KR200435250Y1

KR200435250Y1 - Electrical test apparatus

Info

Publication number: KR200435250Y1
Application number: KR2020060025762U
Authority: KR
Inventors: 정영배
Original assignee: 주식회사 아이에스시테크놀러지
Priority date: 2006-09-25
Filing date: 2006-09-25
Publication date: 2007-01-12

Abstract

본 고안은 전기적 시험장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전체적으로 박판으로 이루어지며, 그 일단은 웨이퍼에 형성된 복수개의 전극패드와 접촉하게 될 탐침핀부와, 그 타단은 회로기판의 패드에 접촉하는 단자부로 구성된 복수개의 프로브와, 이 복수개의 프로브 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈이 그 측부에 형성된 프로브 장착바와, 중앙에 개구가 형성되어 있고 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에서 상기 프로브 장착바가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부, 및 상기 프레임부와 체결되는 회로기판을 포함하되, 상기 프로브 장착바는 길다란 각형의 바부재와, 상기 바부재의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재와, 상기 바부재의 밑면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 하판부재를 포함하고, 상기 상판부재의 길이방향 길이는 상기 바부재의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재의 윗면과 밑면 각각의 면적보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재의 일측은 상기 바부재의 일측보다 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재의 길이방향 길이는 상기 바부재의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재의 윗면과 밑면 각각의 면적보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재의 일측은 상기 바부재의 일측보다 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있으며, 상기 상판부재의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고, 상기 프로브 장착바에는 상기 상판부재와 상기 하판부재 각각의 돌출부분과 상기 바부재의 일측에 의해 구획형성된 공간(A )이 형성되어 있어, 상기 프로브가 상기 상측 세로 슬릿 홈과 상기 하측 세로 슬릿 홈에 끼워져 있는 전기적 시험장치에 있어서, 상기 프로브 장착바에 마련되어 상기 프로브의 일단을 끼워 지지하는 보조 슬릿 홈이 형성된 지지편을 포함하며, 상기 보조 슬릿 홈은 소정의 일정 간격을 두고 배치되며, 상기 상측 세로 슬릿 홈과 대응되는 위치에 형성되어 있는 전기적 시험장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrical test apparatus, and more specifically, it is made of a thin plate as a whole, one end of the probe pin to be in contact with the plurality of electrode pads formed on the wafer, and the other end to the terminal part in contact with the pad of the circuit board A plurality of configured probes, a probe mounting bar having a vertical slit groove formed at a side thereof so that the plurality of probes can be mounted in a stably supported state, an opening formed at a center thereof, and a groove formed around the opening And a rectangular frame portion configured to be mounted such that the probe mounting bar crosses the opening while both ends of the probe mounting bar are fitted into the groove, and a circuit board engaged with the frame portion. The mounting bar has a long rectangular bar member, and a rectangle fixedly fixed to the upper surface of the bar member. A top plate member having a rectangular bottom plate member fixed integrally to a bottom surface of the bar member, wherein the length of the top plate member is shorter than the length of the bar member, and the top and bottom surfaces of the top plate member, respectively. The area of the bar member is wider than the area of each of the upper and lower surfaces of the bar member, one side of the upper plate member is protruded by a predetermined length than one side of the bar member, and the longitudinal length of the lower plate member is Shorter than the longitudinal length of the member, the area of each of the top and bottom surfaces of the lower plate member is wider than the area of each of the top and bottom surfaces of the bar member, one side of the lower plate member by a predetermined length than one side of the bar member Extends and protrudes, and a plurality of upper vertical slit grooves are formed at predetermined intervals on the protruding side of the upper plate member And a plurality of lower vertical slit grooves are formed on the protruding side of the lower plate member at predetermined intervals, and the plurality of upper vertical slit grooves and the plurality of lower vertical slit grooves are the same as each other. It is arranged up and down on a vertical line, the probe mounting bar is formed with a space (A) partitioned by the protrusions of each of the upper plate member and the lower plate member and one side of the bar member, the probe is the upper vertical An electrical test apparatus inserted into a slit groove and the lower vertical slit groove, the apparatus comprising: a support piece provided on the probe mounting bar and having an auxiliary slit groove formed to support one end of the probe, wherein the auxiliary slit groove is provided at a predetermined interval. Disposed at a position formed at a position corresponding to the upper vertical slit groove; It relates to an apparatus.

프로브 장착바, 지지편, 보조 슬릿 홈 Probe mounting bar, support piece, auxiliary slit groove

Description

Electrical test apparatus

도 1 내지 도 3은 종래 기술에 따른 전기적 시험장치.1 to 3 is an electrical test apparatus according to the prior art.

도 4 및 도 5는 도 2 및 도 3 에 따른 종래기술의 작용을 나타내는 작동도.4 and 5 are operation diagrams showing the operation of the prior art according to Figs.

도 6 은 본 고안에 따른 전기적 시험장치에 대한 일 실시예의 사시도.6 is a perspective view of an embodiment of an electrical test apparatus according to the present invention.

