KR200415317Y1 - Storage box for wafer - Google Patents

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KR200415317Y1
KR200415317Y1 KR2020060003791U KR20060003791U KR200415317Y1 KR 200415317 Y1 KR200415317 Y1 KR 200415317Y1 KR 2020060003791 U KR2020060003791 U KR 2020060003791U KR 20060003791 U KR20060003791 U KR 20060003791U KR 200415317 Y1 KR200415317 Y1 KR 200415317Y1
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정세영
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주식회사 한야 텍
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Abstract

본 고안은 웨이퍼 보관박스에 관한 것이다. 본체(10)와 뚜껑(12)으로 구성되고, 본체(10)의 내부에는 내측면에 웨이퍼(14)의 측부가 안내삽입되는 다수의 수직안내채널(16)을 갖는 양측의 지지부(18)(20)로 구성되는 측부지지대(22)가 삽입되며, 본체(10)의 저면측에서 측부지지대(22)의 하측에 웨이퍼(14)의 하측부를 지지하도록 상기 측부지지대(22)의 수직안내채널(16)에 상응하는 지지채널(24)을 갖는 크레이들(26)이 배치되고, 이 크레이들(26)이 지지각(28)을 갖는 사각형의 프레임(30)으로 구성된다. 본 고안에 따라서, 크레이들(26)의 프레임(30)내에 상측으로 상기 지지채널(24)이 형성되고 중간이 단절된 외팔보 형태의 채널구성요소(32)가 각각의 단부에서 지지각(28)측의 프레임(30)에 일체로 연결되고 각 채널구성요소(32)가 이들사이에 슬리트(34)로 분리된다.The present invention relates to a wafer storage box. Comprising a main body 10 and a lid 12, both sides of the support (18) having a plurality of vertical guide channels (16) in which the side of the wafer 14 is guided in the inner surface of the main body 10 ( 20 is inserted into the side support 22, the vertical guide channel of the side support 22 to support the lower side of the wafer 14 to the lower side of the side support 22 from the bottom of the main body 10 ( A cradle 26 having a support channel 24 corresponding to 16 is disposed, which is comprised of a rectangular frame 30 having a support angle 28. According to the present invention, the cantilever-shaped channel component 32 having the support channel 24 formed therein and the middle cut off in the frame 30 of the cradle 26 is supported at the support angle 28 at each end. It is integrally connected to the frame 30 of and each channel component 32 is separated by slits 34 therebetween.

웨이퍼, 웨이퍼 보관박스, 측부지지대, 크레이들, 지지채널. Wafer, Wafer Storage Box, Side Supports, Cradles, Support Channels.

Description

웨이퍼 보관박스 {STORAGE BOX FOR WAFER}Wafer Storage Box {STORAGE BOX FOR WAFER}

도 1은 본 고안 웨이퍼 보관박스의 내부구조를 보인 사시도.1 is a perspective view showing the internal structure of the wafer storage box of the present invention.

도 1는 본 고안의 단면도.1 is a cross-sectional view of the present invention.

도 3은 웨이퍼의 하측부를 지지하는 크레이들을 보인 사시도.3 is a perspective view showing a cradle supporting a lower side of the wafer.

도 4는 도 3에서 보인 웨이퍼 크레이들의 횡단면도.4 is a cross-sectional view of the wafer cradle shown in FIG. 3.

도 5는 동 종단면도.5 is a longitudinal cross-sectional view.

도면의 주요부분에 대한 부호설명Explanation of Signs of Major Parts of Drawings

10... 본체 14... 웨이퍼10 ... Body 14 ... Wafer

16... 수직안내채널 22... 측부지지대16 ... Vertical guide channel 22 ... Side support

24... 지지채널 26... 크레이들24 ... support channel 26 ... cradle

32... 채널구성요소 34... 슬리트32 ... channel component 34 ... slit

본 고안은 웨이퍼 보관박스에 관한 것으로, 특히 반도체소자의 제조에 사용되는 웨이퍼를 보관 또는 보관운반하는데 사용되는 웨이퍼 보관박스에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer storage box, and more particularly, to a wafer storage box used to store or transport wafers used in the manufacture of semiconductor devices.

