KR200448151Y1 - Press sensor module - Google Patents

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KR200448151Y1
KR200448151Y1 KR2020070016364U KR20070016364U KR200448151Y1 KR 200448151 Y1 KR200448151 Y1 KR 200448151Y1 KR 2020070016364 U KR2020070016364 U KR 2020070016364U KR 20070016364 U KR20070016364 U KR 20070016364U KR 200448151 Y1 KR200448151 Y1 KR 200448151Y1
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김영곤
진화진
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(주)신한전기
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Abstract

본 고안은 압력센서모듈에 관한 것으로, 특히 매체 가스의 압력이 유입됨과 더불어 전원이 연결되는 케이스가 안착되는 부품의 제조에 따른 가공이 용이할 뿐만 아니라 제조비용이 절감되는 한편, 절연성이 우수하 도록 된 압력센서모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure sensor module, and in particular, not only is easy to process according to the manufacturing of the parts to which the case is connected to the power supply when the pressure of the medium gas flows in, but also the manufacturing cost is reduced, and the insulation is excellent. It relates to a pressure sensor module.

본 고안은, 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(110)와, 이 어댑터(110)의 일단에 고정되는 케이스(120)와, 상기 어댑터(110)와 케이스(120)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(110)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단(130)과, 이 압저항 센서셀(130)이 연결구성되도록 된 회로기판(140)에 연결되어 전원이 공급되도록 된 압력센서모듈에 있어서, 상기 어댑터(110)는 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브(111)와, 이 튜브(111)의 일단에 끼워져 용접되도록 드로잉 성형된 홀더(112)와, 이 홀더(112)의 상부에 돌출된 주연플랜지(112a)에 걸려서 끼워진 상태로 상기 케이스(120)를 고정하도록 된 컬링캡(113)을 포함하고, 상기 홀더(112)와 케이스(120)의 밀착면에는 오링(160)이 배치되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the adapter 110 into which the pressure of the medium gas flows in, the case 120 fixed to one end of the adapter 110, and the adapter 110 are formed in an inner space formed by the adapter 110 and the case 120. Pressure resistance connected to the piezoresistive sensing means 130 installed to measure the pressure of the medium gas flowing into the 110 and the circuit board 140 to which the piezoresistive sensor cell 130 is connected and configured to supply power. In the sensor module, the adapter 110 includes a tube 111 having a predetermined diameter into which the pressure of the medium gas flows, a holder 112 drawing-molded to be welded to one end of the tube 111, and the holder ( And a curling cap 113 configured to fix the case 120 in a state of being caught by the peripheral flange 112a protruding from the upper portion of the upper portion of the 112. An o-ring is disposed on the contact surface of the holder 112 and the case 120. Characterized in that 160 is disposed.

압력센서, 모듈, 압저항, 어댑터 Pressure Sensor, Module, Piezoresistive, Adapter

Description

압력센서모듈{PRESS SENSOR MODULE}Pressure Sensor Module {PRESS SENSOR MODULE}

본 고안은 압력센서모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 매체 가스의 압력이 유입됨과 더불어 전원이 연결되는 케이스가 안착되는 부품의 제조에 따른 가공이 용이할 뿐만 아니라 제조비용이 절감되도록 된 시스템 에어컨에 사용되는 압력센서모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure sensor module, and more particularly, to the system air conditioner, which is easy to process according to the manufacture of the parts on which the case to which the power is connected and the case to which the power is connected, is reduced and the manufacturing cost is reduced. It relates to a pressure sensor module used.

일반적으로 압력센서모듈은 차량 또는 에어컨등에 설치되어 매체 가스의 압력을 감지하여 압축기나 밸브 및 전자류의 제어를 하도록 된 것이다.In general, the pressure sensor module is installed in a vehicle or an air conditioner to detect a pressure of a medium gas to control a compressor, a valve, and an electromagnetic flow.

도 11에 종래 일실시예에 따른 압력센서모듈(1)이 도시되어 있는바, 차량의 흡입관 내 압력측정과 같이 폭넓은 응용을 위해 사용되는 예컨대 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(11)와, 이 어댑터(11)의 일단에 고정되는 케이스(12)와, 상기 어댑터(11)와 케이스(12)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(11)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 압력센서칩(13a)이 설치된 압저항 감지수단(13;압저항 센서셀)과, 이 압저항 감지수단(13)의 전기 센서 연결 엘리먼트(13b)가 끼워져 접 속되도록 된 회로기판(14)과, 이 회로기판(14)에 연결되어 전원플러그와 연결됨으로서 전원이 공급되도록 된 커넥션(15a,15b)들을 포함한다.11 shows a pressure sensor module 1 according to a conventional embodiment, an adapter 11 into which pressure of a medium gas is introduced, for example, used for a wide range of applications such as pressure measurement in a suction pipe of a vehicle; A pressure sensor chip for measuring the pressure of the medium gas flowing into the adapter 11 into an inner space formed by the case 12 and the adapter 11 and the case 12 fixed to one end of the adapter 11 ( A piezoresistive sensing means (13; piezoresistive sensor cell) provided with 13a, a circuit board 14 to which the piezoelectric resistive sensing means 13 is connected, and the electrical sensor connecting element 13b is connected; And connections 15a and 15b which are connected to the power supply 14 so as to be supplied with power.

따라서 상기 커넥션(15a,15b)들을 통해서 전원이 회로기판(14)에 공급된 상태로 상기 어댑터(11)의 관통홀(11a)로 매체 가스가 유입되어 압력이 상기 압저항 셀서셀(13)에 의해 감지되면 상기 회로기판(14)에 전달되고, 이렇게 회로기판(14)에 전달된 압력신호는 압축기나 밸브 또는 각각의 전장품을 제어하게 된다.Therefore, the medium gas flows into the through hole 11a of the adapter 11 while the power is supplied to the circuit board 14 through the connections 15a and 15b. When detected by the circuit board 14, the pressure signal transmitted to the circuit board 14 is to control the compressor or the valve or the respective electrical equipment.

그러나 이러한 압력센서모듈은 상기 어댑터(11)의 가공에 있어서 상기 케이스(12)의 안착부위와 상기 압저항 감지수단(13)의 안착부위 및 관통홀(11a)의 가공이 매우 어려워 제조비용이 고가인 결점이 있다.However, this pressure sensor module is very difficult to process the mounting portion of the case 12, the mounting portion of the piezoresistive sensing means 13 and the through hole 11a in the processing of the adapter 11, the manufacturing cost is high. There is a drawback.

또한 상기 압저항 감지수단(13)의 구성이 복잡하여 고가인 결점이 있다.In addition, the configuration of the piezoresistive sensing means 13 is complicated and expensive.

본 고안은 상기와 같은 종래의 제반 결점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 어댑터의 가공에 있어서 간단한 프레스물과 튜브를 결합하는 구조로 되어 있어서 제조가 용이함은 물론, 압저항 감지수단의 설치시 간단한 구조로 설치가 이루어지도록 된 압력센서모듈을 제공함에 제 1목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned general drawbacks, and in the processing of the adapter, it is a structure that combines a simple press with a tube, making it easy to manufacture, and a simple structure when installing the piezoresistive sensing means. The first purpose is to provide a pressure sensor module to be installed in the furnace.

