KR200387723Y1 - A tester for testing pressure sensors - Google Patents
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Abstract
본 고안은 생산된 압력센서가 조건에 맞는지 여부를 테스트하기 위한 압력센서 테스터에 관한 것으로, 압력센서가 놓여져서 챔버를 구성하는 몸체(하부블럭)가 승강되도록 하는 원리를 본 고안의 기본원리로 적용시키고, 이 몸체가 챔버의 뚜껑(상부블럭)에 맞닿아 밀폐된 챔버를 이루도록 하며, 챔버를 구성하는 뚜껑에는 기판상에 배열된 예컨대 30~40개를 한 단위로 하는 센서그룹의 각 센서들 숫자에 맞추어 회로를 구성하는 배선(Wiring)이 연결되어서 센서들의 성능테스트 결과가 이 배선을 통해 별도의 모니터로 전해져 관리자가 압력센서의 불량여부를 확인할 수 있도록 구성시킨 것이다.The present invention relates to a pressure sensor tester for testing whether a produced pressure sensor is suitable for a condition. The principle that the body (lower block) constituting the chamber is elevated by placing the pressure sensor is applied as a basic principle of the present invention. The body is in contact with the lid of the chamber (upper block) to form a closed chamber, and the lid of the chamber includes the number of sensors in the sensor group, for example, 30 to 40 arranged on a substrate. The wiring that composes the circuit according to the wiring is connected and the performance test results of the sensors are transmitted to the separate monitor through this wiring so that the administrator can check whether the pressure sensor is defective.
여기서, 챔버의 몸체를 승강시키는 구동원은 서보모우터로 부터 얻어지며, 서보모우터의 회전력은 볼 스크류(Ball Screw)를 통해 상기한 챔버의 몸체를 승강시켜서 뚜껑과 밀폐결합되도록 한 것이므로 하나의 장비를 통하여 다량의 압력센서 성능테스트가 가능해지고, 특히 각 압력센서의 불량여부를 모니터를 통해 한꺼번에 확인 할 수 있기 때문에 신속하고도 정확한 센서의 성능을 테스트 할 수 있다.Here, the driving source for elevating the body of the chamber is obtained from the servo motor, the rotational force of the servo motor is to raise and lower the chamber body of the above-mentioned chamber through a ball screw to be hermetically coupled with the lid. It is possible to test the performance of a large number of pressure sensors, and in particular, it is possible to test the performance of the sensor quickly and accurately since it is possible to check whether each pressure sensor is defective at a time.
Description
본 고안은 생산된 압력센서가 조건에 맞는지 여부를 테스트하기 위한 압력센서 테스터에 관한 것으로, 특히 고온 고압하에서도 한번에 다량의 압력센서를 동시에 테스트하고 트림(Trim) 하도록 제작된 압력센서 테스터에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure sensor tester for testing whether a produced pressure sensor is suitable for a condition. In particular, the present invention relates to a pressure sensor tester designed to simultaneously test and trim a large number of pressure sensors at a time even under high temperature and high pressure. .
압력센서는 그 목적과 기능에 따라 여러종류가 많지만 주된 목적은 각종압력을 동력원으로 사용하는 장치나 압력전달 수단등에 설치되어서 정해진 압력범위를 벗어나게 되면 이를 감지하여 전자장비를 통해 관리자에게 경고하는데 사용되는 부품이다.There are many types of pressure sensors depending on their purpose and function, but the main purpose is to install them in the device or pressure transmission means that use various pressures as the power source, and when it goes out of the specified pressure range, it is used to detect and alert the manager through electronic equipment. Parts.
압력의 조건도 작업환경에 따라 다를 수 밖에 없어서 특히, 고온고압하에서 사용되는 압력센서의 성능은 그 만큼 신뢰성이 커야하고, 따라서 생산된 압력센서를 압력감지 장비에 사용하기 위해서는 그 압력센서의 성능검사가 반드시 이루어져야 하며 그 압력센서의 오차범위도 매우 좁은 정밀한 기능을 갖도록 제작되어야 한다.Since the pressure condition also depends on the working environment, the performance of the pressure sensor used under high temperature and high pressure must be very reliable. Therefore, in order to use the produced pressure sensor in the pressure sensing equipment, the performance of the pressure sensor must be examined. Must be made, and the error range of the pressure sensor must be manufactured to have very narrow precision function.
