설치되어 유해물질을 제거하는 흡착제와 흡착제 보관부(330)에 보관되는 복수의 흡착제 중 어느 하나의 흡착제의 위치를 변경할 수 있다.
흡착제 보관부(330)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 종류에 따라 흡착 수행부(310)에 설치되는 흡착제가 변경되도록 하기 위해 마련된다.
유해가스 종류 판단부(340)는 제3 이송부(530)를 따라 흡착부(300)로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 종류를 판단하기 위해 마련된다.
이때, 유해가스 종류 판단부(340)가 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 종류를 판단하면, 감지부(610)는 유해가스 종류 판단부(340)로부터 유해가스의 종류가 판단된 유해가스의 정보를 감지하여 감지 정보를 생성할 수 있다.
감지부(610)가 유해가스 종류 판단부(340)로부터 유해가스의 종류가 판단된 유해가스의 정보를 감지하여 감지 정보를 생성하면, 원격 제어부(620)는 감지 정보를 기반으로 흡착제 이동부(320)의 동작을 제어할 수 있다.
본 고안의 일 실시예에서는 흡착 수행부(310)에 Cl2, BCl3, HBr, HCl의 흡착이 가능한 제1 흡착제가 설치되고, 흡착제 보관부(330)에 SiH4, SiCl2H2, B2H6 의 흡착이 가능한 제2 흡착제 및 NH4의 흡착이 가능한 제3 흡착제가 보관된다고 가정할 수 있다.
이때 만약, 감지부(610)가 유해가스 종류 판단부(340)로부터 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 종류가 Cl2라고 판단된 것을 감지하여 감지 정보를 생성하고, 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 감지부(610)로부터 수신된 감지 정보를 기반으로 흡착제 이동부(320)가 동작되지 않도록 제어하고, 흡착 수행부(310)는 설치된 제1 흡착제를 통해 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스로부터 유해물질인 Cl2를 제거할 수 있다.
다른 예로 만약, 감지부(610)가 유해가스 종류 판단부(340)로부터 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 종류가 SiH4라고 판단된 것을 감지하여 감지 정보를 생성하고, 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 수신된 감지 정보를 기반으로 흡착제 이동부(320)가 흡착 수행부(310)에 설치된 제1 흡착제를 회수하여 흡착제 보관부(330)에 보관되도록 하고, 흡착 수행부(310)에 흡착제 보관부(330)에 보관되는 제2 흡착제를 설치할 수 있다.
또한, 원격 제어부(620)는 흡착제 이동부(320)가 흡착 수행부(310)에 설치된 제1 흡착제를 회수하는 과정 중에 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 유입되는 것을 방지하기 위해 제1 배기 조절부(810)가 폐쇄되도록 할 수 있다.
흡착제 이동부(320)가 흡착 수행부(310)로부터 제1 흡착제를 회수하여, 흡착제 보관부(330)에 보관되면, 흡착제 보관부(330)는 제1 흡착제를 외부로 배출할 수 있다.
첨언하면, 흡착부(300)가 복수로 마련되는 경우에는 각각의 흡착부(300a, 300b, 300c)에 흡착 수행부(310), 흡착제 이동부(320), 흡착제 보관부(330) 및 유해가스 종류 판단부(340)가 각각 마련될 수 있다.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 유해가스의 유해물질이 제거되기 전과 유해가스의 유해물질이 제거된 후의 농도를 측정하는 방법을 나타낸 개념도이다.
도 6을 참조하면, 흡착부(300)는 내부로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도와 흡착 수행부(310)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스의 농도를 각각 측정하기 위해 농도 측정부(350)를 포함한다.
농도 측정부(350)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도를 측정하기 위해 제1 농도 측정부(351)를 포함한다.
여기서, 제1 농도 측정부(351)는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착 수행부(310)로 이송되는 경로에 마련되는 제1 센서(S1)를 통해 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도를 측정할 수 있다.
