KR200406312Y1 - 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트를 테스트하는모듈 - Google Patents

다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트를 테스트하는모듈 Download PDF

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KR200406312Y1
KR200406312Y1 KR2020050031247U KR20050031247U KR200406312Y1 KR 200406312 Y1 KR200406312 Y1 KR 200406312Y1 KR 2020050031247 U KR2020050031247 U KR 2020050031247U KR 20050031247 U KR20050031247 U KR 20050031247U KR 200406312 Y1 KR200406312 Y1 KR 200406312Y1
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Abstract

다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트를 테스트하는 모듈은 캐리어 판, 가이드 수정 층, 클램프 핀 층, 선형 탐침, 제 1 쿠션 구성부, 이동 조절 로드, 제 2 쿠션 구성부, 가이드 기둥, 기저부, 및 테스트된 물체의 시뮬레이터 블록으로 구성되어있으며, 상기 클램프 핀 층은 상기 가이드 기둥에 의하여 동일한 축을 따라 수직으로 상승 및 하강이 가능하다. 상기 선형 탐침들은 상기 캐리어 판, 가이드 수정 층 및 클램프 핀 층으로 삽입되어지며 내측 선단들은 캐리어 판 위치에 위치하는 외측 선단들 및 클램프 핀 층에 고정되어진다. 제 1 쿠션 구성부 및 상기 이동 조절 로드들은 가이드 수정 층 및 클램프 핀 층 사이에 배열되어지며, 동시에 제 2 쿠션 구성부들은 기저부 및 클램프 핀 층 사이에 배치되며, 상기 캐리어 판, 가이드 수정 층, 및 클램프 핀 층 모두는 탄성력에 의하여 지지되어지며, 각각의 선형 탐침은 동등한 탄성력이 가해진다. 상기 선형 탐침의 외측 선단들은 미세 테스트 포인트의 테스트된 물체들에 대하여 아주 미세 간격으로 떨어져 있는 것이 가능하며, 선형 탐침들은 동일한 압력 하에 배열된 테스트 포인트들을 테스트하며 각각의 테스트 포인트에 동일한 접촉 저항 값들을 가지며 높은 테스트 안정성의 효과적인 성취뿐만 아니라 테스트된 물체의 손상 상태를 효과적으로 개선해준다.

Description

다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트를 테스트하는 모듈 {Various Electrical Characteristics and Small Test Point Testing Module}
도.1: 종래 기술인 테스트 장치 (1)의 단면도.
도.2: 도.1내에 탐침 구조의 단면도.
도.3: 종래 기술인 테스트 장치 (2)의 단면도.
도.4: 도.3에 도시된 테스트 공정의 단면도.
도.5: 본 발명의 실시예를 도시한 단면도.
도.6: 본 발명의 실시예에 따른 장착된 선형 탐침의 단면도.
도.7: 본 발명의 실시예에 따른 선형 탐침이 고정된 클램프 핀 층의 단면도.
도.8: 도.7내의 실시예에 따른 선형 탐침의 단면도.
도.9: 공정을 테스트하는 동안 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
본 발명은 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트을 테스트하는 모듈에 관한 것으로, 보다 더 상세하게 다양한 전기적 특성들을 테스트 가능한 것은 높은 테스트 밀도, 낮은 테스트 압력 및 안정적인 테스트 결과를 제공한다. 게다가 본 발명은 여러 가지 비어있는 상태의 회로 기판 또는 기판에 놓여진 소자를 테스트하기위한 테스트 모듈로써 이용되어진다.
진부한 전기의 제품 사용하는 회로판에 테스트를 하는 방법은 다음의 예를 포함한다.
도. 1 및 도. 2에 따르면, 종래 기술은 침판 (needle plate, 12), 클램프 판 (13), 상판 (14), 및 복수의 탐침들 (2)을 가지는 장치 (1)로 구성되어 있으며, 상기 침판 (12)의 침공들 (121)은 테스트된 물체 (3)의 테스트 포인트들 (31)에 배열되어 있고 (프린트된 회로판과 같이), 상기 복수의 탐침들 (2)은 탐침 배럴 (probe barrel, 21), 침관 (needle tube, 22), 스프링 (23) 및 니들 몸체 (needle body,24)로 구성되어 있다.
상기 탐침 (2)의 탐침 배럴 (21)은 상기 침판 (12)위에서 이미 만들어진 위치인 침공 (121)내부로 삽입되어지고 리드부 (4)는 테스트 장치의 신호를 전송하기위하여 한 선단에 배열되어지고 (도면에 도시되지는 않음), 상기 스프링 (23)은 상기 침관 (22)의 내부에 수용되어지며, 상기 니들 몸체 (24)는 상기 침관 (22)에 삽 입되어지고, 상기 스프링 (23)의 압축 및 감압은 상기 니들 몸체 (24)가 상기 침관 (22)으로 수축되며, 상기 침관 (22)으로부터 신축성 있게 연장가능하고, 상기 침관 (22)은 상기 탐침 (2)이 상기 침판 (12)위에 완전하게 위치되어지는 것처럼 상기 탐침 배럴 (21)내부에 고정되어진다.
