KR200444706Y1 - A Wetter tank of gas supply for plasticity oven - Google Patents

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Abstract

본 고안은 소성로 가스공급용 웨터탱크에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 각종 세라믹 제품이나 반도체 등을 소성시키는 소성로에 특정 가스를 공급할 때 수분은 공급되지 못하게 하고 최적 비율의 습도를 갖는 가스만 공급될 수 있도록 고안된 것이다.The present invention relates to a kiln for supplying gas to a kiln, and more particularly, when supplying a specific gas to a kiln for firing various ceramic products or semiconductors, the water is not supplied and only a gas having an optimum ratio of humidity can be supplied. It is designed to be.

본 고안의 구성은, 속이 빈 내부로 물이 채워지고 가스 인입관(11)을 통해 유입된 가스가 물을 통과하여 덮개(12)에 접속된 배출관(13)을 통해 배출되도록 하는 탱크(10)와, 이 탱크(10)에 채워진 물을 가열시키는 히터(20)와, 탱크(10)내에 채워지는 물의 수위를 검지하여 경보 및 급수가 이루어지도록 하는 레벨게이지(30)로 구성되는 것에 있어서,The configuration of the present invention, the tank 10 to be filled with water into the hollow interior and the gas introduced through the gas inlet pipe 11 is discharged through the discharge pipe 13 connected to the cover 12 through the water 12 And a heater 20 for heating the water filled in the tank 10 and a level gauge 30 for detecting the water level of the water filled in the tank 10 so as to provide an alarm and water supply.

상기 탱크(10)의 내부에 장착되며, 속이 빈 함체형의 차압탱크(40)와, 이 차압탱크(40)의 내부와 연통된 상태로 수위 상부에 트여지게 접속되는 유입구(50)와, 상기 차압탱크(40)에 연통된 상태로 배출관(13) 사이를 연결하는 연결관(60)을 구비하며, 상기 배출관(13)과 연결관(60)이 연결부에 접속위치를 자유롭게 하고 가스 공급을 원활하게 하기 위해 수집공간(71)을 갖는 함체(70)를 탱크(10)의 덮개(12) 하측에 설치하여 구성된다.It is mounted inside the tank 10, the hollow housing-type differential pressure tank 40, the inlet port 50 is connected to open in the upper water level in communication with the interior of the differential pressure tank 40, and the It is provided with a connecting pipe 60 for connecting between the discharge pipe 13 in a state in communication with the differential pressure tank 40, wherein the discharge pipe 13 and the connection pipe 60 freely the connection to the connection portion and smoothly supply gas It is configured to install a housing 70 having a collecting space 71 under the cover 12 of the tank (10).

웨터탱크, 차압탱크, 소성로, 세라믹 전자제품, 반도체, 순수가스, 습도 Wet Tank, Differential Pressure Tank, Firing Furnace, Ceramic Electronics, Semiconductor, Pure Gas, Humidity

Description

소성로 가스 공급 용 웨터탱크{A Wetter tank of gas supply for plasticity oven}A Wetter tank of gas supply for plasticity oven}

본 고안은 소성로 가스공급용 웨터탱크에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 각종 세라믹 제품이나 반도체 등을 소성시키는 소성로에 특정 가스를 공급할 때 수분은 공급되지 못하게 하고 최적 비율의 습도를 갖는 가스만 공급될 수 있도록 고안된 것이다.The present invention relates to a kiln for supplying gas to a kiln, and more particularly, when supplying a specific gas to a kiln for firing various ceramic products or semiconductors, the water is not supplied and only a gas having an optimum ratio of humidity can be supplied. It is designed to be.

일반적으로 세라믹 전자부품이나 반도체 등을 제조할 때 세라믹 제품이 요구되는 특성을 얻기 위하여 세터위에 적재되어 소성로에 반송하여 분위기 가스를 상기 소성로 내로 공급하여 분사하여 탈바인더(binder)용 가소공정을 거친다.Generally, when manufacturing ceramic electronic components or semiconductors, a ceramic product is loaded on a setter, conveyed to a kiln, and supplied with an atmosphere gas into the kiln for injection to obtain a desired characteristic, and undergoes a plasticizer process for binder removal.