그리고 농도 측정부(350)는 흡착 수행부(310)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 가스의 농도를 측정하기 위해 제2 농도 측정부(352)를 포함한다.
여기서, 제2 농도 측정부(352)는 흡착 수행부(310)로부터 배출부(400)로 이송되는 경로에 마련되는 제2 센서(S2)를 통해 유해물질이 제거된 가스의 농도를 측정할 수 있다.
제1 농도 측정부(351)로부터 유해가스의 농도가 측정되고, 제2 농도 측정부(352)로부터 유해물질이 제거된 가스의 농도에 대한 정보가 측정되면, 감지부(610)는 제1 농도 측정부(351)와 제2 농도 측정부(352)로부터 측정된 농도의 차이 값이 기설정된 범위보다 미만인지 여부를 감지할 수 있다.
감지부(610)가 제1 농도 측정부(351)와 제2 농도 측정부(352)로부터 측정된 농도의 차이 값이 기설정된 범위보다 미만인 것을 감지하여 감지 정보를 생성하고, 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 수신된 감지 정보를 기반으로 흡착제 이동부(320)가 흡착 수행부(310)에 설치된 제1 흡착제를 회수하여 흡착제 보관부(330)에 보관되도록 하고, 흡착제 이동부(320)를 통해 흡착제 보관부(330)에 보관되는 복수의 흡착제 중 어느 하나의 흡착제가 설치되도록 할 수 있다.
여기서, 제1 농도 측정부(351)와 제2 농도 측정부(352)로부터 측정된 농도의 차이 값이 기설정된 범위보다 이상인 경우에는 감지부(610)는 제1 농도 측정부(351)와 제2 농도 측정부(352)로부터 측정된 농도의 차이 값을 감지하지 않게 되고, 원격 제어부(620)는 흡착제 이동부(320)의 동작이 중지되도록 할 수 있다.
도 6에서는 미도시되었지만, 흡착부(300)로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도가 기설정된 범위 미만이 될 때까지, 흡착 수행부(310)를 통해 적어도 한번 이상의 흡착 절차가 진행되도록 하기 위해 별도의 순환 경로가 마련될 수 있다.
이때, 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 유입되면, 유입된 유해가스의 농도가 기설정된 범위 미만이 되어 유출될 때까지, 원격 제어부(620)는 추가적인 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스가 흡착부(300)로 유입되는 것을 방지하도록 제1 배기 조절부(810)가 폐쇄되도록 할 수 있다.
도 7은 본 고안의 일 실시예에 따른 흡착부의 흡착제의 교체 시기를 판단하는 방법을 나타낸 개념도이다.
도 7을 참조하면, 흡착부(300)는 내부로 유입되는 1차 스크러버(100) 또는 저장부(200)의 유해가스의 농도와 흡착 수행부(310)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 후의 가스의 농도의 차이 값을 기반으로 흡착제의 교체 시기를 판단하기 위해 교체 판단부(360)를 포함한다.
흡착제 교체 판단부(360)는 제1 농도 측정부(351)와 제2 농도 측정부(352)로부터 측정된 농도의 차이 값이 기설정된 범위 미만인 경우, 감지부(610)에 흡착제를 교체하라는 신호를 송신할 수 있다.
감지부(610)는 흡착제 교체 판단부(360)로부터 흡착 수행부(310)에 설치된 흡착제를 교체하라는 신호를 수신하여 감지 정보를 생성하고, 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 수신된 감지 정보를 기반으로 흡착 수행부(310)에 설치된 흡착제가 흡착제 이동부(320)를 통해 회수되어 흡착제 보관부(330)에 보관되도록 하고, 흡착제 이동부(320)를 통해 흡착제 보관부(330)에 보관되는 복수의 흡착제 중 어느 하나의 흡착제가 흡착 수행부(310)에 설치되도록 할 수 있다.
만약, 감지부(610)는 흡착제 교체 판단부(360)로부터 흡착제 교체 신호가 수신되지 않으면, 원격 제어부(620)는 흡착제 이동부(320)의 동작이 중지되도록 할 수 있다.
