KR20040048356A - Process and apparatus for producing high purity magnesium oxide fine particles - Google Patents

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    • C01P2006/80Compositional purity

Abstract

PURPOSE: A method and an apparatus for producing high-purity magnesium oxide fine powder are provided to obtain high-purity magnesium oxide fine powder having a narrow particle size distribution for a long period of time in a continuous manner. CONSTITUTION: The method for producing high-purity magnesium oxide fine powder comprises the steps of: contacting oxygen-containing gas flow with a mixed gas formed of magnesium vapor and inert gas, sprayed upwardly and substantially vertically, to oxidize magnesium, thereby forming magnesium oxide fine powder, while collecting a part of the resultant magnesium oxide fine powder continuously or intermittently to determine characteristic values related with particle diameter of the powder; and adjusting the flow and/or concentration of the oxygen-containing gas based on the determined values, so that the particle diameter of the resultant magnesium oxide fine powder is controlled to be in a predetermined range of particle diameters.

Description

고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법과 제조장치 {PROCESS AND APPARATUS FOR PRODUCING HIGH PURITY MAGNESIUM OXIDE FINE PARTICLES}Manufacturing method and apparatus of high purity magnesium oxide fine powder {PROCESS AND APPARATUS FOR PRODUCING HIGH PURITY MAGNESIUM OXIDE FINE PARTICLES}

본 발명은 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for producing high purity magnesium oxide fine powder.

고순도 산화마그네슘 미분말을 제조하는 방법으로서 기상합성법이 알려져 있다. 이 기상합성법은 금속마그네슘을 가열하여 마그네슘증기를 발생시키고, 이마그네슘증기와 산소함유기체를 서로 접촉시킴으로써 마그네슘을 산화시켜 산화마그네슘 미분말을 생성시키는 방법이다.As a method for producing high purity magnesium oxide fine powder, a gas phase synthesis method is known. This gas phase synthesis method is a method of heating magnesium metal to generate magnesium vapor, and contacting each other with magnesium oxide and oxygen-containing gas to oxidize magnesium to produce fine magnesium oxide powder.

기상합성법에 의해 산화마그네슘 미분말을 제조하기 위한 장치는 일반적으로 금속마그네슘증기를 생성시키는 마그네슘증기 생성장치와, 마그네슘증기와 산소함유기체를 서로 접촉시킴으로써 마그네슘을 산화시켜 산화마그네슘 미분말을 생성시키는 마그네슘산화장치로 이루어진다.The apparatus for producing magnesium oxide fine powder by vapor phase synthesis method is generally a magnesium vapor generating device for producing metal magnesium vapor, and a magnesium oxide device for producing magnesium oxide fine powder by oxidizing magnesium by bringing magnesium vapor and oxygen-containing gas into contact with each other. Is made of.

일본 공개특허공보 평2-307822호에는 마그네슘증기 생성장치로서, 금속마그네슘을 가열하여 용융시키기 위한 금속마그네슘 용융포트와, 용융마그네슘을 가열하여 증발시키기 위한 마그네슘 증발포트를 내열성 접속파이프로 연결한 구성의 금속마그네슘 용융증발장치가 개시되어 있다.Japanese Unexamined Patent Application Publication No. Hei 2-307822, which is a magnesium vapor generating apparatus, has a structure in which a metal magnesium melting port for heating and melting metal magnesium and a magnesium evaporation port for heating and evaporating molten magnesium are connected by heat-resistant connection pipes. Metal magnesium melt evaporation apparatus is disclosed.

일본 공개특허공보 평7-101722호에는 마그네슘산화장치로서, 저부로부터 상방을 향해 대략 수직으로 마그네슘증기와 불활성가스로 이루어지는 혼합기체를 분사시키기 위한 혼합가스 분사구를 구비하고, 측부에 산소함유기체 분사구를 구비한 마그네슘산화장치가 개시되어 있다. 이 공개공보에는 원하는 입자경이 되도록 혼합기체 분사구의 단면적을 설정하고, 이어서 실장치로 산화마그네슘 분말을 제조하고, 설정된 입자경과 실제로 얻어진 분말의 입자경과의 차이를 산소함유기체 분사구의 장착위치를 바꿔 미조정함으로써 정확하게 원하는 입자경의 산화마그네슘 분말을 제조할 수 있게 된다는 기재가 있다.Japanese Laid-Open Patent Publication No. 7-101722 is a magnesium oxide device, including a mixed gas injection port for injecting a mixed gas composed of magnesium vapor and an inert gas from the bottom to an upward direction, and having an oxygen-containing gas injection port at the side. Disclosed is a magnesium oxide device. In this publication, the cross-sectional area of the mixed gas jet port is set so as to have a desired particle size, and then, magnesium oxide powder is produced by a real apparatus, and the difference between the set particle diameter and the particle size of the powder actually obtained is changed by changing the mounting position of the oxygen-containing gas jet port. There is a description that it is possible to manufacture magnesium oxide powder of a desired particle size accurately by adjustment.

본 발명자의 연구에 의해, 상기 금속마그네슘 용융증발장치와 마그네슘산화장치를 실제로 사용하여 산화마그네슘 미분말을 제조하면 몇가지 문제가 있음을 알수 있었다. 그 중 하나로, 장기간에 걸쳐 연속적으로 산화마그네슘 미분말의 제조를 실시하면 그 제조시간의 경과와 함께 입자경이 불균일한 산화마그네슘 미분말이 생성되기 쉬워지는 경향이 있고, 얻어진 고순도 산화마그네슘 미분말의 입도분포의 폭이 넓어진다는 문제가 있다. 또, 장기간에 걸쳐 연속적으로 산화마그네슘 미분말의 제조를 실시하면 얻어지는 산화마그네슘 미분말의 순도가 저하되는 경우가 있다는 문제도 있음이 판명되었다.According to the research of the present inventors, it was found that there are some problems when the fine magnesium oxide powder is actually manufactured by using the above-mentioned magnesium magnesium evaporation apparatus and the magnesium oxide apparatus. One of them, if the magnesium oxide fine powder is continuously produced over a long period of time, the magnesium oxide fine powder having an irregular particle diameter tends to be easily formed with the passage of the production time, and the width of the particle size distribution of the obtained high purity magnesium oxide fine powder is increased. There is a problem that is widened. In addition, it has been found that there is a problem that the purity of the obtained magnesium oxide fine powder may decrease when the magnesium oxide fine powder is continuously produced over a long period of time.

