KR200449200Y1 - 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛 - Google Patents

화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛 Download PDF

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Abstract

본 고안은 커넥터가 케이스에 대하여 용이하게 착탈 가능해지도록 구조가 개선되어 커넥터의 교환 시간이 단축되며 나아가 고주파 전원의 에러 발생을 방지할 수 있는 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛에 관한 것이다. 본 고안에 따른 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛은 고주파를 차단하는 필터가 내부에 내장되며, 외부로부터 필터로의 접근이 가능하도록 관통부가 측면에 관통 형성되는 케이스; 케이스의 외측면 중 관통부가 형성된 외측면에 착탈 가능하게 결합되는 브라켓; 및 브라켓에 착탈 가능하게 결합되며, 브라켓의 상기 케이스에 대한 결합시 관통부를 통하여 필터와 전기적으로 연결되는 커넥터;를 구비한다.
화학기상증착, 고주파, 필터, 코일, 커패시터(capacitor)

Description

화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛{ Filter unit for blocking RF in chemical vapor depositing device}
본 고안은 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마를 이용하여 박막을 증착하는 화학기상증착장치에 구비되어 박막증착시 인가되는 고주파의 흐름을 차단함으로써 화학기상증착장치의 성능 저하를 막고 나아가 내구성을 향상시킬 수 있는 고주파 차단용 필터유닛에 관한 것이다.
일반적으로 박막의 증착방법에는 폴리머(polymer) 및 졸-겔(sol-gel)을 이용한 스핀 온 코팅법(spin on coating), 스퍼터링(sputtering)이나 증발을 이용하는 물리증착법(PVD), 화학적 반응을 이용하는 화학기상증착법(CVD), 이온 빔(ion beam)을 이용한 증착법 및 액체 증기를 직접 증착하는 방법 등 다양한 방법이 있으며, 이 중에서 최근에는 집적도의 증가와 더불에 화학기상증착법이 널리 사용되고 있다.
화학기상증착법은 여러 가지 원료가스를 반응챔버에 주입한 후 열, 빛 또는 플라즈마 등의 에너지를 이용하여 원료가스 간의 반응을 유도함으로써 원료가스를 기판에 증착시키는 방법을 말한다. 도 1에는 종래의 일례에 따른 화학기상증착장치가 개시되어 있다.
도 1을 참조하면, 화학기상증착장치(200)는 챔버(110)와, 챔버의 내부에 배치되며 기판(s)이 안착되는 서셉터(120)와, 서셉터에 내장되며 기판을 가열하기 위한 히터(130)와, 서셉터의 상방에 배치되며 기판에 박막이 증착되도록 원료가스를 분사하는 샤워헤드(140)를 구비한다. 박막 증착시 샤워헤드(140)에는 고주파발생기(150)로부터 고주파 전원(RF Power)이 인가되어 원료가스가 플라즈마화된다. 또한, 히터(130)는 외부전원, 예를 들어 교류전원(160)과 전기적으로 연결되어 전원인가시 발열한다. 그리고, 히터(130)와 교류전원(160) 사이에는 고주파 차단용 필터유닛(100')이 전기적으로 상호 연결되어 있다.
고주파 차단용 필터유닛(100')은 인가된 고주파가 챔버(110) 외부로 흐르는 것을 방지하기 위한 것이다. 특히, 서셉터(120)가 절연체로 이루어지는 경우에는 서셉터가 쉴드 역할을 하지 못하기 때문에 고주파 차단용 필터유닛이 더욱 절실히 요구된다. 고주파 차단용 필터유닛(100')은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 측면에 관통부(11)가 관통 형성된 케이스 본체(11)와, 케이스 본체에 회전 가능하게 결합되어 케이스 본체 내부를 개방 및 폐쇄하는 커버(12)와, 케이스 본체(11) 내부에 설치되는 필터(20) 및 인쇄회로기판(21)과, 케이스 본체(11)의 외측면에 배치되는 커넥터(미도시)를 포함한다. 필터(20)는 고주파 유도를 방지하는 코일 및 고주파가 소멸되도록 접지되어 있는 커패시터를 포함하도록 구성된다. 필터(20)는 케이스 본체 내부에 설치되는 연결부(112)와 전기적으로 연결된다. 그리고, 연결 부(112)는 관통부(11)에 삽입되어 케이스 본체에 고정된 커넥터와 전기적으로 연결된다. 커넥터는 케이스 본체의 내측면쪽으로 삽입되는 볼트(B)에 의해 케이스의 외측면에 직접 접촉한 상태에서 고정된다. 커넥터에는 볼트가 체결되는 체결공(미도시)이 한쪽으로만 개방되어 있어서 볼트(B)는 케이스(10)의 내측면쪽에서 삽입될 수 밖에 없다. 또한, 커넥터는 테프론 계열의 소재로 이루어지며 사용시간에 따라 주기적으로 교환되는 소모성 부품이다.