이에 의해, 복수의 경로 중 일부 경로를 통해 유해가스가 유입되되, 흡착된 유해가스를 배출됨으로써, 적은 수의 경로를 통해 유해물질이 제거된 유해가스가 외부로 배출될 수 있다.
그리고 유해가스의 종류를 판단하여 흡착제의 종류를 변경함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다.
또한, 흡착제를 통해 흡착된 유해가스의 농도를 기반으로 흡착제의 교체 시기를 판단함으로써, 유해가스에 혼합된 유해물질의 제거효율이 향상될 수 있다.
본 고안의 다른 실시예에서는 흡착 수행부(310)의 흡착 절차를 통해 유해물질이 제거된 유해가스는 배출부(400)로 이송되되, 배출부(400)에 유입되기 전에 PECVD(10)의 공정에서 재사용될 수 있다.
이때, 이송부(500)는 제1 이송부(510)와 제2 이송부(520)가 제2 배기 조절부(820)를 통해 배송부(400)로 이송되는 경로와 일부 경로가 공유되는 제5 이송부(미도시)가 마련될 수 있다.
또한, 밸브부(700)는 유해물질이 제거된 가스가 배출부(400)로 이송되도록 하거나 제5 이송부(미도시)를 통해 PECVD(10)의 공정으로 이송되도록 하기 위해 제5 이송부(미도시)가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제4 밸브부(미도시)가 마련될 수 있다.
감지부(610)가 사용자로부터 유해물질이 제거된 가스를 PECVD(10)의 공정으로 이송되도록 하는 신호를 감지하여 감지 정보를 생성하고, 생성된 감지 정보를 원격 제어부(620)로 송신할 수 있다.
이때, 원격 제어부(620)는 수신된 감지 정보를 기반으로 제4 밸브부(미도시)가 개방되도록 하여 제1 이송부(510)와 제2 이송부(520)를 따라 제2 배기 조절부(820)를 통과한 유해물질이 제거된 가스가 제5 이송부(미도시)를 통해 PECVD(10)의 공정으로 이송되도록 할 수 있다.
이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 고안은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 고안의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
10: PECVD 100: 1차 스크러버
200: 저장부 300: 흡착부
310: 흡착 수행부 320: 흡착제 이동부
330: 흡착제 보관부 340: 유해가스 종류 판단부
350: 농도 측정부 360: 흡착제 교체 판단부
400: 배출부 500: 이송부
510: 제1 이송부 520: 제2 이송부
530: 제3 이송부 540: 제4 이송부
600: 모니터링부 610: 감지부
620: 원격 제어부 700: 밸브부
710: 제1 밸브부 720: 제2 밸브부
730: 제3 밸브부 800: 배기 조절부
810: 제1 배기 조절부 820: 제2 배기 조절부

Claims (11)

  1. 공정에서 발생되는 유해물질이 혼합된 유해가스가 순환되어 흡착되도록 마련되는 흡착부;
    상기 유해가스로부터 상기 유해물질이 제거된 가스가 외부로 배출되도록 마련되는 배출부;
    상기 유해가스 및 상기 가스가 이송되도록 복수의 경로로 마련되는 이송부;
    상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되는 제1 상태 및 상기 가스가 상기 흡착부로부터 유출되는 제2 상태에 따라 상기 복수의 경로가 각각 다르게 개방 또는 폐쇄되도록 마련되는 밸브부;및
    상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부를 원격으로 제어하는 모니터링부;를 포함하고,
    상기 모니터링부는,
    상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부의 동작 상태를 감지하여 감지 정보를 생성하는 감지부; 및
    상기 감지부로부터 수신된 감지 정보에 따라 상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부의 동작을 원격으로 제어하는 원격 제어부;를 포함하고,
    상기 이송부는,
    상기 유해가스가 유입되거나 상기 가스가 상기 배출부로 이송되도록 하는 제1 이송부;
    상기 제1 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 제1 이송부로부터 이송된 상기 유해가스가 상기 흡착부로 이송되도록 하거나, 상기 가스가 상기 배출부로 이송되도록 하는 제2 이송부; 및
    상기 제2 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 제2 이송부로부터 이송된 상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되도록 하는 제3 이송부;를 포함하고,
