KR20040100955A - Electret condenser microphone - Google Patents

Electret condenser microphone Download PDF

Info

Publication number
KR20040100955A
KR20040100955A KR1020040035120A KR20040035120A KR20040100955A KR 20040100955 A KR20040100955 A KR 20040100955A KR 1020040035120 A KR1020040035120 A KR 1020040035120A KR 20040035120 A KR20040035120 A KR 20040035120A KR 20040100955 A KR20040100955 A KR 20040100955A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cup
shaped
electrode
capsule
condenser microphone
Prior art date
Application number
KR1020040035120A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
마모루야스다
신이치사에키
야스오스기모리
히로후미야마다
Original Assignee
호시덴 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 호시덴 가부시기가이샤 filed Critical 호시덴 가부시기가이샤
Publication of KR20040100955A publication Critical patent/KR20040100955A/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/01Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
    • H04R19/016Electrostatic transducers characterised by the use of electrets for microphones
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/04Microphones

Abstract

PURPOSE: An electret condenser microphone having cup-shaped backside pole is provided to improve sensitivity and an S/N ratio by reducing a floating volume value between a capsule and a backside pole. CONSTITUTION: A capsule(11) is formed with a metal material and includes a cylindrical part and a front plate. A diaphragm(16) is adhered to one side of a diaphragm ring(15). The other side of the diaphragm ring is in contact with an inner face of the front plate. A cup-shaped backside pole(18) is formed with the metal material. An insulating spacer(17) is used for maintaining a gap between a backside pole of the cup-shaped backside pole and the diaphragm. A printed board includes an impedance converter connected to an opening portion of a cylinder part(18A) of the cup-shaped backside pole. Three or more projections are formed in a constant interval on a surrounding side of the cylinder part of the cup-shaped backside pole. Each outer surface of the projections is in contact with an inner wall face of the cylindrical part of the capsule.

Description

일렉트릿콘덴서마이크로폰{ELECTRET CONDENSER MICROPHONE}Electret condenser microphone {ELECTRET CONDENSER MICROPHONE}

본 발명은, 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 관한 것이며, 특히 배극(背極)을 컵형상으로 한 일렉트릿콘덴서마이크로폰의 개량에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to an electret condenser microphone. Specifically, It is related with the improvement of the electret condenser microphone which made the cup shape into the cup shape.

본 출원인은, 우선 배극을 컵형상으로 형성하고, 종래는 배극홀더로 지지하고 있던 배극을, 배극과 통부(筒部)에 의해 일체화한 구조의 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제안했다.(특허문헌 1)The present applicant has first proposed an electret condenser microphone having a structure in which a double electrode is formed in a cup shape, and a conventional double electrode supported by a double electrode holder is integrated by a double electrode and a tube portion. (Patent Document 1)

도 8을 이용해서, 그 전에 제안한 일렉트릿콘덴서마이크로폰의 구조를 간단히 설명한다. 도 8에 있어서, (11)은 캡슐을 표시한다. 캡슐(11)은 금속재료로 형성되고, 원통부의 일단면에 전면판(12)이 일체 형성된다. 전면판(12)에는 중심구멍 (13)이 형성되고, 이 중심구멍(13)을 통해서 소리가 캡슐(11) 내에 도입된다.8, the structure of the previously proposed electret condenser microphone will be briefly described. In FIG. 8, 11 represents a capsule. The capsule 11 is formed of a metal material, and the front plate 12 is integrally formed on one end surface of the cylindrical portion. A center hole 13 is formed in the front plate 12, and sound is introduced into the capsule 11 through the center hole 13.

(15)는 진동막 링을 표시한다. 이 진동막 링(15)은 도전성 재료로 형성되어, 한 쪽 면이 전면판(12)의 내면에 접촉하고, 다른 쪽 면에 진동막(l6)이 붙여진다.진동막(16)도 도전성의 막으로 형성되어 음압에 따라서 진동하는 구조로 이루어진다.15 denotes a diaphragm ring. The diaphragm ring 15 is made of a conductive material, one surface of which is in contact with the inner surface of the front plate 12, and the other surface of the diaphragm film 6 is attached. The vibration membrane 16 is also conductive. It is formed into a film and has a structure that vibrates according to sound pressure.

(17)은, 절연재료로 형성된 링형상의 절연스페이서를 표시한다. 이 절연스페이서(17)의 두께에 의해 진동막(l6)과 배극(18)과의 사이의 간격을 소정값으로 유지한다.Reference numeral 17 denotes a ring-shaped insulating spacer formed of an insulating material. By the thickness of this insulating spacer 17, the space | interval between the vibrating film 16 and the back electrode 18 is maintained at a predetermined value.

배극(l8)은 금속재료로 형성된 컵형상 배극에 의해 구성된다. 즉, 컵형상의 통부(18A)의 한 쪽의 개구단부를 폐색판으로 막고, 이 폐색판으로 배극(18)을 구성한다. 배극(18)과 통부(18A)의 바깥둘레면에는 일렉트릿유전체막(19)이 입혀붙이기 형성된다. 배극(18)에는 복수개의 배극구멍(27)을 형성하고, 진동막(16)과 배극(18)과의 사이의 공극부분을 배실(背室)(28)에 연통시켜, 진동막(16)을 자유롭게 진동 가능한 상태로 유지시킨다.The back electrode 1 is constituted by a cup-shaped back electrode formed of a metal material. That is, one open end of the cup-shaped tube portion 18A is blocked by a blocking plate, and the backing plate 18 is formed by the blocking plate. An electret dielectric film 19 is formed on the outer circumferential surface of the back electrode 18 and the tube portion 18A. In the back electrode 18, a plurality of back hole holes 27 are formed, and the gap between the vibrating film 16 and the back electrode 18 is communicated with the back chamber 28 to form the vibrating film 16. Keep the vibration freely.