본 고안은 압저항 감지수단이 베이스를 매개로 직접 설치된 회로기판에 안착되도록 설치되어 매체 가스의 압력을 감지함으로서 간단하고 제조비용이 저감되는 압력센서모듈을 제공함에 제 2목적이 있다.The present invention has a second object to provide a pressure sensor module that is simple and manufacturing cost is reduced by detecting the pressure of the medium gas is installed so that the piezoresistive sensing means is mounted on the circuit board directly installed via the base.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 압력센서모듈은, 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터와, 이 어댑터의 일단에 고정되는 케이스와, 상기 어댑터와 케이스가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단과, 이 압저항 감지수단이 연결구성되도록 된 회로기판과, 이 회로기판에 연결되어 전원이 공급되도록 하되, 상기 어댑터는 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브와, 이 튜브의 일단에 끼워져 용접되도록 드로잉 성형된 홀더와, 이 홀더의 상부에 돌출된 주연플랜지에 걸려서 끼워진 상태로 상기 케이스를 고정하도록 된 컬링캡을 포함하고, 상기 홀더와 케이스의 밀착면에는 오링이 배치되는 것을 특징으로 한다.Pressure sensor module of the present invention for achieving the above object, the adapter is introduced into the pressure of the medium gas, the case is fixed to one end of the adapter, the adapter and the inner space formed by the adapter is introduced into the adapter Piezoresistive sensing means installed to measure the pressure of the medium gas, a circuit board to which the piezoresistive sensing means is connected and configured to be connected to the circuit board so that the power is supplied, the adapter is to supply the pressure of the medium gas A tube having a predetermined diameter, a holder shaped to be welded to one end of the tube, and a curling cap configured to secure the case in a state of being caught by a peripheral flange protruding from the upper portion of the holder; The o-ring is characterized in that the contact surface is arranged.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 튜브의 양단에서 일정길이 떨어진 곳에는 튜브의 외경보다 더 큰 환형의 돌출부와, 상기 홀더의 외주면이면서 상기 컬링캡이 고정되는 곳에는 회전이 방지되도록 등각도에 돌출된 돌기가 더 구비된 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module according to the present invention has an annular protrusion larger than the outer diameter of the tube at a predetermined length away from both ends of the tube, and protrudes at an equiangular angle to prevent rotation of the curling cap while being the outer circumferential surface of the holder. Characterized in that the projection is further provided.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 컬링캡은 상기 홀더와 일체로 이루어진 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is characterized in that the curling cap is made integral with the holder.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 홀더의 중앙에는 관통구멍이 형성되고, 상기 관통구멍에 상기 튜브의 일단이 소정 길이 끼워지며, 상기 홀더로 끼워져 돌출된 튜브를 수용하도록 베이스가 상기 홀더에 고정되되, 상기 베이스의 상부면에는 상기 회로기판이 고정되고, 상기 회로기판은 본딩와이어에 의해 상기 압저항 감지수단과 연결되는 한편, 상기 베이스는 상기 홀더로 끼워져 돌출된 튜브를 수용하도록 형성된 튜브수용홈과, 이 튜브수용홈과 상기 압저항 감지수단이 안착되는 곳으로 관통형성된 압력도입공이 형성된 것을 특징으로 한다.In the pressure sensor module of the present invention, a through hole is formed in the center of the holder, one end of the tube is inserted into the through hole by a predetermined length, and the base is fixed to the holder to accommodate the tube that is inserted into the holder. The upper surface of the base is fixed to the circuit board, the circuit board is connected to the piezoresistive sensing means by a bonding wire, while the base is a tube receiving groove formed to accommodate the tube protruding into the holder and The pressure receiving hole is formed through the tube receiving groove and the piezoresistive sensing means is formed.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 튜브수용홈이 형성된 반대쪽면이면서 상기 회로기판에 본딩와이어로 안착되는 압저항 감지수단이 안착되는 위치에 일정한 깊이로 홈이 형성된 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is characterized in that the groove is formed at a predetermined depth at a position where the piezoresistive sensing means seated on the circuit board is seated on the circuit board while the tube receiving groove is formed.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 홀더의 중앙에는 관통구멍이 형성되고, 상기 관통구멍에 상기 튜브의 일단이 소정 길이 끼워지며, 상기 압저항 감지수단은 하부로 돌출된 전기 센서 연결 엘리먼트가 회로기판에 고정된 상태로 하부로 돌출되어 매체 가스의 압력이 유입되는 압력도입관가 구비되며, 상기 홀더의 관통구멍으로 끼워진 튜브의 단부에는 상기 압력도입관가 끼워지도록 축경된 압력도입관삽입부가 구비된 것을 특징으로 한다.In the pressure sensor module of the present invention, a through hole is formed in the center of the holder, one end of the tube is inserted into the through hole by a predetermined length, and the piezoresistive sensing means has an electrical sensor connection element protruding downward from the circuit board. And a pressure inlet pipe protruding downward in a fixed state in which the pressure of the medium gas flows in, and an end of the tube fitted into the through-hole of the holder is provided with a pressure inlet pipe inserter that is reduced in diameter so that the pressure inlet pipe is fitted. It is done.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 홀더의 중앙에는 상기 튜브의 일단이 소정 길이 끼워지도록 역드로잉성형된 튜브삽입홈이 형성되고, 이 튜브삽입홈을 형성하기 위해 역드로잉성형된 반대쪽에는 상기 압저항 감지수단의 압력도입관가 끼워지도록 일정높이로 돌출됨과 더불어 축경된 압력조입트삽입부가 구비된 것을 특징으로 한다.In the pressure sensor module of the present invention, a tube inserting groove formed by reverse drawing is formed at the center of the holder so that one end of the tube is inserted into a predetermined length, and the piezoresistive part is formed on the opposite side of the reverse drawing forming part to form the tube inserting groove. The pressure introduction pipe of the sensing means is projected to a certain height so as to be fitted, and the reduced diameter pressure insert insert is provided.

