KR20040027753A - small piezoelectric or electrostrictive linear motor - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 76
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 239000002783 friction material Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 18
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 20
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 10
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/04—Constructional details
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
- H02N2/006—Elastic elements, e.g. springs
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- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
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Abstract
Description
휴대폰 이나 PDA등의 카메라 렌즈구동용으로 탑재 가능한 초소형 전자계 모터(Stepping Motor)의 경우 빠른 회전을 직선운동으로 바꾸기 위해 감속기어와 캠(cam)를 사용하여야 하며 정 또는 역 회전 시 백레쉬(backlash)가 생겨 오차가 발생하고 전력소모가 크기 때문에 사용에 제한을 받고 있다. 또한 이와 같은 전자계 구동모터는 높은 전류와 열 발생 등의 단점을 가지고 있다.In case of small stepping motor that can be mounted for camera lens driving of mobile phone or PDA, reduction gear and cam should be used to convert fast rotation to linear movement and backlash in forward or reverse rotation. Error occurs and power consumption is limited, so it is restricted. In addition, such an electromagnetic drive motor has disadvantages such as high current and heat generation.
일반적으로 압전/전왜 기판을 이용한 리니어모터는 굴곡파(flexural wave)에 의해 발생된 진행파로 구동하는 방법과 종진동(longitudinal vibration)과 횡진동(transversal vibration) 액츄에이터를 결합하여 수직과 수평진동을 반복적으로 발생시켜 이동자를 구동하는 정재파형 방법 등이 알려져 있다. 정재파형(standing wave type) 리니어모터의 기본적인 형태는 서로 다른 동작모드를 갖는 진동자를 결합하여 발생하는 복수진동을 이용하는 것으로, 수직방향과 수평방향으로 진동하는 압전/전왜 액츄에이터와 동작하는 이동체에 기계적 변위를 전달하는 접촉부로 구성되어 있다. 압전진동자의 종진동은 이동자와 접촉하고 있는 진동부분(접촉부)에 전달되고, 이동자와 접촉부분의 마찰로 이동체가 구동하게 된다. 이러한 진동전달에는 여러 가지 방법이 제안되고 있지만 연속적인 구동 시 마모 등으로 인한 일정한 진동진폭을 확보하기가 어렵기 때문에 실용화에 많은 문제점이 있다.In general, a linear motor using piezoelectric / electric warp substrates repeats vertical and horizontal vibrations by combining a method of driving with a traveling wave generated by a flexural wave and a longitudinal vibration and a transversal vibration actuator. And a standing waveform method for generating a driving device for driving the mover is known. Standing wave type The basic type of linear motor uses plural vibrations generated by combining vibrators with different modes of operation, and mechanical displacement on piezoelectric / electric distortion actuators that vibrate in the vertical and horizontal directions. Consists of a contact for transmitting. The longitudinal vibration of the piezoelectric vibrator is transmitted to the vibrating portion (contacting portion) in contact with the mover, and the moving body is driven by friction between the mover and the contacting portion. Various methods have been proposed for such vibration transmission, but there are many problems in practical use because it is difficult to secure a constant vibration amplitude due to wear during continuous driving.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 휴대폰 이나 PDA등의 카메라 렌즈구동용으로 탑재 가능한 소형 압전/전왜 초음파리니어모터에 관한 것으로 초음파 영역의 펄스형태의 전압을 인가함으로써 정 또는 역의 선형 운동과 인가하는 전압의 주기에 따라 정밀한 위치조절이 가능하고 제조공정이 용이하고 구조가 간단한 소형 압전/전왜 초음파리니어모터를 제공하는데 있다.An object of the present invention is proposed to solve the above problems, and relates to a small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor that can be mounted for driving a camera lens of a mobile phone or PDA, etc. by applying a pulse voltage in the ultrasonic region. The present invention provides a compact piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor capable of precise position adjustment, easy manufacturing process, and simple structure according to a linear or reverse linear motion and a period of applied voltage.
도 1. 본 발명에 이용된 위한 압전기판 또는 전왜기판(10)과 탄성체(20)의 굴곡 변형 원리Fig. 1. Bending deformation principle of the piezoelectric or electro-distortion substrate 10 and the elastic body 20 used in the present invention
도 2. 본 발명에 적용된 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터의 원리.2. Principle of a compact piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor applied to the present invention.
도 3. 본 발명의 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터 구동을 위한 톱니펄스(saw tooth pulse)파.3. A saw tooth pulse wave for driving a small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor of the present invention.
도 4(a). 본 발명의 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터의 제1 실시예의 구조.Figure 4 (a). Structure of the first embodiment of the small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor of the present invention.
도 4(b). 본 발명의 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터의 제2 실시예의 구조.4 (b). Structure of the second embodiment of the small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor of the present invention.
도 4(c). 본 발명의 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터의 제3 실시예의 정면도 및 측면도 구조.Figure 4 (c). Front and side view structures of a third embodiment of the small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor of the present invention.