각각의 삽입구들 (131,141)을 가지고 있는 상기 클램프 판 (13) 및 상판 (14)은 상기 니들 몸체들 (24)이 상기 상판 (14)에서 돌출되도록 상기 클램프 판 (13) 및 상판 (14)의 삽입구들 (131,141)에 삽입되는 것처럼 상기 침판 (12)의 침공들 (121)과 배열되어진다.
이와 같이, 상기 테스트된 물체 (3)는 상기 상판 (14)의 상부 포인트에 위치되어지고, 상기 테스트된 물체 (3)의 테스트 포인트들 (31) 및 상기 탐침의 니들 몸체들 (24)은 접합되어지고 그 뒤 상기 전기적 신호는 상기 스프링들 (23), 상기 탐침 배럴 (21)에 대하여 순차적으로 전송되어지고, 상기 리드부 (4)응 상기 테스트 장치에서 상기 탐침 배럴 (21)의 저면부에 연결되어서 상기 테스트 작업을 완성시킨다.
종래 기술인 테스트 장치의 문제점을 나열하면,
1. 상기 탐침 (2)이 상기 테스트된 물체 (3)의 테스트 포인트들 (31)에 접촉 될 때, 탄성 반발력과 압축-감압력은 상기 테스트 포인트들 (31)에 전기적 손실을 막기 위하여 필요하며, 그 결과 상기 니들 몸체 (24)는 상기 니들 몸체 (24)가 압축되고 구조적 배열이 형성된 후 자동적으로 신축성이 있게 후퇴되어지는 것처럼 상기 침관 (22)으로 후퇴시키기 위하여 스프링 (23)에 의존하며, 상기 모든 탐침 (2)은 비용의 증가 및 테스트 밀도를 증가시키지 못하기 때문에 좀더 작게 조립되어질 수 없다.
2. 상기 탐침 배럴 (21)은 상기 탐침 (2)의 치수와 일치되도록 구성되어야 하기 때문에, 상기 탐침 (2)의 치수는 상기 침판 (12)의 침공들 (121)이 가지는 전체 분포 밀도가 증가될 수 없는 크기로 제한되어서, 테스트 포인트 (31)의 테스트 된 물체들 (3)의 고밀도는 시험될 수 없다.
3. 상기 테스트된 물체 (3)에 테스트 포인트 (31)데 전송되어진 신호는 상기 조립체 및 상기 니들 몸체 (24), 상기 스프링 (23), 상기 침관 (22) 및 상기 탐침 배럴 (21)의 전기적 연결로부터 발생되며, 빈약하고 약한 신호 전송은 고밀도로 테스트 포인트들을 테스트할 때 좀 더 역행하여 테스트 질을 떨어뜨리는 수많은 접촉들 및 전송들에 따라 기인된다.
4. 상기 탐침 (2)은 상기 테스트된 물체 (3)에 수직하게 접촉되어 상기 근접한 탐침 (2)에 니들 몸체 (24)의 선단 거리 d 는 미세 테스트 포인트들을 갖는 테 스트된 물체들 (3)위의 테스트 과정이 성취될 수 없는 것과 같이 부가적으로 제거되어질 수 없다.
이러한 문제점을 고려하여, 생산자들은 도. 3 및 도. 4에 도시된 테스트 장치를 도입하며, 상기 장치는 침판 (5), 리드 판들 (6), 복수의 선형 탐침들 (7) 및 상기 장치에 배열된 복수의 탄성 부품들 (8)을 포함하며, 상기 침판들 (5) 및 리드 판들 (6)은 조립체에 쌓여져 있으며, 상기 침판들 (5)은 복수의 가이드 수정 판들 (51) 및 상판 (52)으로 구성되어있으며, 상기 가이드 수정 판들 (51)은 상기 삽입구 (511)와 배열되어진 상판의 삽입구 (521)를 가지며, 상기 리드 판들 (6)은 상기 침판 (5)에 상기 가이드 수정 판의 삽입구들 (511)과 배열되어 구멍이 뚫린 각각의 삽입구들 (611,621,631)을 가지는 상층, 중간층, 하층 (61,62,63)으로 구성되어있고, 상기 중간층에 클램프 판 (62)의 삽입구들 (621)은 탄성의 부품 (8)을 포함하며 상기 하층에 클램프 판 (63)의 삽입구들 (631)은 테스트 장치와 각각 탄성 부품 (8)의 상기 하부 선단사이에 연결하기위하여 삽입되어진 리드 (4)를 제공하며, 상기 선형 탐침들 (7)은 상기 침판 (5)의 상판 삽입구들 (521), 상기 수정 판의 삽입구들 (511) 및 상기 리드 판 (6)에 상부층 판의 삽입구들 (611)을 따라 삽입되어지며, 상기 선형 탐침들의 내부 말단들은 탄성 부품 (8)에 대하여 위치하고 외측 선단들은 침판의 상판 (52)에서 보인다.