본 고안의 압력센서모듈은, 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터와, 이 어댑터의 일단에 고정되는 케이스와, 상기 어댑터와 케이스가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단과, 이 압저항 감지수단이 연결구성되도록 된 회로기판과, 이 회로기판에 연결되어 전원이 공급되되, 상기 어댑터는 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브와, 이 튜브의 일단에 끼워져 용접되도록 드로잉 성형된 홀더와, 이 홀더의 상부에 돌출된 주연플랜지에 연결된 상태로 상기 케이스를 고정하도록 된 컬링캡을 포함하고, 상기 홀더의 중앙에는 일정한 두께로 구성된 베이스가 안착되되, 상기 베이스의 상부면 중심에는 압저항 감지수단의 하부로 돌출된 압력도입관이 상기 베이스의 하부와 연통되도록 끼워진 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is installed to measure the pressure of the medium gas flowing into the adapter into the adapter, the case into which the pressure of the medium gas is introduced, the case fixed to one end of the adapter, and the inner space formed by the adapter and the case. A piezoresistive sensing means, a circuit board to which the piezoresistive sensing means is connected, and a power supply connected to the circuit board, wherein the adapter includes a tube having a predetermined diameter into which the pressure of the medium gas flows, And a curling cap configured to fix the case in a state connected to a peripheral flange protruding from the upper portion of the holder, the holder being formed and molded to be welded at one end, and a base having a predetermined thickness is seated at the center of the holder, In the center of the upper surface of the base so that the pressure induction pipe protruding to the lower portion of the piezoresistive sensing means to communicate with the lower portion of the base It characterized in that the updated.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 베이스는 절연체로 이루어진 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is characterized in that the base is made of an insulator.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 홀더의 중앙에는 관통구멍이 형성되고, 상기 관통구멍에 상기 튜브의 일단이 소정 길이 끼워지며, 상기 홀더로 끼워져 돌출된 튜브를 수용하도록 베이스가 상기 홀더에 안착되되, 상기 베이스는 상기 홀더로 끼워져 돌출된 튜브를 수용하도록 형성된 튜브수용홈과, 상기 베이스의 상부면 중심에는 압저항 감지수단의 하부로 돌출된 압력도입관이 끼워져 상기 튜브와 연통되도록 압력도입공을 갖춘 것을 특징으로 한다.In the pressure sensor module of the present invention, a through hole is formed in the center of the holder, one end of the tube is inserted into the through hole by a predetermined length, and the base is seated on the holder to accommodate the protruding tube inserted into the holder. The base includes a tube receiving groove formed to accommodate the protruding tube inserted into the holder, and a pressure introduction tube protruding downward from the piezoresistive sensing means in the center of the upper surface of the base to communicate with the tube. Characterized in having.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 튜브의 단부에서 일정길이 떨어진 곳에는 튜브의 외경보다 더 큰 환형의 돌출부를 갖춘 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is characterized by having an annular protrusion larger than the outer diameter of the tube at a predetermined length away from the end of the tube.

본 고안의 압력센서모듈은, 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터와, 이 어댑터의 일단에 고정되는 케이스와, 상기 어댑터와 케이스가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단과, 이 압저항 감지수단이 연결구성되도록 된 회로기판과, 이 회로기판에 연결되어 전원이 공급되되, 상기 압저항 감지수단은, 상기 회로기판의 상부면에 장착구성된 베이스와, 이 베이스의 상부면 중심에 안착된 센서와, 이 센서의 하부에 베이스와 회로기판을 관통하여 상기 어댑터의 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브와 연통되도록 설치된 압력도입관과, 이 베이스와 회로기판을 관통하여 상기 압력도입관과 평행하게 설치된 다수개의 리이드선과, 각각의 상기 리이드선과 상기 센서와 연 결되는 본딩와이어와, 상기 베이스에 안착되어 상기 센서와 리이드선 및 본딩와이어를 보호하도록 설치된 캡과, 상기 센서와 튜브는 베이스에 구비된 절연부에 의해 베이스와 접촉하여 전기가 통하지 않도록 설치된 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is installed to measure the pressure of the medium gas flowing into the adapter into the adapter, the case into which the pressure of the medium gas is introduced, the case fixed to one end of the adapter, and the inner space formed by the adapter and the case. A piezoresistive sensing means, a circuit board on which the piezoresistive sensing means is connected, and a power supply connected to the circuit board, wherein the piezoresistive sensing means comprises: a base mounted on an upper surface of the circuit board; A pressure inlet pipe installed in the center of the upper surface of the base, a pressure inlet pipe installed under the sensor so as to communicate with a tube having a predetermined diameter through which the pressure of the medium gas of the adapter flows through the base and the circuit board; A plurality of lead wires penetrating the circuit board and installed in parallel with the pressure introducing pipe, and bonding of the lead wires to the sensors And after the cap is installed is mounted on the base so as to protect the sensor and the lead wire and the bonding wires and the sensor and the tube is characterized by an insulation portion provided at the base power is provided so that passing through in contact with the base.

본 고안의 압력센서모듈은, 각각의 상기 리이드선은 상기 베이스에 구비된 절연부에 의해 베이스와 접촉하여 전기가 통하지 않도록 설치된 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is characterized in that each of the lead wire is installed so that the electricity is not in contact with the base by the insulating portion provided in the base.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 센서가 절연부에 의해 안착될 때 센서받침판에 의해 평탄도가 유지되도록 안착된 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is characterized in that it is seated so that the flatness is maintained by the sensor support plate when the sensor is seated by the insulation.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 절연부와 센서받침판의 재질은 글라스실링 또는 세라믹 중 적어도 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention is characterized in that the material of the insulating portion and the sensor support plate is made of at least one of glass sealing or ceramic.

본 고안의 압력센서모듈은, 상기 센서는 하부는 내열성유리부로 이루어지고, 상부는 반도체칩으로 이루어진 구조로 된 것을 특징으로 한다.The pressure sensor module of the present invention, the sensor is characterized in that the lower portion is made of a heat-resistant glass, the upper portion is made of a semiconductor chip.

이상 설명한 바와 같이 본 고안에 의하면, 어댑터의 가공에 있어서 간단한 프레스물과 튜브를 결합하는 구조로 되어 있어서 제조가 용이함은 물론, 압저항 감지수단의 설치시 간단한 구조로 설치가 이루어지는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, in the processing of the adapter, a simple press object and a tube are combined to facilitate manufacturing, and the installation of the piezoresistive sensing means has a simple structure.

본 고안에 의하면, 압저항 감지수단이 베이스를 매개로 직접 설치된 회로기판에 안착되도록 설치되어 매체 가스의 압력을 감지함으로서 간단하고 제조비용이 저감되는 압력센서모듈을 제공할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the piezoresistive sensing means is installed to be seated on a circuit board directly installed through a base, thereby detecting a pressure of a medium gas, thereby providing a pressure sensor module that is simple and reduces manufacturing costs.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 압력센서모듈를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a pressure sensor module according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 고안의 1실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도이고, 도 2는 도 1의 튜브와 홀더의 조립 상태 사시도이며, 도 3은 도 2의 종단면도이고, 도 4는 도 2의 평면도이다.1 is a longitudinal cross-sectional view of the pressure sensor module according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of the assembly state of the tube and the holder of Figure 1, Figure 3 is a longitudinal cross-sectional view of Figure 2, Figure 4 Top view.

본 고안의 압력센서모듈은 도 1에 도시된 바와 같이, 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(110)와, 이 어댑터(110)의 일단에 고정되는 케이스(120)와, 상기 어댑터(110)와 케이스(120)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(110)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단(130;압저항 센서셀)과, 이 압저항 감지수단(130)이 연결구성되도록 된 회로기판(140)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the pressure sensor module according to the present invention includes an adapter 110 into which pressure of a medium gas is introduced, a case 120 fixed to one end of the adapter 110, and the adapter 110. Piezoresistive sensing means (130; piezoresistive sensor cell) installed to measure the pressure of the medium gas flowing into the adapter 110 in the inner space formed by the case 120, the piezoresistive sensing means 130 is connected The circuit board 140 is included.

