KR20040063285A - 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (28)
- 플라즈마 발생 장치에 있어서,고주파 전원을 공급받아 고주파 정합하는 고주파 정합기;상기 고주파 정합기로부터 고주파 전원을 공급받아 전자기장을 발생하며, 서로 다른 전자기적 특성을 갖는 제 1 안테나 코일과 제 2 안테나 코일이 병렬로 연결된 안테나 코일; 및상기 안테나 코일로부터 발생된 전자기장을 진공 챔버 내부로 공급하며 소정의 유전율을 갖는 유전체 판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 고주파 정합기의 출력 단자(A)와 접지전압(Vss) 사이에 접속된 제 1 안테나 코일; 및상기 출력 단자(A)와 상기 접지전압(Vss) 사이에 상기 제 1 안테나 코일과 병렬로 접속되며, 병렬로 접속된 복수개의 안테나 코일로 이루어진 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 유전체 판 위의 가장자리 부분에 개로 형상을 갖는 원형 구조로 형성되며, 일측 종단은 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 상기 접지전압에 연결된 제 1 안테나 코일; 및상기 제 1 안테나 코일 아래에 상기 제 1 안테나 코일과 병렬되며 커브 형태로 병렬로 연결된 복수개의 안테나 코일로 이루어지고, 상기 커브 형태를 갖는 각각의 안테나 코일은 그 일측 종단이 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 접지전압에 연결된 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 1 안테나 코일은 1개 이상의 안테나 코일이 병렬 또는 직렬로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 2 안테나 코일은 적어도 2개 이상의 안테나 코일로 이루어지며,상기 적어도 2개 이상의 안테나 코일의 커브(Curved) 각도는 180도 이상 360도 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 유전체 판 위의 가장자리 부분에 개로 형상을 갖는 다각형 구조로 형성되며, 일측 종단은 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 상기 접지전압에 연결된 제 1 안테나 코일; 및상기 제 1 안테나 코일 아래에 상기 제 1 안테나 코일과 병렬로 연결되며 다각형 구조로 병렬로 연결된 복수개의 안테나 코일로 이루어지고, 상기 다각형 구조를 갖는 각각의 안테나 코일은 그 일측 종단이 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 접지전압에 연결된 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 제 1 안테나 코일은 1개 이상의 안테나 코일이 병렬 또는 직렬로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 플라즈마 발생 장치에 있어서,고주파 전원을 공급받아 고주파 정합하는 고주파 정합기;상기 고주파 정합기로부터 고주파 전원을 공급받아 전자기장을 발생하며, 서로 다른 전자기적 특성을 갖는 제 1 안테나 코일과 제 2 안테나 코일이 직렬로 연결된 안테나 코일; 및상기 안테나 코일로부터 발생된 전자기장을 진공 챔버 내부로 공급하며 소정의 유전율을 갖는 유전체 판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 8 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 고주파 정합기의 출력 단자(A)와 B 노드 사이에 접속된 제 1 안테나 코일; 및상기 B 노드와 상기 접지전압(Vss) 사이에 병렬 접속된 복수개의 안테나 코일로 이루어진 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 유전체 판 위의 가장자리 부분에 개로 형상을 갖는 원형 구조로 형성되며, 일측 종단은 상기 고주파 정합기의 출력 단자(A)에 연결되고 타측 종단은 상기 B 노드에 연결된 제 1 안테나 코일; 및상기 제 1 안테나 코일 아래에 상기 제 1 안테나 코일과 직렬로 연결되며 커브 형태로 병렬로 연결된 복수개의 안테나 코일로 이루어지고, 상기 커브 형태를 갖는 각각의 안테나 코일은 그 일측 종단이 상기 B 노드에 연결되고 타측 종단은 접지전압에 연결된 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 1 안테나 코일은 1개 이상의 안테나 코일이 병렬 또는 직렬로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 2 안테나 코일은 적어도 2개 이상의 안테나 코일로 이루어지며,상기 적어도 2개 이상의 안테나 코일의 커브 각도는 180도 이상 360도 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 유전체 판 위의 가장자리 부분에 개로 형상을 갖는 다각형 구조로 형성되며, 일측 종단은 상기 고주파 정합기의 출력 단자(A)에 연결되고 타측 종단은 상기 B 노드에 연결된 제 1 안테나 코일; 및상기 제 1 안테나 코일 아래에 상기 제 1 안테나 코일과 직렬로 연결되며 다각형 구조로 병렬로 연결된 복수개의 안테나 코일로 이루어지고, 상기 다각형 구조를 갖는 각각의 안테나 코일은 그 일측 종단이 상기 B 노드에 연결되고 타측 종단은 접지전압에 연결된 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 제 1 안테나 코일은 1개 이상의 안테나 코일이 병렬 또는 직렬로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치.
