KR102025609B1 - Gas oven for manufacturing electronic component - Google Patents

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KR102025609B1
KR102025609B1 KR1020180126881A KR20180126881A KR102025609B1 KR 102025609 B1 KR102025609 B1 KR 102025609B1 KR 1020180126881 A KR1020180126881 A KR 1020180126881A KR 20180126881 A KR20180126881 A KR 20180126881A KR 102025609 B1 KR102025609 B1 KR 102025609B1
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exhaust
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valve
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Inventor
이정영
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주식회사 신명
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Abstract

The present invention relates to a gas oven for manufacturing an electronic component, which is provided to maintain the pressure in a main body to be suitable for a process, while adequately controlling the oxygen concentration in the main body. To this end, the present gas oven comprises: a main body (10); a heating body (11); a blowing fan (12); an air suction hole (13); and an air ventilation hole (14).

Description

전자부품 제조용 가스 오븐{GAS OVEN FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT}Gas oven for electronic component manufacturing {GAS OVEN FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT}

본 발명은 세라믹 콘덴서의 탈 바인더 가소공정을 실시하는 전자부품 제조용 가스 오븐에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 제품의 공정에 따라 에어는 물론이고 질소 분위기에서 세라믹 콘덴서의 탈 바인더 가소공정을 실시할 수 있도록 하는 전자부품 제조용 가스 오븐에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas oven for electronic component manufacturing that performs a binder removal plasticization step of a ceramic capacitor. More specifically, the binder removal plasticization step of a ceramic capacitor can be performed in a nitrogen atmosphere as well as air depending on the product process. The present invention relates to a gas oven for manufacturing electronic components.

일반적으로, 적층 콘덴서, 고전압 콘덴서 등을 포함한 세라믹 콘덴서, 압전 세라믹 등의 압전재료, 마이크로파 유전체, 반도체 콘덴서, PTC서미스터, NTC서미스터, 세라믹 센서 등의 반도체 세라믹스의 원료로는 티탄산 바륨(BaTiO3 ), 티탄산산지루콘산연(PbZrTiO3 ), 산화아연(ZnO), 산화지르코늄(ZrO2 ), 희토류산화물, 그라스 재료, 산화알루미늄, 산화 규소 등의 산화물, 혹은 이들의 복합물이 이용된다.
상기한 세라믹 전자부품은 세라믹 원료를 소정의 형상으로 성형하여 성형체로 제조된 후, 오븐에서 탈바인더 공정과 소성로에서의 소성 공정 및 냉각 공정을 차례로 거침으로써 적층 세라믹 콘덴서의 제작이 완료된다.
이와 같은 세라믹 콘덴서를 제조하는 공정은, BaTiO3, CaCa3, MnO, Glass Frit 등의 원료 분말에 유기물 성분인 바인더를 첨가하여 슬러리(slurry)를 제조하고, 상기 슬러리를 유전체 시트로 하는 세라믹 시트가 성형되며, 상기 세라믹 시트의 표면에 Ni, Cu, Pd, Pd/Ag 소재의 금속 성분인 내부전극을 패턴 인쇄하여 상기 내부전극이 인쇄된 세라믹 시트가 다층으로 적층됨에 의해서 적층시트가 제조되고, 상기 적층시트를 500~1300㎏f/㎠의 압력으로 압착한 후에 압착된 적층시트를 소정의 길이로 절단함으로써 직육면체 형상의 세라믹 콘덴서가 제조된다.
또한, 상기 세라믹 콘덴서는 오븐에서 230 ~ 350℃의 온도로 가소(bake-out)되어 바인더 성분이 제거되는 탈바인더 공정과, 900 ~ 1300℃의 온도로 10 ~ 24시간 동안 소성하는 소성 공정, 및 소성 완료 후 저온으로 냉각하는 냉각공정을 연속적으로 거치게 되고, 상기 소성로에서 소성된 세라믹 콘덴서는 그 외주면에 외부전극 및 단자전극의 도포에 의한 도금 처리에 의하여 세라믹 콘덴서가 완성된다.
여기서, 유기물 성분인 바인더와 금속 성분인 내부전극 및 세라믹 성분인 세라믹 시트로 이루어진 세라믹 콘덴서를 적층하는데 사용된 바인더는 탈바인더 공정인 가소 공정에서 효과적으로 제거되도록 함으로써, 상호 이질적 특성의 세라믹 성형체의 비정합성(mismatching)에 의해 발생될 수 있는 들뜸(delamination)이나, 크랙(crack)불량이 방지되도록 하는 것이 세라믹 성형체의 품질 특성을 제어하는 중요한 공정 변수로 작용된다.
이와 같은 공정이 적용되는 종래 세라믹 오븐은 도시된 도 1에 도시된 바와 같으며, 이에 의거하여 그 기본적인 구조를 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 종래 오븐을 나타낸 사시도로써, 종래의 오븐(100)은 전면에 도어(110)가 개방 가능하게 결합된 박스 형태의 본체(120)로 구성되어 있고, 상기 본체(120)의 내부는 다단으로 구분되어 다수의 세라믹 콘덴서(C)가 수납되는 제품 적재공간(121)이 구비되어 있다.
상기 본체(120)는 일측면에 외부 공기가 유입되는 흡입구(122)가 구비되어 있고 그 타측면 또는 동일면 상에 배기구(123)가 장착되어 있으며, 내부의 양측 벽부는 다수의 통공이 구비된 천공판(124)이 설치되어 있다.
또한, 상기 본체(120)는 상단에 상기 흡입구(122)에서 유입된 외부 공기를 적재공간(121) 내부로 공급하기 위한 팬(125)이 설치되어 있고, 상기 팬(125)의 일측에는 유입된 외부 공기를 가열시키는 히터(126)가 설치되어 있다.
이와 같은 종래의 오븐(100)은 상기 흡입구(122)를 통해 본체(120)의 내부로 유입된 공기가 히터(126)를 거치며 가열되어 본체(120) 각 측면의 천공판(124)을 통해 각 적재공간 내부로 공급되는 직접식 열풍 순환 방식이다.
즉, 본체(120) 상단의 히터(126)를 거치면서 일 측 천공판(124)을 통해 본체(120) 내로 유입된 열풍은 상, 중, 하단의 제품 적재공간(121) 내에 적층된 세라믹 콘덴서(C)를 가소시켜 세라믹 콘덴서(C) 내의 유기바인더를 제거한 후에 본체(120) 타 측면의 천공판(124) 및 배기구(123)를 통해 외부로 배출된다.
(선행기술문헌)
(특허문헌 0001) 대한민국 등록특허공보 10-0237292호(1999.10.07.등록)
(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-0404739호(2003.10.27.등록)
(특허문헌 0003) 대한민국 등록특허공보 10-0826268호(2008.04.23.등록)
(특허문헌 0004) 대한민국 등록특허공보 10-1075986호(2011.10.17.등록)Generally, as a raw material for semiconductor ceramics such as ceramic capacitors including multilayer capacitors, high voltage capacitors, piezoelectric ceramics, microwave dielectrics, semiconductor capacitors, PTC thermistors, NTC thermistors, ceramic sensors, and the like, barium titanate (BaTiO 3 ), Oxides such as lead zirconate titanate (PbZrTiO 3 ), zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2 ), rare earth oxides, glass materials, aluminum oxide, silicon oxide, or composites thereof are used.
