KR20040088504A - Fluorescent magnetic flaw detector and fluorescent magnetic flaw detecting method - Google Patents

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KR20040088504A KR10-2004-7012769A KR20047012769A KR20040088504A KR 20040088504 A KR20040088504 A KR 20040088504A KR 20047012769 A KR20047012769 A KR 20047012769A KR 20040088504 A KR20040088504 A KR 20040088504A
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Abstract

선명한 밝은 형광 자분 모양의 화상을 얻을 수 있고, 복잡한 기구를 생략해서 저가이면서 염가이거나 보수성이 우수한 형광 자분 탐상 장치를 제공하는 것으로, 형광 자분 탐상 장치에 있어서, 자외선 조사 장치(25)의 광원(26)을 스트로보광으로 하고, 촬상 장치(30)를 그 전방면에 형광의 스펙트럼대만을 투과하는 대역 통과 필터(32)를 갖고, 또 상기 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하는 기능 및 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라로 하고 있다. 이에 의해, 선명한 형광 자분 모양을 얻을 수 있는 동시에, 피검사재와 탐상 장치의 상대 속도의 고속화가 가능해졌다.In order to obtain a clear bright fluorescent magnetic powder image, and to provide a fluorescent magnetic powder flaw detector which is inexpensive and inexpensive or excellent in water retention by eliminating complicated mechanisms, the fluorescent light magnetic flaw detector has a light source 26 ) Is a strobe light, and the image pickup device 30 has a band pass filter 32 which transmits only the spectral band of fluorescence on its front face, and opens the shutter only for the light emission time of the strobe light, and a video signal multiplication function. It is set as the CCD camera which added. As a result, a clear fluorescence magnetic particle shape can be obtained, and the relative speed of the inspected material and the flaw detector can be increased.

Description

형광 자분 탐상 장치 및 형광 자분 탐상 방법 {FLUORESCENT MAGNETIC FLAW DETECTOR AND FLUORESCENT MAGNETIC FLAW DETECTING METHOD}Fluorescent magnetic particle flaw detector and fluorescent magnetic particle flaw detector {FLUORESCENT MAGNETIC FLAW DETECTOR AND FLUORESCENT MAGNETIC FLAW DETECTING METHOD}

열연강대, 후판(厚板), 강관, 조강 등의 열연 제품에는 표면에 스케일이나 기름 오물이 부착되어 있거나 냉간 압연 제품에 비교하여 조도가 거칠기 때문에, 표면 결함 검사 자동화가 곤란하다. 따라서, 종래 오로지 검사원이 육안으로 확인하고 혹은 검출 정밀도가 필요한 경우에는 자분 탐상법에 의한 육안 검사에 의지하고 있었다.Hot-rolled steel products such as hot rolled steel strips, thick plates, steel pipes, and crude steels have scales or oil dirt attached to their surfaces, or roughness is rough compared to cold-rolled products, which makes it difficult to automate surface defect inspection. Therefore, conventionally, only the inspector visually confirmed or when the detection precision was needed, and resorted to the visual inspection by the magnetic particle flaw detection method.

상기 자분 탐상 중 형광 자분을 적용하는 형광 자분 탐상에서는 결함부에 집적된 형광 자분에 자외선을 조사하면, 표면의 스케일 등의 방해 요인이 억제되고 결함부만이 현재화된다는 이점이 있다. 근래, 이 잇점을 이용하여 형광 자분 모양을 TV 카메라로 촬상하고 신호 처리함으로써 자동화하려고 하는 시도가 있다. 그러나, 자외선을 조사하여 얻어지는 형광은 통상광 조명에 비교하여 미약하기 때문에 피검사재와 TV 카메라의 상대적인 속도가 높아지면 상 흐름에 따라 화상이 흐려지는 동시에 진행 방향과 직교하는 방향으로 연장된 결함은 현저히 신호 레벨이 저하된다는 문제가 있었다.In fluorescence magnetic particle inspection in which fluorescence magnetic particles are applied in the magnetic particle inspection, when ultraviolet rays are irradiated to the fluorescence magnetic particles integrated in the defect portion, there is an advantage that the disturbing factors such as the scale of the surface are suppressed and only the defect portion is present. In recent years, there have been attempts to automate by taking advantage of this advantage by imaging and signal processing a fluorescent magnetic particle shape with a TV camera. However, since the fluorescence obtained by irradiating ultraviolet rays is weak compared to normal light illumination, when the relative speed of the inspected material and the TV camera increases, defects extending in the direction perpendicular to the traveling direction and blurring the image with the image flow are significantly signaled. There was a problem that the level was lowered.

이들 문제에 대처하기 위해, 종래 장치에서는 검사 대상과의 상대적 이동 속도를 상쇄하기 위한 미러 요동 기구 혹은 검사 대상과 촬상 장치의 상대적 이동을 억제하기 위한 반송 장치의 모방 기구 등을 설치하고 있었다. 종래 자동 탐상 장치의 하나는 피검사재를 길이 방향으로 주행시키면서 주사 미러를 거쳐 촬상 부위의 움직임에 개략 동기하여 TV 카메라로 촬상하고, 결함 검출 정밀도를 향상시키고 있다(예를 들어, 일본 특허 공개 평4-65660호 공보 참조). 또한, 다른 자동 탐상 장치에서는 반대로 피검사재를 고정 설치하고, 길이 방향으로 주행하는 캐리지 상에 주사 미러와 TV 카메라를 설치하고, 주사 미러를 거쳐 촬상 부위의 움직임에 개략 동기하여 TV 카메라로 촬상하고, 결함 검출 정밀도를 향상시키고 있다(예를 들어, 일본 특허 공개 평5-273150호 공보 참조).In order to cope with these problems, the conventional apparatus has provided a mirror oscillation mechanism for canceling the relative movement speed with the inspection object or an imitation mechanism of the conveying device for suppressing the relative movement of the inspection object and the imaging device. One of the conventional automatic flaw detection apparatuses captures with a TV camera approximately synchronizing with the movement of an imaging part via a scanning mirror while driving a test | inspection material to a longitudinal direction, and improves the defect detection precision (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 4). -65660). In addition, in another automatic flaw detector, the inspection material is fixedly installed, a scan mirror and a TV camera are installed on a carriage traveling in the longitudinal direction, and the image is captured by the TV camera in synchronism with the movement of the image pickup site via the scan mirror. The defect detection accuracy is improved (for example, see Japanese Patent Laid-Open No. 5-273150).

상기 종래 기술에는 몇가지 문제점이 있다. 일본 특허 공개 평5-273150호 공보에 기술되어 있는 바와 같이, 동기를 정확하게 취하기 위해 터치롤에 부착한 펄스 발생기 등에 의해 거리 신호를 생성할 필요가 있다. 그러나, 피검사재와 터치롤과의 미끄러짐에 의해 오차가 발생되는 일이 있다. 또한, 피검사재를 반송할 때에 요동하거나 피검사재가 구부러져 있거나 하면, 진동 미러로는 추종할 수 없는 방향의 화상 흐름이 발생한다. 일본 특허 공개 평4-65660호 공보에 개시된 장치에 대해서도 상대적인 요동이나 피검사재의 굴곡에 관한 문제는 발생한다. 또한, 상대적인 속도가 높아지면 미러의 흔들림 각도가 커지고, 결과적으로 비스듬히 보는것과 동일해지며 광학적으로 왜곡된 화상이 되는 것은 피할 수 없다. 게다가, 이와 같은 기계 기구는 정밀도를 향상시키려고 하면 복잡해지고, 고가가 되며, 보수성이 저하되는 등의 문제가 있다.There are several problems with the prior art. As described in JP-A-5-273150, it is necessary to generate a distance signal by a pulse generator or the like attached to the touch roll in order to achieve accurate synchronization. However, an error may arise by slipping between an inspection material and a touch roll. In addition, if the object to be shaken or bent when conveying the material to be inspected, an image flow in a direction that cannot be followed by the vibration mirror occurs. Regarding the apparatus disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 4-65660, problems related to relative fluctuation and bending of the inspected material occur. In addition, the higher the relative speed, the larger the tilt angle of the mirror, and consequently becomes the same as viewed obliquely, resulting in an optically distorted image. In addition, such mechanical mechanisms have problems such as complexity, expensiveness, and poor water retention when attempting to improve accuracy.

이들 문제를 해결하기 위해서는, 순간적으로 정지 화상을 취할 수 있으면 좋고, 통상의 TV 촬영 등에서는 스트로보 조명에 의해 이것이 가능하다. 그러나, 통상의 플래쉬 벌브의 스펙트럼에는 자외선 성분은 약간 밖에 포함되어 있지 않고, 또 자분 탐상으로 결함부에 모이는 자분은 미량이다. 따라서, 통상 미약한 형광 화상 밖에 얻을 수 없고, 통상의 TV 카메라와 자외선 스트로보 조명으로는 충분한 감도를 얻을 수 없다는 문제가 있었다.In order to solve these problems, it is only necessary to be able to take a still image instantaneously, and this is possible by stroboscopic illumination in normal TV shooting or the like. However, in the spectrum of a normal flash bulb, only a few ultraviolet components are included, and the magnetic particles collected at a defective part by magnetic particle inspection are very small. Therefore, only a weak fluorescent image is usually obtained, and there is a problem that sufficient sensitivity cannot be obtained with a normal TV camera and ultraviolet strobe lighting.

본 발명은 제강 제품의 자동 표면 결함 탐상(探傷) 장치, 특히 열연 제품 및 그 용접부의 표층 결함 검사에 이용하기에 적합한 형광 자분 탐상 장치 및 형광 자분 탐상 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluorescent magnetic particle flaw detector and a fluorescent magnetic particle flaw detector suitable for use in automatic surface flaw flaw detectors, particularly hot rolled products and welded surfaces thereof, for steelmaking products.

도1은 본 발명의 일 실시 형태를 도시하는 것으로, 형광 자분 탐상 장치의 모식적 측면도이다.Fig. 1 shows one embodiment of the present invention, and is a schematic side view of a fluorescent magnetic particle flaw detector.

도2는 본 발명의 다른 실시 형태를 도시하는 것으로, 형광 자분 탐상 장치의 모식적 측면도이다.Fig. 2 shows another embodiment of the present invention, and is a schematic side view of a fluorescent magnetic particle flaw detector.

도3은 도2에 도시하는 형광 자분 탐상 장치의 평면도이다.FIG. 3 is a plan view of the fluorescent magnetic particle flaw detector shown in FIG.

도4는 본 발명에 의한 형광 자분 탐상 장치의 자화 장치의 철심의 사시도이다.4 is a perspective view of an iron core of a magnetization device of a fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention.

도5는 도4에 도시하는 자화 장치의 전원 및 자화 코일의 회로도이다.FIG. 5 is a circuit diagram of a power supply and a magnetizing coil of the magnetization device shown in FIG.

