KR20040101631A - Field Emitting Display - Google Patents

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KR20040101631A
KR20040101631A KR1020030033305A KR20030033305A KR20040101631A KR 20040101631 A KR20040101631 A KR 20040101631A KR 1020030033305 A KR1020030033305 A KR 1020030033305A KR 20030033305 A KR20030033305 A KR 20030033305A KR 20040101631 A KR20040101631 A KR 20040101631A
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getter
field emission
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emission display
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KR1020030033305A
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고창기
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엘지.필립스디스플레이(주)
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16GBELTS, CABLES, OR ROPES, PREDOMINANTLY USED FOR DRIVING PURPOSES; CHAINS; FITTINGS PREDOMINANTLY USED THEREFOR
    • F16G11/00Means for fastening cables or ropes to one another or to other objects; Caps or sleeves for fixing on cables or ropes
    • F16G11/14Devices or coupling-pieces designed for easy formation of adjustable loops, e.g. choker hooks; Hooks or eyes with integral parts designed to facilitate quick attachment to cables or ropes at any point, e.g. by forming loops

Abstract

PURPOSE: A field emission display is provided to place a getter ring containing a getter material inside a panel and activate the getter material after tip-off to form a getter layer in a wide area at the side of a frame, thereby maximizing gas absorption ability to continuously maintain high-degree vacuum state inside the panel. CONSTITUTION: A field emission display includes an upper substrate(110) having a fluorescent layer(112) and an anode electrode layer for applying voltage to the fluorescent layer, a lower substrate(120) on which a field emission emitter(124) is formed, and a frame(108) for maintaining a predetermined distance between the upper and lower substrates. A shadow mask(131) having electron beam passage holes is located at the side of the fluorescent layer. The shadow mask is welded to a rail(123) mounted on the upper substrate. A getter ring(105) filled with a getter material(103) is fixed to the side of the rail using an antenna.

Description

전계 방출 표시장치{Field Emitting Display}Field Emitting Display

본 발명은 전계 방출 표시장치(FED; Field Emission Display)에 관한 것으로서, 특히 에미터에서 방출된 전자빔이 형광체 또는 여타 구조물에 충돌한 후 발생되는 이차전자에 의한 문제를 해결하기 위하여 섀도우 마스크를 사용하는 방법과 더불어 표시 장치 내부의 진공도를 지속적으로 유지하기 위하여 게터(getter)를 설치하고 이를 활성화(activation)시킬 수 있도록 하는 전계 방출 표시장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a field emission display (FED), in particular using a shadow mask to solve a problem caused by secondary electrons generated after an electron beam emitted from an emitter impinges on a phosphor or other structure. In addition, the present invention relates to a field emission display device that allows a getter to be installed and activated to continuously maintain a degree of vacuum inside the display device.

도 1은 종래의 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략사시도 이고, 도 2는 종래의 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략 단면도이며, 도 3은 도 2의 "A"부 확대단면도이다.1 is a schematic perspective view showing the structure of a conventional field emission display, FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a conventional field emission display, and FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of part “A” of FIG.

동 도면에서 보여지는 바와 같이 종래의 전계 방출 표시장치는스트라이프(stripe) 형상의 적색(12R), 녹색(12G), 청색(12B) 형광체가 상부기판(10)의 안쪽면에 형성되어 있고, 상기 상부기판(10)과 삼색 형광체(12R,12G,12B) 사이에는 애노드(anode) 전압을 인가하기 위하여 투명전극인 애노드 전극층(11)이 형성되어 있다.As shown in the drawing, the conventional field emission display device has stripe-shaped red (12R), green (12G), and blue (12B) phosphors formed on an inner surface of the upper substrate 10. An anode electrode layer 11, which is a transparent electrode, is formed between the upper substrate 10 and the tricolor phosphors 12R, 12G, and 12B to apply an anode voltage.

상기 애노드 전극층(11)은 경우에 따라 삼색 형광체(12R,12G,12B) 위에 알루미늄(Aluminium) 금속 층을 도포하여 대체할 수도 있다.In some cases, the anode electrode layer 11 may be replaced by applying an aluminum metal layer on the tricolor phosphors 12R, 12G, and 12B.

또한, 전자 방출부가 형성되는 하부기판(20)에는 전계 방출에 의해 전자빔을 방출하는 에미터(24)가 형성되어 있다.In addition, an emitter 24 for emitting an electron beam by field emission is formed on the lower substrate 20 on which the electron emission unit is formed.