그리고, 미소성 세라믹 성형체에 탈바인더 가소공정을 거쳐 세라믹 전자제품이 요구되는 특성을 위하여 공급되는 분위기 가스는 미소성 세라믹 성형체가 적재 된 세터가 내부로 반송되는 소정공간의 로실이 형성되어 있는 로본체부의 측면에 관통되어 결합된 분위기 가스공급파이프에 의해 상기 로실로 공급되어 진다.The atmospheric gas supplied to the unbaked ceramic molded body through debinding plasticization process and required for the characteristics required for ceramic electronic products is a main body in which a furnace chamber of a predetermined space is formed in which a setter on which the unbaked ceramic molded body is loaded is conveyed into the inside. It is supplied to the furnace chamber by the atmosphere gas supply pipe which is penetrated through the side of the part.

따라서, 소성로 본체에 장착된 발열체에서 발생되는 열로 상기 미소성 세라믹 성형체를 가열하면서 분위기 가스공급파이프를 통하여 분위기 가스를 공급하여 전자부품이 요구되는 특성을 가지도록 하는 것이다.Therefore, while heating the unbaked ceramic molded body with heat generated in the heating element mounted on the main body of the kiln, the atmosphere gas is supplied through the atmosphere gas supply pipe so that the electronic component has the required characteristics.

이때 주로 공급되는 가스는 H, N2, 또는 이들 가스가 혼합된 상태로 공급되는 경우도 있다.The gas is usually supplied in some cases supplied to the H, N 2, or a mixed state of these gases.

한편, 분위기 가스를 공급할 때는 적정 습도를 유지하는 것이 중요하다.On the other hand, it is important to maintain an appropriate humidity when supplying an atmospheric gas.

도 1 및 도 2는 종래 분위기 가스에 적정 습도를 유지하기 위한 웨터탱크(Wetter tank)의 구성을 도시하고 있다.1 and 2 illustrate a configuration of a wet tank for maintaining an appropriate humidity in a conventional atmosphere gas.

즉, 보온재(14)로 외부를 감싸게 하고, 내부에 히터(20)가 장착된 탱크(10)의 하부로는 가스 인입관(11)을 접속하고, 상부에는 이 탱크(10) 내부에 채워진 물을 통과한 가스가 배출되는 배출관(13)이 설치되어 있다.That is, the outer surface is wrapped with the heat insulating material 14, and the gas inlet pipe 11 is connected to the lower portion of the tank 10 in which the heater 20 is mounted therein, and the water filled inside the tank 10 at the upper portion thereof. A discharge pipe 13 through which gas passed through is discharged is provided.

그리고, 탱크(10)의 일측으로는 수위를 감지하여 경보와 함께 급수가 자동으로 이루어지도록 제어하기 위한 레벨게이지(30)가 구비되어 있다.Then, one side of the tank 10 is provided with a level gauge 30 for detecting the water level to control the water supply is automatically made with an alarm.

이러한 구조로 된 종래 웨터탱크는 가스가 적정 습도를 유지하기 위해 탱크(10) 내부를 통과할 때 많은 양의 버블이 발생된다.In the conventional wet tank having such a structure, a large amount of bubbles are generated when the gas passes through the tank 10 to maintain an appropriate humidity.

이 버블이 수위 이상으로 부풀어져서 배출관(13)을 통해 가스와 함께 공급되면 순수 가스 이외에 버블의 성분인 수분이 공급된다.When the bubble is inflated above the water level and supplied together with the gas through the discharge pipe 13, water, which is a component of the bubble, is supplied in addition to the pure gas.

종래 버블이 배출관(13)을 통해 공급되는 것을 차단하기 위해 수개의 타공판(18)을 설치하고 있다.Conventionally, several perforated plates 18 are installed to block bubbles from being supplied through the discharge pipe 13.

그러나 이 타공판(18)은 버블이 폭발적으로 커지는 것을 억제할 수는 있느나 타공구멍을 통해 버블 일부가 상승되어 배출관을 통해 공급되는 것을 원천적으로 방지하지는 못하였다.However, the perforated plate 18 can suppress the bubble from exploding, but it does not prevent the bubble from being partially raised and supplied through the discharge pipe.