도 5(a), 5(b) 본 발명의 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터의 이동체(40)의 구조5 (a) and 5 (b) The structure of the movable body 40 of the small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor of the present invention
도 6. 본 발명의 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터의 이동체(40)와 고정자의 운동을 나타낸 원리.6. The principle showing the movement of the moving body 40 and the stator of the small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10, 12: 압전/전왜 기판20: 탄성체 기판,10, 12: piezoelectric / electric distortion substrate 20: elastomer substrate,
25: 고정단,30: 이동축,25: fixed end, 30: moving shaft,
35: 이동축 고정단,40: 이동체,35: moving shaft fixed end, 40: moving body,
42: 마찰재,44: 중량재,42: friction material, 44: heavy material,
46: 스프링,46: spring,
먼저, 본 발명의 바람직한 실시예를 통하여 상세히 설명하기 전에 본 발명에 대한 이해를 돕기 위하여 본 발명에 적용된 기본이론인 압전 효과와 그에 따른 진동이론에 대하여 설명하도록 하겠다.First, before explaining in detail through the preferred embodiment of the present invention will be described the piezoelectric effect and the vibration theory according to the basic theory applied to the present invention in order to help the understanding of the present invention.
압전 효과란 결정체가 압력을 받아 결정체 내에 전하가 발생하거나 반대로결정체에 전계를 가할 때 기계적 변형을 일으키는 것을 말한다. 이러한 압전효과를 나타내는 압전기판(10)은 분극 방향과 전계의 방향에 따라 수축과 팽창의 기계적 변위를 가지는 것을 특징으로 한다.The piezoelectric effect refers to mechanical deformation when a crystal is pressurized to generate charge in the crystal or, conversely, to apply an electric field to the crystal. The piezoelectric plate 10 exhibiting such a piezoelectric effect is characterized by having mechanical displacement of contraction and expansion according to the polarization direction and the direction of the electric field.
도1은 전계와 분극 방향에 따른 압전기판(10)의 변형을 나타내었다.1 shows a deformation of the piezoelectric plate 10 according to the electric field and the polarization direction.
도1(1)에 일방향으로 분극된 압전기판(10)에 전계를 인가했을 때의 변위형태를 나타내었다. 압전기판(10)의 분극 방향과 전계의 방향이 같을 때에는 압전기판(10)의 z 방향으로 팽창이 일어나고 포아손비(possion ratio)에 의해서 x 이동축 방향으로는 수축이 일어나게 되며 분극방향과 전계의 방향이 반대가 될 때에는 압전기판(10)의 z 방향으로 수축이 일어나면서 x축 방향으로는 팽창이 일어나게 된다.1 (1) shows a displacement pattern when an electric field is applied to the piezoelectric plate 10 polarized in one direction. When the polarization direction of the piezoelectric plate 10 is the same as the direction of the electric field, expansion occurs in the z direction of the piezoelectric plate 10, and contraction occurs in the x moving axis direction due to a posson ratio. When the direction is reversed, expansion occurs in the x-axis direction while shrinkage occurs in the z direction of the piezoelectric substrate 10.
도 1(b)는 압전기판(10)과 탄성체(20)가 결합되었을 때의 변위형태를 나타내었다. 압전기판(10)는 도 1(a)와 같은 변위형태를 보이고 압전기판(10)에 부착되어있는 탄성체(20)는 압전기판(10)의 수축과 팽창에 따라 굴곡변위를 일으키게 된다.FIG. 1 (b) shows the displacement shape when the piezoelectric plate 10 and the elastic body 20 are coupled. The piezoelectric plate 10 exhibits a displacement form as shown in FIG. 1 (a), and the elastic body 20 attached to the piezoelectric plate 10 causes bending displacement as the piezoelectric plate 10 contracts and expands.
도 1(b)의 점선으로 도시된 부분은 압전기판(10)이 z 방향으로 팽창할 때의 탄성체(20)의 굴곡 모양을 나타낸 것이다. 이러한 굴곡된 변위가 나타나는 것은 압전기판(10)의 팽창과 탄성체(20)의 고정단(25)이 고정된 상태로 인하여 탄성체(20)의 거동에 기인된 것이다.The part shown by the dotted line of FIG. 1 (b) shows the bending shape of the elastic body 20 when the piezoelectric plate 10 expands in the z direction. This curved displacement is due to the expansion of the piezoelectric plate 10 and the behavior of the elastic body 20 due to the fixed end 25 of the elastic body 20 being fixed.
도 1(c)는 압전기판(10)이 x 방향으로 팽창됨에 따라 탄성체(20)가 z 방향으로의 굴곡변형이 일어나는 형태를 나타내었다. 도 1(b)에서와 같은 변위상태에 있다가 순간적으로 전계의 방향을 바꾸어 주게 되면 압전기판(10)의 변위형태가 바뀌게 되고 순간적인 가속력과 x 방향으로의 팽창에 따라 탄성체(20)가 z 방향으로 굴곡변위가 나타나게 된다.FIG. 1 (c) shows a state in which the elastic deformation of the elastic body 20 occurs in the z direction as the piezoelectric plate 10 is expanded in the x direction. In the displaced state as shown in FIG. 1 (b), when the direction of the electric field is changed instantaneously, the displacement form of the piezoelectric plate 10 is changed, and the elastic body 20 is z due to the instantaneous acceleration force and expansion in the x direction. The bending displacement appears in the direction.
