KR200460938Y1

KR200460938Y1 - vacuum generating device.

Info

Publication number: KR200460938Y1
Application number: KR2020100008696U
Authority: KR
Inventors: 백현진
Original assignee: 신영제어기 주식회사
Priority date: 2010-08-20
Filing date: 2010-08-20
Publication date: 2012-06-15
Also published as: KR20120001437U

Abstract

본 고안은, 진공 상태를 이용하는 진공기기에 진공 상태를 발생시키거나 진공 상태를 해제시키는 장치로서, 부압원과 연결되어 부압을 공급받는 부압공급포트; 정압원과 연결되어 정압을 공급받는 정압공급포트; 상기 진공기기에 연결되어 진공 상태를 발생시키거나 해제시킬 수 있는 진공포트; 상기 부압공급포트와 상기 진공포트를 연결하는 부압유로; 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장할 수 있는 공간부; 상기 정압공급포트와 상기 공간부를 연결시키는 정압저장유로; 상기 공간부 내의 유체를 상기 진공포트로 공급하기 위하여 상기 공간부와 상기 진공포트를 연결하는 정압유로; 상기 부압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공발생밸브; 상기 공간부는, 제1공간부와, 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 공간부연결유로에 의하여 상기 제1공간부와 연결되어 있는 제2공간부를 포함하며, 상기 정압저장유로를 개방하는 동시에 상기 정압유로를 폐쇄하는 제1위치와, 상기 정압저장유로를 폐쇄하는 동시에 상기 정압유로를 개방하는 제2위치 사이에서 위치 이동하는 밸브체를 구비하는 진공해제밸브;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 고안에 따르면, 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장하는 제1공간부와 제2공간부를 구비함으로써, 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있는 효과가 있다.The present invention provides a device for generating or releasing a vacuum state in a vacuum apparatus using a vacuum state, comprising: a negative pressure supply port connected to a negative pressure source and receiving a negative pressure; A constant pressure supply port connected to a constant pressure source to receive a constant pressure; A vacuum port connected to the vacuum device to generate or release a vacuum state; A negative pressure flow path connecting the negative pressure supply port and the vacuum port; A space unit capable of storing the fluid introduced into the constant pressure supply port; A constant pressure storage passage connecting the constant pressure supply port and the space part; A constant pressure passage connecting the space part and the vacuum port to supply the fluid in the space part to the vacuum port; A vacuum generating valve which allows or blocks the flow of fluid to the negative pressure flow path; The space portion includes a first space portion and a second space portion connected to the first space portion by a space portion connection passage having a smaller cross-sectional area than the static pressure passage, and simultaneously opening the constant pressure storage passage. And a vacuum release valve having a valve body which is moved between a first position of closing the constant pressure passage and a second position of closing the constant pressure storage passage and opening the constant pressure passage.
According to the present invention, by having a first space portion and a second space portion for storing the fluid introduced into the constant pressure supply port, the fluid stored in the second space portion is used at the beginning of the vacuum release operation and the late stage of the vacuum release operation There is an effect that the fluid stored in the first space portion is used to release a smooth and rapid vacuum state so that the adsorbed conveyed object does not bounce.

Description

Vacuum generating device. {Vacuum generating device.}

본 고안은 진공발생장치에 관한 것으로서, 특히 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있는 진공발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum generator, and in particular, the fluid stored in the second space portion is used at the beginning of the vacuum release operation, and the fluid stored in the first space portion is used at the end of the vacuum release operation. The present invention relates to a vacuum generator capable of smoothly and quickly releasing a vacuum so that there is no bounce.

일반적으로, 진공발생장치는 반도체칩 본딩(Bonding), 반도체칩 마운팅(Mounting), 극소형부품의 흡착반송, 인쇄기로의 종이 공급 등의 작업에 사용되는 장치로서, 진공 패드와 같은 진공기기에 부압(negative pressure)을 공급하여 진공 상태를 발생시키거나 정압(positive pressure)을 공급하여 진공 상태를 해제하는 장치이다.In general, a vacuum generator is a device used for operations such as bonding of semiconductor chips, mounting of semiconductor chips, adsorption conveyance of very small parts, feeding paper to a printer, and the like. It is a device that generates a vacuum state by supplying (negative pressure) or releases the vacuum state by supplying a positive pressure.

이러한 진공발생장치에 연결된 진공 패드를 사용하면, 반도체 부품과 같은 이송물을 흡착하여 이송하고, 이송을 마친 후에는 진공 상태를 해제하여 흡착된 이송물을 이탈시킬 수 있다.When the vacuum pad connected to the vacuum generator is used, the conveyed material such as the semiconductor component may be absorbed and conveyed, and after the conveyance is completed, the vacuum state may be released to release the absorbed conveyed material.

그러나, 종래에는, 진공 상태를 해제하여 흡착된 이송물을 이탈시키는 과정에서 정압의 공급이 급작스럽게 이루어짐으로써 상기 이송물이 튕겨져나가는 문제점이 있었다.However, in the related art, the supply of positive pressure is suddenly made in the process of releasing the vacuum and releasing the adsorbed product, thereby causing the conveyed object to bounce off.

이러한 이송물 튕김 현상을 방지하기 위해서는 정압의 공급량을 감소시키는 방법을 생각해 볼 수 있으나, 정압의 공급량 감소는 진공 상태의 해제를 더디게 하는 또 다른 문제점이 있으므로 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 없다는 문제점이 발생한다.In order to prevent the conveyance of the object, it is possible to consider a method of reducing the supply amount of the positive pressure. However, the decrease in the supply amount of the constant pressure has another problem of slowing the release of the vacuum state. Occurs.