이와 같이, 상기 테스트된 물체 (3)의 테스트 장치의 선형 탐침들 (7) 및 상 기 테스트 포인트들 (31)이 접촉되어진 후, 상기 테스트된 물체 (3)는 상기 침판 (5)에 상판 (52)의 상부 부분에 위치되어지고, 상기 전기적 신호는 연속적으로 상기 탄성 부품들 (8) 및 상기 테스트장치의 리드들 (4)을 통하여 테스트 작업을 수행하기위하여 전송되어진다.
이와 같은 테스트 장치의 배열에 따르면, 종래 기술의 주안점인 상기 탐침의 니들 몸체 (24), 스프링 (23), 침관 (22) 및 탐침 배럴 (21)이 방법의 측면에서 더 간결할지라도 상기 선형 탐침 (7)의 상기 각을 형성하는 배치는 높은 밀도로 분배되어진 테스트 포인트 (31)를 가진 테스트된 물체들 (3)을 위하여 장착되어지며, 상기 종래 기술에 따르는 장치는 좀더 넓은 적용의 법위를 가진다. 그러나 전기적 생산물의 용량이 좀 더 밀집되어지면 좀더 높은 테스트 밀도, 좀더 낮은 테스트 압력, 좀더 높은 테스트 안정성이 요구되어지고 이러한 상황 하에 이와 같은 테스트 장치들은 다음과 같은 문제점을 갖는다.
1. 상기 선형 탐침들 (7)이 각각 수직하게 또는 각을 형성하여 상기 침판 (5)에 삽입되어진 후 각각의 내부 선단들은 배열된 탄성 부품들 (8)에 대응하여 위치되어지고, 외측 선단들의 높이는 동일하지 않으며( 수직하게 삽입된 탐침들의 외측 선단들은 길이가 길고, 각을 형성하여 삽입된 탐침들의 외측 선단들은 길이가 짧다), 상기 테스트된 물체 (3)에 압력이 가해질 때, 상기 선형 탐침 (7)의 접촉으로 상기 테스트 포인트들 (31)의 압력은 변하며, 상기 테스트된 물체 (3)는 동일 하지 않은 압력으로 인하여 쉽게 손상을 입으며, 테스트는 안정적이지 못하여 이러한 것은 생산자들에 의하여 자주 비평을 받는 종래기술의 문제점이다.
2. 각각의 선형 탐침 (7)은 조합된 탄성 부품들 (8)을 필요로 하며 게다가 상기 선형 탐침 (7)은 극단적으로 작아야 하며 상기 탄성 부품들 (8)은 이에 비례하여 작아야하기 때문에 이에 따라 수많은 미세 탄성 부품들이 이용하는 것은 제작 및 조립의 어려움, 불편함, 높은 비용을 야기하며, 선형 탐침 (7) 탄성력의 각각의 배열은 종종 동일하지 않은 선형 탐침 (7)의 스프링 력으로 인하여 테스트의 불안정성 및 테스트된 물체 (3)의 테스트 포인트들 (31)에 대하여 동일하지 않은 테스트 압력을 야기한다.
3. 상기 테스트된 물체 (3)에 테스트 포인트들 (31)로부터 상기 선형 탐침들 (7)의 상기 신호들이 상기 리드들 (4)에 의하여 상기 테스트 장치로 전송하기 전 상기 탄성 부품들 (8)의 중간을 통하여 이동함으로 인하여 너무 많은 연결 포인트들이 있기 때문에 상기 테스트 신호들의 전송은 빈약하고, 약하여, 이러한 것은 테스트 질 및 안정성에 악영향을 미친다.
상기 발명의 주요한 목적은 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트의 테스트 모듈을 제공함에 있으며 선형 탐침의 내측 선단들은 상기 클램프 핀에 고정 되어있으며, 상기 클램프 핀 층은 제 2 쿠션 부품들에 의하여 지지되어져 상기 선형 탐침들은 상기 테스트된 물체에 대하여 동일한 탄성력을 가하면서 위치되어지며, 이는 테스트 안정성을 효과적으로 증가시키며, 동시에 각각의 선형 탐침은 내측 선단에 탄성 부품이 장착되어지지 않아서 테스트 장치의 부품 제작, 조립을 가능하게 하며, 이는 다루기 쉬울 뿐 아니라 편리함, 신속함 및 경제성을 유지시켜준다.