- 플라즈마 발생 방법에 있어서,플라즈마를 발생하기 위한 고주파 전원을 공급하는 단계;상기 고주파 전원을 수신하며, 서로 다른 전자기적 특성을 갖는 제 1 안테나 코일과 제 2 안테나 코일이 병렬로 구성된 안테나 코일에 의해 전자기장을 발생하는 단계; 및상기 안테나 코일로부터 발생된 전자기장을 진공 챔버 내부로 공급하여 상기 진공 챔버 내부에 공급된 반응 가스를 여기시켜 플라즈마를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 고주파 전원을 공급하는 고주파 정합기의 출력 단자(A)와 접지전압(Vss) 사이에 접속된 제 1 안테나 코일; 및상기 출력 단자(A)와 상기 접지전압(Vss) 사이에 상기 제 1 안테나 코일과 병렬로 접속되며, 병렬로 접속된 복수개의 안테나 코일로 이루어진 제 2 안테나 코일을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 제 16 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 유전체 판 위의 가장자리 부분에 개로 형상을 갖는 원형 구조로 형성되며, 일측 종단은 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 상기 접지전압에 연결된 제 1 안테나 코일; 및상기 제 1 안테나 코일 아래에 상기 제 1 안테나 코일과 병렬되며 커브 형태로 병렬로 연결된 복수개의 안테나 코일로 이루어지고, 상기 커브 형태를 갖는 각각의 안테나 코일은 그 일측 종단이 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 접지전압에 연결된 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 제 1 안테나 코일은 1개 이상의 안테나 코일이 병렬 또는 직렬로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 제 17 항에 있어서,상기 제 2 안테나 코일은 적어도 2개 이상의 안테나 코일로 이루어지며,상기 적어도 2개 이상의 안테나 코일의 커브 각도는 180도 이상 360도 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 제 16 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 유전체 판 위의 가장자리 부분에 개로 형상을 갖는 다각형 구조로 형성되며, 일측 종단은 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 상기 접지전압에 연결된 제 1 안테나 코일; 및상기 제 1 안테나 코일 아래에 상기 제 1 안테나 코일과 병렬로 연결되며 다각형 구조로 병렬로 연결된 복수개의 안테나 코일로 이루어지고, 상기 다각형 구조를 갖는 각각의 안테나 코일은 그 일측 종단이 상기 고주파 정합기에 연결되고 타측 종단은 접지전압에 연결된 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 제 1 안테나 코일은 1개 이상의 안테나 코일이 병렬 또는 직렬로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 플라즈마 발생 방법에 있어서,플라즈마를 발생하기 위한 고주파 전원을 공급하는 단계;상기 고주파 전원을 수신하며, 서로 다른 전자기적 특성을 갖는 제 1 안테나 코일과 제 2 안테나 코일이 직렬로 구성된 안테나 코일에 의해 전자기장을 발생하는 단계; 및상기 안테나 코일로부터 발생된 전자기장을 진공 챔버 내부로 공급하여 상기 진공 챔버 내부에 공급된 반응 가스를 여기시켜 플라즈마를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
- 제 22 항에 있어서, 상기 안테나 코일은,상기 고주파 전원을 공급하는 고주파 정합기의 출력 단자(A)와 B 노드 사이에 접속된 제 1 안테나 코일; 및상기 B 노드와 상기 접지전압(Vss) 사이에 병렬 접속된 복수개의 안테나 코일로 이루어진 제 2 안테나 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
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- 제 27 항에 있어서,상기 제 1 안테나 코일은 1개 이상의 안테나 코일이 병렬 또는 직렬로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 방법.
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