도 7은 도 6의 전기적 시험장치에서 지지편을 프로브 장착바에 접착하는 모습을 나타내는 도면.7 is a view showing a state in which the support piece is bonded to the probe mounting bar in the electrical test apparatus of FIG.

도 8은 도 6 에 따른 전기적 시험장치의 일부 구성의 사시도.8 is a perspective view of a partial configuration of the electrical test apparatus according to FIG. 6.

도 9은 도 7 에 따른 전기적 시험장치의 단면도.9 is a cross-sectional view of the electrical test apparatus according to FIG.

도 10 및 도 11은 도 6에 따른 전기적 시험장치의 작용을 나타내는 작동도.10 and 11 are views showing the operation of the electrical test apparatus according to FIG.

도 12은 본 고안에 따른 전기적 시험장치에 대한 다른 실시예의 단면도.12 is a cross-sectional view of another embodiment of an electrical test apparatus according to the present invention.

도 13는 본 고안에 따른 전기적 시험장치에 대한 다른 실시예의 사시도.Figure 13 is a perspective view of another embodiment of an electrical test apparatus according to the present invention.

도 14은 도 13 에 따른 전기적 시험장치의 일부 구성의 사시도.14 is a perspective view of a partial configuration of the electrical test apparatus according to FIG. 13.

도 15는 도 14에 따른 전기적 시험장치의 단면도.15 is a cross-sectional view of the electrical test apparatus according to FIG. 14.

<도면부호의 간단한 설명><Brief Description of Drawings>

300... 프로브 장착바 331...바부재300 ... probe mounting bar 331 ... bar member

332... 상판부재 333...하판부재332 Top member 333 Bottom member

334a...상측 세로 슬릿 홈 334b...하측 세로 슬릿 홈334a ... Top vertical slit groove 334b ... Bottom vertical slit groove

431... 지지편 432...보조 슬릿 홈431 ... Support 432 ... Secondary Slit Groove

본 고안은 전기적 시험장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼 상에 형성된 다수의 반도체 장치를 안정적으로 일괄하여 시험하게 하는 전기적 시험장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electrical test apparatus, and more particularly, to an electrical test apparatus for stably collectively testing a plurality of semiconductor devices formed on a semiconductor wafer.

일반적으로, 반도체 집적 회로 장치의 시험을 위해 반도체 시험장치를 이용하여 반도체 웨이퍼 상에 형성된 반도체 장치의 전기적 특성이 측정된다. 종래의 기술로서, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 다수의 반도체 장치를 일괄하여 시험하는 장치가 대한민국 실용등록공보 제0340108호에 개시되어 있다.Generally, the electrical characteristics of a semiconductor device formed on a semiconductor wafer are measured using the semiconductor test apparatus for testing a semiconductor integrated circuit device. As a conventional technique, an apparatus for collectively testing a plurality of semiconductor devices formed on a semiconductor wafer is disclosed in Korean Utility Registration Publication No. 0340108.

도 1은 종래의 반도체 시험장치에 대한 사시도이다. 도 1에 도시된 전기적 시험장치는 전체적으로 박판형상으로 되어 있는 프로브(110), 이 프로브 복수개의 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈(121)이 양측부에 형성된 프로브 장착바(120), 중앙에 개구가 형성되어 있고, 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바(120)의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에서 상기 프로브 장착바(120)가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부(130), 그리고 상기 프레임부(130)와 체결되는 회로기판을 포함하고 있다.1 is a perspective view of a conventional semiconductor test apparatus. The electrical test apparatus shown in FIG. 1 includes a probe 110 having a thin plate shape as a whole, and a probe having a vertical slit groove 121 formed at both sides thereof so as to be mounted in a state where both sides of the plurality of probes are stably supported. An opening is formed in the bar 120 and the center thereof, and a groove is formed around the opening so that the probe mounting bar 120 traverses the opening while both ends of the probe mounting bar 120 are fitted into the groove. It includes a rectangular frame portion 130, and a circuit board fastened to the frame portion 130 to be mounted.

여기에서, 상기 프로브(110)는 도1에 도시된 바와 같이, 장방형의 몸 체(111), 이 몸체(111)의 상단에 형성되어 반도체 시험장치의 작동시 웨이퍼에 형성된 복수개의 전극패드(171)에 접촉하게 될 탄성 탐침핀부(112), 그리고 이 몸체의 하단에 형성되어 회로기판(160)의 패드에 접촉하게 될 탄성 단자부(113)를 포함하고 있다.Here, the probe 110 is formed in the rectangular body 111, the upper end of the body 111, as shown in Figure 1, a plurality of electrode pads 171 formed on the wafer during operation of the semiconductor test apparatus ) And an elastic probe pin portion 112 to be in contact with the bottom of the body, and an elastic terminal portion 113 to be formed at the bottom of the body to be in contact with the pad of the circuit board 160.