본 고안은 상기 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있도록 구조가 개선된 진공발생장치를 제공하기 위함이다.The present invention has been made to solve the above problems, the purpose of which is the fluid stored in the second space portion at the beginning of the vacuum release operation and the fluid stored in the first space portion is used at the end of the vacuum release operation In order to provide a vacuum generator having an improved structure so that a smooth and rapid release of the vacuum state can be performed so that the adsorbed conveyance does not bounce.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 진공발생장치는, 진공 상태를 이용하는 진공기기에 진공 상태를 발생시키거나 진공 상태를 해제시키는 장치로서, 부압원과 연결되어 부압을 공급받는 부압공급포트; 정압원과 연결되어 정압을 공급받는 정압공급포트; 상기 진공기기에 연결되어 진공 상태를 발생시키거나 해제시킬 수 있는 진공포트; 상기 부압공급포트와 상기 진공포트를 연결하는 부압유로; 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장할 수 있는 공간부; 상기 정압공급포트와 상기 공간부를 연결시키는 정압저장유로; 상기 공간부 내의 유체를 상기 진공포트로 공급하기 위하여 상기 공간부와 상기 진공포트를 연결하는 정압유로; 상기 부압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공발생밸브; 상기 공간부는, 제1공간부와, 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 공간부연결유로에 의하여 상기 제1공간부와 연결되어 있는 제2공간부를 포함하며, 상기 정압저장유로를 개방하는 동시에 상기 정압유로를 폐쇄하는 제1위치와, 상기 정압저장유로를 폐쇄하는 동시에 상기 정압유로를 개방하는 제2위치 사이에서 위치 이동하는 밸브체를 구비하는 진공해제밸브;를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a vacuum generating apparatus according to the present invention includes a device for generating a vacuum state or releasing a vacuum state in a vacuum apparatus using a vacuum state, the negative pressure supply port being connected to a negative pressure source and receiving a negative pressure; A constant pressure supply port connected to a constant pressure source to receive a constant pressure; A vacuum port connected to the vacuum device to generate or release a vacuum state; A negative pressure flow path connecting the negative pressure supply port and the vacuum port; A space unit capable of storing the fluid introduced into the constant pressure supply port; A constant pressure storage passage connecting the constant pressure supply port and the space part; A constant pressure passage connecting the space part and the vacuum port to supply the fluid in the space part to the vacuum port; A vacuum generating valve which allows or blocks the flow of fluid to the negative pressure flow path; The space portion includes a first space portion and a second space portion connected to the first space portion by a space portion connection passage having a smaller cross-sectional area than the static pressure passage, and simultaneously opening the constant pressure storage passage. And a vacuum release valve having a valve body which is moved between a first position of closing the constant pressure passage and a second position of closing the constant pressure storage passage and opening the constant pressure passage.

여기서, 상기 공간부의 부피를 가변적으로 조절할 수 있는 부피조절장치를 구비하는 것이 바람직하다.Here, it is preferable to have a volume control device that can variably adjust the volume of the space.

여기서, 상기 부피조절장치는, 내부 공간을 가지는 실린더부; 상기 실린더부 내부에서 길이 방향으로 왕복 이동 가능한 피스톤부; 일단부가 상기 피스톤부에 연결되어 있는 막대형의 로드부; 상기 로드부의 타단부에 나사결합되어 상기 피스톤부의 이동량을 조절하는 조절나사;를 구비하는 것이 바람직하다.Here, the volume control device, the cylinder portion having an internal space; A piston part capable of reciprocating in the longitudinal direction inside the cylinder part; A rod-shaped rod portion whose one end is connected to the piston portion; It is preferable to include a; adjusting screw for screwing the other end of the rod portion to adjust the movement amount of the piston.

본 고안에 따르면, 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장하는 제1공간부와 제2공간부를 구비함으로써, 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by having a first space portion and a second space portion for storing the fluid introduced into the constant pressure supply port, the fluid stored in the second space portion is used at the beginning of the vacuum release operation and the late stage of the vacuum release operation There is an effect that the fluid stored in the first space portion is used to release a smooth and rapid vacuum state so that the adsorbed conveyed object does not bounce.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예인 진공발생장치의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 진공발생밸브가 ON되고 진공해제밸브가 ON된 경우에 유체의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 진공발생밸브가 OFF되고 진공해제밸브가 OFF된 경우에 유체의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 실시예인 진공발생장치의 회로도이다.1 is a cross-sectional view of a vacuum generating device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing the flow of fluid when the vacuum generating valve shown in FIG. 1 is turned on and the vacuum release valve is turned on.
3 is a view showing the flow of fluid when the vacuum generating valve shown in FIG. 1 is turned off and the vacuum release valve is turned off.
4 is a circuit diagram of a vacuum generator according to an embodiment of the present invention.

이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예인 진공발생장치의 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 진공발생밸브가 ON되고 진공해제밸브가 ON된 경우에 유체의 흐름을 나타내는 도면이다.1 is a cross-sectional view of a vacuum generating device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing the flow of fluid when the vacuum generating valve shown in Figure 1 is turned on and the vacuum release valve is turned on.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 진공발생장치(100)는, 진공 패드와 같은 진공 상태를 이용하는 진공기기(미도시)에 진공 상태를 발생시키거나 진공 상태를 해제시키는 장치로서, 몸체부(10)와, 진공포트(13)와, 제1공간부(14)와, 제2공간부(15)와, 진공발생밸브(40)와, 진공해제밸브(50)를 포함하여 구성된다. 1 to 2, the vacuum generating apparatus 100 according to the preferred embodiment of the present invention generates or releases a vacuum state in a vacuum device (not shown) using a vacuum state such as a vacuum pad. As a device to make the body, the body portion 10, the vacuum port 13, the first space portion 14, the second space portion 15, the vacuum generating valve 40, the vacuum release valve 50 It is configured to include.

