KR20040024793A - Interlocking system for apparatus for manufacturing semiconductor and method for operating the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An interlock system of semiconductor fabrication equipment and a driving method thereof are provided to inspect and recover the interlock system by checking the number of interlock due to errors of the same device and the same parameter. CONSTITUTION: An interlock system of semiconductor fabrication equipment includes a sensing unit(10), a control unit(50), a system on/off unit(60), and an interlock releasing unit(100). The sensing unit(10) senses an abnormal state of the semiconductor fabrication equipment and an abnormal state of parameter. The control unit(50) outputs a control signal according to a signal of the sensing unit. The system on/off unit(60) interlocks the interlock system according to the control signal. The interlock releasing unit(100) releases an interlocking state of the interlock system. The interlock releasing unit includes the first interlock releasing unit(110) for releasing the interlocking state according to the interlock number of the same parameter and the same device and the second interlock releasing unit(120) for releasing the interlocking state according to the interlock number due to errors of the same parameter and the same device.

Description

반도체 제조 장치의 인터락 시스템 및 그 구동방법{Interlocking system for apparatus for manufacturing semiconductor and method for operating the same}Interlocking system for apparatus for manufacturing semiconductor and method for operating the same}

본 발명은 반도체 제조 장치의 인터락 시스템 및 그 구동방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 동일 설비 및 동일 파라미터에서 다수번 인터락이 걸리는 경우 완벽한 장비의 점검후 시스템을 재개할 수 있도록 하는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템 및 그 구동방법에 관한 것이다.The present invention relates to an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus and a method of driving the same. More particularly, the present invention relates to an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus. An interlock system and a method of driving the same.

일반적으로 반도체 제조 장비에는 파라미터 및 설비등에 이상이 발생하였을 때, 이러한 이상을 감지하여, 반도체 제조 장비를 자동으로 멈추도록 하는 인터락 시스템이 구비되어 있다.In general, the semiconductor manufacturing equipment is provided with an interlock system that detects such an abnormality and automatically stops the semiconductor manufacturing equipment when an abnormality occurs in a parameter or a facility.

이러한 인터락 시스템은 반도체 제조 장비내에 내장된 일종의 콘트롤러(controller)로서, 파라미터 및 설비의 성능을 감지부, 감지부로부터 감지된 데이터와 정상 데이터를 비교하는 비교부, 및 비교부의 결과값이 허용 오차 이상일 경우 장비의 동작을 멈추도록 하는 제어 신호를 출력하는 동작 제어부를 포함할 수 있다.Such an interlock system is a kind of controller embedded in semiconductor manufacturing equipment, and includes a sensing unit that compares the performance of parameters and equipment, a comparing unit comparing normal data with data sensed from the sensing unit, and a result value of the comparing unit. In case of abnormality, the controller may include an operation controller for outputting a control signal for stopping the operation of the equipment.

그러나, 현재 하나의 디바이스를 제조하는데는 무수한 공정이 요구되며, 단위 공정에 있어서도 여러 번의 공정 및 파라미터가 존재한다. 이에따라, 반도체 제조 설비에 약간의 이상이라도 발생되면, 반도체 제조 설비가 인터락되기 때문에, 인터락 발생 비율이 매우 높다. 따라서, 공정자 역시 잦은 인터락으로 인하여, 작은 오차라고 간주하고 다시 장비를 재동작시키는 경우가 많다.However, numerous processes are currently required to manufacture one device, and there are many processes and parameters even in a unit process. Accordingly, if any abnormality occurs in the semiconductor manufacturing equipment, the semiconductor manufacturing equipment is interlocked, and therefore the interlock generation rate is very high. Therefore, due to the frequent interlocks, the technicians often consider small errors and restart the equipment again.

