KR200454302Y1 - Contact angle meter - Google Patents

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KR200454302Y1 KR2020090012825U KR20090012825U KR200454302Y1 KR 200454302 Y1 KR200454302 Y1 KR 200454302Y1 KR 2020090012825 U KR2020090012825 U KR 2020090012825U KR 20090012825 U KR20090012825 U KR 20090012825U KR 200454302 Y1 KR200454302 Y1 KR 200454302Y1
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Abstract

본 고안은 접촉각 측정기에 관한 것으로써, 그 목적으로는 정반(10)을 y축 방향으로 전,후진시켜 시료의 위치를 조정한 다음, 핸들(32)을 회전시켜 용액의 적하지점에 주사기(56)가 x축 방향으로 이동 되도록 하는 방식을 실현함으로써, 시료의 접촉각 측정지점 설정에 대한 정확성과 사용상 편리성이 획기적으로 향상되도록 하는 데에 있다. The present invention relates to a contact angle measuring device, and for this purpose, the surface 10 is moved forward and backward in the y-axis direction to adjust the position of the sample, and then the handle 32 is rotated to rotate the syringe 56 at the dropping point of the solution. ) Is to move in the x-axis direction, the accuracy and ease of use of the setting of the contact angle measurement point of the sample is significantly improved.

이를 실현하기 위한 본 고안은, 상판(38)과 하판(40)을 바디(36)에 형성하며 구성되는 블록(34); 상기 상판(38)에 설치되는 서보모터(42); 상기 서보모터(42)에 벨트(46)로 연결되면서 상,하판(38,40)에 결합 되는 수직나사축(50); 상기 수직나사축(50)에 결합 되면서 주사기(56)의 피스톤(58) 상단부를 고정하는 매스(54); 상기 매스(54)의 양측을 각각 결합하면서 상,하판(38,40)에 고정 결합 되는 수직안내봉(52); 상기 블록(34)을 측벽(7)과 테이블(6)에 걸쳐 배치하며 구성되는 본체(4); 상기 측벽(7)과 테이블(6)에 각각 설치되는 광원(14) 및 카메라(12);로 된 접촉각 측정기에 있어서, 상기 블록(34)을 수평으로 전,후진시키는 수평이송부재(22)가 측벽(7)에 고정 설치되면서 테이블(6) 위에 배치되는 것을 특징으로 한다. The present invention for realizing this, the upper plate 38 and the lower plate 40 formed on the body 36, the block 34 is configured; A servo motor 42 installed on the upper plate 38; A vertical screw shaft 50 connected to the servo motor 42 by a belt 46 and coupled to upper and lower plates 38 and 40; A mass 54 coupled to the vertical screw shaft 50 to fix an upper end of the piston 58 of the syringe 56; Vertical guide rods 52 which are fixed to the upper and lower plates 38 and 40 while coupling both sides of the mass 54, respectively; A main body (4) configured to place the block (34) over the sidewall (7) and the table (6); In the contact angle measuring device consisting of a light source 14 and a camera 12 respectively installed on the side wall 7 and the table 6, a horizontal transfer member 22 for horizontally moving the block 34 forward and backward is provided. It is characterized in that it is disposed on the table 6 while being fixed to the side wall (7).

카메라, 광원, 서보모터, 나사축, 주사기, 정반 Camera, light source, servo motor, screw shaft, syringe, table

Description

접촉각 측정기{Contact angle meter} Contact angle meter

본 고안은 접촉각 측정기에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 정반을 y축 방향으로 전,후진시켜 시료의 위치를 조정한 다음 핸들을 회전시켜 용액의 적하지점에 주사기가 x축 방향으로 이동 되도록 하는 방식을 실현함으로써, 시료의 접촉각 측정지점 설정에 대한 정확성과 사용상 편리성이 획기적으로 향상되도록 한 접촉각 측정기에 관한 것이다. The present invention relates to a contact angle measuring device, and more specifically, to adjust the position of the sample by moving the surface plate in the y-axis direction, and then rotating the handle to move the syringe to the drip point of the solution in the x-axis direction The present invention relates to a contact angle measuring device that greatly improves the accuracy and convenience of use of setting a contact angle measuring point of a sample.

일반적으로 접촉각 측정기는 액정 글라스, 실리콘 웨이퍼, 하드 디스크 등의 청정도를 평가하기 위해 사용되는 장치로서, 상기 측정기는 시료에 용액을 적하시켜 시료표면과 용액표면이 이루는 각을 측정하게 되는데, 상기와 같이 측정되는 접촉각을 바탕으로 시료에 오염물이 포함되었는지의 여부를 판정하여 불량품 양산을 미연에 방지할 수 있도록 하고 있다. In general, a contact angle measuring device is a device used to evaluate the cleanliness of a liquid crystal glass, a silicon wafer, a hard disk, etc., and the measuring device measures the angle between the sample surface and the solution surface by dropping a solution onto a sample. Based on the measured contact angle, it is determined whether or not the sample contains contaminants to prevent mass production of defective products.