상기 발명의 또 다른 목적은 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트의 테스트 모듈을 제공함에 있으며, 선형 탐침의 내측 선단들이 상기 클램프 핀 층에 고정되어진 후 상기 외측 선단들의 길이는 테스트 작업을 하는 동안 테스트된 물체의 각각 배열된 접촉점에 일치되며, 상기 선형 탐침들은 동시에 상기 테스트 포인트들에 배열되어지고 접촉되며, 각각의 테스트 포인트에 대한 테스트 압력 및 접촉 저항은 동일하며, 이러한 것은 테스트 안정성의 정도를 증가시킬 뿐만 아니라 동시에 테스트된 물체의 손상을 효과적으로 감소시킨다.
상기 발명의 또 다른 목적은 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트의 테스트 모듈을 제공함에 있으며, 상기 선형 탐침은 부가적인 중개 장치 매체의 필요성이 없이 리드들에 의하여 상기 테스트 신호를 상기 테스트 장치에 직접적으로 전송 가능하여 테스트의 질을 현저히 증가시킨다.
도. 5 및 도. 6에 따르면, 상기 발명의 다양한 전기적 특성 및 스몰 테스트 포인트를 테스트하는 모듈은 캐리어 판 (carrier plate, 10), 가이드 수정 층 (guide correction layer, 20), 클램프 핀 층 (clamp pin layer, 30), 선형 탐침 (linear probe, 7), 제 1 쿠션 구성부 (first cushioning component, 40), 이동 조절 로드 (travel adjustment rod, 50), 제 2 쿠션 구성부 (second cushing component, 60), 가이드 기둥 (70), 기저부 (base, 11)를 포함하고, 상기 가이드 기둥 (70)은 같은 축을 따라 수직으로 상승 및 하강이 가능한 가이드 기둥들 (70)에 의하여 배열되어진 상기 기저부 (11) 및 상기 캐리어 판 (10), 가이드 조정 층 (20), 클램프 핀 층 (30)의 4개의 코너에 장착되어진다.
상기 캐리어 판 (10)은 테스트된 물체 (3)의 위치를 정하고 지지하기위하여 이용되어지며, 선형 탐침들 (7)의 예비-배치 (pre-placement)를 위하여 제공되어진 상기 테스트 물체 (3)위에 상기 테스트 포인트들 (31)과 배열되어 형성되어진 삽입구들 (101)을 갖는다.
상기 가이드 수정 층 (20)은 복수의 수정판들 (201)로 구성되어있으며, 각각의 수정판 (201)은 상기 캐리어 판 (10)내에서 하나의 몸체로 고정된 위치 결정 핀 (21)에 의하여 적당한 위치로 분리되어지며, 각각의 가이드 수정 판 (201)은 캐리어 판 (10)의 삽입구 (101)와 수직 또는 각을 형성하여 배열된 가이드 수정 구멍들 (2011)을 가지고 있다.
상기 클램프 핀 층 (30)은 상기 가이드 수정 층 (20)의 내 측부를 따라 위치하며, 복수의 클램프 핀 판들 (302) 및 마운팅 프레임 (mounting flame, 301)으로 구성되어 있으며, 상기 마운팅 프레임 (301)은 숄더 절단부 (shoulder section, 3011)에 의하여 둘러싸인 중앙 개구부로 구성되어 있고, 상기 복수의 클램프 핀 판들 (302)은 마운팅 나사부들 (32)에 의하여 조여지며, 마운팅 프레임 (301)의 숄더 절단부 (3011)위에 적재되어있고, 가이드 수정 층 (20)에 가장 근접한 외측 클램프 핀 판 (302´)은 상기 마운팅 프레임 (301)에 고정되어 있으며, 수직 또는 각을 형성한 삽입구 (3021)는 가이드 수정 층 (20)의 가이드 수정 구멍들 (2011)에 배열되어있다.
테스트된 물체 (3)의 복수의 테스트 포인트들 (31)에 기초한 복수의 상기 선형 탐침들 (7)은 각각의 상기 클램프 핀 층 (30)에서 클램프 핀 판 (302)(302´)의 삽입구 (3021)에 각각 삽입되어있고, 각각의 가이드 수정 층 (20)에서 가이드 수정 판 (201)의 가이드 수정구 (2011) 및 캐리어 판 (10)에서 삽입구들 (101)의 외측 말단들은 테스트된 물체 (3)의 테스트 포인트들 (31)에 배열되어있으며, 내측 말단들은 클램프 핀 층 (30)에 고정되어 있고, 리드부 (lead , 4)는 테스트 장치에 각각 연결되어있다. (도시되진 않음)
상기 제 1 쿠션 구성부 (40)는 상기 가이드 수정 판 (20)과 캐리어 판 (10)사이에 적합한 탄성력이 있는 것과 같이 복수의 가이드 수정 층 (20)과 클램프 핀 층 (30)의 사이에 배열되어있다.