여기서 상기 회로기판(140)에 연결되어 전원플러그와 연결됨으로서 전원이 공급되도록 된 커넥션(150)을 설치할 수 있다.Here, the connection 150 connected to the circuit board 140 and connected to the power plug may be installed to supply power.

본 고안의 요부로서 상기 어댑터(110)는, 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브(111)와, 이 튜브(111)의 일단에 끼워져 용접되도록 드로잉 성형된 홀더(112)와, 이 홀더(112)의 상부에 돌출된 주연플랜지(112a)에 걸려서 끼워진 상태로 상기 케이스(120)를 고정하도록 된 컬링캡(113)을 포함한다.As an essential part of the present invention, the adapter 110 includes a tube 111 having a predetermined diameter into which the pressure of the medium gas flows, a holder 112 which is formed and molded to be welded to one end of the tube 111, and the holder. And a curling cap 113 configured to fix the case 120 in a state of being caught by the peripheral flange 112a protruding from the upper portion of the 112.

따라서 상기 어댑터(110)의 가공에 있어서 간단한 프레스물인 홀더(112)와 컬링캡(113)과 관부재인 튜브(111)를 결합하는 구조로 되어 있어서 제조가 용이하 다.Therefore, in the processing of the adapter 110 has a structure that combines the holder 112, the curling cap 113, and the tube member 111, which is a simple press, and is easy to manufacture.

그리고 상기 홀더(112)와 케이스(120)의 밀착면에는 오링(160)이 배치되는 것이 실링을 위해 바람직함은 물론이다.And it is preferable that the O-ring 160 is disposed on the contact surface of the holder 112 and the case 120 for the sealing.

또한 상기 튜브(111)의 양단에서 일정길이 떨어진 곳에는 튜브(111)의 외경보다 더 큰 환형의 돌출부(111a)와, 상기 홀더(112)의 외주면이면서 상기 컬링캡(113)이 고정되는 곳에는 회전이 방지되도록 등각도에 돌출된 돌기(112b)가 더 구비된다.In addition, a predetermined length away from both ends of the tube 111 is an annular protrusion 111a larger than the outer diameter of the tube 111 and the outer peripheral surface of the holder 112 while the curling cap 113 is fixed. The protrusion 112b is further provided at an isometric angle to prevent rotation.

상기 돌출부(111a)는 상기 홀더(112)의 위치를 결정함은 물론, 상기 튜브(111)의 삽입 깊이를 결정하게 된다.The protrusion 111a determines the insertion position of the tube 111 as well as determining the position of the holder 112.

한편 상기 컬링캡(113)은 상기 케이스(120)와 결합이 용이하도록 두께가 얇고 연성이 좋은 재질을 사용하여 제조하고 있으며, 상기 홀더(112)와 일체로 이루어질 수 있음은 물론이고, 또 상기 컬링캡(113)은 케이스(120)에 먼져 끼워진 상태로 홀더(112)와 고정할 수 있음은 물론이다.On the other hand, the curling cap 113 is manufactured using a thin material and good ductility material so as to be easily coupled with the case 120, and of course, it can be made integrally with the holder 112, the curling The cap 113 may be fixed to the holder 112 in a state of being fitted away from the case 120.

또한 상기 홀더(112)의 중앙에는 관통구멍(112c)이 형성되고, 상기 관통구멍(112c)에 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지며, 상기 홀더(112)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 베이스(170)가 상기 홀더(112)에 고정되되, 상기 베이스(170)의 상부면에는 상기 회로기판(140)이 고정되고, 상기 회로기판(140)은 본딩와이어(180)에 의해 상기 압저항 감지수단(130)와 연결되는 한편, 상기 베이스(170)는 상기 홀더(120)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 형성된 튜브수용홈(171)과, 이 튜브수용홈과 상기 압저항 감지수단(130)이 안착되는 곳으로 관 통형성된 압력도입공(172)이 형성된다.In addition, a through hole 112c is formed in the center of the holder 112, one end of the tube 111 is fitted into the through hole 112c by a predetermined length, and the tube 111 protrudes into the holder 112. The base 170 is fixed to the holder 112 so as to accommodate the circuit board 140. The circuit board 140 is fixed to the upper surface of the base 170, and the circuit board 140 is connected to the bonding wire 180. The base 170 is connected to the piezoresistive sensing means 130, and the tube accommodation groove 171 is formed to accommodate the tube 111 protruding into the holder 120 and the tube accommodation groove. The pressure introduction hole 172 is formed through the piezoresistive sensing means 130 is seated.

따라서 상기 베이스(170)와 회로기판(140) 및 본딩와이어(180)를 이용하여 매체의 압력을 감지할 수 있도록 상기 압저항 감지수단(130)을 직접 설치할 수 있어서 상기 압저항 감지수단(130)의 구성이 복잡할 필요가 없게 되므로 상기 압저항 감지수단(130)의 제조비용이 저렴하게 된다.Therefore, the piezoresistive sensing means 130 may be directly installed to detect the pressure of the medium by using the base 170, the circuit board 140, and the bonding wire 180. Since the configuration does not need to be complicated, the manufacturing cost of the piezoresistive sensing means 130 becomes low.

또 상기 튜브수용홈(171)이 형성된 반대쪽면이면서 상기 회로기판(140)에 본딩와이어(180)로 안착되는 압저항 감지수단(130)이 안착되는 위치에 일정한 깊이로 홈(173)이 형성된다.In addition, the groove 173 is formed at a predetermined depth at the position where the piezoresistive sensing means 130 seated on the circuit board 140 as the bonding wire 180 is seated on the opposite side where the tube accommodating groove 171 is formed. .

따라서 상기 홈(173)에 의해 상기 압저항 감지수단(130)을 안착시킬 수 있어서 압력을 감지하기 용이하도록 설치할 수 있다.Accordingly, the piezoresistive sensing means 130 may be seated by the groove 173, and thus may be installed to easily detect pressure.

도 5는 본 고안의 2실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도이고, 도 6은 도 5의 튜브와 홀더의 조립 상태 사시도로서, 본 고안의 2실시예에 따른 압력센서모듈은, 1실시예의 상기 홀더(112)의 중앙에는 관통구멍(112c)이 형성되고, 상기 관통구멍(112c)에 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지며, 상기 압저항 감지수단(130)은 하부로 돌출된 리이드핀(131)가 회로기판(140)에 고정된 상태로 하부로 돌출되어 매체 가스의 압력이 유입되는 압력도입관(132)가 구비되며, 상기 홀더(112)의 관통구멍(112c)으로 끼워진 튜브(111)의 단부에는 상기 압력도입관(132)가 끼워지도록 축경된 압력도입관삽입부(111b)가 구비된다.5 is a longitudinal sectional view of the pressure sensor module according to the second embodiment of the present invention, Figure 6 is a perspective view of the assembly state of the tube and the holder of Figure 5, the pressure sensor module according to the second embodiment of the present invention, A through hole 112c is formed in the center of the holder 112, one end of the tube 111 is fitted into the through hole 112c by a predetermined length, and the piezoresistive detecting means 130 protrudes downward. The lead pin 131 is protruded downward while the pin 131 is fixed to the circuit board 140, and is provided with a pressure introduction pipe 132 through which the pressure of the medium gas flows, and inserted into the through hole 112c of the holder 112. An end portion of the tube 111 is provided with a pressure introducing pipe inserting portion 111b which is reduced in diameter so that the pressure introducing pipe 132 is fitted therein.