통부(l8A)의 개구단부면은 배선기판(42)으로 막혀진다. 배선기판(42)에는 배실(28) 쪽 면에, 임피던스변환기를 구성하는 IC소자(50)가 실장되어 이 IC소자(50)를 통해서 전기신호가 방출된다.The open end surface of the cylinder portion 8A is blocked by the wiring board 42. On the wiring board 42, the IC element 50 constituting the impedance converter is mounted on the side of the exhaust chamber 28, and electrical signals are emitted through the IC element 50.

도 9에 임피던스변환기를 구성하는 IC소자(50)의 회로구조의 일례를 표시한다. 임피던스변환기는 전계효과 트랜지스터(54)와 저항기(55 및 56)에 의해 구성된다. 전계효과 트랜지스터(54)의 게이트(53)에 배극(18)이 전기적으로 접속되어 공통전위점(캡슐(11))에 진동막(16)이 전기적으로 접속된다. 도 8에 표시한 접촉편 (58)은 배극(18)을 게이트(53)에 전기적으로 접속하기 위한 배선도체를 표시한다.9 shows an example of the circuit structure of the IC element 50 constituting the impedance converter. The impedance converter is constituted by the field effect transistor 54 and the resistors 55 and 56. The back electrode 18 is electrically connected to the gate 53 of the field effect transistor 54, and the vibration membrane 16 is electrically connected to the common potential point (capsule 11). The contact piece 58 shown in FIG. 8 represents a wiring conductor for electrically connecting the back electrode 18 to the gate 53.

또, 컵형상의 배극(18)과 절연스페이서(17)를 일체화한 구조의 일렉트릿콘덴서마이크로폰도 제안되어 있다(특허문헌 2). 이 특허문헌 2에서 제안된 일렉트릿콘덴서마이크로폰은 컵형상의 배극의 면에 스페이서를 일체로 형성하고, 부품수를 줄여 조립공정수를 저감하는 효과를 얻고 있다.Moreover, the electret condenser microphone of the structure which integrated the cup shape | mold electrode 18 and the insulation spacer 17 is also proposed (patent document 2). The electret condenser microphone proposed in this patent document 2 has the effect of integrally forming a spacer on the cup-shaped double electrode surface, reducing the number of parts, and reducing the number of assembly steps.

[특허문헌 1][Patent Document 1]

특허 제 3375284호 명세서Patent No. 3375284

[특허문헌 2][Patent Document 2]

실개평 6-2899호 공보Publication No. 6-2899

도 8을 이용해서 설명한 바와 같이, 특허문헌 1에서 제안한 컵형상의 배극 (18)을 이용한 일렉트릿콘덴서마이크로폰에서는, 조립을 간소화할 수 있는 이점이 얻어지는 반면, 배극(18)을 지지하는 통부(l8A)가 캡슐(11)의 내부 벽면에 일렉트릿유전체막(l9)의 두께만큼의 간격으로 근접해서 배치되기 때문에, 통부(l8A)와 캡슐(11)과의 사이에 형성되는 부유용량 CP의 용량값(정전용량)이 커지고, 이 부유용량 CP가 도 9에 표시하는 바와 같이, 배극(l8)과 진동막(16)과의 사이에 형성되는 정전용량으로 병렬 접속되기 때문에, 이 부유용량 CP의 존재에 의해 배극(18)과 진동막(16)과의 사이에서 발생하는 전압신호가 감쇠되어 마이크로폰의 감도를 저하시키는 지장이 생긴다.As described with reference to FIG. 8, in the electret condenser microphone using the cup-shaped electrode 18 proposed in Patent Literature 1, an advantage of simplifying the assembly can be obtained, while the tube portion 8A supporting the electrode 18 is obtained. ) Is disposed close to the inner wall of the capsule 11 at an interval equal to the thickness of the electret dielectric film l9, so that the capacitance value of the floating capacitance CP formed between the tube portion 8A and the capsule 11 is increased. Since the capacitance (capacitance) becomes large and this floating capacitance CP is connected in parallel with the capacitance formed between the cathode 18 and the vibrating membrane 16, as shown in Fig. 9, the presence of this floating capacitance CP is present. As a result, the voltage signal generated between the anode 18 and the vibrating membrane 16 is attenuated, causing a problem of lowering the sensitivity of the microphone.

또, 특허문헌 2에서 제안된 일렉트릿콘덴서마이크로폰은, 컵형상의 배극의 전체를 도전성 수지재로 성형하고 있다. 따라서 배극은 이 도전성 수지재를 통해서 임피던스변환기에 접속되기 때문에, 도 9에 표시한 회로로 설명하면, 배극(18)과전계효과 트랜지스터(54)의 게이트(53)와의 사이에 비교적 큰 저항값의 저항(도전성 수지재의 저항)이 삽입되어 SN비가 나빠지는 지장이 생긴다.Moreover, the electret condenser microphone proposed by patent document 2 is shape | molding the whole cup-shaped double electrode by the conductive resin material. Therefore, since the back electrode is connected to the impedance converter through this conductive resin material, the circuit shown in FIG. 9 describes a relatively large resistance value between the back electrode 18 and the gate 53 of the field effect transistor 54. The resistance (resistance of a conductive resin material) is inserted, and the SN ratio worsens.