도 2는 도 1의 프로브(110)가 종래의 프로브 장착바(120) 3개를 이용하여 양측부가 상기 프로브 장착바(120)에 끼워져 2열로 배치되어 있는 상태에서 프로브의 탄성 탐침핀부(112)와 접속된 웨이퍼(170)가 위에 배치되어 있고, 프로브의 탄성 단자부(113)와 접속된 회로기판(160)이 아래에 배치되어 있는 것을 도시하고 있다.FIG. 2 illustrates that the probe 110 of FIG. 1 uses three conventional probe mounting bars 120 so that both sides of the probe 110 are inserted into the probe mounting bars 120 and are arranged in two rows. And a wafer 170 connected to each other is disposed above, and a circuit board 160 connected to the elastic terminal portion 113 of the probe is disposed below.

그러나, 이러한 종래기술에 따른 전기적 시험장치는 도 2에 도시된 바와 같이 프로브(110)가 프로브 장착바(120)에 2열로 배치되어 있는 경우, 상기 탐침핀부(112)와 다른 하나의 열에 있는 상기 탐침핀부(112)가 서로 동일한 변위량으로 그 첨단부가 패드(171)위에서 서로 마주하는 방향으로 이동하고 있다. 이에 따라 어느 하나의 탐침핀부(112)가 패드(171)와 중심에 맞지 않는 경우, 프로브 탐침핀(112)부가 서로 마주하는 방향으로 경사져 있는 관계로, 변형에 의한 열간격이 좁아져 웨이퍼 척의 이동만으로는 위치보정이 어렵다는 문제점이 있었다.However, in the electrical test apparatus according to the related art, when the probe 110 is arranged in two rows on the probe mounting bar 120 as shown in FIG. The tip pin portions 112 are moved in the direction in which their tip portions face each other on the pad 171 with the same displacement amount. Accordingly, when any one of the probe pin 112 is not centered with the pad 171, the probe probe pin 112 is inclined in a direction facing each other, the thermal interval due to deformation is narrowed to move the wafer chuck There was a problem that it is difficult to correct the position alone.

이러한 문제점을 해결하고자, 대한민국 실용등록공보 제0358234호에서는 복수의 프로브(110)를 배치한 상태에서, 프로브(110)를 전극패드(171)에 접촉시킬 때 서로 마주하는 방향으로 탐침핀부(112)가 이동하는 것이 아니라, 동일한 방향으로 탐침핀부(112)가 이동하게 하는 기술이 개시되어 있다. 상세히 살펴보면, 프로브 장착바(300)가 길다란 각형의 바부재(331), 상기 바부재(331)의 윗면에 일체로 고 정되어 있는 장방형의 상판부재(332), 상기 바부재(331)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(333)를 포함하고 있다. 여기서, 상기 상판부재(332)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(332)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(333)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있다. 또한, 상기 상판부재(332)의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있다.In order to solve this problem, the Republic of Korea Utility Registration No. 0558234 in the state in which the plurality of probes 110 is disposed, the probe pin portion 112 in a direction facing each other when the probe 110 is in contact with the electrode pad 171. It is disclosed that the probe pin portion 112 moves in the same direction, rather than moving. Looking in detail, the probe mounting bar 300 is a long rectangular bar member 331, a rectangular top plate member 332 is fixed to the upper surface of the bar member 331, the bottom surface of the bar member 331 It includes a rectangular lower plate member 333 that is integrally fixed to the. Here, the longitudinal length of the upper plate member 332 is shorter than the longitudinal length of the bar member 331, and the area of each of the upper and lower surfaces of the upper plate member 332 is the upper and lower surfaces of the bar member 331. In a state larger than each area, one side portion of the upper plate member 332 extends by a predetermined length from one side portion of the bar member 331, and the longitudinal length of the lower plate member 333 is the bar. The lower plate member 333 is shorter than the longitudinal length of the member 331, and the area of each of the top and bottom surfaces of the lower plate member 332 is wider than that of each of the top and bottom surfaces of the bar member 331. One side portion of the bar member 331 extends by a predetermined length from one side portion. In addition, a plurality of upper vertical slit grooves 334a are formed on the protruding side of the upper plate member 332 at predetermined intervals, and a plurality of lower sides on the protruding side of the lower plate member 333. The vertical slit grooves 334b are arranged and formed at predetermined intervals, and each of the plurality of upper vertical slit grooves 334a and the plurality of lower vertical slit grooves 334b are disposed up and down on the same vertical line. It is.

이러한 구성을 구비한 종래기술은 패드(171)과 탄성 탐침핀부(112)간의 접촉시 서로 동일한 방향으로 그리고 서로 동일한 변형량으로 이동되므로, 소정의 변형량에 대해서는 척(202)만을 이동시킴으로서 용이하게 상기 패드(171)과 상기 탄성 탐침핀부(112)간의 접촉을 위한 위치결정을 가능하게 한다.In the prior art having such a configuration, since the pad 171 and the elastic probe pin portion 112 are moved in the same direction and in the same deformation amount as each other, the pad is easily moved by moving only the chuck 202 for a predetermined deformation amount. A positioning for contact between the 171 and the elastic probe pin 112 is made possible.

