KR20040068347A - 2상류의 부하를 검출하는 마이크로파 측정 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 바람직하기로는 도파관 이송 파에 의해서, 작고 미세한 고체 입자 및/또는 액체 입자들을 함유하는 가스상 운반 매체를 갖는 2상류의 부하를 검출하며 유동 유체 내에 함유된 가스를 검출하기 위한 마이크로파 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명은 일례로 석탄 연료 발전소의 미분탄 로에 사용되는 대용적 공압 고체 이송 시스템에서의 가스류 내에 함유된 고체 입자를 검출하는 것에 바람직하게 적용된다. 본 발명의 마이크로파 측정 장치에는 필드 봉들이 설치되고, 그 필드 봉들은 공급 관로 안으로 돌출되며 송신 안테나와 수신 안테나에 의해 형성된 측정 부분의 앞과 뒤에 배치되며, 상기 봉들이 전도성 재료로 제조된 공급 관과 상호 작용하면 송신 안테나를 거쳐서 공급 관 안으로 주입되는 마이크로파용의 공진기로서 기능하고, 이에 의해 측정 부분의 외측에서 회절, 중첩, 및/또는 반사의 결과로서 나타난 마이크로파로서 분극 평면에 주입된 마이크로파와 다른 마이크로파는 실질적으로 단락되어서, 측정 결과가 왜곡되는 것을 방지할 수 있다. 본 발명의 장치는 건조가 간단하고 부피가 크며 분기된 공급 관 시스템에서도 용이하게 설치할 수 있다는 특별한 이점을 갖는다.

Description

2상류의 부하를 검출하는 마이크로파 측정 장치{MICROWAVE MEASURING DEVICE FOR DETECTING THE CHARGE OF A TWO-PHASE FLOW}

가스상 이송 매체를 포함하는 2상류의 입자 부하뿐만 아니라 유동 유체 내에 함유된 가스의 비율도 마이크로파 장치에 의해서 한정하는 것에 대해서는 공지되어 있다. 이와 같은 종류의 아주 많은 공지 시스템에서, 특정 주파수의 마이크로파 장치는 측정 덕트로서 마련된 공급 덕트의 일부에 결합되어서 덕트 단부에서의 마이크로파의 진폭과 위상의 변동을 등록한다. 바람직한 작동 방법은 지나치게 복잡해지고 간섭받는 것을 피할 수 있도록 한 도파관 기본파를 포함한다. 측정 원리의 물리적 배경은, 고체 및/또는 액체를 함유하는 운반 가스의 부하 변동이나 혹은 유동 유체 내의 가스의 비율 변화가 공급 덕트 내의 복합 유전 상수를 변동시키게 되는 점과, 마이크로파가 감쇠와 위상 이동을 그 유전 상수의 함수로서 겪게 된다는점에 있다. 독일 공개 특허 공보 제44 26 280 A1호는 고상 입자들을 함유하는 가스류의 부하를 결정하는 방법, 특히 가스류를 운반하는 측정 덕트를 따라서 가스류의 고체 함량을 전자기파의 감쇠 함수로서 측정함으로써 석탄 연료 발전소의 보일러의 미분탄에 의한 화력을 제어하는 방법에 대하여 설명하고 있다. 독일 특허 제33 17 215 C1호에 설명되어 있는 바와 같이, 배기 가스의 입자 부하량도 마이크로파가 입자 보유 배기 가스를 통과할 때의 감쇠로부터 유사하게 도출된다. 국제 특허 공개 제WO91/05243호에는 오일-물 혼합물 내의 오일 또는 물의 함량과 그들의 속도를 마이크로파의 감쇠 및 위상 이동을 측정 덕트를 따라서 산출하는 방법에 대해서 설명하고 있다. 이상에서 설명한 방법들은 마이크로파의 반사로 인한 간섭 효과나 또는 공급 덕트 시스템 내의 형상 변화로 인해 상당한 문제점을 겪는다. 특히 작은 부하에서는 마이크로파의 감쇠가 아주 작아서 마이크로파가 도파관에서처럼 긴 거리에 걸쳐서 전파되고 협소부, 분지부, 곡선부, 또는 말단부에서 반사 및/또는 회절된다. 그 결과 앞뒤로 전파되는 파가 헤테로다인(hetrodyne) 되고, 그러므로 측정 결과를 평가하기가 어려워지거나 그 평가에 있어 상당한 왜곡이 발생한다.