본 발명의 목적은 위에 기술한 문제점을 제거하여, 장기간에 걸쳐 연속적으로 입도 분포의 폭이 좁은 고순도 산화마그네슘 미분말을 제조할 수 있는 방법 및 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method and apparatus for producing a high purity magnesium oxide fine powder having a narrow width of particle size distribution continuously over a long period of time by eliminating the problems described above.

도 1 은 본 발명의 방법을 실시하기 위한 고순도 산화마그네슘 미분말 제조회수장치의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows an example of the structure of the high purity magnesium oxide fine powder collection | recovery apparatus for implementing the method of this invention.

도 2 는 도 1 의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치의 특징점인 마그네슘산화장치의 마그네슘증기 분사구의 주변 부분을 확대한 도면이다.FIG. 2 is an enlarged view of a peripheral portion of a magnesium vapor injection hole of a magnesium oxide device which is a feature of the high purity magnesium oxide fine powder production device of FIG. 1.

도 3 은 본 발명에 따른 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치를 사용한 고순도 산화마그네슘 미분말 제조회수장치의 구성의 다른 일례를 나타내는 도면이다.3 is a view showing another example of the configuration of a high-purity magnesium oxide fine powder production and recovery apparatus using the high-purity magnesium oxide fine powder production apparatus according to the present invention.

도 4 는 도 3 의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치의 특징점인 마그네슘산화장치의 마그네슘증기 분사구의 주변 부분을 확대한 도면이다.FIG. 4 is an enlarged view of a peripheral portion of a magnesium vapor injection hole of a magnesium oxide device which is a feature of the high purity magnesium oxide fine powder production device of FIG. 3.

본 발명은, 상방을 향해 대략 수직으로 분사시킨 마그네슘증기와 불활성가스로 이루어지는 혼합기체에 산소함유기체류를 접촉시킴으로써 마그네슘을 산화시켜 산화마그네슘 미분말을 생성시키면서, 생성된 산화마그네슘 미분말의 일부를 연속적으로 또는 간헐적으로 채취하여 그 입자경에 관계되는 물성값을 측정하고, 측정된 물성값에 기초하여 산소함유기체의 유량 및/또는 산소농도를 조정하여, 생성되는 산화마그네슘 미분말의 입자경을 미리 결정된 입자경범위에 들어가도록 조절하는 것으로 이루어지는 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법에 있다.According to the present invention, a portion of the resulting magnesium oxide fine powder is continuously produced while the magnesium oxide fine powder is oxidized by oxidizing magnesium by bringing an oxygen-containing gas stream into contact with a mixed gas composed of magnesium vapor and an inert gas sprayed substantially vertically upward. Alternatively, the intermittent sample may be collected intermittently to measure the property value related to the particle size, and the flow rate and / or the oxygen concentration of the oxygen-containing gas may be adjusted based on the measured property value so that the particle size of the fine magnesium oxide powder is made to fall within the predetermined particle size range. There is a method for producing a high-purity magnesium oxide fine powder consisting of adjusting.

본 발명은 또, 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구(取出口)를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구(吹出口)를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지는 금속마그네슘 용융증발장치와, 저부에 이 증발포트의 마그네슘증기 취출구와 접속하는 마그네슘증기 분사구, 측면에 산소함유기체 분사구, 그리고 상부에 산화마그네슘 미분말 취출구를 구비한 마그네슘산화장치로 이루어지고, 마그네슘산화장치가 측부에 내부관찰 창을 구비하고, 또한 그 저부에 평행하게 마그네슘증기 분사구에 퇴적되는 금속마그네슘 또는 마그네슘 화합물을 제거하는 연삭장치가 부설되어 있는 것을 특징으로 하는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치에도 있다.The present invention also relates to a metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the top and a molten magnesium outlet at the bottom of the side, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and the other heat resistant pipe. A molten magnesium inlet connected to the end is provided at the lower side of the side, and a magnesium magnesium evaporation device comprising a magnesium evaporation port having a magnesium vapor outlet at the top thereof, and a magnesium vapor outlet of the evaporation port at the bottom thereof. Magnesium oxidizer equipped with a magnesium vapor injection port, an oxygen-containing gas injection port on the side, and a fine magnesium oxide powder outlet on the upper side, the magnesium oxide device has an internal observation window on the side, and magnesium vapor parallel to the bottom Metal magnesium or magnesium compound deposited at the nozzle May also grinding device is laid high purity magnesium oxide powder producing apparatus, characterized in that to remove.

본 발명은 또한, 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구(吹出口)를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지는 금속마그네슘 용융증발장치와, 저부에 이 증발포트의 마그네슘증기 취출구와 접속하는 마그네슘증기 분사구, 측면에 산소함유기체 분사구, 그리고 상부에 산화마그네슘 미분말 취출구를 구비한 마그네슘산화장치로 이루어지고, 마그네슘산화장치의 저부에 마그네슘증기 분사구의 주위를 가열하는 가열기가 부설되어 있는 것을 특징으로 하는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치에도 있다.The invention also relates to a metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the top and a molten magnesium outlet at the bottom of the side, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and a second end of the heat resistant pipe. A magnesium magnesium evaporation device comprising a magnesium evaporation port having a molten magnesium inlet at the lower side and a magnesium evaporation port at the top, and a magnesium vapor inlet connected at the bottom to the magnesium vapor outlet at the bottom. And a magnesium oxide device having an oxygen-containing gas injection port at the side and a magnesium oxide fine powder outlet at the top, and a heater for heating the surroundings of the magnesium vapor injection port at the bottom of the magnesium oxide device is provided. Magnesium Fine Powder Manufacturing Equipment There is also.

본 발명은 또, 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지고, 이 증발포트의 용융마그네슘 도입구로부터 저부까지의 거리가 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구로부터 저부까지의 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 금속마그네슘 용융증발장치에도 있다.The present invention also relates to a metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the top and a molten magnesium outlet at the bottom of the side, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and the other end of the heat resistant pipe. It is composed of a magnesium evaporation port having a molten magnesium inlet at the lower side of the side and a magnesium vapor outlet at the top, and the distance from the molten magnesium inlet to the bottom of the evaporation port is from the molten magnesium outlet of the molten port to the bottom. There is also a metal magnesium melt evaporation apparatus, characterized in that it is longer than the distance of.

본 발명은 또한, 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지고, 이 증발포트의 저부에 개폐가 가능한 용융마그네슘 배출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 금속마그네슘 용융증발장치에도 있다.The invention also relates to a metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the top and a molten magnesium outlet at the bottom of the side, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and a second end of the heat resistant pipe. A molten magnesium inlet is provided at the lower side of the side and a magnesium evaporation port having a magnesium vapor outlet at the top thereof, and a molten magnesium outlet is formed at the bottom of the evaporation port to open and close the molten magnesium. It is also in the device.

