KR20040082228A - Used water return method for mixed bed ion exchange resin tower - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 혼상식 이온교환수지 재생탑의 사용수 회수방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 혼상식이온교환수지 재생탑의 재생공정에 사용된 사용수의 일부를 전처리조로 리턴시켜 재활용이 가능토록 하는 혼상식 이온교환수지재생탑의 사용수 회수방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for recovering water used in a mixed-phase ion exchange resin regeneration tower, and more particularly, to return a part of the used water used in the regeneration process of a mixed phase ion exchange resin regeneration tower to be recycled. The present invention relates to a method for recovering water used in a mixed bed ion exchange resin regeneration tower.
반도체의 제조공정이나 의약품의 제조에는 함유하는 불순물의 양이 가능한 한 적은 고순도의 물, 즉 초순수가 필요하다. 특히 반도체 직접회로(LSI)세정 공정에서는 대량의 초순수를 사용한다. 이 초순수의 순도가 제품의 수율에 큰 영향을 주고, 요즈음 고레벨의 LSI(1메가비트, 4메가비트 등)의 세정에는 더욱 고순도의 물이 요구되고 있다.High purity water, that is, ultrapure water, requires as little as possible the amount of impurities to be contained in the manufacturing process of semiconductors and the manufacture of pharmaceuticals. In particular, the semiconductor integrated circuit (LSI) cleaning process uses a large amount of ultrapure water. The purity of this ultrapure water greatly influences the yield of the product, and nowadays, higher purity water is required for the cleaning of high level LSI (1 megabit, 4 megabit, etc.).
종래의 초순수 제조장치는 도 1에 도시된 바와 같이 원수를 공급하는 원수조(1)와, 상기 원수조(1)로부터 공급되는 원수의 온도를 소정의 온도로 유지시키는 제1열교환기(3)와, 공급된 원수에 포함된 1차 고형물질을 전처리 여과하는 샌드필터탑(5)과, 상기 샌드필터탑(5)을 통해 처리된 원수를 저장하는 전처리조(7)로 구성된다.Conventional ultrapure water production apparatus is a raw water tank (1) for supplying raw water as shown in Figure 1, and the first heat exchanger (3) for maintaining the temperature of the raw water supplied from the raw water tank (1) at a predetermined temperature And a sand filter tower 5 for pre-filtering the primary solid matter contained in the supplied raw water, and a pre-treatment tank 7 for storing the raw water processed through the sand filter tower 5.
또한, 상기 전처리조(7)를 통해 공급된 처리수에 포함된 2차 고형물질(예컨대 염소)을 제거함과 아울러 냄새를 제거하는 전처리카본탑(9)과, 양이온을 제거하는 양이온제거탑(11)과, 처리수에 포함된 탄산가스를 제거하는 탈기탑(13)과, 처리수에 포함된 음이온을 제거하는 음이온제거탑(15)과, 처리된 처리수를 저장하는 순수장조(17)로 구성된다.In addition, the pretreatment carbon tower 9 for removing odors and removing secondary solids (eg, chlorine) contained in the treated water supplied through the pretreatment tank 7, and the cation removal tower 11 for removing cations. ), A degassing tower 13 for removing carbon dioxide gas contained in the treated water, an anion removing tower 15 for removing anions contained in the treated water, and a pure water tank 17 storing the treated water. It is composed.
한편, 순수(DEIONIZED WATER)저장조(17)로부터 공급되는 순수를 팹(FAB)의 온도(예컨대 24℃)로 유지시키는 제2열교환기(19)와, 공급되는 순수에 자외선을 조사하여 미생물을 살균하는 제1UV-살균기(21)와, 그 제1UV-살균기(21)에 의해 살균된 미생물을 여과하는 제1마이크로필터(23)와, 제1마이크로필터(23)를 통과한 물을 소정의 압으로 가압 펌핑하는 제1가압펌프(25)가 구성된다.Meanwhile, the second heat exchanger 19 which maintains the pure water supplied from the DEIONIZED WATER storage tank 17 at a temperature (for example, 24 ° C.) of the FAB and the supplied pure water are irradiated with ultraviolet rays to sterilize microorganisms. The first UV filter sterilizer 21, the first micro filter 23 for filtering microorganisms sterilized by the first UV sterilizer 21, and the water passing through the first micro filter 23 are subjected to a predetermined pressure. The first pressure pump 25 to be pumped by pressure is configured.