이상 압전기판에 전계를 인가한 경우의 굴곡변위의 이론에 대하여 기술하였으나, 압전기판이 아니라 전왜기판을 사용한 경우에도 압전기판의 경우와 동일한 굴곡변위 현상이 발생하게 된다. 전왜 현상이란 전왜 물질에 전계를 인가했을 때 기계적인 변형, 즉 왜곡이 발생되는 현상을 의미하는 것으로 상기 도 1에서 압전기판 대신에 전왜기판을 사용하는 경우에도 동일한 형태의 굴곡변위 현상이 나타나게 된다.Although the theory of bending displacement when an electric field is applied to the piezoelectric plate has been described, the same bending displacement phenomenon occurs even when a piezoelectric plate is used instead of the piezoelectric plate. The warping phenomenon refers to a phenomenon in which mechanical deformation, that is, distortion occurs when an electric field is applied to the warping material. In the case of using an electrodistortion substrate instead of the piezoelectric substrate in FIG.
따라서, 본 발명에서는 상기 압전기판 및 전왜기판을 이용하여 굴곡변위를 발생시켜 이를 선형적인 변위로 변환시키는 리니어 모터의 개발에 대하여 기술하겠다.Therefore, the present invention will be described with respect to the development of a linear motor for generating a bending displacement by using the piezoelectric substrate and the electrostrictive substrate to convert it to a linear displacement.
본 발명의 압전기판 또는 전왜기판(10)은 단결정, 다결정 세라믹스, 고분자 등의 재질의 압전기판 또는 전왜기판(10)으로서 압전기판의 경우 기판의 두께 방향으로 분극하여 사용될 수 있다. 상기 탄성체(20)는 일정한 두께를 가지는 탄성체를 이용할 수 있으며, 본 발명에서는 인청동 재질을 사용하였다. 이동축이 상기 탄성체(20)에 설치되는 경우 중앙부에 이동축(30)이 삽입될 수 있는 홀(hole)을 제작하여 사용할 수도 있을 것이다.The piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate 10 of the present invention may be used as the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate 10 of the material such as single crystal, polycrystalline ceramics, polymer, or the like in the thickness direction of the substrate. The elastic body 20 may use an elastic body having a predetermined thickness, and used a phosphor bronze material in the present invention. When the moving shaft is installed in the elastic body 20 may be used to produce a hole (hole) in which the moving shaft 30 can be inserted in the center.
도 1에서 살펴본 바와 같이, 압전기판 또는 전왜기판(10)과 탄성체(20)가 부착된 상태에서 전계가 인가되면, 압전기판 또는 전왜기판(10)과 탄성체(20)의 굴곡진동이 이동축에 전달되어 이동체(40)가 리니어 운동을 수행하게 된다. 이때, 이동체(40)의 변위 원리는 일반적인 물리 현상을 이용한 것으로서 관성의 법칙를 이용하였다.As shown in FIG. 1, when an electric field is applied in a state in which the piezoelectric plate or electro-distortion board 10 and the elastic body 20 are attached, the bending vibration of the piezoelectric plate or electro-distortion board 10 and the elastic body 20 is applied to the moving shaft. The moving object 40 performs the linear motion. At this time, the displacement principle of the movable body 40 uses a general physical phenomenon as the law of inertia.
이하, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 실시 예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention may be easily implemented by those skilled in the art with reference to the accompanying drawings.
도 2는 이동축(30)에 이동체(40)가 장착 되어 구동되는 메커니즘을 나타내었다. 도 3은 압전기판 또는 전왜기판(10)에 인가되는 입력 펄스를 도시한 것으로, 반복되는 톱니펄스(saw tooth pulse)를 구동 펄스로 사용하게 된다.2 illustrates a mechanism in which the moving body 40 is mounted and driven on the moving shaft 30. FIG. 3 illustrates an input pulse applied to the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate 10, and the repeated saw tooth pulse is used as the driving pulse.
도 2에 도시되어 있지는 않지만, 도시된 이동축(30)의 좌측에는 압전기판 또는 전왜기판(10)과 탄성체(20)가 도 1에서 설명한 바와 같이 설치되어 있는 것을 가정하고, 도 3과 같은 톱니펄스파를 구동파로 입력했을 경우 이동축(30)의 움직임에 따라 이동체(40)의 움직임을 살펴보도록 하자.Although not shown in FIG. 2, it is assumed that a piezoelectric plate or electro-distortion board 10 and an elastic body 20 are installed on the left side of the illustrated moving shaft 30 as described with reference to FIG. 1. When a pulse wave is input as a driving wave, let's look at the movement of the moving body 40 according to the movement of the moving shaft 30.
도 2(a)와 도 3의 a : 시작 단계이다. 이동체(40)는 왼쪽 끝의 이동축(30)에서 부터 Sa의 지점에 위치하게 된다.2 (a) and 3 (a): It is a starting step. The moving body 40 is located at the point of Sa from the moving shaft 30 of the left end.