위와 같은 방해 효과를 피하기 위해, 기하학적으로 한정된 마이크로파 공진기를 활용하는 시스템이 개발되었다. 이와 같은 종류의 장치는 유럽 공개 특허 공보 제0,669,522 A2호에 설명되어 있는데, 그 설명을 보면, 분말-가스 혼합물 내의 분말-질량체 유동이 공급 덕트를 통하여 공급되는 중에 측정된다. 이 시스템에서, 마이크로파 공진기는 공급 덕트의 외부에 설치되기도 하고 캐비티(cavity) 공진기방식으로 공급 덕트를 둘러싸기도 한다. 공급 덕트의 외부에 장착된 캐비티 공진기에 의하면, 분말-가스 혼합물의 유동의 일부만이 측정된다. 흔히 있는 대용적 공급 덕트의 경우에 공급 덕트의 단면에 걸쳐서 분말-가스 혼합물의 입자 부하가 각기 다른 경우나, 때에 따라서는 입자 농도를 증가시키는 비결을 고려해야 하는 경우, 공급 덕트의 외부에 장착된 캐비티 공진기로부터 유도된 측정 결과에는 유의적인 오류들이 있을 수 있다. 덕트를 둘러싸는 캐비티 공진기에 의하면 그와 같은 오류들이 발생하지 않는다. 그러나, 그러한 공진기들은 구조적으로 상당한 복잡성을 수반하게 되고, 대용적 공급 덕트에서는 통상적으로 공간 부족으로 인해 실현될 수가 없다. 따라서, 이와 같은 장치의 적용은 일례로 파워 코팅(power coating) 장치와 같이 공급 단면이 비교적 작은 분야로 한정된다.

상기 유럽 특허 공보에 개시된 시스템을 한층 발전시킨 것으로서, 독일 특허 제196 50 112 C1호는 구조적 복잡성이 비교적 작은 마이크로파 공진기를 개시하고 있다. 이 공진기는, 기본적으로, 비전도성 부분을 둘러싸는 원통형 코일로 구성되고 전기 전도성 실린더로 외부가 차폐된다(나선형 공진기). 코일은 고주파 교류 전압(마이크로파 범위)에 의해 공진된다. 잘 알려져 있는 바와 같이, 공진 주파수 전류의 쉬프트를 평가하게 되면 분말 질량체 유동을 결정하는 것이 가능해진다. 이와 같은 장치도 역시, 전기 전도성 재료(금속)로 이루어지는 것이 일반적인 대용적 공급 덕트와 관련해서는 사용할 수 없고, 공급 덕트의 일부가 비전도성 재료로 만들어져야 함에 따라 상당한 구조적 복잡성도 수반된다. 관련된 구조적 크기와 결과적으로 생긴 공진 주파수가 낮다는 관점에서 보면, 코일과 전기 전도성 차폐체로 이루어진 나선형 공진기는 부피가 아주 크다.

미국 특허 제5,351,521호는 수송 관로 내의 가스-오일-물 혼합물의 비율을 정하기 위해서 복합 유전 상수의 큰 변화를 측정하는 시스템에 대하여 개시하고 있다. 이는 직경이 감소되는 형태의 단(段)이 형성된 연속하는 마디 관(pipe section)들을 수송 관로 내에 연속적으로 배치함으로써 달성된다. 마디 관들의 감소되는 직경에 따라서 입력 마이크로파의 각기 다른 한계치 주파수들과 그에 따른 각기 다른 주파수 범위를 측정하고 평가하기 위하여 마디 관들 내에 측정 전극이 배치된다. 이와 같은 마디 관들은 이들 마디 관들 각각의 외벽과 수송 관로의 내벽과의 사이에서 방사상으로 연장되는 전기 전도성 봉에 의해 지지된다. 전기 전도성 봉들을 개시된 바와 같이 배치하게 되면 입력 마이크로파가 수송 관로의 내벽과 마디 관들의 외벽과의 사이의 공간을 통과하는 것이 방지된다. 이러한 배치는 측정 범위가 비교적 크다는 것이 특징이다. 그러나, 일례로 석탄 연료 발전소의 미분탄 연소 시스템에서 사용되는 종류와 같은 대용적의 공압 고체 운송 시스템에서 고체 입자들로 이루어진 가스류 내의 부하를 한정하는 바람직한 적용례에 있어서는 그 도달 가능한 측정 정확도가 충분치 않다. 더욱이, 마디 관들을 수송 관로 내에 설치함으로 인해 복잡해지며 수송 관로 내의 유동 상태에 유의적인 영향이 가해진다.