따라서, 정밀성을 요구하는 세라믹 전자제품 및 반도체 소성에 심각한 오류를 가끔 발생시키는 등의 문제점이 있었던 것이다.Therefore, there have been problems such as occasional serious errors in the firing of ceramic electronics and semiconductors requiring precision.

본 고안의 목적은, 수분이 분위기 가스와 함께 소성로로 공급되는 것을 미연에 차단하여 세라믹 제품이 소성될 때 불량되는 경우를 미연에 차단할 수 있도록 한 소성로 가스공급용 웨터탱크를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a kiln for supplying a gas for the kiln gas which prevents the supply of moisture to the kiln with the atmosphere gas in advance, thereby preventing the case where the ceramic product is fired in advance.

본 고안의 목적은, 수분의 공급은 완전하게 차단하고 최적이 습도만을 유지한 상태로 소성로에 분위기 가스를 공급토록 하므로써 소성되는 제품의 신뢰성과 상품성을 향상시킬 수 있는 소성로 가스공급용 웨터탱크를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a kiln tank supplying wet tank for improving the reliability and merchandise of a fired product by completely blocking the supply of water and supplying an atmosphere gas to the kiln while maintaining only the optimum humidity. There is.

본 고안의 목적은, 속이 빈 내부로 물이 채워지고 가스 인입관(11)을 통해 유입된 가스가 물을 통과하여 덮개(12)에 접속된 배출관(13)을 통해 배출되도록 하는 탱크(10)와,An object of the present invention, the tank 10 is filled with water into the hollow interior and the gas introduced through the gas inlet pipe 11 is discharged through the discharge pipe 13 connected to the cover 12 through the water 12 Wow,

이 탱크(10)에 채워진 물을 가열시키는 히터(20)와,A heater 20 for heating the water filled in the tank 10,

탱크(10)내에 채워지는 물의 수위를 검지하여 경보 및 급수가 이루어지도록 하는 레벨게이지(30)로 구성되는 것에 있어서,In the configuration of the level gauge 30 to detect the water level of the water filled in the tank 10 so that the alarm and water supply is made,

상기 탱크(10)의 내부에 장착되며, 속이 빈 함체형의 차압탱크(40)와,It is mounted inside the tank 10, the hollow differential pressure tank 40,

이 차압탱크(40)의 내부와 연통된 상태로 수위 상부에 트여지게 접속되는 유입구(50)와,An inlet port 50 connected to the water level upper part in communication with the inside of the differential pressure tank 40;

상기 차압탱크(40)에 연통된 상태로 배출관(13) 사이를 연결하는 연결관(60)을 구비하며,
상기 배출관(13)과 연결관(60)이 연결부에 접속위치를 자유롭게 하고 가스 공급을 원활하게 하기 위해 수집공간(71)을 갖는 함체(70)를 탱크(10)의 덮개(12) 하측에 설치되는 것에 의해 달성된다.It is provided with a connecting pipe 60 for connecting between the discharge pipe 13 in a state in communication with the differential pressure tank 40,
In order to free the connection position of the discharge pipe 13 and the connection pipe 60 and to smoothly supply the gas, a housing 70 having a collection space 71 is installed under the cover 12 of the tank 10. Is achieved.

여기서 상기 차압탱크(40)의 하부에는 탱크(10)와 연통되게 연결시켜 수위를 공유할 수 있도록 하는 출입관(41)을 더 설치할 수도 있다.Here, the lower portion of the differential pressure tank 40 may be further provided with an access pipe 41 to communicate with the tank 10 to share the water level.

본 고안의 구성에 의하면, 탱크(10) 내부로 공급된 가스에 의해 버블이 발생되더라도 순수 가스만이 차압탱크(40)의 유입구(50)를 통해 유입된 후 다시 수위 위로 이동되는 순수 가스만을 연결관(60)을 통해 배출관(13)으로 배출시킬 수 있는 것이다.According to the constitution of the present invention, even if bubbles are generated by the gas supplied into the tank 10, only pure gas is introduced through the inlet port 50 of the differential pressure tank 40, and then only the pure gas moved back to the water level is connected. It can be discharged to the discharge pipe 13 through the pipe (60).