도6은 본 발명에 의한 형광 자분 탐상 장치의 전자석에 공급되는 자화 전류의 그래프이다.6 is a graph of the magnetization current supplied to the electromagnet of the fluorescent magnetic particle inspection device according to the present invention.

도7은 본 발명의 또 다른 실시 형태를 도시하는 것으로, 형광 자분 탐상 장치의 모식적 측면도이다.Fig. 7 shows still another embodiment of the present invention and is a schematic side view of a fluorescent magnetic particle flaw detector.

도8은 도7에 도시하는 형광 자분 탐상 장치의 평면도이다.FIG. 8 is a plan view of the fluorescent magnetic particle flaw detector shown in FIG. 7.

도9는 본 발명에 의한 형광 자분 탐상 장치의 전원 및 자화 코일의 회로도이다.9 is a circuit diagram of a power supply and a magnetizing coil of the fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention.

도10은 도9에 도시하는 광원의 다른 실시 형태를 일부 단면으로 도시하는 도면이다.FIG. 10 is a cross-sectional view of another embodiment of the light source shown in FIG. 9 in part.

도1l은 본 발명에 의한 형광 자분 탐상 장치에 있어서, 광원 및 촬상 장치를 자화기의 외측에 배치한 실시 태양을 도시하는 도면이다.Fig. 1L is a diagram showing an embodiment in which a light source and an imaging device are arranged outside the magnetizer in the fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention.

도12는 본 발명의 청구항 4를 기초로 하는 실시 형태로, X형 또는 은폐형 요크의 자화기로 그 외측에서 촬상한 예를 도시하는 도면이다.Fig. 12 is an embodiment based on claim 4 of the present invention, showing an example of imaging from the outside with a magnetizer of an X-type or concealed yoke.

도13은 본 발명의 청구항 5를 기초로 하는 실시 형태로, 이동 거리 계측기로 촬상 위치를 측정하고 결함 위치를 기록하는 예를 도시하는 도면이다.FIG. 13 is an embodiment based on claim 5 of the present invention, which shows an example of measuring an imaging position with a movement distance meter and recording a defect position. FIG.

본 발명은 이상과 같은 문제점을 해결하고, 선명한 밝은 형광 자분 모양의 화상을 얻을 수 있고, 미러 요동 기구, 모방 기구 등의 복잡한 기구를 생략해서 저가이면서 보수성이 우수한 형광 자분 탐상 장치를 제공하는 것을 과제로 하고 있다. 본 발명의 요지는 다음과 같다.Disclosure of Invention The present invention solves the problems described above and provides a bright fluorescent fluorescent powder image, and provides a fluorescent magnetic powder flaw detector with low cost and excellent water retention by eliminating complicated mechanisms such as a mirror swing mechanism and an imitation mechanism. I am doing it. The gist of the present invention is as follows.

(1) 피검사재인 강재 또는 강철 부재의 용접부의 표층부를 자화하는 자화 장치와, 피검사재의 표면에 자분액을 산포하는 자분액 산포 노즐과, 피검사면을 조사하는 자외선 조사 장치와, 피검사면을 촬상하는 촬상 장치와, 촬상한 화면을 처리하여 흠집의 유무를 판별하는 화상 처리 장치로 구성한 형광 자분 탐상 장치에 있어서,(1) A magnetization apparatus for magnetizing the surface layer portion of a welded portion of a steel or steel member to be inspected, a magnetic liquid dispersion nozzle for dispersing magnetic liquid onto the surface of the inspected material, an ultraviolet irradiation device for irradiating the inspected surface, and an inspected surface. In the fluorescent magnetic particle inspection device comprising an image pickup device for imaging and an image processing device for processing the screen to pick up and determine the presence or absence of scratches,

상기 촬상 장치를 그 전방면에 형광의 스펙트럼대만을 투과하는 대역 통과필터를 갖고, 또 상기 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하는 기능 및 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라로 함으로써 피검사재와 탐상 장치의 상대 속도를 고속화 가능하게 한 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 장치.The imaging device has a band pass filter which transmits only the spectral band of fluorescence on its front face, and has a function of opening the shutter only for the light emission time of the strobe light and adding a video signal multiplication function. Fluorescent magnetic particle flaw detection apparatus which made it possible to speed up the relative speed | rate.

(2) 상기 자화 장치가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치함과 동시에 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 2극씩 늘려 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 구성하고, 새롭게 형성한 정사각형의 대각점에 배치한 자극을 각각 쌍으로 함으로써 실질적으로 한 쌍의 전자석으로 하고, 각각의 전자석에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 장치인 것을 특징으로 하는 (1) 기재의 형광 자분 탐상 장치.(2) The magnetizer is provided with four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface and the magnetic poles form a square vertex, and at the right side of the square, The magnetic poles are arranged so as to form a plurality of squares by increasing the poles, and the pairs of magnetic poles arranged at the diagonal points of the newly formed squares are paired substantially to form a pair of electromagnets, and the magnets alternately in phase with each electromagnet at the same frequency. It is a magnetization apparatus which produces | generates a some rotating magnetic field in a to-be-tested surface through an electric current, The fluorescent magnetic particle flaw detector of (1) description characterized by the above-mentioned.

(3) 상기 자화 장치가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치함과 동시에 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 간격을 두고 4극씩 늘려 4극의 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 배치하고, 4극마다 자극을 단락하는 이음 부재를 설치함으로써 각 4자극의 대칭성을 유지하고, 대각이 되는 자화 코일을 한 쌍으로 하여 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하도록 하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 장치인 것을 특징으로 하는 (1) 기재의 형광 자분 탐상 장치.(3) The magnetizer is provided with four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface and the magnetic poles form a square vertex, and at the same time, the magnetization device is spaced at right angles to one side of the square. 4 poles are arranged by 4 poles to form a plurality of squares, and a joint member for shorting the poles is installed every 4 poles to maintain the symmetry of each of 4 poles. The magnetic field spectrometer according to (1), characterized in that the magnetization device generates a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface by passing a magnetization alternating current having a phase shifted at the same frequency through a pair of magnetizing coils.

(4) 상기 자화 장치가 2극, 즉 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 장방형 또는 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극1조의 1조 또는 2조 이상으로 구성되고, 그 각 조의 전자석의 대각의 자극 또는 4극을 이음 부재로 단락하고, 각 조의 2극 한 쌍의 자극에 권취한 2쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 하나 또는 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 장치인 것을 특징으로 하는 (1) 기재의 형광 자분 탐상 장치.(4) One or two or more pairs of quadrupole poles in which the magnetizer is arranged with two poles, ie, a pair of electromagnets, axially symmetrical around an axis perpendicular to the inspection surface and with magnetic poles forming a vertex of a rectangle or a square. Magnetization alternating current consisting of a pair of magnetic poles of each pair of electromagnets short-circuited with a connecting member, and a pair of magnetizing coils wound around a pair of poles of each pair of magnets It is a magnetization apparatus which produces | generates one or several rotating magnetic field in the to-be-tested surface through, The fluorescent magnetic particle flaw detector of (1) description characterized by the above-mentioned.

(5) 상기 촬상 장치의 촬상 위치에 대하여 상대적으로 이동하는 피검사면 상의 각 점의 이동 거리를 계측하는 거리 계측기를 구비하고, 거리 측정기로 계측된 이동 거리 정보를 이용하여 검출한 피검사재의 표층 흠집을 맵핑하는 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (4) 중 어느 한 항에 기재된 형광 자분 탐상 장치.(5) Surface-surface flaw of the to-be-inspected material detected using the moving distance information measured with the distance measuring device provided with the distance measuring device which measures the moving distance of each point on the to-be-tested surface which moves relatively with respect to the imaging position of the said imaging device. The fluorescent magnetic particle flaw detector according to any one of (1) to (4), which is characterized in that it is mapped.

(6) 피검사재인 강재 또는 강철 부재의 용접부의 표층부를 자화하는 단계와, 피검사재의 표면에 자분액을 산포하는 자분액 산포 단계과, 피검사면에 자외선을 조사하는 단계과, 피검사면을 촬상하는 단계과, 촬상한 화면을 처리하여 흠집의 유무를 판별하는 화상 처리 단계으로 구성한 형광 자분 탐상 방법에 있어서,(6) magnetizing the surface layer portion of the welded portion of the steel or steel member to be inspected; self-dispersion dispersing to disperse the magnetic liquid onto the surface of the inspected material; irradiating ultraviolet to the inspected surface; and imaging the inspected surface; In the fluorescence magnetic particle inspection method comprising the image processing step of processing the captured screen to determine the presence or absence of scratches,

상기 촬상 단계에는 형광의 스펙트럼대만을 투과하는 대역 통과 필터를 이용하고, 또 상기 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하고, 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라를 이용하는 일련의 단계에 의해 피검사재와 탐상 장치의 상대 속도를 고속화 가능하게 한 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 방법.In the imaging step, an inspection material and flaw detection are performed by a series of steps using a band pass filter that transmits only the spectral band of fluorescence, and using a CCD camera that only opens the shutter for the light emission time of the strobe light and adds an image signal multiplication function. Fluorescent magnetic particle flaw detection method which made it possible to speed up the relative speed of an apparatus.

(7) 상기 자화하는 단계가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치하는 단계와 함께 상기 정사각형의 일변에 직각 방향에 2극씩 늘려 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 구성하고, 새롭게 형성한 정사각형의 대각점에 배치한 자극을 각각 쌍으로 함으로써 실질적으로 한 쌍의 전자석으로 하는 단계에 의해 각각의 전자석에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 방법인 것을 특징으로 하는 (6) 기재의 형광 자분 탐상 방법.(7) The magnetizing step includes the installation of four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface, and the magnetic poles form a square vertex, and at right angles to one side of the square. The two poles are arranged so that the magnetic poles form a plurality of squares, and the pairs of magnetic poles arranged at the diagonal points of the newly formed square are paired with each other to substantially form a pair of electromagnets at the same frequency in each electromagnet. It is a magnetization method which produces | generates a some rotating magnetic field in the to-be-tested surface through the alternating magnetization alternating current, The fluorescence magnetic particle flaw detection method of (6) description.

(8) 상기 자화하는 단계가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치하는 단계와 동시에 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 간격을 두고 4극씩 늘려 4극의 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 배치하고, 4극마다 자극을 단락하는 이음 부재를 설치함으로써 각 4자극의 대칭성을 유지하고 대각이 되는 자화 코일을 한 쌍으로 하여 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하는 단계에 의해 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 방법인 것을 특징으로 하는 (6) 기재의 형광 자분 탐상 방법.(8) The magnetizing step includes the installation of four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface and the magnetic poles form a square vertex, and at the same time in a direction perpendicular to one side of the square. 4 poles are arranged at intervals of 4 poles to form a plurality of squares, and a joint member for shorting the poles is installed every 4 poles to maintain symmetry of each 4 poles and to make a pair of diagonal magnetization coils. The magnetic flux detection method according to (6), which is a magnetization method of generating a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface by passing a magnetization alternating current having a phase shifted to two pairs of magnetization coils at the same frequency.