더욱이, 공정자들이 24시간동안 장비를 점검하는게 사실상 어렵고, 교대로 장비가 관리되고 있으므로, 심각한 오류로 인한 인터락에도 불구하고 간과하는 경우가 많다.Moreover, it is virtually difficult for technicians to check equipment for 24 hours, and the equipment is managed alternately, which is often overlooked in spite of interlocks caused by serious errors.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 동일 설비 및 동일 파라미터에 적어도 3번 이상 같은 오류가 발생되는 경우, 정밀한 점검 이후 장비를 복구시킬 수 있는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus capable of restoring equipment after a detailed inspection when the same error occurs at least three times in the same equipment and the same parameter.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기한 반도체 제조 장치의 인터락 시스템의 구동 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of driving the interlock system of the semiconductor manufacturing apparatus.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장치의 인터락 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram schematically showing an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명의 인터락 시스템의 구동 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.2 is a flowchart for explaining a method of driving an interlock system according to the present invention.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

10 : 감지부 50 : 제어부10: detection unit 50: control unit

60 : 시스템 온/오프부 70 : 경고부60: system on / off part 70: warning part

100 : 인터락 해제부100: interlock release unit

본 발명의 목적과 더불어 그의 다른 목적 및 신규한 특징은, 본 명세서의 기재 및 첨부 도면에 의하여 명료해질 것이다.Other objects and novel features as well as the objects of the present invention will become apparent from the description of the specification and the accompanying drawings.

본원에서 개시된 발명중, 대표적 특징의 개요를 간단하게 설명하면 다음과 같다.Among the inventions disclosed herein, an outline of representative features is briefly described as follows.

상기한 본 발명의 기술적 과제를 달성하기 위한 반도체 제조 장치의 인터락 시스템은, 설비 및 파라미터의 이상을 감지하는 감지부, 상기 감지부로부터 이상 여부를 감지하여 제어신호를 출력하는 제어부, 상기 제어 신호에 따라 시스템을 인터락시키는 시스템 온/오프부, 및 상기 시스템의 인터락을 해제하는 인터락 해제부를 포함한다. 이때, 상기 인터락 해제부는 동일 파라미터 및 동일 설비에 소정번 이하의 인터락이 발생되는 경우 공정자의 조치에 의하여 인터락을 해제시키는 제 1 인터락 해제부와, 동일 파라미터 및 동일 설비의 오류로 인하여 소정번 이상 인터락이 발생되었을 경우, 선임자의 조치에 의하여 인터락을 해제시키는 제 2 인터락 해제부를 포함한다.The interlock system of the semiconductor manufacturing apparatus for achieving the technical problem of the present invention, a detection unit for detecting the abnormality of the equipment and parameters, a control unit for detecting the abnormality from the detection unit and outputs a control signal, the control signal A system on / off unit for interlocking the system, and an interlock release unit for releasing the interlock of the system. At this time, the interlock release unit is the first interlock release unit for releasing the interlock according to the operator's action when a predetermined number of times or less interlock occurs in the same parameter and the same facility, and predetermined due to the error of the same parameter and the same facility If the interlock has occurred more than once, the second interlock release unit for releasing the interlock by the action of the senior.

여기서, 상기 제어부는, 상기 인터락 발생회수를 카운팅하는 인터락 카운터와, 상기 인터락 카운터 수를 비교하는 카운터 비교부를 더 포함할 수 있으며, 상기 동일 파라미터 및 동일 설비에 소정번 이상 인터락이 발생되었을 경우, 이를 경고하는 경고부를 더 포함한다.The control unit may further include an interlock counter for counting the number of times of interlock occurrence and a counter comparator for comparing the number of interlock counters, and the interlock has occurred more than a predetermined time in the same parameter and the same facility. If so, further includes a warning unit for warning this.

상기 제 1 인터락 해제부는 상기 선임자의 사번이 입력되었을 때 인터락을 해제하고, 제 2 인터락 해제부는 상기 공정자의 사번이 입력되었을 때 인터락을 해제한다.The first interlock release unit releases the interlock when the senior number is input, and the second interlock release unit releases the interlock when the employee's fourth number is input.

