KR100560817B1

KR100560817B1 - Method for confirming loaded/unloaded wafer state

Info

Publication number: KR100560817B1
Application number: KR1020040032273A
Authority: KR
Inventors: 현기철; 장용필; 이철재
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-05-07
Filing date: 2004-05-07
Publication date: 2006-03-13
Also published as: KR20050107089A

Abstract

본 발명의 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법에 따르면, 웨이퍼가 로딩/언로딩 되었는지 여부가 센서로 감지되고, 로딩/언로딩 된 웨이퍼의 수가 각각 카운트된다. 상기 카운트한 결과가 서로 일치하는 경우 언로딩이 완료된 것으로 판단되어 카세트가 제거된다. 웨이퍼 언로딩 완료전에 카세트가 제거되거나 웨이퍼 언로딩 완료후 일정한 시간이 경과하여도 카세트가 제거되지 않는 경우에는 경보음이 발생된다.According to the wafer loading / unloading confirmation method of the present invention, whether a wafer is loaded / unloaded is detected by a sensor, and the number of wafers loaded / unloaded is counted, respectively. If the counted results coincide with each other, it is determined that the unloading is completed and the cassette is removed. If the cassette is removed before the wafer unloading is completed or if the cassette is not removed even after a certain time elapses after the wafer unloading is completed, an alarm sound is generated.

본 발명에 의하면, 웨이퍼가 언로딩이 완료된 후에 카세트를 제거할 수 있게 되어 웨이퍼 브로큰을 방지할 수 있으며, 카세트의 제거 이상 상태를 경보음으로 알려 작업의 효율화를 꾀할 수 있다.According to the present invention, after the wafer has been unloaded, the cassette can be removed to prevent the wafer from being broken, and an operation sound can be notified by notifying the abnormal state of the cassette removal.

Description

How to check wafer loading / unloading {METHOD FOR CONFIRMING LOADED / UNLOADED WAFER STATE}

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram schematically showing an apparatus for checking wafer loading / unloading according to the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서를 보여주는 도면이다.2 is a view showing a sensor according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법을 보여주는 흐름도이다.3 is a flowchart illustrating a wafer loading / unloading confirmation method according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

14 : 카세트 16 : 웨이퍼14 cassette 16 wafer

20, 21 : 센서 22 : 포지션 센서20, 21: sensor 22: position sensor

30 : 마이크로프로세서 40 : 표시 장치30: microprocessor 40: display device

50 : 경보 장치50: alarm device

본 발명은 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 로딩/언로딩 여부를 판단하고, 언로딩 완료후 카세트 제거가 이루어지도 록 하는 것이다.The present invention relates to a method for checking wafer loading / unloading, and more particularly, to determine whether a wafer is loaded / unloaded, and to remove a cassette after completion of unloading.

일반적으로 반도체 소자는 실리콘 웨이퍼상에 제조공정을 반복적으로 진행하여 완성된다. 이러한 반도체 제조공정은 일반적으로 확산공정, 식각공정, 포토리소그래피공정 및 성막공정 등으로 나눌 수 있다. 이렇게 반도체 장치로 제조되기까지 웨이퍼는 카세트에 복수개 탑재된 상태로 공정을 수행하는 각각의 제조 설비로 이송되고, 이들 웨이퍼는 다시 각 제조 설비 내에서 설치된 로봇에 의해 인출되어 다른 설정 위치로 이송된다. 즉, 상술한 로봇은 설비 안으로 웨이퍼를 로딩시킨 후 설비가 완료되면 다시 웨이퍼를 카세트로 언로딩 시키는 기능을 한다. Generally, a semiconductor device is completed by repeatedly performing a manufacturing process on a silicon wafer. Such a semiconductor manufacturing process may be generally divided into a diffusion process, an etching process, a photolithography process, and a film forming process. Thus, until the semiconductor device is manufactured, a plurality of wafers are transferred to each manufacturing facility that performs a process with a plurality of wafers mounted on the cassette, and these wafers are again taken out by a robot installed in each manufacturing facility and transferred to another set position. In other words, the above-described robot loads the wafer into the facility and then unloads the wafer into the cassette when the facility is completed.