상기 이동 조절 로드 (50)는 가이드 수정 층 (20)과 클램프 핀 층 (30)사이에 장착되어있으며, 상기 캐리어 판 (10)으로부터 떨어져 연장된 외측 말단에서 선형 탐침 (7)의 길이를 정하는 이미 만들어진 설정 간격 b (predisposed set interval b)로 구성되어지며, 그리하여 상기 선형 탐침의 압력은 테스트 포인트 (31)에 대응하여 제어된다.
상기 제 2 쿠션 구성부 (60)은 제 1 쿠션 구성부 (40)보다 더 크며, 복수의 상기 클램프 핀 층 (30) 및 상기 기저부 (11)사이에 배열되어서 동일한 크기의 탄성력을 선형 탐침들 (7)에 직접적으로 제공한다.
도. 6에 언급된 상기 선형 탐침 (7)의 장착 방법에서 상기 발명의 배열에 이용하면, 완벽하게 조립된 캐리어 판 (10), 가이드 수정 층 (20) 및 클램프 핀 층 (30) 및 가이드 기둥들 (70)은 뒤집어지며, 테스트된 물체의 시뮬레이터 블록 (9)은 첫 번째로 그 위에 위치되어지고, 그다음 상기 클램프 핀 층 (30)은 조절 간격 b가 없는 이동 조절 로드 (50)로서 아래쪽으로 압축되어지고, 상기 테스트된 물체(3)의 시뮬레이터 블록 (9)은 테스트된 물체 (3)에서 테스트 포인트들 (31)의 정상 의 위치 (height)에서 폴리시드 판 (polished plate)이 되어지며 또는 상기 테스트된 물체에서 시뮬레이터 블록 (31)의 표면은 상기 테스트된 물체 (3)에서 테스트 포인트 (31)의 위치 및 정상의 위치에 대응하여 조립되어진다. 이와 같이 상기 선형 탐침들 (7)은 클램프 핀 층 (30)의 각각의 삽입구 (3021)내로 아래를 향하여 삽입되어지며, 배열된 수정 층 (20)의 수정 판 (201)인 가이드 수정 구멍들 (2011)을 통하여 나아가며, 외측 말단이 테스트된 물체의 시뮬레이터에서 블록 (9)의 표면에 대응하는 것과 같이 상기 캐리어 판 (10)의 상기 배열된 삽입구들 (101)내로 삽입되고, 상기 선형 탐침들 (7)은 위치로 삽입되어진 후, 기술자는 클램프 핀 층 (30)에 상기 내측 말단들을 고정시켜서 상기 선형 탐침 (7)의 간략한 설치 과정은 완성된다.
상기 선형 탐침들이 장착되어진 후, 상기 기술자는 완전하게 조립된 캐리어 판 (10), 가이드 수정 층 (20) 및 클램프 핀 층 (30)을 제공하며, 상기 발명인 테스트 모듈의 전체 조립 공정을 완성하기위하여 기저부 (11)위의 이미 정해진 위치에 가이드 기둥들 (70)을 설치한다.
클램프 핀 층 (30)의 배열된 삽입구들 (3021)로 삽입된 상기 선형 탐침 (7)의 내측 선단들은 움직이지 않게 위치로 고정되어지지만 계속적으로 고정되지 않으며, 상기 클램프 핀 층 (30)에서 클램프 핀 판들 (302)의 표면들이 접착제의 층 또는 비 전도성 용액의 가열된 층으로 코팅된다면, 비 전도성 용액 또는 접착제가 경 화되진 후 각각의 선형 탐침 (7)은 고정되어지거나 도. 7 및 도. 8에서 도시된 것처럼 배열되어지지만 오프셋 삽입구들 (offset insertion holes, 3022a) 및 (3022b)은 상기 클램프 핀 층 (30)의 각각의 클램프 핀 판 (302)내에서 이미 정해진 위치에 구멍이 뚫려지고, 중앙에 위치한 나사 (32)를 이용하여 삽입하여 매칭 너트 (matching nut, 33)에 고정하며, 상기 마운팅 프레임 (301)의 숄더 절단부 (3011)에 적재된 상기 클램프 핀 판들 (302)은 각각의 삽입구 (3022a) 및 (3022b)을 통하여 배열의 동일 축으로 수평 운동이 가해지며, 각각의 상기 클램프 핀 판 (302)이 평행하게 움직일 때, 선형 탐침들 (7)의 삽입을 위하여 제공된 삽입구들 (3021)은 오프셋을 구성하며, 삽입구 (3021)를 따라 상기 삽입된 선형 탐침들 (7)은 알맞은 위치에 끼워 맞춰지는 것 (snugfitted)과 같이 오프셋을 구성 한다. (도. 8에 도시)
도. 9에 대해 언급하면, 테스트된 물체가 상기 발명에 의하여 테스트 과정이 진행될 때, 테스트된 물체 (3)는 캐리어 판 (10)의 이미 정해진 위치에 위치되어지며, 테스트 장치가 상기 테스트된 물체 (3)에 압력을 가할 때, 상기 캐리어 판 (10)의 가이드 수정 층 (20)에 제 1 쿠션 구성부 (40)의 탄성력이 가해지고 신축성 있게 내부를 향하여 이동되어지며, 동시에 클램프 핀 층 (30)에서 고정되는 선형 탐침들 (7)의 외측 선단들은 테스트 포인트들 (31)에 배열되어 노출되어지며, 테스트 신호들은 상기 리드들 (4)에 의하여 상기 테스트 장치로 직접적으로 전송되어진다.