이러한 압력센서를 검사하기 위한 종래의 일반적인 검사장치, 즉 테스터(Tester)는, 도 1과 같이, 압력센서(10)가 놓여지는 챔버(Chamber,20)를 형성시키고, 이 챔버(20)에 일정한 압력을 가하여 압력센서(10)의 성능을 테스트한 후,이 챔버(20)에 가해진 압력을 제거하고 다른 압력센서를 다시 고압챔버에 넣어서 성능테스트를 행하는 이른바 개별 테스트로 이루어지고 있었으며, 압력이 높으면 높을수록 챔버(20)내의 높은 압력이 기밀이 유지될 수 있도록 더욱 간단하고 견고한 챔버구조를 형성시켜야 하기 때문에 챔버(20)를 구성하는 몸체(22)에 뚜껑(24)이 덮혀지는 원리를 적용하고, 압력공급구(26)를 뚜껑(24)이나 혹은 몸체(22)에 관통 형성시키며, 몸체(22)와 뚜껑(24)사이에는 수지계열의 밀폐수단이나 O-링(28)과 같은 기밀 유지부재를 사용하여 일정 압력하에서 압력센서의 성능을 검사하도록 구성되어 있었다.A conventional general inspection apparatus for testing such a pressure sensor, that is, a tester, forms a chamber 20 in which the pressure sensor 10 is placed, as shown in FIG. After testing the performance of the pressure sensor 10 by applying pressure, the pressure applied to the chamber 20 was removed, and another pressure sensor was put back into the high pressure chamber to perform a performance test. The higher the pressure in the chamber 20 should be formed a simpler and more robust chamber structure so that airtight can be maintained, so the principle that the lid 24 is covered on the body 22 constituting the chamber 20 The pressure supply port 26 is formed through the lid 24 or the body 22, and the body 22 and the lid 24 are kept in a hermetic state such as a resin-based sealing means or an O-ring 28. Pressure under constant pressure using the member It was configured to check the performance of the force sensor.
따라서, 이러한 조건을 만족시키기 위한 종래의 장치는 압력센서를 낱개별로 검사해야 하기 때문에 신속하고 정확한 압력센서의 테스트가 곤란하였고,한번에 대량의 압력센서(10)를 테스트 하고자 한다면 그 원하는 수만큼의 챔버(20)가 마련되어야 하고 이에 따른 각종 압력공급과 배출구,압력테스트를 위한 장비와 시설물,그리고 공간을 많이 차지하기 때문에 실질적인 압력센서 생산보다도 그 압력테스트에 소요되는 시간과 경비가 증가하여 결국 생산성을 저하시키는 요인이 되어 제품의 가격상승이 불가피한 단점이 있었다.Therefore, the conventional apparatus for satisfying such a condition is difficult to test the pressure sensor quickly and accurately because the pressure sensor must be inspected individually, and if you want to test a large amount of pressure sensor 10 at the same time as many chambers as desired (20) should be provided, and it takes up a lot of pressure supply and discharge port, equipment and facilities for pressure test, and space. There was an inevitable disadvantage in that the price of the product was inevitably increased.
상기한 종래의 장치가 지닌 단점을 해소하기 위한 본 고안은 단품으로 다량의 센서를 테스트할 수 있는 장비를 제공한다.The present invention for solving the above-mentioned disadvantages of the conventional device provides a device that can test a large amount of sensors in a single piece.
이를 위하여 압력센서가 놓여져서 챔버를 구성하는 몸체(하부블럭)가 승강되도록 하는 원리를 본 고안의 기본원리로 적용시키고, 이 몸체가 챔버의 뚜껑(상부블럭)에 맞닿아 밀폐된 챔버를 이루도록 하며, 챔버를 구성하는 뚜껑에는 기판상에 배열된 예컨대 30~40개를 한 단위로 하는 센서그룹의 각 센서들 숫자에 맞추어 회로를 구성하는 배선(Wiring)이 연결되어서 센서들의 성능테스트 결과가 이 배선을 통해 별도의 모니터로 전해져 관리자가 압력센서의 불량여부를 확인할 수 있도록 구성시킨 것이다.To this end, the principle that the body (lower block) constituting the chamber is elevated by placing a pressure sensor is applied as a basic principle of the present invention, and the body is in contact with the lid (upper block) of the chamber to form a closed chamber. In addition, the wiring that constitutes the circuit is connected to the lid of the chamber according to the number of sensors in the sensor group, for example, 30 to 40 units arranged on the substrate. It is transmitted to a separate monitor so that the administrator can check whether the pressure sensor is defective.