통상적으로 반도체소자의 제조에 사용되는 웨이퍼는 그 제조과정에서 외부환경으로부터 오염되지 않도록 보호되는 상태에서 필요에 따라 다량 또는 소량의 웨이퍼가 전용의 박스에 보관되거나 보관상태에서 운반된다. 종래 이와 같은 상태에서 웨이퍼가 보관되는 웨이퍼 보관박스는 본체와 이러한 본체를 폐쇄하는 뚜껑으로 구성되고 본체내에 저면측으로 웨이퍼의 하측부를 지지하는 크레이들과 웨이퍼의 측부를 지지하는 측부지지대가 수용되며, 측부지지대는 양측으로 수개 또는 다수의 웨이퍼가 서로 접촉됨이 없이 웨이퍼의 측부가 안내삽입되도록 하는 수직안내채널이 형성되어 있고, 웨이퍼의 하측부를 지지하는 크레이들에는 웨이퍼의 하측부가 삽입되는 수평에 가까운 원호형 지지채널이 형성되어있는 웨이퍼 보관박스가 알려진 바 있다. 이러한 종래기술의 웨이퍼 보관박스에 있어서는 크레이들의 지지채널을 구성하는 채널구성요소가 웨이퍼를 충격으로부터 보호할 수 있도록 탄성체로 구성된다. 그러나, 종래기술의 웨이퍼 보관박스에서 웨이퍼를 지지하는 크레이들의 경우, 웨이퍼의 하측부가 삽입되는 지지채널의 구성요소를 탄성체로 구성할 때 웨이퍼에 가하여지는 충격을 흡수하는 효과가 있으나 전체 채널구성요소가 상하측의 방향과 좌우측의 방향 모두에 대하여 변형될 수 있어 채널구성요소가 안정된 상태를 유지하기 어려운 경우가 있다. 또한 종래기술의 웨이퍼 보관박스는 인접한 웨이퍼 사이 또는 웨이퍼와 박스본체 사이에서 대전되는 정전용량에 의하여 웨이퍼가 좋지 않은 영향을 받을 수 있다.In general, a wafer used in the manufacture of a semiconductor device is stored in a dedicated box or transported in a storage box or a large amount of wafers as needed in a state where the wafer is protected from contamination from the external environment during the manufacturing process. The wafer storage box in which the wafer is conventionally stored in such a state is composed of a main body and a lid for closing the main body, and includes a cradle for supporting the lower side of the wafer to the bottom side and a side support for supporting the side of the wafer. The support is formed with a vertical guide channel through which the side of the wafer is guided without contacting each other with a plurality of wafers, and the cradle supporting the lower part of the wafer has a near horizontal circle into which the lower part of the wafer is inserted. Wafer storage boxes are known in which arc-shaped support channels are formed. In such a prior art wafer storage box, the channel component constituting the support channel of the cradle is made of an elastic body to protect the wafer from impact. However, in the case of the cradle supporting the wafer in the wafer storage box of the prior art, when the component of the support channel into which the lower part of the wafer is inserted is composed of an elastic body, the impact on the wafer is absorbed, but the entire channel component is Deformation can be made in both the up-down direction and the left-right direction, so that it is difficult for the channel component to maintain a stable state. In addition, the wafer storage box of the prior art may be adversely affected by the electrostatic capacitance charged between adjacent wafers or between the wafer and the box body.

본 고안에 있어서는 종래의 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 웨이퍼의 하측부를 지지하는 크레이들의 채널구성요소가 중간에서 단절되고 양측이 외팔 보형태로 구성되어 특히 상하측 방향으로의 탄성이 유지될 수 있도록 하는 반면에 좌우측 방향으로는 비교적 안정된 위치를 유지할 수 있도록 하고, 채널구성요소의 표면을 테프론(Teflon;상표명)으로 코팅하여 표면부위의 탄력성을 강화함으로서 웨이퍼를 충격으로부터 보호하고 안정되게 지지할 수 있도록 한 웨이퍼 보관박스를 제공하는데 그 목적이 있다.In the present invention, it is conceived in view of such a conventional point, and the channel component of the cradle supporting the lower side of the wafer is cut off in the middle, and both sides are formed in the cantilever shape so that the elasticity in the up and down direction can be maintained. On the other hand, it is possible to maintain a relatively stable position in the left and right direction, and the surface of the channel component is coated with Teflon (trade name) to enhance the elasticity of the surface portion to protect the wafer from impact and to stably support it. Its purpose is to provide a wafer storage box that can be used.