종래 기술에 의하면 이러한 웨이퍼의 언로딩 상태를 설비 화면에 잠시 표시된 것으로만 확인 가능하였다. 따라서 이러한 경우 작업자가 언로딩 상태를 확인할 수 없어 언로딩 완료전 카세트를 제거하게 되는 경우에는 웨이퍼 브로큰이 발생하였다. 또한 설비 공정에 따라서 웨이퍼 전량이 아닌, 한 두장의 웨이퍼가 없는 상태에서 공정을 진행하는 경우도 있어 작업자가 육안으로 언로딩 상태를 일일히 확인해야 하는 문제점도 있었다. 특히 웨이퍼가 전부 언로딩이 완료되기 전에 카세트가 제거되면 설비 백업 시간이 많이 소요되어 작업 효율에도 문제가 발생하게 된다.According to the prior art, such an unloading state of the wafer could only be confirmed by being briefly displayed on the facility screen. Therefore, in this case, when the operator cannot confirm the unloading state and the cassette is removed before the unloading is completed, the wafer is broken. In addition, depending on the equipment process, the process may be performed in the absence of one or two wafers instead of the entire wafer quantity, and there is a problem that the operator must check the unloading state with the naked eye. In particular, if the cassette is removed before the wafer is completely unloaded, the equipment backup time is increased, which causes problems in work efficiency.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 웨이퍼의 로딩/언로딩 여부를 판단하고, 웨이퍼가 언로딩 완료된 후 카세트를 제거하게 하는데 있다. The present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to determine whether a wafer is loaded / unloaded and to remove a cassette after the wafer is unloaded.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법은 웨이퍼가 로딩/언로딩 되었는지 여부를 감지하는 단계와, 상기 로딩/언로딩 된 웨이퍼의 수를 각각 카운트 하는 단계와, 상기 로딩된 웨이퍼의 카운트 된 값이 상기 언로딩 된 웨이퍼의 카운트 된 값과 일치하는지 여부를 판단하는 단계와 그리고 만약 판단 결과 서로 일치하면 카세트를 제거하는 단계를 포함한다.Wafer loading / unloading confirmation method according to the present invention for achieving the above object comprises the steps of detecting whether the wafer is loaded / unloaded, counting the number of the loaded / unloaded wafer, and the loading Determining whether the counted value of the loaded wafer coincides with the counted value of the unloaded wafer, and removing the cassette if the determined result coincides with each other.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 감지 단계에서 웨이퍼의 로딩/언로딩 여부는 웨이퍼의 움직임을 감지하는 두개의 센서에 의해 판단되는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the loading / unloading of the wafer in the sensing step is characterized by the two sensors for detecting the movement of the wafer.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 판단 단계에서 판단한 결과에 따라 웨이퍼의 언로딩 완료 전후의 상태를 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In an exemplary embodiment, the method may further include displaying a state before and after unloading the wafer according to the result determined in the determining step.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 판단 단계에서 판단한 결과 로딩/언로딩 된 웨이퍼의 수가 일치하지 않는 경우에 있어서, 카세트 제거 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, if the number of wafers loaded / unloaded as a result of the determination step does not match, it is characterized in that it further comprises the step of determining whether to remove the cassette.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 카세트 제거 여부를 판단한 결과 카세트가 제거된 경우에 경보음을 발생하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, it is characterized in that it further comprises the step of generating an alarm when the cassette is removed as a result of determining whether the cassette is removed.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 판단 단계에서 판단한 결과 로딩/언로딩 된 웨이퍼의 수가 일치하는 경우에 있어서, 정해진 시간내에 카세트가 제거되었는지 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, if the number of wafers that are loaded / unloaded as a result of the determination in the determination step, further comprising the step of determining whether the cassette is removed within a predetermined time.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 카세트 제거 여부 판단 결과 카세트가 시간 내에 제거되지 않은 경우에는 경보음을 발생하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으 로 한다.In a preferred embodiment, it is characterized in that it further comprises the step of generating an alarm if the cassette is not removed in time as a result of determining whether the cassette is removed.