여기서, 챔버의 몸체를 승강시키는 구동원은 서보모우터로 부터 얻어지며, 서보모우터의 회전력은 볼 스크류(Ball Screw)를 통해 상기한 챔버의 몸체를 승강시켜서 뚜껑과 밀폐결합되도록 한 것이므로 하나의 장비를 통하여 다량의 압력센서 성능테스트가 가능해지고, 특히 각 압력센서의 불량여부를 모니터를 통해 한꺼번에 확인 할 수 있기 때문에 신속하고도 정확한 센서의 성능을 테스트 할 수 있다.Here, the driving source for elevating the body of the chamber is obtained from the servo motor, the rotational force of the servo motor is to raise and lower the chamber body of the above-mentioned chamber through a ball screw to be hermetically coupled with the lid. It is possible to test the performance of a large number of pressure sensors, and in particular, it is possible to test the performance of the sensor quickly and accurately since it is possible to check whether each pressure sensor is defective at a time.
이하 첨부도면을 참고 하여 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 고안은 서보모우터(100)를 구동원으로 하여 볼스크류(110)를 통해 수평블럭(120)을 승강시키는 구조물을 형성시키고, 상기 수평블럭(120)은 수직지지대(130)에 지지된채 미끄럼 승강되면서 연결대(135)로 연결지지되는 지지블럭(140)을 형성시키며, 지지블럭(140)에는 하부블럭(150)이 떠받쳐 지듯 일체로 결합되어 그 내부에 압력센서(10) 그룹이 기판(15)상에 다량으로 배열된 상태로 놓여지도록 구성시키며, 상기한 하부블럭(150)이 상승되어 맞닿으면 챔버(200)를 구성하는 상부블럭(160)이 상부판(170)에 결합되며, 상부판(170)은 수직지지대(130)의 상단부에서 접합블럭(175)과 일체로 결합되어 이루어 지는 압력센서 테스터이다.The present invention forms a structure for elevating the horizontal block 120 through the ball screw 110 using the servo motor 100 as a drive source, the horizontal block 120 is supported while sliding on the vertical support 130. Ascending and lowering to form a support block 140 that is supported by the connecting rod 135, the support block 140 is integrally coupled as the lower block 150 is supported, the pressure sensor 10 group therein is a substrate ( 15 and the upper block 160 constituting the chamber 200 is coupled to the upper plate 170 when the lower block 150 is raised and abuts. The upper plate 170 is a pressure sensor tester which is integrally coupled with the junction block 175 at the upper end of the vertical support 130.
도면중 미설명 부호 190은 하부블럭(150)의 요홈(191)에 설치되는 O-링, 195는 압력공급구이다.In the figure, reference numeral 190 is an O-ring installed in the recess 191 of the lower block 150, and 195 is a pressure supply port.
도2는 본 고안의 전체구성도로 챔버(200)가 구성되기 전, 즉 상부블럭(160)과 하부블럭(150)이 분리된 상태의 도면이다.2 is a view showing a state in which the upper block 160 and the lower block 150 are separated before the chamber 200 is configured as an overall configuration of the present invention.
여기서 본 고안을 구성하는 장비의 구조물은 수직지지대(130)가 수평고정대(125)를 매개로 하부지지대(135)와 수직골격을 구성하고, 서보모우터(100)의 회전력은 볼 스크류(110)를 통해 수평블럭(120)을 승강시키게 되며, 수평블럭(120)은 승강이 자유롭고 수평상태가 유지되도록 슬라이더(122)에 의해 수직지지대(130)에 슬라이딩 가능하게 지지되며, 지지블럭(140)은 하부지지대(135)에 의해 지지되면서 슬라이더(142)에 의해 미끄럼이동 가능하도록 수직지지대(130)상부에 조합되어서 수평블럭(120)의 승강에 의해 지지블럭(140)이 함께 승강되는 구조로 조합된다.The structure of the equipment constituting the present invention is the vertical support 130 constitutes a vertical skeleton with the lower support 135 via the horizontal fixing table 125, the rotational force of the servo motor 100 is ball screw 110 The horizontal block 120 is lifted and lifted, the horizontal block 120 is supported by the slider 122 to be slidably supported by the slider 122 so that the lift is free and the horizontal state is maintained, the support block 140 is lower While being supported by the support 135 and combined with the upper portion of the vertical support 130 so as to be slid by the slider 142 is combined in a structure in which the support block 140 is lifted together by the lifting and lowering of the horizontal block 120.