상기 몸체부(10)는, 유체가 흐를는 다수의 유로 및 포트가 형성되어 있는 하우징으로서, 제1몸체부(10a)와 제2몸체부(10b)를 구비한다. 본 실시예에서 사용되는 유체는 공기이다.The body portion 10 is a housing in which a plurality of flow paths and ports through which fluid flows is formed, and includes a first body portion 10a and a second body portion 10b. The fluid used in this embodiment is air.

상기 제1몸체부(10a)에는, 외부의 부압원과 연결되어 부압을 공급받는 부압공급포트(11)와, 외부의 정압원과 연결되어 정압을 공급받는 정압공급포트(12)와, 상기 진공기기에 연결되어 진공 상태를 발생시키거나 해제시킬 수 있는 진공포트(13)가 형성되어 있다. 여기서 상기 부압원은 진공펌프이며 상기 정압원은 가압펌프이다.The first body portion 10a includes a negative pressure supply port 11 connected to an external negative pressure source to receive a negative pressure, a positive pressure supply port 12 connected to an external positive pressure source to receive a positive pressure, and the vacuum A vacuum port 13 is formed which is connected to the device to generate or release a vacuum state. Wherein the negative pressure source is a vacuum pump and the positive pressure source is a pressurized pump.

상기 제1몸체부(10a)에는, 진공 상태를 측정할 수 있는 진공센서(미도시)가 장착될 수 있는 진공센서포트(17)가 형성되어 있다.The first body part 10a has a vacuum sensor port 17 on which a vacuum sensor (not shown) capable of measuring a vacuum state is mounted.

상기 제1몸체부(10a)에는, 내부에서 유체가 이동할 수 있는 제21유로(21)ㆍ제22유로(22)ㆍ제23유로(23)ㆍ제24유로(24)ㆍ제25유로(25)ㆍ공간부연결유로(28)가 형성되어 있다.The first body portion 10a includes a twenty-first flow passage 21, a 22nd flow passage 22, a 23rd flow passage 23, a 24th flow passage 24, and a 25th flow passage 25 through which fluid can move. ), A space connecting passage 28 is formed.

상기 제1몸체부(10a)에는, 상기 정압공급포트(12)와 연결되며 상기 정압공급포트(12)로부터 공급된 유체를 상기 진공포트(13)로 공급하기 위하여 저장할 수 있는 공간부가 형성되어 있는데, 상기 공간부는 고정된 부피를 가지는 제1공간부(14)와 상기 제1공간부(14)와 후술하는 공간부연결유로(28)에 의하여 연결되어 있는 제2공간부(15)를 포함한다.The first body portion 10a has a space portion connected to the positive pressure supply port 12 and capable of storing the fluid supplied from the positive pressure supply port 12 to supply the vacuum port 13. The space portion includes a first space portion 14 having a fixed volume and a second space portion 15 connected to the first space portion 14 by a space portion connecting passage 28 to be described later. .

상기 제2공간부(15)는, 원통형 실린더부(19)의 내부에 마련되어 있는데, 후술하는 부피조절장치에 의하여 부피가 가변적으로 조절될 수 있다.The second space 15 is provided in the cylindrical cylinder 19, the volume can be variably adjusted by the volume control device to be described later.

상기 부피조절장치는, 상기 실린더부(19)의 내부 공간을 양분하여 격리시키도록 배치되며 상기 실린더부(19) 내에서 길이 방향으로 왕복 이동 가능한 피스톤부(32)와, 일단부가 상기 피스톤부(32)에 연결되어 있으며 외주면에는 수나사부(35)가 형성되어 있는 막대형의 로드부(33)와, 상기 로드부(33)의 수나사부(35)에 나사결합되는 암나사부(36)를 구비하며 상기 실린더부(19)에 회전가능하게 결합되어 있는 조절나사(34)를 구비한다.The volume adjusting device is arranged to divide and separate the internal space of the cylinder portion 19 and is capable of reciprocating in the longitudinal direction within the cylinder portion 19 and one end of the piston portion ( 32, a rod-shaped rod portion 33 having a male screw portion 35 formed therein, and a female screw portion 36 screwed to the male screw portion 35 of the rod portion 33 on the outer circumferential surface thereof. And an adjustment screw 34 rotatably coupled to the cylinder portion 19.

따라서, 상기 조절나사(34)를 회전시키면, 상기 로드부(33)에 연결된 상기 피스톤부(32)가 상하로 위치 이동하게 됨으로써, 상기 제2공간부(15)의 부피가 가변적으로 조절된다. 즉, 상기 피스톤부(32)가 상승하면 상기 제2공간부(15)의 부피가 증가하고, 상기 피스톤부(32)가 하강하면 상기 제2공간부(15)의 부피가 감소하게 된다. Therefore, when the adjusting screw 34 is rotated, the piston 32 connected to the rod 33 is moved up and down, whereby the volume of the second space 15 is variably adjusted. That is, when the piston 32 is raised, the volume of the second space 15 is increased, and when the piston 32 is lowered, the volume of the second space 15 is decreased.