이를 위하여, 본 고안에 있어서는 본체와 뚜껑으로 구성되고, 본체의 내부에는 내측면에 웨이퍼의 측부가 안내삽입되는 다수의 수직안내채널을 갖는 양측의 지지부로 구성되는 측부지지대가 삽입되며, 본체의 저면측에서 측부지지대의 하측에 웨이퍼의 하측부를 지지하도록 상기 측부지지대의 수직안내채널에 상응하는 지지채널을 갖는 크레이들이 배치되고, 이 크레이들이 지지각을 갖는 사각형의 프레임으로 구성되는 웨이퍼 보관박스를 제공한다. 본 고안에 따라서, 크레이들의 프레임내에 상측으로 상기 지지채널이 형성되고 중간이 단절된 외팔보 형태의 채널구성요소가 각각의 단부에서 지지각측의 프레임에 일체로 연결되고 각 채널구성요소가 이들사이에 슬리트로 분리된다.To this end, in the present invention is composed of a main body and a lid, the inner side of the main body is inserted into the side support portion consisting of the support portions of both sides having a plurality of vertical guide channels in which the side portion of the wafer is guided, the bottom of the main body A cradle having a support channel corresponding to the vertical guide channel of the side support is disposed below the side support from the side to support the lower side of the wafer, and the cradle provides a wafer storage box comprising a rectangular frame having a support angle. do. According to the present invention, a cantilever-shaped channel component having the support channel formed upwardly in the frame of the cradle and disconnected in the middle is integrally connected to the frame of the support angle at each end, and each channel component is slit between them. Are separated.

또한, 본 고안에 있어서는 채널구성요소에 형성된 지지채널의 내면에 테프론이 코팅되고, 본체와 뚜껑의 내면에 대전방지제가 코팅된다.In addition, in the present invention, Teflon is coated on the inner surface of the support channel formed on the channel component, and an antistatic agent is coated on the inner surface of the body and the lid.

본 고안을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the present invention in more detail based on the accompanying drawings as follows.

본체(10)와 이러한 본체(10)에 대하여 밀폐가능하게 덮이는 뚜껑(12)으로 구 성되고, 본체(10)의 내부에는 내측면에 웨이퍼(14)의 측부가 안내삽입되는 다수의 수직안내채널(16)을 갖는 양측의 지지부(18)(20)로 구성되는 측부지지대(22)가 삽입되며, 본체(10)의 저면측에서 측부지지대(22)의 하측에 웨이퍼(14)의 하측부를 지지하도록 상기 측부지지대(22)의 수직안내채널(16)에 상응하는 지지채널(24)을 갖는 크레이들(26)이 배치되고, 이 크레이들(26)이 지지각(28)을 갖는 사각형의 프레임(30)으로 구성된다. 본 고안에 따라서, 본체(10)와 뚜껑(12)의 내면에 대전방지제가 코팅되고, 크레이들(26)의 프레임(30)내에 상측으로 상기 지지채널(24)이 형성되고 중간이 단절된 외팔보 형태의 채널구성요소(32)가 각각의 단부에서 지지각(28)측의 프레임(30)에 일체로 연결되고 각 채널구성요소(32)가 이들사이에 슬리트(34)로 분리되며 채널구성요소(32)에 형성된 지지채널(24)의 내면에 테프론이 코팅됨을 특징으로 한다.It consists of a main body 10 and a lid 12 which is hermetically covered with respect to the main body 10, a plurality of vertical in which the side of the wafer 14 is guided in the inner surface of the main body 10 The side support part 22 which consists of support parts 18 and 20 of both sides which have the guide channel 16 is inserted, and the lower side of the wafer 14 below the side support part 22 from the bottom face side of the main body 10 is inserted. A cradle 26 having a support channel 24 corresponding to the vertical guide channel 16 of the side support 22 is arranged to support the portion, and the cradle 26 has a square having a support angle 28. The frame 30 is composed of. According to the present invention, an antistatic agent is coated on the inner surfaces of the main body 10 and the lid 12, and the support channel 24 is formed upward in the frame 30 of the cradle 26, and the cantilever shape is cut off in the middle. Of the channel components 32 are integrally connected at each end to the frame 30 on the side of the support angle 28 and each channel component 32 is separated by slits 34 therebetween. Teflon is coated on the inner surface of the support channel 24 formed in the (32).

