KR20040070780A - Gate valve for isolation of the chamber - Google Patents
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- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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Abstract
Description
본 발명은 챔버 분리 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 게이트 밸브 개폐 시 게이트부가 개방부의 오링에 수평방향으로 밀착되도록 하여 오링의 불량을 최소화함으로써 게이트 밸브의 리크를 줄일 수 있는 챔버 분리 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a chamber separation gate valve, and more particularly, to a chamber separation gate valve capable of reducing the leakage of the gate valve by minimizing the defect of the O-ring by allowing the gate portion to be in close contact with the O-ring of the opening in a horizontal direction when opening and closing the gate valve. It is about.
반도체 공정 장비들 중 챔버와 챔버 사이를 게이트 밸브를 사용하여 분리(isolation)한다. 게이트 밸브는 에어(air)로 동작되며 게이트 양단에 오링(o-ring)으로 밀봉(sealing)한다.Isolation is performed between the chambers of semiconductor processing equipment using a gate valve. The gate valve is air operated and seals o-rings across the gate.
도 1은 종래 기술에 따른 게이트 밸브를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이 챔버(10)와 챔버(10) 사이에는 원형 개구부(11)가 형성되며, 개구부(11)를 차단하는 게이트 밸브가 설치된다.1 is a cross-sectional view showing a gate valve according to the prior art. As shown, a circular opening 11 is formed between the chamber 10 and the chamber 10, and a gate valve blocking the opening 11 is provided.
게이트 밸브는 크게 게이트부(17)와 게이트부(17)를 상하방향으로 이송시키는 에어 실린더(13)와 에어 실린더(13)의 위치를 파악하여 게이트 밸브를 제어하는 센서(14a, 14b)로 구분된다. 예시도면에서 개구부(11)의 내측면에는 게이트부(17)와의 밀봉결합 위한 오링(12)이 결합되어 있다. 에어 실린더(13)에는 상단에 폐쇄포트(15b)가 하단에는 개방포트(15a)가 형성되어 에어 실린더(13)에 에어를 주입할 수 있다. 게이트부(17) 상단에는 로드(18)가 결합되고 로드(18)의 일단에는 피스톤(16)이 결합되어 에어 실린더(13)에 공급되는 에어의 방향에 따라 피스톤(16)과 로드(18)가 수직으로 승강한다.The gate valve is largely divided into sensors 14a and 14b which control the gate valve by grasping the position of the air cylinder 13 and the air cylinder 13 for transferring the gate 17 and the gate 17 up and down. do. O-ring 12 for sealing coupling with the gate portion 17 is coupled to the inner surface of the opening 11 in the exemplary drawing. The air cylinder 13 has a closed port 15b at the upper end and an open port 15a at the lower end thereof so that air can be injected into the air cylinder 13. The rod 18 is coupled to the upper end of the gate portion 17, and the piston 16 is coupled to one end of the rod 18 so that the piston 16 and the rod 18 may be aligned in the direction of air supplied to the air cylinder 13. Rise and fall vertically.
그런데 이와 같은 종래의 게이트 밸브는 게이트부가 삽입되는 챔버 사이의 간격이 매우 좁아 게이트 밸브 개폐시 게이트부가 오링에 부딪히면서 수직방향으로 쓸고 내려가므로 오링 표면에 흠집이 발생하여 리크(leak)가 발생되었다. 특히, 양쪽의 챔버를 모두 펌핑(pumping)하지 않고 한쪽만 펌핑할 경우 펌핑하는 챔버 쪽으로 게이트부가 당겨지면서 이동하여 실린더의 작동에도 영향을 미쳐서 피스톤을 통해 리크가 발생될 수 있다.However, such a conventional gate valve has a very narrow interval between chambers in which the gate portion is inserted, so that when the gate valve opens and closes, the gate portion hits the O-ring and moves downward in the vertical direction, thereby causing scratches on the surface of the O-ring. In particular, when pumping only one side without pumping both chambers (pumping), the gate portion is pulled toward the pumping chamber and moves to affect the operation of the cylinder, so that leakage may occur through the piston.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 단점을 해소하기 위한 것으로, 게이트 밸브 개폐 시 게이트부가 개방부의 오링에 수평방향으로 밀착되도록 하여 오링의 불량을 최소화함으로써 게이트 밸브의 리크를 줄일 수 있는 챔버 분리 게이트 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above disadvantages, the chamber separation gate valve which can reduce the leakage of the gate valve by minimizing the failure of the O-ring by making the gate portion in close contact with the O-ring of the opening in the horizontal direction when opening and closing the gate valve. The purpose is to provide.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 챔버와 챔버 사이에 형성되는 개구부와, 개구부에 수직방향으로 삽입되는 게이트부와 게이트부를 수직방향으로 왕복운동시킬 수 있도록 게이트부 상단에 설치되는 실린더부를 구비한 챔버 분리 게이트 밸브에 있어서, 상기 실린더부에 삽입되는 로드의 중심부에 길이방향으로 중공부를 형성하고, 상기 게이트부는 상기 로드의 중공부와 연통되며 내부에 공기주머니가 마련되어 수평방향으로 신축가능한 수축 밸로우즈와 수축 밸로우즈 양단에 설치되어 개구부를 차단할 수 있도록 형성된 게이트 플렌지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is provided with an opening formed between the chamber and the chamber, the gate portion inserted in the vertical direction to the opening and the cylinder portion is installed on the top of the gate portion to reciprocate the gate portion in the vertical direction In the chamber separation gate valve, a contraction bellows is formed in the center of the rod inserted into the cylinder portion in the longitudinal direction, the gate portion is in communication with the hollow portion of the rod and an air bag is provided therein to extend in the horizontal direction And a gate flange installed at both ends of the contraction bellows to block the opening.