그러나, 이러한 종래기술은 프로브(110)가 프로브 장착바(300)의 일측만이 끼워져 장착되어 있기 때문에, 복수회 프로브(110)를 이용한 전기적 검사를 수행하면 상기 탄성 탐침핀부(112)의 단부(112a)가 휘어지게 된다. 그러나, 수마이크로미터 단위의 간격을 가진 반도체 시험에서 탄성 탐침핀부(112)의 단부(112a)가 약간만 휘어지게 되어도, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 탐침핀부(112)와 전극패드(171)간에 전기적 접촉이 이루어지지 않게 되어 올바른 전기적 검사 결과를 얻을 수 없게 된다.However, since the probe 110 is mounted to only one side of the probe mounting bar 300, the end of the elastic probe pin 112 may be formed by performing electrical inspection using the probe 110 a plurality of times. 112a) is bent. However, even when the end portion 112a of the elastic probe pin portion 112 is slightly bent in the semiconductor test having a unit interval of several micrometers, as shown in FIGS. 4 and 5, the probe pin portion 112 and the electrode pad ( The electrical contact is not made between the 171, it is impossible to obtain the correct electrical test results.

또한, 프로브(110)를 조금이라도 강하게 전극패드(171)에 접촉시키는 경우에는 상기 탄성 탐침핀부(112)의 단부(112a)가 부러져 버리게 되는 문제점도 발생하게 된다. In addition, when the probe 110 is in contact with the electrode pad 171 even slightly, a problem occurs that the end portion 112a of the elastic probe pin portion 112 is broken.

본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 반도체 시험을 반복적으로 시험하여도 탄성 탐침핀부가 휘어지거나 부러지지 않게 하는 전기적 시험장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-described problems, it is an object of the present invention to provide an electrical test apparatus that does not bend or break the elastic probe pin portion even if the semiconductor test is repeatedly tested.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 전기적 시험장치는 전체적으로 박판으로 이루어지며, 그 일단은 웨이퍼에 형성된 복수개의 전극패드와 접촉하게 될 탐침핀부와, 그 타단은 회로기판의 패드에 접촉하는 단자부로 구성된 복수개의 프로브와, 이 복수개의 프로브 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈이 형성된 프로브 장착바와, 중앙에 개구가 형성되어 있고 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에 서 상기 프로브 장착바가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부, 및 상기 프레임부와 체결되는 회로기판을 포함하되, 상기 프로브 장착바는 길다란 각형의 바부재와, 상기 바부재의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재와, 상기 바부재의 밑면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 하판부재로 구성된 프로브 장착바 몸체를 포함하고, 상기 상판부재의 길이방향 길이는 상기 바부재의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재의 윗면과 밑면 각각의 면적보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재의 일측은 상기 바부재의 일측보다 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재의 길이방향 길이는 상기 바부재의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재의 윗면과 밑면 각각의 면적보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재의 일측은 상기 바부재의 일측보다 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있으며, 상기 상판부재의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고, 상기 프로브 장착바에는 상기 상판부재와 상기 하판부재 각각의 돌출부분과 상기 바부재의 일측에 의해 구획형성된 공간(A )이 형성되어 있어, 상기 프로브가 상기 상측 세로 슬릿 홈과 상기 하측 세로 슬릿 홈에 끼워져 있는 전기적 시험장치에 있어서, 상기 프로브 장착바는 상기 프로브 장착바 몸체에 마련되어 상기 프로브의 일단을 끼워 지지하 는 보조 슬릿 홈이 형성된 지지편을 포함하며, 상기 보조 슬릿 홈은 소정의 일정 간격을 두고 배치되며, 상기 상측 세로 슬릿 홈과 대응되는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Electrical test apparatus of the present invention for achieving the above object is made of a thin plate as a whole, one end of the probe pin portion to be in contact with a plurality of electrode pads formed on the wafer, and the other end is composed of a terminal portion in contact with the pad of the circuit board A plurality of probes, a probe mounting bar having a vertical slit groove formed so as to be mounted in a state where both sides of the probes are stably supported, and an opening formed at a center thereof and a groove formed around the opening to mount the probe And a rectangular frame portion configured to be mounted by crossing the opening with both ends of the bar fitted in the groove, and a circuit board engaged with the frame portion. A long rectangular bar member and a rectangular upper plate part integrally fixed to an upper surface of the bar member. And a probe mounting bar body composed of a rectangular lower plate member fixed integrally to the bottom surface of the bar member, wherein the longitudinal length of the upper plate member is shorter than the longitudinal length of the bar member, and the upper surface of the upper plate member. The area of each of the bottom and the bottom is wider than the area of each of the top and bottom of the bar member, one side of the upper plate member is protruded by a predetermined length than one side of the bar member, and the longitudinal length of the lower plate member Is shorter than the length of the bar member in the longitudinal direction, the area of each of the top and bottom surfaces of the lower plate member is larger than the area of each of the top and bottom surfaces of the bar member, one side of the lower plate member than one side of the bar member It extends by a predetermined length and protrudes, and on the protruding side of the upper plate member, a plurality of upper vertical slit grooves are spaced at a predetermined predetermined interval. And a plurality of lower vertical slit grooves are arranged and formed at predetermined intervals on the protruding side of the lower plate member, and each of the plurality of upper vertical slit grooves and the plurality of lower vertical slit grooves Are arranged up and down on the same vertical line, and the probe mounting bar is formed with a space A partitioned by the protruding portion of each of the upper plate member and the lower plate member and one side of the bar member. In the electrical test apparatus that is inserted into the upper vertical slit groove and the lower vertical slit groove, the probe mounting bar includes a support piece provided in the probe mounting bar body is formed with an auxiliary slit groove for fitting one end of the probe The auxiliary slit grooves are arranged at a predetermined interval, and the upper vertical slit grooves It characterized in that it is formed in a corresponding position.