The ceramic electronic component is manufactured into a molded body by molding a ceramic raw material into a predetermined shape, and then the multilayer ceramic capacitor is completed by sequentially performing a binder removal process in an oven, a firing process in a kiln, and a cooling process.
In the process of manufacturing such a ceramic capacitor, a slurry is prepared by adding a binder, which is an organic component, to raw material powders such as BaTiO 3, CaCa 3, MnO, and Glass Frit, and a ceramic sheet is formed using the slurry as a dielectric sheet. The laminated sheet is manufactured by laminating a plurality of ceramic sheets printed with the internal electrodes on a surface of the ceramic sheet by pattern printing internal electrodes, which are metal components of Ni, Cu, Pd, and Pd / Ag, in the multilayered sheet. After pressing at a pressure of 500 to 1300 kgf / cm 2, a rectangular parallelepiped ceramic capacitor is manufactured by cutting the compressed laminated sheet to a predetermined length.
In addition, the ceramic capacitor is baked in a oven at a temperature of 230 ~ 350 ℃ (bake-out) to remove the binder component, a firing process for baking for 10 to 24 hours at a temperature of 900 ~ 1300 ℃, and After the completion of the firing, a cooling process of cooling to a low temperature is continuously performed, and the ceramic capacitor fired in the firing furnace is completed by the plating process by coating an external electrode and a terminal electrode on the outer circumferential surface thereof.
Here, the binder used for laminating a ceramic capacitor composed of a binder of an organic component, an internal electrode of a metal component, and a ceramic sheet of a ceramic component is effectively removed in a calcination process, which is a debinder process, thereby making inconsistencies in the ceramic molded body having different heterogeneous characteristics. Preventing delamination or cracking defects, which may be caused by mismatching, is an important process variable that controls the quality characteristics of ceramic moldings.
The conventional ceramic oven to which such a process is applied is as shown in Figure 1 shown, based on this look at the basic structure as follows.
1 is a perspective view showing a conventional oven, the conventional oven 100 is composed of a box-shaped body 120 is coupled to the door 110 is openly coupled to the front, the inside of the body 120 is multi-stage The product loading space 121, which is divided into a plurality of ceramic capacitors C, is provided.
The main body 120 is provided with an inlet 122 through which external air flows into one side thereof, and an exhaust port 123 is mounted on the other side or the same side thereof, and both side walls of the inner side are provided with a plurality of through holes. 124 is provided.
In addition, the main body 120 has a fan 125 for supplying the outside air introduced from the suction port 122 to the inside of the loading space 121, the one side of the fan 125 is introduced The heater 126 which heats external air is provided.
Such a conventional oven 100 is heated by the air introduced into the interior of the main body 120 through the inlet 122 through the heater 126 is loaded through the perforated plate 124 of each side of the main body 120 It is a direct hot air circulation system supplied into the space.
That is, the hot air introduced into the main body 120 through the one side perforated plate 124 while passing through the heater 126 on the upper part of the main body 120 is a ceramic capacitor stacked in the upper, middle and lower product loading space 121 ( C) is removed to remove the organic binder in the ceramic capacitor C, and then discharged to the outside through the perforated plate 124 and the exhaust port 123 on the other side of the main body 120.
(Prior art document)
(Patent Document 0001) Republic of Korea Patent Publication No. 10-0237292 (registered on October 7, 1999)
(Patent Document 0002) Republic of Korea Patent Publication No. 10-0404739 (2003.10.27 registered)
(Patent Document 0003) Republic of Korea Patent Publication No. 10-0826268 (registered April 23, 2008)
(Patent Document 0004) Republic of Korea Patent Publication No. 10-1075986 (2011.10.17.Registration)

그러나 이러한 종래의 오븐(100)은 본체(120) 상단의 팬(125)을 통해 열풍 대류 방식으로 열원이 세라믹 콘덴서(C)에 공급되기 때문에 열풍의 공급부인 천공판(124)과 가까운 지점은 적절한 온도의 열풍이 공급되나, 상기 천공판(124)과 먼 거리의 배기구(123) 측 지점에는 비교적 낮은 온도의 열풍이 공급될 수밖에 없어 본체(120) 내부의 온도 편차가 크게 발생되었고, 이에 따라 세라믹 콘덴서에 가해지는 소성 온도 편차에 의해서 상기 세라믹 콘덴서 내에 포함된 세라믹 성분과 금속 성분의 비정합에 의한 크랙이 발생되었다.
또한, 탈 바인더 공정을 대기 중에서 짧은 시간(22 ∼ 24시간 정도) 내에 실시함에 따라 과다한 공기의 공급으로 인해 반응압력이 커져 세라믹 콘덴서가 산화되거나, 터짐현상이 발생되었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조의 개선으로 가스 오븐에 수분을 함유한 질소(N2)를 안정적으로 공급할 수 있도록 하여 소형화는 물론이고 고집적화되는 전자부품에 사용되는 세라믹 콘덴서의 탈 바인더공정을 실시할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 세라믹 콘덴서의 탈 바인더 공정을 실시하는 과정에서 배기가스의 배출량을 자동으로 조절하여 본체 내의 압력을 공정에 알맞게 유지시킬 수 있도록 하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 공정의 진행 정도에 따라 질소의 공급량을 조절함에 따라 본체 내의 산소농도를 적절히 조절할 수 있도록 하는 데 있다.However, since the heat source is supplied to the ceramic condenser C in a hot air convection method through the fan 125 on the top of the main body 120, the conventional oven 100 has a point close to the perforated plate 124 that is a hot air supply unit. Although hot air is supplied, hot air of a relatively low temperature is inevitably supplied to the perforated plate 124 and the exhaust port 123 at a long distance, and thus a large temperature deviation is generated in the main body 120. Cracks caused by mismatching of ceramic components and metal components contained in the ceramic capacitor were generated due to the applied firing temperature variation.
In addition, as the binder removal process is performed in a short time (about 22 to 24 hours) in the air, the reaction pressure is increased due to excessive air supply, and the ceramic capacitor is oxidized or bursting occurs.
The present invention has been made to solve such a problem in the prior art, and by improving its structure, it is possible to stably supply moisture-containing nitrogen (N 2 ) to the gas oven to miniaturized and highly integrated electronic components The purpose is to enable the binder removal process of the ceramic capacitor used.
Another object of the present invention is to automatically adjust the discharge of the exhaust gas in the process of performing the binder removal process of the ceramic capacitor to maintain the pressure in the body according to the process.