(9) 상기 자화하는 단계가 2극, 즉 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 장방형 또는 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극 1조의 1조 또는 2조 이상으로 구성되고, 그 각 조의 전자석의 대각의 자극 또는 4극을 이음 부재로 단락하고, 각 조의 2극 한 쌍의 자극에 권취된 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하는 단계에 의해 피검사면에 하나 또는 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 방법인 것을 특징으로 하는(6) 기재의 형광 자분 탐상 방법.(9) The magnetizing step is a pair of two poles, that is, a pair of four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface, and the magnetic poles form a rectangular or square vertex. The magnetization alternating current which comprised the above and short-circuited the diagonal pole or four poles of each pair of electromagnets with a joint member, and shifted the phase to the two pairs of magnetization coils wound by the pair of poles of each pole at the same frequency. (6) The fluorescence magnetic particle flaw detection method according to (6), characterized in that it is a magnetization method for generating one or a plurality of rotating magnetic fields on the inspected surface by passing through.

(10) 상기 촬상하는 단계의 촬상 위치에 대하여 상대적으로 이동하는 피검사면 상의 각 점의 이동 거리를 계측하는 단계와, 거리 측정기로 계측된 이동 거리 정보를 이용하여 검출한 피검사재의 표층 흠집을 맵핑하는 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 (6) 내지 (9) 중 어느 한 항에 기재된 형광 자분 탐상 방법.(10) measuring the movement distance of each point on the inspection surface moving relatively to the imaging position of the imaging step, and mapping the surface flaws of the inspection object detected using the movement distance information measured by the distance measuring device; The fluorescent magnetic particle flaw detection method in any one of (6)-(9) characterized by the above-mentioned.

상술한 바와 같이, 발명의 형광 자분 탐상 장치는 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하는 기능 및 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라를 구비하고 있다. 이에 의해, 상대적으로 어떠한 방향으로 이동 또는 요동하고 있어도 정지 촬영시와 마찬가지로 흔들림이 없는 선명하고 예리한 화상을 얻을 수 있다. 또한, 자외선 스트로보에 의한 미약한 형광 영상이라도 충분한 감도를 가지고 촬영 가능하며, 선명한 밝은 형광 자분 모양의 화상을 얻을 수 있다. 이 때문에, 결함 검출 정밀도는 대폭 향상된다.As described above, the fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention includes a CCD camera with the function of opening the shutter only for the light emission time of strobe light and adding a video signal multiplication function. This makes it possible to obtain a sharp and sharp image with no shaking, similarly to still image shooting, even when moving or swinging in any direction. In addition, even a weak fluorescent image by ultraviolet strobe can be photographed with sufficient sensitivity, and a clear bright fluorescent magnetic particle image can be obtained. For this reason, defect detection precision improves significantly.

또한, 본 발명에 있어서는, 자화 장치를, 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치함과 동시에 정사각형의 일변에 직각 방향으로 2극씩 늘려 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 구성하고, 새롭게 형성한 정사각형의 대각점에 배치한 자극을 각각 쌍으로 함으로써 실질적으로 한 쌍의 전자석으로 하고, 각각의 전자석에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하도록 구성하고 있기 때문에 피검사재는 정렬하는 복수의 전자석을 차례로 통과하는 동안 자화되므로 자화 시간이 길어지고, 피검사재가 고속으로 이동해도 선명한 형광 자분 모양이 형성된다.In the present invention, the magnetizing device is provided with four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface and so that the magnetic poles form a square vertex, and at the right angle to one side of the square. Two poles in the direction to form a plurality of squares, and a pair of magnetic poles arranged at diagonal points of the newly formed squares, respectively, to form a pair of electromagnets, and to shift phases at the same frequency to each electromagnet. Since a plurality of rotating magnetic fields are generated on the inspected surface through the alternating magnetization current, the inspected material is magnetized while passing through the plurality of electromagnets to be aligned one by one, so that the magnetization time is long and vivid fluorescence even when the inspected material moves at high speed. Magnetic powder shape is formed.

또한, 본 발명에 있어서는, 자화 장치가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치함과 동시에 정사각형의 일변에 직각 방향으로 간격을 두고 4극씩 늘려 4극의 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 배치하여, 4극마다 자극을 단락하는 이음 부재를 설치함으로써 각 4자극의 대칭성을 유지하고, 대각이 되는 자화 코일을 한 쌍으로 하여, 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하도록 하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하도록 구성하고 있기 때문에 피검사재는 정렬하는 복수의 전자석을 차례로 통과하는 동안 자화되므로 자화 시간이 길어지고, 피검사재가 고속으로 이동해도 선명한 형광 자분 모양이 형성된다. 또한, 전자석마다 코일 권취수, 전원 전압 등을 조정하는 일 없이, 모든 회전 자장을 균등화 할 수 있다. 회전 자장의 균등화에 의해 결함 검출 성능은 높아진다.In addition, in the present invention, the magnetizing device is provided with four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspected surface and the magnetic poles form a square vertex, and at the same time in a square direction. 4 poles are arranged at intervals of 4 poles so as to form a plurality of squares. A joint member for shorting the poles is provided every 4 poles to maintain the symmetry of each of 4 poles. In this case, the pair of magnetizing coils is configured to generate a plurality of rotating magnetic fields on the surface to be inspected by passing through a magnetization alternating current having a phase shifted at the same frequency. Therefore, the magnetization time is long, and a clear fluorescent magnetic powder shape is formed even when the inspected material moves at high speed. Moreover, all the rotating magnetic fields can be equalized without adjusting the coil winding number, power supply voltage, etc. for every electromagnet. By equalizing the rotating magnetic field, defect detection performance is increased.

또한, 본 발명에 있어서는, 자화 장치가 2극, 즉 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 장방형 또는 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극 l조의 전자석의 l조 또는 2조 이상으로 구성되고, 그 각 조의 전자석의 대각의 자극 또는 4극을 이음 부재로 단락하고, 각 조의 2극 한 쌍의 자극에 권취된 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 하나 또는 복수의 회전 자장을 생성하도록 구성하여 자화 시간을 길게 해도 된다.In addition, in the present invention, the magnetization device includes a pair of four-pole l electromagnets in which two poles, i.e., a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface, and the magnetic poles form a rectangular or square vertex. It consists of a pair or two or more pairs, shorts the diagonal poles or four poles of the electromagnets of each pair with a joint member, and shifts the phase at the same frequency to two pairs of magnetization coils wound around the pair of poles of each pole. The magnetization time may be extended by generating one or a plurality of rotating magnetic fields on the inspected surface through one magnetization alternating current.

또한, 본 발명에 있어서는, 형광 자분 탐상 장치로 검출한 각 흠집의 위치를확정해 둘 필요가 있는 경우에는 촬상 장치의 촬상 위치에 대하여 상대적으로 이동하는 피검사면 상의 각 점의 이동 거리를 피검사면 상의 어느 점을 기준으로 계측하는 거리 계측기를 형광 자분 탐상 장치에 조립하고, 거리 측정기로 계측된 이동 거리 정보를 이용하여 검출한 피검사재의 표층 흠집을 맵핑하여 그 후의 흠집의 처리를 용이하게 할 수 있다.In addition, in this invention, when it is necessary to confirm the position of each flaw detected by the fluorescent magnetic particle flaw detector, the movement distance of each point on the test surface which moves relatively with respect to the imaging position of an imaging device is carried out on the test surface. A distance measuring device measuring based on a certain point can be assembled into a fluorescent magnetic particle inspection device, and surface flaws of the inspected material detected using the moving distance information measured by the distance measuring device can be mapped to facilitate the subsequent processing of the scratches. .

이하에, 본 발명을 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, this invention is demonstrated, referring drawings.

도1은 본 발명의 일 실시 형태를 도시하고 있으며, 형광 자분 탐상 장치의 모식적 구성도이다. 형광 자분 탐상 장치는 자화 장치(10), 자분액 산포 장치(20), 자외선 조사 장치(25), 촬상 장치(30) 및 화상 처리 장치(35)로 이루어져 있다.Fig. 1 shows one embodiment of the present invention and is a schematic configuration diagram of a fluorescent magnetic particle flaw detector. The fluorescent magnetic powder flaw detector is composed of a magnetization device 10, a magnetic liquid dispersion device 20, an ultraviolet irradiation device 25, an imaging device 30, and an image processing device 35.

자화 장치(10)는 ㄷ자형 철심(12)의 다리부(14)에 자화 코일(18)이 권취된 전자석(11)으로 이루어져 있다. 자화 코일(18)에는 직류 전원(도면에 도시하지 않음)으로부터 직류가 공급된다. 또, 자화 코일(18)은 다리부(14)의 상부를 연결하는 이음 부재(16)에 권취된 것이어도 좋다.The magnetization apparatus 10 consists of the electromagnet 11 by which the magnetization coil 18 was wound by the leg part 14 of the c-shaped iron core 12. The magnetization coil 18 is supplied with direct current from a direct current power source (not shown). In addition, the magnetizing coil 18 may be wound around the joint member 16 which connects the upper part of the leg part 14. As shown in FIG.

자분액 산포 장치(20)는 자분액 분사 노즐(21) 및 세정수 공급 노즐(22)을구비하고 있다. 자분액 분사 노즐(21)에 자분액 탱크가, 또한 세정수 공급 노즐(22)에 급수 탱크가 각각 접속되어 있으며, 펌프(모두 도면에 도시하지 않음)에 의해 자분액 또는 세정수가 공급된다. 세정수 공급 노즐(21) 대신에 공기를 분출하는 에어 퍼지 노즐이어도 된다.The magnetic powder dispersion | distribution apparatus 20 is equipped with the magnetic liquid injection nozzle 21 and the washing | cleaning water supply nozzle 22. As shown in FIG. A magnetic powder tank is connected to the magnetic powder injection nozzle 21, and a water supply tank is connected to the washing water supply nozzle 22, respectively, and the magnetic powder or the washing water is supplied by a pump (all are not shown in the figure). Instead of the washing water supply nozzle 21, an air purge nozzle that blows out air may be used.

자외선 조사 장치(25)는 자외선 스트로보 광원(26)을 갖고 있다. 자외선 스트로보 광원(26)은 예를 들어 크세논 플래쉬 램프와 U340 필터의 조합으로 되어 있다. 크세논 플래쉬 램프의 벌브에는 딱딱한 자외선까지 투과하는 재료가 이용되고 있다. 크세논 플래쉬 램프의 발광 시간은 약 10 ㎲이다. U340 필터는 딱딱한 자외선으로부터 적외선까지 넓은 스펙트럼으로 발광, 방사하는 스트로보광 중 사람에게 비교적 안전한 약 310 내지 390 ㎚의 자외선을 투과한다.The ultraviolet irradiation device 25 has an ultraviolet strobe light source 26. The ultraviolet strobe light source 26 is, for example, a combination of a xenon flash lamp and a U340 filter. In the bulb of the xenon flash lamp, a material that transmits even hard ultraviolet rays is used. The light emission time of the xenon flash lamp is about 10 mW. The U340 filter transmits ultraviolet light of about 310 to 390 nm, which is relatively safe for humans among stroboscopic lights that emit and emit light in a broad spectrum from rigid ultraviolet light to infrared light.