이하, 본 고안에 따른 전기적 시험장치에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도 6 내지 도 15을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of the electrical test apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 6 to 15.

본 실시예에의 전기적 시험장치에서 상기된 "종래의 기술"란에서 실용신안등록공보 제0340108호에 개시된 프로브 가이드 조립체의 장방형 프레임부는 동일한 구성을 가지므로, 본 실시예의 상세한 설명에서는 프로브 가이드 조립체의 구성요소인 프로브 장착바(300)를 제외한 다른 구성요소들에 대해서는 더 이상 상세한 설명은 생략한다.Since the rectangular frame portion of the probe guide assembly disclosed in Utility Model Registration No. 0340108 in the "Prior Art" column described above in the electrical test apparatus according to the present embodiment has the same configuration, the detailed description of the present embodiment provides a description of the probe guide assembly. Detailed description of the components other than the probe mounting bar 300 is omitted.

본 실시예에 따른 전기적 시험장치에서 프로브 장착바(300)는 길다란 각형의 바부재(331)와, 상기 바부재(331)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(332)와, 상기 바부재(331)의 밑면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 하판부재(333)로 구성된 프로브 장착바(300)를 포함한다. In the electrical test apparatus according to the present embodiment, the probe mounting bar 300 includes a long rectangular bar member 331, a rectangular upper plate member 332 which is integrally fixed to an upper surface of the bar member 331, and It includes a probe mounting bar 300 consisting of a rectangular lower plate member 333 that is integrally fixed to the bottom surface of the bar member 331.

상기 상판부재(332)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(332)의 일측은 상기 바부재(331)의 일측보다 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있다. The longitudinal length of the upper plate member 332 is shorter than the longitudinal length of the bar member 331, and the area of each of the upper and lower surfaces of the upper plate member 332 may be the upper and lower surfaces of the bar member 331. In a state larger than an area, one side of the upper plate member 332 extends by a predetermined length than one side of the bar member 331 and protrudes.

그리고 상기 하판부재(333)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(333)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부 재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(333)의 일측은 상기 바부재(331)의 일측보다 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있다.And the longitudinal length of the lower plate member 333 is shorter than the longitudinal length of the bar member 331, the area of each of the upper and lower surfaces of the lower plate member 333 is the upper and lower surfaces of the bar member 331, respectively In a state larger than the area of one side, one side of the lower plate member 333 extends by a predetermined length than one side of the bar member 331 protrudes.

상기 상판부재(332)의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있다. On the protruding side of the upper plate member 332, a plurality of upper vertical slit grooves 334a are arranged and formed at predetermined intervals, and on the protruding side of the lower plate member 333, a plurality of lower vertical slit. The grooves 334b are arranged and formed at predetermined intervals.

상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고, 상기 프로브 장착바(300)에는 상기 상판부재(332)와 상기 하판부재(333) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(331)의 일측에 의해 구획형성된 공간(A )이 형성되어 있어, 상기 프로브(110)가 상기 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 상기 하측 세로 슬릿 홈(334b)에 끼워진다. 이러한, 프로브 장착바(300)에 대한 구성은 대한민국 실용신안등록공보 제0358243호에 기재된 구성과 동일한 구성이다.Each of the plurality of upper vertical slit grooves 334a and the plurality of lower vertical slit grooves 334b is disposed up and down on the same vertical line, and the upper plate member 332 and the A space A partitioned by the protrusion of each lower plate member 333 and one side of the bar member 331 is formed, so that the probe 110 has the upper vertical slit groove 334a and the lower vertical slit. It fits into the groove 334b. Such a configuration of the probe mounting bar 300 is the same configuration as that described in Korean Utility Model Registration No. 0358243.

상기 프로브 장착바(300)에는 지지편(431)이 결합한다. 구체적으로 상기 지지편(431)은 상기 상판부재(332) 또는 상기 하판부재(333)가 바부재(331)보다 돌출되어 있는 프로브 장착바(300)의 일측에 마련된다.The support piece 431 is coupled to the probe mounting bar 300. Specifically, the support piece 431 is provided on one side of the probe mounting bar 300 in which the upper plate member 332 or the lower plate member 333 protrudes from the bar member 331.