여기서, 전계 방출에 대하여 개략적으로 설명하면, 금속 또는 반도체 표면에 인가전압을 109[V/m] 정도로 하면, 터널링(tunneling)효과에 의해 전자가 전위 장벽을 통과하여 상온에서도 진공 중에 전자가 방출되는 현상을 일컫는다.Here, when the field emission is roughly described, when the applied voltage is about 109 [V / m] on the surface of the metal or semiconductor, the electron passes through the potential barrier due to the tunneling effect and the electron is released even under vacuum even at room temperature. Refers to the phenomenon.

그리고, 상기 각각의 에미터(24)는 풀 컬러 표시를 위하여 적, 녹, 청색의 형광체(12R,12G,12B)에 각각 대응되도록 XY매트릭스 어레이 형태로 하부기판(20)위에 형성되며, 서로 직교하여 형성되어 있는 캐소드 전극층(22)과 게이트 전극층(28)에 의하여 매트릭스 형태로 구동된다.Each emitter 24 is formed on the lower substrate 20 in the form of an XY matrix array so as to correspond to the red, green, and blue phosphors 12R, 12G, and 12B, respectively, for a full color display. The cathode electrode layer 22 and the gate electrode layer 28 are formed in a matrix form.

이때, 사용되는 에미터(24)는 지금까지 여러 가지 종류의 것들이 발명되어져 있으며 현재까지도 그 효율 및 신뢰성 향상을 위하여 여러 곳에서 연구되어 지고 있다.At this time, the emitter 24 to be used has been invented in various types so far, and even now, has been studied in various places for the improvement of efficiency and reliability.

상기와 같은 종래의 전계 방출 표시소자에서의 전계 방출은 고 진공 상태가될수록 그 방출 효율이 높아지기 때문에 상부기판(10)과 하부기판(20)사이는 10-6torr 이하의 진공도를 유지해야 하며, 전자가 가속 주행하기 위한 일정 공간의 높이가 확보되어야만 한다.Since the field emission in the conventional field emission display device as described above increases with the high vacuum, its emission efficiency increases, so that the degree of vacuum between the upper substrate 10 and the lower substrate 20 should be maintained at 10 -6 torr or less. The height of a certain space must be secured for the electron to accelerate.

이를 위하여 종래의 기술에서는 패널 내부에 스페이서(29)를 삽입하여 공간을 확보하였으며, 패널의 테두리를 프레임(8)과 프릿 글라스(21)를 이용하여 밀봉하고, 배기관(2)을 통하여 패널 내부의 가스(gas)를 충분히 배기 한 뒤, 팁 오프(tip-off) 방법을 이용하여 내부에 진공을 확보하였다.To this end, in the prior art, the spacer 29 is inserted into the panel to secure a space, and the edge of the panel is sealed using the frame 8 and the frit glass 21, and the inside of the panel is opened through the exhaust pipe 2. After sufficiently exhausting the gas, a vacuum was secured inside by using a tip-off method.

그러나, 이러한 패널 내부에 스페이서(29)를 사용하였을 때, 여러 가지 문제점이 나타나게 된다. 첫째로는 스페이서(29)가 영상을 가리지 않기 위해서는 형광체와 형광체 사이의 블랙매트릭스(black matrix, 13)폭 내에 위치해야 하는데, 이 폭이 수십 마이크론(㎛) 정도로 좁기 때문에, 이렇게 좁은 폭에 소정의 높이를 갖는 스페이서(29)를 제작하기도 힘들뿐 아니라, 블랙매트릭스(29)에 정렬하여 장착하는 것도 매우 어렵기 때문에 소자의 제작 수율을 현저하게 떨어트리는 문제를 갖는다.However, when the spacer 29 is used inside such a panel, various problems appear. First, the spacer 29 must be located within the width of the black matrix 13 between the phosphor and the phosphor in order not to cover the image. Since the width is narrow as many as several tens of microns, the predetermined width may be small. Not only is it difficult to manufacture the spacer 29 having a height, but also it is very difficult to align and mount the black matrix 29 so that the manufacturing yield of the device is significantly reduced.

둘째로는 앞에서 언급하였듯이 현재의 기술수준으로는 일정 높이와 강도 이상의 스페이서(29)를 제작하기 어렵기 때문에 지금까지 나온 스페이서(29)의 높이는 대부분 1mm내외의 높이를 가지고 있다.Secondly, as mentioned above, the current state of the art is difficult to manufacture the spacers 29 having a certain height and strength, so that the height of the spacer 29 thus far has a height of about 1 mm.

