KR20040036404A

KR20040036404A - 멀티드레싱 척테이블

Info

Publication number: KR20040036404A
Application number: KR1020020065424A
Authority: KR
Inventors: 기경민
Original assignee: 주식회사 마이크로 세미콘
Priority date: 2002-10-25
Filing date: 2002-10-25
Publication date: 2004-04-30

Abstract

본 발명은 블레이드의 드레싱작업시 드레싱보드를 고정시키기 위한 척테이블에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 드레싱보드의 흡입력을 높임과 동시에 수개의 드레싱보드를 고정시킬 수 있도록 된 멀티드레싱 척테이블에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명은 상하관통되는 수개의 주흡입구(11)가 형성된 하판(10), 상기 하판(10) 상부에 결합되고 수개의 부흡입구(21)가 상하좌우로 배열형성된 상판(20), 및 상기 하판(10)과 상판(20)사이에 설치되며 상기 부흡입구(21)와 주흡입구(11)를 연결하는 공기분배기로 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

멀티드레싱 척테이블{Multi Dressing Chuck Table}

웨이퍼(wafer)를 절단 및 가공하는 블레이드는 그 외주면이 허브외형 또는 NC선반의 회전에 따른 원형으로 형성되어 있어 진원 형성이 불규칙한 상태로 되어 있다. 따라서, 드레싱(dressing)이라는 진원형성 작업을 통하지 않고 블레이드를 사용할 경우 블레이드가 쉽게 파손되고 칩핑(chipping), 크랙(crack)발생 등 절단품질이 현저히 저하된다.

드레싱작업은 도 4에 도시된 바와 같이 척테이블(100)에 드레싱보드(80)를 고정시키고 사용하고자 하는 블레이드(50)를 회전장치(60)에 고정시킨 후, 상기 블레이드(50)를 회전시켜 상기 블레이드(50)가 드레싱보드(80)에 의해 연마되도록 하는 것이다.

이때, 드레싱보드(80)는 진공장치(200)에 의해 척테이블(100)에 흡착고정되는데, 종래 척테이블(100)은 도 5에 도시된 바와 같이 상판(20)에 형성된 여러개의부흡입구(21)가 하판(10)에 형성된 하나의 주흡입구(11)에 의해 흡착력이 형성되는 것이므로 각각의 부흡입구(21)에서 생성되는 흡입력이 떨어졌다. 따라서, 드레싱작업시 드레싱보드(80)가 미동되어 드레싱작업이 원활하게 이루어지지 않거나 부흡입구(21)로 절삭유가 침투하여 드레싱보드(80)가 이탈되는 문제점이 있었으며, 척테이블(100)이 하나의 드레싱보드(80)만 고정시키도록 되어 있어 드레싱작업 후 자주 드레싱보드(80)를 교체해야 하는 번거로움이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 주흡입구를 여러개 형성하여 흡착력증대시킴으로서 다수의 드레싱보드를 흡착고정시킬 수 있는 척테이블를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 분리사시도

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 결합사시도

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 사용상태도

도 4는 종래 척테이블의 사용상태도

도 5는 종래 척테이블의 분리사시도

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 하판11 : 주흡입구

20 : 상판21 : 부흡입구

31, 32, 33 : 분배기41 : 연결관

42, 43 : 흡입구50 : 블레이드

60 : 회전장치70 : 이송장치

80 : 드레싱보드100 : 척테이블

200 : 진공장치

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 멀티드레싱 척테이블은 상하관통되는 수개의 주흡입구가 형성된 하판, 상기 하판 상부에 결합되고 수개의 부흡입구가 상하좌우로 배열형성된 상판, 및 상기 하판과 상판사이에 설치되며 상기 부흡입구와 주흡입구를 연결하는 공기분배기로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 공기분배기가 상기 주흡입구 위에 설치되는 제1분배기, 상기 제1분배기의 외측에 설치되고 연결관을 매개로 제1분배기와 소통되며 윗면에 흡입구가 형성된 제2분배기, 및 상기 제2분배기의 위에 설치되되 밑면에 상기 흡입구와 일치되게 유입구가 형성되고 윗면이 다수의 부흡입구와 소통되도록 개방된 제3분배기로 이루어진 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 일실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 분리사시도를 도시한 것으로서, 척테이블(100)의 몸통을 이루는 하판(10)은 내측에 개방된 공간이 형성되어 있으며 바닥면에는 상하로 관통된 수개의 주흡입구(11)와 하향돌출된 결합돌기(12)가 형성되어 있다. 이때, 상기 주흡입구(11)는 바닥면 중앙에 원형태로 배열되어 있으며 결합돌기(12)는 원형태로 형성되어 있다.

주흡입구(11)가 형성된 하판(10)의 바닥면 위로는 상기 주흡입구(11)를 덮는 제1분배기(31)가 설치되는데, 상기 제1분배기(31)는 내측에 빈공간이 형성되고 사방으로 연결관(41)이 결합되어 있어, 상기 주흡입구(11)에서 발생되는 흡입력을 연결관(41)의 수만큼으로 분배시킨다.