이와 같은 본 고안은 본체(10)의 내부에 수용된 측부지지대(22)와 크레이들(26)을 통하여 웨이퍼(14)를 삽입하고 뚜껑(12)을 덮어 웨이퍼(14)를 보관하는데 사용되는 것이다. 측부지지대(22)에는 양측 지지부(18)(20)의 내면측에 다수의 수직안내채널(16)이 형성되어 있고 크레이들(26)에는 이들 수직안내채널(16)에 상응하는 지지채널(24)이 형성되어 있어 웨이퍼(14)의 측부가 측부지지대(22)의 수직안내채널(16)에 의하여 지지되고 하측부는 크레이들(26)의 지지채널(24)에 삽입되어 지지되며 이로써 웨이퍼(14)는 서로 일정한 간격을 두고 삽입배치될 수 있다.The present invention is used to insert the wafer 14 through the side support 22 and the cradle 26 accommodated inside the main body 10 and to cover the lid 12 to store the wafer 14. The side support 22 is formed with a plurality of vertical guide channels 16 on the inner side of both support portions 18 and 20, and the cradle 26 has support channels 24 corresponding to these vertical guide channels 16. Is formed so that the side of the wafer 14 is supported by the vertical guide channel 16 of the side support 22, and the lower part is supported by being inserted into the support channel 24 of the cradle 26 and thereby the wafer 14 ) Can be inserted at regular intervals from each other.

크레이들(26)의 경우, 지지채널(24)이 형성된 채널구성요소(32)가 중간에서 단절되고 단부가 크레이들(26)의 프레임(30)에 일체로 연결된 외팔보 형태로 구성 되고 각 채널구성요소(32)가 이들 사이에 슬리트(34)로 분리되어 있어 각 채널구성요소(32)는 중간의 대응하는 자유단부측이 상하측의 방향에서 탄력적으로 변위함으로서 웨이퍼(14)에 대하여 상하측에서 가하여지는 충격을 효과적으로 흡수할 수 있도록 한다. 또한 채널구성요소(32)에 형성된 지지채널(24)의 내면에 테프론이 코팅되어 있어 지지채널(24)에 삽입지지되는 웨이퍼(14)의 부분을 손상없이 지지하고 약한 진동성 충격을 완화시켜 주는 효과를 보인다.In the case of the cradle 26, the channel component 32 in which the support channel 24 is formed is formed in a cantilever shape in which the channel component 32 is cut off in the middle and the end is integrally connected to the frame 30 of the cradle 26, and each channel configuration The elements 32 are separated by slits 34 therebetween so that each channel component 32 has an upper and lower side relative to the wafer 14 as the corresponding free end side in the middle is elastically displaced in the up and down direction. It can effectively absorb the shocks applied by. In addition, Teflon is coated on the inner surface of the support channel 24 formed in the channel component 32 to support the portion of the wafer 14 inserted into the support channel 24 without damage and to mitigate weak vibration shocks. Effect.