따라서, 상부기판(10)과 하부기판(20) 사이의 갭(gap)을 1mm이상 유지시키는 것이 매우 어려우며, 이러한 작은 갭에서는 고 진공을 형성, 유지시키기가 어렵고,또한, 상부의 애노드 전극층(11)에 수kV의 고전압을 인가시킬 수 없기 때문에 브라운관(CRT; cathode ray tube)과 같은 고화질의 영상을 구현할 수 없으며, 형광체 효율이 낮기 때문에 소자의 수명도 짧아지게 되는 문제점을 갖는다.Therefore, it is very difficult to maintain a gap between the upper substrate 10 and the lower substrate 20 by 1 mm or more, and in such a small gap, it is difficult to form and maintain a high vacuum, and the upper anode electrode layer 11 Because it is impossible to apply a high voltage of several kV), it is impossible to realize a high-quality image such as a cathode ray tube (CRT), and the lifetime of the device is shortened because the phosphor efficiency is low.

셋째로는 에미터(24)에서 방출된 전자빔(1)이 스페이서(29) 자체에 전자가 충돌되어 2차 전자의 발생으로 스페이서(29)의 그림자가 영상에 비쳐지거나 스페이서(29)가 차징(charging)되어 방전등의 전기적 문제를 일으켜 소자의 파괴를 불러오는 문제가 발생된다.Third, the electron beam 1 emitted from the emitter 24 collides with the spacer 29 itself, and the shadow of the spacer 29 is reflected on the image due to the generation of secondary electrons, or the spacer 29 is charged ( charging) causes electrical problems such as discharging and causes destruction of the device.

특히, 상기와 같은 종래의 전계 방출 표시소자의 중대한 문제점 중의 하나가 전자빔(1)이 형광체(12) 또는 고압이 인가된 알루미늄 층에 충돌되었을 때, 발생되는 2차 전자의 발생이다.In particular, one of the major problems of the conventional field emission display device is the generation of secondary electrons generated when the electron beam 1 collides with the phosphor 12 or an aluminum layer to which high pressure is applied.

이는, 고전압에 의해 가속된 전자빔(1)이 형광체(12) 또는 알루미늄 층에 충돌되었을 때, 높은 에너지를 갖는 다수개의 2차 전자가 발생되고, 이러한 2차 전자들은 난 반사 또는 산란(scattering)되어 주변의 다른 색의 형광체에 충돌되어 원하지 않는 발광을 유발시켜 표시소자의 색 순도를 떨어트리기도 하고, 에미터(24)로 반사되어 충돌함으로써 에미터(24) 표면에 손상을 일으켜 전자 방출을 저하시키거나 아예 소자를 파괴시키는 문제가 발생된다.This is because when the electron beam 1 accelerated by the high voltage collides with the phosphor 12 or the aluminum layer, a large number of secondary electrons with high energy are generated, which secondary electrons are reflected or scattered. It collides with phosphors of other colors nearby, causing undesired light emission, which lowers the color purity of the display device, and reflects and collides with the emitter 24, causing damage to the surface of the emitter 24, thereby reducing electron emission. Problem occurs, or the device is destroyed.

이러한, 문제점을 해결하기 위하여 패널 내부에 스페이서(29)를 사용하지 않고 상부기판(10)과 하부기판(20)사이의 갭(gap)을 유지시키며, 또한, 2차 전자에 의한 문제점을 막기 위하여 형광체(12)층의 아래 부분에 섀도우 마스크(31)를 설치하여 발생된 2차 전자가 난 반사되었을 때, 흡수 또는 차단되도록 하는 기술이 제안되기도 하였다.In order to solve this problem, to maintain the gap between the upper substrate 10 and the lower substrate 20 without using the spacer 29 in the panel, and to prevent problems caused by secondary electrons A technique has been proposed in which a shadow mask 31 is provided at a lower portion of the phosphor 12 layer to absorb or block when secondary electrons generated are reflected off.

도 4는 종래의 섀도우 마스크가 장착 된 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략 단면도이고, 도 5는 도 4의 "B"부 확대 단면도로서, 동 도면에서 보여지는 바와 같은 종래의 전계 방출 표시장치의 핵심은 패널 내부에 스페이서를 사용하지 않는 대신에, 상부기판(10)과 하부기판(20) 그리고, 프레임(8)의 두께를 두껍게 형성함으로써, 패널 내부의 고 진공 압력에도 불구하고 상부기판(10)과 하부기판사이에 소정의 높이를 안정적으로 유지시킬 수 있도록 하는데 있다.FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a conventional field emission display device equipped with a shadow mask, and FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of portion “B” of FIG. 4, showing a conventional field emission display device as shown in FIG. The key is not to use a spacer inside the panel, instead of forming a thick thickness of the upper substrate 10, lower substrate 20, and the frame 8, the upper substrate 10 in spite of the high vacuum pressure inside the panel ) And the lower substrate to stably maintain a predetermined height.