따라서 상기 압력도입관(132)이 끼워지도록 축경된 압력도입관삽입부(111b)를 별도로 제작할 필요 없이 상기 튜브(111)에 일체로 형성됨으로서 제조가 간단하 고 조립이 용이하게 되므로 제조비용도 저렴하게 된다.Therefore, since the pressure introducing pipe 132 is formed integrally with the tube 111 without the need to separately manufacture the reduced pressure introducing pipe inserting portion 111b, the manufacturing cost is low because the manufacturing is simple and easy to assemble. Done.

도 7은 본 고안의 3실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도이고, 도 8은 도 7의 튜브와 홀더의 조립 상태 사시도로서, 1실시예의 상기 홀더(112)의 중앙에는 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지도록 역드로잉성형된 튜브삽입홈(112d)이 형성되고, 이 튜브삽입홈(112d)을 형성하기 위해 역드로잉성형된 반대쪽에는 상기 압저항 감지수단(130)의 압력도입관(132)이 끼워지도록 일정높이로 돌출됨과 더불어 축경된 압력조입트삽입부(112e)가 구비된다.7 is a longitudinal cross-sectional view of the pressure sensor module according to the third embodiment of the present invention, Figure 8 is a perspective view of the assembly state of the tube and the holder of Figure 7, the center of the holder 112 of the embodiment of the tube 111 A tube insertion groove 112d is formed to be reverse-drawn so that one end of the tube is inserted into a predetermined length, and a pressure introduction tube of the piezoresistive sensing means 130 is formed on the opposite side of the reverse drawing portion to form the tube insertion groove 112d. 132 is protruded to a certain height so as to be fitted with a reduced pressure injection insert 112e is provided.

또한 상기 압력도입관(132)이 끼워지도록 축경된 압력조입트삽입부(112e)가 별도로 제작할 필요 없이 상기 홀더(112)에 의해 일체로 형성됨으로서 제조가 간단하고 조립이 용이히게 되므로 제조비용도 저렴하게 된다.In addition, since the pressure inserting insert 112e which is reduced in diameter so that the pressure introducing pipe 132 is fitted is formed integrally by the holder 112 without being manufactured separately, the manufacturing cost is low because the manufacturing is simple and assembly is easy. Done.

또한 도 9는 본 고안의 4실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도로서, 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(110)와, 이 어댑터(110)의 일단에 고정되는 케이스(120)와, 상기 어댑터(110)와 케이스(120)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(110)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단(130)과, 이 압저항 감지수단(130)이 연결구성되도록 된 회로기판(140)과, 이 회로기판(140)에 연결되어 전원이 공급되도록 된 구성되되, 상기 어댑터(110)는 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브(111)와, 이 튜브(111)의 일단에 끼워져 용접되도록 드로잉 성형된 홀더(112)와, 이 홀더(112)의 상부에 돌출된 주연플랜지(112a)에 연결된 상태로 상기 케이스(120)를 고정하도록 된 컬링캡(113)을 포함하고, 상기 홀더(112)의 중앙에는 일정한 두께로 구성된 절연체인 베이스(170)가 안착되되, 상기 베이스(170)의 상부면 중심에는 압저항 감지수단(130)의 하부로 돌출된 압력도입관(132)이 상기 베이스(170)의 하부와 연통되도록 끼워져 있다.9 is a longitudinal sectional view of the pressure sensor module according to the fourth embodiment of the present invention, an adapter 110 into which the pressure of the medium gas is introduced, a case 120 fixed to one end of the adapter 110, and The piezoresistive sensing means 130 installed to measure the pressure of the medium gas flowing into the adapter 110 in the inner space formed by the adapter 110 and the case 120 and the piezoresistive sensing means 130 are connected to each other. The circuit board 140 is configured to be connected to the circuit board 140 to supply power. The adapter 110 includes a tube 111 having a predetermined diameter into which the pressure of the medium gas flows, and the tube. A curling cap 113 configured to fix the case 120 in a state of being connected to a holder 112 that is inserted and welded into one end of the 111 and a peripheral flange 112a protruding from the upper part of the holder 112. In the center of the holder 112 is an insulator composed of a constant thickness The base 170 is seated, but the center of the upper surface of the base 170 is fitted so that the pressure induction pipe 132 protruding downward of the piezoresistive sensing means 130 communicates with the lower portion of the base 170.

여기서 상기 홀더(112)의 중앙에는 관통구멍(112c)이 형성되고, 상기 관통구멍(112c)에 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지며, 상기 홀더(112)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 베이스(170)가 상기 홀더(112)에 안착되되, 상기 베이스(170)는 상기 홀더(120)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 형성된 튜브수용홈(171)과, 상기 베이스(170)의 상부면 중심에는 압저항 감지수단(130)의 하부로 돌출된 압력도입관(132)이 끼워져 상기 튜브(111)와 연통되도록 압력도입공(172)을 갖추고 있다.Here, a through hole 112c is formed in the center of the holder 112, and one end of the tube 111 is fitted into the through hole 112c by a predetermined length, and the tube 111 protrudes into the holder 112. The base 170 is seated in the holder 112 to receive the base, the base 170 is a tube accommodating groove 171 formed to accommodate the tube 111 protruding into the holder 120, and the At the center of the upper surface of the base 170, the pressure introduction pipe 132 protruding to the lower portion of the piezoresistive detection means 130 is fitted to communicate with the tube 111.

그리고 상기 튜브(111)의 단부에서 일정길이 떨어진 곳에는 튜브(111)의 외경보다 더 큰 환형의 돌출부(111a)를 갖추고 있다.And a predetermined length away from the end of the tube 111 is provided with an annular projection (111a) larger than the outer diameter of the tube (111).

따라서 상기 베이스(170)가 설치되어 상기 압저항감지수단(130)의 설치가 용이함은 물론, 상기 베이스(170)가 절연체로 구성되어 있기 때문에 상기 튜브(111)로 전달되는 노이즈등이 상기 압저항감지수단(130)으로 전달되지 않도록 차단하게 되므로 상기 압저항감지수단(130)의 수명을 연장시킬 수 있다.Therefore, the base 170 is installed to facilitate the installation of the piezoresistive sensing means 130, and since the base 170 is formed of an insulator, noise transmitted to the tube 111 may be the piezoresistive. Since it is blocked from being transmitted to the sensing means 130, the life of the piezoresistive sensing means 130 can be extended.