발명의 상세한 설명Detailed description of the invention

본 발명의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치의 바람직한 양태를 하기에 나타낸다.The preferable aspect of the high purity magnesium oxide fine powder manufacturing apparatus of this invention is shown below.

(1) 혼합기체와 산소함유기체의 접촉각도가 혼합기체의 진행방향에 대해 대략 수직이다.(1) The contact angle between the mixed gas and the oxygen-containing gas is approximately perpendicular to the direction of travel of the mixed gas.

(2) 입자경에 관계되는 물성값이 비표면적이다.(2) The physical property value related to particle diameter is a specific surface area.

(3) 혼합기체와 산소함유기체의 접촉장소를 조정함으로써 생성되는 산화마그네슘 미분말의 입자경을 조절하는 공정을 포함한다.(3) A step of adjusting the particle size of the fine magnesium oxide powder produced by adjusting the contacting position of the mixed gas and the oxygen-containing gas.

본 발명의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치의 바람직한 양태를 하기에 나타낸다.The preferable aspect of the high purity magnesium oxide fine powder manufacturing apparatus of this invention is shown below.

(1) 마그네슘산화장치의 저부에 연삭장치와 함께 마그네슘증기 분사구의 주위를 가열하는 가열기가 부설되어 있다.(1) At the bottom of the magnesium oxidation apparatus, a heater is provided for heating the surroundings of the magnesium vapor jet port together with the grinding apparatus.

본 발명의 금속마그네슘 용융증발장치의 바람직한 양태를 하기에 나타낸다.The preferable aspect of the metal magnesium melt evaporation apparatus of this invention is shown below.

(1) 용융마그네슘 도입구로부터 저부까지의 거리의 조정이 이루어진 증발포트의 저부에 개폐가 가능한 융융마그네슘 배출구가 형성되어 있다.(1) A molten magnesium outlet is formed at the bottom of the evaporation port where the distance from the molten magnesium inlet to the bottom is adjusted.

본 발명의 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법은 산화마그네슘 미분말을 생성시키면서, 생성된 산화마그네슘 미분말의 일부를 연속적으로 또는 간헐적으로 채취하여 그 입자경에 관계되는 물성값을 측정하고, 측정된 물성값에 기초하여 산소함유기체의 유량 및/또는 산소농도를 조정하여, 생성되는 산화마그네슘 미분말의 입자경을 미리 결정된 입자경범위에 들어가도록 조절하는 것을 특징으로 한다.In the method for producing a high-purity magnesium oxide fine powder of the present invention, while producing a fine magnesium oxide powder, a portion of the produced magnesium oxide fine powder is continuously or intermittently taken to measure the physical property value related to the particle diameter, and based on the measured physical property value By adjusting the flow rate and / or oxygen concentration of the containing gas, it is characterized in that the particle size of the resulting magnesium oxide fine powder is adjusted to fall within the predetermined particle size range.

입자경에 관계되는 물성값으로는 평균입자경 및 비표면적 (BET 비표면적) 을 사용할 수 있다. 평균입자경의 측정에는 레이저 회절법 등의 공지된 방법을 사용할 수 있다. 비표면적의 측정에는 질소흡착법 등의 공지된 방법을 사용할 수 있다. 입자경에 관계되는 물성값에는 비표면적을 사용하는 것이 바람직하다.As a physical property value related to particle diameter, an average particle diameter and specific surface area (BET specific surface area) can be used. A well-known method, such as a laser diffraction method, can be used for the measurement of an average particle diameter. A well-known method, such as a nitrogen adsorption method, can be used for the measurement of a specific surface area. It is preferable to use a specific surface area for the physical property value which concerns on a particle diameter.

물성값의 측정은 산화마그네슘 미분말의 입자경이 불안정해기 쉬운 제조개시 직후 (통상은 제조개시로부터 5 시간 이내) 에는 1 시간에 2 회 이상 (바람직하게는 2 ∼ 10 회) 의 빈도로 실시하는 것이 바람직하다. 또, 산화마그네슘 미분말의 입자경이 비교적 안정된 경우라도 물성값의 측정은 1 시간에 1 회 이상 (바람직하게는 1 ∼ 5 회) 의 빈도로 실시하는 것이 바람직하다.The measurement of the physical property value is preferably carried out at a frequency of two or more times (preferably 2 to 10 times) per hour immediately after the start of production (usually within 5 hours from the start of production) where the particle size of the fine magnesium oxide powder is likely to become unstable. Do. Moreover, even when the particle size of magnesium oxide fine powder is comparatively stable, it is preferable to perform a measurement of a physical property at the frequency of 1 or more times (preferably 1 to 5 times) per hour.

채취한 산화마그네슘 미분말의 입자경이 목적으로 하는 입자경범위보다 큰 경우에는 산소함유기체의 유량은 조정전보다 많게 하고, 산소함유기체의 산소농도는 조정전보다 높게 한다. 한편, 입자경이 목적으로 하는 입자경범위보다 작은 경우에는 산소함유기체의 유량은 조정전보다 적게 하고, 산소함유기체의 산소농도는 조정전보다 낮게 한다.When the particle size of the fine magnesium oxide powder is larger than the target particle size range, the flow rate of the oxygen-containing gas is higher than before adjustment, and the oxygen concentration of the oxygen-containing gas is higher than before adjustment. On the other hand, when the particle diameter is smaller than the target particle size range, the flow rate of the oxygen-containing gas is lower than before adjustment, and the oxygen concentration of the oxygen-containing gas is lower than before adjustment.

본 발명에서는 생성되는 산화마그네슘 미분말의 입자경을 조절하는 방법으로서 혼합기체와 산소함유기체의 접촉장소를 조정하는 방법을 병용해도 된다. 이 방법에서는 산화마그네슘 미분말의 입자경이 목적으로 하는 입자경범위보다 큰 경우에는 혼합기체와 산소함유기체의 접촉장소를 조정전보다 낮은 위치로 한다. 한편, 입자경이 목적으로 하는 입자경범위보다 작은 경우에는 혼합기체와 산소함유기체의 접촉장소를 조정전보다 높은 위치로 한다. 혼합기체와 산소함유기체의 접촉장소의 조정은 산소함유기체 분사구의 배치장소를 변경하여 실시하는 것이 바람직하다.In this invention, you may use together the method of adjusting the contact place of a mixed gas and an oxygen containing gas as a method of adjusting the particle diameter of the produced magnesium oxide fine powder. In this method, when the particle size of the fine magnesium oxide powder is larger than the target particle size range, the contact point of the mixed gas and the oxygen-containing gas is set to a lower position than before the adjustment. On the other hand, when the particle diameter is smaller than the target particle size range, the contact place between the mixed gas and the oxygen-containing gas is set to a position higher than before the adjustment. It is preferable to adjust the place of contact of the mixed gas and the oxygen-containing gas by changing the arrangement position of the oxygen-containing gas injection port.