한편 종래의 기술인 실용신안등록번호 제10-435377호 "접촉각 측정기"를 도 1a, 1b에서 살펴 보면, 먼저 케이스(100)에 정반(210)과 카메라(320)와 광원(310)이 동일한 선상에서 거리를 두고 이격 설치되고, 상기 정반(210)의 상부로는 제1,2고정프레임(435,460)이 높이를 달리하면서 케이스(100) 상부에 고정 설치된다. Meanwhile, referring to Utility Model Registration No. 10-435377 "contact angle measuring device" of the related art in FIGS. 1A and 1B, first, the surface plate 210, the camera 320, and the light source 310 of the case 100 are on the same line. It is spaced apart from each other, and the first and second fixed frames 435 and 460 are fixedly installed on the upper part of the case 100 while varying the height to the upper portion of the surface plate 210.

상기 제1고정프레임(435)에는 구동모터(410)가 설치되면서 벨트(420)로 회전축(440)을 연결하고, 회전축(440)은 제1,2고정프레임(435,460)에 수직으로 회전 가능하게 결합 되며, 상기 회전축(440)에는 주사기(470)의 피스톤을 고정하는 이동프레임(450)이 나사 결합 된다. The drive motor 410 is installed on the first fixed frame 435 to connect the rotating shaft 440 to the belt 420, and the rotating shaft 440 is rotatable perpendicularly to the first and second fixed frames 435 and 460. Is coupled, the rotating shaft 440 is screwed to the moving frame 450 for fixing the piston of the syringe 470.

이때, 상기 주사기(470)의 배럴은 제2고정프레임(460)에 고정된다. At this time, the barrel of the syringe 470 is fixed to the second fixed frame 460.

상기와 같이 구성되는 종래의 기술을 작용에 대해 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the conventional technology configured as described above are as follows.

먼저, 상기 정반(210) 위에 시료를 올려놓고 위치를 조정한 다음, 상기 구동모터(410)를 작동시키면 동력은 벨트(420)을 통하여 전달되어 회전축(440)을 회전시키게 되고, 상기 회전축(440)에 의해 이동프레임(450)은 주사기(470)의 피스톤을 하강시키게 된다. First, after placing the sample on the surface plate 210 and adjusting the position, when operating the drive motor 410 power is transmitted through the belt 420 to rotate the rotary shaft 440, the rotary shaft 440 By moving the frame 450 is to lower the piston of the syringe 470.

따라서, 상기 주사기(470)의 배럴에 있는 용액 일부는 시료로 적하 되어 물방울 형태를 하게 되고, 동시에 광원(310)의 빛에 의해 선명한 형태를 하게 된 용액은 카메라(320)가 영상으로 제어부에 전달하게 되며, 제어부는 영상을 모니터에 나타내면서 접촉각을 측정하게 된다. Therefore, a portion of the solution in the barrel of the syringe 470 is dropped into a sample to form a droplet, and at the same time, the solution that is clearly formed by the light of the light source 310 is transmitted to the controller as an image by the camera 320. The controller measures the contact angle while displaying the image on the monitor.

상기와 같이 용액의 접촉각 측정을 한 후 새로운 지점에서 다시 접촉각을 측정하고자 할 경우에는, 정반(210)을 이동시키며 전술한 바와 같은 과정으로 측정을 반복한다. After measuring the contact angle of the solution as described above, if you want to measure the contact angle again at a new point, the surface plate 210 is moved and the measurement is repeated as described above.

상기와 같은 종래의 기술은 접촉각을 측정하기 위해 정반을 x,y축 방향으로 이동시키면서 측정해야 하는 관계로, 측정하고자 하는 지점 설정에 있어서 부정확하면서 사용상 불편함이 따르는 문제점이 있다. The prior art as described above has to be measured while moving the surface plate in the x and y axis directions in order to measure the contact angle, and thus there is a problem in that it is inaccurate and inconvenient in setting a point to be measured.

본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로써, 그 목적은 정반을 y축 방향으로 전,후진시켜 시료의 위치를 조정한 다음, 핸들을 회전시켜 용액의 적하지점에 주사기가 x축 방향으로 이동 되도록 하는 방식을 실현함으로써, 시료의 접촉각 측정지점 설정에 대한 정확성과 사용상 편리성이 획기적으로 향상되도록 하는 데에 있다. The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, the purpose is to adjust the position of the sample by moving the surface plate in the y-axis direction, and then rotate the handle to rotate the syringe at the dropping point of the solution By realizing the method to move in the x-axis direction, the accuracy and convenience of using the contact angle measurement point of the sample is greatly improved.