상기 지지편(431)의 윗면에는 상기 프로브(110)의 일단을 끼워 지지하는 보조 슬릿 홈(432)이 그 윗면에 형성되어 있다. 상기 보조 슬릿 홈(432)은 소정의 일정 간격을 두고 배치되며, 상기 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 대응되는 위치에 형성되어 있다. 상기 보조 슬릿 홈(432)의 간격은 상측 세로 슬릿 홈(334a) 또는 하측 세로 슬릿 홈(334b)의 간격과 동일한 간격을 가진다.An auxiliary slit groove 432 is formed on an upper surface of the support piece 431 to support one end of the probe 110. The auxiliary slit grooves 432 are disposed at predetermined intervals and are formed at positions corresponding to the upper vertical slit grooves 334a. The interval between the auxiliary slit grooves 432 has the same interval as that of the upper vertical slit groove 334a or the lower vertical slit groove 334b.

또한, 지지편(431)의 일면에는 돌출부(433)가 마련되어 있으며, 그 돌출부(433)는 지지편(431)의 양단부측에 형성된다.In addition, a protruding portion 433 is provided on one surface of the supporting piece 431, and the protruding portion 433 is formed on both end sides of the supporting piece 431.

상기 지지편(431)을 상기 프로브 장착바(300)에 결합하기 위하여, 상기 지지편(431)의 돌출부(433)에 접착제를 도포한 후에 상기 돌출부(433)를 프로브 장착바(300)의 바부재에 부착시킨다. 이때, 돌출부(433)는 지지편(431)과 프로브 장착바(300)가 결합하였을 때, 도 7에 도시된 바와 같이 프로브 장착바(300)의 상판부재(332)와 지지편(431)이 소정의 간격(S)만큼 떨어져서 그 사이에 프로브(110)가 끼워질 수 있을 정도의 높이를 가진다.In order to couple the support piece 431 to the probe mounting bar 300, an adhesive is applied to the protrusion 433 of the support piece 431, and then the protrusion 433 is attached to the bar of the probe mounting bar 300. Attach to the member. At this time, when the support 433 and the support piece 431 and the probe mounting bar 300 are coupled, the upper plate member 332 and the support piece 431 of the probe mounting bar 300 as shown in FIG. It has a height enough to be spaced apart by a predetermined interval (S) so that the probe 110 can be inserted therebetween.

이러한 지지편(431)을 가진 본 실시예에서 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이 프로브(110)의 몸체(111)는 프로브 장착바(300)에 끼워지고, 프로브(110)의 일단(112a)은 지지편(431)에 끼워 고정된다. 이에 따라, 종래의 대한민국 실용신안등록공보 제0358243호에 기재된 고안에 비하여 프로브(110)의 일단부(112a)의 유동을 최소화하는 장점이 있다.6 to 9, the body 111 of the probe 110 is fitted to the probe mounting bar 300, and one end 112a of the probe 110 is shown in the present embodiment having such a support piece 431. ) Is fixed to the support piece 431. Accordingly, there is an advantage of minimizing the flow of one end 112a of the probe 110, compared to the invention described in the Republic of Korea Utility Model Registration No. 03548243.

즉, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 프로브(110)는 반복하여 전기적 실험을 수행하여도 그 일단(112a)이 지지편(431)에 끼워지기 때문에 위치의 변화가 적다. 이에 따라 안정적으로 시험을 수행할 수 있고 이에 따라 전기장치가 불량인지 여부를 용이하게 판단할 수 있다.That is, as shown in FIGS. 9 and 10, even if the probe 110 is repeatedly subjected to an electrical experiment, the end 112a of the probe 110 is fitted into the support piece 431 so that there is little change in position. As a result, the test can be stably performed, and accordingly, it is easy to determine whether the electric device is defective.

도 12에는 본 고안에 따른 다른 실시예를 도시하고 있다.Figure 12 shows another embodiment according to the present invention.

도 6 내지 도 9 에 도시된 프로브 장착바(300)는 한쪽에만 세로 슬릿 홈(334a, 334b)이 형성되고, 지지편(431)도 프로브 장착바(300)의 한쪽에만 마련되어 있으나, 도 12 에 도시된 실시예에서는 프로브 장착바(300)의 양쪽에 세로 슬릿홈(334a, 334b)이 형성되어 있고, 지지편(431)도 상기 프로브 장착바(300)의 양 측면에 마련되어 있다. In the probe mounting bar 300 illustrated in FIGS. 6 to 9, vertical slit grooves 334a and 334b are formed on only one side, and the support piece 431 is also provided only on one side of the probe mounting bar 300. In the illustrated embodiment, vertical slit grooves 334a and 334b are formed at both sides of the probe mounting bar 300, and support pieces 431 are also provided at both sides of the probe mounting bar 300.

이 프로브 장착바(300)는 상판부재(332)의 양측이 모두 바부재(331)보다 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있으며, 상기 상판부재(332)의 돌출된 타측은 그 일측의 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 대응하는 상측 세로 슬릿 홈(334a)이 형성된다.The probe mounting bar 300 has both sides of the upper plate member 332 extended by a predetermined length than the bar member 331, and the other side of the upper plate member 332 protrudes from the upper vertical slit groove ( An upper vertical slit groove 334a corresponding to 334a is formed.