이하, 본 발명의 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법에 대해 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the manufacturing method of the high purity magnesium oxide fine powder of this invention is demonstrated, referring an accompanying drawing.

도 1 은 본 발명의 방법을 실시하기 위한 고순도 산화마그네슘 미분말 제조회수장치의 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 또, 도 2 는 도 1 의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치의 특징점인 마그네슘산화장치의 마그네슘증기 분사구의 주변 부분을 확대한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows an example of the structure of the high purity magnesium oxide fine powder collection | recovery apparatus for implementing the method of this invention. 2 is an enlarged view of the peripheral portion of the magnesium vapor injection port of the magnesium oxide device, which is a feature of the high purity magnesium oxide fine powder production device of FIG.

도 1 에 나타내는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조회수장치는 금속마그네슘 용융증발장치 (10) 와 마그네슘산화장치 (26) 로 이루어지는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치와, 열교환기 (41), 버그필터 (42), 및 호퍼 (43) 로 이루어지는 고순도 산화마그네슘 미분말 회수장치로 구성되어 있다.The high purity magnesium oxide fine powder production and recovery apparatus shown in FIG. 1 includes a high purity magnesium oxide fine powder production apparatus comprising a metal magnesium melt evaporation apparatus 10 and a magnesium oxidation apparatus 26, a heat exchanger 41, a bug filter 42, and It is comprised by the high purity magnesium oxide fine powder collection | recovery apparatus which consists of hoppers 43. As shown in FIG.

금속마그네슘 용융증발장치 (10) 는 금속마그네슘 도입구 (11) 와 금속마그네슘의 산화를 방지하기 위한 산화방지가스 도입구 (12) 를 구비한 덮개부 (13), 및 측면 하부에 용융마그네슘 취출구 (14) 를 구비한 포트부 (15) 로 이루어지는 금속마그네슘 용융포트 (16), 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프 (17), 그리고 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구 (18) 를 측면 하부에 구비한 포트부 (19), 및 마그네슘증기 취출구 (20) 와 금속마그네슘의 산화를 방지하고, 마그네슘증기를 희석시키는 불활성가스 도입구 (21) 를 구비한 덮개부 (22) 로 이루어지는 마그네슘 증발포트 (23) 로 구성되어 있다.The metal magnesium melt evaporation apparatus 10 includes a lid 13 having a metal magnesium inlet 11 and an oxidation gas inlet 12 for preventing oxidation of the metal magnesium, and a molten magnesium outlet at the lower side of the metal magnesium inlet 11. The metal magnesium melting port 16 which consists of the port part 15 provided with the 14, the heat resistant pipe 17 connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and the molten magnesium inlet 18 connected to the other end of the heat resistant pipe. ) And a lid portion 22 having a port portion 19 provided at the lower side of the side, and an inert gas inlet 21 for preventing the oxidation of the magnesium vapor outlet 20 and the metal magnesium and diluting the magnesium vapor. It consists of the magnesium evaporation port 23 which consists of.

융융포트 덮개부의 산화방지가스 도입구 (12) 로부터 용융포트 내부로 도입되는 산화방지가스로는 6플루오르화황가스, 이산화탄소가스, 네온가스, 아르곤가스, 크립톤가스, 크세논가스, 및 라돈가스를 사용할 수 있다. 이들 가스 중에서도 6플루오르화황가스가 특히 바람직하다. 이 산화방지가스는 마그네슘증기의 생성시에는 항상 용융포트 내부로 도입된다.As the antioxidant gas introduced into the melting port from the antioxidant gas inlet 12 of the melting port cover part, sulfur hexafluoride gas, carbon dioxide gas, neon gas, argon gas, krypton gas, xenon gas, and radon gas may be used. . Among these gases, sulfur hexafluoride gas is particularly preferable. This antioxidant gas is always introduced into the melting pot during the production of magnesium vapor.

증발포트 덮개부의 불활성가스 도입구 (21) 로부터 증발포트 내부로 도입되는 불활성가스로는 헬륨가스, 네온가스, 아르곤가스, 크립톤가스, 크세논가스, 및라돈가스를 사용할 수 있다. 이들 가스 중에서도 아르곤가스가 특히 바람직하다. 이 불활성가스는 마그네슘증기의 생성시에는 항상 증발포트 내부로 도입된다.Helium gas, neon gas, argon gas, krypton gas, xenon gas, and radon gas may be used as the inert gas introduced into the evaporation port from the inert gas inlet 21 of the evaporation port cover part. Among these gases, argon gas is particularly preferable. This inert gas is always introduced into the evaporation port when magnesium vapor is produced.

마그네슘증기의 생성은 다음과 같이 이루어진다. 우선, 원료가 되는 금속마그네슘 (24) 을 금속마그네슘 도입구 (11) 로부터 용융포트 (16) 에 투입하고, 그 용융포트에서 금속마그네슘을 그 용융온도로 가열하여 용융마그네슘 (25) 으로 한다. 이 용융마그네슘은 내열성 파이프 (17) 를 통하여 증발포트 (23) 에 저장된다. 그리고, 증발포트 (23) 에서 다시 용융마그네슘 (25) 을 그 비등점 이상의 온도로 가열하여 마그네슘증기를 생성한다. 이 마그네슘증기는 불활성가스 도입구 (21) 로부터 증발포트 내부로 도입된 불활성가스와의 혼합가스로서 증발포트의 마그네슘 분무구 (20) 로부터 방출된다.The production of magnesium vapor takes place as follows. First, the metal magnesium 24 used as a raw material is thrown into the melting port 16 from the metal magnesium introduction port 11, and the metal magnesium is heated at the melting temperature to the molten magnesium 25 in the melting port. This molten magnesium is stored in the evaporation port 23 through the heat resistant pipe 17. Then, the molten magnesium 25 is heated again at the evaporation port 23 to a temperature above the boiling point to generate magnesium vapor. This magnesium vapor is discharged from the magnesium atomization port 20 of the evaporation port as a mixed gas with an inert gas introduced into the evaporation port from the inert gas inlet 21.