상기 공간부연결유로(28)는, 상기 공간부연결유로(28)를 흐르는 유체의 단위시간당 유량이 상기 제23유로(23)를 흐르는 유체의 단위시간당 유량에 비하여 작아질 수 있도록, 상기 제23유로(23)의 단면적보다 작은 단면적을 가진다.The space connection flow path 28 is the twenty-third flow rate so that the flow rate per unit time of the fluid flowing through the space connection connection flow path 28 may be smaller than the flow rate per unit time of the fluid flowing through the twenty-third flow path 23. It has a cross-sectional area smaller than that of the flow path 23.

상기 제2몸체부(10b)에는, 내부에서 유체가 이동할 수 있는 제23유로(23)ㆍ제26유로(26)ㆍ제27유로(27)가 형성되어 있다.The 23rd flow path 23, the 26th flow path 26, and the 27th flow path 27 through which the fluid can move are formed in the said 2nd body part 10b.

상기 제23유로(23)는, 상기 제2공간부(15)와 상기 진공해제밸브(50)를 연결하는 유로로서, 일부는 제1몸체부(10a)에 나머지는 제2몸체부(10b)에 형성되어 있다.The twenty-third flow path 23 is a flow path connecting the second space part 15 and the vacuum release valve 50, a part of which is the first body part 10a and the other part of the second body part 10b. It is formed in.

상기 제27유로(27)에는, 유체의 이물질을 걸러내는 필터(18)가 장착되어 있다.The 27th flow path 27 is equipped with a filter 18 for filtering foreign matter from the fluid.

상기 제26유로(26)는, 상기 제22유로(22)와 상기 제27유로(27)를 연결하는 유로이다.The 26th flow path 26 is a flow path connecting the 22nd flow path 22 and the 27th flow path 27.

상기 부압공급포트(11)와 상기 진공포트(13)는, 부압유로에 의하여 연결되어 있다. 이 부압유로는 상기 제21유로(21)와 제22유로(22)와 제26유로(26)와 제27유로(27) 및 상기 진공발생밸브(40) 내의 입력유로(41)와 출력유로(42)를 포함하여 이루어진다.The negative pressure supply port 11 and the vacuum port 13 are connected by a negative pressure flow path. The negative pressure flow paths include the input flow path 41 and the output flow path in the twenty-first flow path 21, the 22nd flow path 22, the 26th flow path 26, the 27th flow path 27, and the vacuum generating valve 40. 42).

상기 공간부(14, 15)와 상기 정압공급포트(12)는, 정압저장유로에 의하여 연결되어 있다. 이 정압저장유로는, 상기 제25유로(25)와 상기 제23유로(23)와 상기 진공해제밸브(50) 내의 제52유로(52) 및 제53유로(53)를 포함하여 이루어진다.The spaces 14 and 15 and the constant pressure supply port 12 are connected by a constant pressure storage flow path. The constant pressure storage flow path includes the twenty-fifth flow path 25, the twenty-third flow path 23, and the fifty-second flow path 52 and the fifty-seventh flow path 53 in the vacuum release valve 50.

상기 공간부(14, 15)와 상기 진공포트(13)는, 정압유로에 의하여 연결되어 있다. 이 정압유로는, 상기 공간부(14, 15) 내의 유체를 상기 진공포트(13)로 공급하기 위하여 마련된 유로로서, 상기 제23유로(23)와 제24유로(24)와 제27유로(27) 및 상기 진공해제밸브(50) 내의 제51유로(51)와 제52유로(52)를 포함하여 이루어진다.The spaces 14 and 15 and the vacuum port 13 are connected by a constant pressure flow path. The static pressure flow path is a flow path provided for supplying the fluid in the spaces 14 and 15 to the vacuum port 13, and includes the twenty-third flow path 23, the twenty-fourth flow path 24, and the twenty-seventh flow path 27 And the fifty-first flow path 51 and the fifty-second flow path 52 in the vacuum release valve 50.

상기 진공발생밸브(40)는, 상기 부압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 2포트형 솔레노이드 전자밸브로서, 입력유로(41)와, 출력유로(42)와, 밸브체(43)와, 가동체(44)를 구비한다.The vacuum generating valve 40 is a two-port solenoid solenoid valve that allows or blocks the flow of the negative pressure flow passage, and includes an input flow passage 41, an output flow passage 42, a valve body 43, and a movable portion. A sieve 44 is provided.

상기 입력유로(41)는, 상기 제22유로(22)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 진공포트(13)로부터 흘러오는 유체가 유입되는 유로이다.The input flow passage 41 is a flow passage connected to the twenty-second flow passage 22 and is a flow passage into which the fluid flowing from the vacuum port 13 flows.

상기 출력유로(42)는, 상기 제21유로(21)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 입력유로(41)로부터 흘러오는 유체가 유출되는 유로이다.The output passage 42 is a passage connected to the twenty-first passage 21, and is a passage through which the fluid flowing from the input passage 41 flows out.

상기 밸브체(43)는, 마개형 부재로서, 상기 입력유로(41)와 출력유로(42) 사이에 배치되어 상기 입력유로(41)와 출력유로(42)를 연결시키거나 단절시키는 기능을 한다.The valve body 43 is a plug type member and is disposed between the input passage 41 and the output passage 42 to connect or disconnect the input passage 41 and the output passage 42. .