본 고안은 고정용 상판(38)과 주사기(56)의 배럴(60)을 고정하는 하판(40)을 바디(36)에 형성하며 구성되는 블록(34); The subject innovation is a block 34 is formed to form a lower plate 40 for fixing the barrel 60 of the fixing plate 38 and the syringe 56 to the body 36;

상기 상판(38)에 고정 설치되는 서보모터(42); A servo motor 42 fixed to the upper plate 38;

상기 서보모터(42)에 벨트(46)로 연결되면서 상,하판(38,40)에 회전 가능하게 결합 되는 수직나사축(50); A vertical screw shaft 50 connected to the servo motor 42 by a belt 46 and rotatably coupled to upper and lower plates 38 and 40;

상기 수직나사축(50)에 나사 결합 되면서 주사기(56)의 피스톤(58) 상단부를 고정하는 매스(54); A mass (54) which is screwed to the vertical screw shaft (50) and fixes the upper end of the piston (58) of the syringe (56);

상기 매스(54)의 양측을 각각 미끄럼 결합하면서 상,하판(38,40)에 고정 결합 되는 수직안내봉(52); Vertical guide rods 52 fixed to the upper and lower plates 38 and 40 while slidingly coupling both sides of the mass 54;

상기 블록(34)을 측벽(7)과 테이블(6)에 걸쳐 배치하며 구성되는 본체(4); A main body (4) configured to place the block (34) over the sidewall (7) and the table (6);

상기 측벽(7)과 테이블(6)에 각각 설치되면서 정반(10) 위의 시료로 낙하한 용액에 조명을 비추고, 용액의 형태를 제어부(16)에 영상으로 전달하는 광원(14) 및 카메라(12);로 된 접촉각 측정기에 있어서, A light source 14 and a camera installed on the side wall 7 and the table 6, respectively, illuminating the solution dropped onto the sample on the surface plate 10, and transmitting the form of the solution to the controller 16 as an image. 12) in the contact angle measuring device,

상기 블록(34)을 수평으로 전,후진시키는 수평이송부재(22)가 측벽(7)에 고정 설치되면서 테이블(6) 위에 배치되는 것을 특징으로 한다. The horizontal transfer member 22 which horizontally moves the block 34 forward and backward is fixedly installed on the side wall 7 and is disposed on the table 6.

또한, 상기 수평이송부재(22)는, In addition, the horizontal transfer member 22,

상기 바디(36)를 관통하여 나사 결합하면서 수평으로 배치되는 수평나사축(26)과, A horizontal screw shaft 26 arranged horizontally while screwing through the body 36;

상기 바디(36)를 관통하여 미끄럼 결합하는 수평안내봉(28)과, A horizontal guide rod 28 sliding through the body 36 and slidingly coupled thereto;

상기 수평나사축(26) 양단부는 회전 가능하게 결합하고 수평안내봉(28) 양단부는 고정 결합하는 고정판(24,30)과, Both end portions of the horizontal screw shaft 26 are rotatably coupled and fixed plates 24 and 30 fixedly coupled to both ends of the horizontal guide rod 28;

상기 고정판(30) 외측에 위치하면서 수평나사축(26) 일단부를 고정 결합하는 핸들(32),로 이루어지고, It is made of a handle 32, which is fixed to the one end of the horizontal screw shaft 26 while being positioned outside the fixing plate 30,

상기 수평나사축(26)과 수평안내봉(28)의 타단부를 결합한 고정판(24)은 측벽(7)에 고정 설치되는 것을 특징으로 한다. The fixing plate 24 coupled to the other end of the horizontal screw shaft 26 and the horizontal guide rod 28 is characterized in that it is fixed to the side wall (7).

본 고안은 정반(10)을 y축 방향으로 전,후진시켜 시료의 위치를 조정한 다음, 핸들(32)을 회전시킴으로써 용액의 적하지점에 주사기(56)가 x축 방향으로 이동 되도록 하는 방식임으로, 시료의 접촉각 측정지점 설정을 정확하게 할 수 있으면서 사용상 편리성이 획기적으로 향상되는 효과가 있다. The present invention is to adjust the position of the sample by moving the surface plate 10 in the y-axis direction, and then, by rotating the handle 32 to move the syringe 56 to the dropping point of the solution in the x-axis direction In addition, it is possible to accurately set the contact angle measurement point of the sample, and the convenience of use is remarkably improved.