도 2(b)와 도 3의 a-b : 도 3의 톱니 펄스파의 1 step 구간의 전압이 증가되는 톱니파의 경사부분, 즉 펄스파 a에서 b가 입력되는 구간에서는, 이동축(30)과 함께 이동체(40)가 x축 방향으로 선형적으로 크기 A(Sa=Sb) 만큼 움직이게 된다.2 (b) and 3: ab: in the inclined portion of the sawtooth wave in which the voltage in the 1 step section of the sawtooth pulse wave in FIG. 3 is increased, that is, the section in which b is input in the pulse wave a, together with the moving shaft 30 The moving body 40 moves linearly by the size A (Sa = Sb) in the x-axis direction.
도 2(c)와 도3의 b-c : 도 3의 톱니 펄스파의 전압이 b에서 c로 변화되어 전압이 0이 되는 순간에 압전기판 또는 전왜기판에 인가되는 전압이 0으로 된다. 이때, 도 2(c)의 이동축(30)은 탄성체의 복원에 의하여 순간적으로 왼쪽으로 거리 2A 만큼 움직이게 된다. 순간적으로 이동축(30)이 왼쪽으로 움직이게 되므로, 무게를가지고 있는 이동체(40)는 관성의 법칙에 의해서 Sc의 위치에 멈추어 있게 되고, 이동축(30)만이 왼쪽방향으로 움직이게 된다. (Sc>Sb)2 (c) and 3 (b) -c: The voltage applied to the piezoelectric substrate or electrodistortion substrate becomes zero at the moment when the voltage of the sawtooth pulse wave of FIG. 3 changes from b to c and becomes zero. At this time, the moving shaft 30 of Figure 2 (c) is moved to the left by a distance 2A instantaneously by the restoration of the elastic body. Since the moving shaft 30 moves to the left at a moment, the moving body 40 having the weight is stopped at the position of Sc by the law of inertia, and only the moving shaft 30 moves to the left. (Sc> Sb)
도 2(d)와 도 3의 c-d: 이동축(30)은 다시 이동체(40)와 함께 x축 방향으로 선형적으로 2A의 거리만큼 움직이게 된다. (Sc=Sd)2D and 3C-D: the moving shaft 30 is again moved along with the moving body 40 by a distance of 2A linearly in the x-axis direction. (Sc = Sd)
도 2(e)와 도 3의 d-e: b-c와 같은 형태의 움직임을 갖게 된다. (Se>Sd)2 (e) and 3, d-e: b-c have the same type of motion. (Se> Sd)
도 2(f)와 도 3의 e-f: c-d와 같은 형태의 움직임을 갖게 된다. (Sf=Se)2 (f) and 3, e-f: c-d have the same type of motion. (Sf = Se)
이상과 같이, 압전기판 또는 전왜기판에 입력되는 톱니펄스파의 구동에 의하여 탄성체의 탄성작용과 더불어 관성의 법칙에 의하여 이동체가 이동하게 된다. 이러한 변위는 압전기판 또는 전왜기판(10)에 의해서 발생되어 유니(uni-)모프 또는 바이모프(bi-morph), 즉 단일 기판 또는 이중 기판 구조에서 굴곡 운동이 일어나고 이동축(30)에 전달되어 변위가 연속적으로 일어나게 된다. 이러한 원리를 이용하여 이동체(40)를 왼쪽축의 끝부분에서 오른쪽축의 끝부분까지 움직이게 된다.As described above, the movable body is moved by the law of inertia as well as the elastic action of the elastic body by driving the sawtooth pulse wave input to the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate. This displacement is generated by the piezoelectric or electro-distortion board 10 so that a bending motion occurs in a uni- or bi-morph, ie single- or double-substrate structure, and is transmitted to the moving shaft 30. Displacement occurs continuously. Using this principle, the movable body 40 is moved from the end of the left axis to the end of the right axis.
이러한 원리를 이용하여, 도 3의 톱니펄스(Saw tooth pulse)의 방향을 바꾸어 이동축(30)에 변위가 전달되면, 이동체(40)의 방향이 바뀌게 되어 이동체(40)가 이동축(30)의 왼쪽끝 부분부터 오른쪽 끝까지 움직일 수 있게 이동체(40)의 방향을 제어할 수 있다. 본 모터의 발명은 상기 명시된 바와 같이 관성의 법칙을 원리로 하여 제공 된다.Using this principle, if the displacement is transmitted to the moving shaft 30 by changing the direction of the saw tooth pulse of FIG. 3, the direction of the moving body 40 is changed to move the moving body 40 to the moving shaft 30. It is possible to control the direction of the moving body 40 to move from the left end of the right end. The invention of the motor is provided on the principle of the law of inertia as specified above.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기본적인 구조는 압전기판 또는 전왜기판(10), 이동체(40), 이동축(30), 탄성체(20)로 구성 되는 것을 특징으로 한다. 또한 이러한 기본적인 구성을 응용하여 본 발명에서 실시예로 제시하는 3가지구조 등 다양한 형태의 소형 압전/전왜 초음파 리니어 모터를 개발하였다.The basic structure of the present invention for achieving the above object is characterized by consisting of a piezoelectric substrate or electrostrictive substrate 10, the moving body 40, the moving shaft 30, the elastic body (20). In addition, by applying such a basic configuration, the present invention has developed various types of small piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motors, such as three structures presented in the embodiments of the present invention.
