KR200421927Y1 - A pan filter unit - Google Patents

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KR200421927Y1
KR200421927Y1 KR2020060008024U KR20060008024U KR200421927Y1 KR 200421927 Y1 KR200421927 Y1 KR 200421927Y1 KR 2020060008024 U KR2020060008024 U KR 2020060008024U KR 20060008024 U KR20060008024 U KR 20060008024U KR 200421927 Y1 KR200421927 Y1 KR 200421927Y1
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조영호
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Abstract

본 고안은 청정실 천장용 팬 필터유니트에 관한 것으로, 특히 팬 필터유니트를 구성하는 케이싱의 내부에 장착된 송풍팬으로 외부의 공기를 흡입하여 청정실 내부로 정화하여 분산할 수 있도록 함으로써 반도체부품의 생산불량을 줄일 수 있도록 하기 위한 것이다. The present invention relates to a fan filter unit for a ceiling of a clean room. In particular, a blower fan mounted inside a casing constituting the fan filter unit allows suction of outside air to purify and disperse the inside of the clean room to produce and disperse semiconductor components. This is to reduce the

그 구성은 케이싱 내부에 장착된 송풍팬에 의해 유입된 공기가 하부에 장착된 필터를 거쳐 청정실 내부로 공기를 정화하여 공급하도록 구성된 팬 필터유니트에 있어서, 상기 케이싱의 상부는 폭이 좁고 하부는 폭이 넓은 사다리꼴 형상과, 상기 송풍팬의 양측에는 절곡된 면에 다수의 통공을 천공하여 측면에 장착된 분배판으로 구성된 팬 필터유니트를 제공하는 것이다.Its configuration is a fan filter unit configured to purify and supply air into a clean room through a filter mounted at a lower portion of the air flowing in by a blower fan mounted inside the casing, wherein the upper portion of the casing is narrow and the lower portion is wide. The wide trapezoidal shape, and both sides of the blowing fan to provide a fan filter unit consisting of a distribution plate mounted on the side by drilling a plurality of holes in the bent surface.

Description

청정실 천장용 팬 필터유니트{A pan filter unit}Clean room ceiling fan filter unit {A pan filter unit}

도 1은 본 고안의 저면을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing the bottom of the present invention.

도 2는 본 고안의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the present invention.

도 3은 본 고안의 케이싱을 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view showing a casing of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1. 케이싱 2. 송풍팬1. Casing 2. Blowing Fan

3. 필터 4. 사다리꼴 형상3. Filter 4. Trapezoidal Shape

5. 분배판 10. 팬 필터유니트5. Distribution Plate 10. Fan Filter Unit

51. 절곡된 면 52. 통공 51. Bent Side 52. Through Hole

본 고안은 청정실 천장용 팬 필터유니트에 관한 것으로, 특히 팬 필터유니트를 구성하는 케이싱의 내부에 장착된 송풍팬으로 외부의 공기를 흡입하여 청정실 내부로 균일하게 정화하여 분산할 수 있도록 함으로써 반도체부품의 생산불량을 줄일 수 있도록 하기 위한 것이다. The present invention relates to a fan filter unit for a ceiling of a clean room. In particular, a blower fan mounted inside a casing constituting the fan filter unit allows suction of external air to uniformly purify and disperse the inside of the clean room. This is to reduce production defects.

일반적으로 알려진 바와 같이, 초고밀도 집적회로나 반도체 칩 등과 같은 부품을 생산하는 청정실은 먼지가 전혀 없으며 외부와 차단 또는 격리된 공간으로써, 환경조건에 따라 양산의 품질을 제조하는 데 있어서 큰 영향을 끼치기 때문에 외부의 공기를 천장에서 정화하여 항상 청결하고 깨끗한 공기가 청정실 내부로 유입될 수 있도록 하기 위해 천장에 팬 필터유니트가 설치되어 있는 것이다.As is generally known, clean rooms that produce components such as ultra-high density integrated circuits or semiconductor chips are completely dust-free and isolated or isolated from the outside, which greatly affects the quality of mass production depending on environmental conditions. Therefore, the fan filter unit is installed on the ceiling to purify the outside air from the ceiling so that clean and clean air can be introduced into the clean room at all times.