본 발명은 작고 미세한 고체 입자 및/또는 액체 입자들이 있는 가스상 운반 매체를 포함하는 2상류의 부하를 결정하며 유동 유체 내에 함유된 가스를 결정하기 위한 마이크로파 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 적용 분야는 일례로 석탄 연료 발전소의 미분탄 로에 사용되는 종류의 대용적 공압 고체 이송 시스템에서의 고체 입자를 갖는 가스류의 부하를 결정하는 것과 관련된다.

도 1은 본 발명에 다른 마이크로파 측정 장치가 설치된 공급 덕트 부분을 개략적으로 도시하는 도면이다.

본 발명의 목적은, 높은 측정 정밀도에서 경제적으로 실현될 수 있으며 적용성이 넓으며 낮은 부하나 낮은 부하 차이에서 대용적 공급 덕트에 적용하기에 특히적합한 것으로서, 작고 미세한 고체 입자 및/또는 액체 입자들이 있는 가스상 운반 매체를 포함하는 2상류의 부하를 결정하며 유동 유체 내에 함유된 가스를 한정하기 위한 마이크로파 측정 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은, 비교적 간단한 구조로 되어 있어서 간단한 방식으로 결합될 수 있으며 공급 덕트의 전체 유동 단면이 항상 측정 대상에 포함되게 한 마이크로파 측정 장치를 개발하기 위한 것이다.

본 발명에 따르면, 본 발명의 목적은, 작고 미세한 고체 입자 및/또는 액체 입자들이 있는 가스상 운반 매체를 포함하는 2상류의 부하를 결정하며 유동 유체 내에 함유된 가스를 결정하기 위한 마이크로파 측정 장치에 있어서, 전기 전도성 재료로 제조된 공급 덕트의 일 부분 안에, 주파수, 진폭 및/또는 위상이 측정 경로를 따라 변화되는 마이크로파를 수신하기 위한 수신 안테나와 마이크로파를 공급 덕트 안으로 입력하는 송신 안테나에 의해 정해진 측정 경로의 앞과 뒤의 위치에, 전기 전도성 봉(이하, 필드 봉(field rod)이라 칭함)을 공급 덕트의 길이 방향으로 삽입함으로써, 필드 봉들에 의해 한정된 공급 덕트 부분이 그 필드 봉들과 연관되어서 입력 마이크로파용의 공진기로서 작용하는 것에 의해서 달성된다. 필드 봉들 간의 간격과, 그에 따라 필드 봉들에 의해 구획된 공급 덕트 부분이 공진기의 공진 주파수를 결정하게 된다.

필드 봉들은 대략 입력 마이크로파의 분극 표면 내에 배치되며 또한 같은 방향을 향하거나 혹은 반대로 향하게 하여 전기 전도성 공급 덕트의 횡단면에 배치된다. 필드 봉들은 반경 방향으로 향하거나 혹은 횡단면의 중심과 교차하도록 배열되어야 한다. 필드 봉의 길이는 적어도 횡단면의 중심까지는 연장되게 하거나, 바람직하기로는 횡단면을 2/3 관통하여 연장되게 한다.

본 발명의 기능을 위해서, 필드 봉들과 연관되어서 마이크로파 공진기로 작용하는 공급 관 부분의 단면을 굳이 원형으로까지 할 필요는 없다. 횡단면은 타원형, 정방형, 장방형, 또는 다각형으로 할 수도 있다. 본 발명과 관련하여, 직경이라는 용어는 공급 덕트의 양 벽면 요소들 간의 평균 거리를 나타내는 것으로 이해해야 한다.

측정 결과의 비모호성과 도달 가능한 측정 정확도와 관련하여, 입력 마이크로파의 주파수는 도파관의 기본 파에 상당해야 하는 것이 바람직하다.