도 1은 종래기술에 따른 게이트 밸브를 도시한 단면도,1 is a cross-sectional view showing a gate valve according to the prior art,
도 2는 본 발명에 따른 챔버 분리 게이트 밸브를 도시한 단면도.2 is a cross-sectional view of a chamber separation gate valve in accordance with the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10 ; 챔버 11 ; 개구부10; Chamber 11; Opening
12 ; 오링 13 ; 에어 실린더12; O-ring 13; Air cylinder
21 ; 게이트부 22 ; 로드21; Gate portion 22; road
23 ; 중공부 24 ; 공기주머니23; Hollow part 24; Air bag
25 ; 펌핑라인 26 ; 신축연결부25; Pumping lines 26; Telescopic connection
27 ; 벨로우즈 28 ; 게이트 플랜지27; Bellows 28; Gate flange
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 챔버 분리 게이트 밸브를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a chamber separation gate valve according to the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 챔버 분리 게이트 밸브는 챔버(10)와 챔버(10) 사이를 선택적으로 분리하기 위한 수단으로 사용된다. 챔버(10)와 챔버(10)사이에는 원형의 개구부(11)가 형성되며, 개구부(11)는 수직방향으로 삽입되는 게이트부(21)에 의해 개방되거나 분리된다. 게이트부(21)와 개구부(12)의 밀봉을 위해 게이트부(21)와 접촉되는 개구부(11)의 양측면에는 오링(o-ring ; 12)이 삽입된다.As shown, the chamber isolation gate valve according to the present invention is used as a means for selectively separating between the chamber 10 and the chamber 10. A circular opening 11 is formed between the chamber 10 and the chamber 10, and the opening 11 is opened or separated by the gate portion 21 inserted in the vertical direction. O-rings 12 are inserted into both sides of the opening 11 in contact with the gate 21 to seal the gate 21 and the opening 12.
한편, 게이트부(21)는 수직방향으로 이송되는 에어 실린더(13)에 의해 작동되며, 에어 실린더(13)는 센서(14a, 14b)에 의해 그 위치가 제어된다.On the other hand, the gate part 21 is operated by the air cylinder 13 conveyed in the vertical direction, and the position of the air cylinder 13 is controlled by the sensors 14a and 14b.
본 발명에 따른 에어 실린더(13)의 로드(22) 중심부에는 길이방향으로 중공부(23)가 형성되고 게이트부(21)는 로드(22)의 중공부(23)와 연통되는 공기주머니(24)를 구비하고 있어 외부로부터 펌핑될 수 있다. 로드(22)의 중공부(23)는 에어 실린더(13)의 일단에 마련된 펌핑라인(25)과 신축가능하게 신축연결부(26)를 매개로 연결되어 로드(22)의 왕복운동에 따른 변위를 수용할 수 있다.In the center of the rod 22 of the air cylinder 13 according to the present invention, a hollow portion 23 is formed in the longitudinal direction, and the gate portion 21 communicates with the hollow portion 23 of the rod 22. It can be pumped from the outside. The hollow part 23 of the rod 22 is connected to the pumping line 25 provided at one end of the air cylinder 13 via a flexible connecting portion 26 so that the displacement according to the reciprocating motion of the rod 22 can be achieved. I can accept it.
본 발명에 따른 게이트부(21)의 공기주머니(24)는 수평방향으로 신출될 수 있는 벨로우즈(27)로 이루어지는 것이 바람직하다. 벨로우즈(27)의 양단에는 개구부(11)에 밀착되어 밀봉될 수 있도록 원판형상의 게이트 플랜지(28)가 설치된다.Air bag 24 of the gate portion 21 according to the present invention is preferably made of a bellows 27 that can be extended in the horizontal direction. Both ends of the bellows 27 are provided with a disk-shaped gate flange 28 so as to be in close contact with the opening 11.