촬상 장치(30)는 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하는 기능 및 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라로 이루어지는 촬상부(31) 및 대역 통과 필터(32)와의 조합으로 되어 있다. 여기서는, CCD 카메라로서 하마마쯔 테레비 가부시끼가이샤제(製)의 MCP형 CCD 카메라를 이용하고 있다. 이 CCD 카메라는 영상 증배관에 입사한 광학상이 광전면에서 광전자로 변환된다. 광전자는 마이크로 채널 플레이트에서 수천배로 증폭되고, 형광면에서 다시 광학상이 된다. 셔터(게이트) 동작은 광전면- 마이크로 채널 플레이트 사이의 전위로 제어한다. 광전면 전위 보다 마이크로 채널 플레이트 전위가 높은 경우 게이트 동작이 온(셔터-개방)이 되고, 낮은 경우에는 오프가 된다.The imaging device 30 is a combination of an imaging unit 31 and a band pass filter 32 made of a CCD camera having a function of opening the shutter only for the light emission time of strobe light and adding a video signal multiplication function. Here, the MCP type CCD camera made by Hamamatsu TV Co., Ltd. is used as a CCD camera. In this CCD camera, the optical image incident on the image multiplier is converted into photoelectrons on the photoelectric surface. Optoelectronics are amplified thousands of times in microchannel plates and become optical images again on the fluorescent surface. The shutter (gate) operation is controlled by the potential between the photoelectric surface-micro channel plate. The gate operation is on (shutter-open) when the micro channel plate potential is higher than the photoelectric surface potential, and off when it is low.

대역 통과 필터(32)는 형광의 스펙트럼 성분만을 투과한다. 상기 자외선 조사 장치(25)로부터의 조사광은 형광 여기용 자외선 및 근소하지만 U340 필터 보다 누설된 적외선을 포함하고 있다. 촬상부(30)는 자외선으로부터 적외선 영역까지 파장 감도를 갖고 있기 때문에, 상기 자외선 및 적외선도 입력한다. 대역 통과 필터(32)는 이들 자외선 및 적외선을 차단하고, 화상의 SN비를 높인다.Band pass filter 32 transmits only the spectral components of fluorescence. Irradiation light from the ultraviolet irradiation device 25 includes ultraviolet rays for fluorescence excitation and infrared rays which are more rarely leaked than the U340 filter. Since the imaging unit 30 has wavelength sensitivity from the ultraviolet to the infrared region, the ultraviolet and infrared rays are also input. The band pass filter 32 blocks these ultraviolet rays and infrared rays, and increases the SN ratio of the image.

화상 처리 장치(35)는 촬상 장치(30)로부터의 화상 신호에 대하여 농도 보정, 평활화, 이치화 처리 등을 행하여 흠집의 유무를 판별한다. 판별 기준은 실조업에서 얻어진 검사 데이터를 기초로 하여 작성되고, 표 형식으로 화상 처리 장치에 보존되어 있다.The image processing apparatus 35 performs density correction, smoothing, binarization processing, etc. on the image signal from the imaging device 30, and determines the presence or absence of a flaw. The discrimination criteria are created on the basis of inspection data obtained in actual industry, and are stored in the image processing apparatus in tabular form.

상기한 바와 같이 구성된 형광 자분 탐상 장치에 있어서, 피검사재(1)는 후판을 굽힘 정형한 드럼형의 용접 구조물이며, 화살표 방향으로 이동한다. 피검사부는 원주 방향으로 연장되는 용접부이다. 자화 장치(10)는 자속이 용접부를 가로 지르도록 직류 자화한다. 자화된 용접부에 자분액 분사 노즐(21)로부터 형광 자분 액이 산포된다. 피검사재(1)의 표층부에 결함이 있으면 결함부에 누설 자속이 발생된다. 자분액 중의 형광 자분이 누설 자속에 흡인되어 결함부에 집적하고 형광 자분 모양을 형성한다. 세정수 공급 노즐(22)로부터 산포된 세정수는 후판(1)의 표면에 따라 후방으로 흘러 내리고, 여분의 자분액을 씻어 버린다. 일반적으로, 결함부의 누설 자속은 무결함부의 요철에 의한 누설 자속 보다 강하기 때문에 적정한 유속으로 세정하면 무결함부의 불필요 자분만이 씻겨진다. 이 결과, 촬상 장치(30)에서 촬상된 화상의 SN비는 높아진다.In the fluorescent magnetic particle flaw detector configured as described above, the inspected material 1 is a drum-shaped welding structure in which a thick plate is bent and moved in the direction of an arrow. The inspected portion is a welded portion extending in the circumferential direction. The magnetization apparatus 10 magnetizes a direct current so that a magnetic flux may cross a welding part. The fluorescent magnetic powder is dispersed from the magnetic liquid jet nozzle 21 in the magnetized welding part. If there is a defect in the surface layer portion of the inspected material 1, leakage magnetic flux is generated in the defect portion. Fluorescent magnetic particles in the magnetic liquid are attracted to the leaked magnetic flux, accumulate in the defect portion, and form a fluorescent magnetic powder shape. The washing water scattered from the washing water supply nozzle 22 flows backward along the surface of the thick plate 1 to wash away the excess magnetic liquid. In general, since the leakage magnetic flux of the defective part is stronger than the leakage magnetic flux caused by the unevenness of the defective part, only the unnecessary magnetic part of the defective part is washed when cleaning at an appropriate flow rate. As a result, the SN ratio of the image picked up by the imaging device 30 becomes high.

자외선 스트로보 광원(26)에 의해, 자외선 펄스를 상방에서 조사하여 결함부에 집적한 형광 자분를 발광시킨다. 자외선 스트로보 광원(26)의 발광 시간은 전술한 바와 같이, 약 1O μsec 이다. 상기 CCD 카메라의 셔터는 이 발광 시간만 개방하도록 조정되어 있다. 통상, CCD 카메라의 프레임 레이트는 30 ㎐, 33 msec이다. 따라서, 화상 흐름이나 주위 환경의 조도의 영향은 1/3300 정도가 된다. 이와 같은 짧은 발광 시간에서는 이동하고 있는 피검사재는 거의 정지하고 있는 상태로 보이고, 상 흐름이 전혀 없는 선명한 형광 자분 모양을 촬상할 수 있다. 이에 의해, 종래에는 피검사재를 정지한 상태에서만 검출할 수 없었던 미세한 균열까지 검출할 수 있고, 결함 검출 정밀도를 대폭 향상할 수 있다.The ultraviolet strobe light source 26 emits fluorescent light magnetically integrated into the defect portion by irradiating an ultraviolet pulse from above. The light emission time of the ultraviolet strobe light source 26 is about 10 mu sec, as described above. The shutter of the CCD camera is adjusted to open only this light emission time. Normally, the frame rate of a CCD camera is 30 Hz, 33 msec. Therefore, the influence of the image flow and the illuminance of the surrounding environment is about 1/3300. At such a short light emission time, the inspected material moving almost appears to be in a stationary state, and thus, it is possible to image a clear fluorescent magnetic particle without any phase flow. Thereby, even the micro crack which was not able to detect conventionally only in the state which stopped the to-be-tested material can be detected, and the defect detection precision can be improved significantly.

도2 내지 도5는 본 발명의 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 도2는 형광 자분 탐상 장치의 모식적 측면도, 도3은 평면도, 도4는 자화 장치의 철심의 사시도, 도5는 자화 장치의 전원 및 자화 코일의 회로도이다. 이 실시 형태에서 도1에 도시하는 장치, 부재와 마찬가지인 것에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.2 to 5 show another embodiment of the present invention. Fig. 2 is a schematic side view of the fluorescent magnetic particle flaw detector, Fig. 3 is a plan view, Fig. 4 is a perspective view of an iron core of the magnetizing device, and Fig. 5 is a circuit diagram of a power supply and a magnetizing coil of the magnetizing device. In this embodiment, the same reference numerals are given to those similar to the apparatus and member shown in FIG. 1, and the detailed description thereof is omitted.

자분 탐상에서는 검사 규격상 피검사재의 진행 방향 및 이것과 직교하는 방향의 2 방향 자화가 요구되는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 피검사재를 회전 자장으로 자화할 필요가 있다. 이 실시 형태의 형광 자분 탐상 장치에서는 자화 장치는 회전 자장을 생성한다.In magnetic particle flaw detection, two-way magnetization in the advancing direction of an inspection material and a direction orthogonal to this may be required. In such a case, it is necessary to magnetize the inspected material to a rotating magnetic field. In the fluorescent magnetic particle flaw detector according to this embodiment, the magnetization device generates a rotating magnetic field.

형광 자분 탐상 장치는 자화 장치(40), 자분액 산포 장치(20), 자외선 조사 장치(25), 촬상 장치(30) 및 화상 처리 장치(35)로 되어 있다. 자분액 산포 장치(20), 자외선 조사 장치(25), 촬상 장치(30) 및 화상 처리 장치(35)는 도1에 도시하는 장치와 동일하므로 그 설명은 생략한다.The fluorescent magnetic powder flaw detector comprises a magnetization device 40, a magnetic liquid dispersion device 20, an ultraviolet irradiation device 25, an imaging device 30, and an image processing device 35. Since the magnetic liquid dispersion device 20, the ultraviolet irradiation device 25, the imaging device 30, and the image processing device 35 are the same as those shown in FIG. 1, the description thereof is omitted.