또한, 본 발명의 다른 견지에 대한 반도체 제조 장치의 인터락 시스템의 구동 방법은, 감지부 및 비교 판단부에 의하여 장비에 인터락이 발생시 인터락 회수를 카운트한다. 그후, 동일한 설비 및 동일 파라미터에서 인터락이 소정번 발생되었는지를 비교 판단한다음, 상기 인터락이 소정번 이상 발생되는 경우, 선임자의 조치로 인터락을 해제하고, 상기 인터락이 소정번 이하 발생되는 경우, 공정자의 조치로 인터락을 해제한다.In addition, according to another aspect of the present invention, a method of driving an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus counts the number of interlocks when an interlock occurs in equipment by a sensing unit and a comparison determination unit. Thereafter, it is determined whether the interlock has been generated a predetermined number of times in the same equipment and the same parameter, and when the interlock occurs more than a predetermined time, the interlock is released by the action of a predecessor, and if the interlock occurs less than the predetermined time, the process Release the interlock by the user.

(실시예)(Example)

이하 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, embodiments of the present invention may be modified in many different forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. Embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape and the like of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a more clear description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings means the same elements.

첨부한 도면 도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장치의 인터락 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이고, 도 2는 본 발명의 인터락 시스템의 구동 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.1 is a block diagram schematically showing an interlock system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a flowchart for explaining a method of driving the interlock system according to the present invention.

본 발명에 다른 반도체 제조 장치의 인터락 시스템은, 도 1에 도시된 바와 같이, 감지부(10), 제어부(50), 시스템 온/오프부(60), 경고부(70) 및 인터락 해제부(100)를 포함한다.In the interlock system of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 1, the sensing unit 10, the control unit 50, the system on / off unit 60, the warning unit 70, and the interlock release may be performed. The unit 100 is included.

감지부(10)는 반도체 제조 설비내에서 진행되는 각 공정별 파라미터, 각종 공정 설비의 상태를 감지한다.The detection unit 10 detects the parameters of each process that is performed in the semiconductor manufacturing facility and the state of various process facilities.

제어부(50)는 비교 판단부(52), 인터락 카운터(54) 및 카운터 비교부(56)를 포함한다. 비교 판단부(52)는 감지부(10)에서 감지된 데이터를 근거로 하여, 이상이 발생되었는지 감지, 판단한다. 인터락 카운터(54)는 각 파라미터 및 각종 설비 각각의 인터락의 발생 회수 카운트한다. 카운터 비교부(56)는 인터락 발생 회수를 비교하여 다수 번 발생되었는지를 판단한다The controller 50 includes a comparison determiner 52, an interlock counter 54, and a counter comparator 56. The comparison determining unit 52 detects and determines whether an abnormality has occurred based on the data detected by the detecting unit 10. The interlock counter 54 counts the number of occurrences of the interlock of each parameter and each of the various equipments. The counter comparator 56 compares the number of interlock occurrences and determines whether the counter has been generated a plurality of times.

시스템 온/오프부(60)는 비교 판단부(52) 및 카운터 비교부(56)에서 오류를 판단하는 경우 동작되고 있는 시스템을 강제 인터락시킨다.The system on / off unit 60 forcibly interlocks the system in operation when the comparison determining unit 52 and the counter comparing unit 56 determine an error.

경고부(70)는 카운터 비교부(56)로부터 다수번 동일한 설비 및 동일한 파라미터에 이상이 발생되는 경우 동작된다.The warning unit 70 is operated when an abnormality occurs in the same equipment and the same parameter many times from the counter comparator 56.

인터락 해제부(100)는 제 1 인터락 해제부(110) 및 제 2 인터락 해제부(120)를 포함한다.The interlock release unit 100 includes a first interlock release unit 110 and a second interlock release unit 120.