본 고안의 실시 예를 구성하는 측정기(2)는 액정 글라스, 실리콘 웨이퍼, 하 드 디스크 등의 청정도를 평가하기 위해 사용되는 장치로서 그 구조를 도 2 내지 도 6 에서 살펴 보면, 먼저 측정기(2)(도2참조)를 구성하는 본체(4)에는 테이블(6)이 측벽(7)을 타단부에 일체로 형성하며 구성되고, 상기 테이블(6)의 상부에는 받침대(8)가 고정 설치되면서 상단부에 사각형 모양의 정반(10)을 y축 방향으로 전,후진 가능하게 미끄럼 결합한다. The measuring device 2 constituting an embodiment of the present invention is a device used for evaluating the cleanliness of a liquid crystal glass, a silicon wafer, a hard disk, and the like, and the structure thereof will be described with reference to FIGS. 2 to 6. In the main body 4 constituting (see Fig. 2), the table 6 is formed by integrally forming the side wall 7 at the other end, the upper end of the table 6 is fixed to the base (8) The square plate 10 is slidably coupled to the y-axis in the forward and backward directions.

상기 정반(10) 일측에는 시료에 적하된 용액의 접촉각을 측정하기 위한 카메라(12)가 위치하면서 테이블(6)에 고정 설치되고, 상기 정반(10) 타측에는 시료 쪽으로 조명을 비추는 광원(14)이 엘이디(LED)로 이루어지면서 측벽(7)에 고정 설치되며, 상기 카메라(12)와 광원(14)은 측벽(7) 내부에 설치되는 제어부(16)에 연결된다. One side of the surface plate 10 is fixed to the table 6 while the camera 12 for measuring the contact angle of the solution loaded on the sample is fixed, and the light source 14 illuminating the surface toward the sample on the other side of the surface plate 10. The LED (LED) is fixed to the side wall (7), the camera 12 and the light source 14 is connected to the control unit 16 is installed inside the side wall (7).

이때, 상기 카메라(12), 정반(10), 광원(14)은 동일한 선상에 위치한다. At this time, the camera 12, the surface plate 10, the light source 14 is located on the same line.

또한, 상기 제어부(16)에는 사용자가 자료를 입력하는 입력부(18)(도5참조)와, 카메라(12)로 촬영한 용액의 상태에 대한 정보를 나타내어 주는 모니터(20)가 각각 연결된다. In addition, the control unit 16 is connected to an input unit 18 (see FIG. 5) for inputting data by a user, and a monitor 20 for displaying information on the state of the solution taken by the camera 12.

계속하여, 상기 측벽(7)(도3참조)의 상부에는 수평이송부재(22)를 구성하는 고정판(24)이 용접되어 설치되고, 상기 고정판(24)의 중앙에는 수평나사축(26) 타단부가 회전 가능하게 베어링으로 결합 되면서 수평으로 배치되며, 상기 수평나사축(26) 상,하부로는 수평안내봉(28)의 타단부가 용접되면서 수평으로 배치된다. Subsequently, a fixing plate 24 constituting the horizontal conveying member 22 is welded and installed at an upper portion of the side wall 7 (see FIG. 3), and a horizontal screw shaft 26 is formed at the center of the fixing plate 24. The end is rotatably coupled to the bearing is disposed horizontally, the horizontal screw shaft 26 is arranged horizontally while the other end of the horizontal guide rod 28 is welded to the lower portion.

이때, 상기 수평나사축(26)과 수평안내봉(28)은 x축 방향으로 배치한다. At this time, the horizontal screw shaft 26 and the horizontal guide rod 28 is disposed in the x-axis direction.

상기 측벽(7)에 설치되는 고정판(24)의 대향한 위치에 다른 고정판(30)이 배 치되면서 수평나사축(26)의 일단부를 회전 가능하게 베어링으로 결합하고, 상기 수평안내봉(28)의 일단부는 용접하여 고정하는데, 이때 상기 수평나사축(26)의 일단부는 고정판(30)의 외측으로 돌출하면서 핸들(32)을 결합한다. The other fixing plate 30 is disposed at the opposite position of the fixing plate 24 installed on the side wall 7, and one end of the horizontal screw shaft 26 is rotatably coupled to the bearing, and the horizontal guide rod 28 One end of the welding is fixed, wherein one end of the horizontal screw shaft 26 is coupled to the handle 32 while protruding to the outside of the fixing plate (30).

또한, 상기 2개의 고정판(24,30) 일측에는 지지역할을 하는 연결판(25)이 양단부를 용접하며 설치된다. In addition, one side of the two fixing plates (24, 30) is provided with a connecting plate 25 for the local area welding both ends.