한편, 도 10은 본 고안의 5실시예에 따른 압저항감지수단(130)의 개략적인 설명도로서, 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(110)와, 이 어댑터(110)의 일단에 고정되는 케이스(120)와, 상기 어댑터(110)와 케이스(120)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(110)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단과, 이 압저항 감지수단(130)이 연결구성되도록 된 회로기판(140)과, 이 회 로기판(140)에 연결되어 전원이 공급되되, 상기 압저항 감지수단(200)은, 상기 회로기판(140)의 상부면에 장착구성된 베이스(210)와, 이 베이스의 상부면 중심에 안착된 센서(220)와, 이 센서의 하부에 베이스와 회로기판을 관통하여 상기 어댑터(110)의 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브(111)와 연통되도록 설치된 압력도입관(230)과, 이 베이스와 회로기판을 관통하여 상기 압력도입관과 평행하게 설치된 다수개의 리이드선(240)과, 각각의 상기 리이드선과 상기 센서와 연결되는 본딩와이어(250)와, 상기 베이스에 진공상태로 안착되어 상기 센서와 리이드선 및 본딩와이어를 보호하도록 설치된 캡(260)과, 상기 센서와 튜브는 베이스에 구비된 절연부(270)에 의해 베이스와 접촉하여 전기가 통하지 않도록 설치된 것을 특징으로 한다.On the other hand, Figure 10 is a schematic explanatory view of the piezoresistive sensing means 130 according to the fifth embodiment of the present invention, the adapter 110 is introduced into the pressure of the medium gas, and is fixed to one end of the adapter 110 Piezoresistive sensing means installed to measure the pressure of the medium gas flowing into the adapter 110 in the case 120, the inner space formed by the adapter 110 and the case 120, and the piezoresistive sensing means 130 ) Is connected to the circuit board 140 and the circuit board 140, the power is supplied, the piezoresistive sensing means 200 is mounted on the upper surface of the circuit board 140 A tube of a predetermined diameter into which the pressure of the medium gas of the adapter 110 flows through the base 210, the sensor 220 seated at the center of the upper surface of the base, and the base and the circuit board below the sensor. Through the pressure introduction pipe 230 and the base and the circuit board installed to communicate with the 111 And a plurality of lead wires 240 installed in parallel with the pressure introducing pipe, bonding wires 250 connected to the lead wires and the sensors, and are vacuum-seated on the base, and the sensor and lead wires and bonding. Cap 260 is installed to protect the wire, and the sensor and the tube is characterized in that it is installed so that the electricity is not in contact with the base by the insulating portion 270 provided in the base.

여기서 각각의 상기 리이드선(240)은 상기 베이스(210)에 구비된 절연부(280)에 의해 베이스(210)와 접촉하여 전기가 통하지 않도록 설치된 것을 특징으로 한다.In this case, each of the lead wires 240 is characterized in that it is installed so that the electricity is not in contact with the base 210 by the insulating portion 280 provided in the base 210.

그리고 상기 센서(220)가 절연부(270)에 의해 베이스(210)에 일정한 깊이로 안착될 때 센서받침판(290)에 의해 평탄도가 유지되도록 안착된 것을 특징으로 한다.And the sensor 220 is characterized in that it is seated so that the flatness is maintained by the sensor support plate 290 when seated to the base 210 by a predetermined depth by the insulating portion 270.

또한 상기 절연부와 센서받침판의 재질은 글라스실링 또는 세라믹 중 적어도 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the material of the insulating portion and the sensor support plate is characterized in that made of at least one of glass sealing or ceramic.

한편 상기 센서(220)는 하부는 내열성유리부(221)로 이루어지고, 상부는 반도체칩(222)으로 이루어지며, 상기 내열성유리부(221)에는 상기 압력도입관(230)으 로 유입된 가스가 센서로 안내되는 벤트홀(221a)이 형성되어 있다.On the other hand, the sensor 220, the lower portion is made of a heat-resistant glass portion 221, the upper portion is made of a semiconductor chip 222, the gas introduced into the heat-resistant glass portion 221 into the pressure introducing pipe 230. The vent hole 221a through which the sensor is guided is formed.

상기 베이스(210)와 캡(260)은 본 실시예에서는 원형으로 이루어지는 것이 바람직하고, 또 상기 리이드선(240)은 본 실시예에서는 60도 간격으로 설치되어 있다.The base 210 and the cap 260 preferably have a circular shape in this embodiment, and the lead wire 240 is provided at an interval of 60 degrees in this embodiment.

따라서 상기 압력도입관(230)으로 들어오는 노이즈가 상기 절연부(270)와 내열성유리부(221)에 의해 차단되어 상기 센서(222)로 전달되는 것을 방지하게 되므로 상기 센서(222)의 수명이 길게 된다.Therefore, since the noise coming into the pressure introducing pipe 230 is blocked by the insulating part 270 and the heat resistant glass part 221 to prevent the sensor 222 from being transmitted, the life of the sensor 222 is long. do.

또한 상기 리이드선(240)이 절연부(280)에 의해 베이스(210)에 안착되어 있어서 상기 본딩와이어(250)를 통해 센서(220)로 노이즈가 전달되는 것을 방지하게 되므로 센서의 수명이 단축되지 않는다.In addition, since the lead wire 240 is seated on the base 210 by the insulator 280 to prevent noise from being transmitted to the sensor 220 through the bonding wire 250, the life of the sensor is not shortened. Do not.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 고안의 일 실시예는 본 고안의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 고안의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호범위에 속하게 될 것이다.An embodiment of the present invention described above and illustrated in the drawings should not be construed as limiting the technical spirit of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art can change and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention as long as it will be apparent to those skilled in the art.

도 1은 본 고안의 1실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도,1 is a longitudinal sectional view of a pressure sensor module according to an embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 튜브와 홀더의 조립 상태 사시도,2 is an assembled perspective view of the tube and the holder of FIG.

도 3은 도 2의 종단면도,3 is a longitudinal cross-sectional view of FIG.

도 4는 도 2의 평면도,4 is a plan view of FIG.

도 5는 본 고안의 2실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도Figure 5 is a longitudinal cross-sectional view of the pressure sensor module according to an embodiment of the present invention

도 6은 도 5의 튜브와 홀더의 조립 상태 사시도,6 is an assembled perspective view of the tube and the holder of FIG.

도 7은 본 고안의 3실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도,7 is a longitudinal sectional view of a pressure sensor module according to an embodiment of the present invention;

도 8은 도 7의 튜브와 홀더의 조립 상태 사시도,8 is an assembled perspective view of the tube and the holder of FIG.

도 9는 본 고안의 4실시예에 따른 압력센서모듈의 종단면도,9 is a longitudinal sectional view of a pressure sensor module according to a fourth embodiment of the present invention;

도 10은 본 고안의 5실시예에 따른 압저항감지수단의 개략적인 설명도,10 is a schematic explanatory diagram of a piezoresistive sensing means according to a fifth embodiment of the present invention;

도 11은 종래 압력센서모듈의 종단면도이다.11 is a longitudinal sectional view of a conventional pressure sensor module.