도 4(a), 4(b), 4(c)는 상기 기본 구성을 이용하여 3가지 형태의 구조를 가지는 소형 압전/전왜 리니어 모터의 실시예를 나타내었다.4 (a), 4 (b) and 4 (c) show an embodiment of a small piezoelectric / electric distortion linear motor having three types of structures using the basic configuration.
도 4(a)는 본 발명의 제1 실시예로서, 압전기판 또는 전왜기판(10), 탄성체(20), 이동체(40)로 구성된다. 압전기판 또는 전왜기판(10)과 탄성체(20)는 원판(disk) 형태를 가지고 있는 유니모프(unimorph)이고 탄성체(20)는 압전기판 또는 전왜기판(10)으로부터 전달되는 진동이 손실 없이 직접적으로 전달되고 동작할 수 있는 일정한 두께를 가지는 탄성특성이 우수한 금속물질이라면 가능하며, 본 발명의 실시예에서는 인청동을 사용하여 제작하였다. 상기 이동축(30)이 상기 탄성체에 직접 부착되는 경우 이동축을 지지하기 위한 돌출부(35)를 설치할 수도 있다. 압전/전왜기판이 단층인 유니모프인 경우 도 3(a)와 같이 압전기판 또는 전왜기판과 이동축이 탄성체의 반대쪽에 설치되거나 또는 상기 이동축이 압전기판 또는 전왜기판과 같은 쪽에 설치될 수도 있을 것이다. 상기 이동축은 상기 압전기판 또는 전왜기판과 탄성체의 중심부에 설치하는 것이 가장 큰 변위를 얻을 수 있어 효율이 높을 것이다.FIG. 4 (a) shows a first embodiment of the present invention, which includes a piezoelectric plate or electrostrictive substrate 10, an elastic body 20, and a moving body 40. The piezoelectric plate or electro-distortion board 10 and the elastic body 20 are unimorphs having a disk shape, and the elastic body 20 is directly without loss of vibration transmitted from the piezoelectric plate or electro-distortion board 10. It is possible if the metal material is excellent in elastic properties having a constant thickness that can be transmitted and operated, in the embodiment of the present invention was manufactured using phosphor bronze. When the moving shaft 30 is directly attached to the elastic body, a protrusion 35 for supporting the moving shaft may be provided. When the piezoelectric / electric warp substrate is a single layer unimorph, as shown in FIG. 3 (a), the piezoelectric or electro-distortion substrate and the moving shaft may be installed on the opposite side of the elastic body, or the moving shaft may be installed on the same side as the piezoelectric substrate or the electro-distortion substrate. will be. The moving shaft may be installed at the center of the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate and the elastic body to obtain the largest displacement, so that the efficiency will be high.
도 4(a)에서 보는 바와 같이, 상기 이동축은 압전/전왜기판의 부착면의 반대면의 탄성체에 부착될 수도 있고, 도 4(b)에서 보는 바와 같이, 압전/전왜 기판이 부착된 면의 탄성체에 직접 부착되어 설치되는 경우 압전기판 또는 전왜기판은 이동축이 부착된 영역을 제외한 영역에 부착될 수 있을 것이다.As shown in FIG. 4 (a), the moving shaft may be attached to an elastic body on the opposite side of the attaching surface of the piezoelectric / electric warp substrate, and as shown in FIG. When directly attached to the elastic body, the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate may be attached to an area except for the region to which the moving shaft is attached.
여기서, 압전기판(10)은 두께 방향으로 분극하여 사용될 수 있으며, 입력되는 톱니펄스파에 따라 원판(disk) 형태의 압전기판 또는 전왜기판(10)의 외경에서 내경으로 또는 내경에서 외경 방향으로 진동이 일어나게 되어 유니모프(unimorph) 굴곡 운동을 하게 된다.Here, the piezoelectric plate 10 may be used by polarizing in the thickness direction, and vibrates from the outer diameter to the inner diameter or from the inner diameter to the outer diameter of the disk-shaped piezoelectric plate or electrostrictive substrate 10 according to the input tooth pulse wave. This happens, resulting in a unimorph flexion.