Still another object of the present invention is to control the oxygen concentration in the main body properly by adjusting the supply amount of nitrogen according to the progress of the process.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 본체와, 상기 본체에 설치되어 내부 온도를 승온시키는 발열체와, 상기 발열체의 일 측에 설치되어 본체로 유입된 산소 및 질소를 순환시키는 송풍 팬과, 상기 본체의 일 측에 연결되어 산소 및 질소가 본체의 내부로 유입되도록 하는 흡기구와, 상기 본체에 연결되어 본체의 내부를 순환하고 난 배기가스를 외부로 배출하는 배출구를 갖는 전자부품 제조용 가스 오븐에 있어서, 제1 질소공급라인에 설치되어 제1 플로우 메타에 의해 세팅된 양의 질소를 제1 연결관을 통해 제2 질소공급라인으로 공급하는 제1 밸브와, 상기 제1 질소공급라인에 설치된 제1 밸브의 후단에 설치되어 제2 플로우 메타에 의해 세팅된 양의 질소를 제2 연결관을 통해 제2 질소공급라인으로 공급하는 제2 밸브와, 상기 제2 질소공급라인에 설치되어 공급되는 질소를 수분을 함유한 질소로 변환시키는 웨터 탱크와, 상기 흡기구와 웨터 탱크 사이에 연결되어 수분을 함유한 질소가 흡기구를 통해 본체의 내부로 공급되도록 하는 공급관과, 상기 배기구와 연결된 배기관에 설치되어 본체 내의 압력을 자동으로 조절하는 압력조절수단과, 상기 배기관에 설치되어 배기가스의 배기량을 조절하는 배출가스 배기량 조절수단과, 상기 발열체, 송풍 팬, 압력조절수단, 배기가스 배기량 조절수단의 구동을 제어하는 제어부를 포함하여 구성하고, 상기 제2 질소공급라인을 통해 건조한 질소를 본체의 내부로 공급하도록 제3 질소공급라인을 제2 질소공급라인과 공급관 사이에 연결하고 상기 웨터 탱크의 전, 후단에는 제1, 2 콘트롤 볼 밸브를 설치하며 제3 질소공급라인에는 제3 콘트롤 볼 밸브를 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 전자부품 제조용 가스 오븐이 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a heating element installed in the main body, the heating element for raising the internal temperature, and a blowing fan installed on one side of the heating element to circulate oxygen and nitrogen introduced into the main body; A gas oven for connecting to one side of the main body and having an inlet for oxygen and nitrogen to be introduced into the main body, and an exhaust port connected to the main body for circulating the inside of the main body to discharge exhaust gas to the outside A first valve installed in the first nitrogen supply line and supplying the amount of nitrogen set by the first flow meta to the second nitrogen supply line through the first connecting pipe, and installed in the first nitrogen supply line A second valve installed at a rear end of the first valve and supplying the amount of nitrogen set by the second flow meta to the second nitrogen supply line through the second connecting pipe; A wet tank installed in the air supply line to convert nitrogen supplied to the water-containing nitrogen, a supply pipe connected between the inlet port and the wet tank to supply the nitrogen containing water to the inside of the main body through the inlet port, and Pressure adjusting means installed in the exhaust pipe connected to the exhaust port to automatically adjust the pressure in the main body, exhaust gas exhaust amount adjusting means installed in the exhaust pipe to adjust the exhaust amount of the exhaust gas, the heating element, blowing fan, pressure adjusting means, exhaust And a control unit for controlling the driving of the gas displacement adjusting means, and connecting a third nitrogen supply line between the second nitrogen supply line and the supply pipe to supply dry nitrogen to the inside of the main body through the second nitrogen supply line. The first and second control ball valves are installed at the front and rear ends of the wet tank, and the third control ball valve is provided at the third nitrogen supply line. There is provided a gas oven for producing electronic components, characterized in that by installing the.

본 발명은 종래에 비하여 다음과 같은 여러 가지 장점을 갖는다.
첫째, 생산하는 세라믹 성형체(특히, 세라믹 콘덴서)의 가소공정에 따라 본체의 내부로 수분을 함유한 질소 또는 건 질소는 물론이고 에어를 공급하면서 세라믹 성형체의 탈 바인더 가소공정을 실시할 수 있으므로 제품의 불량률을 현저히 줄일 수 있게 된다.
둘째, 세라믹 성형체의 가소공정에서 진행 공정에 알맞게 본체 내의 산소농도를 항상 일정하게 유지할 수 있게 되므로 세라믹 성형체에 산화가 발생되거나, 터짐 현상을 방지하게 된다.
셋째, 질소공급라인에 질소를 공정에 알맞게 웨타 탱크 측으로 공급하는 복수 개의 밸브는 물론이고 각 밸브마다 갑작스럽게 정전이 발생되어 밸브의 제어가 불가능하더라도 자동으로 개방되어 질소를 웨터 탱크로 공급하는 예비용 밸브가 구비되어 있어 정전에 따른 불량을 미연에 방지하게 된다.The present invention has several advantages over the prior art.
First, according to the plasticizing process of the ceramic molded body (particularly, ceramic capacitor) to be produced, the binder removal plasticizing process of the ceramic molded body can be carried out while supplying air as well as nitrogen or dry nitrogen containing moisture into the main body of the product. The defective rate can be significantly reduced.
Second, since the oxygen concentration in the main body can be kept constant at all times according to the process of calcination of the ceramic molded body, oxidation of the ceramic molded body is prevented or bursting phenomenon is prevented.
Third, as well as a plurality of valves to supply nitrogen to the nitrogen tank to the nitrogen supply line, as well as a reserve for supplying nitrogen to the wet tank automatically open even if the valve cannot be controlled due to sudden power failure. The valve is provided to prevent the failure of the power failure in advance.

도 1은 종래 오븐을 나타낸 사시도
도 2는 본 발명을 나타낸 구성도
도 3은 본 발명의 오븐을 나타낸 사시도
도 4는 본 발명의 압력조절수단 및 배기가스 배기량 조절수단을 나타낸 사시도1 is a perspective view showing a conventional oven
2 is a block diagram showing the present invention
Figure 3 is a perspective view of the oven of the present invention
Figure 4 is a perspective view of the pressure adjusting means and the exhaust gas amount adjusting means of the present invention

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.
도 2는 본 발명을 나타낸 구성도이고 도 3은 본 발명의 오븐을 나타낸 사시도이며 도 4는 본 발명의 압력조절수단 및 배기가스 배기량 조절수단을 나타낸 사시도로써, 본 발명은 본체(10)의 내부에 내부 온도를 승온시키는 발열체(11)가 설치되어 있고 상기 발열체(11)의 일 측으로는 본체(10)로 유입된 산소 및 질소를 순환시키는 송풍 팬(12)이 설치되어 있으며 상기 본체(10)에는 산소 및 질소가 본체의 내부로 유입되도록 하는 흡기구(13) 및 본체(10)의 내부를 순환하고 난 배기가스를 외부로 배출하는 배기구(14)가 설치되어 있는데, 이러한 구성은 종래의 가스 오븐과 동일하다.