상기와 같이 클린룸의 천장에 설치되는 팬 필터유니트는 공기를 정화시켜 청정실로 공급하는 것도 중요하지만 정화된 공기가 청정실 내부로 균일하게 공급되도록 하여야만 불량이 없는 양질의 제품을 생산할 수 있는 것이다.As described above, the fan filter unit installed on the ceiling of the clean room is also important to purify the air and supply it to the clean room, but only if the purified air is uniformly supplied to the inside of the clean room to produce a good quality product without defects.

그러기 위해 특허 10-463637호에 나타내는 바와 같이, 팬 필터유니트가 개발되었지만, 상기 팬 필터유니트를 구성하는 케이싱은 외부가 직사각형으로 형성되어 있기 때문에 케이싱 내부에 장착된 송풍팬에 의해 유입된 공기가 단부에서 원활하게 필터로 공급되지 않고 와류현상이 발생하여 청정실 내부로 균일하게 공급하기가 어려운 문제점이 발생하였고, 또한 내측면 사이에 다수 형성된 버플부재 역시 송풍압력을 높여주게 되므로 모터의 소비전력을 증가시키게 되는 문제점이 있었던 것이다.To this end, as shown in Patent No. 10-463637, a fan filter unit has been developed, but since the casing constituting the fan filter unit is formed in a rectangular outer shape, the air introduced by the blower fan mounted inside the casing ends. It is difficult to uniformly supply the inside of the clean room due to the vortex phenomenon that is not smoothly supplied to the filter, and the baffle members formed between the inner surfaces also increase the blowing pressure, thereby increasing the power consumption of the motor. There was a problem.

그뿐만 아니라 케이싱 내부에 장착된 통공이 다수 천공된 마운팅 플레이트는 송풍팬 구조와 일체로 연결되어 송풍팬에서 발생되는 공기의 분포가 송풍팬의 주변에서 와류현상이 발생하여 기류분포가 일정하지 않게 됨은 물론 공기가 가운데로 배출되는 것을 방해하며, 가장자리로 쏠리는 현상이 발생하여 필터를 통과한 공기는 청정실 내부로 균일하게 공급되지 않는 것이다.In addition, the mounting plate with a large number of perforations mounted inside the casing is integrally connected with the blower fan structure so that the distribution of air generated by the blower fan is caused by vortex phenomena around the blower fan. Of course, the air is prevented from being discharged to the center, and the phenomenon that the air passes through the filter is not uniformly supplied into the clean room.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 개량 안출한 것으로, 외부의 공기를 정화시켜 청정실 내부로 공급하기 위해 청정실 천장에 설치되는 팬 필터유니트의 케이싱을 마름모 형상과 같이 경사지게 하여 송풍팬에 의해 유입된 공기가 케이싱 내부에서 공기의 흐름이 원활하게 이루어지도록 하여 하부에 장착된 필터를 거쳐 청정실 내부로 공급되도록 함은 물론 케이싱의 내부에 절곡하여 부착된 분배판에 통공이 천공되어 있음으로써 팬 필터유니트의 내부로 유입된 공기가 청정실 내부로 어느 한쪽 방향으로 치우치지 않고 균일하게 배출되도록 함으로써 청정실 내에서 이루어지는 작업능률을 향상시킴은 물론 제품의 불량률을 줄이고자 함을 목적으로 하는 것이다. The present invention has been devised to solve the above problems, the inlet of the fan filter unit installed on the ceiling of the clean room to purge the outside air to the interior of the clean room inclined as a rhombus inflow by the blowing fan Fan filter unit by allowing the air to flow smoothly inside the casing to be supplied to the inside of the clean room through the filter mounted at the bottom, and the through-hole is perforated in the distribution plate which is bent and attached to the inside of the casing. The purpose of the present invention is to improve work efficiency in the clean room as well as reduce the defect rate of the product by allowing the air introduced into the inside of the clean room to be discharged uniformly without being biased in either direction.

상기와 같은 목적을 갖는 본 고안의 구성을 첨부된 도면에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같은 것이다.Referring to the configuration of the present invention having the above object in more detail based on the accompanying drawings will be as follows.