한편, 하판부재(333)도, 그 양측이 모두 바부재(331)보다 소정 길이만큼 뻗어 돌출되어 있으며, 상기 하판부재(333)의 돌출된 타측은 그 일측의 하측 세로 슬릿 홈(334b)과 대응하는 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 형성된다.On the other hand, the lower plate member 333, both sides thereof are extended by a predetermined length than the bar member 331, the protruding other side of the lower plate member 333 corresponds to the lower vertical slit groove 334b of one side thereof The lower vertical slit groove 334b is formed.

또한, 지지편(431)도 상기 프로브 장착바(300)의 상판부재(332) 또는 하판부재(333)가 바부재(331)보다 돌출된 프로브 장착바(300)의 일측 또는 타측 모두에 마련되어 있으며, 보조 슬릿 홈(432)은 상기 지지편(431)들의 윗면에 형성된다. 이외에 다른 구성들은 도 6 내지 도 9에 도시된 프로브 장착바(300)와 동일하다.In addition, the support piece 431 is also provided on one side or the other side of the probe mounting bar 300, the upper plate member 332 or lower plate member 333 of the probe mounting bar 300 protruding from the bar member 331, The auxiliary slit grooves 432 are formed on the upper surfaces of the support pieces 431. Other configurations are the same as the probe mounting bar 300 illustrated in FIGS. 6 to 9.

이와 같이 양쪽에 세로 슬릿 홈 및 지지편(431)이 형성됨에 따라 다수의 프로브(110)를 다양하게 프로브 장착바(300)에 끼워 설치할 수 있다.As the vertical slit groove and the support piece 431 are formed at both sides, the plurality of probes 110 may be inserted into the probe mounting bar 300 in various ways.

도 13 내지 도 15는 본 고안에 따른 다른 실시예를 도시하고 있다.13 to 15 show another embodiment according to the present invention.

도 6 내지 도 9, 도 12에 도시된 실시예에서는 지지편(431)이 프로브 장착바(300)의 일측 또는 타측, 즉 측면에 마련되고 있으나, 본 실시예에서는 상기 지지편(431)이 프로브 장착바(300)의 상단측에 형성되고, 보조 슬릿 홈(432)은 상기 지지편(431)의 윗면에 형성된다. 상기 지지편(431)은 상기 상판부재(332)와 일체로 형성되는 것도 바람직하나, 상판부재(332)와 탈부착되는 것도 고려할 수 있다. 상기 보조 슬릿 홈(432)은 상측 세로 슬릿 홈(334a) 및 하측 세로 슬릿 홈(334b)과 대응되는 위치에 마련되어 있어, 프로브(110)의 일단이 상기 보조 슬릿 홈(432)에 끼워 지지된다.6 to 9 and 12, the support piece 431 is provided on one side or the other side, that is, the side of the probe mounting bar 300, in this embodiment, the support piece 431 is a probe It is formed on the upper side of the mounting bar 300, the auxiliary slit groove 432 is formed on the upper surface of the support piece 431. The support piece 431 may be formed integrally with the upper plate member 332, but may be considered to be detachable from the upper plate member 332. The auxiliary slit groove 432 is provided at a position corresponding to the upper vertical slit groove 334a and the lower vertical slit groove 334b so that one end of the probe 110 is fitted into the auxiliary slit groove 432.

이러한 구성에 따라, 프로브(110)는 그 일단(112a)이 상기 지지편(431)에 의하여 지지되므로 안정적으로 전기적 검사를 수행할 수 있는 장점이 있다.According to this configuration, the probe 110 has one end (112a) is supported by the support piece 431 has the advantage that can be performed stably electrical inspection.

한편, 도 6 내지 도 9, 도 12에 도시된 실시예와 도 13 내지 도 15에 도시된 실시예의 선택은 사용되어야 할 지지편(431)이 상기 프로브 장착바(300)에 끼워지는 방향과 관련되어 있다. Meanwhile, the selection of the embodiment shown in FIGS. 6 to 9 and 12 and the embodiment shown in FIGS. 13 to 15 is related to the direction in which the support piece 431 to be used is fitted to the probe mounting bar 300. It is.

즉, 지지되어야 할 프로브(110)의 일단(112a)가 프로브 장착바(300)의 안쪽을 향하는 방향으로 상기 프로브 장착바(300)에 끼워질 때에는 도 12 내지 도 15에 도시된 실시예와 같이 지지편(431)을 설치한다. 또한, 그 반대 방향으로 상기 프로브(110)가 상기 프로브 장착바(300)에 끼워질 때에는 도 6 내지 도 8, 도 11에 도시된 실시예와 같이 지지편(431)을 설치한다.That is, when one end 112a of the probe 110 to be supported is fitted to the probe mounting bar 300 in a direction toward the inside of the probe mounting bar 300, as shown in the embodiments shown in FIGS. 12 to 15. Install the support piece 431. In addition, when the probe 110 is fitted to the probe mounting bar 300 in the opposite direction, the support piece 431 is installed as shown in FIGS. 6 to 8 and 11.