도 4(a)의 제1 실시예에서는 탄성체(20)의 한 쪽 면에는 압전기판 또는 전왜기판(10)를 부착 하였고 탄성체(20)의 다른 한 쪽 면의 중앙에 홀(hole)을 만들어 이동축(30)을 부착시켰고, 상기 탄성체가 고정될 수 있도록 탄성체의 외경을 압전기판 또는 전왜기판(10) 보다 크게 만들었다. 상기 탄성체(20)의 외측에 고정단(25)이 설치되어 있으며, 상기 고정단은 상기 모터가 고정되어 설치되는 기능을 수행할 수 있도록 제작된 것이고, 압전기판 또는 전왜기판(10)의 진동에 모터 자체가 움직이지 못하도록 고정 시켜주는 역할을 수행한다.In the first embodiment of FIG. 4 (a), a piezoelectric plate or an electrostrictive substrate 10 is attached to one side of the elastic body 20, and a hole is formed in the center of the other side of the elastic body 20. The shaft 30 was attached, and the outer diameter of the elastic body was made larger than that of the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate 10 so that the elastic body could be fixed. The fixed end 25 is installed on the outer side of the elastic body 20, and the fixed end is manufactured to perform a function in which the motor is fixed and installed, and to the vibration of the piezoelectric plate or the electro-distortion board 10. It plays a role to fix the motor itself.
이동축(30)은 탄성체(20)와 압전기판 또는 전왜기판(10)이 체결된 이중 구조인 바이모프(bimorph)의 무게보다 약 수 배정도 가벼워야 하며, 압전기판 및 전왜기판에서 발생된 진동이 효율적으로 전파될 수 있도록 구성되며 또한 상기 이동축 상에 설치된 이동체가 이동축상을 이동할 수 있도록 제작된다. 본 발명에서는 상기 이동축으로 내부가 비어 있는 중공축을 이용하여 제작 하였다. 압전기판 또는 전왜기판(10)의 양 쪽 전극에는 톱니펄스(saw tooth) 전압원(U)를 연결하여 구동파를 입력하도록 하였다.The moving shaft 30 should be about several times lighter than the weight of the bimorph, which is a double structure in which the elastic body 20 and the piezoelectric substrate or electrostrictive substrate 10 are fastened, and the vibration generated from the piezoelectric substrate and the electrostrictive substrate is reduced. It is configured to propagate efficiently and is also manufactured so that the movable body provided on the moving shaft can move on the moving shaft. In the present invention, the hollow shaft was manufactured using the hollow shaft. A saw tooth voltage source U is connected to both electrodes of the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate 10 to input a driving wave.
도 4(b)는 본 발명의 제2 실시예로서, 여기에 도시된 모터는 압전기판 또는 전왜기판을 두개 사용한 바이모프(bimorph)로써 전압값을 낮출 수 있는 형태로 모터의 수명을 향상 시킬 수 있도록 제작 되었다. 여기서, 사용된 압전기판은 두께방향으로 분극되어 사용 될 수 있으며, 상부와 하부에 부착되는 압전기판의 분극방향을 적절히 조절하여 발생된 진동이 최대가 되도록 설치한다. 또한 압전기판 또는 전왜기판(10)의 상하부의 전극에 톱니펄스(saw tooth pulse)를 인가하고 탄성체(20)에 접지를 연결해서 구동을 하게 된다. 이 경우에도, 상기 이동축(30)과 같은 쪽에 부착되는 압전기판 또는 전왜기판은 이동축이 상기 탄성체에 부착되는 경우 그 부착면을 제외한 영역에 부착되도록 제작되며, 이동축이 상기 압전기판 또는 전왜기판의 상부에 부착되어 제작될 수도 있다.4 (b) is a second embodiment of the present invention, the motor shown here can improve the life of the motor in a form that can lower the voltage value as a bimorph (bimorph) using two piezoelectric plates or electrostrictive substrates It was made to be. Here, the piezoelectric plate used may be polarized in the thickness direction, and is installed so as to maximize the vibration generated by appropriately adjusting the polarization direction of the piezoelectric plate attached to the upper and lower portions. In addition, the saw tooth pulse (saw tooth pulse) is applied to the upper and lower electrodes of the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate 10 and connected to the elastic body 20 to drive. Even in this case, the piezoelectric plate or electro-distortion board attached to the same side as the moving shaft 30 is manufactured to be attached to an area except for the attachment surface when the moving shaft is attached to the elastic body, and the moving shaft is attached to the piezoelectric plate or electro-distortion board. It may be attached to the top of the substrate to be manufactured.
도 4(c)는 본 발명의 제3 실시예로서, 여기에 도시된 모터는 탄성체와 압전기판 또는 전왜기판이 원판(disk) 형태가 아닌 사각형의 형태로 제작 되었다. 한쪽방향 크기에 제약을 받는 구조에 적용 할 수 있다. 탄성체(20)와 압전기판 또는 전왜기판(10)로 구성 된 사각형태 a x b의 크기를 가진 유니모프(unimorph) 가 굴곡 운동을 하여 모터가 동작 된다. 이 경우에도, 도 4(b)와 같이 바이모프로 제작될 수 있으며 그에 따른 구조는 도 4(c)에서 설명한 바와 동일한 방법으로 제작할 수 있을 것이다.4 (c) shows a third embodiment of the present invention, in which the motor and the piezoelectric plate or the electro-distortion board are manufactured in the shape of a rectangle rather than a disk. It can be applied to a structure constrained by the size of one direction. The motor is operated by a unimorph (unimorph) having a size of a rectangular shape a x b composed of the elastic body 20 and the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate 10. Even in this case, the bimorph may be manufactured as shown in FIG. 4 (b) and the structure thereof may be manufactured in the same manner as described with reference to FIG. 4 (c).