본 고안은 도 1에 나타내는 바와 같이, 케이싱(1) 내부에 장착된 송풍팬(2)에 의해 유입된 공기가 하부에 장착된 필터(3)를 거쳐 청정실 내부로 공기를 정화하여 공급하도록 구성된 팬 필터유니트에 있어서, 상기 케이싱(1)의 상부는 폭이 좁고 하부는 폭이 넓은 사다리꼴 형상(4)과, 상기 송풍팬(2)의 양측에는 절곡된 면(51)에 다수의 통공(52)을 천공하여 측면에 장착된 분배판(5)으로 구성된 팬 필터유니트를 제공하는 것이다.As shown in FIG. 1, a fan configured to purify and supply air into a clean room through a filter 3 mounted at a lower portion of air introduced by a blowing fan 2 mounted inside a casing 1 is provided. In the filter unit, a plurality of through holes 52 are formed in a trapezoidal shape 4 having a wide width at the upper portion of the casing 1 and a wide width at the lower portion thereof, and a curved surface 51 at both sides of the blowing fan 2. Perforated to provide a fan filter unit consisting of a distribution plate 5 mounted on the side.

또한, 본 고안은 상기 분배판(5)의 절곡된 면(51)에 천공된 통공(52)이 중앙에서 양측으로 갈수록 폭이 좁아지도록 구성된 것을 특징으로 하는 팬 필터유니트 를 제공하는 것이다. In addition, the present invention is to provide a fan filter unit, characterized in that the through-hole 52 drilled on the bent surface 51 of the distribution plate 5 is configured to be narrower from the center toward both sides.

상기와 같이 구성된 본 고안의 작용효과를 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같은 것이다.When explaining the operation and effect of the present invention configured as described above in more detail.

본 고안의 도 1은 팬 필터유니트의 케이싱 내부를 나타낸 저면도에 관한 것으로, 특히 내부에 장착되는 분배판(5)의 절곡된 면(51)에 통공(52)이 천공되어 있는 상태로써 중앙에서 양측으로 갈수록 통공(52)의 폭이 좁아지도록 형성되어 있기 때문에 통공(52)을 통해 배출되는 공기를 분배할 수 있도록 나타낸 것이고, 도 2는 본 고안의 팬 필터유니트를 종으로 절단한 단면도에 관한 것으로, 송풍팬(2)이 장착되어 외부에서 유입되는 공기가 케이싱(1) 내부에서 균일하게 분배되어 청정실 내부로 배출되는 상태를 나타낸 것이고, 도 3은 팬 필터유니트를 구성하고 있는 사시도로써, 케이싱(1)은 사다리꼴 형상(4)으로 이루어져 있기 때문에 공기가 경사면을 따라 원활하게 이동이 이루어질 수 있는 상태를 나타내는 것이다.Figure 1 of the present invention relates to a bottom view showing the inside of the casing of the fan filter unit, in particular in the state that the through hole 52 is perforated on the bent surface 51 of the distribution plate 5 mounted therein Since the width of the through hole 52 is narrowed toward both sides, it is shown to distribute the air discharged through the through hole 52, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the fan filter unit of the present invention cut longitudinally. As shown in FIG. 3, a blower fan 2 is mounted and air flowing from the outside is uniformly distributed in the casing 1 and discharged into the clean room. FIG. 3 is a perspective view of the fan filter unit. (1) shows a state in which air can be smoothly moved along the inclined surface because it is made of a trapezoidal shape (4).

상기와 같은 본 고안의 실시 예를 설명하면, 도 3에 나타내는 바와 같이, 팬 필터유니트(10)를 구성하는 케이싱(1)의 외형을 직사각형으로 형성하였지만, 각 모서리를 중심으로 하여 상부로 갈수록 폭이 좁아지는 사다리꼴 형상(4)으로 성형한다. 따라서 케이싱(1) 내부에 장착된 송풍팬(2)에 의해 흡입된 외부의 공기가 케이싱(1)의 면을 따라 이동할 때 모서리 부분에서 와류가 발생되지 않고 경사면을 따라 배출되므로 송풍팬(2)의 모터에 무리를 주지 않게 되는 것이다.Referring to the embodiment of the present invention as described above, as shown in Figure 3, the outer shape of the casing (1) constituting the fan filter unit 10 is formed in a rectangular shape, the width toward the top toward the center around each corner The narrowing trapezoidal shape 4 is molded. Therefore, when the outside air sucked by the blowing fan 2 mounted inside the casing 1 moves along the surface of the casing 1, no vortex is generated at the corners and is discharged along the inclined surface, so that the blowing fan 2 Will not overload the motor.