이와 같이 탱크(10) 내부로 별도의 차압탱크(40)를 더 설치하는 것에 의해 수분과 순수 가스를 분리시켜 수분이 제거된 순수가스만 소성로로 공급될 수 있어 소성과정에서 이물질이나 수분 공급으로 인한 세라믹 반도체나 전자제품의 불량을 미연에 방지할 수 있는 것이다.As such, by installing a separate differential pressure tank 40 inside the tank 10, only pure gas from which water is removed by separating moisture and pure gas can be supplied to the kiln, resulting from foreign matter or water supply during the firing process. It is possible to prevent defects in ceramic semiconductors and electronic products in advance.

따라서, 소성과정이 안정적이여서 완성되는 제품의 신뢰성과 상품성이 향상되는 매우 유용한 고안인 것이다Therefore, the firing process is stable and is a very useful design to improve the reliability and productability of the finished product.

이하, 본 고안의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 소성로로 분위기 가스공급되는 웨터탱크의 구조를 보인 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a structure of a wet tank supplied with an atmosphere gas to a conventional kiln.

도 2는 도 1의 측단면도이다.2 is a side cross-sectional view of FIG. 1.

도 3은 본 고안의 구성에 의해 소성로로 분위기 가스가 차압탱크에 의해 수분제거된 후 공급되는 웨터탱크의 구조를 보인 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a structure of a wet tank supplied after the atmospheric gas is removed by a differential pressure tank to the firing furnace by the configuration of the present invention.

도 4는 도 3의 측단면도이다.4 is a side cross-sectional view of FIG. 3.

상기 탱크(10)는 상부가 트여진 속이 빈 함체형상으로 내부로는 물이 채워지고 트여진 상측 개방부는 덮개(12)가 덮어져 내부는 밀폐된 상태를 갖게 한다.The tank 10 has a hollow container shape with an open top, and filled with water inside the open top, and the open upper part is covered with a cover 12 to keep the inside closed.

그리고, 탱크(10) 주변에는 보온재(14)로 커버하여 히터(20)에 의해 물을 적정 온도로 가열시킬 때 보온상태를 유지토록 한다.In addition, the tank 10 is covered with a heat insulating material 14 to maintain the warm state when the water is heated to a proper temperature by the heater 20.

탱크(10)의 저면에는 가스 인입관(11)이 접속되어 가스가 유입되는데, 유입 된 가스는 물을 통과하여 덮개(12)에 접속된 배출관(13)을 통해 탱크(10)로부터 배출된 후 소성로 내부로 분위기 가스용으로 공급되는 것이다.The gas inlet pipe 11 is connected to the bottom of the tank 10 so that gas is introduced therethrough, and the introduced gas is discharged from the tank 10 through the discharge pipe 13 connected to the cover 12 through water. It is supplied for atmospheric gas into the kiln.

이때, 사용되는 가스는 H, N2, 또는 이들 가스가 혼합된 상태로 공급되는데, 소성로의 온도나 완성되는 세라믹 제품의 종류에 따라 가스내에는 적정 습도유지가 필요하므로 그 보습율 유지를 위해 탱크(10) 내에 채워진 물을 통과하게 되는 것이다.At this time, the gas to be used is supplied in a state of H, N 2 , or a mixture of these gases, depending on the temperature of the kiln or the type of the finished ceramic products, it is necessary to maintain the proper humidity in the gas tank to maintain the moisture retention rate It will pass through the water filled in (10).

그리고, 탱크에 채워진 물을 히터(20)로 가열하는 것에 의해 온도차에 따라 가스에 포함되는 보습율을 제어하게 된다.Then, by heating the water filled in the tank with the heater 20, the moisture retention rate contained in the gas is controlled according to the temperature difference.

탱크(10)의 일측에는 탱크(10) 내부와 상하로 연통되게 배관하여 레벨게이지(30)를 설치하게 된다.One side of the tank 10 is installed to the level gauge 30 by piping in communication with the inside of the tank 10 up and down.