다음 그 제1가압펌프(25)에 의해 가압된 물을 공급받아 그 물에 포함된 이온이나 유기물을 1차 여과하는 제1역삼투막장치(27)와, 여과된 물에 포함된 용존 산소를 제거하는 용존산소제거기(29)와, 물에 포함된 저분자 유기물을 분해해서 이온으로 변화시키는 유기물처리기(30)와, 변환된 이온을 최종적으로 제거하는 혼상식이온교환수지재생탑(31)으로 구성된다.Next, the first reverse osmosis membrane device 27 which receives the pressurized water by the first pressurizing pump 25 and first filters the ions or organic matter contained in the water, and removes the dissolved oxygen contained in the filtered water. A dissolved oxygen remover 29, an organic matter processor 30 for decomposing and converting low-molecular organic matter contained in water into ions, and a mixed phase ion exchange resin regeneration tower 31 for finally removing the converted ions.
다음, 상기 혼상식이온교환수지재생탑(31)을 통과한 1차 초순수를 저장하는 1차초순수장조(33)와, 그 1차초순수저장조(33)에 공급된 물에 포함된 미생물을 최종적으로 살균하는 제2UV-살균기(35)와, 상기 제2UV-살균기(35)에 의해 살균된 미생물을 최종적으로 제거하는 제2마이크로필터(37)와, 필터링 된 물을 2차 가압하는 제2가압펌프(39)와 펌핑된 물에 포함된 이온이나 유기물을 최종적으로 제거하는 2차역삼투막장치(41)와 필터링 된 최종 초순수를 저장하는 2차순수저장조(43)로 구성된다.Next, the primary ultrapure water tank 33 for storing the primary ultrapure water passing through the mixed phase ion exchange resin regeneration tower 31 and the microorganisms contained in the water supplied to the primary ultrapure water storage tank 33 are finally A second UV sterilizer 35 for sterilization, a second micro filter 37 for finally removing microorganisms sterilized by the second UV sterilizer 35, and a second pressure pump for pressurizing the filtered water secondly. (39) and the secondary reverse osmosis membrane device 41 for finally removing the ions or organic matter contained in the pumped water and the secondary pure water storage tank 43 for storing the final filtered ultrapure water.
상기 혼상식이온수재생탑(31)은 도 2에 도시된 바와 같이 이온교환탑(31a)내의 하부에는 지지부재(31b)가 설치되고, 그 위에 강산성양이온교환수지 및 염기성음이온교환수지의 혼상이 지지되어있다. 이온교환탑(31a)의 상부에는 재생제를 공급하는 상부디스트리뷰터(31c)가 설치되고, 이온교환탑(31a)의 지지부재(31b) 하부에는 재생제를 공급하는 하부디스트리뷰터(31d)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 2, the mixed phase ionized water regeneration tower 31 has a support member 31b installed at a lower portion of the ion exchange tower 31a, and a mixed phase of a strong acid cation exchange resin and a basic anion exchange resin is supported thereon. It is. An upper distributor 31c for supplying a regenerant is installed at an upper portion of the ion exchange tower 31a, and a lower distributor 31d for supplying a regenerant is provided at a lower portion of the support member 31b of the ion exchange tower 31a. have.