유전 상수의 변화를 정하고 그에 따라 부하를 결정하기 위하여 도파관 기본 파를 바람직하게 사용하는 것에서부터 설명을 시작하면, 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 측정 경로의 거리는 공급 덕트 부분의 평균 직경의 0.8 내지 3배, 바람직하기로는 1.5배가 되게 해야 한다. 필드 봉은 송신 안테나의 앞과 수신 안테나의 뒤에서 공급 덕트의 길이 방향으로 정렬된다. 그러면 필드 봉과 전기 전도성 공급 덕트 부분으로 이루어지는 전기 시스템이 도파관의 기본 파용 공진기로서 작용하게 된다.

측정 부분 외측이나 공급 덕트 내에서 분극 및/또는 위상 위치의 평면에서 반사, 회절 및 헤테로다이닝에 의해 이미 변환되어서 측정 결과의 왜곡을 야기할지도 모르는 마이크로파는 필드 봉에 의해서 실질적으로 단락된다.

필드 봉의 이와 같은 효과를 외에, 마이크로파의 전기장 강도가 필드 봉의위치에서는 영(0)이 된다. 측정 경로를 포함하며 입력 마이크로파용 공진기 역할을 하는 공급 덕트의 부분 안으로 위와 같은 마이크로파가 전파되어서 측정 결과의 왜곡이 야기되는 것을 방지하기 위해서는, 필드 봉들에 의해 범위가 정해진 공급 덕트 부분의 앞뒤로 보조 필드 봉을 제공하는 것이 효과적이다. 보조 필드 봉은 다른 필드 봉들과 같은 방향이나 혹은 반대 방향으로 배치되며, 입력 마이크로파의 분극 평면 내에 배치된다.

필드 봉과 공급 덕트 부분에 의해 형성된 입력 마이크로파용 공진기와 필드 봉들로부터의 보조 필드 봉까지의 거리는, 필드 봉에서 전기장 강도가 영인 마이크로파가 공진기 외측에서 단락될 수 있도록 하는 크기로 한다. 공진기의 공진 주파수의 파장의 1/8에 상당하는 거리가 적절한데, 그 이유로는 공진기의 공진 주파수의 2배 또는 3배인 마이크로파는 실질적으로 단락되기 때문이다. 보조 필드 봉들의 길이는 필드 봉들의 길이에 상당하여야 한다.

부하를 정하는 중공 도파관의 기본 파를 바람직하게 이용하는 것과 관련하여, 보조 필드 봉들은 공급 덕트 부분의 평균 직경의 7/8의 거리로 필드 봉들로부터 이격시켜 배치해야 한다.

더욱이 특히 대칭 단면(원형, 정방형, 다각형)인 공급 덕트와 관련해서는, 보조 필드 봉들을 측정 경로의 중심에, 다른 필드 봉의 횡단면과 분극 평면에 대해 90도 회전시켜서 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같은 방식에서는, 측정 경로의 도파관 특성이 입력 마이크로파의 분극 평면에 대해 수직으로 변화하고, 그에 따라 공진기의 공진 주파수의 범위에서는 마이크로파가 입력 마이크로파에 대해 분극 평면에서 90도 회전된 결과로 인해 아무런 공진 효과가 발생하지 않는다.

공급 덕트 부분이 그 종축에 대해 직선인 것은 본 발명의 기능과 관련하여서는 중요치 않다. 본 발명에 따른 마이크로파 측정 장치의 기능은 공급 덕트 부분이 그 종축에 대해 곡형이거나 절곡되어 있다 해도 변하지 않는다.

본 발명의 일 실시 태양을 구성하는 것으로서, 특히 공급 덕트 단면이 아주 큰 경우에는 각각의 횡단면들에 대해서 다수의 필드 봉들을 일례로 격자형으로 배치하는 것도 생각할 수 있다. 횡단면 내에 다수의 필드 봉들을 배치함에 있어서는, 필드 봉들을 횡단면의 중심으로 지향시키거나 혹은 그와 교차하게 할 필요까지는 없다. 그러나, 이 경우에도 필드 봉들은 입력 마이크로파의 분극 평면에 위치되어야 한다.