본 발명의 목적은, 컵형상의 배극을 이용해서 구성한 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 있어서, 통부(l8A)와 캡슐(11)과의 사이에 발생하는 부유용량을 작게 하여, 감도가 높은, 또 SN비가 좋은 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제공하려고 하는 것이다.An object of the present invention is to reduce the stray capacitance generated between the tube portion 8A and the capsule 11 in an electret condenser microphone constituted by using a cup-shaped double electrode, and has a high sensitivity and a good SN ratio. It is to provide an electret condenser microphone.

또, 본 발명에서는 배극(18)과 임피던스변환기를 구성하는 전계효과 트랜지스터의 게이트와의 사이에 저항이 삽입되는 일이 없고, 따라서 SN비가 좋은 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제공하려고 하는 것이다.In addition, in the present invention, there is no need to insert a resistor between the cathode 18 and the gate of the field effect transistor constituting the impedance converter, and therefore, to provide an electret condenser microphone having a good SN ratio.

도 1은, 본 발명의 일실시예를 설명하기 위한 단면도1 is a cross-sectional view for explaining an embodiment of the present invention.

도 2는, 도 1에 표시한 A-A선상의 단면도2 is a cross-sectional view taken along the line A-A shown in FIG.

도 3은, 본 발명의 주요부분의 구조를 설명하기 위한 사시도3 is a perspective view for explaining the structure of the main part of the present invention;

도 4는, 본 발명에 이용하는 배선기판의 특징을 설명하기 위한 평면도4 is a plan view for explaining the characteristics of the wiring board used in the present invention.

도 5는, 본 발명의 주요부분의 동작을 설명하기 위한 측면도5 is a side view for explaining the operation of the main part of the present invention;

도 6은, 본 발명에 의한 일렉트릿콘덴서마이크로폰과 종래품의 주파수특성을 설명하기 위한 그래프6 is a graph for explaining the frequency characteristics of an electret condenser microphone and a conventional product according to the present invention;

도 7은, 본 발명의 변형실시예를 설명하기 위한 일부를 단면으로 한 사시도7 is a perspective view with a cross section a part for explaining a modified embodiment of the present invention.

도 8은, 종래의 기술을 설명하기 위한 단면도8 is a cross-sectional view for explaining the conventional technology.

도 9는, 도 8에 표시한 구조의 일렉트릿콘덴서마이크로폰의 전기적인 구조를 설명하기 위한 접속도9 is a connection diagram for explaining the electrical structure of the electret condenser microphone having the structure shown in FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1l: 캡슐 27: 배극구멍1l: Capsule 27: Double hole

12: 전면판 28: 배실(背室)12: front panel 28: exhaust chamber

13: 중심구멍 42: 배선기판13: center hole 42: wiring board

15: 진동막 링 50: IC소자15: diaphragm ring 50: IC element

16: 진동막 51: 출력단자16: diaphragm 51: output terminal

17: 절연스페이서 52: 어스단자17: Insulation spacer 52: Earth terminal

18: 배극 53: 게이트18: polarization 53: gate

18A: 통부 58: 접촉편18A: Tube 58: Contact piece

18B: 돌기 G: 공극18B: projection G: void

19: 일렉트릿유전체막19: electret dielectric film

본 발명의 청구항 1에서는, 금속재료에 의해 성형되고 원통부와 이 원통부의 일단부면에 전면판을 구비한 캡슐과, 이 캡슐의 전면판의 내부면에 한 쪽 면이 접촉하고, 다른 쪽 면에 진동막이 첩부된 진동막 링과, 금속재료에 의해 형성되고, 통부와 이 통부의 일단부면을 막는 폐색판으로 형성된 배극을 가지며, 이 배극 및 통부의 외부표면에 일렉트릿유전체막이 입혀붙여진 컵형상 배극과, 이 컵형상 배극에 형성된 배극과 진동막과의 사이에 끼워지고, 배극과 진동막과의 사이의 간격을 소정값으로 유지하는 절연스페이서와, 컵형상 배극의 통부의 개구단부가 임피던스변환기를 탑재한 면에 맞닿고, 다른 쪽 면이 캡슐의 개구면에 노출해서 배치된 배선기판을 구비하여 구성된 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 있어서, 컵형상 배극의 통부의 둘레면에 둘레방향으로 등각간격으로 적어도 3개이상의 돌기를 형성하고, 이돌기의 돌출 외부면을 캡슐의 원통부의 내부 벽면에 맞닿게 하는 구조로 한 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제안한다.In claim 1 of the present invention, a capsule is formed of a metal material and has a cylindrical portion and a front plate on one end face of the cylindrical portion, and one surface of the capsule is in contact with the inner surface of the front plate of the capsule, A diaphragm ring having a vibrating membrane attached thereto, and a bipolar electrode formed of a metal material, and formed of a tube portion and a closed plate that blocks one end surface of the tube portion, and a cup-shaped electrode electrode having an electret dielectric film coated on the outer surface of the tube portion and the tube portion. And an insulating spacer interposed between the gap formed on the cup-shaped bipolar and the vibrating membrane, and maintaining a distance between the gap and the vibrating membrane at a predetermined value. In an electret condenser microphone, which is provided with a wiring board abutting the mounted surface and the other surface exposed to the opening surface of the capsule, the electret condenser microphone is placed on the circumferential surface of the cylindrical portion of the cup-shaped double electrode. Forming at least three projections with equal angular intervals in a direction, and propose the electret condenser microphone constructed to abut the outer surface of the projecting yidol group on the inner wall of the cylindrical portion of the capsule.