이온교환수지의 재생시에는 비중에 의해 강산성양이온교환수지와 염기성음이온교환수지를 분리한다. 이로써 도 2에 도시된 바와 같이 상층에 음이온교환수지층(31e)이 형성되고, 하층에 강산성양이온교환수지층(31f)이 형성된다. 그리고, 이 분리경계면의 위치에 재생 폐액을 배출하는 콜렉터(31g)가 설치되어 있다.During the regeneration of ion exchange resins, strong acid cation exchange resins and basic anion exchange resins are separated by specific gravity. As a result, as shown in FIG. 2, an anion exchange resin layer 31e is formed on the upper layer, and a strong acid cation exchange resin layer 31f is formed on the lower layer. And the collector 31g which discharges a regeneration waste liquid is provided in the position of this separation boundary surface.
그리고, 이온교환탑(31a)에는 처리시 및 재생시에 있어서 각종 유체를 유통시키는 복수의 유체 유통배관(31h,31i)이 설치된다.The ion exchange tower 31a is provided with a plurality of fluid distribution pipes 31h and 31i for circulating various fluids during processing and regeneration.
상술한 바와 같이 구성되는 이온교환수지재생탑(31)은 그 전처리과정에서 처리된 순수 중 탈 이온된 처리수를 더욱 고순도의 요구 수질로 처리하기 위하여 양.음이온이 혼합 충진된 수지층에 처리수를 상부로부터 하부로 통수시켜 정수과정을 실시한다.The ion exchange resin regeneration tower 31 constructed as described above is treated with deionized water in the resin layer filled with positive and negative ions in order to further treat the deionized treated water in the pure water treated in the pretreatment process with the required water of higher purity. Pass the water from the top to the bottom to carry out the water purification process.
그런데 그와 같은 정수과정을 실시하는 동안 각 양,음이온의 교환능력이 포화 상태가 되므로 양,음이온교환수지는 재생제를 이용하여 재생작업을 하여야 한다.However, since the exchange capacity of each positive and negative ion becomes saturated during the water purification process, the positive and negative ion exchange resin should be regenerated by using a regenerant.
그 재생공정은 도 3과 같은 과정에 의해 이루어진다.The regeneration process is performed by the process as shown in FIG.
먼저, 역세(BACK WASH)단계(S100)가 진행된다.First, a BACK WASH step S100 is performed.
역세는 처리액을 통액하면 수지층에 원수중의 현탁액이 침착되므로 이것을 씻어내고 수지층을 풀어주기 위해 이온교환탑의 밑으로부터 위로 물을 통과시키는과정을 말한다. 이때의 유속은 수지층이 50~80%가 증가하는 정도가 적당하고 이 때문에 수지층의 상부에 충분한 공간이 필요하게 된다,Backwashing refers to the process of passing water from the bottom of the ion exchange column to wash off the resin layer and to wash it off because the suspension is deposited in the resin layer when the treatment liquid is passed through. At this time, the flow rate of the resin layer is appropriately increased by 50 to 80%, and thus sufficient space is required at the top of the resin layer.
다음 재생공정(S300)이 이루어진다.Next, a regeneration process S300 is performed.
재생공정(S300)은 수산화나트륨(NaOH)분사(S310), 수산화나트륨세정(S320), 역세(S330), 안정화(SETTLEMENT)단계(S340), 염산(HCl)분사(S350), 염산(HCl)세정(S360)단계를 포함한다.Regeneration process (S300) is sodium hydroxide (NaOH) spray (S310), sodium hydroxide cleaning (S320), backwashing (S330), stabilization (SETTLEMENT) step (S340), hydrochloric acid (HCl) spray (S350), hydrochloric acid (HCl) It includes a cleaning step (S360).
상술한 과정은 그 재생정도에 따라 그 반복회수를 달리하여 이루어지게 된다.The above-described process is performed by varying the number of repetitions according to the degree of reproduction.
다음, 1차세정공정(S500)이 진행된다.Next, the first cleaning process S500 is performed.
세정공정이라 함은 각 양,음이온교환수지에 남아있는 잔류 용액 성분을 다시 한번 완벽하게 세척하는 공정으로 이온교환탑 상부로 물이 인입되어 하부로 드레인된다.The washing process is a process of completely washing the remaining solution components remaining in each positive and negative ion exchange resin once again, and water is introduced into the upper portion of the ion exchange column and drained to the lower portion.