    상기 밸브부는,
    상기 가스가 상기 배출부로 이송되는 동안 상기 유해가스가 상기 제1 이송부로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제1 밸브부; 및
    상기 가스가 상기 흡착부로부터 유출되어 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 따라 상기 배출부로 이송되기 위해 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제2 밸브부;를 포함하고,
    상기 원격 제어부는,
    상기 감지부가 상기 제1 상태라고 감지하여 감지 정보를 생성하면, 상기 제1 밸브부는 개방되되, 상기 제2 밸브부는 폐쇄되어 상기 제1 이송부로 유입된 유해가스가 상기 제2 이송부 및 상기 제3 이송부를 통해 상기 흡착부로 이송되도록 하고,
    상기 감지부가 상기 제2 상태라고 감지하여 감지 정보를 생성하면, 상기 제1 밸브부 및 상기 제2 밸브부가 개방되어 상기 흡착된 유해가스가 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 통해 상기 배출부로 이송되고,
    상기 감지부는,
    상기 유해가스가 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 통해 상기 배출부로 이송되는 동안 상기 유해가스가 상기 제1 이송부로 유입되는 제3 상태를 감지하여 감지 정보를 생성하고,
    상기 원격 제어부는,
    상기 감지부로부터 상기 제3 상태에 대한 감지 정보가 수신되면, 상기 제1 밸브부가 폐쇄되되, 상기 제2 밸브부는 개방되어 상기 가스가 상기 제2 이송부를 통해서만 상기 배출부로 이송되도록 하는 것을 특징으로 하는 유해가스 자동 처리 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 공정에서 발생되는 유해물질이 혼합된 유해가스가 순환되어 흡착되도록 마련되는 흡착부;
    상기 유해가스로부터 상기 유해물질이 제거된 가스가 외부로 배출되도록 마련되는 배출부;
    상기 유해가스 및 상기 가스가 이송되도록 복수의 경로로 마련되는 이송부;
    상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되는 제1 상태 및 상기 가스가 상기 흡착부로부터 유출되는 제2 상태에 따라 상기 복수의 경로가 각각 다르게 개방 또는 폐쇄되도록 마련되는 밸브부;및
    상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부를 원격으로 제어하는 모니터링부;를 포함하고,
    상기 모니터링부는,
    상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부의 동작 상태를 감지하여 감지 정보를 생성하는 감지부; 및
    상기 감지부로부터 수신된 감지 정보에 따라 상기 흡착부, 상기 배출부, 상기 이송부 및 상기 밸브부의 동작을 원격으로 제어하는 원격 제어부;를 포함하고,
    상기 이송부는,
    상기 유해가스가 유입되거나 상기 가스가 상기 배출부로 이송되도록 하는 제1 이송부;
    상기 제1 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 제1 이송부로부터 이송된 상기 유해가스가 상기 흡착부로 이송되도록 하거나, 상기 가스가 상기 배출부로 이송되도록 하는 제2 이송부; 및
    상기 제2 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 제2 이송부로부터 이송된 상기 유해가스가 상기 흡착부로 유입되도록 하는 제3 이송부;를 포함하고,
    상기 밸브부는,
    상기 가스가 상기 배출부로 이송되는 동안 상기 유해가스가 상기 제1 이송부로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제1 밸브부; 및
    상기 가스가 상기 흡착부로부터 유출되어 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 따라 상기 배출부로 이송되기 위해 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제2 밸브부;를 포함하고,
    상기 원격 제어부는,
    상기 감지부가 상기 제1 상태라고 감지하여 감지 정보를 생성하면, 상기 제1 밸브부는 개방되되, 상기 제2 밸브부는 폐쇄되어 상기 제1 이송부로 유입된 유해가스가 상기 제2 이송부 및 상기 제3 이송부를 통해 상기 흡착부로 이송되도록 하고,