<도면부호의 간략한 설명><Brief Description of Drawings>

110 어댑터 111 튜브110 Adapter 111 Tube

112 홀더 113 컬링캡112 Holder 113 Curling Cap

120 케이스 130 압저항 감지수단120 case 130 piezoresistor

131 전기 센서 연결 엘리멘트 132 압력도입관131 Electrical sensor connection element 132 Pressure introduction tube

140 회로기판 150 커넥션140 Circuit Board 150 Connections

160 오링 170 베이스160 O-Ring 170 Base

171 튜브수용홈 172 압력도입공171 Tube receiving groove 172 Pressure introduction hole

173 홈 180 본딩와이어173 Groove 180 Bonding Wire

200 압저항감지수단 210 베이스200 Piezoresistive Means 210 Base

220 센서 230 압력도입관220 Sensor 230 Pressure Induction Pipe

240 리이드선 250 본딩와이어240 Lead Wire 250 Bonding Wire

260 캡 270,280 절연부260 Cap 270,280 Insulation

290 센서받침판290 Sensor Base

Claims (16)

삭제delete 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(110)와, 이 어댑터(110)의 일단에 고정되는 케이스(120)와, 상기 어댑터(110)와 케이스(120)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(110)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단(130)과, 이 압저항 감지수단(130)이 연결구성되도록 된 회로기판(140)과, 이 회로기판(140)에 연결되어 전원이 공급되도록 된 압력센서모듈에 있어서,The adapter 110 into which the pressure of the medium gas is introduced, the case 120 fixed to one end of the adapter 110, and the adapter 110 in an inner space formed by the adapter 110 and the case 120. Piezoresistive sensing means 130 installed to measure the pressure of the inflowing medium gas, the circuit board 140 to be connected to the piezoresistive sensing means 130, and the power is connected to the circuit board 140 In the pressure sensor module to be supplied, 상기 어댑터(110)는 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브(111)와, 이 튜브(111)의 일단에 끼워져 용접되도록 드로잉 성형된 홀더(112)와, 이 홀더(112)의 상부에 돌출된 주연플랜지(112a)에 걸려서 끼워진 상태로 상기 케이스(120)를 고정하도록 된 컬링캡(113)을 포함하고,The adapter 110 may include a tube 111 having a predetermined diameter into which the pressure of the medium gas flows, a holder 112 formed and molded to be welded to one end of the tube 111, and an upper portion of the holder 112. And a curling cap 113 configured to fix the case 120 in a state of being caught by the protruding peripheral flange 112a, 상기 홀더(112)와 케이스(120)의 밀착면에는 오링(160)이 배치되며,O-ring 160 is disposed on the contact surface of the holder 112 and the case 120, 상기 튜브(111)의 양단에서 일정길이 떨어진 곳에는 튜브(111)의 외경보다 더 큰 환형의 돌출부(111a)와,At a predetermined length away from both ends of the tube 111, an annular protrusion 111a larger than the outer diameter of the tube 111, 상기 홀더(112)의 외주면이면서 상기 컬링캡(113)이 고정되는 곳에는 회전이 방지되도록 등각도에 돌출된 돌기(112b)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.Pressure sensor module, characterized in that the outer peripheral surface of the holder 112, where the curling cap 113 is fixed is further provided with a projection (112b) protruding at an angle to prevent rotation. 삭제delete 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 홀더(112)의 중앙에는 관통구멍(112c)이 형성되고, 상기 관통구멍(112c)에 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지며,A through hole 112c is formed in the center of the holder 112, and one end of the tube 111 is fitted into the through hole 112c by a predetermined length. 상기 홀더(112)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 베이스(170)가 상기 홀더(112)에 고정되되, 상기 베이스(170)의 상부면에는 상기 회로기판(140)이 고정되고, 상기 회로기판(140)은 본딩와이어(180)에 의해 상기 압저항 감지수단(130)와 연결되는 한편,The base 170 is fixed to the holder 112 so as to accommodate the tube 111 protruding from the holder 112, and the circuit board 140 is fixed to the upper surface of the base 170. The circuit board 140 is connected to the piezoresistive sensing means 130 by a bonding wire 180, 상기 베이스(170)는 상기 홀더(120)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 형성된 튜브수용홈(171)과, 이 튜브수용홈과 상기 압저항 감지수단(130)이 안착되는 곳으로 관통형성된 압력도입공(172)이 형성된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.The base 170 penetrates through the tube receiving groove 171 formed to accommodate the tube 111 protruding into the holder 120 and the tube receiving groove and the piezoresistive sensing means 130. Pressure sensor module characterized in that the formed pressure introduction hole 172 is formed. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 튜브수용홈(171)이 형성된 반대쪽면이면서 상기 회로기판(140)에 본딩와이어(180)로 안착되는 압저항 감지수단(130)이 안착되는 위치에 일정한 깊이로 홈(173)이 형성된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.The groove 173 is formed at a predetermined depth at a position where the tube resistance groove 171 is formed and the piezoresistive sensing means 130 seated on the circuit board 140 as a bonding wire 180 is seated on the circuit board 140. Pressure sensor module. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 홀더(112)의 중앙에는 관통구멍(112c)이 형성되고, 상기 관통구멍(112c)에 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지며,A through hole 112c is formed in the center of the holder 112, and one end of the tube 111 is fitted into the through hole 112c by a predetermined length. 상기 압저항 감지수단(130)은 하부로 돌출된 리이드핀(131)이 회로기판(140)에 고정된 상태로 하부로 돌출되어 매체 가스의 압력이 유입되는 압력도입관(132)이 구비되며,The piezoresistive sensing means 130 is provided with a pressure inlet pipe 132 through which the lead pin 131 protruding downward protrudes downward while being fixed to the circuit board 140 to introduce the pressure of the medium gas. 상기 홀더(112)의 관통구멍(112c)으로 끼워진 튜브(111)의 단부에는 상기 압력도입관(132)가 끼워지도록 축경된 압력도입관삽입부(111b)가 구비된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.Pressure sensor module, characterized in that the pressure inlet pipe insertion portion 111b is reduced in diameter so that the pressure inlet pipe 132 is fitted at the end of the tube 111 fitted into the through hole 112c of the holder 112. . 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 홀더(112)의 중앙에는 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지도록 역드로잉성형된 튜브삽입홈(112d)이 형성되고, 이 튜브삽입홈(112d)을 형성하기 위해 역드로잉성형된 반대쪽에는 상기 압저항 감지수단(130)의 압력도입관(132)이 끼워지도록 일정높이로 돌출됨과 더불어 축경된 압력조입트삽입부(112e)가 구비된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.In the center of the holder 112, a tube inserting groove 112d is formed to be reverse-drawn so that one end of the tube 111 is inserted into a predetermined length, and the reverse side is reverse-drawn to form the tube inserting groove 112d. The pressure sensor module, characterized in that the pressure injection pipe insertion portion 112e is provided with a reduced diameter as well as protrudes to a certain height so that the pressure introduction pipe 132 of the piezoresistive detection means 130 is fitted. 