상기 종래의 전계 방출 표시장치에서는 전자빔(1)이 형광체(12) 또는 알루미늄 층에 충돌하여 발생된 2차 전자의 문제점을 해결하기 위하여 형광체(12)층 아래에 섀도우 마스크(31)를 설치하였다.In the conventional field emission display, a shadow mask 31 is provided under the phosphor 12 layer to solve the problem of secondary electrons generated when the electron beam 1 collides with the phosphor 12 or the aluminum layer.

이를 위해, 종래 기술에서는 패널 내부의 유효화면 주위에 레일(23)이라는 소정의 높이의 금속 구조물을 프릿 글라스(21R)를 내부에 채워 넣은 후, 상부기판(10)의 내면 위에 놓고, 전기로 등에서 400℃ 이상으로 가열시켜 소결시킴으로써, 매우 강한 강도로 접착시킨 뒤, 상기 레일(23)위에 섀도우 마스크(31)를 인장/용접하는 방법을 사용하였다.To this end, in the prior art, a metal structure having a predetermined height, called a rail 23, is filled around the effective screen inside the panel, and the frit glass 21R is filled therein, and then placed on the inner surface of the upper substrate 10, and in an electric furnace or the like. By heating to 400 ° C. or more and sintering, bonding was performed with very strong strength, and then a method of pulling / welding the shadow mask 31 on the rail 23 was used.

그리고, 형광체(12), 레일(23), 섀도우 마스크(31), 애노드 전극(11)등이 부착된 상부기판(10)과, 에미터(24), 캐소드 전극(22), 게이트 전극(28)등이 형성된 하부기판(20)사이에 프릿 글라스(21F)가 양면에 도포된 사각 형태의 프레임(8)을 위치시킨 뒤 상부기판(10)과 하부기판(20)에 각각 형성된 얼라인먼트(alignment) 마크를 이용하여 두 기판을 정렬시킨 뒤, 전기로 등에서 가열 소결시킨 뒤,배기관(2)을 통하여 패널 내부의 가스(gas)를 충분히 배기 한 뒤, 팁 오프(tip-off)방법을 이용하여 내부의 진공을 확보하였다.The upper substrate 10 to which the phosphor 12, the rail 23, the shadow mask 31, the anode electrode 11, and the like are attached, the emitter 24, the cathode electrode 22, and the gate electrode 28 After the frit glass 21F is coated on both sides between the lower substrates 20 formed thereon, the frame 8 having the rectangular shape is positioned, and the alignments formed on the upper substrate 10 and the lower substrate 20, respectively. After aligning the two substrates using the mark, and heating and sintering in an electric furnace or the like, after sufficiently exhausting the gas inside the panel through the exhaust pipe (2), the inside using the tip-off method Vacuum was ensured.

이때, 상기 배기관(2) 내부에는 게터(3)를 장착하는데, 이러한 게터(3) 물질은 팁 오프가 완료된 뒤에 활성화 공정을 통해 활성화되어, 패널 내부의 가스를 흡수(absorption)하는 기능을 하여 패널 내부의 진공도를 지속적으로 유지시켜 줄 수 있게 된다.In this case, a getter 3 is mounted inside the exhaust pipe 2, and the getter 3 material is activated through an activation process after the tip off is completed, thereby absorbing gas in the panel. It is possible to maintain the degree of vacuum inside.

그러나, 상기 게터(3)는 전계 방출 표시장치의 배기관(2) 내에 밀봉된 후에 활성화 공정을 거쳐 패널 내부의 가스를 흡착하면서 기능을 발휘하게 되는데, 배기관(2)내의 좁은 영역에서 그 기능을 하게 되므로 가스를 흡착할 수 있는 확률이 낮아지게 됨에 따라 그 효율을 충분히 발휘할 수 없게 된다.However, the getter (3) is sealed in the exhaust pipe (2) of the field emission display device and then performs a function of adsorbing gas inside the panel through an activation process, which functions in a narrow area within the exhaust pipe (2). Therefore, as the probability of adsorbing the gas is lowered, the efficiency cannot be sufficiently exhibited.

즉, 전계 방출 표시장치의 동작 중에 발생되는 아웃 개싱(out gassing)되는 양에 비해 그의 흡수 능력이 떨어져, 전체 패널 내부의 진공도가 저하되게 되므로 전계 방출의 효율 저하와 발광 효율저하 및 소자의 수명 저하 문제를 야기 시키게 되는 문제점이 있다.That is, its absorption capacity is lower than the amount of outgassing generated during operation of the field emission display device, and the degree of vacuum inside the entire panel is lowered. Therefore, the efficiency of field emission, the luminous efficiency, and the lifetime of the device are reduced. There is a problem that causes problems.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 패널의 내부에 게터 물질이 들어있는 게터링을 장착하고 팁 오프 후에 게터링 내에 들어있는 게터 물질을 활성화(비산)시켜 프레임 측면의 넓은 면적에 게터 막이 형성되도록 함으로써, 가스의 흡수 능력을 극대화하여 지속적으로 패널 내부의 고 진공이 유지되도록 한 전계 방출 표시소자를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to mount a getter ring containing a getter material inside the panel and to activate (spread) the getter material contained in the getter ring after the tip-off frame. It is an object of the present invention to provide a field emission display device in which a getter film is formed in a large area of the side surface, thereby maximizing gas absorption capability and continuously maintaining a high vacuum inside the panel.