제 1 인터락 해제부(110)는 동일 파라미터 및 동일 설비에 소정번 이하 예를 들어 2번 이하 인터락이 발생되는 경우 공정자의 조치에 의하여 해제된다. 여기서, 공정자의 조치로는 공정자의 사번을 입력하는 조작 등이 있다.The first interlock release unit 110 is released by the operator's action when an interlock occurs less than a predetermined time, for example, less than two times in the same parameter and the same facility. Here, the measures of the staff include an operation of inputting the staff number.

제 2 인터락 해제부(120)는 동일 파라미터 및 동일 설비의 오류로 인하여 소정번, 예를 들어, 3번 이상 인터락이 발생되었을 때 선임자의 조치에 의하여 해제된다. 여기서, 선임자의 조치로는 선입자의 사번을 입력하는 조작 등이 있으며, 선임자 조치시, 완전히 장치의 오류가 복구되었는지 정밀한 점검이 요구된다.The second interlock release unit 120 is released by a predecessor's action when an interlock occurs at a predetermined time, for example, three or more times due to an error of the same parameter and the same facility. Here, the predecessor's actions include an operation of inputting the number of the first-timers, and during the predecessor's action, a detailed check is required to see if the error of the device is completely recovered.

이와같은 본 발명의 인터락 시스템은, 동일 설비 및 동일 파라미터 부분에 적어도 3번 인터락이 실행되면, 경고부(70)가 동작되고, 정밀한 점검을 진행한 후, 선임자의 조치에 의하여 시스템이 재개된다.In the interlock system of the present invention, when the interlock is executed at least three times in the same facility and the same parameter part, the warning unit 70 is operated, and after the precise inspection is performed, the system is restarted by the action of the predecessor. .

한편, 단일 또는 2번의 인터락이 발생되는 경우, 공정자는 간단한 점검을 진행하거나 하위 레벨 입력부(30)로부터 소정의 코드, 공정자의 사번을 입력한 후, 시스템을 재개시킨다.On the other hand, when a single or two interlocks are generated, the operator performs a simple check or inputs a predetermined code and a worker's number from the lower level input unit 30, and then restarts the system.

즉, 선임자의 사번이 입력되어야만 시스템이 재구동되도록 설정되어 있으므로, 인터락이 발생되더라도 공정자가 간과하지 않고, 장치 내부의 오류를 보다 자세히 검사하게 된다.That is, since the system is set to restart only when the senior's number is input, even if an interlock occurs, the operator does not overlook and examines the error in the device in more detail.

이하, 도 2를 통하여 인터락 시스템의 구동 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a driving method of the interlock system will be described with reference to FIG. 2.

먼저, 감지부(10) 및 비교 판단부(52)를 걸쳐 시스템에 인터락이 발생되면, 인터락 카운터(54)는 인터락 회수를 카운팅한다(S1).First, when an interlock occurs in the system across the sensing unit 10 and the comparison determination unit 52, the interlock counter 54 counts the number of interlocks (S1).

그후, 카운터 비교부(56)에서 동일한 설비 및 동일 파라미터에서 인터락이 소정번, 예를들어 3번 이상 발생되었는지를 비교 판단한다(S2). 이때, 인터락이 3번 이상 발생된 경우는, 정밀한 점검이 요구되도록 경고부(70)를 동작시킨 다음(S3), 선임자의 조치(S4)를 통하여, 동작이 재개된다(S5). 이때, 선임자의 조치 단계(S4)는 제 1 인터락 해제부(120)를 통하여 선임자의 사번을 입력시키는 단계이다.Thereafter, the counter comparison unit 56 compares and determines whether an interlock has occurred at a predetermined time, for example, three or more times in the same facility and the same parameter (S2). At this time, if the interlock has occurred three or more times, the warning unit 70 is operated so that a precise inspection is required (S3), and the operation is resumed through the action of the predecessor (S4) (S5). At this time, the action step (S4) of the senior is a step of inputting the senior number of the senior through the first interlock release unit 120.

한편, 인터락이 단일 번 또는 2번 발생된 경우는, 공정자의 조치(S3-1)를 통하여 동작을 재개시킨다(S5).On the other hand, when the interlock occurs once or twice, the operation is resumed through the operator's action (S3-1) (S5).