마그네슘증기의 생성을 장기간에 걸쳐 연속적으로 실시하면 금속마그네슘중의 불순물 (특히, 철, 니켈, 크롬 등의 고비등점 중금속) 이 서서히 증발포트에 축적되고, 그 축적량의 증가에 따라 불순물이 마그네슘증기에 혼입되어 얻어지는 산화마그네슘 미분말의 순도가 저하되는 경우가 있다. 이로 인해, 도 1 의 금속마그네슘 용융증발장치에서는 증발포트 (23) 의 용융마그네슘 도입구 (18) 로부터 저부까지의 거리를 용융포트의 용융마그네슘 취출구로부터 저부까지의 거리보다 길게 함으로써 불순물을 증발포트의 저부측에 체류시켜 마그네슘증기로의 불순물 혼입량을 장기간에 걸쳐 적게 할 수 있도록 하고 있다. 또한, 증발포트의 용융마그네슘 도입구로부터 저부까지의 거리는 용융포트의 용융마그네슘 취출구로부터 저부까지의 거리의 1.2 ∼ 1.8 배의 범위로 하는 것이 바람직하다.When magnesium steam is produced continuously for a long time, impurities in metal magnesium (especially high boiling point heavy metals such as iron, nickel, and chromium) gradually accumulate in the evaporation port, and impurities increase in the magnesium vapor as the accumulation amount increases. The purity of the fine magnesium oxide powder obtained by mixing may fall. For this reason, in the metal magnesium fusion evaporation apparatus of FIG. By staying at the bottom, it is possible to reduce the amount of impurity mixed with magnesium vapor over a long period of time. The distance from the molten magnesium inlet port to the bottom of the evaporation port is preferably in the range of 1.2 to 1.8 times the distance from the molten magnesium outlet of the melting port to the bottom.

또, 용융포트의 용융마그네슘 취출구로부터 저부까지의 거리보다 길게 한 다음, 또는 그와 같은 거리 조정을 실시하지 않고 용융포트의 저부에 개폐가 가능한 용융마그네슘 배출구를 형성해도 된다.Further, the molten magnesium outlet may be formed to be longer than the distance from the molten magnesium outlet of the melting pot to the bottom, or to be opened and closed at the bottom of the melting pot without adjusting such distance.

마그네슘산화장치 (26) 는 저부에 증발포트의 마그네슘증기 취출구 (20) 와 접속하는 마그네슘증기와 불활성가스의 혼합기체 분사구 (27), 측면에 산소함유기체 분사구 (28), 그리고 상부에 산화마그네슘 미분말 취출구 (29) 를 구비하고 있다.The magnesium oxide oxidizer 26 is a mixture gas injection port 27 of magnesium vapor and an inert gas connected to the magnesium vapor outlet 20 of the evaporation port at the bottom, an oxygen-containing gas injection port 28 at the side, and fine magnesium oxide powder at the top. The ejection opening 29 is provided.

혼합기체 분사구 (27) 는 마그네슘증기와 불활성가스의 혼합가스가 상방을 향해 수직 상방으로 분사되도록 배치되어 있다. 산소함유기체 분사구 (28) 는 혼합기체 분사구 (27) 로부터 분사되는 혼합가스의 진행방향에 대해 대략 수직으로 산소함유기체를 분사하도록 배치되어 있다. 산화마그네슘 미분말 취출구 (29) 는 생성된 산화마그네슘 미분말을 마그네슘증기와 함께 도입된 불활성가스의 흐름에 실리게 하여 빼낼 수 있도록 혼합기체 분사구의 수직 상방에 배치되어 있다.The mixed gas injection port 27 is arranged so that the mixed gas of magnesium vapor and the inert gas is vertically upwardly injected. The oxygen-containing gas injection port 28 is arranged to inject the oxygen-containing gas approximately perpendicular to the traveling direction of the mixed gas injected from the mixed gas injection port 27. The magnesium oxide fine powder outlet 29 is disposed above the mixed gas injection port so that the produced magnesium oxide fine powder can be taken out by the flow of the inert gas introduced with the magnesium vapor.

산소함유기체로는 통상은 공기가 사용된다. 단, 산소함유기체는 공기에 한정되는 것은 아니며, 예컨대 산소를 단독으로 사용할 수도 있고, 또한 산소나 공기에 불활성가스 (통상은 아르곤가스) 를 첨가하여 사용할 수도 있다.As the oxygen-containing gas, air is usually used. However, the oxygen-containing gas is not limited to air. For example, oxygen may be used alone, or an inert gas (usually argon gas) may be added to oxygen or air.

마그네슘산화장치 (26) 의 내부온도 (즉, 마그네슘의 산화반응온도) 는 1200 ∼ 2000℃ 로 하는 것이 바람직하지만, 마그네슘의 산화반응은 발열반응이기 때문에 산화마그네슘 미분말의 생성에 따라 마그네슘산화장치의 내부온도는 상승하는경향이 있다. 이로 인해, 마그네슘증기와 산소함유기체가 접촉하는 부위의 주위는 냉각용 공기도입구 (30) 와 냉각용 공기배기구 (31) 를 구비한 냉각용 외관 (32) 으로 덮여 있고, 냉각용 공기 도입구로부터 냉각용 공기를 도입함으로써 마그네슘산화장치의 내부온도를 조정할 수 있도록 되어 있다.The internal temperature of the magnesium oxide oxidizer 26 (that is, the oxidation reaction temperature of magnesium) is preferably set to 1200 to 2000 ° C. However, since the oxidation of magnesium is an exothermic reaction, the internal portion of the magnesium oxidizer is produced by the production of fine magnesium oxide powder. The temperature tends to rise. For this reason, the vicinity of the site where the magnesium vapor and the oxygen-containing gas contact each other is covered with a cooling exterior 32 having a cooling air inlet 30 and a cooling air exhaust port 31. The internal temperature of the magnesium oxide can be adjusted by introducing cooling air.

마그네슘산화장치에서는 혼합기체 분사구 (27) 의 주위에 금속마그네슘이나 마그네슘 화합물 (예: 산화마그네슘) 이 퇴적되어, 혼합기체 분사구 (27) 로부터 장치내로 도입되는 혼합기체량이 변동하여 생성되는 산화마그네슘 미분말의 입자경이 변동하는 경우가 있다. 이로 인해, 도 1 의 마그네슘산화장치에서는 측부에 내부관찰용 창 (33) 을 구비하고, 또한 그 저부에 평행하게 혼합기체 분사구에 퇴적되는 산화마그네슘을 제거하는 연삭장치 (34) 가 부설되어 있다.In the magnesium oxide apparatus, metal magnesium or magnesium compound (e.g. magnesium oxide) is deposited around the mixed gas injection port 27, and the amount of finely mixed magnesium oxide powder produced by varying the amount of mixed gas introduced into the apparatus from the mixed gas injection port 27 is generated. The particle diameter may vary. For this reason, in the magnesium oxidation apparatus of FIG. 1, the grinding | polishing apparatus 34 which has the window 33 for internal observation in the side part, and removes the magnesium oxide deposited at the mixed gas injection port parallel to the bottom part is provided.