레벨게이지(30)는 탱크(10)에 채워지는 물의 수위를 검지하여 상수위와 하수위 및 위험수위를 각각 검지하여 경보 및 급수가 이루어지도록 하는 제어하는 것이다.Level gauge 30 is to control the water level of the water filled in the tank 10 by detecting the water level, the sewage level and the dangerous level, respectively, so that the alarm and water supply is made.

본 고안에서는 상기 탱크(10)의 내부에 또다른 차압탱크(40)를 더 설치하여 가스공급으로 인해 버블이 발생되더라도 순수 가스만을 분리시켜 공급될 수 있도록 하는 것이다.In the present invention, another differential pressure tank 40 is further installed inside the tank 10 so that only pure gas may be separated and supplied even when bubbles are generated due to gas supply.

즉, 차압탱크(40)는 속이 빈 함체형상으로 상기 탱크(10)의 내부에 장착되는데 내부에는 탱크(10)와 같이 물이 대략 1/2 높이로 채워지게 된다.That is, the differential pressure tank 40 is mounted inside the tank 10 in the shape of a hollow enclosure, and the water is filled to approximately 1/2 height like the tank 10.

이때 차압탱크(40)에 채워지는 물이 탱크(10)와 분리되어 밀폐시킨 상태로 별도로 상이한 양과 수위의 물을 채워지게 하여도 무방하나, 도 3 및 도 4에서와 같이 차압탱크(40)의 저면에 탱크(10)와 연통되게 연결시켜 수위를 공유할 수 있도록 하는 출입관(41)을 더 설치하는 것이 바람직 하다.At this time, the water to be filled in the differential pressure tank 40 may be separately filled with the tank 10 to be filled with water of a different amount and water level in a sealed state, as shown in FIGS. 3 and 4 of the differential pressure tank 40 It is preferable to further install an entrance tube 41 connected to the tank 10 in communication with the bottom surface to share the water level.

따라서, 이 출입관(41)을 통해 탱크(10)에 물을 채울 경우 상기 차압탱크(40)의 내부에도 동일 수위로 물이 채워질 수 있도록 하는 것이다.Therefore, when the tank 10 is filled with water through the entrance pipe 41, the water is filled at the same level in the pressure difference tank 40 as well.

함체형상으로 속이 빈 차압탱크(40)의 상측에는 탱크(10)의 내부와 연통된 상태로 유입구(50)가 트여진다.The inlet 50 is opened on the upper side of the hollow differential pressure tank 40 in a hollow shape in communication with the inside of the tank 10.

이 유입구(50)의 높이는 탱크(10)에 채워지는 수위보다 높은 위치에 형성된다.The height of this inlet 50 is formed at a position higher than the water level filled in the tank 10.

그리고, 유입구(50)와 어긋난 위치로 상기 차압탱크(40)의 상부에는 차압탱크(40)와 배출관(13) 사이를 연결하는 연결관(60)이 연결된다.In addition, a connection pipe 60 connecting the differential pressure tank 40 and the discharge pipe 13 to the upper portion of the differential pressure tank 40 in a position shifted from the inlet 50.

이러한 구조로 된 본 고안은 탱크(10)의 저면에 형성된 가스 인입관(11)을 통해 새로운 가스가 탱크(10) 내부로 유입되면 차압탱크(40)의 외부에 채워진 물을 통과하게 된다.The present invention having such a structure passes through the water filled in the outside of the differential pressure tank 40 when a new gas is introduced into the tank 10 through the gas inlet pipe 11 formed on the bottom surface of the tank 10.

이때, 가스에 의해 버블이 발생될 수 있는데 탱크(10)의 상부로 가득 채워지기 전까지는 순수 가스만이 이 유입구를 통해 차압탱크(40) 내부로 이동된다.At this time, bubbles may be generated by the gas, and only pure gas is moved into the differential pressure tank 40 through the inlet until it is filled with the upper portion of the tank 10.