    상기 감지부가 상기 제2 상태라고 감지하여 감지 정보를 생성하면, 상기 제1 밸브부 및 상기 제2 밸브부가 개방되어 상기 흡착된 유해가스가 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부를 통해 상기 배출부로 이송되고,
    상기 이송부는,
    상기 제2 이송부 및 상기 제3 이송부와 일부 경로를 공유하고, 상기 유해가스가 상기 제3 이송부로 이송되되, 상기 제3 이송부로 이송된 유해가스가 상기 흡착부로 유입되지 않고, 상기 제2 이송부로 이송되도록 하는 제4 이송부;를 더 포함하고,
    상기 밸브부는,
    상기 제3 이송부로 이송된 유해가스가 상기 흡착부로 유입되거나, 상기 유해가스가 상기 제4 이송부로 이송되기 위해, 상기 제4 이송부가 개방 또는 폐쇄되도록 하는 제3 밸브부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 자동 처리 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 제1 이송부로 유입되는 유해가스의 농도를 감지하되, 상기 유해가스의 농도가 기설정된 범위보다 미만인 경우에 감지 정보를 생성하고,
    상기 원격 제어부는,
    상기 감지부로부터 상기 감지 정보가 수신되면, 상기 제3 밸브부가 개방되어 상기 유해가스가 상기 제4 이송부를 따라 상기 제2 이송부로 이송되도록 하는 것을 특징으로 하는 유해가스 자동 처리 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 흡착부는,
    상기 유해가스의 유해물질이 흡착되는 흡착제가 복수로 마련되고, 상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 전의 농도와 상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 후의 농도의 차이를 기반으로 상기 유해가스가 흡착되는 흡착제의 교체 시기를 판단하는 흡착제 교체 판단부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 자동 처리 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 전의 농도의 값과 상기 유입된 유해가스의 흡착 절차 후의 농도의 차이 값이 측정되되, 상기 농도의 차이 값이 기설정된 범위보다 미만인 경우에 감지 정보를 생성하고,
    상기 원격 제어부는,
    상기 감지부로부터 상기 감지 정보가 수신되면, 상기 유해가스의 흡착 절차를 수행하는 흡착제가 교체되도록 하는 것을 특징으로 하는 유해가스 자동 처리 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 흡착부는,
    상기 유해가스의 유해물질이 흡착되도록 하는 흡착제가 복수로 마련되고, 상기 유해가스가 상기 흡착부에 유입되기 전에 상기 유해가스의 정보를 기반으로 상기 유해가스의 종류를 판단하는 유해가스 종류 판단부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 자동 처리 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 유해가스 종류 판단부로부터 상기 유해가스의 종류가 판단되면, 상기 종류가 판단된 유해가스를 감지하여 감지 정보를 생성하고,
    상기 원격 제어부는,
    상기 감지부로부터 상기 감지 정보가 수신되면, 상기 복수의 흡착제 중에 상기 종류가 판단된 유해가스의 흡착 절차를 수행하는 흡착제로 교체되도록 하는 것을 특징으로 하는 유해가스 자동 처리 시스템.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10263357A (ja) * 1997-03-21 1998-10-06 Korea Mat Co Ltd ガス スクラバ−及びそれを利用したガス処理方法
JP2005109066A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Nec Kansai Ltd 有害ガス排気装置
KR100935527B1 (ko) 2008-03-03 2010-01-06 현대중공업 주식회사 가스운반선의 가스위험지역내 누출가스 감지방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10263357A (ja) * 1997-03-21 1998-10-06 Korea Mat Co Ltd ガス スクラバ−及びそれを利用したガス処理方法
JP2005109066A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Nec Kansai Ltd 有害ガス排気装置
KR100935527B1 (ko) 2008-03-03 2010-01-06 현대중공업 주식회사 가스운반선의 가스위험지역내 누출가스 감지방법

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