아울러, 상기 제1분배기와(31)와 함께 하판(10)의 바닥면에는 수개의 제2분배기(32)가 설치되는데, 상기 제2분배기(32)는 연결관(41)을 매개로 제1분배기(31)와 서로 소통되며 윗면에 수개의 흡입구(42)가 형성되어 있다. 이때, 상기 제1분배기(31)와 제2분배기(32)는 하판(10)의 바닥면에 용접 등의 방법으로 결합되거나, 하판(10) 바닥면에 제1분배기(31)와 제2분배기(32) 외형크기의 끼움홈을 형성시키고 이 끼움홈에 끼워맞추는 방법으로 결합된다.

한편, 하판(10)의 상부 개방부에는 다수의 부흡입구(21)가 상하좌우로 배열형성된 상판(20)이 결합되며, 상기 상판(20)과 제2분배기(32)사이에 상기 제2분배기 수만큼의 제3분배기(33)가 설치된다.

상판(20)과 제2분배기(32)를 연결하는 제3분배기(33)는 몸체 중앙에 상기 제2분배기(32)의 흡입구(42)와 일치되는 유입구(43)가 형성되어 있으며, 내측공간이 아래로 내려가면서 상기 유입구(43)로 좁아지도록 경사져 있어, 상기 상판(20)에 형성된 다수의 부흡입구(22)가 상기 제3분배기(33)를 통해 각각의 제2분배기(32)로 용이하게 소통된다.

따라서, 주흡입구(11)를 통해 발생되는 진공력이 상기 제1분배기(31), 제2분배기(32) 및 제3분배기(33)를 통해 부흡입구(21)에 전달되므로 보다 효율적이면서 안정적으로 유지될 수 있으며, 종래보다 많은 수의 주흡입구(11)와 부흡입구(21)를 형성시켜 보다 강력한 진공흡입력을 발생시킬 수 있는 장점이 있다.

한편, 각각의 제2분배기(32)에 결합되는 제3분배기(33)는 서로 모아져서 상판(20)과 같은 하나의 사각형태를 이루며, 상판(20)과 함께 하판(10)에 형성된 단턱(13)에 끼워져 결합되어 도 2에 도시된 바와 같이 하나의 사각판형태를 이룬다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 사용상태도를 도시한 것으로서, 진공장치(200)에 장착된 본 발명의 척테이블(100)에는 수개의 드레싱보드(80)가 장착되어 있으며, 상기 진공장치(200)의 일측에는 상하전후좌우로 작동되는 이송장치(70)가 설치되어 있다. 아울러, 상기 이송장치(70)에는 회전장치(60)가 설치되어 있어 블레이드(50)를 저속 또는 고속으로 회전시킨다.

따라서, 상기 회전장치(60)에 결합된 블레이드(50)는 회전되면서 이송장치(70)에 의해 좌우로 이동되어 척테이블(100)에 고정된 드레싱보드(80)에 의해 연마된다. 이때, 상기 드레싱보드(80)는 장기간에 사용되면 표면이 매끄러워져 그 역할을 발휘하지 못하게 되는데, 이 경우 블레이드(50)가 고정된 이송장치(200)가 척테이블(100)에 고정된 다른 드레싱보드(80)쪽으로 이동하여 블레이드(50)의 다듬질 가공을 계속 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명은 종래와 달리 드레싱보드(80)를 자주 교체할 필요가 없으므로 블레이드의 다듬질 시간을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 척테이블에 드레싱보드를 안정되게 고정시킴으로서 드레싱작업을 보다 정확하고 정밀하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 다수의 드레싱보드를 척테이블에 고정함으로서 드레싱보드의 교체횟수를 줄여 작업속도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims

상하관통되는 수개의 주흡입구(11)가 형성된 하판(10), 상기 하판(10) 상부에 결합되고 수개의 부흡입구(21)가 상하좌우로 배열형성된 상판(20), 및 상기 하판(10)과 상판(20)사이에 설치되며 상기 부흡입구(21)와 주흡입구(11)를 연결하는 공기분배기로 이루어진 것을 특징으로 하는 멀티드레싱 척테이블.
제 1 항에 있어서, 공기분배기가 상기 주흡입구(21) 위에 설치되는 제1분배기(31), 상기 제1분배기(31)의 외측에 설치되고 연결관(41)을 매개로 제1분배기(31)와 소통되며 윗면에 흡입구(42)가 형성된 제2분배기(32), 및 상기 제2분배기(32)의 위에 설치되되 밑면에 상기 흡입구(42)와 일치되게 유입구(43)가 형성되고 윗면이 다수의 부흡입구(21)와 소통되도록 개방된 제3분배기(33)로 이루어진 것을 특징으로 하는 멀티드레싱 척테이블.