이러한 구성의 가스 오븐에서 본 발명은 본체(10)의 내부에 수분을 함유한 질소를 안정적으로 공급하여 세라믹 성형체(콘덴서)의 탈 바인더 가소공정을 실시할 수 있도록, 질소가 공급되는 제1 질소공급라인(20)에 제1 플로우 메타(21)에 의해 세팅된 양의 질소를 제1 연결관(22)을 통해 제2 질소공급라인(30)으로 공급하는 제1 밸브(23)가 설치되어 있고 상기 제1 질소공급라인(20)에 설치된 제1 밸브(23)의 후단에는 제2 플로우 메타(24)에 의해 세팅된 양의 질소를 제2 연결관(25)을 통해 제2 질소공급라인(30)으로 공급하는 제2 밸브(26)가 설치되어 있다.
이와 같이 제1 질소공급라인(20)에 제1, 2 밸브(23)(26)가 설치된 이유는 가소공정을 실시하는 세라믹 성형체의 초기 상승구간에는 제1 밸브(23)를 통해 본체(10)의 내부에 세팅된 값의 질소를 공급하다가 유지구간에 많은 양의 질소공급이 필요한 경우에는 제1 밸브(23) 및 제2 밸브(26)를 통해 많은 양의 질소를 공급하기 위한 것이다.
상기 제1, 2 플로우 메타(21)(24)의 후단에 제2 질소공급라인(30)이 연결되어 있고 상기 제2 질소공급라인(30)의 끝단에는 공급되는 질소를 수분을 함유한 질소로 변환하는 웨터 탱크(wetter tank)(31)가 설치되어 있는데, 상기 웨터 탱크(31)의 구조는 출원인에 의해 선 출원되어 등록된 실용신안 제444706호(2009.05.25.등록)에 상세히 기재되어 있으므로 그에 대한 구조 및 작용 설명은 생략한다.
상기 흡기구(13)와 웨터 탱크(31) 사이에 수분을 함유한 질소가 흡기구(13)를 통해 본체(10)의 내부로 공급되도록 하는 공급관(32)이 연결되어 있고 상기 배기구(14)와 연결된 배기관(41)에는 본체(10) 내의 압력을 자동으로 조절하는 압력조절수단(40)이 설치되어 있다.
상기 압력조절수단(40)을 본 발명의 일 실시예에서는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 상기 배기구(14)에 연결되어 수동밸브(42)의 조작에 의해 배기가스가 배출되는 주 배기관(41a)과, 상기 수동밸브(42)의 상, 하부 사이에 연통되는 제1 배기관(41b) 상에 설치되어 본체(10) 내의 압력에 의해 배기량을 조절하는 제1 비례제어밸브(43)와, 상기 수동밸브(42)의 상, 하부 사이에 연통되는 제2 배기관(41c) 상에 설치되어 세라믹 콘덴서의 냉각구간에서 본체(10) 내의 배기가스를 신속하게 배출하거나, 공정 중에 본체 내의 압력이 설정치 이상일 때 배기가스를 배출하는 배기밸브(44)로 구성되어 있다.
본 발명은 상기 압력조절수단(40) 외에 상기 배기관(41)에 배기가스의 배기량을 조절하는 배출가스 배기량 조절수단(50)이 구비되어 있다.
상기 배출가스 배기량 조절수단(50)을 본 발명의 일 실시예에서는 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이 상기 배기구(14)와 연결된 배기관(41)의 상부에 설치되어 배출가스의 배기량을 조절하는 댐퍼(51)와, 상기 댐퍼(51)에 연결 바(52)로 연결되어 댐퍼(51)를 승, 하강시키는 한 쌍의 실린더(53)와, 상기 제1 질소공급라인(20)에 연결되어 질소를 실린더(53) 측으로 공급하여 실린더(53)가 구동되도록 하는 제3 연결관(54)과, 상기 제3 연결관(54) 상에 설치되어 유로를 개폐하는 솔레노이드밸브(55)로 구성되어 있다.
또한, 본 발명은 상기 제2 질소공급라인(30)을 통해 수분을 함유한 질소는 물론이고 건조한 질소를 본체(10)의 내부로 공급하도록 제3 질소공급라인(60)이 제2 질소공급라인(30)과 공급관(32) 사이에 연결되어 있고 상기 웨터 탱크(31)의 전, 후단에는 제1, 2 콘트롤 볼 밸브(61)(62)가 설치되어 있으며 제3 질소공급라인(60)에는 제3 콘트롤 볼 밸브(63)가 설치되어 있어 제1, 2, 3 콘트롤 볼 밸브(61)(62)(63)에 의해 질소의 공급 유로가 변환되도록 구성되어 있다.
본 발명은 제1, 2 밸브(23)(26)의 개방으로 제1, 2, 3 질소공급라인(61)(62)(63)을 통해 본체(10)의 내부로 질소를 안정적으로 공급하면서 세라믹 성형체의 탈 바인더 가소공정을 실시하다가 갑작스럽게 정전이 발생되어 제1, 2 밸브(23)(26)가 오프되더라도 질소를 안정적으로 공급할 수 있도록 제1, 2 예비용 밸브(27)(28)가 더 구비되어 있다.
즉, 상기 제1 질소공급라인(20)과 제1, 2 연결관(22)(25) 사이에 제1, 2 분기관(33)(34)이 연결되게 설치되어 있고 상기 제1, 2 분기관(33)(34)에는 질소를 본체(10)의 내부로 공급하는 과정에서 정전이 발생하여 제1, 2 밸브(23)(26)가 오프되었을 때, 자동으로 개방하여 제1, 2 분기관(33)(34)의 유로를 자동으로 개방하는 제1, 2 예비용 밸브(27)(28)가 설치되어 있다.
상기 발열체(11), 송풍 팬(12), 압력조절수단(40), 배기가스 배기량 조절수단(50)의 구동은 제어부(70)에 의해 제어되도록 구성되어 있다.
상기 송풍 팬(12)의 구동원인 모터(15)의 축(15a)은 베어링 및 패킹(16)에 의해 지지되어 회전하는 구조이므로 이들 사이의 틈새로 본체(10)의 내부로 에어가 들어가지 않도록 실링(sealing)을 하는 것이 보다 바람직하다.
이를 위해, 본 발명은 공정 가스로 질소를 사용함에 따라 제1 질소공급라인(20)과 모터 축(15a)의 기밀유지부위에 제4 연결관(17)이 설치되어 있고 상기 제4 연결관(17)에는 압력 레귤레이터(18) 및 제4 플로우 메타(19)가 설치되어 있다.
한편, 본 발명은 세라믹 성형체의 탈 바인더 가소 공정에서 본체(10) 내에 질소는 물론이고 필요에 따라 에어를 공급할 수 있도록 에어공급라인(80)이 제2 질소공급라인(30)에 연결되어 있고 상기 에어공급라인(80)에는 볼 밸브(81), 압력 레귤레이터(82), 제3 밸브(83) 그리고 제3 플로우메타(84)가 차례로 설치되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명에서, 소형이면서 고집적화된 다층의 세라믹 콘덴서의 탈 바인더 가소 공정에 대하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 가소 공정을 실시할 세라믹 콘덴서(도시는 생략함)를 성형하여 세터(setter)에 얹어 넣은 상태에서 초기 상승구간에는 제1 질소공급라인(20)을 통해 공급되는 질소가 제1 밸브(23) 및 제1 플로우 메타(21)를 통해 제2 질소공급라인(30)으로 이동한 다음 웨터 탱크(31)에서 수분을 함유한 질소로 변환된 다음 흡기구(13)를 통해 본체(10)로 공급되므로 가소 공정이 이루어지는데, 이때, 제2 밸브(26)는 닫혀 있다.