이와 같이, 압전기판 또는 전왜기판 및 탄성체의 형태를 압전/전왜 초음파 리니어 모터가 적용되는 장치에 적합하도록 형태를 조절할 수 있으며, 본 발명에서 제시한 원형타입이나 사각형 타입 이외에도 여러 가지 형태로 제작이 가능하다.As such, the shape of the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate and the elastic body may be adjusted to be suitable for the apparatus to which the piezoelectric / electric distortion ultrasonic linear motor is applied, and the present invention may be manufactured in various forms in addition to the circular type or the rectangular type proposed in the present invention. Do.
도 5에는 이동축(30)에 탑재되는 이동체(40)의 일 실시예를 도시 하였다. 상기 이동체(40)는 상기 압전기판 또는 전왜기판에 인가된 파형에 의하여 탄성체와결합하여 진동이 발생하면 이 진동이 상기 이동축에 전달되고, 상기 이동축 상에서 상기 이동체가 이동하여 압전기판 또는 전왜기판의 진동으로 발생된 변위를 이동체의 선형이동으로 변환하는 기능을 수행한다.5 illustrates an embodiment of the movable body 40 mounted on the moving shaft 30. When the movable body 40 is coupled to the elastic body by the waveform applied to the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate to generate a vibration, the vibration is transmitted to the moving shaft, and the movable body moves on the moving shaft so that the piezoelectric substrate or the electrostrictive substrate is moved. This function converts the displacement generated by the vibration into linear movement of the moving object.
상기 도 5에서 제시된 이동체의 구조는 본 발명의 일 실시예일 뿐이며, 상기 이동축(30) 상에서 이동축과 일정한 마찰력을 유지할 수 있으며 일정한 질량으로 본 발명의 관성의 법칙에 적용될 수 있는 구조라면 이동체(40)로서 적합할 것이다.The structure of the movable body shown in FIG. 5 is only one embodiment of the present invention, and if the structure can maintain a constant frictional force with the movable shaft on the movable shaft 30 and can be applied to the law of inertia of the present invention with a constant mass ( 40).
따라서, 일정한 중량을 가지는 금속체 또는 중량을 가지는 물질로서 로서 상기 이동축에 밀착되며 이동축과 밀착되는 면에서 일정한 마찰력을 가지도록 제작된 단일체로 제작된 이동체를 사용할 수 있을 것이다.Therefore, a metal body having a certain weight or a material having a weight may be used as a moving body made of a single body manufactured to have a constant frictional force in close contact with the moving shaft and in close contact with the moving shaft.
이동체는 이동축의 표면에 밀착되어 마찰력을 유지하기 위하여 이동축의 표면의 적어도 일부를 감싸도록 구성되며, 바람직하게는 상기 이동축에 삽입되도록 하는 구조를 가지도록 제작될 수 있다. 또한, 상기 이동체(40)는 마찰력을 가지며, 어느 정도의 무게를 가져서 관성의 법칙에 의하여 이동될 수 있도록 제작되어야 한다.The moving body is configured to surround at least a part of the surface of the moving shaft in close contact with the surface of the moving shaft to maintain the frictional force, and preferably may be manufactured to have a structure to be inserted into the moving shaft. In addition, the movable body 40 has a frictional force and should be manufactured to have a certain weight so that it can be moved by the law of inertia.
도 5에서 제시한 것과 같이, 이동축과 직접 접촉되어 일정한 마찰력을 유지하기 위하여 마찰재(42)를 포함하며, 상기 마찰재(42)외부에 마찰재의 일부를 감싸도록 형성되며, 일정한 질량을 가지는 금속재료로 형성된 중량재(44)가 형성될 수 있다. 상기 중량재(44)와 마찰재의 견고한 결합을 위하여 상기 중량재를 감싸도록 제작된 탄성체 스프링을 이용하여 상기 중량재를 조여 줄 수 있도록 하는 스프링(46)이 상기 중량재의 외측에 설치될 수 있다.As shown in FIG. 5, a metal material including a friction material 42 in direct contact with the moving shaft to maintain a constant friction force, and is formed to surround a portion of the friction material outside the friction material 42, and has a constant mass. The weight member 44 may be formed. A spring 46 may be installed on the outer side of the heavy material to tighten the heavy material by using an elastic spring made to surround the heavy material for firm coupling between the heavy material 44 and the friction material.
도 5에 도시된 바와 같이, 이동체는 이동축에 밀착되는 부분에 마찰재, 마찰재 외측에 감싸도록 형성된 질량을 가진 금속체를 포함하여 이루어진 두개의 반원통 형태로 재작될 수 있으며, 이들은 상기 이동축에 설치될 때 상기 스프링에 의하여 조여지게 된다.As shown in FIG. 5, the moving body may be reconstructed into two semi-cylindrical forms including a friction material at a portion closely contacting the moving shaft and a metal body having a mass formed to surround the outside of the friction material. When installed, it is tightened by the spring.