특히, 챔버를 구성하는 하부블럭(150)은 스프링(152)으로 탄지되는 기판다이(154)를 포함하고 있으며, 이 기판다이(154) 상에 놓여지는 기판(11)위의 테스트용 압력센서(10)들은 그 단자(Pin)가 상부블럭(160)에 형성시킨 회로배선(162)와 연결되어 전자회로를 구성하게 되며, 상기 회로배선(162)은 도시않된 전자장비를 통해 모니터등과 연결되어서 각 압력센서의 불량여부를 검사할 수 있게 해준다.In particular, the lower block 150 constituting the chamber includes a substrate die 154 supported by a spring 152, and a test pressure sensor on the substrate 11 placed on the substrate die 154. 10) the terminal (Pin) is connected to the circuit wiring 162 formed on the upper block 160 to form an electronic circuit, the circuit wiring 162 is connected to the monitor and the like through an electronic device (not shown) So that each pressure sensor can be inspected for defects.
상기한 구성의 본 고안에 대한 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention of the above configuration is as follows.
챔버(200)가 형성되기 전의 상태도는 도2와 같이 수평블럭(120)과 지지블럭(140)이 내려와 있는 상태(혹은 서보모우터(100)의 역회전으로 하강된 상태)가 되어 상부블럭(150)과 하부블럭(160)은 분리되어 있다.The state diagram before the chamber 200 is formed is a state in which the horizontal block 120 and the support block 140 are down (or the state in which the servomotor 100 is lowered in reverse) as shown in FIG. 2. 150 and the lower block 160 are separated.
센서(10)들이 배열된 기판(11)이 기판다이(154) 상에 놓인 상태에서 이들의 불량여부를 테스트 할 준비가 되면 서보모우터(100)의 정회전으로 볼스크류(110)가 상승하게 되어 이 볼스크류(110)에 결합된 수평블럭(120)이 동시에 상승되고, 하부지지대(135)로 지지된 지지블럭(140)도 이동하게 되는데, 이들은 모두 슬라이더(122,142)로 지지된채 수직지지대(130)를 따라 미끄럼이동하면서 상승하여 수평상태의 유지와 궁극적으로 하부블럭(150)을 상부블럭(160)에 밀착시켜서 도3과 같이 밀폐된 침버(200)를 구성하게 된다.When the substrate 11 on which the sensors 10 are arranged is placed on the substrate die 154 and ready to test for defects thereof, the ball screw 110 is raised by the forward rotation of the servomotor 100. The horizontal block 120 coupled to the ball screw 110 is raised at the same time, and the support block 140 supported by the lower support 135 is also moved, all of which are supported by the sliders 122 and 142 vertical support. Sliding and moving along the 130 to maintain the horizontal state and ultimately close the lower block 150 to the upper block 160 to form a sealed chamber 200 as shown in FIG.
도4는 도3의 요부확대도로, 챔버(200)가 형성되었다 함은 센서(10)의 핀들과 회로배선(162)이 연결되어졌음을 의미하며, 상부블럭(160)과 하부블럭(150)의 압착력으로 이들의 회로연결이 확실하게 이루어지며 그 압착력은 스프링(152)으로 더욱 센서(10)에 충격없이 공고히 연결시켜 준다.4 is an enlarged view of the main part of FIG. 3, in which the chamber 200 is formed, which means that the pins of the sensor 10 and the circuit wiring 162 are connected, and the upper block 160 and the lower block 150 are connected to each other. The pressing force of the circuit connection is made reliably and the pressing force of the spring 152 further firmly connected to the sensor 10 without impact.