다음 1차드레인단계(S700)가 진행된다.Next, the first drain step S700 is performed.
드레인은 이온교환탑 내에 잔류한 재생수를 이온교환탑 하부로 전량 배수시킨다.The drain drains all the regeneration water remaining in the ion exchange column to the lower portion of the ion exchange column.
다음 안정화(SETTLEMENT)단계(S900)가 진행된다.Next, the SETTLEMENT step S900 is performed.
안정화(SETTLEMENT)라 함은 팽창된 수지층이 정지과정을 통해 양이온교환수지와 음이온교환수지의 비중차에 의하여 비중이 큰 양이온 교환수지는 하부에 가라앉고 상대적으로 비중이 작은 음이온교환수지는 양이온교환수지 상부에 분리되어 가라앉는 상태를 말한다.SETTLEMENT means that the cation exchange resin, which has a high specific gravity, sinks at the bottom due to the specific gravity difference between the cation exchange resin and the anion exchange resin through the stoppage of the expanded resin layer, and that the relatively small anion exchange resin has a cation exchange. It refers to a state where it is separated and sinks on the resin top.
다음,1,2차필업(FILL UP)단계(S1100,S1700가 진행된다.Next, the first and second fill up steps S1100 and S1700 are performed.
필업(FILL UP)이라 함은 이온교환탑내에 있는 에어 및 가스를 배출시키는 공정이며 수지가 혼합된 상태에서 수지상부로 워터가 공급되면서 배기가 실시되는 공정을 말한다.Fill up refers to a process of discharging air and gas in an ion exchange column, and a process of exhausting water while supplying water to a resinous phase in a state where resin is mixed.
상기 1,2차필업단계(S100,S1700)를 진행함에 2,3차드레인(S1300,S1900) 및 안정화(S1500)단계가 추가로 진행된다.Second and third drain (S1300, S1900) and stabilization (S1500) step is further proceeded to the first and second fill-up step (S100, S1700).
여기서 2,3차드레인(S1300,S1900) 및 안정화(S1500)단계는 상술한 1차드레인단계(S700) 및 안정화단계(S900)와 동일한 역할을 수행한다.Here, the second and third drains (S1300 and S1900) and the stabilization (S1500) steps play the same role as the above-described primary drain step (S700) and the stabilization step (S900).
다음, 1,2차믹싱(MIXING)단계(S2100,S2300)가 진행된다.Next, the first and second mixing (MIXING) step (S2100, S2300) is performed.
믹싱(MIXING)이라 함은 재생이 완료된 양이온, 음이온교환수지를 초순수처리상태로 혼합하기 위한 공정으로 1차믹싱단계(S2100)에서는 처리수가 이온교환탑(31a)의 하부로 공급되어 양,음이온 수지를 부상시키며, 2차믹싱단계(S2300)에서는 이온교환탑(31a)의 하부로 질소(N2)를 공급한다.Mixing is a process for mixing the regenerated cation and anion exchange resins into an ultrapure water treatment state. In the secondary mixing step (S2300), nitrogen (N 2 ) is supplied to the lower portion of the ion exchange tower (31a).
다음 제3,4차필업단계(S2500,S2700)가 진행되며, 그 과정은 상기 제1,2차필업단계(S1100,S1700)와 동일하게 이루어진다.Next, the third and fourth fill-up steps S2500 and S2700 are performed, and the process is performed in the same manner as the first and second fill-up steps S1100 and S1700.
다음, 최종세정(FINAL RINSE)단계(S2900)가 진행된다.Next, a final washing step (S2900) is performed.