전술한 바와 같이, 에어 실린더(13)에는 통상적으로 상단에 폐쇄포트(15b)가 하단에는 개방포트(15a)가 형성되어 에어 실린더(13)에 에어를 공급할 수 있도록 되어 있다. 또한, 로드(22)의 일단에는 피스톤(16)이 결합되어 에어 실린더(13)에 공급되는 에어의 방향에 따라 수직으로 승강한다. 또한, 실린더(13)의 외주연 일단에는 게이트부(21)의 개방을 감지하는 개방밸브(14a)와 게이트부(21)의 폐쇄를 감지하는 폐쇄밸브(14b)가 설치되어 있다.As described above, the air cylinder 13 has a closed port 15b at its upper end and an open port 15a at its lower end, so that air can be supplied to the air cylinder 13. In addition, the piston 16 is coupled to one end of the rod 22 to vertically lift in accordance with the direction of the air supplied to the air cylinder (13). Further, at one end of the outer circumference of the cylinder 13, an opening valve 14a for detecting the opening of the gate portion 21 and a closing valve 14b for detecting the closing of the gate portion 21 are provided.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 게이트 밸브의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the gate valve according to the present invention configured as described above are as follows.
챔버(10)와 챔버(10)를 차단하기 위해 개구부(11)에 게이트 밸브(21)를 삽입하고자 하는 경우에는 펌핑라인(25)을 통해 에어를 펌핑하여 게이트부(21)의 공기주머니(24)를 수축시킨다. 수축된 공기주머니(24)는 벨로우즈(27)와 게이트 플랜지(28)를 로드(22) 중심방향으로 수축시켜 게이트부(21)의 폭이 줄어들게 한다. 이와 같은 상태에서 에어 실린더(13)에 에어를 주입하여 로드(22)를 하강시킨다. 이미 게이트부(21)가 수평방향으로 수축된 상태이므로 개구부(11) 사이로 여유있게 삽입될 수 있다. 게이트부(21)가 삽입된 후 펌핑라인(25)을 통해 반대로 펌핑상태를 해제하면 수축되었던 벨로우즈(27)가 이완되면서 게이트 플랜지(28)가 개구부(11)의 측면으로 밀착된다. 밀착된 게이트 플랜지(28)는 개구부(11)와 밀봉된 상태를 유지할 수 있을 뿐만 아니라 수평방향으로 오링(12)에 밀착되므로 오링(12)의 손상을 가져오지 않는다.In order to insert the gate valve 21 into the opening 11 to block the chamber 10 and the chamber 10, the air bag 24 of the gate portion 21 is pumped by pumping air through the pumping line 25. Shrink). The contracted air bag 24 contracts the bellows 27 and the gate flange 28 toward the center of the rod 22 to reduce the width of the gate portion 21. In this state, air is injected into the air cylinder 13 to lower the rod 22. Since the gate part 21 is already in a horizontally contracted state, the gate part 21 can be inserted with ease between the openings 11. After the gate portion 21 is inserted, the pumping line 25 reverses the pumping state, and when the bellows 27 that is contracted is relaxed, the gate flange 28 comes into close contact with the side of the opening 11. The closely contacted gate flange 28 may not only maintain the sealed state with the opening 11, but also closely contact the O-ring 12 in the horizontal direction, thereby not damaging the O-ring 12.
게이트 밸브를 개방하고자 하는 경우에는 삽입의 역순으로 진행하면 되므로 이에 대한 설명은 중복을 피하기 위해 생략한다.When the gate valve is to be opened, the reverse operation of the insertion may be performed, and thus description thereof will be omitted to avoid duplication.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.In the above description, it should be understood that those skilled in the art can only make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention as it merely illustrates a preferred embodiment of the present invention.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 게이트 밸브 개폐 시 게이트부가 개방부의 오링에 수평방향으로 밀착되도록 하여 오링의 불량을 최소화함으로써 게이트 밸브의 리크를 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, when the gate valve is opened and closed, the gate part may be in close contact with the O-ring of the opening in a horizontal direction, thereby minimizing the defect of the O-ring, thereby reducing the leak of the gate valve.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 챔버 분리 게이트 밸브를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is just one embodiment for implementing the chamber separation gate valve according to the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment, and as claimed in the following claims, the gist of the present invention Without departing from the technical spirit of the present invention to the extent that any person of ordinary skill in the art to which the present invention pertains various modifications can be made.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030006969A KR20040070780A (en) | 2003-02-04 | 2003-02-04 | Gate valve for isolation of the chamber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030006969A KR20040070780A (en) | 2003-02-04 | 2003-02-04 | Gate valve for isolation of the chamber |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040070780A true KR20040070780A (en) | 2004-08-11 |
Family
ID=37359000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020030006969A KR20040070780A (en) | 2003-02-04 | 2003-02-04 | Gate valve for isolation of the chamber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20040070780A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007142395A1 (en) * | 2006-06-08 | 2007-12-13 | Global Standard Technology Co., Ltd. | Vacuum gate valve |
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2003
- 2003-02-04 KR KR1020030006969A patent/KR20040070780A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007142395A1 (en) * | 2006-06-08 | 2007-12-13 | Global Standard Technology Co., Ltd. | Vacuum gate valve |
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