이동 조절 로드 (50)의 설정 간격 b가 사라질 때까지 신축성 있게 내부를 향하여 이동할 때 상기 캐리어 판 (10) 및 상기 가이드 수정 층 (20)에 지속적으로 압력이 가해질 때 상기 클램프 핀 층 (30)은 내부를 향하여 압력이 가해지고, 상기 클램프 핀 층 (30)은 제 2 쿠션 구성부 (60)에 부착되어지며, 상기 클램프 핀 층 (30)은에 압력이 막 가해지고 상기 선형 탐침들 (7)은 신축성 있게 내부로 이동한 채로 유지되며, 이와 같이, 상기 클램프 핀 층 (30)에서 선형 탐침 (7)의 외측 선단들은 테스트된 물체에 모두 대응하며, 충격과 손상의 발생으로부터 보호할 뿐만 아니라, 상기 선형 탐침들 (7)에 의하여 탄성력의 작용을 동등하게 한다.
상기 설치된 선형 탐침들 (7)은 테스트된 물체의 시뮬레이터 블록 (9)에 대응하여 위치한 외측 선단들을 가지고 있기 때문에, 상기 선형 탐침들 (7)은 수직하게 삽입되어지거나 각을 형성하여 삽입되어지며, 모든 외측 선단들은 테스트된 물체 (3)의 배열된 테스트 포인트들 (31)에 접합하며, 상기 테스트 작업이 진행되고 테스트된 물체 (3)에 압력이 가해질 때, 상기 캐리어 판 (10) 및 가이드 수정 층 (20)은 내부를 향하여 신축성 있게 이동되어지며, 각각의 테스트 포인트들 (31)에 동일한 압력이 가해지도록 노출된 선형 탐침들 (7)은 동시에 배열된 테스트 포인트들 (31)에 접합하며, 게다가 각각의 테스트 포인트들 (31)에 가해진 압력이 동일하며, 상기 접속 저항 값의 결과물은 동일하여서 기대된 높은 급, 요구된 테스트 안정성이 보장되고, 테스트된 물체의 손실율을 효과적으로 낮춰준다.
상기 이동 조절 로드 (50)가 가이드 수정 층 (20)과 클램프 핀 층 (30)사이에 장작 되어지고, 게다가 상기 설정 간격 b 가 상기 캐리어 판 (10)과 상기 가이드 수정 층 (20)의 사이에 내부 운동 간격으로 정해진 상기 이동 조절 로드 (50)에 있기 때문에 상기 캐리어 판 (10)위의 테스트된 물체 (3)에 테스트 압력이 가해지고 내부 운동의 설정 간격 방향으로 이동할 때, 테스트 포인트들 (31)은 동일한 압력 하에 테스트가 되어질 뿐만 아니라 높은 테스트 안정성 및 낮은 테스트된 물체의 손상율을 포함하는 동일한 접촉 저항값을 가지며, 내부 운동 간격의 테스트된 물체 (3)는 상기 치수에 정확하게 고정되며 상기 테스트 포인트들 (31)은 너무 미세 내부 운동 간격 때문에 발생한 선형 탐침들 (7)에 의하여 결함 있는 테스트 접합이 나타나지 않으며 과도하게 큰 내부 운동 간격으로 인하여 선형 탐침들 (7)의 과도한 압력에 의하여 손상되지 않고, 그리하여 테스트 안정성을 증가시키고 테스트된 물체 (3)를 보호한다. 즉 상기 이동 조절 로드 (50)는 내부 운동 간격에 상기 테스트된 물체 (3)를 배치 가능하며, 한편 상기 테스트 포인트들 (31)에 접합된 상기 선형 탐침들 (7)의 외측 간격은 정확하게 설정되고, 상기 테스트 포인트들 (31)에 압력 및 접촉 저항 값은 전체적으로 동등할 뿐만 아니라 테스트 안정성은 매우 높고 동시에 상기 압력은 알맞으며, 테스트 포인트들은 가장 바람직하게 보호되며 좀더 정확한 테스트 결과를 위하여 좀더 정밀하게 테스트 된다.