상기 최종세정단계(S2900)는 최종1,2차세정단계(S2910,S2930) 및 매뉴얼세정단계(S2950)단계를 포함하며, 최종1,2차세정단계는 소정의 프로그램에 의해 자동으로 진행되는 단계를 의미하며, 매뉴얼세정단계(S2950)에서는 작업자에 의해 수동으로 세정작업이 이루어진다.The final cleaning step S2900 includes a final first and second cleaning steps S2910 and S2930 and a manual cleaning step S2950, and the final first and second cleaning steps are automatically performed by a predetermined program. And, in the manual cleaning step (S2950) the cleaning operation is made manually by the operator.
상술한 바와 같이 재생작업이 진행됨에 있어 공급수는 도 4에 도시된 바와 같이 재생, 1차세정단계(S300,S500)에서는 순수저장조(17)로부터 순수가 공급되며, 1,2,3,4차필업단계(S1100,S1700,S2500,S2700) 및 최종세정단계(S2900 : 최종1차세정(S2910), 최종2차세정(S2930), 메뉴얼세정(S2950))에서는 1차초순수저장조(33)로부터 초순수가 공급된다.As described above, in the regeneration operation as described above, the supply water is regenerated as shown in FIG. 4, and pure water is supplied from the pure water storage tank 17 in the first and second washing steps S300 and S500. Ultrapure water is supplied from the primary ultrapure water storage tank 33 in the fill-up phase (S1100, S1700, S2500, S2700) and the final washing step (S2900: final primary cleaning (S2910), final secondary cleaning (S2930), manual cleaning (S2950)). do.
그 공정을 마친 사용수는 각각 폐수조(45), 중수도조(47), 순수저장조(17)로 각각 회수되어 재 사용되는데, 재생(S300)단계에서 사용된 사용수는 폐수조(45)로 회수된다.After the process, the used water is recovered and reused into the waste water tank 45, the heavy water tank 47, and the pure water storage tank 17, respectively. The used water used in the regeneration (S300) step is the waste water tank 45. It is recovered.
다음, 1차세정(S500), 1,2,3,4차필업단계(S1100,S1700,S2500,S2700) 및 최종1차세정단계(S2910)에서 사용된 사용수는 중수도조(47)로 회수되며, 경우에 따라 TOC수치가 높은 경우에는 폐수조(45)로 회수된다.Next, the water used in the first washing step (S500), 1,2,3,4th filling-up step (S1100, S1700, S2500, S2700) and the final first washing step (S2910) is recovered to the water tank (47), In some cases, when the TOC value is high, it is recovered to the waste water tank 45.
다음, 최종2차세정단계(S2930)에서 사용된 사용수는 순수저장조(17)로 회수되며, 매뉴얼세정단계(S2950)에서 사용된 사용수는 중수도조(47) 및 순수저장조(17)로 회수된다.Next, the used water used in the final secondary washing step (S2930) is recovered to the pure water storage tank 17, the used water used in the manual washing step (S2950) is recovered to the heavy water tank 47 and the pure water storage tank (17). .
매뉴얼세정(S2950)은 1회 가동시간이 약 30분 정도 소요되며, 가동시간이 10분이 될 때까지 사용된 사용수는 중수도조(47)로 회수되며, 그 이후에 사용된 사용수는 순수저장조(17)로 회수된다.Manual cleaning (S2950) takes about 30 minutes once operating time, the water used until the operating time is 10 minutes is recovered to the water tank (47), the water used after that is a pure water storage tank Recovered to (17).
그러나, 종래에는 상술한 바와 같이 재생공정에 공급되는 공급수의 대부분이 1차초순수저장조(33)의 초순수를 사용함에 따라 재생공정을 실시한 사용수라 할 지라도 그 수질이 좋은 상태임에도 불구하고, 최종2차세정단계(S2930)에서 사용된 사용수 만을 제외한 나머지 대부분이 중수도조(47)로 회수되어 버려지고 있다.However, in the related art, although most of the feed water supplied to the regeneration process as described above uses the ultrapure water of the primary ultrapure water storage tank 33, even though the water used for the regeneration process is in good condition, the final 2 Most of the remaining water except for the used water used in the car washing step S2930 has been recovered to the water tank 47.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 재생공정에 사용된 사용수의 회수상태를 개선하여 수질이 좋은 사용수가 과도하게 버려지는 것을 방지하도록 하는 이온교환수지재생탑의 사용수 회수방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to improve the recovery state of the use water used in the regeneration process to prevent excessive use of good water quality water is discarded The present invention provides a method for recovering water used in a regeneration tower.