본 발명의 청구항 2에서는, 금속재료에 의해 성형되고 원통부와 이 원통부의 일단부면에 전면판을 구비한 캡슐과, 이 캡슐의 전면판의 내부면에 한 쪽 면이 접촉하고, 다른 쪽 면에 진동막이 첩부된 진동막 링과, 금속재료에 의해 형성되고, 통부와 이 통부의 일단부면을 막는 폐색판으로 형성된 배극을 가지며, 이 배극 및 통부의 외부 표면에 일렉트릿유전체막이 입혀붙여진 컵형상 배극과, 이 컵형상 배극에 형성된 배극과 진동막과의 사이에 끼워지고, 배극과 진동막과의 사이의 간격을 소정값으로 유지하는 절연스페이서와, 컵형상 배극의 통부의 개구단부가 임피던스변환기를 탑재한 면에 맞닿고, 다른 쪽 면이 캡슐의 개구면에 노출해서 배치된 배선기판을 구비하여 구성된 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 있어서, 컵형상 배극에 형성한 배극의 바깥둘레 가장자리에 링형상으로 절연스페이서를 입혀붙이기 형성하고, 컵형상 배극과 절연스페이서를 일체화한 구조로 한 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제안한다.In the second aspect of the present invention, a capsule is formed of a metal material and has a cylindrical portion and a front plate on one end face of the cylindrical portion, and one surface of the capsule is in contact with the inner surface of the front plate of the capsule. A diaphragm ring having a vibrating membrane attached thereto, and a bipolar electrode formed of a metal material and formed of a cylinder plate and a closing plate that blocks one end surface of the tube portion, and a cup-shaped electrode electrode having an electret dielectric film coated on the outer surface of the tube portion and the tube portion. And an insulating spacer interposed between the gap formed on the cup-shaped bipolar and the vibrating membrane, and maintaining a distance between the gap and the vibrating membrane at a predetermined value. An electret condenser microphone, comprising a wiring board abutting a mounted surface and having the other surface exposed to the opening surface of the capsule, wherein the outside of the double electrode formed in the cup-shaped double electrode is provided. Forming paste coated with an insulating spacer in a ring shape to the rail edge, and a cup-like structure integral with the insulating spacer baegeuk suggests an electret condenser microphone.

본 발명의 청구항 3에서는, 청구항 1 또는 2 기재의 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 있어서, 컵형상 배극에 형성한 배극에 적어도 2개이상의 배극구멍을 형성한 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제안한다.In Claim 3 of this invention, the electret condenser microphone of Claim 1 or 2 WHEREIN: The electret condenser microphone which provided at least 2 or more polarization holes in the double electrode formed in the cup-shaped double electrode is proposed.

본 발명의 청구항 4에서는, 청구항 1 기재의 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 있어서, 컵형상 배극의 통부의 개구단부는 배선기판에 형성한 원호형상의 배선도체에 접촉하는 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제안한다.In claim 4 of the present invention, in the electret condenser microphone according to claim 1, an open end portion of the tubular portion of the cup-shaped double electrode is proposed that the electret condenser microphone contacts the arc-shaped wiring conductor formed on the wiring board.

작용Action

본 발명에 의하면 배극을 구성하는 통부의 둘레면에 밖으로 향한 복수의 돌기를 형성하고, 이 돌기의 돌출면을 캡슐의 내부 벽면에 맞닿게 하는 구조로 했기 때문에, 돌기 이외의 통부의 둘레면은 캡슐의 내부 벽면으로부터 떼어 놓여진다. 이 결과, 캡슐과 배극의 통부와의 사이에 형성되는 부유용량값을 작게 할 수 있어서 그것에 의해 감도의 향상을 이룰 수 있다.According to the present invention, since a plurality of projections facing outward are formed on the peripheral surface of the tubular portion constituting the double pole, and the projecting surface of the protrusion is brought into contact with the inner wall surface of the capsule, the peripheral surface of the cylindrical portion other than the protrusion is encapsulated. It is laid apart from the inner wall of the. As a result, the stray capacitance value formed between the capsule and the tubular portion of the back electrode can be made small, whereby the sensitivity can be improved.

또, 본 발명에서는 배극과 통부를 금속재료에 의해 일체로 성형하기 때문에 배극과 전계효과 트랜지스터의 게이트와의 사이는 금속재료에 의해 전기적으로 접속된다. 따라서, 배극과 전계효과 트랜지스터의 게이트와의 사이의 저항값을 작게 할 수 있으므로, SN비가 좋은 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제공할 수 있다.In addition, in the present invention, since the cathode and the cylinder are integrally formed by the metal material, the anode and the gate of the field effect transistor are electrically connected by the metal material. Therefore, since the resistance value between the polarization and the gate of the field effect transistor can be reduced, an electret condenser microphone with a good SN ratio can be provided.

<발명의 실시의 형태><Embodiment of the Invention>

도 1 내지 도 3에 본 발명의 일실시예를 표시한다. 도 1 내지 도 3에 있어서, 도 8과 대응하는 부분에는 동일부호를 붙이고, 그 중복 설명은 생략하지만, 도 1에 표시한 바와 같이 캡슐(11)은 금속재료에 의해 컵형상으로 형성되어 있으며, 진동막 링(15)은 캡슐(1l)의 전면판(12)의 내부면에 접촉되고, 다른 쪽 면에 진동막(16)이 첩부되어 있으며, 배극(l8)은 금속재료에 의해 예를 들면 양은으로 형성되고 통부(18A)의 한 쪽의 개구단부를 폐색한 폐색판으로 구성된다. 이들의 배극(18)과 통부(l8A)의 바깥둘레면에는 일렉트릿유전체막(19)이 입혀붙이기 형성된다. 또한, 배극(18)과 진동막(16)과의 사이에는 절연스페이서(17)가 끼워져 있으며, 진동막(16)과 배극(18)과의 사이의 공극을 절연스페이서(17)에 의해 소정값으로 유지하는 구조는 도 8을 이용해서 설명한 것과 동일하다.1 to 3 show one embodiment of the present invention. In Fig. 1 to Fig. 3, the parts corresponding to those in Fig. 8 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. However, as shown in Fig. 1, the capsule 11 is formed in a cup shape by a metal material. The diaphragm ring 15 is in contact with the inner surface of the front plate 12 of the capsule 1l, the diaphragm 16 is affixed to the other side, and the back electrode 18 is made of, for example, a metal material. It consists of a blocking plate which is formed of a silver and closed the open end of one side of the cylinder portion 18A. An electret dielectric film 19 is formed on the outer circumferential surface of these electrodes 18 and the tube portion 8A. In addition, an insulating spacer 17 is sandwiched between the spacer 18 and the vibrating membrane 16, and the gap between the vibrating membrane 16 and the spacer 18 is determined by the insulating spacer 17. The structure to be maintained is the same as that described using FIG.