상기 가동체(44)는, 전자석의 원리에 의하여 왕복 이동가능한 금속부재로서, 일단에 상기 밸브체(43)가 결합되어 있다.The movable body 44 is a metal member which can be reciprocated according to the principle of an electromagnet, and the valve body 43 is coupled to one end.

따라서, 상기 진공발생밸브(40)가 ON상태가 되면, 상기 가동체(44)가 좌측으로 이동하여 상기 밸브체(43)가 상기 입력유로(41)와 출력유로(42)를 연결시키게 된다. 반대로 상기 진공발생밸브(40)가 OFF상태가 되면, 상기 가동체(44)가 우측으로 이동하여 상기 밸브체(43)가 상기 입력유로(41)와 출력유로(42)를 단절시키게 된다.Therefore, when the vacuum generating valve 40 is in the ON state, the movable body 44 moves to the left side so that the valve body 43 connects the input channel 41 and the output channel 42. On the contrary, when the vacuum generating valve 40 is in the OFF state, the movable body 44 moves to the right, and the valve body 43 disconnects the input flow passage 41 and the output flow passage 42.

상기 진공해제밸브(50)는, 3포트형 솔레노이드 전자밸브로서, 제51유로(51)와, 제52유로(52)와, 제53유로(53)와, 밸브체(54)와, 가동체(55)를 구비한다.The vacuum release valve 50 is a three-port solenoid solenoid valve, and includes the 51st flow path 51, the 52nd flow path 52, the 53rd flow path 53, the valve body 54, and the movable body. 55 is provided.

상기 제51유로(51)는, 상기 제23유로(23)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 공간부로부터 유체가 흘러나오거나 상기 공간부를 향하여 유체가 흘러들어가는 유로이다.The 51st flow path 51 is a flow path connected with the 23rd flow path 23, and is a flow path through which fluid flows out of or into the space.

상기 제52유로(52)는, 상기 제24유로(24)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 제51유로(51)로부터 유입된 유체가 상기 진공포트(13)를 향하여 유출되는 유로이다.The 52nd flow path 52 is a flow path connected with the 24th flow path 24, and is a flow path through which the fluid introduced from the 51st flow path 51 flows toward the vacuum port 13.

상기 제53유로(53)는, 상기 제25유로(25)와 상기 제51유로(51)를 연결하는 유로로서, 상기 정압공급포트(12)로부터 유체가 유입되는 유로이다.The 53rd flow path 53 is a flow path connecting the 25th flow path 25 and the 51st flow path 51 and is a flow path through which the fluid flows from the constant pressure supply port 12.

상기 밸브체(54)는, 마개 부재로서, 상기 제51유로(51)와 제53유로(53) 사이를 연통시키는 동시에 상기 제51유로(51)와 제52유로(52) 사이를 단절시키는 제1위치와, 상기 제51유로(51)와 제53유로(53) 사이를 단절시키는 동시에 상기 제51유로(51)와 제52유로(52) 사이를 연통시키는 제2위치 사이에서, 위치 이동 가능하게 장착되어 있다.The valve body 54 is a plug member that communicates between the 51st flow path 51 and the 53rd flow path 53 and disconnects between the 51st flow path 51 and the 52nd flow path 52. The position can be moved between the first position and the second position which disconnects between the 51st flow path 51 and the 53rd flow path 53 and communicates between the 51st flow path 51 and the 52nd flow path 52. Is fitted.

상기 가동체(55)는, 전자석의 원리에 의하여 왕복 이동가능한 금속부재로서, 일단에 상기 밸브체(54)가 결합되어 있다.The movable body 55 is a metal member which can be reciprocated according to the principle of an electromagnet, and the valve body 54 is coupled to one end.

따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 진공해제밸브(50)가 ON상태가 되면, 상기 가동체(55)가 우측으로 이동하여 상기 밸브체(54) 상기 제1위치로 이동함으로써, 상기 정압저장유로가 개방되는 동시에 상기 정압유로가 폐쇄되며, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 진공해제밸브(50)가 OFF상태가 되면, 상기 가동체(55)가 좌측으로 이동하여 상기 밸브체(54) 상기 제2위치로 이동함으로써, 상기 정압저장유로가 폐쇄되는 동시에 상기 정압유로가 개방된다.Therefore, as shown in FIG. 2, when the vacuum release valve 50 is turned on, the movable body 55 moves to the right to move the valve body 54 to the first position, thereby providing the positive pressure. At the same time as the storage passage is opened, the positive pressure passage is closed. As shown in FIG. 3, when the vacuum release valve 50 is turned off, the movable body 55 moves to the left to form the valve body 54. By moving to the second position, the constant pressure storage flow path is closed and the constant pressure flow path is opened.

이하에서는, 상술한 구성의 진공발생장치(100)의 작동 원리에 대하여 설명하기로 한다. 여기서, 상기 진공포트(13)에는 이송물을 흡착할 수 있는 진공 패드(미도시)가 장착되어 있는 것으로 전제한다.Hereinafter, the operating principle of the vacuum generating device 100 of the above-described configuration will be described. Here, it is assumed that the vacuum port 13 is equipped with a vacuum pad (not shown) capable of absorbing the conveyed material.