그리고 도 2에 나타내는 바와 같이, 케이싱(1)의 내부에 절곡되어 장착된 분배판(5)은 송풍팬(2)에 의해 흡입된 외부의 공기를 분배하여 주기 위한 것으로, 송 풍(2)에 의해 흡입된 외부의 공기는 3방향의 기류로 나누어 배출이 된다. 즉, 도 2에 나타내는 화살표 a방향과 같이 분배판(5)의 상부인 케이싱(1)의 경사면을 타고 케이싱(1)의 외측으로 배출이 되고, 또 화살표 b에 나타내는 바와 같이, 분배판(5)의 절곡된 면(51)에 형성된 통공(52)을 통해 배출이 되고, 또 화살표 c에 나타내는 바와 같이, 분배판(5)의 하부면을 따라 송풍팬(2)이 장착된 중앙부로 배출이 되는 것이다. As shown in FIG. 2, the distribution plate 5 which is bent and mounted inside the casing 1 is for distributing external air sucked by the blowing fan 2, to the blowing air 2. The outside air sucked by the air is discharged by dividing the air into three directions. That is, in the inclined surface of the casing 1 which is the upper part of the distribution board 5 like the arrow a direction shown in FIG. 2, it discharges to the outer side of the casing 1, and as shown by arrow b, the distribution board 5 is shown. Is discharged through the through-hole 52 formed in the bent surface 51 of), and as shown by arrow c, the discharge is carried out along the lower surface of the distribution plate 5 to the central portion where the blowing fan 2 is mounted. Will be.

따라서 상기 송풍팬(2)에 의해 외부에서 유입된 공기는 케이싱(1)의 중앙에서 외측으로 균등하게 배출이 되어 하부에 장착된 필터(3)를 통해 불순물은 정류되어 깨끗하고 순수한 공기만이 청정실 내부로 균일하게 분배되어 공급되는 것이다.Therefore, the air introduced from the outside by the blower fan 2 is discharged evenly from the center of the casing 1 to the outside, and impurities are rectified through the filter 3 mounted on the lower side, so that only clean and pure air is used in the clean room. It is supplied evenly distributed inside.

상기에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 팬 필터유니트를 구성하고 있는 케이싱의 내부에 분배판을 장착하여 송풍팬에 의해 유입된 외부의 공기를 균등하게 분배하여 필터를 통해서 청정실 내부로 공급하여 줌으로써, 송풍팬을 구동하는 모터에 무리를 주지 않게 되므로 소음이 방지되고, 또 청정실 내부에서 작업하는 제품에 불량이 나지 않게 되므로 작업능률의 향상은 물론 경제적인 효과를 얻게 되는 것이다.As described above, the present invention is installed by distributing a plate inside the casing constituting the fan filter unit to evenly distribute the outside air introduced by the blower fan to supply the inside of the clean room through the filter, Since the motor driving the fan is not overwhelmed, noise is prevented, and the product working in the clean room is not defective, thereby improving work efficiency and economic effects.

Claims (2)

케이싱 내부에 장착된 송풍팬에 의해 유입된 공기가 하부에 장착된 필터를 거쳐 청정실 내부로 공기를 정화하여 공급하도록 구성된 팬 필터유니트에 있어서, In a fan filter unit configured to purify and supply air into a clean room through a filter mounted in the lower portion, the air introduced by the blowing fan mounted inside the casing, 상기 케이싱의 상부는 폭이 좁고 하부는 폭이 넓은 사다리꼴 형상과, 상기 송풍팬의 양측에는 절곡된 면에 다수의 통공을 천공하여 측면에 장착된 분배판으로 구성된 청정실 천장용 팬 필터유니트.The upper part of the casing is narrow width, the lower part is a wide trapezoidal shape, and both sides of the blower fan clean unit ceiling fan filter unit consisting of a plurality of perforated holes in the bent surface mounted on the side. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분배판의 절곡된 면에 천공된 통공이 중앙에서 양측으로 갈수록 폭이 좁아지도록 구성된 것을 특징으로 하는 청정실 천장용 팬 필터유니트.Fan filter unit for a clean room ceiling, characterized in that the through-hole perforated on the bent surface of the distribution plate is configured to be narrower from the center toward both sides.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102310792B1 (en) * 2021-01-06 2021-10-08 이현옥 Clean Air Uniform Supply System for Semiconductor Manufacturing

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