본 발명이 특징으로 하는 구조는, 배극(18)과 일체 성형한 통부(18A)의 둘레면에 둘레방향으로 등각간격으로 적어도 3개이상의 돌기(18B)를 형성한 점이다. 도 2 및 도 3에 표시하는 실시예에서는 통부(18A)의 둘레면에 3개의 돌기(18B)를 형성한 경우를 표시한다. 이들의 돌기(18B)의 돌출면의 돌출량은 각 돌기(18B)의 돌출면이 정확히 캡슐(11)의 내부 벽면에 맞닿는 돌출량으로 되고, 돌기(18B)의 돌출면이 캡슐(11)의 내부 벽면에 맞닿으므로써, 배극(18)의 중심이 캡슐(ll)의 속이 빈 부분의 중심위치에 합치해서 흔들림없이 지지된다.The structure characterized by the present invention is that at least three or more projections 18B are formed on the circumferential surface of the tube portion 18A integrally formed with the electrode 18 at equal intervals in the circumferential direction. 2 and 3 show the case where three projections 18B are formed on the circumferential surface of the cylinder portion 18A. The protruding amount of these protruding surfaces of the projections 18B is the protruding amount of each protruding surface of the projections 18B exactly contacting the inner wall surface of the capsule 11, and the protruding surface of the protruding surfaces 18B is formed of the capsule 11. By contacting the inner wall surface, the center of the back electrode 18 is supported without shaking in accordance with the center position of the hollow portion of the capsule ll.

돌기(18B)를 형성함으로써, 도 2에 표시한 것에 의해 분명한 바와 같이 컵형상 배극의 통부(18A)의 바깥둘레면과 캡슐(11)의 내부 벽면과의 사이에 공극 G가 형성된다. 이 공극 G가 형성됨으로써 캡슐(11)과 통부(18A)와의 사이에 형성되는 부유공량 CP(도 9 참조)의 값을 작게 할 수 있다. 이 결과로서 진동막(16)이 진동함으로써 진동막(16)과 배극(18)과의 사이에 발생하는 전압신호(일렉트릿유전체막 (19)이 발생하는 정전기의 변동성분)의 감쇠량을 작게 할 수 있고, 이것에 의해 SN비가 좋은 음성신호를 얻을 수 있다.By forming the projection 18B, as shown in FIG. 2, as shown in FIG. 2, a gap G is formed between the outer circumferential surface of the tube portion 18A of the cup-shaped electrode and the inner wall surface of the capsule 11. By forming this gap G, the value of the floating volume CP (refer FIG. 9) formed between the capsule 11 and the cylinder part 18A can be made small. As a result, the vibration film 16 vibrates to reduce the amount of attenuation of the voltage signal (variable components of static electricity generated by the electret dielectric film 19) generated between the vibration film 16 and the back electrode 18. As a result, an audio signal having a good SN ratio can be obtained.

또한, 공극 G가 형성됨으로써, 배극(18)을 IC소자(50)의 게이트에 접속하는 배선도체를 도 4에 표시하는 바와 같이, 통부(l8A)의 개구단부에 접하는 원호형상 배선도체(59)로 할 수 있고, 배극(18)과 IC소자(50)와의 사이의 전기적인 접속상태를 안정화할 수 있다.Further, since the gap G is formed, an arc-shaped wiring conductor 59 in contact with the opening end of the tube portion 8A, as shown in FIG. 4, shows the wiring conductor connecting the anode 18 to the gate of the IC element 50. It is possible to stabilize the electrical connection state between the polarization 18 and the IC element 50.

즉, 도 8을 이용해서 설명한 구조에 의하면, 통부(18A)의 바깥둘레면은캡슐(11)의 내부 벽면에 근접해서 배치된다. 이 때문에, 도 8에서 표시하는 구조로 통부(18A)의 개구단부에 접촉시키는 배선도체를 원호형상으로 형성하면, 그 배선도체는 캡슐(11)의 내부 벽면에도 접촉해 버리기 때문에, 원형으로 형성할 수는 없다. 이 때문에 도 8에서 표시하는 예에서는 배선기판 42의 직경방향으로 형성한 접촉편(58)만으로 통부(18A)와 접촉시키고 있다. 이 접속방법에 의하면 접촉편(58)과 통부(18A)와의 접촉면적이 작기 때문에, 접촉의 신뢰성이 낮은 결점이 생긴다.That is, according to the structure demonstrated using FIG. 8, the outer periphery surface of the cylinder part 18A is arrange | positioned near the inner wall surface of the capsule 11. For this reason, when the wiring conductor which contacts the opening end of the cylinder part 18A with the structure shown in FIG. 8 in circular arc shape, since the wiring conductor will also contact the inner wall surface of the capsule 11, it will form circularly. There is no number. For this reason, in the example shown in FIG. 8, only the contact piece 58 formed in the radial direction of the wiring board 42 is in contact with the tube portion 18A. According to this connection method, since the contact area of the contact piece 58 and the cylinder part 18A is small, the fault of low contact reliability arises.