또한, 계속되는 가스 공급으로 버블의 발생량이 많아져서 탱크(10)의 덮개(12)위치까지 가득 차게 버블이 발생된다 하더라도 가스압력에 의해 버블과 함께 가스가 차압탱크(40)의 상부에 트여진 유입구(50)를 통해 차압탱크(40) 내부로 이동된다.In addition, even if bubbles are generated by the continuous gas supply and the bubbles are generated to the cover 12 position of the tank 10, the inlet opening of the gas at the upper part of the differential pressure tank 40 together with the bubbles by the gas pressure. It is moved into the differential pressure tank 40 through the (50).

유입구(50)로 이동된 버블은 무게에 의해 차압탱크(40)에 채워진 물위로 낙하되어 터지면서 순수 가스는 분리된 후 차압탱크(40)와 덮개(12)에 접속된 배출관(13)을 연결하는 연결관(60)을 통해 분리, 배출시킬 수 있는 것이다.Bubbles moved to the inlet 50 are dropped onto the water filled in the differential pressure tank 40 by weight, and the pure gas is separated, thereby connecting the differential pressure tank 40 and the discharge pipe 13 connected to the cover 12. It can be separated and discharged through the connecting pipe (60).

한편, 탱크(10)내에 가스가 공급될 때 그 가스압에 의해 버블량이 증가되어 탱크(10) 내부로 버블이 가득차면, 탱크(10) 내부에서 유일하게 트여진 유입구(50)를 통해 차압탱크(40)내로 이동될 때 가스압력에 의해 차압탱크(40) 내의 압력이 높아지게 되고 그 압력에 의해 내부에 채워진 물이 출입관(41)을 통해 밀어내는 결과로 수위가 낮아진다.On the other hand, when the gas is supplied into the tank 10, when the bubble amount is increased by the gas pressure and the bubble is filled in the tank 10, the differential pressure tank ( When the gas is moved into 40, the pressure in the differential pressure tank 40 is increased by the gas pressure, and the water level is lowered as a result of pushing the water filled therein through the entry pipe 41 by the pressure.

차압탱크(40) 내의 수위가 낮아지면 순수 가스가 채워질 수 있는 공간이 확장되어 더욱 수분과 순수가스가 분리된 후 차압탱크(40) 안에서 모여질 수 있는 환경을 조성할 수가 있다.When the water level in the differential pressure tank 40 is lowered, the space in which the pure gas can be filled can be expanded to further create an environment in which the water and the pure gas can be separated and collected in the differential pressure tank 40.

차압탱크(40)에 위치되는 버블은 물에 접촉되면서 바로 기포가 파괴되어 순수가스가 상부 공간에 채워진 후 연결관(60)을 통해 배출관(13)으로 이동될 수 있는 것이다.The bubble located in the differential pressure tank 40 may be moved to the discharge pipe 13 through the connection pipe 60 after the bubble is immediately contacted with water and the pure gas is filled in the upper space.

배출관(13)은 호스나 파이프를 통해 소성로 내부로 적정 수분만을 포함한 순수 가스만을 공급할 수가 있는 것이다.The discharge pipe 13 can supply only pure water containing only appropriate moisture to the inside of the kiln through a hose or a pipe.

여기서, 배출관(13)과 연결관(60)이 연결부에 접속위치를 자유롭게 하고 가스 공급을 원활하게 하기 위해 수집공간(71)을 갖는 함체(70)를 탱크(10)의 덮개(12) 하측에 설치하기도 한다.Here, the discharge pipe 13 and the connecting pipe 60 is provided with a housing 70 having a collecting space 71 under the cover 12 of the tank 10 in order to free the connection position and smooth gas supply to the connecting portion. It can also be installed.

따라서, 연결관(60)과 배출관(13)의 연결위치를 반드시 일치시키거나 하지 않더라도 상기 함체(70) 내부로 순수 가스를 일단 이동시켜 수집공간(71) 내에 채우게 한 후 다시 수집공간(71)에 연통된 배출관(13)을 통해 순수가스를 공급할 수가 있는 것이다.Therefore, even if the connection position of the connection pipe 60 and the discharge pipe 13 does not necessarily match, the pure gas is once moved to the inside of the housing 70 to be filled in the collection space 71 and then the collection space 71 is again. Pure gas can be supplied through the discharge pipe 13 connected to the.