상기 진공발생밸브(40) 및 진공해제밸브(50)가 모두 OFF인 상태에서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 진공발생밸브(40) 및 진공해제밸브(50)를 모두 ON상태로 변경하면, 상기 진공 패드에 저장되어 있던 유체가 화살표로 표시된 바와 같이 상기 부압유로를 따라 상기 부압공급포트(11)로 유입된다. 상기 유입 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 2의 화살표로 도시된 바와 같이, 유체가 상기 진공포트(13)로 유입되고, 상기 제27유로(27)와 상기 필터(18)를 차례로 거쳐서 상기 제26유로(26)로 유입되면, 이어서 상기 제22유로(22)와 상기 진공발생밸브(40)의 입력유로(41)를 거쳐서 상기 출력유로(42)를 통하여 상기 제21유로(21)를 따라 흘르고, 결국 상기 부압공급포트(11)로 유입되어 상기 부압원으로 이동한다. 이러한 유체의 흐름에 의하여 상기 부압유로 내부에는 부압이 발생하고 결국 상기 진공 패드가 이송물을 흡착하게 되고 그 흡착 상태를 계속 유지할 수 있게 된다. When both the vacuum generating valve 40 and the vacuum releasing valve 50 is OFF, as shown in FIG. 2, if both the vacuum generating valve 40 and the vacuum releasing valve 50 are changed to the ON state, The fluid stored in the vacuum pad flows into the negative pressure supply port 11 along the negative pressure flow path as indicated by the arrow. The inflow process is described in detail as follows. As shown by the arrow of FIG. 2, when the fluid flows into the vacuum port 13 and then flows through the 27th flow path 27 and the filter 18 into the 26th flow path 26, It passes along the twenty-first flow path 21 through the output flow path 42 through the input flow path 41 of the 22nd flow path 22 and the vacuum generating valve 40, and eventually the negative pressure supply port 11 Flows into the negative pressure source. As a result of the flow of the fluid, a negative pressure is generated inside the negative pressure flow path, and the vacuum pad is able to adsorb the conveyed material and maintain the adsorption state.

또한, 상기 진공해제밸브(50)가 ON상태인 바, 상기 정압저장유로가 개방되는 동시에 상기 정압유로가 폐쇄되어 있는 상태이므로, 상기 정압원으로부터 상기 정압공급포트(12)으로 유입된 유체가 상기 제1공간부(14) 및 제2공간부(15)로 유입되어 충전되는데 그 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 2의 화살표로 도시된 바와 같이, 상기 정압공급포트(12)로부터 공급된 유체는 상기 제25유로(25)를 통하여 제53유로(53)로 유입되고, 상기 제53유로(53)로 유입된 유체는 상기 제51유로(51)를 거쳐서 상기 제23유로(23)를 따라 이동하여, 상기 제2공간부(15)에 일차적으로 먼저 저장되고, 남은 유체들은 상기 공간부연결유로(28)를 통하여 상기 제1공간부(14)에 이차적으로 저장된다. 이러한 과정을 통하여 상기 제1공간부(14), 제2공간부(15), 제25유로(25), 제23유로(23), 제53유로(53), 제51유로(51)의 내부는, 일정한 크기의 정압 상태로 유지된다.In addition, since the vacuum release valve 50 is in an ON state, since the constant pressure storage flow path is opened and the constant pressure flow path is closed, the fluid flowing into the constant pressure supply port 12 from the constant pressure source is The first space 14 and the second space 15 is introduced into the charge is described in detail the process as follows. As shown by the arrow of FIG. 2, the fluid supplied from the constant pressure supply port 12 flows into the 53rd flow passage 53 through the 25th flow passage 25 and flows into the 53rd flow passage 53. The fluid flows along the twenty-third flow path 23 through the fifty-first flow path 51, and is first stored in the second space portion 15, and the remaining fluids are first stored in the space-connection connection flow path 28. Through the second space 14 is stored secondary. Through this process, the first space part 14, the second space part 15, the 25th euro 25, the 23rd euro 23, the 53rd euro 53, and the 51st euro 51 inside Is maintained at a constant pressure state of a constant size.

한편, 상기 이송물을 상기 진공 패드로부터 분리시키고자 하는 경우에는, 상기 진공발생밸브(40) 및 상기 진공해제밸브(50)를 모두 OFF시킨다. 이렇게 하면, 상기 제1공간부(14) 및 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체가 상기 정압유로를 거쳐서 상기 진공 패드로 공급되는데, 그 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 3의 화살표로 도시된 바와 같이, 상기 제1공간부(14) 및 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체는, 상기 제23유로(23)와 상기 진공해제밸브(50)의 제51유로(51) 및 제52유로(52)와 상기 제24유로(24)를 차례로 거쳐서 흐르게 되고, 이어서, 상기 필터(18)와 상기 제27유로(27) 및 진공포트(13)를 차례로 거쳐서 상기 진공 패드로 유입된다. 따라서, 부압 상태에 있던 진공 패드에 정압 유체가 공급됨으로써, 상기 진공 패드에 부착되어 있던 이송물은 상기 진공 패드로부터 분리된다.On the other hand, when the conveying object is to be separated from the vacuum pad, both the vacuum generating valve 40 and the vacuum releasing valve 50 are turned off. In this way, the fluid stored in the first space portion 14 and the second space portion 15 is supplied to the vacuum pad via the positive pressure passage, the process will be described in detail as follows. As shown by the arrow of FIG. 3, the fluid stored in the first space portion 14 and the second space portion 15 is formed of the 23rd flow path 23 and the vacuum release valve 50. Flows through the 51 flow path 51 and the 52nd flow path 52 and the 24th flow path 24, and then through the filter 18, the 27th flow path 27 and the vacuum port 13 in order. Flows into the vacuum pad. Therefore, by supplying a positive pressure fluid to the vacuum pad which was in the negative pressure state, the conveyance adhered to the said vacuum pad is isolate | separated from the said vacuum pad.