이러한 바와 같은 상태에서 본체(10)의 내부가 상승구간을 거쳐 유지(keep)구간에 도달하면 제어부(70)가 제2 밸브(26)를 개방하여 보다 많은 양의 질소가 본체(10)의 내부로 공급하게 되므로 가소 공정을 안정적으로 실시하게 된다.
상기한 바와 같이 수분을 함유한 질소를 이용하여 가소 공정을 실시할 때에는 웨터 탱크(31)의 전, 후단에 위치하는 제2 질소공급라인(30) 및 공급관(32)에 설치된 제1, 2 콘트롤 볼 밸브(61)(62)는 개방되어 있고 제3 질소공급라인(60)에 설치된 제3 콘트롤 볼 밸브(63)는 닫혀 있기 때문에 제2 질소공급라인(30)으로 공급되는 질소가 웨터 탱크(31) 측으로 공급되어 수분을 함유한 질소로 변환된 다음 공급관(32)을 통해 본체(10)의 내부로 공급된다.
이와 같이 수분을 함유한 질소를 본체(10)로 공급하여 가소 공정을 실시할 때, 산화가 이루어지지 않도록 본체(10)의 내부를 산소농도가 50ppm 이하로 유지하는데, 이는 가소 공정이 진행되는 세라믹 콘덴서가 급격한 반응에 의한 압력 상승으로 인해 산화되거나, 터짐 발생이 일어나지 않도록 하기 위한 것이다.
즉, 본 발명은 본체(10)의 내부로 유입된 수분을 함유한 질소에 의해 세라믹 콘덴서에 포함된 탄소성분을 제거할 때, 압력조절수단인 주 배기관(41a)에 설치되어 개방된 수동밸브(42)를 통해 일정량의 배기가스가 주 배기관(41a)으로 배출되는 과정에서 제1 배기관(41b)에 설치된 제1 비례제어밸브(43)의 개폐량이 자동으로 조절되므로 본체(10) 내의 압력이 가소 공정에 알맞게 조절되고, 이에 따라 본체(10) 내부의 산소농도를 임의 설정하여 설정된 이하로 유지시킬 수 있게 된다.
상기한 공정 시 본체(10) 내의 산소농도는 제품의 특성에 맞는 농도가 있으며, 산소의 농도를 낮출 경우에는 많은 양의 질소가 필요하여 생산원가가 상승되는 원인으로 작용되므로 일반적으로 50ppm이하로 관리하고 있다.
상기한 바와 같은 공정 시 제3 연결관(54)에 설치된 솔레노이드 밸브(55)를 조작하여 실린더(53) 측으로 질소를 공급하면 연결 바(52)에 의해 고정된 댐퍼(51)의 위치가 조절되므로 배기가스의 배출량을 보다 미세하게 조절할 수 있는 이점을 갖는다.
그러나 가소 공정 중에 유지구간이 끝나고 냉각구간에서 본체(10) 내의 배기가스를 신속하게 배출시키거나, 가소 공정(상승구간 및 유지구간) 중에 본체(10)의 내부 압력이 설정치 이상으로 상승하면 제2 배기관(41c)에 설치된 배기밸브(44)가 개방되어 배기가스를 외부로 배출시키게 되므로 세라믹 콘덴서의 불량을 미연에 방지하게 됨은 물론이고 가소 공정에 따른 시간을 줄일 수 있게 된다.
이하에서는 본체(10)의 내부에 건 질소를 공급하여 세라믹 성형체의 가소 공정을 실시하는 과정에 대하여 설명하면 다음과 같다.
상기 제1 질소공급라인(20) 및 제1, 2 밸브(23)(26)를 통해 제2 질소공급라인(30)으로 질소를 공급하는 과정은 전술한 바와 동일하다.
단, 웨터 탱크(31)의 전, 후단에 설치된 제1, 2 콘트롤 볼 밸브(61)(62)는 닫히고, 공급관(32)에 설치된 제3 콘트롤 볼 밸브(63)가 개방된 상태만이 다르다.
이에 따라, 제1 질소공급라인(20) 및 제1, 2 밸브(23)(26) 그리고 제2 질소공급라인(30)으로 공급되는 질소가 웨터 탱크(31)를 거치지 않으므로 건 질소가 ㅈ제3 질소공급라인(60)을 통해 본체(10)의 내부로 공급되면서 전술한 바와 동일하게 가소 공정을 실시하게 된다.
한편, 전술한 바와 같이 제1, 2 밸브(23)(26)가 개방된 상태에서 제1, 2 질소공급라인(20)(30)으로 질소를 공급하여 세라믹 성형체(세라믹 콘덴서 포함)의 가소 공정을 실시하는 과정에서 예기치 않은 정전이 발생되어 제1, 2 밸브(23)(26)가 닫히면 예비용 밸브(27)(28)가 자동으로 개방되어 제1, 2 분기관(33)(34)을 통해 제1, 2 연결관(22)(25)으로 질소가 공급되므로 정전에 다른 불량을 미연에 방지하게 된다.
또한, 본체(10)의 내부에 질소를 공급하지 않고 에어를 공급하여 세라믹 성형체의 가소 공정을 실시하고자 할 경우에는 건 질소를 공급하던 것과 같이 웨터 탱크(31)의 전, 후단에 설치된 제1, 2 콘트롤 볼 밸브(61)(62)를 닫고 제3 질소공급라인(60)에 설치된 제3 콘트롤 볼 밸브(63)를 개방한 상태에서 에어공급라인(80)을 통해 에어를 공급하므로 세라믹 성형체의 가소 공정을 실시할 수 있게 되는 것이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. It is noted that the figures are schematic and not drawn to scale. The relative dimensions and ratios of the parts in the figures have been exaggerated or reduced in size for clarity and convenience in the figures and any dimensions are merely exemplary and not limiting. And the same reference numerals are used to refer to similar features in the same structure, element or part shown in more than one figure.
2 is a schematic view showing the present invention, Figure 3 is a perspective view of the oven of the present invention, Figure 4 is a perspective view showing the pressure regulating means and the exhaust gas emission control means of the present invention, the present invention is the interior of the body 10 The heating element 11 for raising the internal temperature is installed in one side, and one side of the heating element 11 is provided with a blowing fan 12 for circulating oxygen and nitrogen introduced into the main body 10, the main body 10 In the air inlet 13 for allowing oxygen and nitrogen to enter the inside of the main body 10 and the exhaust port 14 for discharging the exhaust gas circulated inside the main body 10 is provided, this configuration is a conventional gas oven Is the same as
In the gas oven having such a configuration, the present invention provides a first nitrogen supply in which nitrogen is supplied to stably supply moisture-containing nitrogen to the inside of the main body 10 so that the binder removal plasticization process of the ceramic molded body (condenser) can be performed. A first valve 23 is provided in the line 20 to supply the amount of nitrogen set by the first flow meta 21 to the second nitrogen supply line 30 through the first connecting pipe 22. At the rear end of the first valve 23 installed in the first nitrogen supply line 20, the amount of nitrogen set by the second flow meta 24 is transferred to the second nitrogen supply line through the second connecting pipe 25. The 2nd valve 26 supplied to 30 is provided.
