KR20040046003A - 웨이퍼용 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트(Cassette for wafers)는 몸체에 홈이 형성되어 그 홈에 웨이퍼(wafer)들을 담아 반도체 제조 공정간에는 웨이퍼들을 이동시키고 반도체 제조 공정시에는 상기 웨이퍼들을 거치하면서, 몸체에는 웨이퍼에 표시된 롯 아이디(lot ID)가 식별 가능한 롯 아이디 식별부가 형성된다. 또한 롯 아이디 식별부는 투명하게 형성된다. 이러한 구조로 인해, 반도체 제조 공정시 외부에서 롯 아이디에 대한 식별이 가능하여, 웨이퍼를 카세트에서 커내어 공정을 진행할 때 웨이퍼의 롯 아이디가 장치에서 진행하고자 하는 리시피(recipe)와 달라 품질 사고가 발생되는 것을 방지하는 것이 가능하다.

Description

웨이퍼용 카세트{Cassette for wafers}

본 발명은 웨이퍼용 카세트(cassette for wafers)에 관한 것으로 보다 자세하게는 웨이퍼의 롯 아이디(lot ID)를 식별하는 것이 가능한 웨이퍼용 카세트에 관한 것이다.

반도체 소자를 제조하는데 있어서 주로 규소(Si)를 고순도로 정제하여 결정시킨 후 얇게 잘라낸 웨이퍼(wafer)가 주로 사용된다. 이러한 얇게 잘라낸 판 모양의 웨이퍼에는 확산, 사진, 식각, 박막 공정 등을 통해 전기 회로가 구성되고, 전기 회로가 구성된 웨이퍼는 전기적 특성 검사 후 양품 칩(chip)만을 분리하여 패키지(package) 상태로 형상화된다. 반도체 소자를 제조하는 데에는 상술한 바와 같이 많은 공정을 필요로 하고 이동시 다수가 일체로 이동되며, 또한 웨이퍼의 표면에는 전기 회로가 구성되어 있는 얇은 판 모양이므로 파손 및 긁힘 등의 훼손을 주의하여 신중하게 다루어져야 한다. 그러므로, 웨이퍼를 다수의 일체로 이동시키고 작업 수행이 대기되는 동안에도 웨이퍼를 보호하기 위해 웨이퍼용 카세트(cassette)가 주로 사용된다.

웨이퍼에 구성된 전기 회로는 제조하고자 하는 반도체 소자에 따라 서로 다르다. 그러므로, 서로 다른 전기 회로가 패턴(pattern)된 웨이퍼는 서로 구별되어야 한다. 따라서, 이러한 서로 다른 반도체 칩을 제조하는 웨이퍼에 대해서 특정 부위에 다른 웨이퍼와 구별하는 수단으로 그 웨이퍼에 대한 롯 아이디(lot ID)가 표시된다. 그러한 예가 도 1에 도시되어 있다. 도 1은 웨이퍼 상에 롯 아이디 및 패턴이 형성된 부위를 나타내는 평면도이다. 도 1의 웨이퍼(12)에서는 롯 아이디(A)가 표시되어 있는 부분 및 패턴이 형성되어 있는 부분(13)이 형성되어 있다.

또한, 서로 다른 반도체 칩을 제조하기 위한 반도체 제조 방식도 또한 서로 다르므로, 각 반도체 제조 장비에는 리시피(recipe)가 입력되어 있다. 리시피란 각 장비가 어떤 재료를 처리하는데 필요한 규칙이나 제어 데이터를 말한다. 그러므로, 웨이퍼에 표시된 롯 아이디와 제조 장비에 입력된 리시피가 서로 동일한 반도체 칩을 만들기 위해 부합되어야 한다.

그러나, 종래의 웨이퍼용 카세트의 몸체는 불투명한 재질로 이루어져 있다. 도 2는 종래의 웨이퍼용 카세트의 사시도이다. 웨이퍼용 카세트(10)의 몸체(11)가 형성되어 있고 그 내부에 웨이퍼(11)가 있으나, 웨이퍼에 표시된 롯 아이디를 외부에서 식별할 수 없어서, 웨이퍼의 롯 아이디와 제조 장비의 리시피가 부합되지 않을 때는 이를 미리 확인할 수 없어서 품질 사고가 발생될 가능성이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 외부에서도 웨이퍼 상에 표시되어 있는 롯 아이디가 외부에서 식별 가능한 위치의 몸체의 재질이 투명 재질로 이루어진 웨이퍼용 카세트를 제공하는 것이다.