도 1은 종래의 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략사시도.1 is a schematic perspective view showing the configuration of a conventional field emission display.

도 2는 종래의 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략 단면도.2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a conventional field emission display.

도 3은 도 2의 "A"부 확대단면도.3 is an enlarged cross-sectional view of portion “A” of FIG. 2;

도 4는 종래의 섀도우 마스크가 장착 된 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략 단면도.4 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a field emission display device equipped with a conventional shadow mask.

도 5는 도 4의 "B"부 확대단면도.5 is an enlarged cross-sectional view of the portion “B” of FIG. 4.

도 6은 본 발명에 따른 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략 단면도.6 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a field emission display device according to the present invention;

도 7은 본 발명에 적용된 게터 어셈블리의 정면도.7 is a front view of a getter assembly applied to the present invention.

도 8은 본 발명의 공정에 따른 패널 내부의 진공도 변화를 측정한 실험 결과를 나타낸 그래프.8 is a graph showing the results of experiments measuring the degree of vacuum change inside the panel according to the process of the present invention.

도 9는 본 발명의 일실시 예에 따른 게터 어셈블리의 정면도.9 is a front view of a getter assembly according to an embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 일실시 예에 따른 게터 어셈블리의 장착 예시도.Figure 10 is an illustration of mounting the getter assembly according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1,101: 전자빔 2,102: 배기관1,101: electron beam 2,102: exhaust pipe

3,103: 게터 4,104: 안테나3,103: getter 4,104: antenna

5,105: 게터링 6,106: 배기 홀5,105: gettering 6,106: exhaust hole

8,108: 프레임 10,110: 상부기판8,108: frame 10,110: upper substrate

11: 애노드 전극층 12,112: 형광체11: anode electrode layer 12, 112 phosphor

13: 블랙매트릭스 20,120: 하부기판13: black matrix 20,120: lower substrate

21: 프릿 글라스 22: 캐소드 전극층21: frit glass 22: cathode electrode layer

23,123: 레일 24,124: 에미터23,123: Rail 24,124: Emitter

26: 절연체층 28: 게이트 전극층26: insulator layer 28: gate electrode layer

29: 스페이서 31,131: 섀도우 마스크29: spacer 31,131: shadow mask

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전계 방출 표시장치는 형광체 층과, 상기 형광체 층에 전압을 인가하기 위한 애노드 전극층이 구비된 상부기판과; 전자들을 방출하기 위한 전계 방출 에미터가 형성되어 있는 하부기판과; 상기 상부기판과 하부기판 사이를 소정간격 유지시키는 프레임으로 이루어지는 패널 내부를 배기관을 이용하여 진공 배기 하도록 된 전계 방출 표시장치에 있어서,According to an aspect of the present invention, there is provided a field emission display device comprising: an upper substrate including a phosphor layer and an anode electrode layer for applying a voltage to the phosphor layer; A lower substrate on which a field emission emitter for emitting electrons is formed; In the field emission display device for evacuating the inside of the panel consisting of a frame for maintaining a predetermined interval between the upper substrate and the lower substrate by using an exhaust pipe,

상기 형광면 측에 전자빔이 통과하기 위한 통과공이 형성된 섀도우 마스크를 설치하고, 상기 섀도우 마스크는 상부기판에 설치된 레일 위에 용접되어 있고, 상기 레일의 측면에 게터 물질이 충진된 게터링을 안테나에 의해 고정시키도록 하는 것을 특징으로 한다.A shadow mask having a through hole for passing electron beams is provided on the fluorescent surface side, and the shadow mask is welded on a rail installed on an upper substrate, and a getter ring filled with getter material on the side of the rail is fixed by an antenna. It is characterized by that.

여기서, 상기 게터링이 프레임 내면 벽을 향하도록 고정되는 것을 특징으로 한다.Here, the gettering is fixed to face the inner wall of the frame.

여기서, 상기 게터링이 횡장형으로 형성되는 것을 특징으로 한다.Here, the gettering is characterized in that formed in the horizontal shape.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 자세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명에 따른 전계 방출 표시장치의 구성을 보인 개략 단면도이다.6 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a field emission display device according to the present invention.