그런데, 상술한 바와 같이 구성된 고주파 차단용 필터유닛(100')에 있어서는 케이스 본체(11)의 내측면쪽으로 삽입된 볼트(B)에 의해 커넥터가 고정되도록 구성되어 있어서, 커넥터의 교환 작업이 용이하게 이루어지기 어려운 한계가 있었다. 즉, 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 커넥터의 교환시에는 필터(20)와 케이스 본체(11) 내측면의 좁은 틈에 육각 렌치(T)를 삽입하여 볼트를 제거해야만 하므로, 볼트의 제거가 용이하지 않았다. 그리고, 동일한 이유로 인해 커넥터를 다시 결합하는 과정도 용이하게 이루어질 수 없었다.
또한, 케이스 본체(11)의 내부의 협소한 공간으로 말미암아 볼트 체결시 볼트의 체결력이 제대로 인가되지 않는 경우에는, 접촉불량으로 인하여 커넥터와 필터(20)가 제대로 전기적으로 연결되지 않게 되어 고주파 전원 에러가 발생하는 문제점도 있었다.
본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 커넥터가 케이스에 대하여 용이하게 착탈 가능해지도록 구조가 개선되어 커넥터의 교환 시간이 단축되며 나아가 고주파 전원의 에러 발생을 방지할 수 있는 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 고안에 따른 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛은 고주파를 차단하는 필터가 내부에 내장되며, 외부로부터 상기 필터로의 접근이 가능하도록 관통부가 측면에 관통 형성되는 케이스; 상기 케이스의 외측면 중 상기 관통부가 형성된 외측면에 착탈 가능하게 결합되는 브라켓; 및 상기 브라켓에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 브라켓의 상기 케이스에 대한 결합시 상기 관통부를 통하여 상기 필터와 전기적으로 연결되는 커넥터;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 고안에 따르면, 커넥터의 교환작업이 용이하게 이루어질 수 있게 되므로, 커넥터의 교환 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있게 된다.
또한, 커넥터와 필터가 상호 견고하게 연결되게 되므로, 접촉불량으로 말미암은 고주파 전원의 에러 발생을 원천적으로 방지할 수 있게 된다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 고주파 차단용 필터유닛의 개략적인 정면도이고, 도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 필터유닛에 있어서 커넥터를 교체하는 과정을 순차적으로 설명하기 위한 조립도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예의 고주파 차단용 필터유닛(100)도 종래기술에서 설명한 바와 마찬가지로 화학기상증착장치에 구비되어 고주파의 챔버 외부로의 흐름을 방지하기 위한 것이다. 다만, 본 실시예에서는 커넥터의 교환작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 구조가 개선되어 있는 바, 이하에서는 이러한 구조에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
필터유닛(100)은 케이스(10)와, 브라켓(30)과, 커넥터(40)를 구비한다.
케이스(10)는 사각형상으로 이루어진 본체(11) 및 본체에 회전 가능하게 결합되어 본체의 내부를 개폐하는 커버(12)를 포함한다. 케이스(10)의 내부에는 종래기술에서 설명한 바와 마찬가지로 필터(미도시) 및 인쇄회로기판(미도시)이 내장되어 있다. 필터는 고주파를 차단하기 위한 것이다. 필터는 외부전원, 예를 들어 교류전원과 전기적으로 연결된다. 그리고, 케이스 본체(11)의 측면에는 관통부(111)가 관통 형성되어 있다. 관통부(111)는 케이스 본체(11)의 외부로부터 케이스 내부의 필터로 접근하는 통로 역할을 한다. 그리고, 필터로의 접근은 필터에 전기적으로 연결된 한 쌍의 연결부(112)를 통하여 이루어진다. 여기서, 각 연결부(112)는 관통부(111)에 삽입되어 케이스(10)의 외측면에 대해 돌출된다.
브라켓(30)은 케이스(10)의 외측면, 특히 관통부(111)가 형성된 케이스 본체(11)의 외측면에 착탈 가능하게 결합된다. 특히, 본 실시예에서 브라켓(30)은 볼트(B1)에 의해 결합된다. 여기서, 볼트(B1)는 브라켓(30)쪽에서 먼저 삽입되어 케이스 본체(11)의 측면에 삽입되도록 체결된다. 즉, 볼트(B1)의 볼트머리는 케이스의 외부에 배치되게 된다. 그리고, 브라켓(30)에는 개방구(31)가 관통 형성되며, 브라켓(30)이 케이스(10)에 결합된 상태에서는 각 연결부(112)가 개방구(31)로 삽입된다.
커넥터(40)는 브라켓(30)에 착탈 가능하게 결합되며, 특히 본 실시예에서는 한 쌍의 볼트(B2)에 의해 착탈 가능하게 결합된다. 여기서, 볼트(B2)의 볼트머리는 브라켓(30) 및 케이스 본체(11) 사이에 배치된다. 커넥터(40)에는 볼트(B2)가 체결되는 한 쌍의 체결공(41)이 한쪽으로만 개방되도록 형성되어 있다. 커넥터(40)가 브라켓(30)에 결합되고 브라켓(30)이 다시 케이스(10)에 결합된 상태에서는, 커넥터(40)의 일측에 연결부(112)가 삽입되어 커넥터(40)와 필터(20)가 전기적으로 연결된다. 그리고, 커넥터(40)의 타측은 기판을 가열하기 위하여 화학기상증착장치에 구비되는 히터(130)와 전기적으로 연결된다. 커넥터(40)는 테프론 계열의 소재로 이루어지며 사용시간에 따라 주기적으로 교환되는 소모성 부품이므로, 커넥터(40)는 주기적으로 교환되어야 한다.