상기 선형 탐침 (7)은 클램프 핀 층 (30)에서 견고하게 배열되며 상기 클램 프 핀 층 (30)은 제 2 쿠션 구성부들 (60)에 의하여 직접적으로 지지되며, 게다가 테스트된 물체 (3)의 테스트 포인트들 (31)에 대하여 동일한 크기의 탄성력이 제공될 뿐만 아니라 테스트 질 및 결과를 증가시키고, 종래 기술의 경우 상기 선형 탐침들 (7)에 지지 하기위한 탄성 부품이 필요하지 않으며, 레이아웃 밀도는 종래 기술에서 발생되는 탄성 부품 (스프링)의 사양 변경을 완전히 방지하며, 게다가 부가적인 집중 배치가 가능하게 하며, 각각의 테스트 작업의 상기 미세 테스트 포인트들 (근접한 테스트 포인트들 사이 극단적으로 미세 간격들)은 완전하게 달성하며, 게다가 효과적으로 이용된다. 즉, 상기 선형 탐침들 (7)의 배치는 좀더 밀집한 배치가 가능하고 지지하는 탄성 부품들의 명세서에 의해 제한되어지는 종래 기술과 완전히 다르며, 대략적으로 10㎜-직경 크기의 탐침은 상기 발명에 이용 가능한 0.03㎜만큼 미세 직경을 가진 미세 탐침이 될 수 있으며, 상기 발명의 테스트 모듈의 구조는 다양한 전기적 특성을 테스트 공정을 하기 위하여 좀더 미세 테스트 포인트들에 직접적으로 이용될 수 있으며 예: 평편한 블랭크 판 테스트 (flat blank board testing),판에 놓여진 부품의 테스트 (component mounted board testing), 높은 전류, 미세-회로 테스트, 4개의 와이어 테스트(절대 저항 값 테스트),등등), 그리하여 적용의 범위가 넓어진다.
상기 선형 탐침들 (7)은 각각의 탐침에 장착된 여러 개의 미세 스프링들을 갖는 종래 기술과 다르게 지지하는 클램프 핀 층 (30)의 제 2 쿠션 구성부들 (60) 로 구성되는 탄성력이 제공되고, 상기 제 2 쿠션 구성부들 (60)은 좀 더 커질 수 있으며, 게다가 좀더 미세 양으로 배치되어지며, 좀더 간결하며, 편리하며, 경제적일 뿐만 아니라 작동하기에 용이하며 정확하고 제작 및 유지 면에서도 또한 간결하며, 좀더 편리하고, 빠르다.
상기 선형 탐침 (7)은 탄성 부품에 대하여 탄성력의 제공이 필요하지 않으며, 내측 선단들은 테스트 장치 리드들 (4)에 직접적으로 연결되어 있으며, 부가적인 중간체들을 통한 결부는 필요하지 않으며, 테스트 신호의 전송은 종래 발명의 수행 상 미흡 및 손실은 개선되며, 그리하여 좀더 정확함이 제공되며 높은 질의 결과가 보장된다.