도 1은 종래의 초순수제조장치의 구성을 개략적으로 도시한 블럭도,1 is a block diagram schematically showing the configuration of a conventional ultrapure water producing system;
도 2는 상기 도 1의 혼상식 이온교환수지 재생탑의 구성도,2 is a configuration diagram of the mixed-phase ion exchange resin regeneration tower of FIG.
도 3은 상기 도 2의 혼상식 이온교환수지 재생탑의 재생공정을 도시한 도면,3 is a view illustrating a regeneration process of the mixed-phase ion exchange resin regeneration tower of FIG. 2;
도 4는 상기 도 3의 혼상식 이온교환수지 재생탑의 재생공정에 있어서, 각 재생단계에서 사용된 사용수가 회수되는 상태를 도시한 도면,4 is a view showing a state in which the water used in each regeneration step is recovered in the regeneration process of the mixed-phase ion exchange resin regeneration tower of FIG. 3;
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 의한 혼상식 이온교환수지 재생탑의 재생공정에 있어서, 각 재생단계에서 사용된 사용수가 회수되는 상태를 도시한 도면,5 is a view showing a state in which the water used in each regeneration step is recovered in a regeneration process of a mixed bed type ion exchange resin regeneration tower according to an embodiment of the present invention;
도 6a,b는 혼상식 이온교환수지 재생탑의 각 단계에 있어서 사용수 수질을 측정한 결과를 나타내는 측정표이다.6A and 6B are measurement tables showing the results of measuring water quality at each stage of the mixed-phase ion exchange resin regeneration tower.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
7 : 전처리조 17 : 순수저장조7: pretreatment tank 17: pure water storage tank
31 : 혼상식이온교환수지재생탑 45 :폐수조31: mixed phase ion exchange resin regeneration tower 45: waste water tank
47 : 중수도조47: Sewage Water Tank
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 이온교환환탑 내부로 재생제를 공급하여 이온교환수지를 재생하는 단계와; 이온교환수지에 남아 있는 재생폐액을 씻어내는 1차세정(RINSE)단계와; 이온교환탑의 내부에 포함된 가스를 배출시키는 1,2,3,4차필업(FILL UP)단계; 및 순수처리상태로 전환하기 전에 요구수질 이상의 처리수만을 공정에 사용하기 위해 최종 세척시키는 최종세정(FINAL RINSE)단계를 포함하며; 상기 3차필업단계를 포함하는 그 이후의 단계에서 배출되는 배출수는 원수에 포함된 현탁 물질이 제거된 처리수를 저장하는 전처리조로 회수되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention comprises the steps of regenerating the ion exchange resin by supplying a regenerant inside the ion exchange ring tower; A first washing (RINSE) step of washing the regeneration waste liquid remaining in the ion exchange resin; 1,2,3,4th fill up step of discharging the gas contained in the ion exchange tower (FILL UP) step; And a final rinse step of final washing of only the treated water above the required water quality for use in the process prior to conversion to pure water. Effluent discharged from the subsequent step including the third fill-up step is characterized in that it is recovered to the pre-treatment tank for storing the treated water from which the suspended matter contained in the raw water is removed.
다음, 도 5 및 도 6a,b를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 이온교환수지재생탑의 사용수 회수방법에 대해서 좀더 상세히 설명한다.Next, with reference to Figures 5 and 6a, b will be described in more detail with respect to the method for recovering the water used in the ion exchange resin regeneration tower according to an embodiment of the present invention.
도 1내지 도 4에 도시된 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일부호를 명기하며 그에 대한 자세한 설명은 생략한다.The same parts as those shown in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.