이하, 사용수명을 다한 커넥터(40)를 교환하는 과정, 즉 커넥터의 분리 및 결합 과정을 설명하기로 한다. 다만, 커넥터의 분리과정은 커넥터의 결합과정을 반대로 수행하기만 하면 되므로 커넥터의 결합과정만을 설명하기로 한다.
먼저, 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 커넥터(40)와 브라켓(30)을 볼트(B2)를 사용하여 고정한다. 그 후, 커넥터(40)가 결합된 브라켓(30)을 도 5에 도시되 어 있는 바와 같이 케이스(10)의 외측에 배치한 후에 볼트(B1)를 이용하여 브라켓(30)을 케이스 본체(11)의 외측면에 고정한다. 이 때, 볼트(B1)가 종래와 달리 케이스의 외부로부터 브라켓(30) 및 케이스 본체(11)를 순차적으로 통과하여 체결되도록 한다. 즉, 볼트머리가 케이스 외부에 배치된다. 이와 같이 브라켓(30)을 고정하게 되면, 브라켓(30)에 고정된 커넥터(40)의 일측에 연결부(112)가 삽입되어 커넥터(40) 및 케이스(10) 내부에 내장된 필터는 상호 전기적으로 연결된다.
상술한 바와 같이 본 실시예의 고주파 차단용 필터유닛(100)에 있어서는, 커넥터(40)의 결합 및 분리 과정에서 볼트(B1,B2)의 결합 및 분리가 모두 케이스(10)의 외부에서 이루어지므로, 종래와 달리 커넥터(40)의 결합 및 분리를 용이하게 할 수 있게 된다. 따라서, 커넥터(40)의 결합 및 분리시 소요되는 시간을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.
또한, 종래와 달리 볼트(B1,B2)의 체결 작업이 케이스(10)의 외부에서 이루어질 수 있게 되므로, 커넥터(40)와 필터가 제대로 연결될 정도의 볼트 체결력을 용이하게 인가할 수 있게 된다. 따라서, 종래에 발생되던 고주파 전원 에러를 원천적으로 차단할 수 있게 된다.
이상, 본 고안을 바람직한 실시예들을 들어 상세하게 설명하였으나, 본 고안은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 고안의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다.
예를 들어, 본 실시예에서는 브라켓과 케이스 및 브라켓과 커넥터가 모두 볼트결합에 의해 상호 착탈 가능하게 결합되도록 구성되어 있으나, 착탈 구조가 반드 시 볼트결합방식으로 한정되는 것은 아니다.
도 1은 종래의 일례에 따른 화학기상증착장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 고주파 차단용 필터유닛로서 내부구조를 도시한 도면이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 고주파 차단용 필터유닛의 개략적인 정면도이다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 필터유닛에 있어서 커넥터를 교체하는 과정을 순차적으로 설명하기 위한 조립도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10...케이스 20...필터
21...인쇄회로기판 30...브라켓
31...개방구 40...커넥터
100...화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛
111...관통부 112...연결부

Claims (2)

  1. 고주파를 차단하는 필터가 내부에 내장되며, 외부로부터 상기 필터로의 접근이 가능하도록 관통부가 측면에 관통 형성되는 케이스;
    상기 케이스의 외측면 중 상기 관통부가 형성된 외측면에 착탈 가능하게 결합되는 브라켓; 및
    상기 브라켓에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 브라켓의 상기 케이스에 대한 결합시 상기 관통부를 통하여 상기 필터와 전기적으로 연결되는 커넥터;를 구비하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 브라켓 및 커넥터는, 상기 브라켓 및 케이스 사이에 배치되는 볼트머리를 가지는 볼트에 의해 상호 착탈 가능하게 결합되며,
    상기 브라켓 및 케이스는, 상기 브라켓 및 케이스에 순차적으로 삽입되는 볼트에 의해 상호 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치의 고주파 차단용 필터유닛.
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Citations (3)

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JPH0751777Y2 (ja) * 1990-06-01 1995-11-22 関東自動車工業株式会社 ねじ止用シールド機能付スペーサ
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