Claims (3)

  1. 캐리어 판, 가이드 수정 층, 클램프 핀 층, 선형 탐침, 제 1 쿠션 구성부, 이동 조절 로드, 제 2 쿠션 구성부, 가이드 기둥, 기저부, 및 테스트된 물체의 시뮬레이터 블록으로 구성되어있으며, 상기 가이드 기둥은 상기 캐리어 판, 상기 사이드 수정 층, 상기 클램프 핀 층의 동일한 축을 따라 수직으로 상승 및 하강하도록 상기 기저부에서 장착되고, 상기 선형 탐침은 테스트된 물체를 테스트하기위하여 이용되어지며, 및 리드 (lead)는 테스트 신호를 테스트 장치에 전송하기위하여 사용되어지는 것을 포함하는 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트를 테스트하는 모듈에 있어서,
    상기 캐리어 판은 상기 테스트된 물체의 테스트 포인트들과 일치하고 배열되며 미리 제조되어지는 삽입구들을 가지며, 상기 가이드 수정 층은 단일 몸체 내부로 상기 캐리어 판과 배열되고 알맞은 높이에서 분리되어진 복수의 가이드 수정 판들로 구성되어지며, 각각의 가이드 수정 판은 상기 캐리어 판의 삽입구들과 각을 형성하거나 수직으로 배열된 가이드 수정 구멍들을 포함하고, 상기 클램프 핀 층은 상기 가이드 수정 층의 내측부를 따라 위치되어지며, 상기 삽입구들은 가이드 수정 층의 가이드 수정 구멍들과 수직 또는 각을 형성하는 배열되며, 상기 제 1 쿠션 구성부들은 상기 가이드 수정 층과 상기 클램프 핀 층 사이에 배열되어져 상기 가이드 수정 층 및 상기 캐리어 판을 올리고 내리는 탄성력을 제공하고, 상기 테스트된 물체에 테스트 포인트들의 수량에 기초한 복수의 상기 선형 탐침들은 상기 클램프 핀 판의 삽입구들, 상기 가이드 수정 판의 가이드 수정 구멍들 및 상기 캐리어 판의 삽입구들로 각각 삽입되어서 상기 테스트된 물체가 테스트될 때 내측 선단들은 상기 클램프 핀 층에 고정되어지며 외측 선단들은 동시에 접촉되고 상기 테스트 포인트들과 배열되어지며, 상기 이동 조절 로드는 상기 가이드 수정 층과 상기 클램프 핀 층 사이에 설치되어지며, 예비 배열된 설정 간격을 가져서 상기 캐리어 판 및 상기 가이드 층이 내부 운동을 위하여 압력이 가해질 때 상기 테스트된 물체에서 상기 선형 탐침의 외측 선단들의 간격이 결정되고, 상기 제 2쿠션 구성부는 상기 클램프 핀 층과 상기 기저부 사이에서 배열되어져서 상기 클램프 핀 층위에 고정된 상기 선형 탐침에 대하여 동일한 탄성력을 직접적으로 제공하며, 상기 리드의 한 단부는 테스트 장치에 연결되어지며 다른 단부는 상기 선형 탐침의 내측 선단에 직접 설치되어지며, 상기 테스트된 물체의 시뮬레이터 블록은 뒤집어진 상기 캐리어 판의 바닥 표면에 적재되어지며, 시뮬레이터 블록의 표면은 상기 테스트된 물체의 테스트 포인트들의 높이 및 위치에 의하여 형성되어지고, 동일한 상태로 배열되어 상기 선형 탐침들이 설치될 때, 탐침들의 외측 선단들이 테스트 포인트들에 대해 이용되고,
    테스트 작업이 진행되는 동안 상기 캐리어 판위에서 테스트된 물체에 대해 압력이 가해질 때 상기 배열이 이용되고 상기 캐리어 판 및 상기 가이드 수정 층은 상기 선형 탐침들의 외측 선단들이 설정 간격만큼 연장될 때까지 내부 탄성 운동을 하며 동일한 탄성 압력 하에 상기 테스트 포인트들에 대해 동시에 접촉하며 배열되어지며, 테스트 신호들은 상기 선형 탐침들의 내측 선단들에 설치된 상기 리드들에 의하여 상기 테스트 장치에 전송되는 것을 특징으로 하는 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트를 테스트하는 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 클램프 핀 층은 마운팅 프레임 및 복수의 상기 클램프 핀 판들로 구성되어지며, 상기 마운팅 프레임은 숄더 절단부에 의하여 둘러싸인 중심 개구부로 구성되어 있으며, 상기 복수의 클램프 핀 판들이 장착 프레임의 숄더 절단부 위에 적재되고 가장 외측에 위치한 상기 클램프 핀 판이 상기 장착 프레임 위에 고정된 상기 가이드 수정층과 근접하게 위치하고, 각각 상기 클램프 핀 판은 상기 선형 탐침의 삽입을 위하여 제공되는 상기 가이드 수정 층의 가이드 수정 구멍들이 수직 또는 각을 이루며 배열된 상기 삽입구들을 가지며, 오프셋 배열된 삽입구들은 정해진 위치에서 뚫려져 있으며, 상기 마운팅 프레임의 숄더 절단부 위에 적재된 상기 클램프 핀 판들은 관절연결 하기 위하여 고정된 정합 너트를 가진 중앙나사가 삽입되어 수평운동이 형성되고, 상기 클램프 핀 판의 삽입구들에 삽입된 상기 선형 탐침들이 밀착상태로 끼워맞춤 되는 것을 특징으로 하는 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트을 테스트하는 모듈.
  3. 제 1항 및 제 2 항에 있어서, 상기 선형 탐침들이 상기 클램프 핀 층의 삽입구들에 삽입되진 후, 상기 클램프 핀 층의 표면은 비-전도성 물질 또는 접착성 물 질의 층으로 코팅되어지는 것을 특징으로 하는 다양한 전기적 특성들 및 미세 테스트 포인트를 테스트하는 모듈.
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CN113960373A (zh) * 2020-07-20 2022-01-21 川升股份有限公司 天线辐射场型量测系统
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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