또한 본체(10)와 뚜껑(12)의 내면에 대전방지제가 코팅되어 있어 인접한 웨이퍼(14) 사이 또는 웨이퍼(14)와 박스본체 사이에서 대전되는 정전용량에 의하여 웨이퍼가 좋지 않은 영향을 받는 것을 방지할 수 있다.In addition, an antistatic agent is coated on the inner surface of the main body 10 and the lid 12 to prevent the wafer from being adversely affected by the electrostatic capacitance charged between the adjacent wafers 14 or between the wafers 14 and the box body. can do.

이와 같이, 본 고안은 웨이퍼의 하측부를 지지하는 크레이들의 채널구성요소가 중간에서 단절되고 양측이 외팔보형태로 구성되어 특히 상하측 방향으로의 탄성이 유지될 수 있도록 하는 반면에 좌우측 방향으로는 비교적 안정된 위치를 유지할 수 있도록 하고, 채널구성요소의 표면을 테프론으로 코팅하여 표면부위의 탄력성을 강화함으로서 웨이퍼를 충격으로부터 보호하고 안정되게 지지할 수 있도록 하며, 본체내에 코팅된 대전방지제가 웨이퍼를 전기적으로 보호할 수 있도록 하는 웨이퍼 보관박스를 제공한다.In this way, the present invention is relatively stable in the left and right directions, while the channel component of the cradle supporting the lower side of the wafer is cut in the middle and cantilevered on both sides so that the elasticity in the up and down directions can be maintained. It maintains the position, and the surface of the channel component is coated with Teflon to strengthen the elasticity of the surface area to protect the wafer from impact and support it stably, and the antistatic agent coated in the main body electrically protects the wafer. Provides a wafer storage box that can be used.

Claims (3)

본체(10)와 뚜껑(12)으로 구성되고, 본체(10)의 내부에는 내측면에 웨이퍼(14)의 측부가 안내삽입되는 다수의 수직안내채널(16)을 갖는 양측의 지지부(18)(20)로 구성되는 측부지지대(22)가 삽입되며, 본체(10)의 저면측에서 측부지지대(22)의 하측에 웨이퍼(14)의 하측부를 지지하도록 상기 측부지지대(22)의 수직안내채널(16)에 상응하는 지지채널(24)을 갖는 크레이들(26)이 배치되고, 이 크레이들(26)이 지지각(28)을 갖는 사각형의 프레임(30)으로 구성된 것에 있어서, 크레이들(26)의 프레임(30)내에 상측으로 상기 지지채널(24)이 형성되고 중간이 단절된 외팔보 형태의 채널구성요소(32)가 각각의 단부에서 지지각(28)측의 프레임(30)에 일체로 연결되고 각 채널구성요소(32)가 이들사이에 슬리트(34)로 분리됨을 특징으로 하는 웨이퍼 보관박스.Comprising a main body 10 and a lid 12, both sides of the support (18) having a plurality of vertical guide channels (16) in which the side of the wafer 14 is guided in the inner surface of the main body 10 ( 20 is inserted into the side support 22, the vertical guide channel of the side support 22 to support the lower side of the wafer 14 to the lower side of the side support 22 from the bottom of the main body 10 ( A cradle 26 having a support channel 24 corresponding to 16 is disposed, and the cradle 26 consists of a rectangular frame 30 having a support angle 28. The support channel 24 is formed in the frame 30 of the upper side and the cantilever-shaped channel component 32 of which the middle is cut off is integrally connected to the frame 30 at the support angle 28 side at each end. And each channel component 32 is separated by slits 34 therebetween. 제1항에 있어서, 채널구성요소(32)에 형성된 지지채널(24)의 내면에 테프론이 코팅되어 있음을 특징으로 하는 웨이퍼 보관박스.The wafer storage box according to claim 1, wherein Teflon is coated on an inner surface of the support channel (24) formed in the channel component (32). 제1항 또는 제2항에 있어서, 본체(10)와 뚜껑(12)의 내면에 대전방지제가 코팅됨을 특징으로 하는 웨이퍼 보관박스.The wafer storage box according to claim 1 or 2, wherein an antistatic agent is coated on the inner surfaces of the main body (10) and the lid (12).
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KR100918078B1 (en) 2007-10-30 2009-09-22 하나실리콘(주) Protection member for packing

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