자화 장치(40)는 전자석을 구비한 3조의 자화기(41, 42, 43)와 이들 자화기에 자화 전류를 공급하는 전원으로 되어 있다. 전자석의 철심(60)은 등간격을 두어 일렬로 배열하는 4개의 ㄷ자형 철심(61 내지 64)을 구비하고 있다. 제1 ㄷ자형 철심(61)의 양측 단부와 제2 ㄷ자형 철심(62)의 양측 단부를 각각 이음 부재(70)로 연결하여 제1 사각(四脚) 철심(57)을 형성하고 있다. 또, 제2 ㄷ자형 철심(62)의 양측 단부와 제3 ㄷ자형 철심(63)의 양측 단부를 각각 이음 부재(70)로 연결하여 제2 사각 철심(58)을 형성하고 있다. 마찬가지로 하여, 제3 사각 철심(59)을 형성하고 있다. 제1 사각 철심(57)에서 제1 ㄷ자형 철심(61)과 제2 ㄷ자형 철심(62)의 간격은 제1 ㄷ자형 철심(61)의 다리부(61A, B 또는 62A', B')의 간격과 같게 되어 있다. 따라서, 4개의 다리부(61A, B, 62A', B')는 정사각형의 정점에 위치하고 있다. 제2 사각 철심(58) 및 제3 사각 철심(59)에서도 마찬가지로 4개의 다리부는 정사각형의 정점에 위치하고 있다.The magnetizer 40 is composed of three sets of magnetizers 41, 42, and 43 provided with electromagnets and a power source for supplying magnetization current to these magnetizers. The iron core 60 of the electromagnet has four c-shaped iron cores 61 to 64 arranged in a line at equal intervals. Both end portions of the first c-shaped iron core 61 and both ends of the second c-shaped iron core 62 are connected to the joint member 70 to form a first quadrangle iron core 57. In addition, both end portions of the second c-shaped iron core 62 and both end portions of the third c-shaped iron core 63 are connected to the joint member 70 to form a second square iron core 58. Similarly, the third square iron core 59 is formed. The distance between the first c-shaped iron core 61 and the second c-shaped iron core 62 in the first square iron core 57 is a leg portion 61A, B or 62A ', B' of the first c-shaped iron core 61. It is equal to the interval of. Thus, the four legs 61A, B, 62A ', B' are located at the vertices of the square. Similarly, in the second square iron core 58 and the third square iron core 59, four leg portions are located at the vertices of the square.

상기 다리부(61A, B 내지 64A', B')의 각각에는 자화 코일(75A, B 내지 78A', B')이 권취되어 있다. 이들 자화 코일(75A, B 내지 78A', B') 중 상기 정사각형으로 한 쪽 대각 방향으로 마주보는 자화 코일과 ㄷ자형 철심 및 이음 부재(70)로 하나의 전자석이 구성되어 있다. 예를 들어, 제1 자화기(41)에서는 ㄷ자형 철심(61, 62), 이음 부재(70) 및 자화 코일(75A, 76A')로 하나의 전자석(51)이 구성되고, 자화 코일(75B, 76B')에서 또 하나의 전자석(54)이 구성되어 있다. 마찬가지로 제2 자화기(42)에서는 전자석(52, 55)이, 또한 제3 자화기(43)에서는 전자석(53, 56)이 각각 구성되어 있다.Magnetization coils 75A, B to 78A ', and B' are wound around each of the leg portions 61A, B to 64A ', and B'. Among these magnetizing coils 75A, B to 78A ', and B', one electromagnet is composed of the magnetizing coils facing each other in the diagonal direction and the c-shaped iron core and the joint member 70. For example, in the first magnetizer 41, one electromagnet 51 is composed of the c-shaped iron cores 61 and 62, the coupling members 70, and the magnetization coils 75A and 76A ', and the magnetization coil 75B. 76B ', another electromagnet 54 is constructed. Similarly, the electromagnets 52 and 55 are configured in the second magnetizer 42 and the electromagnets 53 and 56 are configured in the third magnetizer 43, respectively.

자화 장치(40)는 이와 같이 구성된 3조의 전자석(51, 52, 53) 및 3조의 전자석(54, 55, 56)으로 6조의 전자석을 구비하고 있다. 즉, 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치하고 있다. 그리고, 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 2극씩 늘려 자극이 3개의 정사각형을 이루도록 구성하고, 새롭게 형성한 정사각형의 대각점에 배치한 자극을 각각 쌍으로 함으로써 실질적으로 한 쌍의 전자석으로 되어 있다.The magnetization device 40 includes six sets of electromagnets including three sets of electromagnets 51, 52, and 53 and three sets of electromagnets 54, 55, and 56. That is, four poles are provided in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around the axis perpendicular to the inspected surface and the magnetic poles form a square vertex. The magnetic poles are formed by extending two poles in a right direction on one side of the square to form three squares, and a pair of magnetic poles arranged at diagonal points of the newly formed squares are paired substantially to form a pair of electromagnets.

도5는 자화 코일(75A 내지 78B') 및 전원(80)의 회로를 도시하고 있다. 상기 정사각형으로 한 쪽 대각 방향으로 마주보는 자화 코일(75A, 76A') 및 자화 코일(77A, 78A')에 파워 앰프(83)를 거쳐서 교류 발신기(81)가 접속되어 있다. 다른 쪽 대각 방향으로 마주보는 자화 코일(75B, 76B') 및 자화 코일(77B, 78B')에 90° 위상기(85) 및 파워 앰프(86)를 거쳐서 교류 발신기(81)가 접속되어 있다. 파워 앰프(83, 86)는 교류 발신기(81)로부터의 신호에 의해 소정 주파수의 교번 자화 전류를 각 자화 코일(75A∼78B')에 공급한다. 자화 코일(75B, 76B', 77B, 78B')에는 자화 코일(75A, 76A', 77A, 78A')에 대하여 90° 위상이 어긋난 교번 자화 전류가 공급된다. 도6은 전자석(51, 52, 53)에 대하여 전자석(54, 55, 56)에 동일 주파수이고 위상차가 90°인 자화 교번 전류를 공급한 경우를 도시하고 있다. 또, 3상 교류 전류 전원을 이용하고, 위상차를 120°로 해도 된다.5 shows a circuit of magnetizing coils 75A to 78B 'and a power supply 80. As shown in FIG. The AC transmitter 81 is connected to the magnetizing coils 75A and 76A 'and the magnetizing coils 77A and 78A' facing each other in the square direction via the power amplifier 83. The alternating current generator 81 is connected to the magnetizing coils 75B and 76B 'and the magnetizing coils 77B and 78B' facing in the other diagonal direction via a 90 ° phase 85 and a power amplifier 86. The power amplifiers 83 and 86 supply the alternating magnetization current of a predetermined frequency to each magnetizing coil 75A-78B 'by the signal from the AC transmitter 81. As shown in FIG. The magnetizing coils 75B, 76B ', 77B, and 78B' are supplied with an alternating magnetizing current that is out of phase by 90 ° with respect to the magnetizing coils 75A, 76A ', 77A, and 78A'. FIG. 6 shows a case where magnetization alternating currents having the same frequency and a phase difference of 90 ° are supplied to the electromagnets 54, 55, and 56 with respect to the electromagnets 51, 52, and 53. As shown in FIG. In addition, the phase difference may be 120 ° using a three-phase AC current power supply.

이 실시 형태로서는 자화기 수는 3이지만, 탐상 조건 및 라인 속도(피검사재이동 속도)에 따라 자화기 수는 변한다. 예를 들어, 자분 탐상에서는 자분 산포 시간은 5초 이상으로 하는 것이 권장되고 있다. 따라서, 자극 간격을 lp[㎝], 라인(피검사재) 속도를 V[㎝/sec]로 하면, 1 자화기의 통과 시간 Tf는 Tf=lp/V가 된다.In this embodiment, the number of magnetizers is three, but the number of magnetizers is changed depending on the flaw detection conditions and the line speed (test moving speed). For example, it is recommended that the magnetic particle spreading time be 5 seconds or more. Therefore, when the magnetic pole interval is lp [cm] and the line (inspection material) speed is V [cm / sec], the passage time Tf of one magnetizer becomes Tf = lp / V.

n = 5 sec / Tf sec이면,If n = 5 sec / Tf sec,

n 보다 큰 정수 + 2 자화기(퍼지부의 자화기 + 촬상부의 자화기)Integer greater than n + 2 magnetizer (magnetizer of purge part + magnetizer of imaging part)

를 자화기 수로 하는 것이 바람직하다.It is preferable to make the number of magnetizers.

자분액 분사 노즐(21) 및 세정수 공급 노즐(22)이 제2 자화기(42)에 배치되어 있다. 자외선 조사 장치(25) 및 촬상 장치(30)가 제3 자화기(43)의 바로 위에 배치되어 있다.The magnetic liquid jet nozzle 21 and the washing water supply nozzle 22 are disposed in the second magnetizer 42. The ultraviolet irradiation device 25 and the imaging device 30 are disposed directly above the third magnetizer 43.

이상과 같이 구성된 형광 자분 탐상 장치에 있어서, 후판(1)은 세정수로 여분의 형광 자분을 씻어 버리기 위해 수평면에 대하여 경사진 상태에서 화살표 방향으로 보내진다. 자화 장치(40)는 ㄷ자형 철심(61 내지 64)이 용접선(5)을 걸치도록 배치된다. 전자석(51 내지 53)에 대하여 전자석(54 내지 56)에 동일 주파수이고 위상차가 90°인 자화 교번 전류가 공급되므로 자화기마다 피검사면에 회전 자장 R이 발생된다. 회전 자장 R은 용접선 방향 및 이에 대하여 직각 방향으로 동일한 크기이다. 제2 자화기(42)의 자장 회전 방향은 제1 자화기(41) 및 제3 자화기(43)의 자장 회전 방향과 반대로 되어 있다.In the fluorescence magnetic particle inspection device configured as described above, the thick plate 1 is sent in the direction of the arrow in a state inclined with respect to the horizontal plane in order to wash away the excess fluorescence magnetic powder with washing water. The magnetization device 40 is arranged such that the U-shaped iron cores 61 to 64 span the welding line 5. Since the magnetization alternating currents having the same frequency and phase difference of 90 ° are supplied to the electromagnets 54 to 56 with respect to the electromagnets 51 to 53, a rotating magnetic field R is generated on the inspected surface for each magnetizer. The rotating magnetic field R is of equal magnitude in the direction of the weld line and at right angles thereto. The magnetic field rotational direction of the second magnetizer 42 is opposite to the magnetic field rotational direction of the first magnetizer 41 and the third magnetizer 43.

상기 회전 자장 R은 교류 자장이기 때문에 후판(l)의 자화 부분이 자극으로부터 이격될 때에 탈자된다. 그러나, 이 실시 형태의 자화 장치(40)에서는 자화기마다 자화되므로 제2 자화기(42)로 결함부에 부착된 자분은 제3 자화기(43)에서도 유지되어 있다.Since the rotating magnetic field R is an alternating magnetic field, it is demagnetized when the magnetized portion of the rear plate 1 is spaced apart from the magnetic poles. However, in the magnetization apparatus 40 of this embodiment, since it is magnetized for every magnetizer, the magnetic powder attached to the defect part by the 2nd magnetizer 42 is hold | maintained also in the 3rd magnetizer 43. As shown in FIG.