또한, 혹시 함체(70)의 수집공간(71) 내부로 버블이나 수분의 극히 일부가 공급된다 하더라도 이 수집공간(71)에 머무르면서 물로 뭉쳐져서 연결관(60)을 통해 다시 낙하되도록 하는 효과를 더 얻을 수 있다.In addition, even if a very small portion of the bubble or moisture is supplied into the collection space 71 of the housing 70, the collection space 71 stays in the water and aggregates with water to further fall through the connection pipe (60) You can get it.

도 1은 종래 소성로로 분위기 가스공급되는 웨터탱크의 구조를 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing a structure of a wet tank supplied with an atmosphere gas to a conventional kiln.

도 2는 도 1의 측단면도.2 is a side cross-sectional view of FIG.

도 3은 본 고안의 구성에 의해 소성로로 분위기 가스가 차압탱크에 의해 수분제거된 후 공급되는 웨터탱크의 구조를 보인 단면도.3 is a cross-sectional view showing a structure of a wet tank supplied after the atmospheric gas is removed by a differential pressure tank to the firing furnace by the configuration of the present invention.

도 4는 도 3의 측단면도.4 is a side cross-sectional view of FIG.

* 도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 - 탱크 11 - 가스 인입관10-Tank 11-Gas Inlet

12 - 덮개 13 - 배출관12-Cover 13-Outlet

20 - 히터 30 - 레벨게이지20-Heater 30-Level Gauge

40 - 차압탱크 41 - 출입관40-Foreclosure Tank 41-Entrance

50 - 유입구 60 - 연결관50-Inlet 60-Connector

70 - 함체 71 - 수집공간70-Enclosure 71-Collecting Space

Claims (3)

삭제delete 속이 빈 내부로 물이 채워지고 가스 인입관(11)을 통해 유입된 가스가 물을 통과하여 덮개(12)에 접속된 배출관(13)을 통해 배출되도록 하는 탱크(10)와,The tank 10 is filled with water into the hollow interior and the gas introduced through the gas inlet pipe 11 is discharged through the discharge pipe 13 connected to the cover 12 through the water, and 이 탱크(10)에 채워진 물을 가열시키는 히터(20)와,A heater 20 for heating the water filled in the tank 10, 탱크(10)내에 채워지는 물의 수위를 검지하여 경보 및 급수가 이루어지도록 하는 레벨게이지(30)로 구성되는 것에 있어서,In the configuration of the level gauge 30 to detect the water level of the water filled in the tank 10 so that the alarm and water supply is made, 상기 탱크(10)의 내부에 장착되며, 속이 빈 함체형의 차압탱크(40)와,It is mounted inside the tank 10, the hollow differential pressure tank 40, 이 차압탱크(40)의 내부와 연통된 상태로 수위 상부에 트여지게 접속되는 유입구(50)와,An inlet port 50 connected to the water level upper part in communication with the inside of the differential pressure tank 40; 상기 차압탱크(40)에 연통된 상태로 배출관(13) 사이를 연결하는 연결관(60)을 구비하며, It is provided with a connecting pipe 60 for connecting between the discharge pipe 13 in a state in communication with the differential pressure tank 40, 상기 배출관(13)과 연결관(60)이 연결부에 접속위치를 자유롭게 하고 가스 공급을 원활하게 하기 위해 수집공간(71)을 갖는 함체(70)를 탱크(10)의 덮개(12) 하측에 설치함을 특징으로 한 소성로 가스공급용 웨터탱크.In order to free the connection position of the discharge pipe 13 and the connection pipe 60 and to smoothly supply the gas, a housing 70 having a collection space 71 is installed under the cover 12 of the tank 10. Wet tank for the kiln gas supply, characterized in that. 청구항 2에 있어서, 상기 차압탱크(40)의 하부에는 탱크(10)와 연통되게 연결시켜 수위를 공유할 수 있도록 하는 출입관(41)을 더 설치됨을 특징으로 한 소성로 가스공급용 웨터탱크.The water tank according to claim 2, wherein a lower part of the differential pressure tank (40) is further provided with an access pipe (41) for communicating with the tank (10) to share the water level.
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KR102025609B1 (en) * 2018-10-23 2019-11-04 주식회사 신명 Gas oven for manufacturing electronic component

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