이것에 대해서, 본 발명에 의하면 원호형상 배선도체(59)를 형성할 수 있으므로 통부(18A)와 게이트(53)와의 사이의 접속의 신뢰성을 높일 수 있다. 또한, 도 4에 표시한 실시예에서는 원호형상 배선도체(59)를 원형으로 형성했을 경우를 표시했지만, 원형에 한정되지 않고 일부가 잘려진 형상이어도 된다.On the other hand, according to this invention, since the arc shaped wiring conductor 59 can be formed, the reliability of the connection between the cylinder part 18A and the gate 53 can be improved. In the embodiment shown in FIG. 4, the case where the arc-shaped wiring conductor 59 is formed in a circle is shown. However, the shape is not limited to the circle but may be partially cut.

또한, 본 발명에 의하면 통부(18A)의 직경이 평균적으로 작아짐으로써, 배실(28)의 내용적이 작아지고, 배실(28)의 내용적이 작아짐으로써 마이크로폰의 감도가 저하하는 지장이 생기지만, 현실로서는 돌기(18B)를 형성한 개구단부가 도 5에 표시하는 바와 같이 다소 젖혀져서, 배선기판(42)과의 사이에 틈새 S가 발생하기 때문에, 이 틈새 S를 통해서 배실(28)의 용적에 공극 G의 부분의 용적이 더해지기 때문에, 실질적으로 감도의 저하는 보여지지 않는다.In addition, according to the present invention, the diameter of the tube portion 18A is reduced on average, which results in a decrease in the contents of the exhaust chamber 28 and a decrease in the contents of the exhaust chamber 28. As the opening end portion in which the projections 18B are formed is slightly flipped as shown in FIG. 5, a gap S is generated between the wiring board 42 and the gap in the volume of the exhaust chamber 28 through this gap S. Since the volume of the portion of G is added, substantially no decrease in sensitivity is seen.

덧붙여서, 도 8에서 설명한 일렉트릿콘덴서마이크로폰과, 본 발명에 의한 일렉트릿콘덴서마이크로폰의 주파수특성을 도 6에 표시한다. 도 6에 있어서, 곡선 A는 본 발명에 의한 일렉트릿콘덴서마이크로폰의 주파수특성, 곡선 B는 도 8에 표시한 구조의 일렉트릿콘덴서마이크로폰의 주파수특성을 표시한다. 도 6으로부터 분명한 바와 같이, 본 발명에 의한 일렉트릿콘덴서마이크로폰은 종래품보다 약 2 ∼ 3dB정도 감도가 향상되었다. 또 SN비를 측정한 바, 종래품은 62.0dB였지만, 본 발명에 의한 일렉트릿콘덴서마이크로폰은 64.0dB로 약 2dB정도 SN비가 향상된 것을 확인했다.In addition, the frequency characteristics of the electret condenser microphone described in Fig. 8 and the electret condenser microphone according to the present invention are shown in Fig. 6. In Fig. 6, the curve A shows the frequency characteristics of the electret condenser microphone according to the present invention, and the curve B shows the frequency characteristics of the electret condenser microphone having the structure shown in Fig.8. As is apparent from Fig. 6, the electret condenser microphone according to the present invention has an improved sensitivity of about 2 to 3 dB than the conventional product. In addition, when the SN ratio was measured, the conventional product was 62.0 dB, but the electret condenser microphone according to the present invention was found to have an SN ratio of about 6 dB to about 2 dB.

도 7은 본 발명의 변형실시예를 표시한다. 이 실시예에서는 컵형상의 배극 (18)과 일체로 절연스페이서(17)를 인서트 성형한 경우를 표시한다. 즉, 일렉트릿유전도체막(19)이 입혀붙여진 알루미늄박판을 드로잉가공해서 컵형상으로 형성하고, 이 컵형상의 배극(18)의 바깥둘레에 예를 들면 액정폴리머 또는 폴리염화비닐로 절연스페이서(17)와 인서트형성에 의해 일체로 형성한다.7 shows a modified embodiment of the present invention. In this embodiment, the case where the insulation spacer 17 is insert molded integrally with the cup-shaped electrode 18 is shown. That is, an aluminum thin plate coated with the electret dielectric film 19 is formed into a cup shape, and an insulating spacer (eg, a liquid crystal polymer or polyvinyl chloride) is formed on the outer circumference of the cup-shaped double electrode 18. 17) and integrally formed by insert formation.

배극(18)과 절연스페이서(17)를 일체화함으로써, 실질적으로, 배극(18)과, 배극홀더와, 게이트 링과, 절연스페이서(17)를 일체화한 것이 되며, 조립공정수가 줄어들어 조립코스트를 저감할 수 있다. 또 조립 시의 미스가 적어지는 이점도 있다. 또한 일체형으로 제작하므로써 부품간의 불균형이 작아지고, 감도가 갖추어진 제품을 제공할 수 있는 이점도 얻을 수 있다.By integrating the back electrode 18 and the insulation spacer 17, the back electrode 18, the back electrode holder, the gate ring, and the insulation spacer 17 are substantially integrated, and the number of assembling steps is reduced, thereby reducing the assembly cost. can do. In addition, there is an advantage that fewer misses during assembly. In addition, the integrated production reduces the imbalance between components, and can also provide an advantage of providing a product with high sensitivity.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 도 1 내지 도 5에 표시한 실시예에 의하면 캡슐(ll)과 배극(18)과의 사이에 발생하는 부유용량값을 도 8에 표시한 구조의 일렉트릿마이크로폰보다 작게 할 수 있기 때문에, 도 8에 표시한 구조의 일렉트릿콘덴서마이크로폰과 비교해서 감도의 향상 및, SN비의 향상을 이룰 수 있다.As described above, according to the embodiment shown in Figs. 1 to 5 of the present invention, the floating capacitance value generated between the capsule ll and the double electrode 18 is higher than that of the electret microphone having the structure shown in Fig. 8. Since it can be made small, compared with the electret condenser microphone of the structure shown in FIG. 8, the sensitivity can be improved and SN ratio can be improved.