일반적으로, 산포된 자분액 중의 자분이 결함부로 이동하고, 집적하여 형광 자분 모양을 형성하기까지 어느 정도의 시간이 필요하다. 따라서, 고속으로 이동하는 후판을 자분 탐상하는 경우 자화 장치의 길이는 후판의 이동 속도에 따라 길게 해야만 한다. 한 편, 상기한 바와 같은 회전 자장을 발생하기 위해서는 자극을 정사각형의 정점에 배치해야만 한다. 자화 장치의 자극 간격이 좁은 쪽이 자극 사이의 피검사부에 높은 자속 밀도가 발생하는데, 그렇게 하면 인접하는 ㄷ자형 철심의 간격이 좁아지고 형광 자분 모양을 형성하기에 충분한 시간을 얻을 수 없다. 이 실시 형태에서는 3개의 자화기(41, 42, 43)로 각각 자화하므로 자화 시간이 길어지고, 후판(1)이 고속으로 이동해도 선명한 형광 자분 모양이 형성된다. 자화기 수는 피검사재의 이송 속도 혹은 탐상 속도에 의해 증감 가능하다.In general, a certain amount of time is required before the magnetic powder in the dispersed magnetic liquid moves to the defect portion and accumulates to form a fluorescent magnetic powder. Therefore, when magnetically flamming a thick plate moving at high speed, the length of the magnetizing device must be made long according to the moving speed of the thick plate. On the other hand, in order to generate the rotating magnetic field as described above, the magnetic pole must be placed at the square vertex. The narrower the magnetic pole spacing of the magnetization device, the higher the magnetic flux density is generated between the magnetic poles between the magnetic poles, so that the interval between adjacent U-shaped iron cores is narrowed and sufficient time is not obtained to form the fluorescent magnetic particles. In this embodiment, three magnetizers 41, 42, and 43 are magnetized, respectively, so that the magnetization time is long, and a clear fluorescent magnetic powder shape is formed even when the thick plate 1 moves at high speed. The number of magnetizers can be increased or decreased by the feed rate or the speed of flaw detection.

도7 내지 도9는 본 발명의 또 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 도7은 형광 자분 탐상 장치의 모식적 측면도, 도8은 상기 장치의 평면도, 도9는 자화 장치의 전원 및 자화 코일의 회로도이다.7 to 9 show yet another embodiment of the present invention. Fig. 7 is a schematic side view of the fluorescent magnetic particle flaw detector, Fig. 8 is a plan view of the apparatus, and Fig. 9 is a circuit diagram of the power supply and magnetization coil of the magnetization apparatus.

형광 자분 탐상 장치는 자화 장치(90), 자분액 산포 장치(20), 자외선 조사 장치(25), 촬상 장치(30) 및 화상 처리 장치(35)로 되어 있다. 자분액 산포 장치(20), 자외선 조사 장치(25), 촬상 장치(30) 및 화상 처리 장치(35)는 도1에 도시하는 장치와 동일하므로 그 설명은 생략한다.The fluorescent magnetic powder flaw detector comprises a magnetization device 90, a magnetic liquid dispersion device 20, an ultraviolet irradiation device 25, an imaging device 30, and an image processing device 35. Since the magnetic liquid dispersion device 20, the ultraviolet irradiation device 25, the imaging device 30, and the image processing device 35 are the same as those shown in FIG. 1, the description thereof is omitted.

자화 장치(90)는 전자석을 구비한 3조의 자화기(91, 92, 93)와 이들 자화기에 자화 전류를 공급하는 전원으로 구성되어 있다. 제1 자화기(91)의 철심은 제1 ㄷ자형 철심(110)의 양측 단부와 제2 ㄷ자형 철심(111)의 양측 단부를 각각 이음 부재(112)로 연결하여 형성된 제1 사각 철심(107)으로 되어 있다. 또한, 제2 자화기(92)의 철심은 제3 ㄷ자형 철심(113) 양측 단부와 제4 ㄷ자형 철심(114)의 양측 단부를 각각 이음 부재(115)로 연결하여 형성된 제2 사각 철심(108)으로 되어 있다. 마찬가지로, 제3 자화기(93)의 제3 사각 철심(109)이 형성되어 있다. 제1 자화기(91)에서 제1 ㄷ자형 철심(110)과 제2 ㄷ자형 철심(111)의 간격은 제1 ㄷ자형 철심(110)의 다리부(110A, B 또는 11lA', B')의 간격과 같게 되어 있다. 따라서, 4개의 다리부(110A, B, 11lA', B')는 정사각형의 정점에 위치하고 있다. 제2 자화기(92) 및 제3 자화기(93)에서도 마찬가지로 4개의 다리부는 정사각형의 정점에 위치하고 있다.The magnetization device 90 is composed of three sets of magnetizers 91, 92, and 93 provided with electromagnets and a power supply for supplying magnetization current to these magnetizers. The iron core of the first magnetizer 91 is a first square iron core 107 formed by connecting both end portions of the first c-shaped iron core 110 and both ends of the second c-shaped iron core 111 to the joint member 112, respectively. ) In addition, the iron core of the second magnetizer 92 is a second square iron core formed by connecting both ends of the third c-shaped iron core 113 and both ends of the fourth c-shaped iron core 114 with the joint member 115, respectively ( 108). Similarly, the third square iron core 109 of the third magnetizer 93 is formed. The distance between the first c-shaped iron core 110 and the second c-shaped iron core 111 in the first magnetizer 91 is a leg portion 110A, B or 11 lA ', B' of the first c-shaped iron core 110. It is equal to the interval of. Thus, the four legs 110A, B, 11LA ', B' are located at the vertices of the square. Similarly in the second magnetizer 92 and the third magnetizer 93, the four legs are located at the vertices of the square.

자화기(91, 92, 93)는 통판 방향에 서로 인접하는 자화기끼리의 자극 사이의 간격이 각 자화기의 자극 사이의 간격과 같아지도록 배치되어 있다. 예를 들어, 제1 자화기(91)의 다리부(11lB')의 자극과 제2 자화기(92)의 다리부(113A)의 자극의 간격은 제1 자화기(91)의 다리부(110A, 11lB')의 자극 간격과 같다. 또한, 자화기의 수는 도2에 도시하는 장치의 경우와 마찬가지로 탐상 조건 및 라인 속도(피검사재 이동 속도)에 따라 결정된다.The magnetizers 91, 92, 93 are arranged so that the interval between the magnetic poles of the magnetizers adjacent to each other in the plate direction is equal to the interval between the magnetic poles of each magnetizer. For example, the interval between the magnetic pole of the leg portion 11lB 'of the first magnetizer 91 and the magnetic pole of the leg portion 113A of the second magnetizer 92 is equal to the leg portion of the first magnetizer 91. 110A, 11lB '). The number of magnetizers is determined in accordance with the flaw detection conditions and the line speed (speed of inspected material moving) as in the case of the apparatus shown in FIG.

상기 다리부(110A, B 내지 117A', B')의 각각에는 자화 코일(121A, B 내지 126A', B')이 권취되어 있다. 이들 자화 코일(121A, B 내지 126A', B') 중 상기 정사각형으로 한 쪽 대각 방향으로 마주보는 자화 코일과 ㄷ자형 철심 및 이음 부재로 하나의 전자석을 구성하고 있다. 예를 들어, ㄷ자형 철심(110, 111), 철심(112) 및 자화 코일(121A, 122A')로 하나의 전자석(101)을 구성하고 있다.Magnetization coils 121A, B to 126A ', and B' are wound around each of the leg portions 110A, B to 117A ', and B'. Among these magnetizing coils 121A, B to 126A ', and B', a magnet is formed with the magnets facing each other in the diagonal direction, the c-shaped iron core, and the joint member constitute one electromagnet. For example, one electromagnet 101 is constituted by the U-shaped iron cores 110 and 111, the iron core 112, and the magnetization coils 121A and 122A '.

자화 장치(90)는 이와 같이 구성된 3조의 전자석(101, 102, 103) 및 3조의 전자석(104, 105, 106)으로 6조의 전자석을 구비하고 있다. 즉, 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치하고 있다. 그리고, 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 간격을 두고 4극씩 늘려 자극이 3개의 정사각형을 이루도록 구상하고, 새롭게 형성한 정사각형의 대각점에 배치한 자극을 각각 쌍으로 함으로써 실질적으로 한 쌍의 전자석으로 하고 있다.The magnetization device 90 is provided with six sets of electromagnets including three sets of electromagnets 101, 102 and 103 and three sets of electromagnets 104, 105 and 106. That is, four poles are provided in which a pair of electromagnets are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the inspection surface and with magnetic poles forming a square vertex. In addition, the poles are stretched by four poles at right angles to one side of the square to form three squares, and the pairs of magnetic poles disposed on the diagonal points of the newly formed square are paired substantially to form a pair of electromagnets. have.

도9는 자화 코일(121A∼126B') 및 전원(130)의 회로를 도시하고 있다. 상기 정사각형으로 한 쪽 대각 방향으로 마주보는 자화 코일(121A, 122A'), 자화 코일(123A, 124A') 및 자화 코일(125A, 126A')에 파워 앰프(133)를 거쳐서 교류 발신기(131)가 접속되어 있다. 다른 쪽 대각 방향으로 마주보는 자화 코일(121B, 12B'), 자화 코일(123B, 124B') 및 자화 코일(125B, 126B')에 90° 위상기(135) 및 파워 앰프(136)를 거쳐서 교류 발신기(131)가 접속되어 있다. 파워 앰프(133, 136)는 교류 발신기(131)로부터의 신호에 의해 소정 주파수의 교번 자화 전류를 각 자화 코일(121A 내지 126B')에 공급한다. 자화 코일(121B, 122B', 123B, 124B' 및125B, 126B')에는 자화 코일(121A, l22A' 123A, 124A' 및 125A, 126A')에 대하여 90° 위상이 어긋난 교번 자화 전류가 공급된다.9 shows the circuits of the magnetizing coils 121A to 126B 'and the power supply 130. The AC transmitter 131 passes through the power amplifier 133 through the magnetizing coils 121A and 122A ', the magnetizing coils 123A and 124A', and the magnetizing coils 125A and 126A 'facing each other in the diagonal direction. Connected. Alternating magnetization coils 121B, 12B ', magnetizing coils 123B, 124B' and magnetizing coils 125B, 126B 'facing in the opposite diagonal direction through a 90 ° phaser 135 and a power amplifier 136 The transmitter 131 is connected. The power amplifiers 133 and 136 supply alternating magnetization currents of a predetermined frequency to the respective magnetizing coils 121A to 126B 'by signals from the AC transmitter 131. The magnetizing coils 121B, 122B ', 123B, 124B' and 125B, 126B 'are supplied with alternating magnetizing currents that are out of phase by 90 ° with respect to the magnetizing coils 121A, l22A' 123A, 124A 'and 125A, 126A'.