도 1은 웨이퍼 상에 롯 아이디(lot ID) 및 패턴의 형성된 부위를 나타내는 평면도,

도 2는 종래의 웨이퍼용 카세트의 사시도, 그리고

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트의 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

A: 웨이퍼 상의 롯 아이디 표시 부분

10: 종래의 웨이퍼용 카세트

11: 종래의 웨이퍼용 카세트의 몸체

12, 22: 웨이퍼

13: 웨이퍼 상에 패턴이 형성된 부위

20: 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트

21: 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트의 몸체

23: 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트의 롯 아이디 식별부

본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트는 몸체에 홈이 형성되어 그 형성된 홈에 웨이퍼들을 담아 반도체 제조 공정간에는 웨이퍼들을 이동시키고 반도체 제조 공정시에는 상기 웨이퍼들을 거치하고, 상술한 몸체에는 웨이퍼에 표시된 롯 아이디(lot ID)가 식별 가능한 롯 아이디 식별부가 형성되는 것을 특징으로 한다. 또한, 상술한 롯 아이디 식별부는 투명하게 형성되는 것이 가능하다.

상술한 구조로 인해, 반도체 제조 공정시 외부에서 롯 아이디에 대한 식별이 가능하여, 웨이퍼를 카세트에서 커내어 공정을 진행할 때 장치에서 진행하고자 하는 리시피(recipe)와 달라 품질 사고가 발생되는 것을 방지하는 것이 가능하다.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트에 대해 자세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트의 사시도이다. 도 2 및 도 3에서는 웨이퍼의 카세트가 삽입되고 인출되는 홈이 상부 방향으로 형성되어 있으나 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐 이에 제한되지 않고, 상술한 홈이 전방으로 형성되는 것도 가능하다. 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 웨이퍼용 카세트(20)의 몸체(21)의 홈에는 웨이퍼들(22)이 거치되어 있다. 그러나, 종래의 웨이퍼용 카세트(10)와는 다르게 본 발명의 웨이퍼용 카세트(20)에는 투명한 재질로 이루어진 롯 아이디 식별부(23)가 있다. 이 롯 아이디 식별부(23)를 통하여 웨이퍼(22)의 표면에 표시되어 있는 롯 아이디(A)를 보는 것이 가능하다. 웨이퍼(22)의 표면의 특정 부위에는 그 웨이퍼가 어떠한 공정을 거쳐야 하는지를 나타내는 롯 아이디(A)가 형성되어 있다. 도 2와 비교하면, 도 2의 웨이퍼용 카세트(10) 내의 웨이퍼(12) 또한 롯 아이디가 표시되어 있슴에도 불구하고 모든 몸체(11)의 재질이 불투명 재질로 이루어져 있기 때문에 이를 식별할 수 없다. 그러나, 도 3의 웨이퍼용 카세트(20)는 몸체(21) 중 투명하게 형성된 롯 아이디 식별부(23)를 통하여 외부에서도 웨이퍼(22)의 롯 아이디(A)가 식별 가능하다.

본 발명은 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변경 실시할 수 있음은 당 업계의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 이해할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼용 카세트는 웨이퍼의 롯 아이디를 외부에서 식별 가능하도록 투명 재질로 이루어진 롯 아이디 식별부를 형성함에 의해, 웨이퍼의 롯 아이디를 공정 전 외부에서 미리 식별하여, 웨이퍼를 카세트에서 커내어 공정을 진행할 때 웨이퍼의 롯 아이디와 장치에서 진행하고자 하는 공정의 리시피가 부합되지 않아 품질 사고가 발생되는 것을 방지하는 것이 가능하다.

Claims (2)

1. 몸체에 홈이 형성되어 상기 홈에 웨이퍼(wafer)들을 담아 반도체 제조 공정간에는 상기 웨이퍼들을 이동시키고 반도체 제조 공정시에는 상기 웨이퍼들을 거치하는 웨이퍼용 카세트(cassette)에 있어서,

   상기 몸체에는 상기 웨이퍼에 표시된 롯 아이디(lot ID)가 식별 가능한 롯 아이디 식별부가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 카세트.
2. 제 1항에 있어서, 상기 롯 아이디 식별부는 투명하게 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 카세트.