상기의 과제를 이루기 위하여 본 발명에 의한 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법은 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩 상태인지 여부를 감지하는 감지부와 상기 감지부의 감지 결과에 따라 로딩 된 웨이퍼의 수가 언로딩 된 웨이퍼의 수와 일치하는지 여부를 판단하는 판단부를 포함하는 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 장치를 포함한다.In order to achieve the above object, a wafer loading / unloading confirmation method according to the present invention includes a detector for detecting whether a wafer is in a loaded or unloaded state and the number of wafers loaded according to a detection result of the detector. And a wafer loading / unloading confirmation device including a determination unit that determines whether or not the number matches.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 장치는 상기 판단부가 판단한 결과, 로딩 된 웨이퍼의 수와 언로딩 된 웨이퍼의 수가 일치하지 않는 경우와 일치하지 않는 경우를 구별하여 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the wafer loading / unloading confirmation device further comprises a display unit for distinguishing and displaying a case where the number of wafers loaded and the number of unloaded wafers do not match as determined by the determination unit. It is characterized by including.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 판단부는 카세트 밑면에 부착된 센서에 의해 카세트 제거 여부를 판단하는 기능을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the determination unit further comprises a function for determining whether to remove the cassette by a sensor attached to the bottom of the cassette.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 판단부에서 로딩 된 웨이퍼의 수와 언로딩 된 웨이퍼의 수가 일치하지 않는 때 카세트가 제거된 것으로 판단되거나, 로딩 된 웨이퍼의 수와 언로딩 된 웨이퍼의 수가 일치하는 때 일정한 시간 내에 카세트가 제거되지 않는 것으로 판단되는 경우에 경보음을 울리는 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In a preferred embodiment, the cassette is determined to be removed when the number of wafers loaded and the number of unloaded wafers do not match or the number of wafers loaded and the number of unloaded wafers are constant. It is characterized in that it further comprises a device that sounds an alarm if it is determined that the cassette is not removed in time.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. do.

도 1을 참조하면 본 발명인 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 장치는 센서(20), 마이크로 프로세서(30), 표시 장치(40), 그리고 경보 장치(50)으로 구성되어 있다. 센서(20)는 웨이퍼의 로딩/언로딩 여부를 감지하는 기능과 카세트 제거 여부를 감지하는 기능을 한다. 그리고 마이크로 프로세서(30)는 센서(20)에 의해 감지되는 로딩/언로딩 된 웨이퍼의 수를 각각 카운트 한다. 또한 그 결과 값을 비교하여 로딩된 웨이퍼의 수와 언로딩된 웨이퍼의 수가 동일하다면 언로딩이 완료된 것으로 판단한다. 표시 장치(40)는 현재 웨이퍼가 언로딩 완료 전인지 언로딩이 완료된 후인지의 여부를 색깔로 표시하여 육안으로 식별 가능하도록 하는 기능을 한다. 또한 경보 장치(50)는 언로딩 완료전에 카세트가 제거된 경우나, 언로딩 완료후 일정 시간이 경과한 후에도 카세트가 제거되지 않는 경우에 경보음을 울려 작업자가 신속하게 카세트의 이상 여부를 판단하여 조치를 취할 수 있도록 하는 기능을 수행한다. Referring to FIG. 1, the wafer loading / unloading confirmation device of the present invention includes a sensor 20, a microprocessor 30, a display device 40, and an alarm device 50. The sensor 20 functions to detect whether the wafer is loaded or unloaded and to detect whether the cassette is removed. The microprocessor 30 then counts the number of loaded / unloaded wafers sensed by the sensor 20, respectively. In addition, if the number of wafers loaded and the number of unloaded wafers are the same by comparing the result, it is determined that the unloading is completed. The display device 40 functions to visually identify whether the current wafer is before completion of unloading or after completion of unloading by color. In addition, the alarm device 50 sounds an alarm when the cassette is removed before the unloading is completed or when the cassette is not removed even after a predetermined time elapses after the unloading is completed. Perform a function that allows you to take action.