상기 이동체(40)가 이동축(30)에 탑재될 때 최적화된 압착력을 가져야 성능이 우수한 모터의 운동을 나타낼 수 있다. 압착력을 가지는 상기 스프링(46)을 설치하여 이동자와 이동축(30) 사이에 최적화된 압착력을 부여하게 된다.When the moving body 40 is mounted on the moving shaft 30, it must have an optimized compressive force to indicate the motion of the motor having excellent performance. The spring 46 having a compressive force is installed to impart an optimized compressive force between the mover and the moving shaft 30.
상기 마찰재는 비금속성 브레이크재를 사용하여 재작하였으며, 중량재는 무게가 많이 나가는 금속재를 이용하여 제작하였다.The friction material was reworked using a non-metallic brake material, and the weight material was manufactured using a heavy metal material.
도 6에는 모터의 이동축(30)에 탑재된 이동체(40)와 유니 모프 또는 바이모프의 동작을 도시하였다. 양쪽 끝이 고정되어있는 유니 모프 또는 바이모프(uni-, bi-morph)의 굴곡 운동에 의한 이동축(30)의 움직임과 그에 종속된 이동체(40)의 움직임을 나타내었다. 이러한 유니 모프 또는 바이모프(uni-, bi-morph)의 변위에 의해 이동체(40)가 움직이는 것을 확인할 수 있다.6 shows the operation of the movable body 40 mounted on the moving shaft 30 of the motor and the unimorph or bimorph. The movement of the movement shaft 30 and the movement of the movable body 40 according to the bending motion of the uni-morph or bi-morph (uni-, bi-morph) fixed to both ends is shown. It can be seen that the moving body 40 is moved by the displacement of the uni-morph or bi-morph (uni-, bi-morph).
상기와 같이 구성되어 이루어지는 본 발명에 따른 소형 압전기판리니어 모터는 탄성체(20)와 압전기판 또는 전왜기판(10)를 포함한 유니 또는 바이모프(uni-, bi-morph)의 굴곡 운동을 구동원으로 하여, 이동축(30)에 탑재된 이동체(40)가 움직이는 것에 관한 것으로 제조 공정이 간단하고 기본원리에 따른 응용이 용이하며특성이 우수한 소형 압전/전왜 리니어 모터를 제공할 수 있다. 본 발명은 실제 적용되는 모터 크기에 비해서 추력이 우수하며 빠른 동작속도와 안정된 구동을 가지는 소형 압전/전왜 리니어 모터에 관한 것이다.The compact piezoelectric plate linear motor according to the present invention configured as described above uses a flex motion of a uni or bi-morph including the elastic body 20 and the piezoelectric plate or electro-distortion board 10 as a driving source. In addition, the moving body 40 mounted on the moving shaft 30 is related to the movement of the manufacturing process is simple and easy to apply according to the basic principle, it can provide a small piezoelectric / electrostrictive linear motor with excellent characteristics. The present invention relates to a small piezoelectric / electrical distortion linear motor having excellent thrust compared to the motor size actually applied, and having a high operating speed and stable driving.
Claims (6)
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2004-0014050A KR100443638B1 (en) | 2004-03-02 | 2004-03-02 | small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
JP2006541050A JP2007516688A (en) | 2004-03-02 | 2005-02-04 | Small piezoelectric / electrostrictive ultrasonic linear motor |
CN2005800013176A CN1898856B (en) | 2004-03-02 | 2005-02-04 | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
EP05726601A EP1721382B1 (en) | 2004-03-02 | 2005-02-04 | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
DE602005023129T DE602005023129D1 (en) | 2004-03-02 | 2005-02-04 | SMALL PIEZOELECTRIC OR ELECTROSTRICTIVE LINEAR MOTOR |
US10/578,922 US7498719B2 (en) | 2004-03-02 | 2005-02-04 | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
PCT/KR2005/000353 WO2005083874A1 (en) | 2004-03-02 | 2005-02-04 | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
AT05726601T ATE479201T1 (en) | 2004-03-02 | 2005-02-04 | SMALL PIEZOELECTRIC OR ELECTROSTRICTION LINEAR MOTOR |
US12/357,438 US20090127974A1 (en) | 2004-03-02 | 2009-01-22 | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2004-0014050A KR100443638B1 (en) | 2004-03-02 | 2004-03-02 | small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040040895A Division KR100443639B1 (en) | 2004-03-02 | 2004-06-04 | small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040027753A true KR20040027753A (en) | 2004-04-01 |
KR100443638B1 KR100443638B1 (en) | 2004-08-11 |
Family
ID=37330117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2004-0014050A KR100443638B1 (en) | 2004-03-02 | 2004-03-02 | small piezoelectric or electrostrictive linear motor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100443638B1 (en) |
CN (1) | CN1898856B (en) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1898856A (en) | 2007-01-17 |
CN1898856B (en) | 2011-08-31 |
KR100443638B1 (en) | 2004-08-11 |
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A201 | Request for examination | ||
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G15R | Request for early publication | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
A107 | Divisional application of patent | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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