상기 수평이송부재(22)에는 x축 방향으로 좌,우 이동하는 블록(34)이 설치되는데, 상기 블록(34)을 구성하는 바디(36)의 중간에는 수평나사축(26)이 관통하여 나사 결합 되고, 상기 수평나사축(26)의 상,하부로는 수평안내봉(28)이 위치하면서 바디(36)에 관통하여 미끄럼 결합 되며, 상기 바디(36)의 상,하단부에는 전방을 향하여 돌출한 상판(38)과 하판(40)이 연장 형성된다. The horizontal transfer member 22 is provided with a block 34 which moves left and right in the x-axis direction, and a horizontal screw shaft 26 penetrates through the middle of the body 36 constituting the block 34. It is coupled to the upper and lower portions of the horizontal screw shaft 26, the horizontal guide rod 28 is positioned to slide through the body 36, the upper and lower ends of the body 36 protrudes toward the front One upper plate 38 and a lower plate 40 extend.

상기 상판(38)의 저면에는 동력을 제공하는 서보모터(42)가 고정 설치되면서 제어부(16)(도5참조)에 연결되고, 상기 서보모터(42)(도3참조)의 축은 상판(38)을 관통하여 상부로 돌출하면서 원동풀리(44)를 결합하며, 원동풀리(44)에는 벨트(46)가 연결되면서 수직나사축(50)의 상단부에 결합된 피동풀리(48)에 연결된다. The lower surface of the upper plate 38 is connected to the control unit 16 (see FIG. 5) while the servo motor 42 providing power is fixedly installed, and the shaft of the servo motor 42 (see FIG. 3) is the upper plate 38. Protruding upward through the coupling to the driving pulley 44, the driving pulley 44 is connected to the driven pulley 48 coupled to the upper end of the vertical screw shaft 50 while the belt 46 is connected.

상기 수직나사축(50)은 상판(38)과 하판(40)에 회전 가능하게 베어링으로 결합 되고, 상기 수직나사축(50)의 양측으로는 수직안내봉(52)이 이격 배치되면서 상판(38)과 하판(40)에 각각 고정 결합 된다. The vertical screw shaft 50 is rotatably coupled to the upper plate 38 and the lower plate 40, and the upper guide plate 38 is disposed on both sides of the vertical screw shaft 50 while the vertical guide rods 52 are spaced apart from each other. ) And fixed to the lower plate 40, respectively.

상기 수직나사축(50)에는 승강하는 매스(54)가 나사 결합 되면서 양측에 수직안내봉(52)을 미끄럼 결합하고, 상기 매스(54)의 전면에는 주사기(56)를 구성하는 피스톤(58)의 상단부를 고정 결합하게 된다. The vertical threaded shaft (50) is coupled to the lifting mass (54) is screwed coupled to the vertical guide rods 52 on both sides, the piston (58) constituting the syringe 56 on the front surface of the mass (54) Fixed to the upper end of the.

따라서 상기 매스(54)가 하강하면 피스톤(58)이 하강하면서 주사기(56)의 배럴(barrel)(60)에 있는 용액을 밀어내게 된다. Therefore, when the mass 54 is lowered, the piston 58 is lowered to push the solution in the barrel 60 of the syringe 56.

계속하여, 상기 하판(40)의 전면에는 주사기(56)의 배럴(60)을 고정할 수 있도록 한 착,탈식 고정마그네틱(62)이 설치되고, 상기 바디(36)와 수직나사축(50) 사이에는 가아드(guard)(64)가 횡 방향으로 배치되면서 타단부를 측벽(7)에 용접하며 설치된다. Subsequently, a detachable fixing magnetic 62 for fixing the barrel 60 of the syringe 56 is installed on the front surface of the lower plate 40, and the body 36 and the vertical screw shaft 50. A guard 64 is disposed between the side ends 7 while the other end is disposed in the lateral direction.

또한, 상기 수평이송부재(22)의 상부와 후방에 걸쳐 커버(66)가 설치되는데, 상기 커버(66)의 타단 부는 측벽(7)에 용접하고, 상기 커버(66)의 일단 부는 고정판(30)과 가아드(64)의 일단부를 나사로 결합한다. In addition, the cover 66 is installed over the upper and rear of the horizontal transfer member 22, the other end of the cover 66 is welded to the side wall 7, and one end of the cover 66 is fixed plate 30 ) And one end of the guard 64 with screws.