센서(20)는 도 2에서 도시된 것과 같이 카세트 전면에 두개의 센서(21)와 카세트 아래에 있는 포지션 센서(22)를 사용한다. 이러한 센서(21)는 레이저 센서를 사용하는 것이 가장 바람직하며, 이외에 포토 센서등을 사용할 수도 있다. 현재 사용되는 카세트의 밑면에는 포지션 센서(22)가 부착되어 있는 것이 일반적이다. 이러한 포지션 센서(22)를 통하여 카세트(14)가 제거 되었는지 여부의 감지가 가능하다. 웨이퍼(14)의 움직임을 감지하기 위한 센서(21)를 두개 사용하는 이유는 웨이 퍼(14)가 센서(21)에 감지되는 순서에 따라서 로딩/언로딩 여부를 판별하기 위함이다. 자세하게 말하면, 센서(21)중 왼쪽에 있는 센서A가 먼저 감지되고, 오른쪽에 있는 센서B가 나중에 감지되는 경우에는 웨이퍼(14)가 로딩 된 것으로 판별된다. 그리고 반대로 오른쪽에 있는 센서B가 먼저 감지되고, 왼쪽에 있는 센서A가 나중에 감지되는 경우에는 웨이퍼(14)가 언로딩 된 것으로 판별된다. The sensor 20 uses two sensors 21 on the front of the cassette and a position sensor 22 below the cassette as shown in FIG. 2. The sensor 21 is most preferably using a laser sensor, in addition to the photo sensor may be used. It is common for the position sensor 22 to be attached to the underside of the cassette currently used. It is possible to detect whether the cassette 14 is removed through the position sensor 22. The reason for using two sensors 21 for detecting the movement of the wafer 14 is to determine whether the wafer 14 is loaded / unloaded according to the order in which the wafers 14 are sensed by the sensor 21. In detail, when the sensor A on the left side of the sensor 21 is detected first, and the sensor B on the right side is detected later, it is determined that the wafer 14 is loaded. On the contrary, when the sensor B on the right side is detected first, and the sensor A on the left side is detected later, it is determined that the wafer 14 is unloaded.

먼저 센서(20 도1참조)에 의해서 웨이퍼가 로딩되었는지 언로딩 되었는지의 여부를 감지한다.(101 단계) 이때에는 상기 설명한 바와 같이 두개의 센서(21 도1참조)가 감지되는 순서에 따라 웨이퍼가 로딩/언로딩 되었는지 여부가 판단되게 된다. 이어서 감지된 결과에 따라 로딩 또는 언로딩 된 웨이퍼의 수가 마이크로 프로세서(30 도1참조)에 의하여 각각 카운트된다.(102 단계) 또한 마이크로 프로세서(30)는 카운트된 값을 서로 비교하여 로딩 된 웨이퍼의 수와 언로딩된 웨이퍼의 수가 일치하는지 여부를 판단한다.(103 단계)First, it is detected whether the wafer is loaded or unloaded by the sensor 20 (see FIG. 1) (step 101). In this case, as described above, the wafers are detected in the order in which the two sensors (see FIG. 21) are detected. It is determined whether it is loaded or unloaded. Subsequently, the number of wafers loaded or unloaded is counted by the microprocessor (refer to FIG. 1) according to the detected result (step 102). In addition, the microprocessor 30 compares the counted values with each other to determine the number of wafers loaded. It is determined whether the number matches the number of unloaded wafers (step 103).

상기 103단계의 판단 결과 로딩/언로딩 된 웨이퍼의 수량이 일치하지 않는 경우에는 언로딩이 완료되지 않은 것으로 마이크로 프로세서는 인식하고 표시 장치(40 도1참조)에 의하여 이를 표시(104 단계)하고, 카세트 제거 여부를 판단하게 된다.(106단계) 웨이퍼가 언로딩이 완료되기 전에 카세트를 제거하는 경우에는 웨이퍼 브로큰이 발생할 우려가 있으므로 경보 장치(50 도1참조)가 경보음을 발생(107 단계)하여 이를 알린다. 이때 카세트가 제거되지 않은 경우에는 다시 로 딩/언로딩 된 웨이퍼의 수가 일치하는지 여부를 판단 하는 단계(103 단계)로 되돌아간다.If the quantity of the loaded / unloaded wafers does not match, the microprocessor recognizes that the unloading is not completed, and displays it (step 104) by the display device (see FIG. 1). It is determined whether or not the cassette is removed (step 106). If the cassette is removed before the wafer is unloaded, wafer breaking may occur, so the alarm device (see FIG. 1 of FIG. 1) generates an alarm sound (step 107). Inform them. At this time, if the cassette is not removed, the process returns to step 103 to determine whether or not the number of loaded / unloaded wafers is identical.