The reason why the first and second valves 23 and 26 are installed in the first nitrogen supply line 20 is that the main body 10 is formed through the first valve 23 in the initial rising section of the ceramic formed body which performs the calcination process. In the case of supplying a large amount of nitrogen to the holding section while supplying a value set in the inside of the is to supply a large amount of nitrogen through the first valve 23 and the second valve (26).
A second nitrogen supply line 30 is connected to a rear end of the first and second flow meta 21 and 24, and the nitrogen supplied to the end of the second nitrogen supply line 30 is nitrogen containing moisture. A converting wet tank 31 is provided, and the structure of the wet tank 31 is described in detail in Utility Model No. 444706 (registered on May 25, 2009) registered in advance by the applicant. The description of the structure and operation thereof is omitted.
A supply pipe 32 is connected between the intake port 13 and the wet tank 31 to supply the moisture-containing nitrogen to the inside of the main body 10 through the intake port 13, and is connected to the exhaust port 14. The exhaust pipe 41 is provided with a pressure regulating means 40 for automatically adjusting the pressure in the main body 10.
In the embodiment of the present invention, the pressure adjusting means 40 is connected to the exhaust port 14 as shown in FIGS. 2 and 3, and the main exhaust pipe 41a through which the exhaust gas is discharged by the operation of the manual valve 42. And a first proportional control valve 43 installed on the first exhaust pipe 41b communicating between the upper and lower portions of the manual valve 42 to adjust the displacement by the pressure in the main body 10; Installed on the second exhaust pipe 41c communicating between the upper and lower parts of the manual valve 42 to quickly discharge the exhaust gas in the main body 10 in the cooling section of the ceramic capacitor, or the pressure in the main body during the process is greater than or equal to the set value. It consists of an exhaust valve 44 which discharges exhaust gas at the time.
The present invention is provided with an exhaust gas exhaust amount adjusting means 50 for adjusting the exhaust amount of the exhaust gas in the exhaust pipe 41 in addition to the pressure adjusting means 40.
In the exemplary embodiment of the present invention, the exhaust gas exhaust amount adjusting means 50 is installed at an upper portion of the exhaust pipe 41 connected to the exhaust port 14 to adjust the exhaust gas exhaust amount. And a pair of cylinders 53 connected to the damper 51 by a connecting bar 52 to move the damper 51 up and down, and the first nitrogen supply line 20 to nitrogen. Is provided with a third connecting pipe (54) for supplying the gas to the cylinder (53) side to drive the cylinder (53), and a solenoid valve (55) installed on the third connecting pipe (54) to open and close the flow path. .
In addition, in the present invention, the third nitrogen supply line 60 supplies a second nitrogen supply line to supply not only moisture containing nitrogen through the second nitrogen supply line 30, but also dry nitrogen into the body 10. It is connected between the 30 and the supply pipe 32, and the first and second control ball valves 61 and 62 are installed at the front and rear ends of the wet tank 31, and the third nitrogen supply line 60 The 3rd control ball valve 63 is provided, and the 1st, 2nd, 3rd control ball valve 61, 62, 63 is comprised so that the supply flow path of nitrogen may be changed.
The present invention stably supplies nitrogen to the inside of the main body 10 through the first, second and third nitrogen supply lines 61, 62 and 63 by opening the first and second valves 23 and 26. First and second preliminary valves 27 and 28 to stably supply nitrogen even when the first and second valves 23 and 26 are turned off due to sudden power failure while performing the binder removal plasticization process of the ceramic molded body. Is further provided.
That is, the first and second branch pipes 33 and 34 are connected between the first nitrogen supply line 20 and the first and second connection pipes 22 and 25, and the first and second minutes are connected. The engines 33 and 34 automatically open when the first and second valves 23 and 26 are turned off in the process of supplying nitrogen to the inside of the main body 10, and the first and second minutes are automatically opened. First and second spare valves 27 and 28 are provided to automatically open the flow paths of the engines 33 and 34.
The driving of the heating element 11, the blowing fan 12, the pressure regulating means 40, the exhaust gas exhaust amount adjusting means 50 is configured to be controlled by the control unit 70.
Since the shaft 15a of the motor 15, which is the driving source of the blower fan 12, is supported by the bearing and the packing 16 to rotate, the air does not enter the inside of the main body 10 by a gap therebetween. It is more preferable to seal.
To this end, according to the present invention, as the process gas uses nitrogen, a fourth connecting pipe 17 is installed in the airtight holding part of the first nitrogen supply line 20 and the motor shaft 15a, and the fourth connecting pipe ( The pressure regulator 18 and the 4th flow meta 19 are provided in 17).
On the other hand, in the present invention, the air supply line 80 is connected to the second nitrogen supply line 30 to supply air as necessary as well as nitrogen in the main body 10 in the binder removal plasticization process of the ceramic molded body In the air supply line 80, a ball valve 81, a pressure regulator 82, a third valve 83, and a third flow meter 84 are sequentially installed.
In the present invention configured as described above, a debinder calcination process of a compact and highly integrated multilayer ceramic capacitor will be described as follows.
First, in a state in which a ceramic capacitor (not shown) to be subjected to a calcination process is formed and placed in a setter, nitrogen supplied through the first nitrogen supply line 20 is supplied to the first valve 23 in an initial rising section. And the first flow meta (21) is moved to the second nitrogen supply line (30) and then converted into the water-containing nitrogen in the water tank (31) and then supplied to the body (10) through the inlet (13) Therefore, a calcination process is performed, at which time the second valve 26 is closed.
In this state, when the inside of the main body 10 reaches the keep section through the rising section, the control unit 70 opens the second valve 26 so that a larger amount of nitrogen is introduced into the main body 10. Since it is supplied to the sintering process is performed stably.
As described above, when performing the calcination process using nitrogen containing moisture, the first and second controls provided in the second nitrogen supply line 30 and the supply pipe 32 located at the front and rear ends of the wet tank 31. Since the ball valves 61 and 62 are open and the third control ball valve 63 installed in the third nitrogen supply line 60 is closed, the nitrogen supplied to the second nitrogen supply line 30 is supplied to the wet tank ( 31) is supplied to the side is converted to the nitrogen containing moisture and then supplied to the inside of the main body 10 through the supply pipe (32).
As such, when the nitrogen-containing water is supplied to the main body 10 to perform the calcining process, the oxygen concentration is maintained at 50 ppm or less so that the oxidation is not performed. This is to prevent the condenser from oxidizing or bursting due to a pressure rise due to a sudden reaction.