이때, 상기 핸들(32)은 커버(66)의 외측으로 돌출시켜 배치한다. At this time, the handle 32 is disposed to protrude out of the cover 66.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 상기 정반(10)(도2참조) 위에 시료(액정 글라스, 실리콘 웨이퍼, 하드 디스크 등)를 올려 놓은 다음, 상기 정반(10)을 전,후진 시켜 시료가 카메라(12)와 광원(14) 사이에 위치하도록 하고, 이후로 시료에 오염물이 포함되었는지를 파악하고자 하는 지점에 주사기(56)를 이동시키게 된다. First, a sample (liquid crystal glass, silicon wafer, hard disk, etc.) is placed on the surface plate 10 (see FIG. 2), and then the surface plate 10 is moved forward and backward so that the sample is moved to the camera 12 and the light source 14. ), And then move the syringe 56 to a point to determine whether the sample contains contaminants.

상기 주사기(56)를 이동시키기 위해 커버(66)의 일단부 외측에 위치한 핸들(32)을 회전시키면, 수평나사축(26)이 회전하면서 블록(34)의 바디(36)를 x축 방향으로 이동시키게 되는데, 이때 바디(36)는 장착하고 있는 서보모터(42) 및 주사기(56)와 함께 수평안내봉(28)을 따라 미끄럼 이동하게 된다. Rotating the handle 32 located outside one end of the cover 66 to move the syringe 56, the horizontal screw shaft 26 rotates to rotate the body 36 of the block 34 in the x-axis direction In this case, the body 36 is slid along the horizontal guide rod 28 with the servomotor 42 and the syringe 56 mounted thereon.

상기와 같이 주사기(56)를 측정하고자 하는 지점으로 이동시킨 후, 상기 입 력부(18)(도5참조)에서 시작모드를 선택하면 제어부(16)는 광원(14)에 온 명령을 전달하여 조명을 정반(10)(도2참조) 위로 비추게 되고, 이러한 상태에서 카메라(12)가 정반(10) 위의 영상을 제어부(16)에 전달하게 되며, 상기 제어부(16)는 정반(10) 위의 영상을 모니터(20)(도5참조)로 나타나게 된다. After moving the syringe 56 to the point to be measured as described above, when the start mode is selected in the input unit 18 (see FIG. 5), the controller 16 transmits an on command to the light source 14 to illuminate the light. In this state, the camera 12 transmits the image on the surface plate 10 to the control unit 16, and the control unit 16 controls the surface plate 10. The above image is displayed on the monitor 20 (see FIG. 5).

상기 이후로, 제어부(16)는 서보모터(42)에 작동명령을 전달하게 되는데, 이때 제어부(16)는 주사기(56)(도3참조)로부터 용액이 한 방울만 적하 될 수 있을 정도로 정밀 제어하여 작동명령을 전달한다. After that, the control unit 16 transmits an operation command to the servomotor 42. At this time, the control unit 16 controls precisely so that only one drop of the solution can be dropped from the syringe 56 (see FIG. 3). To transmit the operation command.

상기 서보모터(42)는 전달되는 명령에 의해 동력을 원동풀리(44), 벨트(46), 피동풀리(48) 순으로 전달하여 수직나사축(50)을 회전시키게 되는데, 이로 인해 수직나사축(50)에 나사 결합된 매스(54)는 수직안내봉(52)을 따라 피스톤(58)과 함께 소폭 하강하게 된다. The servo motor 42 transmits the power in the order of the driving pulley 44, the belt 46, the driven pulley 48 by the command to be transmitted to rotate the vertical screw shaft 50, which causes the vertical screw shaft Mass 54 screwed to 50 is slightly lowered along with piston 58 along vertical guide rod 52.

따라서, 하강하는 상기 피스톤(58)에 의해 배럴(60)에 채워져 있는 용액이 밀려져 일부가 시료 위로 적하 된다. Therefore, the solution filled in the barrel 60 is pushed by the descending piston 58, and a part is dripped on the sample.

상기와 같이 시료 위로 적하된 용액은 물방울 형태를 하면서 존재하게 되고, 이러한 상태는 광원(14)(도2참조)의 조명에 의해 선명한 형태를 하게 되며, 상기 카메라(12)는 용액의 물방울 형태를 영상으로 제어부에 전달하여 모니터(20)로 나타나게 된다. The solution dropped onto the sample as described above is present in the form of water droplets, this state is a clear form by the illumination of the light source 14 (see Fig. 2), the camera 12 is a water droplet of the solution The image is transmitted to the controller and displayed on the monitor 20.