한편, 상술한 실시예에서 프로브 장착바(300)는 2개 이상을 복수개 사용하는 구성도 가능하다. 즉, 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 프로브 장착바(300)의 일측에 마련된 프로브 장착바(300)와, 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 일측에 마련되고, 세로 슬릿 홈(334a)과 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 타측에 마련된 프로브 장착바(300)가 한 세트를 이루게 하는 실시 예도 가능하다. 이와 같이 복수의 프로브 장착바(300)를 마련하면, 다양한 형태로 프로브(110)를 장착하여 다양한 패드의 패턴에도 대응할 수 있는 효과가 있다.On the other hand, in the above-described embodiment, the probe mounting bar 300 may be configured to use a plurality of two or more. That is, the upper vertical slit groove 334a and the lower vertical slit groove 334b are provided on one side of the probe mounting bar 300, the upper mounting slit groove 334a and the lower vertical slit groove 334b. ) Is provided on one side, and the embodiment in which the probe mounting bar 300 having the vertical slit groove 334a and the lower vertical slit groove 334b provided on the other side forms a set. In this way, when the plurality of probe mounting bars 300 are provided, the probe 110 may be mounted in various forms to correspond to various pad patterns.

이상의 본 고안은 상기에서 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 고안의 취지와 범위에 포함된다.The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes can be made by those skilled in the art, which are included in the spirit and scope of the present invention defined in the appended claims.

이상 설명한 바와 같이 본 고안에 의하면, 프로브의 일단이 지지편에 의하여 지지되어 있으므로, 반도체 시험을 반복적으로 시험하여도 탄성 탐침핀부가 위치의 변화가 적어 안정적인 반도체 시험을 수행할 수 있다.As described above, according to the present invention, since one end of the probe is supported by the support piece, even if the semiconductor test is repeatedly tested, the elastic probe pin portion has little change in position, and thus a stable semiconductor test can be performed.

Claims

It is made of a thin plate as a whole, one end of the probe pin portion to be in contact with the plurality of electrode pads formed on the wafer, the other end of the plurality of probes consisting of a terminal portion in contact with the pad of the circuit board,

A probe mounting bar having a vertical slit groove formed at a side thereof so that the plurality of probes can be mounted in a stable state;

A rectangular frame portion having an opening formed in the center thereof and having a groove formed around the opening so that the probe mounting bar can be mounted to cross the opening while both ends of the probe mounting bar are fitted into the groove. And

Including a circuit board coupled to the frame portion,

The probe mounting bar is a long bar member of the square,

A rectangular upper plate member fixed integrally to an upper surface of the bar member;

It includes a rectangular lower plate member which is fixed to the bottom of the bar member integrally,

The longitudinal length of the upper plate member is shorter than the longitudinal length of the bar member, and the area of each of the top and bottom surfaces of the top plate member is wider than the area of each of the top and bottom surfaces of the bar member, one side of the top plate member. Is protruded by a predetermined length than one side of the bar member,

And the longitudinal length of the lower plate member is shorter than the longitudinal length of the bar member, the area of each of the upper and lower surfaces of the lower plate member is wider than the area of each of the upper and lower surfaces of the bar member, the lower plate member One side of the protruding by a predetermined length than one side of the bar member,

On the protruding side of the upper plate member, a plurality of upper vertical slit grooves are formed at predetermined intervals, and on the protruding side of the lower plate member, a plurality of lower vertical slit grooves are arranged at a predetermined constant interval. Is formed,

Each of the plurality of upper vertical slit grooves and the plurality of lower vertical slit grooves are disposed up and down on the same vertical line, and the protruding portion of each of the upper plate member and the lower plate member and one side of the bar member are mounted on the probe mounting bar. In the electrical test apparatus in which the space (A) partitioned by is formed, the probe is fitted in the upper vertical slit groove and the lower vertical slit groove,

A support piece provided on the probe mounting bar and having an auxiliary slit groove formed to support one end of the probe,

The auxiliary slit groove is disposed at a predetermined interval, the electrical test apparatus, characterized in that formed in a position corresponding to the upper vertical slit groove.

The method of claim 1,

The other side of the upper plate member extends by a predetermined length than the other side of the bar member, and the protruding side of the upper plate member is formed with an upper vertical slit groove corresponding to the upper vertical slit groove provided on one side of the upper plate member. ,

The other side of the lower plate member is protruded by a predetermined length than the other side of the bar member, the protruding side of the lower plate member, a lower vertical slit groove corresponding to the lower vertical slit groove provided on one side of the lower plate member is further formed Electrical test apparatus, characterized in that.

The method according to claim 1 or 2,

The support piece is provided at at least one position of one side or the other side of the probe mounting bar in which the upper plate member or the lower plate member protrudes from the bar member, wherein the auxiliary slit groove is formed on the upper surface of the support piece Electrical test apparatus.

The method according to claim 1 or 2,

The support piece is formed on the upper side of the upper plate member, the auxiliary slit groove is an electrical test apparatus, characterized in that formed on the upper surface of the support piece.

The method of claim 1,

The support piece is formed on the lower side of the lower plate member, the auxiliary slit groove is an electrical test apparatus, characterized in that formed on the lower surface of the support piece.

The method of claim 4, wherein

And the auxiliary slit groove is formed integrally with the support piece.