연삭장치 (34) 는 선단에 연삭판 (35) 을 구비한 아암 (36) 과, 그 아암을 마그네슘산화장치의 저부와 평행하게 밀고당기기 위한 실린더 (37) 로 구성되어 있다. 또한, 도 1 의 마그네슘산화장치에서는 내부관찰용 창 (33) 과 연삭장치 (34) 가 각각 중공의 케이싱체 (38) 에 일체적으로 장착되어 배치되어 있지만, 내부관찰용 창 및 연삭장치의 배치에 특별히 제한은 없다. 연삭장치 (34) 의 아암 (36) 의 작동속도는 내부관찰용 창 (33) 으로 관찰된 금속마그네슘이나 마그네슘 화합물의 퇴적상태를 고려하여 적절하게 조정한다. 이 연삭장치 (34) 에 의해 제거된 금속마그네슘이나 마그네슘 화합물은 마그네슘산화장치의 측부에 구비된 개구부 (청소용 창) (39) 에 의해 외부로 빼낼 수 있도록 되어 있다.The grinding device 34 is composed of an arm 36 having a grinding plate 35 at its tip, and a cylinder 37 for pushing the arm in parallel with the bottom of the magnesium oxide device. In addition, in the magnesium oxidation apparatus of FIG. 1, although the internal observation window 33 and the grinding device 34 are each mounted integrally with the hollow casing body 38, the internal observation window and the grinding device are arranged. There is no restriction in particular. The operating speed of the arm 36 of the grinding device 34 is appropriately adjusted in consideration of the deposition state of the metal magnesium or magnesium compound observed by the window 33 for internal observation. The metal magnesium or magnesium compound removed by the grinding device 34 can be taken out to the outside by an opening (cleaning window) 39 provided on the side of the magnesium oxide device.

내부관찰용 창 (33) 은 마그네슘증기 분사구 (27) 의 주위에서의 금속마그네슘 또는 마그네슘 화합물의 퇴적상황을 육안으로 관찰하기 위한 창이다. 연삭장치 (34) 의 아암 (36) 의 작동속도는 이 내부관찰용 창을 통해 관찰된 산화마그네슘의 퇴적상태를 고려하여 적절하게 조정한다.The internal observation window 33 is a window for visually observing the deposition state of the metal magnesium or magnesium compound around the magnesium vapor injection port 27. The operating speed of the arm 36 of the grinding device 34 is appropriately adjusted in consideration of the deposition state of magnesium oxide observed through this inner viewing window.

도 1 의 마그네슘산화장치에서는 마그네슘증기 분사구 (27) 로부터 마그네슘증기를 산소함유기체 분사구 (28) 로부터 산소함유기체를 각각 분사시키고, 마그네슘증기와 산소함유기체를 접촉시켜 고순도 산화마그네슘 미분말 (40) 을 생성시키는 동시에, 내부관찰 창 (33) 으로부터 마그네슘증기 분사구의 주위를 관찰하면서 마그네슘증기 분사구의 주위에 퇴적된 산화마그네슘을 연삭장치 (34) 로 제거할 수 있다. 따라서, 마그네슘증기 분사구로부터 마그네슘산화장치로 도입되는 마그네슘증기량이 장기간에 걸쳐 안정된다.In the magnesium oxidizing apparatus of FIG. 1, the oxygen-containing gas is injected from the magnesium-vapor injection port 27 through the oxygen-containing gas injection port 28, and the magnesium-vapor fine powder 40 is brought into contact with the magnesium vapor by contacting it. At the same time, the magnesium oxide deposited around the magnesium vapor jet port can be removed by the grinding device 34 while observing the surroundings of the magnesium vapor jet port from the internal observation window 33. Therefore, the amount of magnesium vapor introduced into the magnesium oxide device from the magnesium vapor injection port is stabilized for a long time.

마그네슘산화장치에서 생성된 산화마그네슘 미분말 (40) 은 산화마그네슘 미분말 취출구 (29) 를 통하여 열교환기 (41) 로 보내진다. 열교환기 (41) 로 냉각된 산화마그네슘 미분말은 버그필터 (42) 로 회수되고, 호퍼 (43) 에 일단 저장된다.The magnesium oxide fine powder 40 produced in the magnesium oxide apparatus is sent to the heat exchanger 41 through the magnesium oxide fine powder outlet 29. The fine magnesium oxide powder cooled by the heat exchanger 41 is recovered by the bug filter 42 and once stored in the hopper 43.

기상합성에 의해 생성되는 산화마그네슘 미분말은 활성이 높기 때문에 공기와 접촉하면 공기중의 이산화탄소나 수증기를 흡착시키는 경우가 있다. 이로 인해 호퍼에 저장되어 있는 산화마그네슘 미분말은 그 출하 전에 500 ∼ 1100℃ 의 온도에서 재소성시키는 것이 바람직하다.Magnesium oxide fine powder produced by gas phase synthesis has high activity, so that in contact with air, carbon dioxide or water vapor in the air may be adsorbed. For this reason, it is preferable to refire the magnesium oxide fine powder stored in the hopper at the temperature of 500-1100 degreeC before shipment.

도 3 은 본 발명에 따른 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치를 사용한 고순도 산화마그네슘 미분말 제조회수장치의 구성의 다른 일례를 나타내는 도면이며,도 4 는 도 3 의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치의 특징점인 마그네슘산화장치의 마그네슘증기 분사구의 주변 부분을 확대한 도면이다.3 is a view showing another example of the configuration of a high-purity magnesium oxide fine powder production recovery apparatus using a high-purity magnesium oxide fine powder production apparatus according to the present invention, Figure 4 is a magnesium oxide device which is a feature of the high-purity magnesium oxide fine powder production apparatus of FIG. Is an enlarged view of the peripheral portion of the magnesium vapor nozzle.

도 3 에서 고순도 산화마그네슘 미분말 제조회수장치는 도 1 의 경우와 마찬가지로 금속마그네슘 용융증발장치 (10) 와 마그네슘산화장치 (26) 로 이루어지는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치와, 열교환기 (41), 버그필터 (42), 및 호퍼 (43) 로 이루어지는 고순도 산화마그네슘 미분말 회수장치로 구성되어 있다.In Figure 3, the high purity magnesium oxide fine powder production and recovery apparatus is made of a high-purity magnesium oxide fine powder production apparatus consisting of a metal magnesium melt evaporation apparatus 10 and a magnesium oxidation apparatus 26, a heat exchanger 41, a bug filter as in the case of FIG. A high purity magnesium oxide fine powder recovery device comprising a 42 and a hopper 43 is provided.