본 발명에 따른 측정 장치의 특별한 이점은 비교적 간단하고 그에 따라 효율적 비용으로 건조될 수 있다는 것이다. 거의 모든 크기의 공급 덕트에 맞게 건조할 수 있다. 본 발명에 따른 측정 장치는 또한 공간적으로 어려운 조건하에서도 전혀 어려움 없이 구성할 수 있다. 본 발명의 발명자들은 본 발명에 따른 측정 장치로 얻은 측정 결과는 종래의 마이크로파 측정 방법을 이용하여도 놀라울 정도로 정확하다는 점을 발견하였다.

이하에서는 본 발명에 따른 마이크로파 측정 장치를 일 실시예에 기초하여서 상세하게 설명한다.

부분 단면도로 도시하고 있는 도 1은 미분탄을 공압으로 수송하는 공급 덕트(1)의 일 부분을 도시하고 있다. 공급 덕트(1)는 석탄 연료 발전소의 미분탄 연소로에 통상적으로 사용되는 종류의 것이다. 공급 덕트(1)는 내식성 강으로 이루어져 있다. 공급 덕트는 직경 D=200mm인 대략 원형 단면으로 되어 있다. 공급 덕트(1)의 외부로부터 내부로 연장되는 것으로는, 공급 덕트(1)의 종방향에서 300mm의 간격으로 연속하여 장착되어 측정 경로(S)를 형성하는, 송신 안테나(2)와 수신 안테나(3)가 있다. 840 내지 860 MHz 주파수의 마이크로파가 송신 안테나(2)에 의해 연결된다. 이 마이크로파는 공급 덕트(1)의 도파관 기본 파에 상당한다. 공급 덕트(1)의 길이 방향에서 송신 안테나(2)의 앞과 수신 안테나(3)의 뒤에는, 입력 마이크로파의 분극 평면에서 공급 덕트(1) 안쪽을 향하여 반경 방향으로 연장되는 필드 봉(4, 5)이 있다. 필드 봉(4, 5)은 서로에 대해서는 700mm의 거리(Fa)로 이격되어 있고 송신 안테나(2)와 수신 안테나(3)로부터는 200mm의 거리로 이격되어 있다. 필드 봉은 공급 덕트(1)의 길이 방향에서 송신 안테나(2) 및 수신 안테나(3)와 정렬된다. 필드 봉의 길이는 140mm이다. 필드 봉(4, 5)은 직경이 4mm인 내마모성 둥근 강으로 이루어져 있다. 공급 덕트(1)의 부분 내에 필드 봉(4, 5)을 배치하여 상기한 바와 같이 구성한 시스템은 도파관 기본 파의 마이크로파용의 공진기로서 기능한다. 이러한 방식에 있어서, 송신 안테나(2)에 의해 공급 덕트(1)에 연결되며 측정 경로(S)의 밖에서는 분극 평면 및/또는 위상 위치의 회절,반사 및/또는 헤테로다이닝의 결과로서 변동을 겪게 되는 마이크로파는 단락되어서, 수신 안테나(3)로 전송되지 않고 그에 따라 측정 결과에 악영향을 미치지 않는다. 그러나 필드 봉의 위치에서 전기장 강도가 영인 반사 또는 헤테로다인 된 마이크로파는 위에서 설명한 바와 같은 측정 장치에 의해서는 단락되지 않고, 따라서 측정 결과가 왜곡되는 수가 있다. 이를 방지하기 위해서, 공급 덕트(1) 부분의 내부를 향하여 반경 방향으로 연장하는 보조 필드 봉(6, 7)을 필드 봉(4, 5)에 의해 영역이 정해진 공급 덕트(1) 부분의 앞과 뒤에 장착한다. 또한, 보조 필드 봉(6, 7)은 입력 마이크로파의 분극 평면에 배치된다. 보조 필드 봉(6, 7)은 공급 덕트(1)의 길이 방향에서 필드 봉(4, 5)으로부터 175mm인 간격(Fb, Fc)으로 각각 이격된다. 보조 필드 봉의 길이는 필드 봉(4, 5)과 마찬가지로 140mm이다. 더욱이, 길이 방향에서 측정 경로(S)의 대략 중심에는, 보조 필드 봉(8)이 횡단면 평면 내에 필드 봉에 대해서 90도 회전된 상태, 결국은 입력 마이크로파의 분극 평면에 대해서 90도 회전된 상태로 설치되어 있다. 보조 필드 봉(8)의 목적은 분극 평면에서 필드 봉(4, 5)에 대해 90도 만큼 회전된 반사 마이크로파의 공진 영향이 필드 봉(4, 5)과 공급 덕트(1) 부분에 의해서 형성된 공진기 내에 미치는 것을 방지하기 위한 것이다.