본 발명의 다른 점은 각 단계에서 사용된 사용수를 회수하는 방법에 있다.Another point of the present invention lies in the method of recovering the water used in each step.
도5에 도시된 바와 같이 재생단계(S300)에서 사용된 사용수는 폐수조(45)로 회수되고, 1차세정단계(S500), 1차필업단계(S1100), 2차필업단계(S1700)에서 사용된 사용수는 중수도조(47)로 회수되거나, 그 유기물 제거율이 낮은 경우 폐수조(45)로 회수된다.As shown in FIG. 5, the used water used in the regeneration step S300 is recovered to the waste water tank 45, and in the first washing step S500, the first filling up step S1100, and the second filling up step S1700. The used water is recovered to the heavy water tank 47 or to the waste water tank 45 when the organic matter removal rate is low.
한편, 3,4차필업단계(S2500) 및 최종세정단계(S2900)에서 사용된 사용수를 전처리조(7)로 회수한다.On the other hand, the used water used in the third and fourth fill-up step (S2500) and the final cleaning step (S2900) is recovered to the pretreatment tank (7).
상술한 바와 같은 방법에 의해 사용수를 회수함에 따라 종래와 같이 그 수질상태가 좋은 3차, 4차필업단계(S2500,S2700) 및 최종1차세정단계(S2910)에서 사용되었던 사용수와 매뉴얼세정단계(S2950)에서 사용되어진 사용수의 일부가 중수도조(47)로 버려지는 것을 방지하게 된다.By using the method as described above, the number of water used in the third and fourth fill-up steps (S2500, S2700) and the final primary cleaning step (S2910) and the manual cleaning step as the conventional state of good water quality as in the prior art A portion of the used water used in S2950 is prevented from being discarded into the heavy water tank 47.
다음은 도 6a,b에 도시된 표를 참조로 하여 상기 제3,4차필업단계(S2500,S2700) 및 최종세정단(S2900)계에서 사용된 사용수를 전처리조(7)로 회수 가능함을 설명하기로 한다.Next, the water used in the third and fourth fill-up steps S2500 and S2700 and the final cleaning stage S2900 can be recovered to the pretreatment tank 7 with reference to the tables shown in FIGS. 6A and 6B. Let's explain.
표에 도시된 바와 같이 1차세정단계(S500)를 포함하여 그 이후의 단계에서 사용된 사용수의 수질을 측정한 결과가 전처리조(7)에서의 TOC수치(600~1000)보다 월등히 낮은 수치로서 재활용이 충분히 가능한 수질임을 알 수 있다.As shown in the table, the result of measuring the water quality of the water used in the subsequent steps including the first washing step (S500) is much lower than the TOC value (600 to 1000) in the pretreatment tank (7). It can be seen that the water quality can be sufficiently recycled.
상술한 바와 같이 본 발명은 혼상식이온교환수지를 재생하는 데 사용된 사용수 중 그 수질이 좋은 사용수를 전처리조로 회수하여 재활용하여 물 사용량을 감소시키는 이점을 제공한다.As described above, the present invention provides an advantage of reducing the amount of water used by recovering and recycling the used water having good quality in the pretreatment tank among the used water used to regenerate the mixed phase ion exchange resin.
이와 같이 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention, specific embodiments have been described, but various modifications are possible without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined by the claims below and equivalents thereof.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030016920A KR20040082228A (en) | 2003-03-18 | 2003-03-18 | Used water return method for mixed bed ion exchange resin tower |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1020030016920A KR20040082228A (en) | 2003-03-18 | 2003-03-18 | Used water return method for mixed bed ion exchange resin tower |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040082228A true KR20040082228A (en) | 2004-09-24 |
Family
ID=37366168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020030016920A KR20040082228A (en) | 2003-03-18 | 2003-03-18 | Used water return method for mixed bed ion exchange resin tower |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR20040082228A (en) |
-
2003
- 2003-03-18 KR KR1020030016920A patent/KR20040082228A/en not_active Application Discontinuation
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