이 상태에서 압력공급구(195)를 통해 고압이 챔버(200)내로 유입되더라도 O-링(190)에 의해 상부블럭(160)과 하부블럭(150)사이의 밀폐가 유지되며, 히터(197)에 의해 하부블럭(150)의 온도가 조절되어서 필요한 온도와 적정 압력상태가 센서들에 적용되어지며, 이 결과는 회로배선(162)을 통해 도시되지 아니한 전자장비를 거쳐 모니터등에 나타나면 센서(10)들의 특성을 알 수 있게 된다.In this state, even though the high pressure flows into the chamber 200 through the pressure supply port 195, the air gap between the upper block 160 and the lower block 150 is maintained by the O-ring 190, and the heater 197 is maintained. The temperature of the lower block 150 is adjusted by the required temperature and the appropriate pressure state is applied to the sensors, and the result is displayed on the monitor via electronic equipment (not shown) through the circuit wiring 162. You can see their characteristics.
테스트후의 기판(11)분리는 상기한 역동작중에 이루어진다. After the test, the substrate 11 is separated during the reverse operation.
상기한 바와 같이 본고안의 장치를 이용하면 하나의 장치로 일정 온도대(1°C~ 200°C)와 고압(200KPA~2000KPA)대에서 센서의 특성을 테스트할 수 있고, 이를 위해 O-링은 상기 조건에 부합되는 것을 사용하게 되며, 특히 기판상에 다량의 센서그룹이 배열된 상태로 특성테스트가 가능하여 신속하고 정확한 센서의 특성테스트가 이루어져서 센서의 생산성을 향상시키고 신뢰성을 증대시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.As described above, the device of this article can be used to test the characteristics of the sensor at a certain temperature range (1 ° C to 200 ° C) and high pressure (200KPA to 2000KPA) with one device. It can be used to meet the above conditions, in particular, the characteristic test is possible with a large number of sensor groups arranged on the substrate can be quickly and accurately the characteristic test of the sensor to improve the productivity of the sensor and increase the reliability Can be obtained.
도1은 종래 압력센서 테스터의 개략도,1 is a schematic diagram of a conventional pressure sensor tester,
도2는 본고안의 압력센서 테스터에 대한 전체구성도로 가압전의 상태도,Figure 2 is a state diagram before pressurizing the overall configuration of the pressure sensor tester in the present article,
도3은 도2의 가압된 상태도,Figure 3 is a pressurized state of Figure 2,
도4는 도3의 요부확대도이다.4 is an enlarged view illustrating main parts of FIG. 3.
-도면의 주요부호설명-Explanation of Major Symbols in Drawing
10-압력센서 100-서보모우터10-pressure sensor 100-servo motor
110-볼스크류 120-수평블럭110-ball screw 120-horizontal block
122-슬라이더 125-수평고정대122-slider 125-horizontal fixture
130-수직지지대 135-하부지지대130-Vertical Support 135-Lower Support
140-지지블럭 150-하부블럭140-support block 150-lower block
160-상부블럭 162-회로배선160-top block 162-circuit wiring
170-상부판 190- O-링170-top plate 190- O-ring
197-히터 200-챔버(Chamber)197-heater 200-chamber
Claims (3)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR20-2005-0009063U KR200387723Y1 (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | A tester for testing pressure sensors |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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|---|---|
| KR (1) | KR200387723Y1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100974780B1 (en) | 2007-05-14 | 2010-08-06 | 윤점채 | A testing method of air pressure sensor and the apparatus |
| CN107883991A (en) * | 2017-12-26 | 2018-04-06 | 华景科技无锡有限公司 | A kind of calibrating device for sensors |
| KR102165270B1 (en) | 2019-09-23 | 2020-10-13 | (주)하이비젼시스템 | apparatus and Method for Supplying test Pressure using pressure chamber |
| CN113211047A (en) * | 2020-12-01 | 2021-08-06 | 北京清大天达光电科技股份有限公司 | Pressing device capable of accurately controlling temperature and pressure |
-
2005
- 2005-04-01 KR KR20-2005-0009063U patent/KR200387723Y1/en active IP Right Grant
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100974780B1 (en) | 2007-05-14 | 2010-08-06 | 윤점채 | A testing method of air pressure sensor and the apparatus |
| CN107883991A (en) * | 2017-12-26 | 2018-04-06 | 华景科技无锡有限公司 | A kind of calibrating device for sensors |
| KR102165270B1 (en) | 2019-09-23 | 2020-10-13 | (주)하이비젼시스템 | apparatus and Method for Supplying test Pressure using pressure chamber |
| CN113211047A (en) * | 2020-12-01 | 2021-08-06 | 北京清大天达光电科技股份有限公司 | Pressing device capable of accurately controlling temperature and pressure |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130604 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140604 Year of fee payment: 10 |