이상에서 자세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 동일 설비 및 동일 파라미터에 동일한 오류로 인하여 인터락이 걸릴 경우, 선임자의 조치에 의하여 다시 장비가 재개되도록 함으로써, 인터락 발생시 정밀한 점검을 실시할 수 있다.As described in detail above, according to the present invention, when the interlock is caused due to the same error in the same equipment and the same parameter, the equipment can be restarted again by the action of the predecessor, it is possible to perform a precise check when the interlock occurs.

이상 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다.Although the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. .

Claims (6)

설비 및 파라미터의 이상을 감지하는 감지부;Detecting unit for detecting abnormality of equipment and parameters; 상기 감지부로부터 이상 여부를 감지하여 제어신호를 출력하는 제어부;A controller for detecting an abnormality from the detector and outputting a control signal; 상기 제어 신호에 따라 시스템을 인터락시키는 시스템 온/오프부; 및A system on / off unit for interlocking the system according to the control signal; And 상기 시스템의 인터락을 해제하는 인터락 해제부를 포함하며,An interlock release unit for releasing the interlock of the system, 상기 인터락 해제부는 동일 파라미터 및 동일 설비에 소정번 이하의 인터락이 발생되는 경우 공정자의 조치에 의하여 인터락을 해제시키는 제 1 인터락 해제부와,The interlock release unit is a first interlock release unit for releasing the interlock according to the operator's action when a predetermined number of times or less interlock occurs in the same parameter and the same facility, 동일 파라미터 및 동일 설비의 오류로 인하여 소정번 이상 인터락이 발생되는 경우 선임자의 조치에 의하여 인터락을 해제시키는 제 2 인터락 해제부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템.And a second interlock release unit for releasing the interlock by a predecessor's action when the interlock occurs more than a predetermined time due to an error of the same parameter and the same facility. 제 1 항에 있어서, 상기 제어부는,The method of claim 1, wherein the control unit, 상기 인터락 발생회수를 카운팅하는 인터락 카운터와,An interlock counter for counting the number of occurrences of the interlock; 상기 인터락 카운터 수를 비교하는 카운터 비교부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템.And a counter comparison unit for comparing the number of the interlock counters. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 동일 파라미터 및 동일 설비에 3번 이상 인터락이 발생되었을 경우, 이를 경고하는 경고부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템.The interlock system according to claim 1 or 2, further comprising a warning unit which warns of the occurrence of three or more interlocks in the same parameter and the same facility. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 인터락 해제부는 상기 선임자의 사번이 입력되었을 때 인터락을 해제하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템.The interlock system of claim 1, wherein the first interlock release unit releases the interlock when the predecessor's number is input. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 인터락 해제부는 상기 공정자의 사번이 입력되었을 때 인터락을 해제하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템.The interlock system of claim 1, wherein the second interlock release unit releases an interlock when an input number of the operator is input. 감지부 및 비교 판단부에 의하여 장비에 인터락이 발생시 인터락 회수를 카운트하는 단계;Counting the number of interlocks when an interlock occurs in the equipment by the detector and the comparison determiner; 동일한 설비 및 동일 파라미터에서 인터락이 소정번 발생되었는지를 비교 판단하는 단계;Comparing and determining whether an interlock has been generated at the same facility and at the same parameter a predetermined time; 상기 인터락이 소정번 이상 발생되는 경우, 선임자의 조치로 인터락을 해제하는 단계; 및If the interlock occurs more than a predetermined number of times, releasing the interlock by a predecessor; And 상기 인터락이 소정번 이하 발생되는 경우, 공정자의 조치로 인터락을 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치의 인터락 시스템 구동방법.If the interlock occurs less than or equal to a predetermined number of times, releasing the interlock by an operator's action.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7184910B2 (en) 2004-10-22 2007-02-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of compensating sensor data and evaluating an interlock of an interlock system

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