도 3 의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치에서도 금속마그네슘 용융증발장치 (10) 는 금속마그네슘 도입구 (11) 와 금속마그네슘의 산화를 방지하기 위한 산화방지가스 도입구 (12) 를 구비한 덮개부 (13), 및 측면 하부에 용융마그네슘 취출구 (14) 를 구비한 포트부 (15) 로 이루어지는 금속마그네슘 용융포트 (16), 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프 (17), 그리고 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구 (18) 를 측면 하부에 구비한 포트부 (19), 및 마그네슘증기 취출구 (20) 와 금속마그네슘의 산화를 방지하고, 마그네슘증기를 희석시키는 불활성가스 도입구 (21) 를 구비한 덮개부 (22) 로 이루어지는 마그네슘 증발포트 (23) 로 구성되어 있다.Even in the high purity magnesium oxide fine powder production apparatus of FIG. 3, the metal magnesium melt evaporation apparatus 10 includes a lid portion 13 having an inert gas inlet 11 and an oxidation gas inlet 12 for preventing oxidation of the metal magnesium. ) And a metal magnesium melting port 16 consisting of a port portion 15 having a molten magnesium outlet 14 at the lower side of the side, a heat resistant pipe 17 connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and the other heat resistant pipe. A port portion 19 having a molten magnesium inlet 18 connected to an end portion at the lower side of the side, and an inert gas inlet 21 for preventing oxidation of the magnesium vapor outlet 20 and the metal magnesium and diluting magnesium vapor. It is comprised by the magnesium evaporation port 23 which consists of the cover part 22 provided with the lid.

도 3 의 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치에서도 마그네슘산화장치 (26) 는 저부에 증발포트의 마그네슘증기 취출구 (20) 와 접속하는 마그네슘증기 분사구 (27), 측면에 산소함유기체 분사구 (28), 그리고 상부에 산화마그네슘 미분말 취출구 (29) 를 구비하고 있다. 도 3 의 마그네슘산화장치에서는 그 저부에 가열기 (44) 가 부설되어 있는 점에 특징이 있다. 가열기 (44) 에는 유도가열방식 가열기 및 발열체방식 가열기를 사용할 수 있다.Also in the high purity magnesium oxide fine powder production apparatus of FIG. 3, the magnesium oxide oxidizer 26 has a magnesium vapor inlet 27 connected to the magnesium vapor outlet 20 at the bottom of the evaporation port, an oxygen-containing gas inlet 28 at the side, and an upper portion thereof. The fine magnesium oxide fine powder outlet 29 is provided in the In the magnesium oxide device of Fig. 3, the heater 44 is provided at the bottom thereof. As the heater 44, an induction heating type heater and a heating element type heater can be used.

도 3 의 마그네슘산화장치에서는 마그네슘증기 분사구 (27) 로부터 마그네슘증기를 산소함유기체 분사구 (28) 로부터 산소함유기체를 각각 분사시키고, 마그네슘증기와 산소함유기체를 접촉시켜 고순도 산화마그네슘 미분말 (40) 을 생성시키는 동시에, 마그네슘증기 분사구 (27) 의 주위를 가열기 (44) 에 의해 금속마그네슘의 비등점 이상의 온도 (바람직하게는 1200 ∼ 2000℃) 로 가열함으로써, 금속마그네슘이나 마그네슘 화합물을 마그네슘증기 분사구의 주위에 잘 부착되지 않게 할 수 있다. 따라서, 마그네슘증기 분사구로부터 마그네슘산화장치로 도입되는 마그네슘증기량이 장기간에 걸쳐 안정된다.In the magnesium oxidation apparatus of FIG. 3, the magnesium vapor is injected from the magnesium vapor injection port 27 by the oxygen-containing gas injection port 28, and the oxygen-containing gas is brought into contact with the magnesium vapor and the oxygen-containing gas to obtain a high-purity magnesium oxide powder 40. At the same time, the magnesium vapor and the magnesium compound are heated around the magnesium vapor jet port by heating the surroundings of the magnesium vapor jet port 27 to a temperature above the boiling point of the metal magnesium (preferably 1200 to 2000 ° C.) by the heater 44. You can prevent it from sticking well. Therefore, the amount of magnesium vapor introduced into the magnesium oxide device from the magnesium vapor injection port is stabilized for a long time.

또한, 도 3 의 마그네슘산화장치에서는 가열기 (44) 는 도 4 에 나타내는 바와 같이 마그네슘증기 분사구의 주위에 둘러싸듯이 배치되어 있지만, 도 1 의 마그네슘산화장치의 마그네슘증기 분사구 (27) 의 주위에 연삭장치 (34) 의 작동을 방해하지 않는 범위에서 가열기를 부설하여, 연삭장치에 의한 퇴적물의 연삭과, 가열기에 의한 마그네슘증기 분사구 주위의 가열을 동시에 실시해도 된다.In the magnesium oxidation apparatus of FIG. 3, the heater 44 is arranged so as to surround the magnesium vapor injection port as shown in FIG. 4, but the grinding device is arranged around the magnesium vapor injection port 27 of the magnesium oxidation device of FIG. 1. A heater may be provided within a range that does not interfere with the operation of (34), and the grinding of the deposit by the grinding device and the heating around the magnesium vapor injection port by the heater may be performed simultaneously.

본 발명의 방법에 의하면 장기간에 걸쳐 연속적으로 입도분포의 폭이 좁은 고순도 산화마그네슘 미분말을 제조할 수 있다.According to the method of the present invention, a high purity magnesium oxide fine powder having a narrow width of particle size distribution can be produced continuously over a long period of time.