상기와 같이 모니터(20)에 나타난 영상을 바탕으로 제어부(16)는 시료의 측정지점의 접촉각을 측정하게 되는데, 상기와 같은 접촉각 측정방법은 시료의 표면에 용액이 적하 되어 열역학적으로 평형을 이룰 때 시료의 표면과 용액표면이 이루 는 각을 측정하는 것으로, 이때 시료의 표면상태와 용액의 종류에 따라 접촉각이 다르게 나타나기 때문에 접촉각으로 부터 표면에너지와 표면의 균일성 및 친수성 정도를 알 수 있게 된다. Based on the image shown on the monitor 20 as described above, the control unit 16 measures the contact angle of the measuring point of the sample, the contact angle measuring method as described above when a solution is dropped on the surface of the sample to achieve a thermodynamic equilibrium By measuring the angle between the surface of the sample and the surface of the solution, the contact angles vary depending on the surface condition of the sample and the type of solution.

특히 상기와 같은 측정방법에 의한 친수성은 시료와 용액 간의 계면 에너지가 작아 접촉각이 작을 경우가 되고, 소수성은 시료와 용액 간의 계면 에너지가 커져서 접촉각이 커지게 되는 경우가 된다. In particular, the hydrophilicity of the measurement method described above is small in that the contact angle is small due to the small interfacial energy between the sample and the solution, while the hydrophobicity is the case in which the contact angle is increased by increasing the interfacial energy between the sample and the solution.

따라서, 상기와 같이 접촉각을 측정할 때 사용되는 용액의 종류와 접촉각의 값을 통해 표면의 물리적 특성을 확인할 수 있게 되고, 이러한 물리적 특성을 통해 시료의 불량 여부를 판정할 수 있게 된다. Therefore, it is possible to confirm the physical properties of the surface through the value of the type and the contact angle of the solution used when measuring the contact angle as described above, it is possible to determine whether the sample is defective through this physical property.

한편, 상기와 같이 시료의 접촉각 측정이 완료되면 시료의 다른 지점에 대한 접촉각을 측정하기 위해 핸들(32)을 회전시키거나 정반(10)을 이동시켜 조정한 후 전술한 바와 같이 동일한 과정으로 접촉각을 반복적으로 측정한다. On the other hand, when the contact angle measurement of the sample is completed as described above, to adjust the contact angle by rotating the handle 32 or by moving the surface plate 10 to measure the contact angle with respect to the other point of the sample and then set the contact angle as described above. Measure repeatedly.

상기와 같은 본 고안의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하였지만, 본 고안은 여기에 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 고안의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Although the preferred embodiments of the present invention as described above have been described in detail by the accompanying drawings, the present invention is not limited to the embodiments described herein, those skilled in the art having ordinary knowledge in the technical idea and It will be understood that various modifications and variations can be made without departing from the scope thereof.

도 1a, 1b 는 종래 기술을 나타낸 사시도. 1A and 1B are perspective views of the prior art;

도 2 는 본 고안에 따른 측정기의 사시도. 2 is a perspective view of a measuring device according to the present invention.

도 3 은 본 고안에 따른 측정기의 분리 사시도. 3 is an exploded perspective view of the measuring device according to the present invention.

도 4 는 도 2 의 A - A 선 단면도. 4 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 5 는 본 고안의 각 부품을 제어부에 연결한 상태도. 5 is a state diagram in which each component of the present invention is connected to a control unit.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols for the main parts of the drawings

2:측정기 4:본체 2: measuring instrument 4: body

6:테이블 7:측벽 6: table 7: side wall

8:받침대 10:정반 8: Base 10: Table

12:카메라 14:광원 12: Camera 14: Light source

16:제어부 18:입력부 16: control unit 18: input unit

20:모니터 22:수평이송부재 20: monitor 22: horizontal transfer member

24,30:고정판 26:수평나사축 24, 30: Fixed plate 26: Horizontal screw shaft

28:수평안내봉 32:핸들 28: horizontal bar 32: handle

34:블록 36:바디 34: Block 36: body

38:상판 40:하판 38: Top 40: Bottom

42:서보모터 44:원동풀리 42: servo motor 44: driven pulley

46:벨트 48:피동풀리 46: Belt 48: driven pulley

50:수직나사축 52:수직안내봉 50: vertical thread axis 52: vertical guide rod

54:매스 56:주사기 54: mass 56: syringe

58:피스톤 60:배럴 58: piston 60: barrel

62:고정마그네틱 64:가아드 62: Fixed magnetic 64: Guard

66:커버 66: cover

Claims (2)