Claims (13)

1. 작고 미세한 고체 입자 및/또는 액체 입자들이 있는 가스상 운반 매체를 포함하는 2상류의 부하를 결정하며 유동 유체 내에 함유된 가스를 결정하기 위한 마이크로파 측정 장치로서, 2상 혼합물을 수송하는 전기 전도성 재료로 제조된 공급 덕트 시스템의 종방향에서 서로 일정한 거리로 이격 배치되어 측정 경로를 형성하는 송신 안테나와 수신 안테나가 설치되어 있는 마이크로파 측정 장치에 있어서,

   전기 전도성 재료로 이루어진 필드 봉(4, 5)이 공급 덕트(1)의 내부에 공급 경로(S)의 앞과 뒤에서 종방향으로 정렬되고,

   상기 필드 봉(4, 5)과, 공급 덕트(1)의 종방향에서 상기 필드 봉들 사이에 있는 공급 덕트 부분(Fa)이 주입 마이크로파용의 공진기로서 작용하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 필드 봉(4, 5)들이 공급 덕트 부분(Fa)의 횡단면 내에 배치되고 같은 방향이나 반대 방향으로 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 필드 봉들이 공급 덕트 부분(Fa)의 횡단면의 대략 중심을 향하거나 그와 교차하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
4. 선행하는 항들 중 어느 한 항에 있어서, 공급 덕트(1) 안으로 연장되는 상기 필드 봉(4, 5)들이 공급 덕트 부분(Fa)의 횡단면의 적어도 1/2 가로질러 연장되고 바람직하기로는 2/3 이상을 가로질러 연장된 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
5. 선행하는 항들 중 어느 한 항에 있어서, 필드 봉(4, 5)들에 의해 구획된 공급 덕트 부분(Fa)의 앞과 뒤에 보조 필드 봉(6, 7)이 설치된 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
6. 제5항에 있어서, 보조 필드 봉(6, 7)들이 필드 봉(4, 5)과 나란히 배치되고, 그 배치 방향은 같은 방향이거나 반대 방향인 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 보조 필드 봉(6, 7)은, 필드 봉(4, 5)과 공급 덕트 부분(Fa)에 의해 형성된 공진기의 공진 주파수의 파장의 약 1/8의 거리(Fb, Fc)로, 필드 봉(4, 5)에 대해 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 보조 필드 봉(6, 7)의 길이는 필드 봉(4, 5)의 길이에 상당하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
9. 선행하는 항들 중 어느 한 항에 있어서, 송신 안테나(2)와 수신 안테나(3)의 대략 중간부에는 필드 봉(4, 5)에 대해서 90도 회전된 보조 필드 봉(8)이 공급 덕트(1)의 부분의 횡단면에 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
10. 선행하는 항들 중 어느 한 항에 있어서, 공급 덕트 부분(Fa)의 횡단면에 하나의 필드 봉(4, 5) 대신에 2개 이상의 필드 봉들이 서로 평행하게 배치된 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
11. 제1항에 있어서, 송신 안테나(2)와 수신 안테나(3) 사이에 배치된 측정 경로(S)는 공급 덕트 부분(Fa)의 0.8 내지 3배, 바람직하기로는 1.5배인 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
12. 제11항에 있어서, 필드 봉(4)과 송신 안테나(2)와의 사이 거리(A) 또는 수신 안테나(3)와 필드 봉(5)과의 사이 거리(B)가 공급 덕트 부분(Fa)의 평균 직경(D)에 거의 상당하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 측정 장치.
13. 제5항, 제11항, 또는 제12항에 있어서, 마이크로파 측정 장치가 도파관 기본 파를 이용하여 부하를 결정하는 장치이고, 보조 필드 봉(6, 7)과 필드 봉(4, 5) 사이의 거리(Fb, Fc)가 공급 덕트 부분(Fa)의 평균 직경에 상당하는 것을 특징으로하는 마이크로파 측정 장치.