또한, 이 발명에서는 배극(18)을 금속재료로 형성한 통부(18A)를 개재하여IC소자(50)의 게이트(53)에 전기적으로 접속하는 구조로 했기 때문에, 특허문헌 2에 개시된 일렉트릿마이크로폰과 비교해서 배극(18)과 게이트(53)와의 사이에 끼워지는 저항값을 작게 할 수 있다. 이 점에서, 특허문헌 2의 구조의 일렉트릿콘덴서마이크로폰보다 SN비가 좋은 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 얻을 수 있다.Further, in the present invention, since the electrode 18 is formed to be electrically connected to the gate 53 of the IC element 50 via the tube portion 18A formed of a metal material, the electret microphone disclosed in Patent Document 2 is disclosed. In comparison with this, the resistance value sandwiched between the gap 18 and the gate 53 can be reduced. In this respect, the electret condenser microphone of which the SN ratio is better than the electret condenser microphone of the structure of patent document 2 can be obtained.

또, 이 발명의 도 7에 표시한 실시예에 의하면 부품수를 저감할 수 있기 때문에, 조립이 용이해지고, 또 특성이 갖추어진 일렉트릿콘덴서마이크로폰을 제공할 수 있는 이점을 얻을 수 있다.In addition, according to the embodiment shown in FIG. 7 of this invention, since the number of parts can be reduced, the assembly becomes easy and the advantage which can provide the electret condenser microphone with the characteristic provided can be acquired.

Claims (4)

금속재료에 의해 성형되고 원통부와 이 원통부의 일단부면에 전면판을 구비한 캡슐과, 이 캡슐의 상기 전면판의 내부면에 한 쪽 면이 접촉하고, 다른 쪽 면에 진동막이 첩부된 진동막 링과, 금속재료에 의해 형성되고 통부와 이 통부의 일단부면을 막는 폐색판으로 형성된 배극을 가지며 이 배극 및 상기 통부의 외부 표면에 일렉트릿유전체막이 입혀붙여진 컵형상 배극과, 이 컵형상 배극에 형성된 배극과 상기 진동막과의 사이에 끼워지고, 상기 배극과 진동막과의 사이의 간격을 소정값으로 유지하는 절연스페이서와, 상기 컵형상 배극의 상기 통부의 개구단부가 임피던스변환기를 탑재한 면에 맞닿고, 다른 쪽 면이 상기 캡슐의 개구면에 노출해서 배치된 배선기판을 구비하여 구성된 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 있어서,A capsule formed by a metal material and having a cylindrical portion and a front plate on one end face of the cylindrical portion, and a vibrating membrane in which one surface is in contact with the inner surface of the front plate of the capsule and the vibrating membrane is attached to the other surface. A cup-shaped electrode having a ring formed by a metal material and formed of a tube portion and a closing plate which blocks one end face of the tube portion, and having an electret dielectric film coated on the electrode and an outer surface of the tube portion, and the cup-shaped electrode; An insulating spacer which is sandwiched between the formed double electrode and the vibrating membrane, and maintains a distance between the double electrode and the vibrating membrane at a predetermined value, and a surface on which the opening end of the tube portion of the cup-shaped double electrode is mounted with an impedance converter. In the electret condenser microphone which is provided with a wiring board which abuts on the other side and is exposed to the opening surface of the said capsule, 상기 컵형상 배극의 상기 통부의 둘레면에 둘레방향으로 등각간격으로 적어도 3개이상의 돌기를 형성하고, 이 돌기의 돌출 외부면을 상기 캡슐의 원통부의 내부 벽면에 맞닿게 하는 구조로 한 것을 특징으로 하는 일렉트릿콘덴서마이크로폰.At least three projections are formed on the circumferential surface of the cylindrical portion of the cup-shaped bipolar at equal intervals in the circumferential direction, and the protruding outer surface of the projection abuts against the inner wall surface of the cylindrical portion of the capsule. Electret condenser microphone. 금속재료에 의해 성형되고 원통부와 이 원통부의 일단부면에 전면판을 구비한 캡슐과, 이 캡슐의 상기 전면판의 내부면에 한 쪽 면이 접촉하고, 다른 쪽 면에 진동막이 첩부된 진동막 링과, 금속재료에 의해 형성되고, 통부와 이 통부의 일단부면을 막는 폐색판으로 형성된 배극을 가지며 이 배극 및 상기 통부의 외부 표면에 일렉트릿유전체막이 입혀붙여진 컵형상 배극과, 이 컵형상 배극에 형성된 배극과 상기 진동막과의 사이에 끼워지고 상기 배극과 진동막과의 사이의 간격을 소정값으로 유지하는 절연스페이서와, 상기 컵형상 배극의 상기 통부의 개구단부가 임피던스변환기를 탑재한 면에 맞닿고, 다른 쪽 면이 상기 캡슐의 개구면에 노출해서 배치된 배선기판을 구비하여 구성된 일렉트릿콘덴서마이크로폰에 있어서,A capsule formed by a metal material and having a cylindrical portion and a front plate on one end face of the cylindrical portion, and a vibrating membrane in which one surface is in contact with the inner surface of the front plate of the capsule and the vibrating membrane is attached to the other surface. A cup-shaped anode formed of a ring, a metal material, and formed of a cylinder portion and a closing plate that blocks one end surface of the cylinder portion, the electrode having a cuplet electrode having an electret dielectric film coated on the electrode and an outer surface of the tube portion; An insulating spacer interposed between the gap formed in the circuit and the vibration membrane to maintain a distance between the gap and the vibration membrane at a predetermined value, and a surface on which the opening end of the tube portion of the cup-shaped gap is mounted with an impedance converter. In the electret condenser microphone which is provided with a wiring board which abuts on the other side and is exposed to the opening surface of the said capsule, 상기 컵형상 배극에 형성한 배극의 외부둘레 가장자리에 링형상으로 상기 절연스페이서를 입혀붙이기 형성하고, 상기 컵형상 배극과 절연스페이서를 일체화한 구조로 한 것을 특징으로 하는 일렉트릿콘덴서마이크로폰.An electret condenser microphone according to claim 1, wherein the insulating spacer is formed by attaching the insulating spacer to a ring-shaped outer edge of the double electrode formed on the cup-shaped double electrode, and the cup-shaped double electrode and the insulating spacer are integrated. 제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 컵형상 배극에 형성한 배극에 적어도 2개이상의 배극구멍을 형성한 것을 특징으로 하는 일렉트릿콘덴서마이크로폰.The electret condenser microphone according to claim 1 or 2, wherein at least two or more polarization holes are formed in the polarization formed in the cup-shaped polarization. 제 1항에 있어서, 상기 컵형상 배극의 통부의 개구단부는 상기 배선기판에 형성한 원호형상 배선도체에 접촉하는 것을 특징으로 하는 일렉트릿콘덴서마이크로폰.The electret condenser microphone according to claim 1, wherein the opening end of the tubular portion of the cup-shaped electrode contacts the arc-shaped wiring conductor formed on the wiring board.
KR1020040035120A 2003-05-21 2004-05-18 Electret condenser microphone KR20040100955A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2003-00143185 2003-05-21
JP2003143185A JP2004349927A (en) 2003-05-21 2003-05-21 Electret condenser microphone