고정용 상판(38)과 주사기(56)의 배럴(60)을 고정하는 하판(40)을 바디(36)에 형성하며 구성되는 블록(34); A block 34 configured to form a lower plate 40 on the body 36 for fixing the fixing plate 38 and the barrel 60 of the syringe 56; 상기 상판(38)에 고정 설치되는 서보모터(42); A servo motor 42 fixed to the upper plate 38; 상기 서보모터(42)에 벨트(46)로 연결되면서 상,하판(38,40)에 회전 가능하게 결합 되는 수직나사축(50); A vertical screw shaft 50 connected to the servo motor 42 by a belt 46 and rotatably coupled to upper and lower plates 38 and 40; 상기 수직나사축(50)에 나사 결합 되면서 주사기(56)의 피스톤(58) 상단부를 고정하는 매스(54); A mass (54) which is screwed to the vertical screw shaft (50) and fixes the upper end of the piston (58) of the syringe (56); 상기 매스(54)의 양측을 각각 미끄럼 결합하면서 상,하판(38,40)에 고정 결합 되는 수직안내봉(52); Vertical guide rods 52 fixed to the upper and lower plates 38 and 40 while slidingly coupling both sides of the mass 54; 상기 블록(34)을 측벽(7)과 테이블(6)에 걸쳐 배치하며 구성되는 본체(4); A main body (4) configured to place the block (34) over the sidewall (7) and the table (6); 상기 측벽(7)과 테이블(6)에 각각 설치되면서 정반(10) 위의 시료로 낙하한 용액에 조명을 비추고, 용액의 형태를 제어부(16)에 영상으로 전달하는 광원(14) 및 카메라(12);로 된 접촉각 측정기에 있어서, A light source 14 and a camera installed on the side wall 7 and the table 6, respectively, illuminating the solution dropped onto the sample on the surface plate 10, and transmitting the form of the solution to the controller 16 as an image. 12) in the contact angle measuring device, 상기 블록(34)을 수평으로 전,후진시키는 수평이송부재(22)가 측벽(7)에 고정 설치되면서 테이블(6) 위에 배치되는 것을 특징으로 한 접촉각 측정기. Contact angle measuring device, characterized in that the horizontal transfer member (22) for horizontally moving forward and backward the block (34) is disposed on the table (6) while being fixed to the side wall (7). 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 수평이송부재(22)는, The horizontal transfer member 22, 상기 바디(36)를 관통하여 나사 결합하면서 수평으로 배치되는 수평나사축(26)과, A horizontal screw shaft 26 arranged horizontally while screwing through the body 36; 상기 바디(36)를 관통하여 미끄럼 결합하는 수평안내봉(28)과, A horizontal guide rod 28 sliding through the body 36 and slidingly coupled thereto; 상기 수평나사축(26) 양단부는 회전 가능하게 결합하고 수평안내봉(28) 양단부는 고정 결합하는 고정판(24,30)과, Both end portions of the horizontal screw shaft 26 are rotatably coupled and fixed plates 24 and 30 fixedly coupled to both ends of the horizontal guide rod 28; 상기 고정판(30) 외측에 위치하면서 수평나사축(26)의 일단부를 고정 결합하는 핸들(32),로 이루어지고, It is made of a handle 32, which is fixed to the one end of the horizontal screw shaft 26 while being positioned outside the fixing plate 30, 상기 수평나사축(26)과 수평안내봉(28)의 타단부를 결합한 고정판(24)은 측벽(7)에 고정 설치되는 것을 특징으로 한 접촉각 측정기. The fixing plate 24 which combines the other end of the horizontal screw shaft 26 and the horizontal guide rod 28 is fixed to the side wall (7), characterized in that the contact angle measuring device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101538236B1 (en) * 2013-12-26 2015-07-20 한국기술교육대학교 산학협력단 Measurement apparatus for contact angle of droplet
CN108614062A (en) * 2018-05-17 2018-10-02 国网山东省电力公司滨州供电公司 A kind of transformer insulated oil chromatogram analysis experiment sample introduction auxiliary device and method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0749351A (en) * 1993-08-05 1995-02-21 Aloka Co Ltd Throwaway tip and dispenser using its tip
KR100376773B1 (en) 2000-10-10 2003-03-19 미래산업 주식회사 Index machine for handler
JP2003222630A (en) 2002-01-31 2003-08-08 Sysmex Corp Liquid-sucking apparatus
JP2007003351A (en) 2005-06-23 2007-01-11 Fujifilm Holdings Corp Dispensing device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0749351A (en) * 1993-08-05 1995-02-21 Aloka Co Ltd Throwaway tip and dispenser using its tip
KR100376773B1 (en) 2000-10-10 2003-03-19 미래산업 주식회사 Index machine for handler
JP2003222630A (en) 2002-01-31 2003-08-08 Sysmex Corp Liquid-sucking apparatus
JP2007003351A (en) 2005-06-23 2007-01-11 Fujifilm Holdings Corp Dispensing device

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