Claims (11)

상방을 향해 대략 수직으로 분사시킨 마그네슘증기와 불활성가스로 이루어지는 혼합기체에 산소함유기체류를 접촉시킴으로써 마그네슘을 산화시켜 산화마그네슘 미분말을 생성시키면서, 생성된 산화마그네슘 미분말의 일부를 연속적으로 또는 간헐적으로 채취하여 그 입자경에 관계되는 물성값을 측정하고, 측정된 물성값에 기초하여 산소함유기체의 유량 및/또는 산소농도를 조정하여, 생성되는 산화마그네슘 미분말의 입자경을 미리 결정된 입자경범위에 들어가도록 조절하는 것으로 이루어지는 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법.A portion of the resulting magnesium oxide fine powder is continuously or intermittently collected while oxidizing magnesium to produce fine magnesium oxide powder by bringing oxygen-containing gas into contact with a mixture of magnesium vapor and inert gas sprayed substantially vertically upwards. And measuring the physical property value related to the particle diameter, and adjusting the flow rate and / or oxygen concentration of the oxygen-containing gas based on the measured physical property value to adjust the particle diameter of the resulting magnesium oxide fine powder to fall within the predetermined particle size range. Method for producing high purity magnesium oxide fine powder. 제 1 항에 있어서, 혼합기체와 산소함유기체의 접촉각도가 혼합기체의 진행방향에 대해 대략 수직인 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법.The method for producing a high purity magnesium oxide fine powder according to claim 1, wherein the contact angle between the mixed gas and the oxygen-containing gas is approximately perpendicular to the advancing direction of the mixed gas. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 입자경에 관계되는 물성값이 비표면적인 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법.The method for producing a high-purity magnesium oxide fine powder according to claim 1 or 2, wherein the physical property value related to the particle diameter is a specific surface. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 혼합기체와 산소함유기체의 접촉장소를 조정함으로써 생성되는 산화마그네슘 미분말의 입자경을 조절하는 공정을 포함하는 고순도 산화마그네슘 미분말의 제조방법.The method for producing a high-purity magnesium oxide fine powder according to any one of claims 1 to 3, comprising the step of adjusting the particle size of the fine magnesium oxide powder produced by adjusting the contacting position of the mixed gas and the oxygen-containing gas. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 제조방법에 의해 제조된 고순도 산화마그네슘 미분말.The fine purity magnesium oxide powder manufactured by the manufacturing method in any one of Claims 1-4. 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지는 금속마그네슘 용융증발장치와, 저부에 이 증발포트의 마그네슘증기 취출구와 접속하는 마그네슘증기 분사구, 측면에 산소함유기체 분사구, 그리고 상부에 산화마그네슘 미분말 취출구를 구비한 마그네슘산화장치로 이루어지고, 마그네슘산화장치가 측부에 내부관찰 창을 구비하고, 또한 그 저부에 평행하게 마그네슘증기 분사구에 퇴적되는 금속마그네슘 또는 마그네슘 화합물을 제거하는 연삭장치가 부설되어 있는 것을 특징으로 하는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치.A metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the upper side and a molten magnesium outlet at the lower side thereof, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and a molten magnesium inlet connected to the other end of the heat resistant pipe. A metal magnesium melt evaporation device comprising a magnesium evaporation port provided at the lower side of the side and having a magnesium vapor outlet at the top, a magnesium vapor injection port connected to the magnesium vapor outlet at the bottom of the evaporation port, an oxygen-containing gas injection port at the side, It is composed of a magnesium oxide device having a fine magnesium oxide powder outlet at the top, and the magnesium oxide device has an internal observation window at the side, and removes the metal magnesium or magnesium compound deposited at the magnesium vapor jet in parallel to the bottom thereof. Device laying High purity magnesium oxide fine powder production apparatus, characterized in that. 제 6 항에 있어서, 마그네슘산화장치의 저부에 마그네슘증기 분사구의 주위를 가열하는 가열기가 부설되어 있는 것을 특징으로 하는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치.7. The high purity magnesium oxide fine powder production apparatus according to claim 6, wherein a heater for heating the surroundings of the magnesium vapor injection port is provided at the bottom of the magnesium oxidation apparatus. 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지는 금속마그네슘 용융증발장치와, 저부에 이 증발포트의 마그네슘증기 취출구와 접속하는 마그네슘증기 분사구, 측면에 산소함유기체 분사구, 그리고 상부에 산화마그네슘 미분말 취출구를 구비한 마그네슘산화장치로 이루어지고, 마그네슘산화장치의 저부에 마그네슘증기 분사구의 주위를 가열하는 가열기가 부설되어 있는 것을 특징으로 하는 고순도 산화마그네슘 미분말 제조장치.A metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the upper side and a molten magnesium outlet at the lower side thereof, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and a molten magnesium inlet connected to the other end of the heat resistant pipe. A metal magnesium melt evaporation device comprising a magnesium evaporation port provided at the lower side of the side and having a magnesium vapor outlet at the top, a magnesium vapor injection port connected to the magnesium vapor outlet at the bottom of the evaporation port, an oxygen-containing gas injection port at the side, A high purity magnesium oxide fine powder production apparatus comprising: a magnesium oxide device having a fine magnesium oxide powder outlet at an upper portion thereof, and a heater for heating the periphery of the magnesium vapor injection hole at the bottom of the magnesium oxide device. 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지고, 이 증발포트의 용융마그네슘 도입구로부터 저부까지의 거리가 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구로부터 저부까지의 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 금속마그네슘 용융증발장치.A metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the upper side and a molten magnesium outlet at the lower side thereof, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and a molten magnesium inlet connected to the other end of the heat resistant pipe. It is composed of a magnesium evaporation port provided at the lower side of the side and having a magnesium vapor outlet at the top, and the distance from the molten magnesium inlet to the bottom of the evaporation port is longer than the distance from the molten magnesium outlet of the melting port to the bottom. Metal magnesium melt evaporation apparatus. 제 9 항에 있어서, 상기 증발포트의 저부에 개폐가 가능한 용융마그네슘 배출구가 형성되어 있는 금속마그네슘 용융증발장치.10. The apparatus of claim 9, wherein a molten magnesium outlet that is openable at a bottom of the evaporation port is formed. 상부에 금속마그네슘 도입구, 그리고 측면 하부에 용융마그네슘 취출구를 구비한 금속마그네슘 용융포트, 이 용융포트의 용융마그네슘 취출구에 접속하는 내열성 파이프, 그리고 이 내열성 파이프의 타방 단부에 접속하는 용융마그네슘 도입구를 측면 하부에 구비하고, 상부에는 마그네슘증기 취출구를 구비한 마그네슘 증발포트로 이루어지고, 이 증발포트의 저부에 개폐가 가능한 용융마그네슘 배출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 금속마그네슘 용융증발장치.A metal magnesium melting port having a metal magnesium inlet at the upper side and a molten magnesium outlet at the lower side thereof, a heat resistant pipe connected to the molten magnesium outlet of the melting port, and a molten magnesium inlet connected to the other end of the heat resistant pipe. And a magnesium evaporation port provided at a lower side of the side and having a magnesium vapor outlet, and a molten magnesium outlet formed at the bottom of the evaporation port to open and close.
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