That is, the present invention, when removing the carbon component contained in the ceramic capacitor by the nitrogen containing moisture introduced into the main body 10, the manual valve installed in the main exhaust pipe 41a, which is a pressure regulating means (open) 42, the opening and closing amount of the first proportional control valve 43 installed in the first exhaust pipe 41b is automatically adjusted in the process of exhausting a certain amount of exhaust gas to the main exhaust pipe 41a, so that the pressure in the main body 10 is reduced. According to the process, the oxygen concentration in the main body 10 can be arbitrarily set and maintained below the set value.
In the process described above, the oxygen concentration in the main body 10 has a concentration suitable for the characteristics of the product, and when the oxygen concentration is lowered, a large amount of nitrogen is required, which acts as a cause of an increase in production cost, and thus, generally, it is managed at 50 ppm or less Doing.
When the nitrogen is supplied to the cylinder 53 by operating the solenoid valve 55 installed in the third connecting pipe 54 during the process as described above, the position of the damper 51 fixed by the connecting bar 52 is adjusted. It has the advantage of more finely controlling the emissions of the exhaust gas.
However, if the exhaust gas in the main body 10 is discharged quickly in the cooling section after the holding section is finished during the calcination process, or if the internal pressure of the main body 10 rises above the set value during the calcination process (rising section and the holding section), the second pressure is increased. Since the exhaust valve 44 installed in the exhaust pipe 41c is opened to discharge the exhaust gas to the outside, defects of the ceramic capacitor can be prevented in advance, and the time according to the calcination process can be reduced.
Hereinafter, a process of plasticizing a ceramic molded body by supplying dry nitrogen to the inside of the main body 10 will be described.
The process of supplying nitrogen to the second nitrogen supply line 30 through the first nitrogen supply line 20 and the first and second valves 23 and 26 is the same as described above.
However, only the state in which the 1st, 2nd control ball valve 61 and 62 provided in the front and rear ends of the wet tank 31 is closed, and the 3rd control ball valve 63 provided in the supply pipe 32 is opened is different. .
Accordingly, since the nitrogen supplied to the first nitrogen supply line 20, the first and second valves 23 and 26, and the second nitrogen supply line 30 does not pass through the wet tank 31, the dry nitrogen is added to the third nitrogen. It is supplied to the inside of the main body 10 through the nitrogen supply line 60 to perform the calcination process as described above.
Meanwhile, as described above, nitrogen is supplied to the first and second nitrogen supply lines 20 and 30 in a state in which the first and second valves 23 and 26 are opened to sinter the ceramic molded body (including the ceramic capacitor). When an unexpected power failure occurs in the process of performing the first and second valves 23 and 26, the preliminary valves 27 and 28 are automatically opened to open the first and second branch pipes 33 and 34. Nitrogen is supplied to the first and second connection pipes 22 and 25 through the power supply to prevent other defects in the power failure.
In addition, when the air is supplied without supplying nitrogen to the inside of the main body 10 to carry out the calcination process of the ceramic formed body, the first, 2 The air is supplied through the air supply line 80 while the control ball valves 61 and 62 are closed and the third control ball valve 63 installed in the third nitrogen supply line 60 is opened. The plasticizing process can be performed.
Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. will be.
Therefore, the above-described embodiments are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention described in the above detailed description is represented by the following claims, and the meanings of the claims and All changes or modifications derived from the scope and the equivalent concept should be construed as being included in the scope of the present invention.

10 : 본체 11 : 발열체
12 : 송풍 팬 13 : 흡기구
14 : 배기구 17 : 제4 연결관
20 : 제1 질소공급라인 21 : 제1 플로우메타
22 : 제1 연결관 23 : 제1 밸브
24 : 제2 플로우메타 25 : 제2 연결관
26 : 제2 밸브 27 : 제1 예비용 밸브
28 : 제2 예비용 밸브 30 : 제2 질소공급라인
31 : 웨터 탱크 32 : 공급관
33 : 제1 분기관 34 : 제2 분기관
40 : 압력조절수단 41 : 배기관
42 : 수동밸브 43 : 제1 비례제어밸브
44 : 배기밸브 50 : 배출가스 배기량 조절수단
51 : 댐퍼 53 : 실린더
54 : 제3 연결관 60 : 제3 질소공급라인
61 : 제1 콘트롤 볼 밸브 62 : 제2 콘트롤 볼 밸브
63 : 제3 콘트롤 볼 밸브 70 : 제어부
80 : 에어공급라인 10: body 11: heating element
12 blower fan 13 intake vent
14: exhaust port 17: fourth connector
20: first nitrogen supply line 21: the first flow meter
22: first connector 23: first valve
24: 2nd flow meter 25: 2nd connector
26: second valve 27: first spare valve
28: second reserve valve 30: second nitrogen supply line
31: wet tank 32: supply pipe
33: first branch pipe 34: second branch pipe
40: pressure control means 41: exhaust pipe
42: manual valve 43: first proportional control valve
44: exhaust valve 50: exhaust gas exhaust amount adjusting means
51: damper 53: cylinder
54: third connector 60: third nitrogen supply line
61: first control ball valve 62: second control ball valve
63: third control ball valve 70: control unit
80: air supply line

Claims (6)

본체(10)와,
상기 본체(10)에 설치되어 내부 온도를 승온시키는 발열체(11)와,
상기 발열체(11)의 일 측에 설치되어 본체(10)로 유입된 산소 및 질소를 순환시키는 송풍 팬(12)과,
상기 본체(10)의 일 측에 연결되어 산소 및 질소가 본체의 내부로 유입되도록 하는 흡기구(13)와,
상기 본체(10)에 연결되어 본체의 내부를 순환하고 난 배기가스를 외부로 배출하는 배기구(14)를 갖는 전자부품 제조용 가스 오븐에 있어서,
제1 질소공급라인(20)에 설치되어 제1 플로우 메타(21)에 의해 세팅된 양의 질소를 제1 연결관(22)을 통해 제2 질소공급라인(30)으로 공급하는 제1 밸브(23)와,
상기 제1 질소공급라인(20)에 설치된 제1 밸브(23)의 후단에 설치되어 제2 플로우 메타(24)에 의해 세팅된 양의 질소를 제2 연결관(25)을 통해 제2 질소공급라인(30)으로 공급하는 제2 밸브(26)와,
상기 제2 질소공급라인(30)에 설치되어 공급되는 질소를 수분을 함유한 질소로 변환시키는 웨터 탱크(31)와,
상기 흡기구(13)와 웨터 탱크(31) 사이에 연결되어 수분을 함유한 질소가 흡기구(13)를 통해 본체(10)의 내부로 공급되도록 하는 공급관(32)과,
상기 배기구(14)와 연결된 배기관(41)에 설치되어 본체(10) 내의 압력을 자동으로 조절하는 압력조절수단(40)과,
상기 배기관(41)에 설치되어 배기가스의 배기량을 조절하는 배출가스 배기량 조절수단(50)과,
상기 발열체(11), 송풍 팬(12), 압력조절수단(40), 배기가스 배기량 조절수단(50)의 구동을 제어하는 제어부(70)를 포함하여 구성하고,
상기 제2 질소공급라인(30)을 통해 건조한 질소를 본체(10)의 내부로 공급하도록 제3 질소공급라인(60)을 제2 질소공급라인(30)과 공급관(32) 사이에 연결하고 상기 웨터 탱크(31)의 전, 후단에는 제1, 2 콘트롤 볼 밸브(61)(62)를 설치하며 제3 질소공급라인(60)에는 제3 콘트롤 볼 밸브(63)를 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 전자부품 제조용 가스 오븐.