이상과 같이 구성된 형광 자분 탐상 장치에서 자화 장치(90)는 ㄷ자형 철심(1l0, 111, 113 …) 등이 용접선(5)을 걸치도록 배치된다. 전자석(101 내지 l03)에 대하여 전자석(104 내지 106)에 동일 주파수로 위상차가 90°의 자화 교류가 공급되므로 자화기마다 피검사면에 회전 자장 R이 발생된다. 회전 자장 R은 용접선 방향 및 이에 대하여 직각 방향으로 동일한 크기이다. 제1 자화기(91), 제2 자화기(92) 및 제3 자화기(93)의 자장 회전 방향은 동일 방향으로 되어 있다.In the fluorescence magnetic powder flaw detector configured as described above, the magnetization device 90 is arranged so that the U-shaped iron cores 110, 111, 113, etc. span the welding line 5. Since the magnetization alternating current of 90 degrees of phase difference is supplied to the electromagnets 104-106 at the same frequency with respect to the electromagnets 101-l03, the rotating magnetic field R is produced in the inspected surface for every magnetizer. The rotating magnetic field R is of equal magnitude in the direction of the weld line and at right angles thereto. The magnetic field rotation direction of the 1st magnetizer 91, the 2nd magnetizer 92, and the 3rd magnetizer 93 becomes the same direction.

상기 회전 자장 R은 교류 자장이기 때문에 후판(1)의 자화 부분이 자극으로부터 이격될 때에 탈자된다. 그러나, 이 실시 형태의 자화 장치(90)에서는 자화기마다 자화되므로 제2 자화기(92)에서 결함부에 부착된 자분은 제3 자화기(93)에서도 유지되어 있다. 또한, 복수의 회전 자장 강도를 균등하게 생성하기 위해서는 모든 A-A' 자극 쌍 및 B-B' 자극 쌍에 흐르는 자속을 균등하게 할 필요가 있다. 이 실시 형태에서는 모든 자화 코일의 권취수를 같게 하고, 도9에 도시한 바와 같이 병렬로 전압을 인가하면 자화기마다 코일 권취수, 전원 전압 등을 조정하는 일 없이 모든 회전 자장을 균등화 할 수 있다.Since the rotating magnetic field R is an alternating magnetic field, it is demagnetized when the magnetized portion of the thick plate 1 is separated from the magnetic pole. However, in the magnetization apparatus 90 of this embodiment, since it is magnetized for every magnetizer, the magnetic powder adhering to the defect part in the 2nd magnetizer 92 is hold | maintained also in the 3rd magnetizer 93. As shown in FIG. In addition, in order to generate a plurality of rotating magnetic field strengths evenly, it is necessary to equalize the magnetic flux flowing in all A-A 'magnetic pole pairs and B-B' magnetic pole pairs. In this embodiment, if the number of turns of all magnetizing coils is the same, and voltage is applied in parallel as shown in Fig. 9, all rotating magnetic fields can be equalized without adjusting the number of coil turns, power supply voltage, etc. for each magnetizer. .

도10은 광원의 다른 실시 형태를 도시하고 있다. 광원(140)은 자외선 영역에서 발광하는 수십개의 LED(144)를 매트릭스 형태로 배열한 한 쌍의 LED 패널(142)을 구비하고 있다. LED 패널(142)은 도7에 도시하는 제3 자화기(93)의 다리부(116A)(도면에 도시하지 않음)와 다리부(117B') 사이 및 다리부(116B)(도면에 도시하지 않음)와 다리부(117A') 사이에 각각 있고, 이들 다리부의 하단부 근처에 배치되어 있다. LED(144)는 전원(도면에 도시하지 않음)으로부터 펄스 전류가 인가되고, 발광하여 검사면을 조사한다. 이 LED 광원(140)에서는 스트로보 광원을 소형화할 수 있기 때문에 관찰 위치 근방에 배치 가능하다. 따라서, 조명 효율이 높아지고, 전원도 소형으로 해결된다.10 shows another embodiment of a light source. The light source 140 includes a pair of LED panels 142 in which dozens of LEDs 144 emitting in the ultraviolet region are arranged in a matrix form. The LED panel 142 is provided between the leg portion 116A (not shown) and the leg portion 117B 'of the third magnetizer 93 shown in FIG. 7 and the leg portion 116B (not shown in the figure). And the legs 117A ', and are disposed near the lower ends of these legs. The LED 144 receives a pulse current from a power supply (not shown), emits light, and irradiates the inspection surface. Since the strobe light source can be miniaturized in this LED light source 140, it can be arrange | positioned in the vicinity of an observation position. Therefore, the lighting efficiency is increased, and the power supply is also miniaturized.

도11은 광원 및 촬상 장치가 자화기의 외측에 있는 실시 형태를 도시하고 있다. 자화기는 이음 부재 타입(사각형 요크)을 이용한 예이다.Fig. 11 shows an embodiment in which the light source and the imaging device are outside the magnetizer. The magnetizer is an example using a joint member type (square yoke).

도12는 청구항 4의 실시예, 도13은 청구항 5의 실시예를 각각 도시한다. 도12에서는 X형 또는 은폐형 요크의 자화기로 그 외측에서 촬상한 예이다. 도13은 이동 거리 계측기로 촬상 위치를 측정하여 결함 위치를 기록하는 예를 도시하고 있다.12 shows an embodiment of claim 4 and FIG. 13 shows an embodiment of claim 5, respectively. In Fig. 12, the magnetization of the X-type or concealed yoke is taken from the outside. Fig. 13 shows an example in which the defect position is recorded by measuring the imaging position with a movement distance meter.

또, 이상 설명한 실시 형태에서는 셔터 기능이 부착된 영상 증배관과 CCD 카메라를 조합시킨 MCP형 CCD 카메라를 이용했지만 기본적으로는 셔터 기능과 영상 신호 증배 기능을 갖는 초고감도 카메라이면 좋고, 예를 들어 하마마쯔 포토닉스 가부시끼가이샤에서 개발된 셔터 기능이 부착된 EB형 CCD 카메라나 텍사스 인스트루먼트사제(製)의 임팩트형 CCD 카메라를 이용해도 좋다. 또한, 도10에 도시하는 LED 광원은 도1 및 도2의 장치에도 적용 가능하다.Moreover, although the MCP type CCD camera which combined the image multiplier with a shutter function, and the CCD camera was used in embodiment mentioned above, what is necessary is just an ultra-high sensitivity camera which has a shutter function and a video signal multiplication function basically, for example, a hippo EB-type CCD cameras equipped with shutter functions developed by Matsus Photonics Co., Ltd. or impact-type CCD cameras made by Texas Instruments may be used. In addition, the LED light source shown in FIG. 10 is also applicable to the apparatus of FIG.

본 발명의 형광 자분 탐상 장치는 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하는 기능 및 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라를 구비하고 있으므로 상대적으로 어떠한 방향으로 이동 또는 요동하고 있어도 정지 촬영시와 마찬가지로 흔들림이 없는 선명한 밝은 형광 자분 모양의 화상을 얻을 수 있다. 또한, 자외선 스트로보에 의한 미약한 형광 영상이라도 충분한 감도를 가지고 촬상 가능하다. 이때문에, 결함 검출 정밀도는 대폭 향상되고, 자동 검사의 고정 밀도화가 가능해진다. 자외선 조사 장치 및 촬상 장치에서 미러 요동 기구, 모방 기구 등의 복잡한 기구가 불필요해졌으므로 설비비가 저가가 되고, 보수성도 향상했다. 또한, 종래 형광 자분 탐상장치에서는 암실을 설치할 필요가 있었지만 옥내의 작업 환경에서는 그 필요가 없어졌다. 이 점, 구조물의 조립 용접부의 검사 등으로 설비 및 작업이 간편해졌다. 옥외에 있어서도, 태양광의 직사를 방어하는 천정 덮개 정도로 형광 자분 탐상 검사가 가능해졌다.The fluorescent magnetic particle inspection device of the present invention has a CCD camera with the function of opening the shutter only for the light emission time of the stroboscopic light and a function of multiplying the video signal, so that there is no shaking as in still photography, even when moving or shaking in any direction. It is possible to obtain a clear bright fluorescent magnetic powder image. In addition, even a weak fluorescent image by ultraviolet strobe can be captured with sufficient sensitivity. For this reason, the defect detection accuracy is greatly improved, and the high precision of automatic inspection is attained. In the ultraviolet irradiation device and the imaging device, complicated mechanisms such as a mirror swing mechanism and an imitation mechanism are no longer needed, resulting in low cost and improved water retention. In addition, in the conventional fluorescent magnetic particle flaw detector, it was necessary to provide a dark room, but the necessity was eliminated in indoor working environment. In this regard, the facility and the operation are simplified by inspection of the assembly weld of the structure. Even in the outdoors, fluorescent magnetic particle inspection can be performed as much as a ceiling cover that protects against direct sunlight.

자화 장치를, 4개의 자극을 정사각형의 정점에 배치한 복수의 전자석에서 회전 자장을 형성하도록 구성한 형광 자분 탐상 장치에서는 피검사재는 정렬하는 복수의 전자석을 차례로 통과하는 동안 자화되므로 자화 시간이 길어지고, 피검사재가 고속으로 이동해도 선명한 형광 자분 모양이 형성된다.In the fluorescence magnetic particle inspection device configured to form a rotating magnetic field in a plurality of electromagnets in which four magnetic poles are arranged at square vertices, the magnetization time is long because the material to be inspected is sequentially magnetized while passing through a plurality of electromagnets to align. Even if the inspected material moves at high speed, a clear fluorescent magnetic powder shape is formed.

(부호의 설명)(Explanation of the sign)

1 : 후판, 강판(피검사재)1: thick plate, steel plate (inspection material)

5 : 용접선(검사부)5: welding line (inspection part)

10 : 자화 장치10: magnetization device

11 : 전자석11: electromagnet

12 : ㄷ자형 철심12: U-shaped iron core

18 : 자화 코일18: magnetization coil

20 : 자분액 산포 장치20: liquid-liquid dispersion device

21 : 자분액 분사 노즐21: magnetic liquid jet nozzle

22 : 세정수 공급 노즐22: washing water supply nozzle

25 : 자외선 조사 장치25: UV irradiation device

26 : 자외선 스트로보 광원26: ultraviolet strobe light source

30 : 촬상 장치30: imaging device

31 : 촬상부31: imaging unit

32 : 대역 통과 필터32: band pass filter

35 : 화상 처리 장치35: image processing device

40 : 자화기40: magnetizer

41 내지 43 : 자화기41 to 43: magnetizer

51 내지 56 : 전자석51 to 56: electromagnet

57 내지 59 : 사각 철심57 to 59: square iron core

70 : 이음 부재70: joint member

75 내지 78 : 자화 코일75 to 78: magnetization coil

80 : 전원80: power

81 : 교류 발신기81: AC transmitter

83, 86 : 파워 앰프83, 86: power amplifier

85 : 90° 위상기85: 90 ° phase machine

90 : 자화 장치90: magnetization device

91, 92, 93 : 자화기91, 92, 93: Magnetizer

101 내지 106 : 전자석101 to 106: electromagnet

107 내지 109 : 사각 철심107 to 109: square iron core

110, 111, 113, 114, 116, 117 : ㄷ자형 철심110, 111, 113, 114, 116, 117

112, 115, 118 : 이음 부재112, 115, 118: joint member

121 내지 126 : 자화 코일121 to 126: magnetization coils

130 : 전원130: power

131 : 교류 발신기131: AC transmitter

133, 136 : 파워 앰프133, 136: power amplifier

135 : 90° 위상기135: 90 ° phase

140 : 광원140: light source

142 : LED 패널142: LED Panel

144 : LED144: LED

145 : ICCD 카메라145: ICCD Camera

146 : 스트로보 조명146: Strobe Lights

147 : 자화기 1147: Magnetizer 1

148 : 자화기 2148: magnetizer 2

149 : 위치 측정기149: position measuring instrument

150 : 사각형 요크150: square yoke

151 : X형 요크151: X type yoke

152 : 은폐형 요크152: concealed yoke

Claims (10)