동 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전계 방출 표시장치는 하부기판(120)위에 에미터(124)가 매트릭스 형태로 형성되어 있고, 상부기판(110)에는 형광체(112)가 매트릭스 형태로 형성되어 있으며, 또한, 상부기판(110)에는 레일(123)이 설치된다.As shown in the figure, in the field emission display device according to the present invention, the emitter 124 is formed in a matrix form on the lower substrate 120, and the phosphor 112 is formed in the matrix form on the upper substrate 110. In addition, the upper substrate 110 is provided with a rail 123.

그리고, 상기 레일(123) 전면에는 2차 전자 산란에 의한 표시 소자 품질 저하 및 파괴 현상을 방지하기 위한 섀도우 마스크(131)가 용접되어 설치되고, 상기 레일(123)의 일 측면에는 게터링(105)이 용접 설치된다.In addition, a shadow mask 131 is welded and installed on the front surface of the rail 123 to prevent display element quality deterioration and destruction due to secondary electron scattering, and a getter ring 105 is provided on one side of the rail 123. ) Is installed by welding.

여기서, 상기 게터링(105)은 내부에 게터(103) 물질이 충진되어져 있고, 일정길이 연장된 금속재 안테나(104)를 연결하고 있어, 상기 안테나(104)의 다른 일끝이 레일(112)의 측면에 용접됨으로 인해, 게터(103) 충진면이 프레임(108) 측면에 대향되어 설치된다.Here, the getter ring 105 is filled with a getter 103 material therein, and is connected to a metal antenna 104 extending a predetermined length, the other end of the antenna 104 is the side of the rail 112 Due to the welding, the getter 103 filling surface is installed opposite the frame 108 side.

상기 상부기판(110)과 하부기판(120)의 사이 적정 간격을 유지시키기 위한 프레임(108)이 형성된다.A frame 108 is formed to maintain an appropriate gap between the upper substrate 110 and the lower substrate 120.

이때, 상기 프레임(108)의 양단이 프릿 글라스로 실링(sealing)됨으로 인해 패널 내부가 진공 기밀을 유지하게 된다.At this time, the both ends of the frame 108 is sealed with frit glass so that the inside of the panel maintains a vacuum tightness.

상부기판(110)과 하부기판(120)이 프레임(108)에 의해 일정한 간격을 유지하며 진공 기밀성이 유지되도록 프릿 글라스로 실링이 된 후에 상부기판(110) 또는 하부기판(120) 측에 형성된 배기 홀(106) 에 연결된 배기관(102)을 통해서 패널 내부의 가스를 배기 시킨다.After the upper substrate 110 and the lower substrate 120 are sealed by frit glass to maintain a constant gap and maintain the airtightness by the frame 108, the exhaust formed on the upper substrate 110 or lower substrate 120 side The gas inside the panel is exhausted through the exhaust pipe 102 connected to the hole 106.

이때, 상기 배기 공정을 통해 약 10-6torr 이상의 진공도를 확보한 뒤에 배기관(102)을 가열시켜 팁 오프(tip-off)시킨다.At this time, the exhaust pipe 102 is heated by tip-off after securing a vacuum degree of about 10 −6 torr or more through the exhaust process.

본 발명에서는 종래 기술과 달리 배기관(102) 내에 게터를 장착하지 않기 때문에 팁 오프 후에 남는 배기관(102)의 길이가 종래에 비하여 50% 이상 짧아지게되는데, 이처럼, 배기관(102)의 길이가 짧아지게 되면 FPC(flexible printed circuit)부착 등의 후속 공정이 유리해지는 잇점이 있다.In the present invention, since the getter is not mounted in the exhaust pipe 102 unlike the prior art, the length of the exhaust pipe 102 remaining after the tip-off is shorter by 50% or more than in the prior art. Thus, the length of the exhaust pipe 102 is shortened. In this case, a subsequent process such as attaching a flexible printed circuit (FPC) is advantageous.

상기와 같이 배기가 완료된 후, 패널 내부는 진공 상태를 유지하게 되나, 팁 오프 공정 중에 발생되어 패널 내부로 유입된 가스, 패널 내부의 각종 부품에 흡착되어 남아있던 잔류가스, 그리고 표시 소자 및 동작 중에 발생될 수 있는 아웃 개싱 등이 여전히 존재하고 있는 상태이다.After the exhaust is completed as described above, the inside of the panel is maintained in a vacuum state, but the gas generated during the tip-off process, the gas introduced into the panel, the residual gas adsorbed by the various components inside the panel, and the display element and the operation Outgassing and the like that may occur still exist.