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20040100955A true KR20040100955A (en) 2004-12-02

Family

ID=33531043

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040035120A KR20040100955A (en) 2003-05-21 2004-05-18 Electret condenser microphone

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2004349927A (en)
KR (1) KR20040100955A (en)
CN (1) CN1575041A (en)
TW (1) TW200427350A (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4601436B2 (en) * 2005-01-24 2010-12-22 株式会社オーディオテクニカ Electrostatic electroacoustic transducer, condenser microphone using the same, and manufacturing method of electrostatic electroacoustic transducer
KR100608461B1 (en) 2005-05-23 2006-08-02 주식회사 비에스이 Condenser microphone for air flow and method of making the same
KR100608462B1 (en) 2005-05-23 2006-08-02 주식회사 비에스이 Condenser microphone for air flow and method of making the same
CN1802037B (en) * 2005-09-29 2011-09-14 深圳市豪恩电声科技有限公司 Back electret type silicon-based minisize electret capacitor microphone
JP2007104467A (en) * 2005-10-06 2007-04-19 Micro Precision Kk Acoustic sensor and method of manufacturing same
JP2007306216A (en) * 2006-05-10 2007-11-22 Hosiden Corp Electret capacitor microphone
JP4893860B1 (en) * 2011-02-21 2012-03-07 オムロン株式会社 microphone
CN103043362B (en) * 2011-10-15 2015-04-22 四川制药制剂有限公司 Power transmission device with combination of air cylinder and roller
JP2013090142A (en) 2011-10-18 2013-05-13 Hosiden Corp Electret capacitor microphone

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004349927A (en) 2004-12-09
CN1575041A (en) 2005-02-02
TW200427350A (en) 2004-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4033830B2 (en) Microphone
KR200330089Y1 (en) Integrated base and electret condenser microphone using the same
US8848962B2 (en) Unidirective condenser microphone unit and condenser microphone
EP1569498A2 (en) Parallelepiped condenser microphone
EP2116101A1 (en) Stray capacitance reduced condenser microphone
KR20040100955A (en) Electret condenser microphone
KR20050076564A (en) A parallelepiped type condenser microphone for smd
KR20090000180U (en) Diaphragm with air groove and condenser microphone using the same
KR20060112274A (en) Dual base and electret condenser microphone using the same
JP2003163997A (en) Capacitor microphone
KR100549188B1 (en) Integrated base and electret condenser microphone using the same
JPH0354520B2 (en)
KR100542178B1 (en) Electret condenser microphone
US6845167B2 (en) Contacting arrangement for an electroacoustic microphone transducer
JP3613786B2 (en) Condenser microphone
KR100758838B1 (en) A square condenser microphone
KR20050087578A (en) A parallelepiped type directional condenser microphone for smd
JP2000165998A (en) Integral composite electret condenser microphone
KR100537435B1 (en) Directional condenser microphone
KR100540137B1 (en) Directional condenser microphone
KR100565464B1 (en) Directional condenser microphone having integrated base
JP5269569B2 (en) Condenser microphone unit and condenser microphone
KR100606165B1 (en) Multi hole Diaphragm For Microphone And Condenser Microphone Using the Same
KR100797439B1 (en) Polygonal condenser microphone assembly
KR100675511B1 (en) Ring type backplate and condenser microphone using the same

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination