KR20040061601A - Array substrate for LCD and method for fabricating of the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An array substrate of an LCD(liquid crystal display) and a method for manufacturing the array substrate are provided to repair gate lines and data lines using a metal black matrix. CONSTITUTION: An array substrate of an LCD includes an insulating substrate(200), a black matrix pattern(203a,203b) including a repair line, a color filter pattern layer formed on the black matrix pattern, a planarization layer formed on the color filter pattern layer, and a gate line(207) that is located on the planarization layer and includes a gate pad formed at one end of the gate line. The array substrate further includes a gate insulating layer formed on the gate pad and gate line, a data line(209a) that intersects the gate line to define a pixel region and includes a data pad(235a) formed at one end of the data line, and a thin film transistor that is formed at the intersection of the gate line and data line and includes a gate electrode(215), a semiconductor layer, source and drain electrodes(220,225). The array substrate also has a passivation layer that is formed on the overall surface of the substrate and exposes the gate pad and data pad, and a pixel electrode(227) formed at the pixel region and connected to the drain electrode.

Description

액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법{Array substrate for LCD and method for fabricating of the same}Array substrate for LCD and manufacturing method thereof {Array substrate for LCD and method for fabricating of the same}

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, BM을 이용한 리페어 배선을 포함하는 TOC(TFT array on Color filter)구조 액정표시장치와 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a TFT array on color filter (TOC) structure liquid crystal display device including a repair wiring using BM and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 액정표시장치는 액정분자의 광학적 이방성과 복굴절 특성을 이용하여 화상을 표현하는 것으로, 전계가 인가되면 액정의 배열이 달라지고 달라진액정의 배열 방향에 따라 빛이 투과되는 특성 또한 달라진다.In general, a liquid crystal display device displays an image by using optical anisotropy and birefringence characteristics of liquid crystal molecules. When an electric field is applied, the alignment of liquid crystals is changed, and the characteristics of light transmission vary according to the arrangement direction of the changed liquid crystals.

일반적으로, 액정표시장치는 전계 생성 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device is formed by arranging two substrates on which electric field generating electrodes are formed so that the surfaces on which the two electrodes are formed face each other, injecting a liquid crystal material between the two substrates, and then applying a voltage to the two electrodes. By moving the liquid crystal molecules by the electric field is a device that represents the image by the transmittance of light that varies accordingly.

도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a general liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 일반적인 컬러 액정표시장치(11)는 서브 컬러필터(8)와 각 서브 컬러필터(8)사이에 구성된 블랙 매트릭스(6)를 포함하는 컬러필터(7)와 상기 컬러필터(7)의 상부에 증착된 공통전극(18)이 형성된 상부기판(5)과, 화소영역(P)이 정의되고 화소영역에는 화소전극(17)과 스위칭소자(T)가 구성되며, 화소영역(P)의 주변으로 어레이배선이 형성된 하부기판(22)과, 상부기판(5)과 하부기판(22) 사이에는 액정(14)이 충진되어 있다.As shown, a general color liquid crystal display 11 includes a color filter 7 and a color filter 7 including a black matrix 6 formed between a sub color filter 8 and each sub color filter 8. The upper substrate 5 having the common electrode 18 deposited thereon, the pixel region P, and the pixel electrode 17 and the switching element T formed in the pixel region, and the pixel region P The liquid crystal 14 is filled between the lower substrate 22 and the upper substrate 5 and the lower substrate 22 on which array wiring is formed.

상기 하부기판(22)은 어레이기판(array substrate)이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터(TFT)를 교차하여 지나가는 게이트배선(13)과 데이터배선(15)이 형성된다.The lower substrate 22 is also referred to as an array substrate, and the thin film transistor T, which is a switching element, is positioned in a matrix type, and the gate wiring 13 crosses the plurality of thin film transistors TFT. ) And data wirings 15 are formed.

이때, 상기 화소영역(P)은 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(15)이 교차하여 정의되는 영역이며, 상기 화소영역(P)상에는 전술한 바와 같이 투명한 화소전극(17)이 형성된다.In this case, the pixel area P is an area defined by the gate wiring 13 and the data wiring 15 intersecting. A transparent pixel electrode 17 is formed on the pixel area P as described above.

상기 화소전극(17)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성금속을 사용한다.The pixel electrode 17 uses a transparent conductive metal having a relatively high transmittance of light, such as indium-tin-oxide (ITO).

상기 화소전극(17)과 병렬로 연결된 스토리지 캐패시터(C)가 게이트 배선(13)의 상부에 구성되며, 스토리지 캐패시터(C)의 제 1 전극으로 게이트 배선(13)의 일부를 사용하고, 제 2 전극으로 소스 및 드레인 전극과 동일층 동일물질로 형성된 아일랜드 형상의 소스 및 드레인 금속층(30)을 사용한다.A storage capacitor C connected in parallel with the pixel electrode 17 is formed on the gate wiring 13, and a part of the gate wiring 13 is used as the first electrode of the storage capacitor C, and a second As an electrode, an island-shaped source and drain metal layer 30 formed of the same material as the source and drain electrodes is used.

이때, 상기 소스 및 드레인 금속층(30)은 화소전극(17)과 접촉되어 화소전극의 신호를 받도록 구성된다.In this case, the source and drain metal layers 30 may be in contact with the pixel electrode 17 to receive a signal of the pixel electrode.

전술한 바와 같이 상부 컬러필터 기판(5)과 하부 어레이기판(22)을 합착하여액정패널을 제작하는 경우에는, 컬러필터 기판(5)과 어레이기판(22)의 합착 오차에 의한 빛샘 불량 등이 발생할 확률이 매우 높다.As described above, when the upper color filter substrate 5 and the lower array substrate 22 are bonded to each other to produce a liquid crystal panel, light leakage defects due to the bonding error between the color filter substrate 5 and the array substrate 22 may be reduced. It is very likely to occur.

전술한 문제를 해결하고자 컬러필터와 박막 트랜지스터를 한 기판에 구성하여 합착 오차 및 빛샘 불량의 발생 문제를 해결하였다.In order to solve the above problems, the color filter and the thin film transistor are configured on one substrate to solve the problem of occurrence of adhesion error and light leakage defect.

이하, 상기 TOC구조 액정표시장치의 어레이 기판에 대해 설명한다.Hereinafter, an array substrate of the TOC structure liquid crystal display device will be described.

도시한 바와 같이, 제 1 방향으로 게이트 배선(53)이 형성되어 있고, 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 데이터 배선(57)이 형성되어 있으며, 게이트 배선(53) 및 데이터 배선(57)이 교차하여 화소영역(P)을 정의한다.As shown, the gate wiring 53 is formed in the first direction, the data wiring 57 is formed in the second direction crossing the first direction, and the gate wiring 53 and the data wiring 57 are formed. The intersection defines the pixel region P. FIG.

상기 게이트 배선(53) 및 데이터 배선(57)의 일끝단에는 각각 게이트 패드(60) 및 데이터 패드(63)가 형성되어 있다.Gate pads 60 and data pads 63 are formed at one end of the gate line 53 and the data line 57, respectively.

상기 게이트 배선(53) 및 데이터 배선(57)이 교차되는 지점에는 박막트랜지스터가 형성되어 있고, 박막트랜지스터와 연결되어 화소 전극(70)이 형성되어 있다.A thin film transistor is formed at the point where the gate line 53 and the data line 57 cross each other, and the pixel electrode 70 is formed by being connected to the thin film transistor.

상기 박막트랜지스터에는, 상기 게이트 배선(53)에서 분기된 게이트 전극(55)과, 상기 데이터 배선(57)에서 분기된 소스 전극(65)과, 상기 소스 전극(65)과 일정간격 이격된 드레인 전극(67)으로 이루어진다.The thin film transistor includes a gate electrode 55 branched from the gate line 53, a source electrode 65 branched from the data line 57, and a drain electrode spaced apart from the source electrode 65 at a predetermined interval. It consists of (67).

상기 화소 전극(70)은 전단 게이트 배선(53)과 일부 중첩되게 구성되고, 상기 화소 전극(70)과 중첩되는 게이트 배선(53) 영역은 캐패시터 전극을 이루고 있다. 그리고, 도면에서 빗금친 영역은 블랙매트릭스(45) 형성부에 해당되며, 상기 블랙매트릭스(45)는 게이트 배선(53) 및 데이터 배선(55) 그리고, 박막트랜지스터(T)를 덮는 영역 및 화소 전극(70)을 테두리부를 덮는 영역에 위치하고, 화소 영역(P)의 메인 영역을 노출시킨다.The pixel electrode 70 partially overlaps the front gate line 53, and a region of the gate line 53 overlapping the pixel electrode 70 forms a capacitor electrode. In addition, the hatched region corresponds to the black matrix 45 forming portion, and the black matrix 45 includes a gate wiring 53, a data wiring 55, and a region covering the thin film transistor T and the pixel electrode. 70 is positioned in an area covering the edge portion, and the main area of the pixel area P is exposed.

도 3 내지 6은 도 2의 I-I', II-II', III-III'에 따라 절단한 공정 단면도이다.3 to 6 are cross-sectional views taken along the lines II ′, II-II ′, and III-III ′ of FIG. 2.

도시한 바와 같이, 투명한 절연기판(40) 위에 빛샘을 방지하는 BM패턴(45)이 형성되어 있고, 상기 BM패턴(45)위로 경계를 이루는 적(R), 녹(G), 청(B)의 칼라 필터 패턴(47)과 상기 칼라 필터 패턴(47) 위로 투명 유기 절연물의 평탄화막(49)이 형성되어 있다. 상기 평탄화막(49) 상부에는 금속과 같은 도전 물질로 게이트 전극(55a)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(56)이 게이트 전극(55a)을 덮고 있다. 게이트 전극(55a) 상부의 게이트 절연막(56) 위에는 액티브층(59a)을 이루는 반도체층(59)이 형성되어 있으며, 상기 반도체층(59) 상부에는 소스 및 드레인 전극(65, 67)이 형성되어 있는데, 소스 및 드레인 전극(65, 67)은 게이트 전극(55a)과 함께 박막 트랜지스터를 이룬다. 이어, 소스 및 드레인 전극(65, 67) 위에는 드레인 전극(67)을 노출시키는 드레인 전극 콘택홀(68)을 갖는 보호층(69)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(69) 위로 투명 도전 물질로 이루어진 화소 전극(70)이 형성되어 있는데, 상기 화소 전극(70)은 드레인 전극 콘택홀(68)을 통해 드레인 전극(67)과 연결되어 있다.As shown in the figure, a BM pattern 45 is formed on the transparent insulating substrate 40 to prevent light leakage, and red, green, and blue (B) bordering on the BM pattern 45 are formed. The planarization film 49 of the transparent organic insulator is formed on the color filter pattern 47 and the color filter pattern 47. The gate electrode 55a is formed of a conductive material such as a metal on the planarization layer 49, and the gate insulating layer 56 covers the gate electrode 55a. The semiconductor layer 59 forming the active layer 59a is formed on the gate insulating layer 56 on the gate electrode 55a, and the source and drain electrodes 65 and 67 are formed on the semiconductor layer 59. The source and drain electrodes 65 and 67 together with the gate electrode 55a form a thin film transistor. Subsequently, a passivation layer 69 having a drain electrode contact hole 68 exposing the drain electrode 67 is formed on the source and drain electrodes 65 and 67, and a transparent conductive material is formed on the passivation layer 69. The pixel electrode 70 is formed, and the pixel electrode 70 is connected to the drain electrode 67 through the drain electrode contact hole 68.

게이트 패드(60) 및 데이터 패드(63)에 대해 설명하면, 상기 게이트 및 데이터 패드(60, 63)에는 컬러필터 및 평탄화층이 형성되지 않는다. 게이트 패드에 있어서, 기판(45) 상에 게이트 전극(55a)이 이루는 물질로써 게이트 패드 전극(55b)이 형성되어 있고, 상기 게이트 패드 전극(55b)위로 게이트 절연막(56)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(56) 위로 보호층(69)이 형성되며, 상기 보호층(69) 및 게이트 절연막(56)이 식각되어 상기 게이트 패드 전극(55b)을 노출시키며, 그 위로 금속패턴(55a)이 상기 보호층(69) 일부와 노출된 게이트 패드 전극(55b)과 접촉하며 형성되어 있다.Referring to the gate pad 60 and the data pad 63, color filters and planarization layers are not formed on the gate and the data pads 60 and 63. In the gate pad, a gate pad electrode 55b is formed of a material of the gate electrode 55a on the substrate 45, and a gate insulating layer 56 is formed on the gate pad electrode 55b. A protective layer 69 is formed on the gate insulating layer 56, and the protective layer 69 and the gate insulating layer 56 are etched to expose the gate pad electrode 55b, and the metal pattern 55a is disposed thereon. It is formed in contact with a portion of the protective layer 69 and the exposed gate pad electrode 55b.

데이터 패드(63)에 있어서, 기판(45)상에 게이트 절연막(56)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(56) 위로 데이터 패드 전극(66)과 상기 데이터 패드 전극(66) 위로 보호층(69)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(69)은 식각되어, 데이터 패드 전극(66)을 노출시키며, 상기 노출된 게이트 전극(66)과 보호층(69) 일부에 접촉하며 금속패턴(71b)물질이 형성되어 있다.In the data pad 63, a gate insulating film 56 is formed on the substrate 45, and a passivation layer 69 is disposed on the data pad electrode 66 and the data pad electrode 66 on the gate insulating film 56. Is formed, and the protective layer 69 is etched to expose the data pad electrode 66, and to contact the exposed gate electrode 66 and a portion of the protective layer 69 to form a metal pattern 71b. Is formed.

본 발명은 종래의 TOC 구조에 있어서, 별도의 마스크 추가없이 기판의 최 하부에 형성되는 금속 BM을 이용하여 상기 BM을 게이트 패드 부위까지 연장하고 동시에 각 게이트 배선별로 BM을 분리하여 구성함으로써 전기적으로 분리되도록 하여 게이트 배선과 데이터 배선을 레페어 할 수 있는 구조를 형성하는 것이다.According to the present invention, in the conventional TOC structure, the BM is extended to the gate pad region by using the metal BM formed at the bottom of the substrate without additional masks, and at the same time, the BM is separated and configured to be electrically separated by each gate wiring. As a result, a structure capable of repairing the gate wiring and the data wiring is formed.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면.1 is a view schematically showing a configuration of a general liquid crystal display device.

도 2 내지 5는 일반적인 TOC 구조 액정표시장치의 어레이 기판 단면도.2 to 5 are cross-sectional views of an array substrate of a general TOC structure liquid crystal display device.

도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 TOC구조 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 평면도.6 is a plan view schematically showing a part of an array substrate for a TOC structure liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 TOC구조 액정표시장치용 어레이 기판상에 BM패턴을 형성한 평면도.7 is a plan view of a BM pattern formed on an array substrate for a TOC structure liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;

도 8a 내지 도 8d와 도 9a 내지 도 9d와 도 10a 내지 도 10d는 6의 A-A`와 B-B`와 C-C`을 따라 절단하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 공정 순서에 따라 도시한 공정 단면도.8A to 8D, 9A to 9D, and 10A to 10D are cut along AA ′, BB ′, and CC ′ of 6, and are shown in a process sequence according to a process sequence according to the first embodiment of the present invention. .

도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 TOC구조 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 도시한 평면도.FIG. 11 is a plan view schematically showing a part of an array substrate for a TOC structure liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention; FIG.

도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 TOC구조 액정표시장치용 어레이기판상에 BM패턴을 형성한 평면도.12 is a plan view of a BM pattern formed on an array substrate for a TOC structure liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention;

도 13a 내지 도 13d와 도 14a 내지 도 14d와 도 15a 내지 도 15d는 11의 D-D`와 E-E`와 F-F`을 따라 절단하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 공정 순서에 따라 도시한 공정 단면도.13A to 13D, 14A to 14D, and 15A to 15D are cut along the lines DD ′, EE ′, and FF ′ of FIG. 11, and are shown in a process sequence according to a process sequence according to the first embodiment of the present invention. .

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

200 : 기판 203a, 203b : BM 패턴200: substrate 203a, 203b: BM pattern

207 : 게이트 배선 209a, 209b : 데이터 배선데이터 패드207: gate wiring 209a, 209b: data wiring data pad

215 : 게이트 전극 220 : 소스 전극215: gate electrode 220: source electrode

225 : 드레인 전극 120 : 데이터 패드225: drain electrode 120: data pad

122 : 섬형상의 금속층 128 : 블랙매트릭스122: island-shaped metal layer 128: black matrix

134a,b,c : 컬러필터 138,140 : 화소전극134a, b, c: color filter 138, 140: pixel electrode

142 : 게이트 패드 콘택홀 144 : 데이터 패드 콘택홀142: gate pad contact hole 144: data pad contact hole

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판은 절연기판과; 리페어 배선을 포함하는 블랙매트릭스(BM) 패턴과; 상기 BM 패턴 상부에 컬러필터 패턴층과; 상기 컬러필터 패턴층 상부에 평탄화막과; 상기 평탄화막 상부에 위치하고, 일 끝단에 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선과; 상기 게이트 패드 및 게이트 배선의 상부에 위치하는 게이트 절연막과; 상기 게이트 배선과 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 수직하게 교차하여, 화소영역을 정의하고 일 끝단에 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 게이트 전극과 반도체층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터와; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 기판의 전면에 위치하고, 상기 게이트 패드와 데이터 패드를 노출하는 보호층과; 상기 드레인 전극과 접촉하면서 화소영역마다 독립적으로 패터닝된 화소전극을 포함한다.An array substrate for a liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object is an insulating substrate; A black matrix (BM) pattern including a repair wiring; A color filter pattern layer on the BM pattern; A planarization layer on the color filter pattern layer; A gate wiring disposed on the planarization layer and including a gate pad at one end thereof; A gate insulating film positioned over the gate pad and the gate wiring; A data line intersecting the gate line and the gate insulating layer vertically to define a pixel area and including a data pad at one end thereof; A thin film transistor positioned at an intersection point of the gate line and the data line, the thin film transistor including a gate electrode, a semiconductor layer, a source electrode, and a drain electrode; A protective layer disposed on a front surface of the substrate on which the thin film transistor is formed and exposing the gate pad and the data pad; And a pixel electrode independently contacting the drain electrode and patterned for each pixel region.

본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법은 절연 기판 상에 끊김없이 제 1 방향으로 형성된 테두리 BM 패턴과, 상기 BM 패턴의 일끝과 일끝,타끝과 타끝을 이어주는 일정간격으로 그 중간이 끊겨 형성되는 제 2 방향의 테두리 BM 패턴과, 상기 제 1 방향의 테두리 BM 패턴 사이에 일정간격 이격하여 일끝이 게이트 패드부까지 연장되고, 타끝이 상기 제 2 방향의 타측 테두리 BM패턴과 만나도록 형성되는 복수개의 제 1 방향의 게이트 리페어 BM 패턴을 형성하는 단계와; 상기 리페어 패턴을 포함하는 BM 패턴 위로 컬러필터 패턴을 형성하는 단계와; 상기 컬러필터 패턴층 위로 평탄화막을 형성하는 단계와; 패드부의 평탄화막을 제거하고, 타측 테부리 BM패턴에 있어, 일정간격으로 상기 평탄화막을 식각하여 상기 BM 패턴을 노출하는 단계와; 상기 평타화막 위로 게이트 전극을 포함하여 상기 게이트 리페어 BM 패턴과 중첩되고, 그 일 끝에 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 게이트 패드가 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하면서 일 끝단에 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 게이트 전극과 반도체층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 기판의 전면에 보호층을 형성하는 단계와; 상기 보호층을 패터닝하여, 드레인 전극 일부와 패드부를 노출하는 단계와; 상기 노출된 드레인 전극과 접촉하는 화소전극 및 패드부에 패드 전극과 접촉하는 금속패턴을 형성하고, 상기 게이트 배선과 그 하부에 중첩되어 위치하는 게이트 리페어 BM 패턴을 연결하는 단계를 포함한다.In the method of manufacturing an array substrate for a liquid crystal display device according to the present invention, an intermediate BM pattern is formed in a first direction without a break on an insulating substrate, and the middle thereof is cut at a predetermined interval connecting one end, one end, and the other end of the BM pattern. One end extends to the gate pad part at regular intervals between the edge BM pattern formed in the second direction and the edge BM pattern formed in the first direction, and the other end is formed to meet the other edge BM pattern in the second direction. Forming a plurality of gate repair BM patterns in a first direction; Forming a color filter pattern on the BM pattern including the repair pattern; Forming a planarization layer over the color filter pattern layer; Removing the planarization layer of the pad part, and etching the planarization layer at a predetermined interval in the other surface BM pattern to expose the BM pattern; Forming a gate wiring including a gate electrode on the planarization layer, overlapping the gate repair BM pattern, and including a gate pad at one end thereof; Forming a gate insulating film on an entire surface of the substrate on which the gate wiring and the gate pad are formed; Forming a data line on the gate insulating layer, the data line including a data pad at one end thereof while crossing the gate line; Forming a thin film transistor including a gate electrode, a semiconductor layer, a source electrode, and a drain electrode at an intersection point of the gate wiring and the data wiring; Forming a protective layer on an entire surface of the substrate on which the thin film transistor is formed; Patterning the protective layer to expose a portion of the drain electrode and the pad; And forming a metal pattern in contact with the pad electrode in the pixel electrode and the pad portion in contact with the exposed drain electrode, and connecting the gate line and the gate repair BM pattern overlapping the lower portion of the gate line.

이때, 상기 제 1 방향의 게이트 배선은 그 타끝이 타측 테두리 BM 패턴과 중첩하며 제 2 방향으로 그 일부가 연장되어 형성되고, 콘택홀을 통해 상기 BM 패턴과 연결되며, 그 끝이 근처의 게이트 배선과는 연결되지 않는 것이 특징이다.In this case, the gate wiring in the first direction has the other end overlapping the other edge BM pattern and a part thereof is extended in the second direction, and is connected to the BM pattern through a contact hole, and the end of the gate wiring in the vicinity It is characterized by not being connected with.

본 발명에 따른 또 다른 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법은 절연 기판 상에 제 1 방향으로 그 중간부분이 일정간격 이격하며 형성되는 복수개의 BM 패턴과, 제 2 방향으로 끊김없이 일끝이 데이터 패드부까지 연장되는 데이터 리페어 배선을 포함하는 복수개의 BM패턴을 형성하는 단계와; 상기 리페어 패턴을 포함하는 BM 패턴 위로 컬러필터 패턴을 형성하는 단계와; 상기 컬러필터 패턴층 위로 평탄화막을 형성하는 단계와; 패드부의 평탄화막을 제거하고, 하측 테부리 BM패턴에 있어, 일정간격으로 상기 평탄화막을 식각하여 상기 BM 패턴을 노출하는 단계와; 상기 평탄화막 위로 게이트 전극을 포함하여 상기 게이트 리페어 BM 패턴과 중첩되고, 그 일 끝에 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 게이트 패드가 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하면서 일 끝단에 제 1 및 제 2 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 게이트 전극과 반도체층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 기판의 전면에 보호층을 형성하는 단계와; 상기 보호층을 패터닝하여, 드레인 전극 일부와 패드부를 노출하는 단계와; 상기 노출된 드레인 전극과 접촉하는 화소전극 및 패드부에 패드 전극과 접촉하는 금속패턴을 형성하고, 상기 데이터 배선과 그 하부에 중첩되어 위치하는 데이터 리페어 BM 패턴을 연결하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an array substrate for a liquid crystal display device, wherein a plurality of BM patterns are formed on the insulating substrate at regular intervals in the first direction, and one end of the data pad is seamless in the second direction. Forming a plurality of BM patterns including a data repair line extending to a portion; Forming a color filter pattern on the BM pattern including the repair pattern; Forming a planarization layer over the color filter pattern layer; Removing the planarization film of the pad part, and etching the planarization film at a predetermined interval in the lower teburi BM pattern to expose the BM pattern; Forming a gate wiring including a gate electrode on the planarization layer and overlapping the gate repair BM pattern, and including a gate pad at one end thereof; Forming a gate insulating film on an entire surface of the substrate on which the gate wiring and the gate pad are formed; Forming a data line on the gate insulating layer, the data line including first and second data pads at one end thereof and crossing the gate line; Forming a thin film transistor including a gate electrode, a semiconductor layer, a source electrode, and a drain electrode at an intersection point of the gate wiring and the data wiring; Forming a protective layer on an entire surface of the substrate on which the thin film transistor is formed; Patterning the protective layer to expose a portion of the drain electrode and the pad; Forming a metal pattern in contact with the pad electrode and a pixel electrode in contact with the exposed drain electrode, and connecting the data repair BM pattern overlapping the data line.

이때, 상기 제 1 방향의 최하측 BM패턴 상에는 상기 BM과 접촉하며 화소 폭보다 작게 일정간격 이격하며 복수개의 금속패턴이 형성되는 것이 특징이다.In this case, a plurality of metal patterns may be formed on the lowermost BM pattern in the first direction to contact the BM and to be spaced apart from each other by a smaller distance than the pixel width.

또한, 상기 데이터 배선은 패드부 타측 끝이 제 2 방향의 최하부 BM패턴과 중첩하며 제 2 방향으로 그 일부가 연장되고, 근처의 데이터 배선과는 연결되지 않으며, 상기 BM패턴 상의 금속패턴과 접촉하며 형성되는 것이 특징이다.In addition, the data line has the other end of the pad portion overlapping the lowermost BM pattern in the second direction, and a part thereof extends in the second direction, and is not connected to the adjacent data line, and contacts the metal pattern on the BM pattern. It is characterized by being formed.

이하 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

<제 1 실시예><First Embodiment>

제 1 실시예는 게이트 배선을 리페어 할 수 있는 TOC구조로 형성된다.The first embodiment has a TOC structure capable of repairing gate wirings.

도 6은 게이트 패드와 데이터 패드를 및 게이트 배선의 레페어를 위한 BM을 포함하는 어레이 기판의 평면도이며, 도 7은 BM 공정만 실시했을 경우 BM 리페어 패턴을 나타낸 도면이다.FIG. 6 is a plan view of an array substrate including a gate pad, a data pad, and a BM for repairing a gate wiring, and FIG. 7 illustrates a BM repair pattern when only a BM process is performed.

기판(100) 상에 BM패턴 형성 시, 상기 BM패턴(103a, 103b)을 게이트 패드(160)까지 연장하여 형성하였으며, 전기적 분리를 위해 테두리의 종방향의 BM패턴(103b)에 있어, 화소단위로 끊겨 형성된다. 즉, 테두리의 종방향으로의 BM패턴(103b)은 화소를 이룰 부분별로 독립되도록 형성하고, 게이트 배선(107a) 하부의 횡방향 BM패턴(103a)은 끊김없이 연결되어 형성된다. 즉, 상기 횡방향의 BM패턴(103a)은 게이트 배선(107a)과 중첩되어 형성되어 있으며, 게이트 배선(107a)과데이터 배선(109)이 교차하여 정의되는 화소영역(P) 상의 화소전극(127)은 양 옆에 위치하는 데이터 배선(109)과 중첩되어 형성한다. 이는 고개구율 확보를 위함이다. 또한 상기 화소전극(127)은 게이트 배선(107a)과도 일부 중첩하며, 게이트 배선(107a)상의 스토리지 전극과 접촉하고 있으며, 드레인 전극(125)과도 콘택홀을 통해 접촉하도록 형성된다.When the BM pattern was formed on the substrate 100, the BM patterns 103a and 103b were formed to extend to the gate pad 160. In the longitudinal BM pattern 103b of the edge for electrical separation, the pixel unit It is formed by cutting off. That is, the BM pattern 103b in the longitudinal direction of the edge is formed so as to be independent of each pixel forming part, and the horizontal BM pattern 103a under the gate wiring 107a is formed to be connected seamlessly. That is, the BM pattern 103a in the lateral direction is formed to overlap the gate wiring 107a and the pixel electrode 127 on the pixel region P defined by the gate wiring 107a and the data wiring 109 intersecting with each other. ) Overlaps with the data lines 109 positioned on both sides thereof. This is to secure a high opening rate. The pixel electrode 127 also partially overlaps the gate wiring 107a, is in contact with the storage electrode on the gate wiring 107a, and is also formed to contact the drain electrode 125 through a contact hole.

본 발명의 제 1 실시예의 의한 TOC 구조 하부기판에 있어 가장 특징적인 것은 게이트 패드 타측의 테두리 BM패턴(103b)과 일부가 상기 종방향의 테두리 BM패턴(103b)을 따라 수직으로 연장되어 중첩되어 형성된다. 이때 상기 BM패턴(103b)과 중첩하며 연장되는 종방향 게이트 배선(107b)은 상기 게이트 배선(107b) 주위의 게이트 배선 연장부분과는 연결되지 않는다.The most distinctive feature of the TOC structure lower substrate according to the first embodiment of the present invention is that the edge BM pattern 103b on the other side of the gate pad and a portion thereof extend vertically and overlap the edge BM pattern 103b in the longitudinal direction. do. In this case, the longitudinal gate line 107b overlapping with the BM pattern 103b is not connected to the gate line extension around the gate line 107b.

도 8a 내지 8a와 도 9a 내지 9f와 도 10a 내지 10f는 도 6의 절단선 A-A', B-B', C-C'에 따른 공정 단면도이다. 상기 도면을 참조하여 제조 방법에 대해 설명한다.8A to 8A, 9A to 9F, and 10A to 10F are cross-sectional views taken along the cutting lines A-A ', B-B', and C-C 'of FIG. 6. A manufacturing method will be described with reference to the above drawings.

우선, 도 8a와 9a, 10a에 도시한 바와 같이, 절연기판(100)에 전도성을 갖는 크롬(Cr)을 증착하고 마스크 공정을 진행하여 BM패턴(103a, 103b)을 형성한다. 상기 BM패턴(103a, 103b)은 빛샘방지 및 본 발명에 의해 게이트 배선의 리페어 배선의 기능을 포함한다. 이후 상기 BM패턴(103a, 103b) 위로 적, 녹, 청의 컬러필터 패턴(110)을 형성하고, 상기 컬러필터 패턴(110) 위로 투명 유기 절연물의 평탄화막(112)을 형성한다. 이때 상기 평탄화막(112)은 패드부에 있어서 상기 패널 제작후 외부 구동회로인 PCB(Printed circuit board) 부착시 문제가 될 수 있으므로 제거되며, 테두리의 종방향 BM패턴(103b)에 있어서도, 상기 BM패턴(103b)을 노출시키기 위해 평탄화막(112) 일부가 제거된다.First, as illustrated in FIGS. 8A, 9A, and 10A, conductive chromium (Cr) is deposited on the insulating substrate 100, and a mask process is performed to form the BM patterns 103a and 103b. The BM patterns 103a and 103b include functions of light leakage prevention and repair wiring of the gate wiring according to the present invention. Thereafter, the red, green, and blue color filter patterns 110 are formed on the BM patterns 103a and 103b, and the planarization film 112 of the transparent organic insulator is formed on the color filter patterns 110. In this case, the planarization film 112 may be removed when the printed circuit board (PCB), which is an external driving circuit, may be a problem after the panel is manufactured in the pad part. The flattening film 112 may be removed. A portion of the planarization film 112 is removed to expose the pattern 103b.

다음으로, 도 8b와 9b, 10b에 도시한 바와 같이, 상기 평탄화막(112)이 형성된 기판(100)에 금속물질을 전면에 증착하고 마스크 공정을 진행하여 게이트 전극(115a)을 형성한다. 이때, 게이트 패드부에 있어서, 상기 노출된 BM패턴(103b) 위로 게이트 전극(115a)을 이룬 금속물질이 패터닝되어 게이트 패드 전극(115b)을 형성하고, 테두리 종방향 BM패턴(103b)에 있어서, 평탄화막(112) 일부가 제거되어 노출된 BM패턴(103b)과 접촉하며 게이트 배선(107b)이 연장되어 형성된다. 이후 상기 게이트 전극(115a)을 포함하여 게이트 배선(107a, 107b) 및 게이트 패드 전극(115b) 위로 질화실리콘 등의 무기물질을 증착하여 게이트 절연막(116)을 형성한다.Next, as illustrated in FIGS. 8B, 9B, and 10B, a metal material is deposited on the entire surface of the substrate 100 on which the planarization film 112 is formed, and a gate electrode 115a is formed by performing a mask process. In this case, the metal material forming the gate electrode 115a is patterned on the exposed BM pattern 103b to form the gate pad electrode 115b, and in the edge longitudinal BM pattern 103b, A portion of the planarization layer 112 is removed to contact the exposed BM pattern 103b and the gate wiring 107b extends. Thereafter, an inorganic material such as silicon nitride is deposited on the gate lines 107a and 107b and the gate pad electrode 115b including the gate electrode 115a to form a gate insulating layer 116.

다음으로 도 8c와 9c, 10c에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 절연막(116) 위로 비정질 실리콘인 액티브층(117a)과 불순물이 포함된 비정질 실리콘인 오믹콘택층(117b)의 반도체층(117)을 형성한다. 여기서, 실리콘층을 증착하고 패터닝하여 액티브층(117a)을 형성하고 액티브층(117a)에 불순물인 인(Phosphorus)이나 붕소(Boron)로 이온도핑하여 오믹콘택층(117b)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 8C, 9C, and 10C, the semiconductor layer 117 of the active layer 117a of amorphous silicon and the ohmic contact layer 117b of amorphous silicon containing impurities are disposed on the gate insulating layer 116. Form. Here, the active layer 117a is formed by depositing and patterning a silicon layer, and the ohmic contact layer 117b is formed by ion doping phosphorous (Phosphorus) or boron (Boron) as impurities in the active layer 117a.

다음으로, 상기 오믹콘택층(117b)상부에 소스 전극(120)과 드레인 전극(125)을 형성한다. 여기서, 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 구리(Cu)를 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 마스크 공정을 통하여 패터닝하여 소스 및 드레인 전극(120, 125)을 형성한다. 한편, 액티브층(117a)과 오믹콘택층(117b)을 형성하고, 그 위에 소스 및 드레인 전극(120, 125)을 형성한 다음, 소스 및 드레인 전극(120, 125) 사이에 이격된 영역에서 노출된 오믹콘택층을 제거하여 그 하부에 액티브층(117a)을 노출하여 채널영역을 형성한다. 이후 상기 소스 및 드레인 전극(120, 125) 위로 벤조사이클로부텐(BCB)등의 유기물질을 전면에 도포하여 보호층(140)을 형성한다. 이때 상기 보호층(140)은 패드부 및 테두리의 BM패턴(103a) 상에도 형성된다.Next, a source electrode 120 and a drain electrode 125 are formed on the ohmic contact layer 117b. Here, one selected from the group of conductive metals including chromium (Cr), molybdenum (Mo), tungsten (W), titanium (Ti), and copper (Cu) is deposited and patterned through a mask process to form the source and drain electrodes 120. , 125). Meanwhile, the active layer 117a and the ohmic contact layer 117b are formed, and source and drain electrodes 120 and 125 are formed thereon, and then exposed in a region spaced between the source and drain electrodes 120 and 125. The ohmic contact layer is removed to expose the active layer 117a at the bottom to form a channel region. Thereafter, an organic material such as benzocyclobutene (BCB) is coated on the source and drain electrodes 120 and 125 to form a protective layer 140. In this case, the protective layer 140 is also formed on the BM pattern 103a of the pad part and the edge.

다음으로, 도 8d와 9d, 10d에 도시한 바와 같이, 상기 보호층(140) 상에 마스크 공정을 실시하여 드레인 전극(125)을 노출시키는 드레인 콘택홀(150) 및 게이트 패드 전극(115b)을 노출시키는 게이트 패드 콘택홀(153)을 형성한다. 이후 상기 콘택홀(150, 153)이 형성된 기판(100)에 투명도전성 물질인 ITO등을 전면에 증착하고, 패터닝하여 드레인 콘택홀(150)을 통해 드레인 전극(125)과 접촉하는 화소전극(127)을 형성하고, 동시에 게이트 패드 전극(115b)과 접촉하여 연결하는 게이트 패드 전극 패턴을 형성한다.8D, 9D, and 10D, the drain contact hole 150 and the gate pad electrode 115b exposing the drain electrode 125 by performing a mask process on the protective layer 140 may be formed. A gate pad contact hole 153 is formed to be exposed. Subsequently, ITO, which is a transparent conductive material, is deposited on the entire surface of the substrate 100 on which the contact holes 150 and 153 are formed, and patterned to contact the drain electrode 125 through the drain contact hole 150. ), And at the same time, a gate pad electrode pattern is formed in contact with and connected to the gate pad electrode 115b.

전술한대로 제조된 본 발명에 제 1 실시예에 의한 BM으로써 형성한 게이트 리페어 배선을 갖는 TOC 구조 액정표시장치의 하부기판은 게이트 배선과 상기 게이트 배선 하부의 BM패턴이 전기적으로 연결되어 있으므로, 상기 게이트 배선이 단선또는 단락발생 시 야기되는 게이트 라인 불량을 방지 할 수 있다. 즉, 게이트 배선이 단선되면 상기 단선이 이루어진 화소 이후의 화소들은 전기 공급이 되지 않으므로 화소가 죽는 라인 오프(off) 불량이 발생하지만, BM의 리페어 배선을 통해 전기가 공급되어 라인 오픈 불량을 방지 할 수 있다.In the lower substrate of the TOC structure liquid crystal display device having the gate repair wiring formed as BM according to the first embodiment of the present invention manufactured as described above, the gate wiring and the BM pattern under the gate wiring are electrically connected to each other. It is possible to prevent the gate line defect caused when the wiring is disconnected or short-circuited. That is, when the gate wiring is disconnected, since the pixels after the disconnected pixel are not supplied with electricity, a line off defect occurs in which the pixel dies, but electricity is supplied through the repair wiring of the BM to prevent the line open defect. Can be.

<제 2 실시예>Second Embodiment

제 2 실시예는 데이터 배선을 리페어 할 수 있는 TOC구조로 형성된다.The second embodiment has a TOC structure capable of repairing data wirings.

도 11은 게이트 패드와 데이터 패드를 및 게이트 배선의 레페어를 위한 BM을 포함하는 하부기판의 평면도이며, 도 12은 BM 공정만 실시했을 경우 BM 리페어 배선을 나타낸 도면이다.FIG. 11 is a plan view of a lower substrate including a gate pad and a data pad and a BM for repairing a gate wiring, and FIG. 12 is a view illustrating a BM repair wiring when only a BM process is performed.

기판(200) 상에 BM패턴(203a, 203b) 형성 시, 상기 BM패턴(203a, 203b)을 데이터 패드부(260)까지 연장하여 형성하였으며, 전기적 분리를 위해 게이트 배선(207) 하부에 위치하는 횡방향 BM패턴(203a)에 있어, 화소별로 BM패턴(203a)이 화소단위로 끊겨 형성된다. 즉, 데이터 배선(209a) 하부의 종방향 BM패턴(203b)은 전기적으로 연결되도록 중간에 끊김이 없도록 연결하여 형성하고, 게이트 배선(207) 하부에 위치하는 횡방향 BM패턴(203a)은 전기적으로 연결되지 않도록 화소별로 끊어서 형성하여 단지 빛샘방지 역할만을 하도록 형성된다.When the BM patterns 203a and 203b are formed on the substrate 200, the BM patterns 203a and 203b are formed to extend to the data pad part 260, and are positioned below the gate wiring 207 for electrical separation. In the lateral BM pattern 203a, the BM pattern 203a is formed in pixel units by pixel. In other words, the longitudinal BM pattern 203b under the data line 209a is formed by connecting without interruption in the middle so as to be electrically connected, and the transverse BM pattern 203a under the gate line 207 is electrically connected. It is formed so as not to be connected to each other by forming a pixel to prevent only light leakage.

또한, 게이트 배선(207)과 데이터 배선(209a)이 교차하여 정의되는 화소영역(P) 상의 화소전극(227)은 고개구율 확보를 위해 양 옆에 위치하는 데이터 배선(209a)과 중첩되어 형성한다. 또한, 상기 화소전극(227)은 게이트 배선(207)과도 일부 중첩하며, 게이트 배선(207)상의 스토리지 전극과 접촉하고 있으며, 드레인 전극(225)과도 드레인 콘택홀을 통해 접촉하도록 형성된다. 또한 데이터 배선(209a)은 데이터 패드(235a) 끝에서 연결되어 액티부 영역 끝까지 형성되며, 그 끝은 횡방향 BM 테두리 부분으로 수직으로 꺾여 일부 연장되어 형성된다. 상기 연장된 데이터 배선(209b)은 콘택홀을 통해 횡방향 테두리 BM패턴(203a) 과 연결되어 있다.In addition, the pixel electrode 227 on the pixel region P defined by the intersection of the gate wiring 207 and the data wiring 209a is formed to overlap the data wiring 209a positioned at both sides to secure a high opening ratio. . The pixel electrode 227 also partially overlaps the gate wiring 207, contacts the storage electrode on the gate wiring 207, and contacts the drain electrode 225 through the drain contact hole. In addition, the data line 209a is connected to the end of the data pad 235a and is formed to the end of the active region, and the end thereof is partially extended by being vertically bent to the transverse BM edge. The extended data line 209b is connected to the horizontal edge BM pattern 203a through a contact hole.

상기 TOC구조 액정표시장치의 하부기판에 있어서, 특징적인 부분은 제 1 데이터 패드(235a) 및 제 2 데이터 패드(235b)를 가지며, 상기 데이터 패드부(265) 타측 즉, 액티브 영역 하부의 횡방향 BM 테두리에 데이터 배선(209b)과 BM패턴을 콘택홀을 통해 연결시키는 구조로 형성되는 것이다.In the lower substrate of the TOC structure liquid crystal display, a characteristic portion includes a first data pad 235a and a second data pad 235b, and the other side of the data pad portion 265, that is, the transverse direction under the active region. The data line 209b and the BM pattern are formed at the edge of the BM through a contact hole.

도 13a 내지 13d와 도 14a 내지 14d와 도 15a 내지 15f는 도 11의 절단선 D-D', E-E', F-F'에 따른 공정 단면도이다. 상기 도면을 참조하여 제조 방법에 대해 설명한다.13A to 13D, FIGS. 14A to 14D, and FIGS. 15A to 15F are cross-sectional views taken along the cutting lines D-D ', E-E', and F-F 'of FIG. A manufacturing method will be described with reference to the above drawings.

우선, 도 13a와 14a, 15a에 도시한 바와같이, 절연기판(200)에 금속재질 예를들면 크롬(Cr)을 증착하고 마스크 공정을 진행하여 BM패턴(203a, 203b)을 형성한다. 상기 BM패턴(203a, 203b)은 빛샘방지 및 본 발명에 의해 데이터 배선의 리페어 배선의 기능을 포함한다. 이후 상기 BM패턴(203a, 203b) 위로 적, 녹, 청의 컬러필터 패턴(210)을 형성하고, 상기 컬러필터 패턴(210) 위로 투명 유기 절연물의 평탄화막(212)을 형성한다. 이때 상기 평탄화막(212)은 패드부(260, 265)에 있어서 상기 패널 제작후, PCB부착시 문제가 될 수 있으므로 제거되며, 하부 테두리의 BM패턴(103b)에 있어서도 상기 BM패턴(103b)을 노출시키기 위해 평탄화막(212) 일부가 패터닝 되어 제거된다.First, as shown in FIGS. 13A, 14A, and 15A, metal materials such as chromium (Cr) are deposited on the insulating substrate 200 and a mask process is performed to form BM patterns 203a and 203b. The BM patterns 203a and 203b include functions of light leakage prevention and repair wiring of the data wiring according to the present invention. Thereafter, red, green, and blue color filter patterns 210 are formed on the BM patterns 203a and 203b, and the planarization film 212 of the transparent organic insulator is formed on the color filter patterns 210. In this case, the planarization film 212 may be removed after the panel is manufactured in the pad parts 260 and 265, and may be a problem when the PCB is attached. The BM pattern 103b may also be removed in the lower edge of the BM pattern 103b. A portion of the planarization film 212 is patterned and removed to expose it.

다음으로, 도 13b와 14b, 15b에 도시한 바와 같이, 상기 평탄화막(212)이 형성된 기판(200)에 금속물질을 전면에 증착하고 마스크 공정을 진행하여 게이트 전극(215a)을 형성한다. 이때, 제 1 데이터 패드(235a)에 있어서, 노출된BM패턴(203b)위로 게이트 전극(215a)의 금속물질이 패터닝되어 형성되며, 상기 제 1 데이터 패드(235a)의 액티브 영역 사이의 패드부 연결 부분에 있어서도 일부의 평탄화막(212)이 제거된다. 상기 제거된 부분은 추후 BM패턴(203b)과 접촉하는 콘택홀이 형성된다. 하부 테두리 BM패턴(203a)에 있어서 평탄화막(212) 일부가 제거되어 노출된 BM패턴(203a)과 접촉하며 게이트 전극(215a) 형성과 동시에 금속 패턴이 형성된다. 이후, 상기 게이트 전극(215a)을 포함하여 기판(200) 전면에 질화실리콘 등의 무기물질을 증착하여 게이트 절연막(216)을 형성한다.Next, as illustrated in FIGS. 13B, 14B, and 15B, a metal material is deposited on the entire surface of the substrate 200 on which the planarization film 212 is formed, and a gate electrode 215a is formed by performing a mask process. In this case, a metal material of the gate electrode 215a is patterned on the exposed BM pattern 203b in the first data pad 235a, and pad portions are connected between the active regions of the first data pad 235a. Part of the planarization film 212 is also removed at the portion. The removed portion is later formed with a contact hole in contact with the BM pattern 203b. A portion of the planarization film 212 is removed from the lower edge BM pattern 203a to contact the exposed BM pattern 203a and a metal pattern is formed at the same time as the gate electrode 215a is formed. Thereafter, an inorganic material such as silicon nitride is deposited on the entire surface of the substrate 200 including the gate electrode 215a to form a gate insulating layer 216.

다음으로 도 13c와 14c, 15c에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 절연막(216) 위로 비정질 실리콘인 액티브층(217a)과 불순물이 포함된 비정질 실리콘인 오믹콘택층(217b)의 반도체층(217)을 형성한다. 여기서, 실리콘층을 증착하고 패터닝하여 액티브층(217a)을 형성하고, 상기 액티브층(217a)에 불순물인 인(Phosphorus)이나 붕소(Boron)로 이온도핑하여 오믹콘택층(217b)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 13C, 14C, and 15C, the semiconductor layer 217 of the active layer 217a, which is amorphous silicon, and the ohmic contact layer 217b, which is amorphous silicon containing impurities, are disposed on the gate insulating layer 216. Form. Here, an active layer 217a is formed by depositing and patterning a silicon layer, and an ohmic contact layer 217b is formed by ion doping phosphorous or boron as impurities in the active layer 217a.

다음으로, 상기 오믹콘택층(217b)상부에 소스 전극(220)과 드레인 전극(225)을 형성한다. 여기서, 금속물질을 증착하고 마스크 공정을 통하여 패터닝하여 소스 및 드레인 전극(220, 225)을 형성한다. 한편, 액티브층(217a)과 오믹콘택층(217b)을 형성하고, 그 위에 소스 및 드레인 전극(220, 225)을 형성한 다음, 소스 및 드레인 전극(220, 225) 사이에 이격된 영역에서 노출된 오믹콘택층(217b)을 제거하여 그 하부에 액티브층(217a)을 노출하여 채널영역을 형성한다. 데이터 패드부(265)에 있어서, 게이트 절연막(216) 위로 소스 전극(220)을 포함하는 데이터 배선(209a)이 형성된다. 또한 데이터 배선(209a) 끝의 테부리 BM패턴(203a)과 연결된 데이터 배선(209b)에 있어서, 상기 데이터 배선(209b)이 하부 테두리 BM패턴(103a)과 접촉하며 형성된 금속패턴 부분과 게이트 절연막(116)을 사이에 두고 일부 중첩되어 형성된다. 이후 상기 소스 및 드레인 전극(220, 225) 위로 벤조사이클로부텐(BCB)등의 유기물질을 전면에 도포하여 보호층(240)을 형성한다.Next, a source electrode 220 and a drain electrode 225 are formed on the ohmic contact layer 217b. Here, the metal material is deposited and patterned through a mask process to form the source and drain electrodes 220 and 225. Meanwhile, the active layer 217a and the ohmic contact layer 217b are formed, the source and drain electrodes 220 and 225 are formed thereon, and then exposed in a region spaced between the source and drain electrodes 220 and 225. The ohmic contact layer 217b is removed to expose the active layer 217a to form a channel region. In the data pad part 265, a data line 209a including a source electrode 220 is formed on the gate insulating layer 216. In addition, in the data line 209b connected to the teburi BM pattern 203a at the end of the data line 209a, the metal pattern portion and the gate insulating film formed while the data line 209b is in contact with the lower edge BM pattern 103a. 116 is formed with some overlap in between. Thereafter, an organic material such as benzocyclobutene (BCB) is coated on the source and drain electrodes 220 and 225 to form a protective layer 240.

다음으로, 도 13d와 14d, 15d에 도시한 바와 같이, 상기 보호층(240) 상에 마스크 공정을 실시하여 드레인 전극(225)을 노출시키는 드레인 콘택홀(250) 및 제 1 및 제 2 데이터 패드 전극(215b, 209a)을 노출시키는 데이터 패드 콘택홀(204b, 204c)을 형성한다. 이후 상기 콘택홀(204b, 204c)이 형성된 기판(200)에 투명도전성 물질인 ITO등을 전면에 증착하고, 패터닝하여 드레인 콘택홀(250)을 통해 드레인 전극(225)과 접촉하는 화소전극(227)을 형성하고, 동시에 제 1 및 제 2 데이터 패드 전극(215b, 209a)과 접촉하여 연결하는 데이터 패드 금속패턴(228)을 형성한다. 데이터 패드 금속패턴(228)은 데이터 패드부(265)에 형성되는 제 1 데이터 패드 전극(215b)과 데이터 패드 연결부에 형성되는 제 2 데이터 패드 전극(209a)과 연결되어 형성된다.Next, as illustrated in FIGS. 13D, 14D, and 15D, a drain process hole 250 and first and second data pads exposing the drain electrode 225 by performing a mask process on the protective layer 240 are performed. Data pad contact holes 204b and 204c exposing the electrodes 215b and 209a are formed. Subsequently, ITO, which is a transparent conductive material, is deposited on the entire surface of the substrate 200 on which the contact holes 204b and 204c are formed, and patterned to contact the drain electrode 225 through the drain contact hole 250. ) And a data pad metal pattern 228 for contacting and connecting the first and second data pad electrodes 215b and 209a at the same time. The data pad metal pattern 228 is connected to the first data pad electrode 215b formed in the data pad part 265 and the second data pad electrode 209a formed in the data pad connection part.

전술한대로 제조된 본 발명에 제 2 실시예에 의한 BM패턴으로써 형성한 데이터 리페어 배선을 갖는 TOC 구조 액정표시장치의 어레이기판은 데이터 배선과 상기 데이터 배선 하부의 BM패턴이 제 1 및 제 2 데이터 패드 전극을 통해 연결되고, 데이터 배선의 하부끝은 상기 하부 끝에 형성된 데이터 배선 콘택홀과 테두리 횡방향 BM패턴과 접촉하며 형성된 데이터 금속패턴 상에 형성된 콘택홀을 통해 투명금속으로 연결되어 등전위의 데이터 배선과 BM 리페어 배선을 형성한다. 따라서, 상기 데이터 배선이 단선 또는 단락 발생 시 야기되는 데이터 배선 불량을 방지 할 수 있다. 즉, 데이터 배선이 단선되면 상기 단선이 이루어진 화소 이후의 화소들은 전기 공급이 되지 않으므로 화소 라인 오프(off) 불량이 발생하지만, 상기 데이터 배선 하부의 BM 리페어 배선을 통해 전기가 공급되어 전기적으로 연결되므로 라인 오프 불량을 방지 할 수 있다.In the array substrate of the TOC structure liquid crystal display device having the data repair wiring formed as the BM pattern according to the second embodiment of the present invention manufactured as described above, the data wiring and the BM pattern under the data wiring are the first and second data pads. A lower end of the data line is connected to a transparent metal through a contact hole formed on the data metal pattern formed in contact with the data wiring contact hole and the lateral transverse BM pattern formed at the lower end thereof, A BM repair wiring is formed. Therefore, it is possible to prevent data wiring defects caused when the data wiring is disconnected or short-circuited. That is, when the data line is disconnected, the pixels after the disconnected pixel are not supplied with electricity, thereby causing a pixel line off failure. However, electricity is supplied and electrically connected through the BM repair wiring under the data line. It can prevent the line off failure.

본 발명에 따른 TOC 구조의 액정표시장치용 어레이기판은 블랙매트릭스를 게이트 리페어 배선 또는 데이터 리페어 배선으로 사용하여 게이트 배선 또는 데이터 배선의 단선시 발생한는 배선 오픈 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.The array substrate for a liquid crystal display device having a TOC structure according to the present invention has an effect of preventing a wiring open defect caused when the gate wiring or the data wiring is disconnected by using the black matrix as the gate repair wiring or the data repair wiring.

Claims (6)