상기 로딩/언로딩 된 웨이퍼의 수가 일치하는지 여부를 판단하는 단계(103 단계)에서 판단 결과 일치하는 것으로 판단되는 경우에는 언로딩이 완료된 것으로 마이크로 프로세서(30)에서 판별하며, 역시 표시 장치(40)로 표시(105 단계)한다. 이때 표시 장치는 상기 언로딩 완료전의 표시(104 단계)와 다른색을 사용하여 작업자가 육안으로 언로딩 완료 여부를 구별할 수 있도록 한다. 언로딩이 완료된 경우에는 정해진 시간내에 카세트가 제거되었는지 여부를 판단하는 단계(108 단계)를 거치게 된다. 이때 판단 결과 카세트가 제거되지 않은 경우에는 역시 경보 장치(50)가 경보음을 발생(107 단계)시켜 이를 알린다. If it is determined that the number of the loaded / unloaded wafers is the same (step 103), the microprocessor 30 determines that the unloading has been completed, and the display device 40 (105). At this time, the display device uses a different color from the display before the completion of the unloading (step 104) to allow the operator to visually distinguish whether the unloading has been completed. When the unloading is completed, a step (108) of determining whether the cassette is removed within a predetermined time is passed. In this case, when the cassette is not removed, the alarm device 50 also generates an alarm sound (step 107) to notify it.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.On the other hand, in the detailed description of the present invention has been described with respect to specific embodiments, various modifications are of course possible without departing from the scope of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be defined by the equivalents of the claims of the present invention as well as the following claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 웨이퍼의 언로딩이 완료된 후에 카세트를 제거할 수 있게 되어 웨이퍼 브로큰을 방지할 수 있으며, 카세트 제거 이상 상태를 경보음으로 알려 작업의 효율화를 꾀할 수 있다. As described above, according to the present invention, after the unloading of the wafer is completed, the cassette can be removed, thereby preventing the wafer from being broken, and the cassette removal abnormality can be notified by an alarm sound, thereby making the work more efficient.

Claims

Detecting whether the wafer is loaded / unloaded;

Counting the number of wafers loaded / unloaded, respectively;

Determining whether the counted value of the loaded wafer matches the counted value of the unloaded wafer; And

If the result of the determination coincides with each other, removing the cassette.

The method of claim 1,

Wafer loading / unloading confirmation method characterized in that the wafer loading / unloading is determined by the two sensors for detecting the movement of the wafer in the sensing step.

The method of claim 1,

Wafer loading / unloading confirmation method characterized in that it further comprises the step of displaying the state before and after the unloading of the wafer according to the result determined in the determining step.

The method of claim 1,

And determining whether the cassette is removed when the number of the loaded / unloaded wafers does not match as a result of the determination in the determining step.

The method of claim 4, wherein

And determining that the cassette is removed and generating an alarm sound when the cassette is removed.

The method of claim 1,

And determining whether or not the cassette is removed within a predetermined time when the number of wafers loaded / unloaded as a result of the determination in the determining step is matched.

The method of claim 6,

And detecting an alarm when the cassette is not removed within a time as a result of the determination of whether the cassette has been removed.

A detector for detecting whether the wafer is in a loaded or unloaded state;

And a determining unit determining whether the number of loaded wafers matches the number of unloaded wafers according to a sensing result of the sensing unit.

The method of claim 8,

And a display unit for distinguishing and displaying a case where the number of wafers loaded and the number of unloaded wafers do not match as a result of the determination unit.

The method according to claim 8 or 9,

The determining unit further includes a function of determining whether the cassette is removed by a sensor attached to the bottom of the cassette wafer loading / unloading confirmation apparatus.

The method of claim 10,

The cassette is determined to be removed when the number of wafers loaded and the number of unloaded wafers do not match, or the cassette is not removed within a predetermined time when the number of wafers loaded and the number of unloaded wafers match. Wafer loading / unloading confirmation device, characterized in that it further comprises a device that sounds an alarm if it is determined not.