이때, 상기 제1공간부(14)와 제2공간부(15)는 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 상기 공간부연결유로(28)에 의하여 서로 연결되어 있으므로, 먼저 상기 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체가 일차적으로 상기 진공 패드로 이동하게 되고, 뒤이어 상기 제1공간부(14)에 저장되어 있던 유체가 이차적으로 상기 진공 패드로 이동하게 된다. At this time, since the first space portion 14 and the second space portion 15 are connected to each other by the space portion connecting passage 28 having a smaller cross-sectional area than the static pressure passage, first, the second space portion ( The fluid stored in 15 is first moved to the vacuum pad, and then the fluid stored in the first space 14 is secondarily moved to the vacuum pad.

상술한 구성의 진공발생장치(100)는, 외부의 정압원으로부터 상기 정압공급포트(12)로 유입된 유체를 상기 진공포트(13)로 공급하기 위하여 저장하는 공간부(14, 15)를 구비하고 있으므로, 정압공급포트로부터 직접 유체가 공급되는 종래의 경우와는 달리, 상기 공간부(14, 15)에 저장된 유체에 의하여 진공 상태가 해제되므로 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있다는 장점이 있다. 따라서, 진공 패드를 사용하는 경우에는 흡착된 이송물의 튕김 현상 없이 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있다.The vacuum generating device 100 having the above-described configuration includes spaces 14 and 15 for storing the fluid flowing into the positive pressure supply port 12 from the external positive pressure source to the vacuum port 13. Therefore, unlike the conventional case in which the fluid is directly supplied from the constant pressure supply port, the vacuum state is released by the fluid stored in the spaces 14 and 15, and thus there is an advantage that the vacuum state can be released smoothly and quickly. . Therefore, in the case of using the vacuum pad, a rapid release of the vacuum state can be achieved without the phenomenon of bouncing the adsorbed conveyed material.

그리고, 상기 진공발생장치(100)는, 상기 공간부가 상기 부피조절장치에 의하여 가변적으로 부피가 조절되는 제2공간부(15)를 포함하고 있으므로, 진공 패드의 크기나 요구되는 흡착력의 크기에 대응하여 상기 제2공간부(15)에 저장되는 유체의 양을 용이하게 조절할 수 있다는 장점이 있다. 즉 진공 패드의 크기나 요구되는 흡착력이 큰 경우에는 상기 제2공간부(15)의 부피를 증가시키고, 진공 패드의 크기나 요구되는 흡착력이 작은 경우에는 상기 제2공간부(15)의 부피를 감소시키면 된다.In addition, the vacuum generator 100 includes a second space portion 15 in which the volume is variably controlled by the volume control device, and thus corresponds to the size of the vacuum pad or the size of the suction force required. Therefore, there is an advantage in that the amount of fluid stored in the second space portion 15 can be easily adjusted. That is, when the size of the vacuum pad or the required adsorption force is large, the volume of the second space 15 is increased. When the size of the vacuum pad or the required adsorption force is small, the volume of the second space 15 is increased. You can reduce it.

또한, 상기 진공발생장치(100)는, 상기 제1공간부(14)와 제2공간부(15)가 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 공간부연결유로(28)에 의하여 연결되어 있으므로, 상기 진공발생밸브(40) 및 진공해제밸브(50)가 모두 OFF상태로 되면 상기 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체가 일차적으로 상기 진공 패드로 방출되고 뒤이어 상기 제1공간부(14)에 저장되어 있던 유체가 이차적으로 상기 진공 패드로 방출되는 2단계 방출 구조를 가지는 바, 진공 상태를 해제하여 흡착된 이송물을 이탈시키는 과정에서 정압의 공급이 급작스럽게 이루어지지 않는다는 장점이 있다.In addition, the vacuum generating device 100, since the first space portion 14 and the second space portion 15 is connected by a space portion connecting passage 28 having a smaller cross-sectional area than the static pressure passage, When both the vacuum generating valve 40 and the vacuum releasing valve 50 are turned off, the fluid stored in the second space portion 15 is first discharged to the vacuum pad, followed by the first space portion 14. Since the fluid stored in the) has a two-stage discharge structure in which the fluid is secondarily discharged to the vacuum pad, there is an advantage in that the supply of the positive pressure is not suddenly performed in the process of releasing the vacuum to release the adsorbed material.

한편, 상기 진공발생장치(100)는, 상기 정압저장유로를 개방하는 동시에 상기 정압유로를 폐쇄하는 제1위치와, 상기 정압저장유로를 폐쇄하는 동시에 상기 정압유로를 개방하는 제2위치 사이에서 위치 이동하는 밸브체(54)를 구비하는 3포트형 솔레노이드 전자밸브인 진공해제밸브(50)와, 2포트형 진공발생밸브(40)를 구비하고 있으므로, 상기 밸브들(40, 50)을 동시에 ON시키면 상기 진공 패드의 진공 상태가 발생하고, 상기 밸브들(40, 50)을 동시에 OFF시키면 상기 진공 패드의 진공 상태가 해제된다. 따라서, 상기 진공발생장치(100)는, 상기 밸브들(40, 50)을 동시에 작동시킬 수 있으므로, 하나의 제어기로 상기 밸브들(40, 50)을 제어할 수 있으며, 고속으로 상기 밸브들(40, 50)을 작동시킬 수 있다는 장점이 있다.On the other hand, the vacuum generating device 100 is located between a first position to open the positive pressure storage passage and close the positive pressure passage, and a second position to close the constant pressure storage passage and simultaneously open the positive pressure passage. Since the vacuum release valve 50, which is a three-port solenoid solenoid valve having a moving valve body 54, and the two-port type vacuum generating valve 40 are provided, the valves 40, 50 are turned on at the same time. In this case, the vacuum state of the vacuum pad is generated, and when the valves 40 and 50 are simultaneously turned off, the vacuum state of the vacuum pad is released. Therefore, the vacuum generator 100 may operate the valves 40 and 50 simultaneously, so that the valves 40 and 50 may be controlled by one controller, and the valves may be operated at high speed. 40, 50) can be operated.