절연기판과;An insulating substrate; 리페어 배선을 포함하는 블랙매트릭스(BM) 패턴과;A black matrix (BM) pattern including a repair wiring; 상기 BM 패턴 상부에 컬러필터 패턴층과;A color filter pattern layer on the BM pattern; 상기 컬러필터 패턴층 상부에 평탄화막과;A planarization layer on the color filter pattern layer; 상기 평탄화막 상부에 위치하고, 일 끝단에 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선과;A gate wiring disposed on the planarization layer and including a gate pad at one end thereof; 상기 게이트 패드 및 게이트 배선의 상부에 위치하는 게이트 절연막과;A gate insulating film positioned over the gate pad and the gate wiring; 상기 게이트 배선과 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 수직하게 교차하여, 화소영역을 정의하고 일 끝단에 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선과;A data line intersecting the gate line and the gate insulating layer vertically to define a pixel area and including a data pad at one end thereof; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 게이트 전극과 반도체층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터와;A thin film transistor positioned at an intersection point of the gate line and the data line, the thin film transistor including a gate electrode, a semiconductor layer, a source electrode, and a drain electrode; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 기판의 전면에 위치하고, 상기 게이트 패드와 데이터 패드를 노출하는 보호층과;A protective layer disposed on a front surface of the substrate on which the thin film transistor is formed and exposing the gate pad and the data pad; 상기 드레인 전극과 접촉하면서 화소영역마다 독립적으로 패터닝된 화소전극A pixel electrode which is independently patterned for each pixel area while in contact with the drain electrode 을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판.Array substrate for a liquid crystal display device comprising a. 절연 기판 상에 끊김없이 제 1 방향으로 형성된 테두리 BM 패턴과, 상기 BM패턴의 일끝과 일끝, 타끝과 타끝을 이어주는 일정간격으로 그 중간이 끊겨 형성되는 제 2 방향의 테두리 BM 패턴과, 상기 제 1 방향의 테두리 BM 패턴 사이에 일정간격 이격하여 일끝이 게이트 패드부까지 연장되고, 타끝이 상기 제 2 방향의 타측 테두리 BM패턴과 만나도록 형성되는 복수개의 제 1 방향의 게이트 리페어 BM 패턴을 형성하는 단계와;A border BM pattern formed in the first direction without a break on the insulating substrate, a border BM pattern in the second direction formed at a predetermined interval connecting one end and one end, the other end and the other end of the BM pattern, and the first Forming a plurality of gate repair BM patterns in a first direction in which one end thereof extends to the gate pad part at regular intervals between the edge BM patterns in a direction, and the other end thereof meets the other edge BM pattern in the second direction; Wow; 상기 리페어 패턴을 포함하는 BM 패턴 위로 컬러필터 패턴을 형성하는 단계와;Forming a color filter pattern on the BM pattern including the repair pattern; 상기 컬러필터 패턴층 위로 평탄화막을 형성하는 단계와;Forming a planarization layer over the color filter pattern layer; 패드부의 평탄화막을 제거하고, 타측 테부리 BM패턴에 있어, 일정간격으로 상기 평탄화막을 식각하여 상기 BM 패턴을 노출하는 단계와;Removing the planarization layer of the pad part, and etching the planarization layer at a predetermined interval in the other surface BM pattern to expose the BM pattern; 상기 평타화막 위로 게이트 전극을 포함하여 상기 게이트 리페어 BM 패턴과 중첩되고, 그 일 끝에 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계와;Forming a gate wiring including a gate electrode on the planarization layer, overlapping the gate repair BM pattern, and including a gate pad at one end thereof; 상기 게이트 배선과 게이트 패드가 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;Forming a gate insulating film on an entire surface of the substrate on which the gate wiring and the gate pad are formed; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하면서 일 끝단에 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;Forming a data line on the gate insulating layer, the data line including a data pad at one end thereof while crossing the gate line; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 게이트 전극과 반도체층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와;Forming a thin film transistor including a gate electrode, a semiconductor layer, a source electrode, and a drain electrode at an intersection point of the gate wiring and the data wiring; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 기판의 전면에 보호층을 형성하는 단계와;Forming a protective layer on an entire surface of the substrate on which the thin film transistor is formed; 상기 보호층을 패터닝하여, 드레인 전극 일부와 패드부를 노출하는 단계와;Patterning the protective layer to expose a portion of the drain electrode and the pad; 상기 노출된 드레인 전극과 접촉하는 화소전극 및 패드부에 패드 전극과 접촉하는 금속패턴을 형성하고, 상기 게이트 배선과 그 하부에 중첩되어 위치하는 게이트 리페어 BM 패턴을 연결하는 단계Forming a metal pattern in contact with the pad electrode and a pixel electrode in contact with the exposed drain electrode and connecting the gate repair BM pattern overlapping the gate line; 를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.Array substrate manufacturing method for a liquid crystal display device comprising a. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 1 방향의 게이트 배선은 그 타끝이 타측 테두리 BM 패턴과 중첩하며 제 2 방향으로 그 일부가 연장되어 형성되고, 콘택홀을 통해 상기 BM 패턴과 연결되며, 그 끝이 근처의 게이트 배선과는 연결되지 않는 것이 특징인 액정표시장치용 어레이 기판.The other end of the gate wiring in the first direction overlaps the other edge BM pattern, and a part thereof is extended in the second direction, and is connected to the BM pattern through a contact hole, and an end thereof is adjacent to the adjacent gate wiring. Array substrate for a liquid crystal display device characterized in that not connected. 절연 기판 상에 제 1 방향으로 그 중간부분이 일정간격 이격하며 형성되는 복수개의 BM 패턴과, 제 2 방향으로 끊김없이 일끝이 데이터 패드부까지 연장되는 데이터 리페어 배선을 포함하는 복수개의 BM패턴을 형성하는 단계와;A plurality of BM patterns are formed on the insulating substrate, the plurality of BM patterns including a plurality of BM patterns formed at regular intervals apart from each other in the first direction, and data repair wires having one end extending to the data pad portion without interruption in the second direction. Making a step; 상기 리페어 패턴을 포함하는 BM 패턴 위로 컬러필터 패턴을 형성하는 단계와;Forming a color filter pattern on the BM pattern including the repair pattern; 상기 컬러필터 패턴층 위로 평탄화막을 형성하는 단계와;Forming a planarization layer over the color filter pattern layer; 패드부의 평탄화막을 제거하고, 하측 테부리 BM패턴에 있어, 일정간격으로상기 평탄화막을 식각하여 상기 BM 패턴을 노출하는 단계와;Removing the planarization film of the pad part, and etching the planarization film at a predetermined interval in the lower Teburi BM pattern to expose the BM pattern; 상기 평타화막 위로 게이트 전극을 포함하여 상기 게이트 리페어 BM 패턴과 중첩되고, 그 일 끝에 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계와;Forming a gate wiring including a gate electrode on the planarization layer, overlapping the gate repair BM pattern, and including a gate pad at one end thereof; 상기 게이트 배선과 게이트 패드가 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;Forming a gate insulating film on an entire surface of the substrate on which the gate wiring and the gate pad are formed; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하면서 일 끝단에 제 1 및 제 2 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;Forming a data line on the gate insulating layer, the data line including first and second data pads at one end thereof while crossing the gate line; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 게이트 전극과 반도체층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와;Forming a thin film transistor including a gate electrode, a semiconductor layer, a source electrode, and a drain electrode at an intersection point of the gate wiring and the data wiring; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 기판의 전면에 보호층을 형성하는 단계와;Forming a protective layer on an entire surface of the substrate on which the thin film transistor is formed; 상기 보호층을 패터닝하여, 드레인 전극 일부와 패드부를 노출하는 단계와;Patterning the protective layer to expose a portion of the drain electrode and the pad; 상기 노출된 드레인 전극과 접촉하는 화소전극 및 패드부에 패드 전극과 접촉하는 금속패턴을 형성하고, 상기 데이터 배선과 그 하부에 중첩되어 위치하는 데이터 리페어 BM 패턴을 연결하는 단계Forming a metal pattern in contact with the pad electrode and a pixel electrode in contact with the exposed drain electrode, and connecting the data repair BM pattern overlapping the data line; 를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.Array substrate manufacturing method for a liquid crystal display device comprising a. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 1 방향의 최하측 BM패턴 상에는 상기 BM과 접촉하며 화소 폭보다 작게 일정간격 이격하며 복수개의 금속패턴이 형성되는 것이 특징인 액정표시장치용어레이 기판.And a plurality of metal patterns are formed on the lowermost BM pattern in the first direction and in contact with the BM and spaced at a predetermined interval smaller than the pixel width. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 데이터 배선은 패드부 타측 끝이 제 2 방향의 최하부 BM패턴과 중첩하며 제 2 방향으로 그 일부가 연장되고, 근처의 데이터 배선과는 연결되지 않으며, 상기 BM패턴 상의 금속패턴과 접촉하며 형성되는 것이 특징인 액정표시장치용 어레이 기판.The other end of the pad portion of the pad portion overlaps the lowermost BM pattern in the second direction and extends a part of the pad portion in the second direction, is not connected to the adjacent data wiring, and is formed in contact with the metal pattern on the BM pattern. An array substrate for liquid crystal display devices.
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