여기서, 도 6에서 보여지는 바와 같이 프레임(108)의 내면 벽을 향하여 설치된 게터링(105) 내부의 게터(103) 물질에 고주파 가열장치를 이용하여 에너지를 인가하게 되면, 게터(103) 물질이 비산되어 프레임(108) 내벽에 게터 막을 형성하게 되고, 상기 게터 막에 의해 패널 내부에 잔존하고 있는 가스들이 지속적으로 흡착 및 제거되어 궁극적으로 패널 내부의 진공도를 높일 수 있게 된다.As shown in FIG. 6, when energy is applied to the getter 103 material inside the getter ring 105 installed toward the inner wall of the frame 108 by using a high frequency heating apparatus, the getter 103 material is formed. It is scattered to form a getter film on the inner wall of the frame 108, and the gas remaining in the panel is continuously adsorbed and removed by the getter film, thereby ultimately increasing the degree of vacuum inside the panel.

도 7에서와 같이 게터링(105) 내부에는 게터(103) 물질이 들어 있고, 상기 게터(103) 물질은 에너지를 받아 비산되기 전까지는 비 활성화 상태로 가스와 반응하지 않고 있다가 외부로부터 에너지를 받아 비산되어지면, 프레임(108) 내벽에 게터 막이 증착되면서 활성화되어 패널 내부의 가스를 흡착하게 된다.As shown in FIG. 7, a getter 103 material is contained in the getter ring 105, and the getter 103 material does not react with the gas in an inactive state until energy is scattered. When received and scattered, the getter film is deposited on the inner wall of the frame 108 to be activated to adsorb gas inside the panel.

상기 게터(103) 물질은 예를 들어, 바륨(Ba) 또는 지르코늄(Zr) 등이 주성분으로 되어 있고, 상기 게터링(105)은 게터(103) 물질이 비산되는 높은 열에도 녹지 않는 고 융점 물질로 제작되며, 안테나(104)는 이러한 높은 열이 레일(123)이나 섀도우 마스크(131) 등으로 전달되지 않도록 하는 역할을 해준다.The getter 103 material includes, for example, barium (Ba) or zirconium (Zr) as a main component, and the gettering 105 is a high melting point material that does not melt even in a high heat in which the getter 103 material is scattered. The antenna 104 serves to prevent such high heat from being transferred to the rail 123 or the shadow mask 131.

또한, 게터(103)를 비산시키기 위한 외부 에너지는 고주파(Radio frequency)등을 이용하여 게터(103)에만 선택적으로 열을 인가시키기 때문에 에미터(124)등의 패널 내부 부품에는 영향을 미치지 않는다.In addition, since the external energy for scattering the getter 103 is selectively applied to only the getter 103 by using a radio frequency or the like, it does not affect the internal parts of the panel such as the emitter 124.

상기와 같은 본 발명은 프레임(108) 내벽에 형성되는 게터(103) 막의 분포 면적을 넓기 형성할 수 있기 때문에 가스 흡착 효율이 매우 높게 나타난다. 따라서, 패널 내부의 우수한 진공도를 지속적으로 유지시켜 줄 수 있게 된다.In the present invention as described above, since the distribution area of the getter 103 film formed on the inner wall of the frame 108 can be widened, the gas adsorption efficiency is very high. Therefore, it is possible to continuously maintain the excellent vacuum degree inside the panel.

도 8은 본 발명의 공정에 따른 패널 내부의 진공도 변화를 측정한 실험 결과를 나타낸 그래프이다. 상기 그래프에서 보여지는 바와 같이 팁 오프 구간에서는 배기관(102)에서 배출되어 패널 내부로 유입되는 가스에 의해 서서히 진공도가 떨어지다가 팁 오프가 끝나고, 게터(103)가 비산되어 활성화되면서 진공도가 급격하게 높아지는 것을 알 수 있다(팁 오프와 게터 활성화 사이의 공정시간은 도시에서 제외시킴). 그리고, 게터(103)가 활성화 된 뒤에는 고 진공상태가 지속적으로 유지되는 것을 알 수 있다.8 is a graph showing the results of experiments measuring the degree of vacuum change inside the panel according to the process of the present invention. As shown in the graph, in the tip off section, the vacuum degree is gradually dropped by the gas discharged from the exhaust pipe 102 and introduced into the panel, and the tip off ends, and the getter 103 is scattered and activated to rapidly increase the vacuum degree. It can be seen that the process time between tip off and getter activation is excluded from the city. After the getter 103 is activated, it can be seen that the high vacuum state is continuously maintained.

도 9는 본 발명의 일실시 예에 따른 게터 어셈블리의 정면도이고, 도 10은 본 발명의 일실시 예에 따른 게터 어셈블리의 장착 예시도 이다.9 is a front view of the getter assembly according to one embodiment of the present invention, and FIG. 10 is an illustration of mounting the getter assembly according to one embodiment of the present invention.