본 실시예에서는, 도 4의 좌측 회로도에 도시된 바와 같이, 상기 진공발생밸브(40)가 OFF상태인 경우 진공 패드와 부압원이 서로 단절되는 "노멀 클로즈(normal close)" 타입을 설명하였으나, 도 4의 우측 회로도에 도시된 바와 같이, 상기 진공발생밸브(40)가 OFF상태인 경우 진공 패드와 부압원이 서로 연결되는 "노멀 오픈(normal open)" 타입의 실시예도 가능함은 물론이다. 상기 노멀 오픈 타입의 경우에는 정전 발생 등의 비상시에도 진공 패드로부터 이송물이 분리되지 않으므로 이송물이 파손될 위험이 없다는 장점이 있다.In the present embodiment, as shown in the left circuit diagram of FIG. 4, the "normal close" type in which the vacuum pad and the negative pressure source are disconnected from each other when the vacuum generating valve 40 is in the OFF state has been described. As shown in the right circuit diagram of FIG. 4, when the vacuum generating valve 40 is in an OFF state, an embodiment of the “normal open” type in which the vacuum pad and the negative pressure source are connected to each other is also possible. In the case of the normal open type, the conveyed material is not separated from the vacuum pad even in an emergency such as a power outage, so there is no risk that the conveyed material is damaged.

이상으로 본 고안을 설명하였는데, 본 고안의 기술적 범위는 상술한 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것은 아니며, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 수정 또는 변경된 등가의 구성은 본 고안의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 것임은 명백하다.As described above, the present invention has been described, but the technical scope of the present invention is not limited to the contents described in the above-described embodiments, and an equivalent configuration modified or changed by a person having ordinary knowledge in the technical field may include Obviously, it is not beyond the scope of thought.

＊ 도면의 주요부위에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 진공발생장치 10 : 몸체부
10a : 제1몸체부 10b : 제2몸체부
11 : 부압공급포트 12 : 정압공급포트
13 : 진공포트 14 : 제1공간부
15 : 제2공간부 18 : 필터
19 : 실린더부 21 : 제21유로
22 : 제22유로 23 : 제23유로
24 : 제24유로 25 : 제25유로
26 : 제26유로 28 : 공간부연결유로
32 : 피스톤부 33 : 로드부
34 : 조절나사 35 : 수나사부
36 : 암나사부 40 : 진공발생밸브
41 : 입력유로 42 : 출력유로
43 : 밸브체 44 : 가동체
50 : 진공해제밸브 51 : 제51유로
52 : 제52유로 53 : 제53유로
54 : 밸브체 55 : 가동체[Description of Reference Numerals]
100: vacuum generator 10: body
10a: first body part 10b: second body part
11: negative pressure supply port 12: constant pressure supply port
13: vacuum port 14: first space part
15: second space 18: filter
19 cylinder portion 21: 21 euro
22: 22nd euro 23: 23rd euro
24: 24 Euro 25: 25 Euro
26: 26th euro 28: space connection euro
32: piston portion 33: rod portion
34: adjusting screw 35: male thread
36: female thread portion 40: vacuum generating valve
41: input channel 42: output channel
43: valve body 44: movable body
50: vacuum releasing valve 51: 51st euro
52: Euro 52: 53: Euro 53
54 valve body 55 movable body

Claims

A device for generating or releasing a vacuum state in a vacuum apparatus using a vacuum state,
A negative pressure supply port connected to the negative pressure source to receive a negative pressure;
A constant pressure supply port connected to a constant pressure source to receive a constant pressure;
A vacuum port connected to the vacuum device to generate or release a vacuum state;
A negative pressure flow path connecting the negative pressure supply port and the vacuum port;
A space unit capable of storing the fluid introduced into the constant pressure supply port;
A constant pressure storage passage connecting the constant pressure supply port and the space part;
A constant pressure passage connecting the space part and the vacuum port to supply the fluid in the space part to the vacuum port;
A vacuum generating valve which allows or blocks the flow of fluid to the negative pressure flow path;
The space portion includes a first space portion and a second space portion connected to the first space portion by a space portion connection passage having a smaller cross-sectional area than the static pressure passage.
A vacuum release valve having a valve body moving between a first position of opening said constant pressure storage passage and closing said positive pressure passage, and a second position of closing said positive pressure storage passage and simultaneously opening said positive pressure passage;
Vacuum generating apparatus comprising a.

The method of claim 1,
And a volume control device capable of variably adjusting the volume of the space.

The method of claim 2,
The volume control device,
A cylinder portion having an inner space;
A piston part capable of reciprocating in the longitudinal direction inside the cylinder part;
A rod-shaped rod portion whose one end is connected to the piston portion;
An adjustment screw which is screwed to the other end of the rod part to adjust the movement amount of the piston part;
Vacuum generating apparatus comprising a.