피검사재인 강재 또는 강철 부재의 용접부의 표층부를 자화하는 자화 장치와, 피검사재의 표면에 자분액을 산포하는 자분액 산포 노즐과, 피검사면을 조사하는 자외선 조사 장치와, 피검사면을 촬상하는 촬상 장치와, 촬상한 화면을 처리하여 흠집의 유무를 판별하는 화상 처리 장치로 구성한 형광 자분 탐상 장치에 있어서,A magnetization apparatus for magnetizing the surface layer portion of a welded portion of a steel or steel member to be inspected, a magnetic liquid dispersion nozzle for dispersing magnetic powder onto the surface of the inspected material, an ultraviolet irradiation device for irradiating the inspected surface, and an image for imaging the inspected surface A fluorescence magnetic particle flaw detector comprising a device and an image processing device which processes the captured screen to determine the presence or absence of scratches, 상기 촬상 장치를 그 전방면에 형광의 스펙트럼대만을 투과하는 대역 통과 필터를 갖고, 또 상기 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하는 기능 및 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라로 함으로써 피검사재와 탐상 장치의 상대 속도를 고속화 가능하게 한 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 장치.The imaging device has a band pass filter which transmits only the spectral band of fluorescence on its front face, and has a function of opening the shutter only for the light emission time of the strobe light and adding a video signal multiplication function. Fluorescent magnetic particle flaw detection apparatus which made it possible to speed up the relative speed | rate. 제1항에 있어서, 상기 자화 장치가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치함과 동시에 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 2극씩 늘려 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 구성하고, 새롭게 형성한 정사각형의 대각점에 배치한 자극을 각각 쌍으로 함으로써 실질적으로 한 쌍의 전자석으로 하고, 각각의 전자석에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 장치인 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 장치.The magnetization apparatus according to claim 1, wherein the magnetizing device installs a pair of electromagnets axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface, and has four poles arranged so that the magnetic poles form a square vertex, and is perpendicular to one side of the square. Two poles in the direction to form a plurality of squares, and a pair of magnetic poles arranged at diagonal points of the newly formed squares, respectively, to form a pair of electromagnets, and to shift phases at the same frequency to each electromagnet. And a magnetizing device for generating a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface through one magnetizing alternating current. 제1항에 있어서, 상기 자화 장치가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치함과 동시에 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 간격을 두고 4극씩 늘려 4극의 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 배치하고, 4극마다 자극을 단락하는 이음 부재를 설치함으로써 각 4자극의 대칭성을 유지하고, 대각이 되는 자화 코일을 한 쌍으로 하여 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하도록 하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 장치인 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 장치.The magnetization apparatus according to claim 1, wherein the magnetizing device installs a pair of electromagnets axially symmetrically around an axis perpendicular to the inspection surface, and has four poles arranged so that the magnetic poles form a square vertex, and is perpendicular to one side of the square. 4 poles are arranged in a plurality of squares at intervals of 4 poles at intervals in the direction, and a pair of magnetizing coils that maintains the symmetry of each of 4 poles is provided by installing a joint member for shorting the poles every 4 poles. And a magnetizing device for generating a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface by passing a magnetization alternating current having a phase shifted at the same frequency to two pairs of magnetizing coils. 제1항에 있어서, 상기 자화 장치가 2극, 즉 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 장방형 또는 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극 1조의 1조 또는 2조 이상으로 구성되고, 그 각 조의 전자석의 대각의 자극 또는 4극을 이음 부재로 단락하고, 각 조의 2극 한 쌍의 자극에 권취한 2쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 하나 또는 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 장치인 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 장치.The pair of four-pole pairs according to claim 1, wherein the magnetizing device is arranged in two poles, that is, a pair of electromagnets axially symmetric around an axis perpendicular to the inspection surface, and the magnetic poles form a rectangular or square peak. Magnetization which consists of two or more pairs, the diagonal pole or four poles of the electromagnets of each pair are short-circuited by a joint member, and the two magnetization coils wound on the pair of poles of each pair were shifted in phase by the same frequency. And a magnetizing device for generating one or a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface through alternating currents. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 촬상 장치의 촬상 위치에 대하여 상대적으로 이동하는 피검사면 상의 각 점의 이동 거리를 계측하는 거리 계측기를 구비하고, 거리 측정기로 계측된 이동 거리 정보를 이용하여 검출한 피검사재의 표층 흠집을 맵핑하는 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 장치.The moving distance measured in any one of Claims 1-4 provided with the distance measuring device which measures the moving distance of each point on the to-be-tested surface which moves relatively with respect to the imaging position of the said imaging device. A surface magnetic fluorescence flaw detector for mapping surface flaws of an inspection object detected by using information. 피검사재인 강재 또는 강철 부재의 용접부의 표층부를 자화하는 단계와, 피검사재의 표면에 자분액을 산포하는 자분액 산포 단계와, 피검사면에 자외선을 조사하는 단계와, 피검사면을 촬상하는 단계와, 촬상한 화면을 처리하여 흠집의 유무를 판별하는 화상 처리 단계로 구성한 형광 자분 탐상 방법에 있어서,Magnetizing the surface layer of the welded portion of the steel or steel member to be inspected, dispersing the magnetic liquid to disperse the magnetic liquid onto the surface of the inspected material, irradiating ultraviolet to the inspected surface, and imaging the inspected surface; In the fluorescence magnetic particle inspection method comprising the image processing step of processing the captured screen to determine the presence or absence of scratches, 상기 촬상 단계에는 형광의 스펙트럼대만을 투과하는 대역 통과 필터를 이용하고, 또 상기 스트로보광의 발광 시간만 셔터를 개방하고, 영상 신호 증배 기능을 부가한 CCD 카메라를 이용하는 일련의 단계에 의해 피검사재와 탐상 장치의 상대 속도를 고속화 가능하게 한 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 방법.In the imaging step, an inspection material and flaw detection are performed by a series of steps using a band pass filter that transmits only the spectral band of fluorescence, and using a CCD camera that only opens the shutter for the light emission time of the strobe light and adds an image signal multiplication function. Fluorescent magnetic particle flaw detection method which made it possible to speed up the relative speed of an apparatus. 제6항에 있어서, 상기 자화하는 단계가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치하는 단계와 함께 상기 정사각형의 일변에 직각 방향에 2극씩 늘려 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 구성하고, 새롭게 형성한 정사각형의 대각점에 배치한 자극을 각각 쌍으로 함으로써 실질적으로 한 쌍의 전자석으로 하는 단계에 의해 각각의 전자석에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하여 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 방법인 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 방법.7. The square according to claim 6, wherein the magnetizing step includes installing a pair of electromagnets having a pair of electromagnets axially symmetrically arranged around the axis perpendicular to the inspection surface and the magnetic poles forming a square vertex. 2 poles in a direction perpendicular to each other to form a plurality of squares, and pairs of magnetic poles arranged at diagonal points of the newly formed squares to form a pair of electromagnets at substantially the same frequency in each electromagnet. And a magnetization method for generating a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface through a magnetization alternating current shifted in phase with a furnace. 제6항에 있어서, 상기 자화하는 단계가 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극을 설치하는 단계와 동시에 상기 정사각형의 일변에 직각 방향으로 간격을 두고 4극씩 늘려 4극의 자극이 복수의 정사각형을 이루도록 배치하고, 4극마다 자극을 단락하는 이음 부재를 설치함으로써 각 4자극의 대칭성을 유지하고 대각이 되는 자화 코일을 한 쌍으로 하여 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하는 단계에 의해 피검사면에 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 방법인 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 방법.The method of claim 6, wherein the magnetizing step is performed at the same time as the step of installing the four poles in which the pair of electromagnets are arranged axially symmetrically around the axis perpendicular to the inspected surface and the magnetic poles form a square vertex. 4 poles are arranged to form a plurality of squares at intervals in the direction perpendicular to each other, and a joint member for shorting the poles every 4 poles is installed to maintain the symmetry of each of 4 poles and to form a diagonal magnetization coil. A magnetizing method for generating a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface by passing a pair of magnetizing alternating currents in which two pairs of magnetizing coils are shifted in phase by the same frequency. 제6항에 있어서, 상기 자화하는 단계가 2극, 즉 한 쌍의 전자석을 피검사면에 수직인 축의 주위에 축 대칭으로, 또 자극이 장방형 또는 정사각형의 정점을 이루도록 배치한 4극 1조의 1조 또는 2조 이상으로 구성되고, 그 각 조의 전자석의 대각의 자극 또는 4극을 이음 부재로 단락하고, 각 조의 2극 한 쌍의 자극에 권취된 두 쌍의 자화 코일에 동일 주파수로 위상을 어긋나게 한 자화 교번 전류를 통하는 단계에 의해 피검사면에 하나 또는 복수의 회전 자장을 생성하는 자화 방법인 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 방법.7. The pair of four-pole pairs according to claim 6, wherein the magnetizing step comprises two poles, that is, a pair of four-pole pairs arranged with a pair of electromagnets axially symmetric around an axis perpendicular to the inspection surface, and the magnetic poles forming a rectangular or square vertex. Or it consists of two or more pairs, short-circuit poles or four poles of each pair of electromagnets were short-circuited by a joint member, and the phase was shifted at the same frequency to two pairs of magnetization coils wound by the pair of poles of each pole. And a magnetizing method for generating one or a plurality of rotating magnetic fields on an inspected surface by passing through a magnetization alternating current. 제6장 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 촬상하는 단계의 촬상 위치에 대하여 상대적으로 이동하는 피검사면 상의 각 점의 이동 거리를 계측하는 단계와, 거리 측정기로 계측된 이동 거리 정보를 이용하여 검출한 피검사재의 표층 흠집을 맵핑하는 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 형광 자분 탐상 방법.The method according to any one of claims 6 to 9, further comprising the steps of measuring the movement distance of each point on the inspection surface moving relatively to the imaging position of the imaging step, and the movement distance information measured by the distance measuring device. And a step of mapping surface scratches of the test material detected using the fluorescence magnetic particle inspection method.
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