동 도면에서 보여지는 바와 같이 본 발명의 일실시 예에 따른 게터 어셈블리는 게터(203) 물질을 충진하도록 된 횡장형의 게터 수납부(205)와, 상기 게터 수납부(205)를 패널 내부에 고정시키도록 하는 안테나(204)로 구성된다.As shown in the drawing, the getter assembly according to the exemplary embodiment of the present invention has a getter housing 205 having a horizontal shape to fill the getter 203 material, and the getter housing 205 is fixed to the inside of the panel. Antenna 204 to be configured.

그리고, 본 발명에서와 같은 전계 방출 표시장치는 매우 박형화되는 관계로 도 10에서 보여지는 바와 같이 레일(123)과 게터 수납부(205) 사이에 안테나(204)를 사선으로 용접되도록 함으로써, 박형화 된 패널 내부에서의 게터 어셈블리의 설치작업이 보다 원활히 이루어지도록 할 수 있다.In addition, since the field emission display device of the present invention is extremely thin, as shown in FIG. 10, the antenna 204 is diagonally welded between the rail 123 and the getter accommodating part 205, thereby making it thinner. Installation of the getter assembly inside the panel can be made more smoothly.

이는, 물론 원형 형상으로 제작되어진 게터링을 이용하는 게터 어셈블리에서도 똑같이 적용되어지는 것이다.This, of course, applies equally to a getter assembly using a getter ring made in a circular shape.

상기와 같은 본 발명은 다음과 같은 효과를 갖는다.The present invention as described above has the following effects.

첫째, 본 발명은 패널의 내부에 게터 물질이 들어있는 게터링을 장착하고, 팁 오프 후에 게터링 내에 들어있는 게터 물질을 활성화(비산)시켜 넓은 면적에 게터 막이 형성되도록 함으로써, 가스의 흡수 능력을 극대화하여 지속적으로 패널 내부의 고 진공이 유지 가능토록 하는 효과를 갖는다.First, the present invention is equipped with a getter ring containing the getter material in the inside of the panel, and after the tip off, the getter material contained in the getter ring is activated (spread) to form a getter film in a large area, thereby improving the absorption capacity of the gas It maximizes and maintains the high vacuum inside the panel continuously.

둘째, 본 발명은 전계 방출 표시소자에 있어서의 패널 내부의 고 진공도는 전자의 방출 효율과 직접적으로 결부되어 전계 방출 표시소자의 수명을 연장하고 신뢰성을 확보하는 효과를 갖는다.Secondly, the high vacuum degree inside the panel of the field emission display device is directly connected to the emission efficiency of electrons, thereby extending the life of the field emission display device and securing reliability.

셋째, 본 발명은 배기관 내에 게터를 장착하지 않기 때문에 팁 오프 후에 남는 배기관의 길이가 종래에 비하여 50% 이상 짧아지게 되어 FPC(flexible printed circuit)부착 등의 후속 공정이 유리해지는 효과를 갖는다.Third, since the present invention does not mount the getter in the exhaust pipe, the length of the exhaust pipe remaining after the tip off is shortened by 50% or more as compared with the conventional method, and the subsequent process such as the attachment of a flexible printed circuit (FPC) is advantageous.

Claims (3)

형광체 층과, 상기 형광체 층에 전압을 인가하기 위한 애노드 전극층이 구비된 상부기판과; 전자들을 방출하기 위한 전계 방출 에미터가 형성되어 있는 하부기판과; 상기 상부기판과 하부기판 사이를 소정간격 유지시키는 프레임으로 이루어지는 패널 내부를 배기관을 이용하여 진공 배기 하도록 된 전계 방출 표시장치에 있어서,An upper substrate provided with a phosphor layer and an anode electrode layer for applying a voltage to the phosphor layer; A lower substrate on which a field emission emitter for emitting electrons is formed; In the field emission display device for evacuating the inside of the panel consisting of a frame for maintaining a predetermined interval between the upper substrate and the lower substrate by using an exhaust pipe, 상기 형광면 측에 전자빔이 통과하기 위한 통과공이 형성된 섀도우 마스크를 설치하고, 상기 섀도우 마스크는 상부기판에 설치된 레일 위에 용접되어 있고, 상기 레일의 측면에 게터 물질이 충진된 게터링을 안테나에 의해 고정시키도록 하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시장치.A shadow mask having a through hole for passing electron beams is provided on the fluorescent surface side, and the shadow mask is welded on a rail installed on an upper substrate, and a getter ring filled with getter material on the side of the rail is fixed by an antenna. And a field emission display device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 게터링이 프레임 내면 벽을 향하도록 고정되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시장치.And the gettering is fixed to face the inner wall of the frame. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 게터링이 횡장형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시장치.And the gettering is formed horizontally.
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