With the body 10,
A heating element 11 installed at the main body 10 to raise an internal temperature;
A blowing fan 12 installed at one side of the heating element 11 to circulate oxygen and nitrogen introduced into the main body 10;
An inlet 13 connected to one side of the main body 10 to allow oxygen and nitrogen to flow into the main body;
In the gas oven for producing electronic components having an exhaust port 14 connected to the main body 10 for circulating the inside of the main body to discharge the exhaust gas to the outside,
A first valve installed in the first nitrogen supply line 20 and supplying the amount of nitrogen set by the first flow meta 21 to the second nitrogen supply line 30 through the first connection pipe 22 ( 23) and,
The second nitrogen supply through the second connecting pipe 25 to the nitrogen of the amount set by the second flow meta (24) is installed in the rear end of the first valve 23 installed in the first nitrogen supply line 20 A second valve 26 which feeds into the line 30,
A wet tank 31 installed in the second nitrogen supply line 30 to convert nitrogen supplied into moisture-containing nitrogen;
A supply pipe 32 connected between the inlet port 13 and the wet tank 31 to supply nitrogen containing moisture to the inside of the main body 10 through the inlet port 13;
A pressure regulating means (40) installed in the exhaust pipe (41) connected to the exhaust port (14) to automatically adjust the pressure in the main body (10);
Exhaust gas exhaust amount adjusting means (50) installed in the exhaust pipe (41) to regulate the exhaust volume of the exhaust gas,
It comprises a control unit 70 for controlling the driving of the heating element 11, the blowing fan 12, the pressure adjusting means 40, the exhaust gas exhaust amount adjusting means 50,
The third nitrogen supply line 60 is connected between the second nitrogen supply line 30 and the supply pipe 32 to supply dry nitrogen to the inside of the main body 10 through the second nitrogen supply line 30. The first and second control ball valves 61 and 62 are installed at the front and rear ends of the wet tank 31, and the third control ball valve 63 is installed at the third nitrogen supply line 60. Gas ovens for the production of electronic components.
청구항 1에 있어서,
상기 압력조절수단(40)은,
상기 배기구(14)에 연결되어 수동밸브(42)의 조작에 의해 배기가스가 배출되는 주 배기관(41a)과,
상기 수동밸브(42)의 상, 하부 사이에 연통되는 제1 배기관(41b) 상에 설치되어 본체(10) 내의 압력에 의해 배기량을 조절하는 제1 비례제어밸브(43)와,
상기 수동밸브(42)의 상, 하부 사이에 연통되는 제2 배기관(41c) 상에 설치되어 세라믹 콘덴서의 냉각구간에서 본체(10) 내의 배기가스를 신속하게 배출하거나, 공정 중에 본체 내의 압력이 설정치 이상일 때 배기가스를 배출하는 배기밸브(44)로 구성된 것을 특징으로 하는 전자부품 제조용 가스 오븐.
The method according to claim 1,
The pressure control means 40,
A main exhaust pipe 41a connected to the exhaust port 14 through which the exhaust gas is discharged by the manual valve 42;
A first proportional control valve 43 installed on the first exhaust pipe 41b communicating between the upper and lower portions of the manual valve 42 to adjust the displacement by the pressure in the main body 10;
It is installed on the second exhaust pipe 41c communicating between the upper and lower parts of the manual valve 42 to quickly discharge the exhaust gas in the main body 10 in the cooling section of the ceramic capacitor, or set the pressure in the main body during the process. Gas oven for producing electronic components, characterized in that composed of an exhaust valve 44 for discharging the exhaust gas when the above.
청구항 1에 있어서,
상기 배출가스 배기량 조절수단(50)은,
상기 배기구(14)와 연결된 배기관(41)의 상부에 설치되어 배출가스의 배기량을 조절하는 댐퍼(51)와,
상기 댐퍼(51)에 연결 바(52)로 연결되어 댐퍼(51)를 승, 하강시키는 실린더(53)와,
상기 제1 질소공급라인(20)에 연결되어 질소를 실린더(53) 측으로 공급하여 실린더(53)가 구동되도록 하는 제3 연결관(54)과,
상기 제3 연결관(54) 상에 설치되어 유로를 개폐하는 솔레노이드밸브(55)로 구성된 것을 특징으로 하는 전자부품 제조용 가스 오븐.
The method according to claim 1,
The exhaust gas displacement adjusting means 50,
A damper 51 installed at an upper portion of the exhaust pipe 41 connected to the exhaust port 14 to adjust an exhaust amount of the exhaust gas;
A cylinder 53 connected to the damper 51 by a connecting bar 52 to raise and lower the damper 51;
A third connecting pipe 54 connected to the first nitrogen supply line 20 to supply nitrogen to the cylinder 53 to drive the cylinder 53;
Gas oven for manufacturing electronic components, characterized in that consisting of a solenoid valve (55) installed on the third connecting pipe (54) to open and close the flow path.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제2 질소공급라인(30)에 에어공급라인(80)을 연결하고 상기 에어공급라인(80)에는 볼 밸브(81), 압력 레귤레이터(82), 제3 밸브(83) 그리고 제3 플로우메타(84)를 차례로 설치한 것을 특징으로 하는 전자부품 제조용 가스 오븐.
The method according to claim 1,
The air supply line 80 is connected to the second nitrogen supply line 30, and the air supply line 80 has a ball valve 81, a pressure regulator 82, a third valve 83, and a third flow meter. A gas oven for producing electronic parts, characterized in that 84 are provided in sequence.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 질소공급라인(20)에 제1, 2 분기관(33)(34)을 제1, 2 연결관(22)(25)과 연결되게 설치하고 상기 제1, 2 분기관(33)(34)에는 질소를 본체(10)의 내부로 공급하는 과정에서 정전이 발생하면 제1, 2 분기관(33)(34)의 유로를 자동으로 개방하는 제1, 2 예비용 밸브(27)(28)를 설치한 것을 특징으로 하는 전자부품 제조용 가스 오븐.The method according to claim 1,
The first and second branch pipes 33 and 34 are installed in the first nitrogen supply line 20 so as to be connected to the first and second connection pipes 22 and 25, and the first and second branch pipes 33 are formed. The first and second preliminary valves 27 automatically open the flow paths of the first and second branch pipes 33 and 34 when a power failure occurs in the process of supplying nitrogen into the main body 10. A gas oven for producing electronic parts, characterized in that 28 is provided.
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