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(110)와, 이 어댑터(110)의 일단에 고정 되는 케이스(120)와, 상기 어댑터(110)와 케이스(120)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(110)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단(130)과, 이 압저항 감지수단(130)이 연결구성되도록 된 회로기판(140)과, 이 회로기판(140)에 연결되어 전원이 공급되도록 된 압력센서모듈에 있어서,The adapter 110 into which the pressure of the medium gas is introduced, the case 120 fixed to one end of the adapter 110, and the adapter 110 in an inner space formed by the adapter 110 and the case 120. Piezoresistive sensing means 130 installed to measure the pressure of the inflowing medium gas, the circuit board 140 to be connected to the piezoresistive sensing means 130, and the power is connected to the circuit board 140 In the pressure sensor module to be supplied, 상기 어댑터(110)는 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브(111)와, 이 튜브(111)의 일단에 끼워져 용접되도록 드로잉 성형된 홀더(112)와, 이 홀더(112)의 상부에 돌출된 주연플랜지(112a)에 연결된 상태로 상기 케이스(120)를 고정하도록 된 컬링캡(113)을 포함하고,The adapter 110 may include a tube 111 having a predetermined diameter into which the pressure of the medium gas flows, a holder 112 formed and molded to be welded to one end of the tube 111, and an upper portion of the holder 112. It includes a curling cap 113 to fix the case 120 in a state connected to the protruding peripheral flange (112a), 상기 홀더(112)의 중앙에는 일정한 두께로 구성된 베이스(170)가 안착되되, 상기 베이스(170)의 상부면 중심에는 압저항 감지수단(130)의 하부로 돌출된 압력도입관(132)이 상기 베이스(170)의 하부와 연통되도록 끼워진 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.In the center of the holder 112 is mounted a base 170 having a predetermined thickness, the center of the upper surface of the base 170 is a pressure induction pipe 132 protruding below the piezoresistive sensing means 130 is Pressure sensor module, characterized in that fitted to communicate with the lower portion of the base (170). 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 베이스(170)는 절연체로 이루어진 것을 특징으로 하는 압력센서모듈. The base 170 is a pressure sensor module, characterized in that made of an insulator. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,The method according to claim 8 or 9, 상기 홀더(112)의 중앙에는 관통구멍(112c)이 형성되고, 상기 관통구멍(112c)에 상기 튜브(111)의 일단이 소정 길이 끼워지며,A through hole 112c is formed in the center of the holder 112, and one end of the tube 111 is fitted into the through hole 112c by a predetermined length. 상기 홀더(112)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 베이스(170)가 상 기 홀더(112)에 안착되되, 상기 베이스(170)는 상기 홀더(120)로 끼워져 돌출된 튜브(111)를 수용하도록 형성된 튜브수용홈(171)과, 상기 베이스(170)의 상부면 중심에는 압저항 감지수단(130)의 하부로 돌출된 압력도입관(132)이 끼워져 상기 튜브(111)와 연통되도록 압력도입공(172)을 갖춘 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.The base 170 is seated on the holder 112 to accommodate the tube 111 protruded into the holder 112, and the base 170 is inserted into the holder 120 and protrudes from the tube 111. Tube receiving groove 171 formed to accommodate the, and the pressure induction pipe 132 protruding to the lower portion of the piezoresistive sensing means 130 is inserted into the center of the upper surface of the base 170 so as to communicate with the tube 111. Pressure sensor module characterized in that it has a pressure introduction hole (172). 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 튜브(111)의 단부에서 일정길이 떨어진 곳에는 튜브(111)의 외경보다 더 큰 환형의 돌출부(111a)를 갖춘 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.Pressure sensor module, characterized in that it has an annular projection (111a) larger than the outer diameter of the tube 111 at a predetermined length away from the end of the tube (111). 매체 가스의 압력이 유입되는 어댑터(110)와, 이 어댑터(110)의 일단에 고정되는 케이스(120)와, 상기 어댑터(110)와 케이스(120)가 이루는 내측 공간에 상기 어댑터(110)로 유입되는 매체가스의 압력을 측정하도록 설치된 압저항 감지수단과, 이 압저항 감지수단(130)이 연결구성되도록 된 회로기판(140)과, 이 회로기판(140)에 연결되어 전원이 공급되도록 된 압력센서모듈에 있어서,The adapter 110 into which the pressure of the medium gas is introduced, the case 120 fixed to one end of the adapter 110, and the adapter 110 in an inner space formed by the adapter 110 and the case 120. Piezoresistive sensing means installed to measure the pressure of the inflowing medium gas, the circuit board 140, the piezoresistive sensing means 130 is configured to be connected, and connected to the circuit board 140 to supply power In the pressure sensor module, 상기 압저항 감지수단(200)은, 상기 회로기판(140)의 상부면에 장착구성된 베이스(210)와, 이 베이스의 상부면 중심에 안착된 센서(220)와, 이 센서의 하부에 베이스와 회로기판을 관통하여 상기 어댑터(110)의 매체 가스의 압력이 유입되는 소정 직경의 튜브(111)와 연통되도록 설치된 압력도입관(230)과, 이 베이스와 회로기판을 관통하여 상기 압력도입관과 평행하게 설치된 다수개의 리이드선(240)과, 각각의 상기 리이드선과 상기 센서와 연결되는 본딩와이어(250)와, 상기 베이스에 진공상태로 안착되어 상기 센서와 리이드선 및 본딩와이어를 보호하도록 설치된 캡(260)과, 상기 센서와 튜브는 베이스에 구비된 절연부(270)에 의해 베이스와 접촉하여 전기가 통하지 않도록 설치된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.The piezoresistive sensing means 200 includes a base 210 mounted on the upper surface of the circuit board 140, a sensor 220 mounted on the center of the upper surface of the base, a base and a lower portion of the sensor. A pressure introducing pipe 230 installed to communicate with a tube 111 having a predetermined diameter through which a pressure of the medium gas of the adapter 110 flows through the circuit board; and the pressure introducing pipe passing through the base and the circuit board; A plurality of lead wires 240 installed in parallel, bonding wires 250 connected to each of the lead wires and the sensor, and a cap installed to protect the sensor, the lead wires, and the bonding wires in a vacuum state on the base. 260, and the sensor and the tube is in contact with the base by the insulating portion 270 provided in the base, the pressure sensor module, characterized in that the electricity is not installed. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 각각의 상기 리이드선(240)은 상기 베이스(210)에 구비된 절연부(280)에 의해 베이스(210)와 접촉하여 전기가 통하지 않도록 설치된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈. Each of the lead wires 240 is in contact with the base 210 by the insulating portion 280 provided in the base 210, characterized in that the pressure sensor module is installed so that no electricity. 제 13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 센서(220)가 절연부(270)에 의해 안착될 때 센서받침판(290)에 의해 평탄도가 유지되도록 안착된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.Pressure sensor module, characterized in that seated so that the flatness is maintained by the sensor support plate 290 when the sensor 220 is seated by the insulating portion (270). 제 12항 내지 제 14항중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 12 to 14, 상기 절연부와 센서받침판의 재질은 글라스실링 또는 세라믹 중 적어도 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.The pressure sensor module, characterized in that the material of the insulating portion and the sensor support plate made of at least one of glass sealing or ceramic. 제 15항에 있어서,The method of claim 15, 상기 센서(220)는 하부는 내열성유리부(221)로 이루어지고, 상부는 반도체칩(222)으로 이루어진 구조로 된 것을 특징으로 하는 압력센서모듈.The sensor 220 is a pressure sensor module, characterized in that the lower portion is made of a heat-resistant glass portion 221, the upper portion is made of a semiconductor chip (222).
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